JP2004116753A

JP2004116753A - 位置決め装置

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Publication number: JP2004116753A
Application number: JP2002284901A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Nakamura; 中村　剛; Nobuhito Saji; 佐治　伸仁
Original assignee: NSK Ltd
Current assignee: NSK Ltd
Priority date: 2002-09-30
Filing date: 2002-09-30
Publication date: 2004-04-15
Anticipated expiration: 2022-09-30
Also published as: US6954009B2; US20040145119A1; JP4182539B2

Abstract

【課題】排気系に何らかのトラブルが生じても、その影響を回避もしくは軽微にすることができる位置決め装置を提供する。
【解決手段】排気ポンプＰ２もしくはその配管にトラブルが生じた場合、大気に開放した溝１５４に隣接しているので、空気の漏れ込みにより溝１５３内は大気圧に近づくものの、溝１５１，１５２は依然として負圧に維持されるため、移動ブロック１３０の上下面において圧力差が生じ、移動ブロック１３０と中間ブロック１７０との間の隙間が小さくなることから、プロセス室Ｐ内の真空度が悪化する時間を遅らせることができ、その間に、処理中の処理対象物を密封する（例えばゲートバルブによる仕切り）などの対策をとることができる。又、排気ポンプＰ２もしくはその配管に生じたトラブルから復旧した場合、処理に必要な真空度までプロセス室Ｐ内を吸引するターボ分子ポンプを稼動させる時間も少なくて済み、早期に処理を再開できる。
【選択図】　図５

