JP5521553B2 - アクチュエータ機構 - Google Patents
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- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
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Description
前記シリコン基板上に形状記憶合金薄膜が形成された後、前記エッチングにより前記シリコン基板の箇所が除去されることによって1対の前記支持部に跨って形成された変位部であって、当該形状記憶合金薄膜に通電することにより前記形状記憶合金薄膜の収縮によって変位することで前記1対の支持部の間隔を変化させる変位部と、
前記支持部とともに前記シリコン基板から前記エッチングにより形成され、前記変位部が変位する方向に弾性を有し、前記1対の支持部と一体的に形成されて前記1対の支持部の間を消勢状態で接続し、前記1対の支持部の間隔が変化した際に変形することにより付勢力が蓄勢される弾性部とを備え、
前記変位部を構成する前記形状記憶合金薄膜へ通電された時、前記形状記憶合金薄膜の収縮による前記変位部の変位により前記弾性部に付勢力が蓄勢され、前記変位部の前記形状記憶合金薄膜への通電が解除された時、前記変位部を構成する前記形状記憶合金薄膜への通電時に蓄勢された前記弾性部の付勢力により、前記変位部を構成する前記形状記憶合金薄膜とともに前記1対の支持部の間隔が復元され、前記弾性部が消勢されることを特徴とするアクチュエータ機構。
110 シリコン基板
111 支持部
113 弾性部
115 固定部
121 形状記憶合金(SMA)薄膜
123 +側電極
125 −側電極
131 圧電素子
133 +側電極
135 −側電極
137 圧電層
150 電源
160 スイッチ
Claims (3)
- シリコン基板からエッチングにより形成され、略平行に配置された1対の支持部と、
前記シリコン基板上に形状記憶合金薄膜が形成された後、前記エッチングにより前記シリコン基板の箇所が除去されることによって1対の前記支持部に跨って形成された変位部であって、当該形状記憶合金薄膜に通電することにより前記形状記憶合金薄膜の収縮によって変位することで前記1対の支持部の間隔を変化させる変位部と、
前記支持部とともに前記シリコン基板から前記エッチングにより形成され、前記変位部が変位する方向に弾性を有し、前記1対の支持部と一体的に形成されて前記1対の支持部の間を消勢状態で接続し、前記1対の支持部の間隔が変化した際に変形することにより付勢力が蓄勢される弾性部とを備え、
前記変位部を構成する前記形状記憶合金薄膜へ通電された時、前記形状記憶合金薄膜の収縮による前記変位部の変位により前記弾性部に付勢力が蓄勢され、前記変位部の前記形状記憶合金薄膜への通電が解除された時、前記変位部を構成する前記形状記憶合金薄膜への通電時に蓄勢された前記弾性部の付勢力により、前記変位部を構成する前記形状記憶合金薄膜とともに前記1対の支持部の間隔が復元され、前記弾性部が消勢されることを特徴とするアクチュエータ機構。 - 前記弾性部は、蛇腹形状であることを特徴とする請求の範囲第1項に記載のアクチュエータ機構。
- 前記弾性部は、平板形状であることを特徴とする請求の範囲第1項に記載のアクチュエータ機構。
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