JPH08318439A - 移動案内装置 - Google Patents
移動案内装置Info
- Publication number
- JPH08318439A JPH08318439A JP8177381A JP17738196A JPH08318439A JP H08318439 A JPH08318439 A JP H08318439A JP 8177381 A JP8177381 A JP 8177381A JP 17738196 A JP17738196 A JP 17738196A JP H08318439 A JPH08318439 A JP H08318439A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- moving body
- guide device
- moving
- preload
- Prior art date
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- Granted
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0662—Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load
- F16C32/067—Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load of bearings adjustable for aligning, positioning, wear or play
- F16C32/0674—Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load of bearings adjustable for aligning, positioning, wear or play by means of pre-load on the fluid bearings
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 極めて高精度に移動案内させることができる
移動案内装置を得ること。 【解決手段】 基準面を有する定盤と、該基準面上でガ
イドに案内されて第１方向に移動する第１移動体と、前
記第１方向とは交差する第２方向に移動する第２移動体
とを有し、前記第１及び第２移動体は共に前記基準面上
に静圧軸受で支持され、基準面に垂直な方向に関し他の
移動体に対して互いに非拘束となっていると共に、前記
第１移動体と第２移動体の少なくとも一方に設けた予圧
機構を設けたこと。
移動案内装置を得ること。 【解決手段】 基準面を有する定盤と、該基準面上でガ
イドに案内されて第１方向に移動する第１移動体と、前
記第１方向とは交差する第２方向に移動する第２移動体
とを有し、前記第１及び第２移動体は共に前記基準面上
に静圧軸受で支持され、基準面に垂直な方向に関し他の
移動体に対して互いに非拘束となっていると共に、前記
第１移動体と第２移動体の少なくとも一方に設けた予圧
機構を設けたこと。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は移動案内装置に関
し、特に半導体製造装置や精密工作機械等において、例
えばステージ等の移動体を高速にしかも高精度に所定位
置に位置決めすることのできる移動案内装置に関するも
のである。
し、特に半導体製造装置や精密工作機械等において、例
えばステージ等の移動体を高速にしかも高精度に所定位
置に位置決めすることのできる移動案内装置に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】従来より移動体を所定の案内に沿って移
動させ、所定位置に高精度に位置決めを行うようにした
移動案内装置が種々と提案されている。図８は従来の
Ｘ，Ｙ移動機構を有する移動案内装置の要部斜視図であ
る。同図において８１は定盤であり、該定盤８１上にＹ
方向の移動機構としてのＹステージ８４が載置されてい
る。又、Ｙステージ８４上にはＸ方向の移動機構として
のＸステージ８５が載置されている。Ｘステージ８５及
びＹステージ８４は不図示のリニアモーター等の駆動手
段により所定方向に各々移動され位置決めされている。
