JP2014173640A - 静圧気体軸受 - Google Patents

Abstract

【課題】締結剛性を高めて精度の高いガイドを行うことができる静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】移動体２０と、移動体２０と対向する位置に配設されたガイド部１０と、を備えた静圧気体軸受であって、移動体２０は、セラミック製の上板である第１部材２１と、セラミック製の側板である第２部材２２と、上板２１と側板２２とを締結する締結部材と、側板２２の上端部に設けられ、締結部材と側板２２とを結合する介在部と、を含み、締結部材は、上板２１の上方面側と側板２２の前記上端部側とを締結結合し、介在部は、介在部の内側面にて締結部材と螺合されるとともに、介在部の外側面にて側板２２と螺合されたことを特徴とする。
【選択図】図１

Description

本発明の態様は、静圧気体軸受に関し、具体的には、締結剛性を高めて精度を向上させた静圧気体軸受に関する。

従来の一般的な静圧気体軸受（エアスライド）は、精密定盤上に締結固定されたガイド部(固定子)と、ガイド部上を滑走する移動体(可動子)とを備える。静圧気体軸受は、移動体からガイド部へ加圧空気を噴出することで発生した静圧により移動体をガイド部上で浮上させて、非接触で移動体の移動方向をガイドする軸受である。移動体が複数の部材から構成されている場合、これらの部材どうしを締結固定するのが一般的である。

移動体は、高圧気体の吹き出し口が設けられたエアパッドの形状や供給空気圧、ガイド部とエアパッドとの間の微小隙間量を調整することにより、負荷容量や軸受剛性を変化させることが可能である。

近年、半導体をメインとする超精密分野では、生産性の向上から静圧気体軸受の高速駆動が求められている。しかしながら、高速化に伴い駆動モータ（リニアモータ等）の出力が増大するため、その影響により静圧気体軸受が発振してしまう可能性がある。また、静圧気体軸受には様々な部材が取り付けられているため、それらの部材の振動の影響によっても静圧気体軸受が発振してしまう可能性がある。

このような発振を回避するため、静圧気体軸受自体の固有振動数を向上させる必要がある。一般的な手法として、静圧気体軸受の剛性値を向上させることで対処可能である。しかし、パッドサイズや供給空気圧の制約があるため、移動体による固有振動数の向上には限度がある。

特開２００６−３４１３５０号公報

本発明は、かかる課題の認識に基づいてなされたものであり、締結剛性を高めて精度の高いガイドを行うことができる静圧気体軸受を提供することを目的とする。

第１の発明は、移動体と、前記移動体と対向する位置に配設されたガイド部と、を備えた静圧気体軸受であって、前記移動体は、セラミック製の上板と、セラミック製の側板と、前記上板と前記側板とを締結する第１締結部材と、前記側板の上端部に設けられ、前記第１締結部材と前記側板とを結合する第１介在部と、を含み、前記第１締結部材は、前記上板の上方面側と前記側板の前記上端部側とを締結結合し、前記第１介在部は、前記第１介在部の内側面にて前記第１締結部材と螺合されるとともに、前記第１介在部の外側面にて前記側板と螺合されたことを特徴とする静圧気体軸受である。

この静圧気体軸受によれば、上板と側板とを側板に設けた介在部を介して締結固定することで、移動体を構成する上板および側板の変形が抑制される。これにより、エアパッドの剛性性能の低下を抑制することができ、静圧気体軸受の固有振動数の向上につながる。

また、第２の発明は、移動体と、前記移動体と対向する位置に配設されたガイド部と、を備えた静圧気体軸受であって、前記移動体は、セラミック製の上板と、セラミック製の側板と、前記上板と前記側板とを締結する第１締結部材と、前記上板の側端部に設けられ、前記第１締結部材と前記側板とを結合する第１介在部と、を含み、前記第１締結部材は、前記上板の前記側端部側と前記側板の前記ガイド部とは反対側とを締結結合し、前記第１介在部は、前記第１介在部の内側面にて前記第１締結部材と螺合されるとともに、前記第１介在部の外側面にて前記上板と螺合されたことを特徴とする静圧気体軸受である。

この静圧気体軸受によれば、上記第１の発明と同様の効果が得られるとともに、上板の側端部側と前記側板の前記ガイド部側の面の一部とを締結することで、組み立てを行う際に側板とガイド部との軸受隙間調整が不要になる。

また、第３の発明は、移動体と、前記移動体と対向する位置に配設されたガイド部と、を備えた静圧気体軸受であって、前記移動体は、セラミック製の上板と、セラミック製の下板と、前記上板と前記下板との間に設けられたセラミック製の側板と、前記上板と前記下板とを締結する第１締結部材と、前記下板の上端部に設けられ、前記第１締結部材と前記側板とを結合する第１介在部と、を含み、前記第１締結部材は、前記上板の上方面側と前記側板の前記上端部側とを締結結合し、前記第１介在部は、前記第１介在部の内側面にて前記第１締結部材と螺合されるとともに、前記第１介在部の外側面にて前記下板と螺合されたことを特徴とする静圧気体軸受である。

この静圧気体軸受によれば、側板を間に挟んだ状態で上板と下板とを下板に設けた介在部を介して締結固定するため、移動体を構成する上板、側板および下板の変形が抑制される。これにより、移動体の剛性性能の低下を抑制することができ、静圧気体軸受の固有振動数の向上につながる。

また、第４の発明は、第１〜第３のいずれか１つの発明において、前記側板は複数設けられたことを特徴とする静圧気体軸受である。

この静圧気体軸受によれば、ガイド部の少なくとも上面及び側面を、移動体の上板及び複数の側板で囲む静圧気体軸受において、移動体の剛性性能の低下を抑制することができ、静圧気体軸受の固有振動数の向上につながる。

また、第５の発明は、第１〜第４のいずれか１つの発明において、前記第１締結部材の外径よりも前記第１介在部の外径のほうが大きいことを特徴とする静圧気体軸受である。

この静圧気体軸受によれば、締結される２つの部材のうち一方の部材の接触面側と他方の部材の接触面側との締結荷重応力が分散する。

また、第６の発明は、第１〜第５のいずれか１つの発明において、前記締結部材によって締結される２つの部材のうち少なくとも一方には、締結固定時の応力を分散緩和する逃げ部が設けられた静圧気体軸受である。

この静圧気体軸受によれば、逃げ部を設けることで、移動体の変形を抑制することができる。これにより、移動体の剛性性能の低下を抑えることができ、静圧気体軸受の固有振動数の向上につながる。

また、第７の発明は、第１〜第５のいずれか１つの発明において、前記締結部材によって締結される２つの部材のうち少なくとも一方には、締結固定時の応力を緩和するために前記第１締結部材と前記第１介在部との螺合部分から前記２つの部材の接触面に向かう方向に拡径する面取り部が設けられたことを特徴とする静圧気体軸受である。

