JP2003110007A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. 移動可能な第１部材と、
   前記第１部材に接続し用力を伝達する用力伝達装置と、
   一端を前記第１部材に接続するとともに他端を前記第１部材と異なる第２部材に接続し、前記用力伝達装置を保持して前記第１部材の移動方向に沿って移動する保持装置とを備え、
   前記第１部材と前記第２部材との少なくとも一方と前記保持装置との間に弾性体を介在させることを特徴とするステージ装置。
2. 前記弾性体は、その弾性変形方向を前記第１部材の移動方向に沿って配置されるとともに、前記移動方向と交わる方向に並列に複数設けられていることを特徴とする請求項１記載のステージ装置。
3. 前記弾性体は弾性領域内で所定量圧縮されていることを特徴とする請求項１又は２記載のステージ装置。
4. 前記保持装置に連結し凹部を有する第１連結部材と、
   前記第１部材又は前記第２部材に連結し凹部を有する第２連結部材と、
   前記第１連結部材と前記第２連結部材とを接続するばね部材とを有し、
   前記弾性体は、前記第１連結部材及び前記第２連結部材のそれぞれの凹部の間に配置される弾性体であることを特徴とする請求項１記載のステージ装置。
5. 前記弾性体は、板ばねであることを特徴とする請求項１記載のステージ装置。
6. 前記保持装置と前記第１部材とを接続するロータリダンパを備えることを特徴とする請求項１記載のステージ装置。
7. 前記用力伝達装置は用力伝達ケーブルを有するとともに、前記ケーブルは前記保持装置と前記第１部材との間で少なくとも２つの固定部材で固定されており、
   前記２つの固定部材どうしの間に配設される前記ケーブルの長さは、該２つの固定部材どうしの間の距離より長く設定されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載のステージ装置。
8. 前記２つの固定部材どうしの間に配設される前記ケーブルは、所定の力を作用した際、前記２つの固定部材どうしの間に配設される前記ケーブル以外の部分より撓み量が大きく設定されたケーブルであることを特徴とする請求項７記載のステージ装置。
9. 前記保持装置は、複数の単位部材を回転軸によって回動自在に連結したものであることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載のステージ装置。
10. 相対的に移動可能な第１部材と第２部材とを連結して、前記第１部材と前記第２部材とを接続している線状部材を保持する保持装置において、
    前記第１部材と前記第２部材との少なくとも一方と、前記保持装置との連結部に弾性体を有することを特徴とする保持装置。
11. マスクステージに保持されたマスクのパターンを基板ステージに保持された基板に露光する露光装置において、
    前記マスクステージと前記基板ステージとの少なくとも一方には、請求項１〜請求項９のいずれか一項に記載されたステージ装置が用いられていることを特徴とする露光装置。
12. マスクステージに保持されたマスクのパターンを基板ステージに保持された基板に露光する露光装置において、
    前記基板ステージは、前記基板として大型基板を保持するとともに、請求項１〜請求項９のいずれか一項に記載されたステージ装置が用いられていることを特徴とする露光装置。