動させ、所定位置に高精度に位置決めを行うようにした
移動案内装置が種々と提案されている。図８は従来の
Ｘ，Ｙ移動機構を有する移動案内装置の要部斜視図であ
る。同図において８１は定盤であり、該定盤８１上にＹ
方向の移動機構としてのＹステージ８４が載置されてい
る。又、Ｙステージ８４上にはＸ方向の移動機構として
のＸステージ８５が載置されている。Ｘステージ８５及
びＹステージ８４は不図示のリニアモーター等の駆動手
段により所定方向に各々移動され位置決めされている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】同図に示す移動案内装
置は定盤８１、Ｙステージ８４、そしてＸステージ８５
と順に積み重ねた構成を採っている為、上下方向に高く
なる傾向があった。又、Ｘステージ８５が移動する際、
Ｙステージ８４に偏荷重が発生し、Ｙステージ８４が例
えば図９（Ａ），（Ｂ）の点線で示すように変形し、こ
の結果Ｘステージ８５の静的な姿勢精度が劣化してくる
欠点があった。更にＸステージ８５及びＹステージ８４
を剛体より構成するとＸステージ８５、Ｙステージ８４
が図１０に示すように６つの自由度を持つようになる
為、例えばＹステージ８４がピッチングを起こすとＸス
テージ８５のローリングとなる等、６つの自由度が互い
に全て連成し、動的にも姿勢精度が劣化してくる等の問
題点があった。本発明は、移動体の不要な傾きを小さく
すると共に一方の移動体の不要な振動が他方の移動体に
影響を及ぼすことを防止して、連成を極力抑えることで
極めて高精度な位置決めを可能とする移動案内装置を提
供することを目的とする。
置は定盤８１、Ｙステージ８４、そしてＸステージ８５
と順に積み重ねた構成を採っている為、上下方向に高く
なる傾向があった。又、Ｘステージ８５が移動する際、
Ｙステージ８４に偏荷重が発生し、Ｙステージ８４が例
えば図９（Ａ），（Ｂ）の点線で示すように変形し、こ
の結果Ｘステージ８５の静的な姿勢精度が劣化してくる
欠点があった。更にＸステージ８５及びＹステージ８４
を剛体より構成するとＸステージ８５、Ｙステージ８４
が図１０に示すように６つの自由度を持つようになる
為、例えばＹステージ８４がピッチングを起こすとＸス
テージ８５のローリングとなる等、６つの自由度が互い
に全て連成し、動的にも姿勢精度が劣化してくる等の問
題点があった。本発明は、移動体の不要な傾きを小さく
すると共に一方の移動体の不要な振動が他方の移動体に
影響を及ぼすことを防止して、連成を極力抑えることで
極めて高精度な位置決めを可能とする移動案内装置を提
供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の移動案内装置
は、基準面を有する定盤と、該基準面上でガイドに案内
されて第１方向に移動する第１移動体と、前記第１方向
とは交差する第２方向に移動する第２移動体とを有し、
前記第１及び第２移動体は共に前記基準面上に静圧軸受
で支持され、基準面に垂直な方向に関し他の移動体に対
して互いに非拘束となっていると共に、前記第１移動体
と第２移動体の少なくとも一方に設けた予圧機構を設け
たことを特徴としている。
は、基準面を有する定盤と、該基準面上でガイドに案内
されて第１方向に移動する第１移動体と、前記第１方向
とは交差する第２方向に移動する第２移動体とを有し、
前記第１及び第２移動体は共に前記基準面上に静圧軸受
で支持され、基準面に垂直な方向に関し他の移動体に対
して互いに非拘束となっていると共に、前記第１移動体
と第２移動体の少なくとも一方に設けた予圧機構を設け
たことを特徴としている。
【０００５】特に、前記予圧機構は、磁力によって予圧
を与えるための磁石を有すること、前記予圧機構は、前
記基準面に向けて予圧を与える機構を有すること、前記
第２移動体は、静圧軸受を介して前記第１移動体に案内
されて前記第２方向に移動すること、前記第１移動体及
び第２移動体はそれぞれリニアモータで駆動されること
等を特徴としている。
を与えるための磁石を有すること、前記予圧機構は、前
記基準面に向けて予圧を与える機構を有すること、前記
第２移動体は、静圧軸受を介して前記第１移動体に案内
されて前記第２方向に移動すること、前記第１移動体及
び第２移動体はそれぞれリニアモータで駆動されること
等を特徴としている。
【０００６】