この静圧気体軸受によれば、面取り部が設けられていることで、締結部材によって締結される２つの部材の締結固定時に応力のかかり方が緩やかになる。

また、第８の発明は、第１〜第５のいずれか１つの発明において、前記第１介在部の下方側には前記第１介在部が螺合されていない空間が設けられたことを特徴とする静圧気体軸受である。

この静圧気体軸受によれば、金属破片等が発生しても、金属破片等を空間内に閉じ込めることができ、強い締結に悪影響を及ぼさないようにすることができる。

また、第９の発明は、第１、第２、第４〜第８のいずれか１つの発明において、前記移動体は、セラミック製の下板をさらに含み、前記下板は、前記ガイド部のガイド軸に沿った移動方向に対して直交する方向の長さが、前記上板よりも小さいことを特徴とする静圧気体軸受である。

この静圧気体軸受によれば、上板、側板及び下板を含む移動体の剛性性能の低下を抑えることができ、静圧気体軸受の固有振動数の向上につながる。

また、第１０の発明は、第９の発明において、前記下板は複数設けられたことを特徴とする静圧気体軸受である。

この静圧気体軸受によれば、上板、側板及び複数の下板を含む移動体の剛性性能の低下を抑えることができ、静圧気体軸受の固有振動数の向上につながる。

また、第１１の発明は、第１、第２、第４〜第８のいずれか１つの発明において、前記移動体は、セラミック製の下板をさらに含み、前記上板、前記側板及び前記下板は、前記ガイド部を包囲するように配置されたことを特徴とする静圧気体軸受である。

この静圧気体軸受によれば、上板、側板及び下板によってガイド部を包囲する移動体の剛性性能の低下を抑えることができ、静圧気体軸受の固有振動数の向上につながる。

また、第１２の発明は、第１〜第１１のいずれか１つの発明において、前記移動体を構成する部材に、他の部材を第２締結部材により締結するための第２介在部が設けられ、前記第２介在部は、前記第２介在部の内側面で前記第２締結部材と結合されるとともに、前記第２介在部の外側面にて前記移動体を構成する部材と螺合される静圧空気軸受である。

この静圧気体軸受によれば、移動体を構成する部材に第２介在部が設けられているため、他の部材や部品を締結した際に移動体の変形を効果的に抑制することができる。これにより、静圧気体軸受の固有振動数の向上につながる。

本発明の態様によれば、締結剛性を高めて精度の高いガイドを行うことができる静圧気体軸受が提供される。

図１は、第１の実施形態に係る静圧気体軸受の構成を例示する模式的斜視図である。 図２（ａ）及び（ｂ）は、ガイド部及び移動体の構成を例示する模式的斜視図である。 図３は、本実施形態における締結部材を例示する模式的断面図である。 図４は、参考例における締結部材を例示する模式的断面図である。 図５（ａ）及び（ｂ）は、締結部材の詳細を例示する模式図である。 図６（ａ）及び（ｂ）は、締結イメージを表す模式図である。 図７（ａ）及び（ｂ）は、締結時の変形量を表す図である。 図８（ａ）及び（ｂ）は、締結時の反り量を表す模式図である。 図９（ａ）〜（ｄ）は、移動体の構成例を表す模式的断面図である。 図１０（ａ）及び（ｂ）は、移動体の構成例を表す模式的断面図である。 図１１（ａ）〜（ｄ）は、移動体の構成例を表す模式的断面図である。 図１２（ａ）及び（ｂ）は、移動体の構成例を表す模式的断面図である。 図１３（ａ）及び（ｂ）は、移動体の構成例を表す模式的断面図である。 図１４（ａ）及び（ｂ）は、移動体の構成例を表す模式的断面図である。 図１５は、移動体の構成例を表す模式的断面図である。 図１６は、固有振動数を例示する図である。 図１７（ａ）〜（ｃ）は、ガイド部の構成例を表す模式的断面図である。 図１８（ａ）及び（ｂ）は、ガイド部の締結時の反り量を表す模式図である。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しつつ説明する。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。

（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態に係る静圧気体軸受の構成を例示する模式的斜視図である。
図２（ａ）及び（ｂ）は、ガイド部及び移動体の構成を例示する模式的斜視図である。図２（ａ）には、ガイド部１０が表され、図２（ｂ）には、移動体２０が表されている。

図１に表したように、本実施形態に係る静圧気体軸受１１０は、ガイド部１０と、移動体２０と、介在部３５と、を備える。静圧気体軸受１１０は、ガイド部１０と移動体２０との間に加圧気体（例えば、空気）を送り込み、移動体２０をガイド部１０から浮上させた非接触型の軸受（例えば、エアスライド）である。

図１及び図２（ａ）に表したように、ガイド部１０は、移動体２０の移動方向を１軸方向に規制する。すなわち、ガイド部１０は、移動体２０を１軸方向に案内するガイドの役目を果たす。本実施形態では、移動体２０が移動する１軸方向を軸方向Ｄ１ということにする。ガイド部１０は、セラミック製の上部材１１と、セラミック製の下部材１２と、を含む。上部材１１及び下部材１２ともに軸方向Ｄ１に延在する。

上部材１１の外形は軸方向Ｄ１に延びた例えば直方体である。上部材１１は、上方面１１ａと、下方面１１ｂとを有する。上部材１１の上方面１１ａは、移動体２０と対向する面である。下部材１２の外形は軸方向Ｄ１に延びた例えば直方体である。下部材１２は、上方面１２ａと、下方面１２ｂとを有する。

上部材１１の下方面１１ｂは、下部材１２の上方面１２ａと係合する。すなわち、上部材１１の下方面１１ｂは、下部材１２の上方面１２ａと接触した状態で固定される。

下部材１２は、例えば定盤５０に固定される。下部材１２が定盤５０に固定されることで、静圧気体軸受１１０の全体が定盤５０を基準に固定されることになる。静圧気体軸受１１０において、ガイド部１０は軸方向Ｄ１にみて例えばＴ型になっている。すなわち、軸方向Ｄ１に垂直な方向であって定盤５０に沿った方向（以下、横方向Ｄ２と言う。）において、上部材１１の寸法は、下部材１２の寸法よりも大きい。上部材１１を軸方向Ｄ１にみたときの中心は、下部材１２を軸方向Ｄ１にみたときの中心と一致している。これにより、ガイド部１０は、Ｔ型に設けられる。なお、ガイド部１０は、Ｔ型に限定されない。例えば、ガイド部１０は、横方向Ｄ２に一定の幅を有し、軸方向Ｄ１に延びる直方体型であってもよい。

図１及び図２（ｂ）に表したように、移動体２０は、ガイド部１０の軸方向Ｄ１に移動可能に配設される。移動体２０は、例えば第１部材２１、第２部材２２及び第３部材２３を含む。第１部材２１、第２部材２２及び第３部材２３は、例えばセラミック製である。第１部材２１は、移動体２０の例えば上板である。第２部材２２は、移動体２０の例えば側板である。第３部材２３は、移動体２０の例えば下板である。

