JPS63105336U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63105336U JPS63105336U JP20398386U JP20398386U JPS63105336U JP S63105336 U JPS63105336 U JP S63105336U JP 20398386 U JP20398386 U JP 20398386U JP 20398386 U JP20398386 U JP 20398386U JP S63105336 U JPS63105336 U JP S63105336U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fixed part
- movable part
- fine movement
- movement linear
- pressurizing members
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Description
第1図は本考案の一実施例を示す斜視図、第2
図は従来の一例を示す斜視図、第3図は第2図に
示す微動直線案内の一使用例を示す斜視図、第4
図および第5図は第2図に示す可とう部の動作を
示す斜視図である。 1……固定部、2……可動部、3……可とう部
、4……与圧部、5……圧電素子、A……変位方
向、B……外力。
図は従来の一例を示す斜視図、第3図は第2図に
示す微動直線案内の一使用例を示す斜視図、第4
図および第5図は第2図に示す可とう部の動作を
示す斜視図である。 1……固定部、2……可動部、3……可とう部
、4……与圧部、5……圧電素子、A……変位方
向、B……外力。
Claims (1)
- U字型固定部の中央部分に可動部があり、前記
固定部と前記可動部とは2組の平行な薄肉可とう
部でU字型の左右対称の位置でそれぞれ結合し、
前記固定部と前記可動部はさらに左右から交互の
切込みが複数個はいつた2個の与圧部材で前記固
定部のU字型底部で軸方向に対称に結合し、かつ
これらのすべての構成要素が一体につくられた微
動直線案内の前記2個の与圧部材の中間に圧電素
子を圧入した微動直線ステージ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20398386U JPH0513013Y2 (ja) | 1986-12-24 | 1986-12-24 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20398386U JPH0513013Y2 (ja) | 1986-12-24 | 1986-12-24 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63105336U true JPS63105336U (ja) | 1988-07-08 |
JPH0513013Y2 JPH0513013Y2 (ja) | 1993-04-06 |
Family
ID=31169823
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20398386U Expired - Lifetime JPH0513013Y2 (ja) | 1986-12-24 | 1986-12-24 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0513013Y2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0389876A (ja) * | 1989-08-31 | 1991-04-15 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 圧電アクチュエータおよびそれを用いたステージ装置 |
JPH08185238A (ja) * | 1994-12-27 | 1996-07-16 | Sigma Tec Kk | 位置決め装置 |
JP5521553B2 (ja) * | 2008-01-29 | 2014-06-18 | コニカミノルタ株式会社 | アクチュエータ機構 |
-
1986
- 1986-12-24 JP JP20398386U patent/JPH0513013Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0389876A (ja) * | 1989-08-31 | 1991-04-15 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 圧電アクチュエータおよびそれを用いたステージ装置 |
JPH08185238A (ja) * | 1994-12-27 | 1996-07-16 | Sigma Tec Kk | 位置決め装置 |
JP5521553B2 (ja) * | 2008-01-29 | 2014-06-18 | コニカミノルタ株式会社 | アクチュエータ機構 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0513013Y2 (ja) | 1993-04-06 |