【発明の実施の形態】図１〜図４は本発明の実施形態１
の概略図である。
の概略図である。
【０００７】図１は斜視図、図２は図１のＡ−Ａ′断面
図、図３は第１図のＢ−Ｂ′断面図、図４は図１の裏面
透視図である。
図、図３は第１図のＢ−Ｂ′断面図、図４は図１の裏面
透視図である。
【０００８】同図において１は定盤であり、上面が滑ら
かな基準面となっている。４はＹ方向への移動体（第１
移動体）の構成部材であるＹステージ、５はＸ方向への
移動体（第２移動体）の構成部材であるＸステージ、２
はＹステージ４の横方向（Ｙ軸方向）の固定ガイド、３
（３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ）は多孔質の静圧空気軸受で
あり、このうち３ａはＸステージ５の横方向（Ｙ軸方
向）、３ｂはＸステージ５の垂直方向、３ｃはＹステー
ジ４の横方向、３ｄはＹステージ４の垂直方向を各々案
内している。４ａはＹステージ４の横方向の静圧空気軸
受取付板、４ｂはＹステージ４の垂直方向の静圧空気軸
受取付板であり、Ｘステージ５の横方向の案内を兼ねて
いる。４ｃはＹステージ用の駆動アクチュエータ、４ｄ
はＹステージ用の駆動アクチュエータ４ｃの連結板であ
り静圧空気軸受取付板４ａに連結されている。５ａはＸ
ステージ５の移動板、５ｂはＸステージ５の垂直方向と
横方向の軸受取付板、５ｃはＸステージ５の駆動アクチ
ュエータである。６は予圧用磁石ユニットであり、特願
昭６２−６２７３５号で提案しているように例えば磁力
手段として永久磁石とその両側に設けたヨークとを有し
た予圧機構であって、静圧軸受に加圧流体を給気して移
動体を浮上させる際、軸受けの特性のバラツキにより移
動体が傾くのを防止し、常に一定の姿勢を保つようにし
ている。
かな基準面となっている。４はＹ方向への移動体（第１
移動体）の構成部材であるＹステージ、５はＸ方向への
移動体（第２移動体）の構成部材であるＸステージ、２
はＹステージ４の横方向（Ｙ軸方向）の固定ガイド、３
（３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ）は多孔質の静圧空気軸受で
あり、このうち３ａはＸステージ５の横方向（Ｙ軸方
向）、３ｂはＸステージ５の垂直方向、３ｃはＹステー
ジ４の横方向、３ｄはＹステージ４の垂直方向を各々案
内している。４ａはＹステージ４の横方向の静圧空気軸
受取付板、４ｂはＹステージ４の垂直方向の静圧空気軸
受取付板であり、Ｘステージ５の横方向の案内を兼ねて
いる。４ｃはＹステージ用の駆動アクチュエータ、４ｄ
はＹステージ用の駆動アクチュエータ４ｃの連結板であ
り静圧空気軸受取付板４ａに連結されている。５ａはＸ
ステージ５の移動板、５ｂはＸステージ５の垂直方向と
横方向の軸受取付板、５ｃはＸステージ５の駆動アクチ
ュエータである。６は予圧用磁石ユニットであり、特願
昭６２−６２７３５号で提案しているように例えば磁力
手段として永久磁石とその両側に設けたヨークとを有し
た予圧機構であって、静圧軸受に加圧流体を給気して移
動体を浮上させる際、軸受けの特性のバラツキにより移
動体が傾くのを防止し、常に一定の姿勢を保つようにし
ている。
【０００９】本実施例において駆動アクチュエータ４
ｃ，５ｃとしては例えばリニアモーター、油圧直流モー
ター等を用いている。
ｃ，５ｃとしては例えばリニアモーター、油圧直流モー
ター等を用いている。
【００１０】本実施例においてはＹステージ４は静圧空
気軸受３ｄに給気することにより定盤１より浮上させ、
２つの駆動アクチュエータ４ｃにより固定ガイド２に沿
ってＹ方向に移動させている。
気軸受３ｄに給気することにより定盤１より浮上させ、
２つの駆動アクチュエータ４ｃにより固定ガイド２に沿
ってＹ方向に移動させている。
【００１１】又、Ｘステージ５は静圧空気軸受３ｂ，３
ａに給気することによりＹステージ４と同様に定盤１よ
り浮上させ、Ｙステージ４の側面を横方向の案内として
駆動アクチュエーター５ｃによりＸ方向に移動させてい
る。このとき、図４のようにＸステージ５及びＹステー
ジ４はそれぞれの裏面に設けた複数の予圧用磁石ユニッ
ト６により、常に一定の姿勢となるように調整されてい
る。
ａに給気することによりＹステージ４と同様に定盤１よ
り浮上させ、Ｙステージ４の側面を横方向の案内として
駆動アクチュエーター５ｃによりＸ方向に移動させてい