第１部材２１は、ガイド部１０の上部材１１の上側に設けられる。第３部材２３は、ガイド部１０の上部材１１の下側に設けられる。第２部材２２は、第１部材２１と第３部材２３との間に設けられる。第２部材２２は、ガイド部１０の上部材１１の側面側に設けられる。第２部材２２の厚さは、上部材１１の厚さよりも僅かに厚い。本実施形態では、移動体２０を構成する部材のうち少なくとも２つは、締結部材３０を介して締結結合される。

このような構成により、移動体２０は、下部材１２よりも横方向Ｄ２に張り出した上部材１１の部分を囲むように配設される。移動体２０とガイド部１０の上部材１１との間には僅かな隙間が設けられる。この隙間に気体が送り込まれることで移動体２０はガイド部１０から浮上して、非接触型の軸受としてスライド可能になる。

図２（ｂ）に表したように、移動体２０の第１部材２１と第２部材２２とは、締結部材３０によって締結固定される。すなわち、締結部材３０は、第１部材２１のガイド部１０側の面の一部と、第２部材２２の端部面と、を締結する。

締結部材３０は複数設けられ、軸方向Ｄ１に所定の間隔で配置される。締結部材３０の間隔ｐ２０は、移動体２０の軸方向Ｄ１の長さＬ２０の例えば１／８〜１／１６程度である。これにより、第１部材２１と第２部材２２との締結力が軸方向Ｄ１で効果的に均一化される。

なお、図２（ｂ）に表した例では、第１部材２１ご第２部材２２との間を締結部材３０によって締結固定しているが、第２部材２２と第３部材との間や、第１部材２１と第３部材２３との間を締結部材３０で締結固定してもよい。本実施形態では、特に指定しない限り、第１部材２１と第２部材２２との間の締結を例として説明するが、他の部材間の締結であっても同様である。

図３は、本実施形態における締結部材を例示する模式的断面図である。
図３には、締結部材を拡大した模式的断面図が表される。
図４は、参考例における締結部材を例示する模式的断面図である。
図４には、締結部材を拡大した模式的断面図が表される。

図３に表した本実施形態における締結部材３０はボルトＢ１を含む。第１部材２１には貫通孔ｈ１が設けられる。貫通孔ｈ１の上方面２１ａ側には、ざぐりｈ１１が設けられる。第２部材２２には貫通しない穴ｈ３が設けられる。穴ｈ３は、第２部材２２の上方面２２ａから内部の途中まで設けられる。ボルトＢ１は、貫通孔ｈ１から穴ｈ３に通される。ボルトＢ１の頭部は、ざぐりｈ１１内に収まる。

ボルトＢ１は、介在部３５を介して第２部材２２と結合される。介在部３５は、第２部材２２の上方面２２ａ側に設けられる。介在部３５は、第２部材２２に設けられた穴ｈ３の内壁に挿入される。介在部３５は、介在部３５の内側面３５ａにてボルトＢ１と結合される。ボルトＢ１は、介在部３５と例えば螺合される。介在部３５は、介在部３５の外側面３５ｂにて第２部材２２と螺合される。第２部材２２は、介在部３５と例えば螺合される。

このように、本実施形態では、第２部材２２の上方面２２ａ側に設けられた介在部３５を介して、第１部材２１の上方面側と第２部材２２と端部面側とが締結部材３０によって締結結合される。

図４に表した参考例における締結部材３９はボルトＢ３を含む。第１部材２１には貫通孔ｈ１が設けられる。貫通孔ｈ１の上方面２１ａ側には、ざぐりｈ１１が設けられる。第２部材２２には貫通孔ｈ４が設けられる。貫通孔ｈ４の下方面２２ｂ側には、ざぐりｈ４１が設けられる。ボルトＢ３は、貫通孔ｈ１から貫通孔ｈ４に通される。ボルトＢ３の頭部は、ざぐりｈ１１内に収まる。

ボルトＢ３は、ナットＮと締結される。ナットＮは、第２部材２２の下方面２２ｂ側からざぐりｈ４１内に配置される。ナットＮは、ざぐりｈ４１内に固定されている。ナットＮは、ざぐりｈ４１内に嵌め込まれていてもよい。

ボルトＢ３は、貫通孔ｈ１及び貫通孔ｈ４に通され、ナットＮと締結される。ボルトＢ３とナットＮとの間に第１部材２１と第２部材２２とが挟まれ、ボルトＢ３とナットＮとの締結によって第１部材２１と第２部材２２とが締結結合される。

上記のように、本実施形態における締結部材３０では、ボルトＢ１は、第２部材２２の上方面２２ａ側に設けられた介在部３５と結合される。一方、参考例における締結部材３９では、ボルトＢ３は、第２部材２２の下方面２２ｂ側に設けられたナットＮと結合される。したがって、本実施形態におけるボルトＢ１の長さは、参考例におけるボルトＢ３の長さよりも短くなる。

また、本実施形態では、ボルトＢ１を第２部材２２の上方面２２ａ側で介在部３５と結合するため、第２部材２２にボルトＢ１を通すための貫通孔を設ける必要はない。一方、参考例では、ボルトＢ３を第２部材２２の下方面２２ｂ側でナットＮと結合するため、第２部材２２にボルトＢ３を通すための貫通孔ｈ４を設ける必要がある。このため、本実施形態では、参考例に比べて第２部材２２の剛性が高まる。

このように、本実施形態では、参考例に比べて短いボルトＢ１を使用し、第２部材２２の上方面２２ａ側で固定でき、ボルトＢ１を通すための貫通孔を設ける必要がないことから、第１部材２１と第２部材２２とを締結固定する際に、ガイド部１０の変形が抑制されるとともに、ガイド部１０の剛性を高めることができる。

図５（ａ）及び（ｂ）は、締結部材の詳細を例示する模式図である。
図５（ａ）には、締結部材３０を拡大した模式的断面図が表されている。図５（ｂ）には、介在部３５の模式的斜視図が表されている。

図５（ａ）に表したように、ボルトＢ１は、介在部３５を介して第２部材２２と結合される。図５（ｂ）に表したように、介在部３５は、筒状の部材である。介在部３５の内側面３５ａには雌ねじＩＴが設けられ、外側面３５ｂには雄ねじＥＴが設けられる。

介在部３５には、例えば金属材料が用いられる。介在部３５に使用される金属材料としては、例えばステンレス鋼材（ＳＵＳ）が挙げられる。

介在部３５は、第２部材２２に設けられた穴ｈ３の内壁に沿って挿入される。第２部材２２の穴ｈ３には、介在部３５の外側面３５ｂに設けられた雄ねじＥＴが螺合する雌ねじ（図示せず）が形成されている。この雌ねじに介在部３５の雄ねじＥＴをねじ込むことで介在部３５は穴ｈ３の内壁に沿って挿入される。

介在部３５は、穴ｈ３から飛び出すことなく挿入される。したがって、穴ｈ３の深さは、介在部３５の長さよりも深い。

図５（ａ）に表したように、介在部３５の外形Ｒ２は、ボルトＢ１の外形Ｒ１よりも大きい。このような介在部３５を介してボルトＢ１により第１部材２１と第２部材２２とを締結結合することにより、第１部材２１の下方面２１ｂ側と第２部材２２の上方面２２ａ側との締結荷重応力が分散する。これによって、移動体２０の締結剛性が均一化される。

第２部材２２の上方面２２ａ側には、隙間Ｇ１が設けられる。隙間Ｇ１は、例えば穴ｈ３の開口側に設けられたざぐり状の部分である。このような隙間Ｇ１が設けられていると、隙間Ｇ１が逃げ部となり、移動体２０全体の変形が抑制される。これにより、移動体２０の剛性性能の低下が抑制され、静圧気体軸受１１０の固有振動数の向上につながる。

隙間Ｇ１は、例えば穴ｈ３の縁部分に設けられたＣ面取りやＲ面取りを形成することによって設けられていてよい。Ｃ面取りやＲ面取りによって、穴ｈ３は、内部（第２部材２２と介在部３５との結合部分）から上方面１２ａに向かって拡径する。

Ｃ面取りやＲ面取りによって隙間Ｇ１が形成されると、穴ｈ３の縁部分に加わる応力が効果的に分散し、第１部材２１と第２部材２２との締結固定時に応力のかかり方が緩やかになる。

なお、隙間Ｇ１は、第１部材２１の下方面２１ｂと第２部材２２の上方面２２ａとの少なくとも一方に設けられていればよい。第１部材２１の下方面２１ｂに隙間Ｇ１を設けるには、貫通孔ｈ１の下側の開口の縁部分にＣ面取りやＲ面取りを形成すればよい。第１部材２１の下方面２１ｂ及び第２部材２２の上方面２２ａの両方に隙間Ｇ１が設けられていると、締結荷重応力の分散効果が高まる。

また、第２部材２２の介在部３５との結合部分よりも下方側には、第２部材１２と介在部３５とが螺合されていない空間Ｇ２が設けられる。すなわち、介在部３５の長さは、穴ｈ３の深さよりも短い。これにより、介在部３５を穴ｈ３内に埋め込んでも、介在部３５の下端と穴ｈ３の底との間に空間Ｇ２が形成される。

このような空間Ｇ２が設けられていることで、金属破片等が発生しても、第１部材２１と第２部材２２との締結時に空間Ｇ２内に金属破片等を閉じ込めることができる。例えば、介在部３５が金属製の場合、介在部３５を穴ｈ３内に挿入する作業途中で金属破片等が発生する場合がある。穴ｈ３は貫通孔ではないため、金属破片等は穴ｈ３の底に溜まる。この状態でボルトＢ１を締結すると、穴ｈ３はボルトＢ１によって塞がれる。金属破片等は穴ｈ３から外に出ることはない。これにより、金属破片等が強い締結に悪影響を及ぼさないようにすることができる。

ここで、本実施形態における締結部材３０と、参考例における締結部材３９との締結応力の差について説明する。
図６（ａ）及び（ｂ）は、締結イメージを表す模式図である。
図６（ａ）には本実施形態における締結部材３０での締結イメージが表され、図６（ｂ）には参考例における締結部材３９での締結イメージが表されている。説明の便宜上、第１部材２１及び第２部材２２のみを表し、ボルトＢ１、Ｂ３、介在部３５、ナットＮは表していない。

図６（ａ）に表したように、本実施形態における締結部材３０での締結イメージには、締結の長さＴＬ１、第１部材２１側の締結幅ＴＷ１１、第２部材１２側の締結幅ＴＷ１２が表されている。

図６（ｂ）に表したように、参考例における締結部材３９での締結イメージには、締結の長さＴＬ２、第１部材２１側の締結幅ＴＷ２１、第２部材２２側の締結幅ＴＷ２２が表されている。

締結部材３０による締結の長さＴＬ１は、締結部材３９による締結の長さＴＬ２よりも短い。締結部材３０による締結幅ＴＷ１１は、締結部材３９による締結幅ＴＷ２１と等しい。締結部材３０による締結幅ＴＷ１２は、締結部材３９による締結幅Ｔ２２よりも広い。

図７（ａ）及び（ｂ）は、締結時の変形量を表す図である。
図７（ａ）には、図６（ａ）に表した締結イメージでの変形量が表され、図７（ｂ）には、図６（ｂ）に表した締結イメージでの変形量が表されている。図７（ａ）及び（ｂ）は、第１部材２１及び第２部材２２をそれぞれの締結部材３０及び３９で締結した際の上部材１１の変形量をシミュレーション計算した結果である。

図７（ａ）に表したように、本実施形態における締結部材３０で締結した場合には、第１部材２１の上面端部での変形量は０．１マイクロメートル（μｍ）である。一方、図７（ｂ）に表したように、参考例における締結部材３９で締結した場合には、第１部材２１の上面端部での変形量は０．３μｍである。このように、締結部材３０で締結したほうが、締結部材３９で締結するよりも締結荷重応力が分散化して、第１部材２１の上面端部での変形量が少なくなることが分かる。

図８（ａ）及び（ｂ）は、締結時の反り量を表す模式図である。
図８（ａ）には、本実施形態における締結部材３０で締結した場合の移動体２０の反りの状態が表され、図８（ｂ）には、参考例における締結部材３９で締結した場合の移動体２０の反りの状態が表されている。図８（ａ）及び（ｂ）のいずれにおいても、移動体２０の一部が表されている。なお、図８（ａ）及び（ｂ）のいずれにも締結部材３０及び３９は示されないが、図８（ａ）に示す例では、第１部材２１と第２部材２２との間、及び第３部材２３と第２部材２２との間を、それぞれ締結部材３０で締結している。また、図８（ｂ）に示すでは、第１部材２１と第３部材２３との間を締結部材３９で締結している。図示された２点鎖線は、理想的な形状を表している。

図８（ｂ）に表したように、参考例における締結部材３９で締結した場合には、移動体２０の変形量が多い。一方、図８（ａ）に表したように、本実施形態における締結部材３０で締結した場合には、図８（ｂ）に表した締結部材３９で締結する場合に比べて移動体２０の変形量が抑制されていることが分かる。

強固な固定が必要とされる移動体２０には、高いトルク値での締結が必要である。したがって、螺合結合された介在部３５を用いて締結は、移動体２０の部材固定に適している。接着剤等で介在部材を設けた場合、接着剤の劣化やクリープ変形等の心配があり、長期信頼性に影響を及ぼす可能性がある。

また、介在部材のある第２部材２２の第１部材２１との接触面側に、応力を緩和させるための逃げ部や面取り部を設けることで、移動体２０の変形が効果的に抑制される。移動体２０自体に変形がある場合、エアパッド面とガイド部１０との隙間量が変化してしまい、剛性低下を招く恐れがある。そのため、移動体２０の変形の抑制はエアパッドの剛性性能の低下防止となる。