る。このとき、図４のようにＸステージ５及びＹステー
ジ４はそれぞれの裏面に設けた複数の予圧用磁石ユニッ
ト６により、常に一定の姿勢となるように調整されてい
る。
【００１２】本実施例の特徴としては （イ）Ｘステージ及びＹステージの垂直（重力）方向
（Ｚ方向）の案内をいずれも定盤より行い、Ｘステージ
やＹステージが移動しても相手側のステージに移動荷重
が発生しないようにして静的な姿勢を良好に維持してい
る。 （ロ）Ｙステージの縦方向（図１においてＸ方向）、垂
直（重力）方向（図１のＺ方向）そしてローリング（図
１のＹ軸回りの回転）の振動の３成分について連成を全
く無くしている。 （ハ）Ｙステージのピッチング（図１のＸ軸回りの回
転）は静圧空気軸受３ａを介してＸステージのみに伝わ
るようにしており、これにより連成を極力押えている。 （ニ）図９に示す従来の移動案内装置に比べ、Ｘステー
ジを固定ガイド２若しくはＹステージ用の駆動アクチュ
エータ４ｃにオーバーハングさせることにより定盤の占
有面積を略等しくしている。 （ホ）移動案内装置全体の高さを定盤を含め従来に比べ
約１／２程度にしている。 （ヘ）連結板４ｄの高さを調整することによりＸステー
ジとＹステージの駆動点とＸステージ、Ｙステージの高
さ方向の重心点を略一致させ、これにより駆動時の振動
の発生を極力押えている。 （ト）Ｙステージの横方向（Ｙ方向）の静圧空気軸受取
付板４ａを垂直方向の静圧空気軸受取付板４ｂの幅より
長くすることにより、横方向の軸受取付板の面積を十分
に確保している。又、このとき横方向の静圧空気軸受取
付板４ａの長さをＸステージ５の移動板５ａの長さと一
致させ、これにより可動面積が拡大するのを防止してい
る。
（Ｚ方向）の案内をいずれも定盤より行い、Ｘステージ
やＹステージが移動しても相手側のステージに移動荷重
が発生しないようにして静的な姿勢を良好に維持してい
る。 （ロ）Ｙステージの縦方向（図１においてＸ方向）、垂
直（重力）方向（図１のＺ方向）そしてローリング（図
１のＹ軸回りの回転）の振動の３成分について連成を全
く無くしている。 （ハ）Ｙステージのピッチング（図１のＸ軸回りの回
転）は静圧空気軸受３ａを介してＸステージのみに伝わ
るようにしており、これにより連成を極力押えている。 （ニ）図９に示す従来の移動案内装置に比べ、Ｘステー
ジを固定ガイド２若しくはＹステージ用の駆動アクチュ
エータ４ｃにオーバーハングさせることにより定盤の占
有面積を略等しくしている。 （ホ）移動案内装置全体の高さを定盤を含め従来に比べ
約１／２程度にしている。 （ヘ）連結板４ｄの高さを調整することによりＸステー
ジとＹステージの駆動点とＸステージ、Ｙステージの高
さ方向の重心点を略一致させ、これにより駆動時の振動
の発生を極力押えている。 （ト）Ｙステージの横方向（Ｙ方向）の静圧空気軸受取
付板４ａを垂直方向の静圧空気軸受取付板４ｂの幅より
長くすることにより、横方向の軸受取付板の面積を十分
に確保している。又、このとき横方向の静圧空気軸受取
付板４ａの長さをＸステージ５の移動板５ａの長さと一
致させ、これにより可動面積が拡大するのを防止してい
る。
【００１３】図５〜図７は本発明の実施形態２の概略図
である。図５，図６，図７は各々実施形態１の図２，図
３，図４に相当している。
である。図５，図６，図７は各々実施形態１の図２，図
３，図４に相当している。
【００１４】本実施形態において実施形態１と同じ部材
には同符番を付している。
には同符番を付している。
【００１５】図５〜図７において４ｅは垂直方向と横方
向の軸受取付板、４ｆはＸステージ５の横方向の案内と
軸受取付板４ｅの連結板である。５ｅはＸステージ５の
垂直方向の軸受取付板、５ｆはＸステージ５の横方向の
軸受取付板である。
向の軸受取付板、４ｆはＸステージ５の横方向の案内と
軸受取付板４ｅの連結板である。５ｅはＸステージ５の
垂直方向の軸受取付板、５ｆはＸステージ５の横方向の
軸受取付板である。
【００１６】本実施形態ではＸステージ５に垂直方向の
軸受取付板５ｅを設けることにより、第１の実施例の特
長に加えて例えばＸステージ５の横方向の静圧空気軸受
３ａに給気した際、軸受取付板５ｆ、移動板５ａがたわ
んで変形するのを防止すると共に、移動板５ａ、軸受取
付板５ｅ，５ｆ等の部材の薄肉化を図っている。
軸受取付板５ｅを設けることにより、第１の実施例の特