次に、移動体の構成例について説明する。
図９（ａ）〜図１５は、移動体の構成例を表す模式的断面図である。
図９（ａ）〜図１５のいずれにおいても、移動体２０を軸方向Ｄ１にみた模式的断面図が表されている。

図９（ａ）には、第２部材２２の上に第１部材２１を重ねた例が表される。第１部材２１は、第２部材２２と締結部材３０によって締結固定される。移動体２０においては、少なくとも１箇所において第１部材２１と第２部材２２とを締結部材３０で締結固定することにより、剛性性能の向上効果が得られる。なお、図９（ａ）には、第１部材２１の側面の位置と、第２部材２２の側面の位置と、が一致している例を表しているが、必ずしも一致していなくてもよい。例えば、第１部材２１の端部が、第２部材２２の側面よりも外方に延在していてもよい。

図９（ｂ）には、一方の第２部材２２及び他方の第２部材２２の上に第１部材２１を重ねた例が表される。第１部材２１は、一方の第２部材２２及び他方の第２部材２２のそれぞれと、締結部材３０によって締結固定される。第１部材２１と、２つの第２部材２２のそれぞれについて締結部材３０で締結固定することにより、移動体２０の剛性性能がさらに向上する。なお、図９（ｂ）には、第１部材２１の側面の位置と、第２部材２２の側面の位置と、が一致している例を表しているが、必ずしも一致していなくてもよい。例えば、第１部材２１の端部が、第２部材２２の側面よりも外方に延在していてもよい。

図９（ｃ）には、対向する２つの第２部材２２の間に、第１部材２１を挟むように固定する例が表される。一方の第２部材２２は、第１部材２１の一方の側面２１ｓと接し、他方の第２部材２２は、第１部材２１の他方の側面２１ｓと接する。第１部材２１は、一方の第２部材２２及び他方の第２部材２２のそれぞれと、締結部材３０によって締結固定される。

第１部材２１の下側であって２つの第２部材２２の間にはガイド部１０が配置される。２つの第２部材２２のそれぞれを、第１部材２１の側面２１ｓに固定する場合、２つの第２部材２２の間隔は、第１部材２１の幅（２つの側面２１ｓの間隔）によって正確に設定される。したがって、移動体２０をガイド部１０の上に配置した場合、２つの第２部材２２のそれぞれと、ガイド部１０との間隔が正確に設定される。

図９（ｃ）に表した例では、２つの第２部材２２のそれぞれを、第１部材２１の側面２１ｓに固定するだけで、特別な調整を行うことなく第２部材２２とガイド部１０との間隔が正確に設定される。したがって、移動体２０の製造が容易になる。

なお、移動体２０の構成例としては、図９（ｄ）に表したように、１つの第１部材２１と、１つの第２部材２２とを組み合わせた構成であってもよい。この場合、第１部材２１と第２部材２２との締結は、図９（ｂ）及び（ｃ）のいずれかを適用すればよい。

図１０（ａ）には、一方の第３部材２３の上に一方の第２部材２２を重ね、他方の第３部材２３の上に他方の第２部材２２を重ね、一方の第２部材２２及び他方の第２部材２２の上に第１部材２１を重ねた例が表される。

第１部材２１は、一方の第２部材２２及び他方の第２部材２２のそれぞれと、締結部材３０によって締結固定される。一方の第３部材２３は、一方の第２部材２２と締結部材３０で締結固定される。他方の第３部材２３は、他方の第２部材２２と締結部材３０で締結固定される。第１部材２１と第２部材２２との間、及び第３部材２３と第２部材２２との間をそれぞれ締結部材３０によって締結固定することにより、移動体２０の剛性性能が向上する。

第１部材２１と第３部材２３との間、及び２つの第２部材２２の間にはガイド部１０が配置される。図１０（ａ）に表した例では、第１部材２１と第３部材２３との間隔は、第２部材２２の厚さによって正確に設定される。したがって、移動体２０をガイド部１０の上に配置した場合、第１部材２１とガイド部１０との間隔、及び第３部材２３とガイド部１０との間隔のそれぞれが、正確に設定される。

図１０（ａ）に表した例では、第２部材２２の上面に第１部材２１を固定し、第２部材２２の下面に第３部材２３を固定するだけで、特別な調整を行うことなく第１部材２１とガイド部１０との間隔、及び第３部材２３とガイド部１０との間隔が正確に設定される。したがって、移動体２０の製造が容易になる。なお、図１０（ａ）には、第１部材２１及び第３部材２３の側面の位置と、第２部材２２の側面の位置と、が一致している例を表しているが、必ずしも一致していなくてもよい。例えば、第１部材２１の端部及び第３部材２３の端部の少なくとも一方が、第２部材２２の側面よりも外方に延在していてもよい。

図１０（ｂ）には、対向する２つの第２部材２２の間に、第１部材２１を挟むように固定し、２つの第２部材２２の互いに対向する側面２２ｓのそれぞれに第３部材２３を固定する例が表される。第１部材２１は、２つの第２部材２２のそれぞれの側面２２ｓの上部に固定される。一方の第３部材２３は、一方の第２部材２２の側面２２ｓの下部に固定される。他方の第３部材２３は、他方の第２部材２２の側面２２ｓの下部に固定される。

第１部材２１は、一方の第２部材２２及び他方の第２部材２２のそれぞれと、締結部材３０によって締結固定される。一方の第３部材２３は、一方の第２部材２２と締結部材３０によって締結固定される。他方の第３部材２３は、他方の第２部材２２と締結部材３０によって締結固定される。

図１０（ｂ）に表した例において、一方の第２部材２２は、第１部材２１の一方の側面２１ｓと接し、他方の第２部材２２は、第１部材２１の他方の側面２１ｓと接する。すなわち、図１０（ｂ）に表した例では、図９（ｃ）に表した例と同様に、２つの第２部材２２の間隔が、第１部材２１の幅によって正確に設定される。

図１１（ａ）には、一方の第２部材２２及び他方の第２部材２２の上に第１部材２１を重ね、２つの第２部材２２の互いに対向する側面２２ｓのそれぞれに第３部材２３を固定する例が表される。

第１部材２１は、一方の第２部材２２及び他方の第２部材２２のそれぞれと、締結部材３０によって締結固定される。一方の第３部材２３は、一方の第２部材２２と締結部材３０によって締結固定される。他方の第３部材２３は、他方の第２部材２２と締結部材３０によって締結固定される。なお、図１１（ａ）には、第１部材２１の側面の位置と、第２部材２２の側面の位置と、が一致している例を表しているが、必ずしも一致していなくてもよい。例えば、第１部材２１の端部が、第２部材２２の側面よりも外方に延在していてもよい。

図１１（ｂ）には、一方の第３部材２３の上に一方の第２部材２２を重ね、他方の第３部材２３の上に他方の第２部材２２を重ね、対向する２つの第２部材２２の間に、第１部材２１を挟むように固定した例が表される。