長に加えて例えばＸステージ５の横方向の静圧空気軸受
３ａに給気した際、軸受取付板５ｆ、移動板５ａがたわ
んで変形するのを防止すると共に、移動板５ａ、軸受取
付板５ｅ，５ｆ等の部材の薄肉化を図っている。
【００１７】又、垂直（重力）方向の軸受取付板５ｅの
厚さを適切に設定することによりＸステージ５の重心位
置の調整を可能としており、これによりＸステージ５に
対する駆動点と重心位置との一致を容易にすることがで
きる等の特長を有している。
厚さを適切に設定することによりＸステージ５の重心位
置の調整を可能としており、これによりＸステージ５に
対する駆動点と重心位置との一致を容易にすることがで
きる等の特長を有している。
【００１８】
【発明の効果】本発明の移動案内装置によれば、第１及
び第２移動体は共に同一の基準面上に静圧軸受で支持さ
れ、基準面に垂直な方向に関し他の移動体に対して互い
に非拘束となっていると共に、第１及び第２移動体の少
なくとも一方に予圧機構を設けたため、移動体の不要な
傾きを極めて小さくできる上に、一方の移動体の不要な
振動が他方の移動体に影響を及ぼすことがないため、連
成を極力抑えることができ極めて高精度な位置決めが可
能になる。
び第２移動体は共に同一の基準面上に静圧軸受で支持さ
れ、基準面に垂直な方向に関し他の移動体に対して互い
に非拘束となっていると共に、第１及び第２移動体の少
なくとも一方に予圧機構を設けたため、移動体の不要な
傾きを極めて小さくできる上に、一方の移動体の不要な
振動が他方の移動体に影響を及ぼすことがないため、連
成を極力抑えることができ極めて高精度な位置決めが可
能になる。
【図１】本発明の実施形態１の要部概略図
【図２】図１のＡ−Ａ′断面図
【図３】図１のＢ−Ｂ′断面図
【図４】図１の裏面透視図
【図５】本発明の実施形態２の断面概略図
【図６】本発明の実施形態２の断面概略図
【図７】本発明の実施形態２の裏面透視図
【図８】従来の移動案内装置の要部概略図
【図９】従来の移動案内装置の一部分の説明図
【図１０】振動モードの説明図
１ 定盤 ２ 横方向の固定ガイド ３（３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ） 静圧空気軸受 ４ Ｙステージ ５ Ｘステージ ５ａ 移動板 ４ａ，４ｂ 静圧空気軸受取付板 ４ｃ，５ｃ 駆動アクチュエータ ４ｄ 連結板 ６ 予圧用磁石ユニット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 堀越 康夫 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 井上 充 神奈川県川崎市中原区今井上町53番地 キ ヤノン株式会社小杉事業所内 (72)発明者 小野 一也 神奈川県川崎市中原区今井上町53番地 キ ヤノン株式会社小杉事業所内
Claims (5)
- 【請求項１】 基準面を有する定盤と、該基準面上でガ
イドに案内されて第１方向に移動する第１移動体と、前
記第１方向とは交差する第２方向に移動する第２移動体
とを有し、前記第１及び第２移動体は共に前記基準面上
に静圧軸受で支持され、基準面に垂直な方向に関し他の
移動体に対して互いに非拘束となっていると共に、前記
第１移動体と第２移動体の少なくとも一方に設けた予圧
機構を設けたことを特徴とする移動案内装置。 - 【請求項２】 前記予圧機構は、磁力によって予圧を与
えるための磁石を有することを特徴とする請求項１記載
の移動案内装置。 - 【請求項３】 前記予圧機構は、前記基準面に向けて予
圧を与える機構を有することを特徴とする請求項１記載
の移動案内装置。 - 【請求項４】 前記第２移動体は、静圧軸受を介して前
記第１移動体に案内されて前記第２方向に移動すること
を特徴とする請求項１記載の移動案内装置。 - 【請求項５】 前記第１移動体及び第２移動体はそれぞ
れリニアモータで駆動されることを特徴とする請求項１