第１部材２１は、２つの第２部材２２のそれぞれの側面２２ｓの上部に固定される。第１部材２１は、一方の第２部材２２及び他方の第２部材２２のそれぞれと、締結部材３０によって締結固定される。一方の第３部材２３は、一方の第２部材２２と締結部材３０で締結固定される。他方の第３部材２３は、他方の第２部材２２と締結部材３０で締結固定される。なお、図１１（ｂ）には、第３部材２３の側面の位置と、第２部材２２の側面の位置と、が一致している例を表しているが、必ずしも一致していなくてもよい。例えば、第３部材２３の端部が、第２部材２２の側面よりも外方に延在していてもよい。

移動体２０の構成例としては、図１１（ｃ）に表したように、１つの第１部材２１と、１つの第２部材２２と、１つの第３部材２３とを組み合わせた構成であってもよい。この場合、第１部材２１、第２部材２２及び第３部材２３の結合は、図１０（ａ）〜図１１（ｂ）のいずれかを適用すればよい。

また、移動体２０の構成例としては、図１１（ｄ）に表したように、１つの第１部材２１と、２つの第２部材２２と、１つの第３部材２３とを組み合わせた構成であってもよい。この場合、第１部材２１、２つの第２部材２２及び第３部材２３の結合は、図１０（ａ）〜図１１（ｂ）のいずれかを適用すればよい。

図１２（ａ）には、第３部材２３の上に一方の第２部材２２及び他方の第２部材２２を重ね、一方の第２部材２２及び他方の第２部材２２の上に第１部材２１を重ねた例が表される。２つの第２部材２２は、第１部材２１と第３部材２３との間に挟まれる。

第１部材２１は、一方の第２部材２２及び他方の第２部材２２のそれぞれと、締結部材３０によって締結固定される。第３部材２３は、一方の第２部材２２及び他方の第２部材２２のそれぞれと、締結部材３０によって締結固定される。なお、図１２（ａ）には、第１部材２１及び第３部材２３の側面の位置と、第２部材２２の側面の位置と、が一致している例を表しているが、必ずしも一致していなくてもよい。例えば、第１部材２１の端部及び第３部材２３の端部の少なくとも一方が、第２部材２２の側面よりも外方に延在していてもよい。

図１２（ａ）に表した例では、ガイド部１０は、第１部材２１、第２部材２２及び第３部材２３によって囲まれた部分に配置される。図１２（ａ）に表した例では、第１部材２１と第３部材２３との間隔は、第２部材２２の厚さによって正確に設定される。したがって、移動体２０をガイド部１０に配置した場合、第１部材２１とガイド部１０との間隔、及び第３部材２３とガイド部１０との間隔のそれぞれが、正確に設定される。

図１２（ｂ）には、対向する２つの第２部材２２の間に、第１部材２１を挟むように固定し、対向する２つの第２部材２２の間に、第３部材２３を固定する例が表される。第１部材２１は、２つの第２部材２２のそれぞれの側面２２ｓの上部に固定される。第３部材２３は、２つの第２部材２２のそれぞれの側面２２ｓの下部に固定される。

第１部材２１は、一方の第２部材２２及び他方の第２部材２２のそれぞれと、締結部材３０によって締結固定される。第３部材２３は、一方の第２部材２２及び他方の第２部材２２のそれぞれと締結部材３０によって締結固定される。図１２（ｂ）に表した例では、２つの第２部材２２の間隔が、第１部材２１の幅及び第３部材２３の幅によって正確に設定される。

図１３（ａ）には、一方の第２部材２２及び他方の第２部材２２の上に第１部材２１を重ね、対向する２つの第２部材２２の間に、第３部材２３を固定する例が表される。第１部材２１は、一方の第２部材２２及び他方の第２部材２２のそれぞれと、締結部材３０によって締結固定される。第３部材２３は、２つの第２部材２２のそれぞれの側面２２ｓの下部に固定される。なお、図１３（ａ）には、第１部材２１の側面の位置と、第２部材２２の側面の位置と、が一致している例を表しているが、必ずしも一致していなくてもよい。例えば、第１部材２１の端部が、第２部材２２の側面よりも外方に延在していてもよい。

第１部材２１は、一方の第２部材２２及び他方の第２部材２２のそれぞれと、締結部材３０によって締結固定される。第３部材２３は、一方の第２部材２２及び他方の第２部材２２のそれぞれと締結部材３０によって締結固定される。図１３（ａ）に表した例では、２つの第２部材２２の間隔が、第３部材２３の幅によって正確に設定される。

図１３（ｂ）には、第３部材２３の上に一方の第２部材２２及び他方の第２部材２２を重ね、対向する２つの第２部材２２の間に、第１部材２１を挟むように固定した例が表される。なお、図１３（ｂ）には、第３部材２３の側面の位置と、第２部材２２の側面の位置と、が一致している例を表しているが、必ずしも一致していなくてもよい。例えば、第３部材２３の端部が、第２部材２２の側面よりも外方に延在していてもよい。

第１部材２１は、一方の第２部材２２及び他方の第２部材２２のそれぞれと、締結部材３０によって締結固定される。第３部材２３は、一方の第２部材２２及び他方の第２部材２２のそれぞれと、締結部材３０によって締結固定される。図１３（ｂ）に表した例では、２つの第２部材２２の間隔が、第１部材２１の幅によって正確に設定される。

図１４（ａ）には、一方の第３部材２３の上に一方の第２部材２２を重ね、他方の第３部材２３の上に他方の第２部材２２を重ね、一方の第２部材２２及び他方の第２部材２２の上に第１部材２１を重ねた例が表される。

第１部材２１は、一方の第３部材２３及び他方の第３部材２３のそれぞれと、締結部材３０によって締結固定される。締結部材３０は、第２部材２２を貫通して設けられる。第１部材２１と第３部材２３とを締結部材３０で締結固定することにより、第２部材２２を第１部材１２と第３部材２３との間で挟持するように固定する。なお、図１４（ａ）には、第１部材２１及び第３部材２３の側面の位置と、第２部材２２の側面の位置と、が一致している例を表しているが、必ずしも一致していなくてもよい。例えば、第１部材２１の端部及び第３部材２３の端部の少なくとも一方が、第２部材２２の側面よりも外方に延在していてもよい。

図１４（ａ）に表した例では、締結部材３０によって、第１部材２１、第２部材２２及び第３部材２３を締結固定するため、図１０（ａ）に表した例に比べて締結部材３０の個数を減らすことができる。

図１４（ｂ）には、第３部材２３の上に一方の第２部材２２及び他方の第２部材２２を重ね、一方の第２部材２２及び他方の第２部材２２の上に第１部材２１を重ねた例が表される。２つの第２部材２２は、第１部材２１と第３部材２３との間に挟まれる。

第１部材２１は、第３部材２３と締結部材３０によって締結固定される。締結部材３０は、第２部材２２を貫通して設けられる。第１部材２１と第３部材２３とを締結部材３０で締結固定することにより、第２部材２２を第１部材１２と第３部材２３との間で挟持するように固定する。なお、図１４（ｂ）には、第１部材２１及び第３部材２３の側面の位置と、第２部材２２の側面の位置と、が一致している例を表しているが、必ずしも一致していなくてもよい。例えば、第１部材２１の端部及び第３部材２３の端部の少なくとも一方が、第２部材２２の側面よりも外方に延在していてもよい。

図１４（ｂ）に表した例では、締結部材３０によって、第１部材２１、第２部材２２及び第３部材２３を締結固定するため、図１２（ａ）に表した例に比べて締結部材３０の個数を減らすことができる。

図１５には、２つの移動体２０を連結した例が表される。この例では、２つの移動体２０の上に連結板４０が設けられる。２つの移動体２０は、連結板４０によって連結される。連結板４０は、２つの移動体２０のそれぞれと、締結部材３０によって締結固定される。このように、連結板４０によって２つの移動体２０を連結する構成であっても、締結部材３０で締結固定することにより、移動体２０の剛性性能の向上効果が得られる。

また、移動体２０には、リニアモータやリニアスケールなどの部品４５が取り付けられる場合もある。部品４５を移動体２０に取り付ける場合にも、部品４５を締結部材３０によって移動体２０に締結固定することが望ましい。部品４５を締結部材３０で締結固定することにより、移動体２０に部品４５を取り付けた場合でも移動体２０の剛性性能の向上効果が得られる。

図１６は、固有振動数を例示する図である。
図１６には、参考例１、実施例１及び実施例２に係る静圧気体軸受の固有振動数が示されている。参考例１に係る静圧気体軸受は、締結部材３９を用いた静圧気体軸受である。実施例１及び実施例２に係る静圧気体軸受は、締結部材３０を用いた静圧気体軸受である。実施例１は、図１４（ａ）に表した第１部材２１と第３部材２３との間を締結部材３０で締結固定した例である。実施例２は、図１０（ａ）に表した第１部材２１と第２部材２２との間を締結部材３０で締結固定した例である。いずれの例においても、締結部材のピッチは８２．５ｍｍである。

参考例１では、固有振動数が６６．７（Ｈｚ）である。実施例１では、固有振動数が７９（Ｈｚ）である。実施例１の固有振動数は、参考例１の固有振動数を基準にして１８％向上している。実施例２では、固有振動数が８７．２（Ｈｚ）である。実施例２の固有振動数は、参考例１の固有振動数を基準にして３０％向上している。

一般的に静圧気体軸受に求められる固有振動数の目安は、６０Ｈｚ以上である。これは、０〜３０Ｈｚが静圧気体軸受を設置する定盤５０を含めた床の振動域であり、３０〜６０Ｈｚが制御系を含めた電気関係の周波数域であるためである。本実施形態では、移動体２０に締結部材３０を用いて締結固定することで、参考例に係る締結部材３９を用いて締結固定する場合に比べて高い固有振動数を得ることができる。図１６に表したように、本実施形態では、固有振動数を約２０〜３０％向上できる。これは、特に、高速化に伴う駆動モータ(リニアモータ等)の出力増大に対して非常に有用である。

本実施形態に係る静圧気体軸受１１０において、移動体２０に加え、ガイド部１０に締結部材３０を適用してもよい。
図１７（ａ）〜（ｃ）は、ガイド部の構成例を表す模式的断面図である。
図１７（ａ）には、ガイド部１０における締結部材３０及びその周辺が表される。図１７（ｂ）には、横方向Ｄ２に１列の締結部材３０を設けた例が表され、図１７（ｃ）には、横方向Ｄ２に２列の締結部材３０を設けた例が表される。

図１７（ａ）に表したように、ガイド部１０の下部材１２は、ボルトＢ２によって定盤５０に固定される。下部材１２には貫通孔ｈ２が設けられる。貫通孔ｈ２の上方面１２ａ側には、ざぐりｈ２１が設けられる。ボルトＢ２は、貫通孔ｈ２を介して下方の定盤５０に固定される。ボルトＢ２の頭部は、ざぐりｈ２１内に収まる。

上部材１１には貫通孔ｈ１が設けられる。貫通孔ｈ１の上方面１１ａ側には、ざぐりｈ１１が設けられる。下部材１２には貫通しない穴ｈ３が設けられる。穴ｈ３は、下部材１２の上方面１２ａから内部の途中まで設けられる。ボルトＢ１は、貫通孔ｈ１から穴ｈ３に通される。ボルトＢ１の頭部は、ざぐりｈ１１内に収まる。

ボルトＢ１は、介在部３５を介して下部材１２と結合される。介在部３５は、下部材１２の上方面１２ａ側に設けられる。介在部３５は、下部材１２に設けられた穴ｈ３の内壁に挿入される。介在部３５は、介在部３５の内側面３５ａにてボルトＢ１と結合される。ボルトＢ１は、介在部３５と例えば螺合される。介在部３５は、介在部３５の外側面３５ｂにて下部材１２と螺合される。下部材１２は、介在部３５と例えば螺合される。

このように、本実施形態では、下部材１２の上方面１２ａ側に設けられた介在部３５を介して、上部材１１が下部材１２と締結部材３０によって締結される。

上部材１１と下部材１２とを締結固定する締結部材３０は、図１７（ａ）に表したように、横方向Ｄ２に１列に設けても、図１７（ｃ）に表したように、横方向Ｄ２に２列に設けてもよい。また、３列以上設けてもよい。

ここで、図１７（ｂ）に表したように、横方向Ｄ２に２列の締結部材３０を配置した場合には、上部材１１の横方向Ｄ２の端部（自由端部）と、その端部に最も近い締結部材３０との距離は、Ｗ１０ａ及びＷ１０ｂになる。一方、図１７（ｃ）に表したように、横方向Ｄ２に２列の締結部材３０を配置した場合には、上部材１１の横方向Ｄ２の端部（自由端部）と、その端部に最も近い締結部材３０との距離は、Ｗ１１ａ及びＷ１１ｂになる。

図１７（ｃ）に表したように、横方向Ｄ２に２列に締結部材３０を配置した場合には、上部材１１の横方向Ｄ２の端部までの距離Ｗ１０ａ及びＷ１０ｂは、図１７（ｂ）に表した距離Ｗ１１ａ及びＷ１１ｂよりも短い。自由端部の長さが短くなることで、ガイド部１０のローリング方向に対する剛性が高まる。したがって、このガイド部１０に移動体２０を設けた静圧気体軸受１２０では、静圧気体軸受１１０に比べてローリング方向に対する剛性が高まり、静圧気体軸受１１０の固有振動数が向上する。これにより、静圧気体軸受１１０では、移動体２０を高い精度でガイドできるようになる。