記載の移動案内装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17738196A JP2921750B2 (ja) | 1996-06-17 | 1996-06-17 | 移動案内装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17738196A JP2921750B2 (ja) | 1996-06-17 | 1996-06-17 | 移動案内装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63012137A Division JPH01188241A (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | 移動案内装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27389797A Division JP2980078B2 (ja) | 1997-09-19 | 1997-09-19 | 移動案内装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08318439A true JPH08318439A (ja) | 1996-12-03 |
| JP2921750B2 JP2921750B2 (ja) | 1999-07-19 |
Family
ID=16029953
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17738196A Expired - Lifetime JP2921750B2 (ja) | 1996-06-17 | 1996-06-17 | 移動案内装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2921750B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006020478A (ja) * | 2004-07-05 | 2006-01-19 | Neomax Co Ltd | ステージ装置 |
| CN112963450A (zh) * | 2021-03-23 | 2021-06-15 | 西安工业大学 | 新型三坐标t型气浮工作台 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS586167A (ja) * | 1981-07-02 | 1983-01-13 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法 |
| JPS60127932A (ja) * | 1983-12-13 | 1985-07-08 | Omron Tateisi Electronics Co | Ｘｙステ−ジ |
| JPS61290231A (ja) * | 1985-06-19 | 1986-12-20 | Nippon Seiko Kk | 静圧案内軸受 |
-
1996
- 1996-06-17 JP JP17738196A patent/JP2921750B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS586167A (ja) * | 1981-07-02 | 1983-01-13 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法 |
| JPS60127932A (ja) * | 1983-12-13 | 1985-07-08 | Omron Tateisi Electronics Co | Ｘｙステ−ジ |
| JPS61290231A (ja) * | 1985-06-19 | 1986-12-20 | Nippon Seiko Kk | 静圧案内軸受 |
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|---|---|---|---|---|
| JP2006020478A (ja) * | 2004-07-05 | 2006-01-19 | Neomax Co Ltd | ステージ装置 |
| CN112963450A (zh) * | 2021-03-23 | 2021-06-15 | 西安工业大学 | 新型三坐标t型气浮工作台 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2921750B2 (ja) | 1999-07-19 |
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