図１８（ａ）及び（ｂ）は、ガイド部の締結時の反り量を表す模式図である。
図１８（ａ）には、本実施形態における締結部材３０で締結した場合のガイド部１０の反りの状態が表され、図１８（ｂ）には、参考例における締結部材３９で締結した場合のガイド部１０の反りの状態が表されている。

いずれの例においては、ガイド部１０の長さＬ１０は約１０００ミリメートル（ｍｍ）であり、下部材１２を定盤５０に固定しないで上部材１１と下部材１２とをそれぞれの締結部材３０及び３９で固定している。いずれの例においても、ガイド部１０は上向きに凹になるように反っている。

図１８（ａ）に表したように、本実施形態における締結部材３０で締結した場合には、ガイド部１０の軸方向Ｄ１の反り量は約５μｍである。一方、図１８（ｂ）に表したように、参考例における締結部材３９で締結した場合には、ガイド部１０の軸方向Ｄ１の反り量は約２０μｍである。締結部材３０で締結したほうが、締結部材３９で締結するよりも締結荷重応力が分散化して、ガイド部１０の反り量が少なくなることが分かる。

このように、第１の実施形態によれば、上部材１１と下部材１２とを締結固定したガイド部１０において、ガイド部１０の変形を少なく上部材１１と下部材１２とを強固に締結することができる。これにより、静圧気体軸受１１０の固有振動数が向上し、移動体２０を高い精度でガイドできるようになる。

以上説明したように、本実施形態によれば、締結剛性を高めて精度の高いガイドを行うことができる静圧気体軸受１１０を提供することができるようになる。

以上、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明はこれらの記述に限定されるものではない。前述の実施の形態に関して、当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。例えば、本実施形態ではＴ型のガイド部１０を例として説明したが、上部材１１と下部材１２とを締結部材３０によって締結固定する構成であればＴ型以外（例えば、箱型）であってもよい。

また、本実施形態では、移動体２０が１軸方向に移動可能に設けられた例を説明したが、ガイド部１０及び移動体２０の組を複数組用意し、それぞれの組について異なる軸方向（例えば、直交する方向）に組み合わせることで、多軸（例えば、Ｘ，Ｙの２軸）の静圧気体軸受を構成してもよい。また、それぞれの組について同じ軸方向（平行な方向）に組み合わせて隣り合う移動体２０を連結板で結合することで、１軸方向の移動を複数のガイド部１０及び移動体２０でガイドする静圧気体軸受を構成してもよい。

また、前述した各実施の形態が備える各要素は、技術的に可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。

１０…ガイド部、１１…上部材、１１ａ…上方面、１１ｂ…下方面、１２…下部材、１２ａ…上方面、１２ｂ…下方面、２０…移動体、２１…第１部材、２２…第２部材、２３…第３部材、３０…締結部材、３５…介在部、３５ａ…内側面、３５ｂ…外側面、３９…締結部材、５０…定盤、１１０，１２０…静圧気体軸受、Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３…ボルト、ｈ１…貫通孔、ｈ２…貫通孔、ｈ３…穴、ｈ４…貫通孔

Claims (12)

1. 移動体と、
   前記移動体と対向する位置に配設されたガイド部と、
   を備えた静圧気体軸受であって、
   前記移動体は、
   セラミック製の上板と、
   セラミック製の側板と、
   前記上板と前記側板とを締結する第１締結部材と、
   前記側板の上端部に設けられ、前記第１締結部材と前記側板とを結合する第１介在部と、
   を含み、
   前記第１締結部材は、前記上板の上方面側と前記側板の前記上端部側とを締結結合し、
   前記第１介在部は、前記第１介在部の内側面にて前記第１締結部材と螺合されるとともに、前記第１介在部の外側面にて前記側板と螺合されたことを特徴とする静圧気体軸受。
2. 移動体と、
   前記移動体と対向する位置に配設されたガイド部と、
   を備えた静圧気体軸受であって、
   前記移動体は、
   セラミック製の上板と、
   セラミック製の側板と、
   前記上板と前記側板とを締結する第１締結部材と、
   前記上板の側端部に設けられ、前記第１締結部材と前記側板とを結合する第１介在部と、
   を含み、
   前記第１締結部材は、前記上板の前記側端部側と前記側板の前記ガイド部とは反対側とを締結結合し、
   前記第１介在部は、前記第１介在部の内側面にて前記第１締結部材と螺合されるとともに、前記第１介在部の外側面にて前記上板と螺合されたことを特徴とする静圧気体軸受。
3. 移動体と、
   前記移動体と対向する位置に配設されたガイド部と、
   を備えた静圧気体軸受であって、
   前記移動体は、
   セラミック製の上板と、
   セラミック製の下板と、
   前記上板と前記下板との間に設けられたセラミック製の側板と、
   前記上板と前記下板とを締結する第１締結部材と、
   前記下板の上端部に設けられ、前記第１締結部材と前記側板とを結合する第１介在部と、
   を含み、
   前記第１締結部材は、前記上板の上方面側と前記側板の前記上端部側とを締結結合し、
   前記第１介在部は、前記第１介在部の内側面にて前記第１締結部材と螺合されるとともに、前記第１介在部の外側面にて前記下板と螺合されたことを特徴とする静圧気体軸受。
4. 前記側板は複数設けられたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の静圧気体軸受。
5. 前記第１締結部材の外径よりも前記第１介在部の外径のほうが大きいことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の静圧気体軸受。
6. 前記締結部材によって締結される２つの部材のうち少なくとも一方には、締結固定時の応力を分散緩和する逃げ部が設けられた請求項１〜５のいずれか１つに記載の静圧気体軸受。
7. 前記締結部材によって締結される２つの部材のうち少なくとも一方には、締結固定時の応力を緩和するために前記第１締結部材と前記第１介在部との螺合部分から前記２つの部材の接触面に向かう方向に拡径する面取り部が設けられたことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１つに記載の静圧気体軸受。
8. 前記第１介在部の下方側には前記第１介在部が螺合されていない空間が設けられたことを特徴とする請求項１〜７のいずれか１つに記載の静圧気体軸受。
9. 前記移動体は、セラミック製の下板をさらに含み、
   前記下板は、前記ガイド部のガイド軸に沿った移動方向に対して直交する方向の長さが、前記上板よりも小さいことを特徴とする請求項１、２、４〜８のいずれか１つに記載の静圧気体軸受。
10. 前記下板は複数設けられたことを特徴とする請求項９記載の静圧気体軸受。
11. 前記移動体は、セラミック製の下板をさらに含み、
    前記上板、前記側板及び前記下板は、前記ガイド部を包囲するように配置されたことを特徴とする請求項１、２、４〜８のいずれか１つに記載の静圧気体軸受。
12. 前記移動体を構成する部材に、他の部材を第２締結部材により締結するための第２介在部が設けられ、
    前記第２介在部は、前記第２介在部の内側面で前記第２締結部材と結合されるとともに、前記第２介在部の外側面にて前記移動体を構成する部材と螺合される請求項１〜１１のいずれか１つに記載の静圧空気軸受。