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、たとえば外部環境から隔離された室内でワークを移動可能な位置決め装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造装置などにおいては、真空や特殊ガス雰囲気に維持したプロセス室内で、ワークをステージに載置して移動させて加工処理することが行われている。ここで、プロセス室内に位置決め装置を設けると、その可動部に補給する潤滑剤などが飛散してプロセス室内を汚染するおそれがある。
【０００３】
このような問題に対して、たとえば米国特許第４１９１３８５号には、一体型負圧密封式ガス軸受組立体が開示されている。かかる従来技術においては、軸受ブロック上に２次元方向に移動可能な可動部を設け、さらに軸受ブロックと可動部との間にプロセス室を形成し、差動排気シールによりプロセス室と外部とを密封することによって、プロセス室を負圧環境に維持したまま、その内部で可動部上に載置したワークの処理を行えるようにしている。従って、ワークを駆動する駆動部をプロセス室外に設置することができ、それによりプロセス室の汚染を抑止でき、また駆動部のメンテナンスも容易に行えるようになっている。
【非特許文献１】
米国特許第４１９１３８５号
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このようなプロセス室内における加工処理は、半導体の製造など、極めて高い精度を要するワークに適用されるものである。ここで、加工の基準となる面を筐体の内面とすることも考えられる。しかしながら、例えばプロセス室を真空にした場合、プロセス室を覆う筐体には、筐体内外の気圧差に基づく大きな力が加わるので、微小な変形が生ずる。又、プロセス室と連通する開口を、移動ブロックに対峙させたとき、開口内が真空であることから、移動ブロック自体にも微小な変形が生じることとなる。かかる場合、移動ブロックが変形すると、加工の基準となる加工基準位置が変化して、精度の良い加工処理が行えない恐れがある。そのような問題に対し、移動ブロック等の肉厚を増大させることによって変形を抑えるという考えもある。しかしながら、移動ブロック等の肉厚を増大させると、装置全体が重くなるという新たな問題が生じる。
【０００５】
これに対し、移動ブロックを挟んでプロセス室と反対側に、プロセス室外より低圧の減圧室を設けることで、かかる移動ブロックを挟んで、プロセス室側の気圧と、減圧室側の気圧とを近づけて、移動ブロックの変形を抑制しようとする試みがある。しかるに、かかる構成においては、差動排気シールは、プロセス室側と減圧室側の双方に設ける必要があるが、ここで差動排気シールを動作させるための排気ポンプや配管に何らかのトラブルが生じると、プロセス室Ｐ内に大気が侵入して気圧が増大するなどの問題が生じ、処理中の対象物が不良品となってしまう恐れがある。
【０００６】
そこで本発明は、かかる従来技術の問題点に鑑み、排気系に何らかのトラブルが生じても、その影響を回避もしくは軽微にすることができる位置決め装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、第１の本発明の位置決め装置は、
減圧下に曝されるプロセス室内に連通する第１の開口を有する第１の案内面を備えた第１の筐体と、
前記第１の案内面に対して所定の隙間を介して対向した状態で、少なくとも一方向に移動可能に設けられた移動ブロックと、
前記移動ブロックを挟んで前記プロセス室と反対側に設けられ、前記移動ブロックとの間に、所定の隙間を介して対向した状態で案内する第２の案内面と、前記プロセス室外より低圧の減圧室とを備えた第２の筐体と、
前記第１の開口を囲むようにして、前記第１の筐体と前記移動ブロックとの間に設けられ、前記プロセス室内と、前記プロセス室内よりも高圧のプロセス室外との間をシールする複段の第１の差動排気シールと、
前記減圧室内を、前記減圧室内よりも高圧の減圧室外より低い圧力に維持するシール機構とを有し、
前記第１の差動排気シールのうち最も前記プロセス室から遠い位置の差動排気シールと、前記シール機構とは、同一の排気源に接続されていることを特徴とする。尚、本明細書中、差動排気シールの段とは、同じ面側に形成された差圧室等の数をいうものとする。
【０００８】
本発明を比較例と対比させて具体的に説明する。図１は、比較例の構成を示す概略図である。図１において、内部にプロセス室Ｐを有する第１の筐体１の案内面１ａと、内部に減圧室Ｒを有する第２の筐体２の案内面２ａとに、移動ブロック３が挟持されている。プロセス室Ｐ内及び減圧室Ｒ内は、それぞれ別々の不図示の排気ポンプにより排気されている。第１の筐体１の案内面１ａには、第１の差動排気シールを構成する、それぞれプロセス室Ｐを囲むように設けられた２段の差圧室４，５と、静圧軸受６とが配置されている。第２の筐体２の案内面２ａには、シール機構（ここでは第２の差動排気シール）を構成するそれぞれ減圧室Ｒを囲むように設けられた２段の差圧室７、８と、静圧軸受９とが配置されている。すなわち差圧室４，５と差圧室７，８は対称に配置されている。そして、差圧室４及び７は、共通の排気ポンプ（排気源、以下同じ）Ｐ１にまた、差圧室５及び８は共通の排気ポンプＰ２に接続されている。
【０００９】
また、排気ポンプＰ１及びＰ２と、差圧室との間には、それぞれ図１に示すようにバルブＶが設けられている。これは、万一排気ポンプＰ１あるいはＰ２に異常が検知された場合に、対応する差圧室との間を遮断するものであり、不図示の制御装置によりアクチュエータを介して駆動制御される。なお、制御装置に含まれる異常検知装置としては、例えば、排気ポンプやその冷却のための冷却水等の異常過熱を検知する温度測定装置システムやモータの負荷の異常な増大を検出する装置、排気ポンプの吸引圧力の低下を検出する圧力計、等が挙げられる。
【００１０】
ここで、排気ポンプＰ１もしくはその配管にトラブルが生じた場合、排気ポンプＰ１に対応するバルブＶの閉止及び排気ポンプＰ１の停止が不図示の制御装置により行われるが、移動ブロック３の図１で上下面における圧力差がないことから、排気ポンプＰ２による排気は依然として行われているものの、案内面１ａ、２ａに対する隙間は静圧軸受６、９により維持されているため、排気ポンプＰ１、Ｐ２とも正常な場合と比べると、差圧室４，５近傍は、静圧軸受６から吹き出される空気などの気体がプロセス室Ｐ内に侵入する割合が高くなる恐れがあり、例えば酸化させたくない処理対象物に酸素を供給してしまう恐れがある。また、特にプロセス室Ｐ内を高真空の状態で使用する用途では、一旦、真空度が低下してしまうと、トラブルの解消後、再度プロセス室Ｐ内を高真空の状態に復帰させるのに多大な時間を要するという問題もある。
【００１１】
そこで、排気ポンプ等のトラブルのリスクを分散すべく、排気ポンプ及び配管を独立させることが考えられる。図２は、別な比較例を示す概略図である。図１の構成に対して、差圧室４，５、７，８が別個の排気ポンプＰ１〜Ｐ４に接続され、これに対応して前記のような排気ポンプの異常発生時に作動させるバルブも各差圧室ごとに対応して設けられている点のみが異なっている。
【００１２】
図２の構成によれば、排気ポンプＰ３、Ｐ４もしくはその配管にトラブルが生じた場合、移動ブロック３の図２で上下面において圧力差が生じ、案内面１ａに対する隙間が小さくなることから、プロセス室Ｐ内の真空度が悪化することはない。
【００１３】
ところが、排気ポンプＰ２（プロセス室Ｐに遠い側の差圧室５を吸引）もしくはその配管にトラブルが生じた場合、単に、差動排気シールが２段から１段になることによる性能低下が生じるだけでなく、移動ブロック３の図２で上下面において逆の圧力差が生じ、案内面１ａに対する隙間が大きくなることから、むしろ前記図１で排気ポンプＰ１に不具合の発生した場合よりも、プロセス室Ｐ内の真空度がより悪化する恐れがある。
【００１４】
これに対し本発明によれば、以上の不具合を回避できる。図３は、本発明に対応する構成を示す概略図である。本発明に対応する構成においては、図２の構成に対して、第２の筐体２の案内面２ａにおいては差圧室を設けず、減圧室Ｒを囲む微小すきま部（ラビリンスシール部）の内側はそのまま減圧室Ｒにつながっており、且つプロセス室Ｐから遠い差圧室５と減圧室Ｒとを同じ排気ポンプＰ２に接続した点のみが異なっている。尚、差圧室４は独立した排気ポンプＰ１に接続されている。
【００１５】
図３の構成によれば、排気ポンプＰ２もしくはその配管にトラブルが生じた場合、差圧室５および減圧室Ｒが大気圧に近づくものの、差圧室４は依然として負圧に維持されるため、移動ブロック３の図３で上下面において圧力差が生じ、案内面１ａに対する隙間が小さくなることから、プロセス室Ｐ内の真空度が悪化する時間を遅らせることができ、その間に、処理中の処理対象物を密封する（例えばゲートバルブによる仕切り）などの対策をとることができる。又、排気ポンプＰ２もしくはその配管に生じたトラブルから復旧した場合、処理に必要な真空度までプロセス室Ｐ内を吸引するターボ分子ポンプを稼動させる時間も少なくて済み、早期に処理を再開できる。
【００１６】
第２の本発明の位置決め装置は、
減圧下に曝されるプロセス室内に連通する第１の開口を有する第１の案内面を備えた第１の筐体と、
前記第１の案内面に対して所定の隙間を介して対向した状態で、少なくとも一方向に移動可能に設けられた移動ブロックと、
前記移動ブロックを挟んで前記プロセス室と反対側に設けられ、前記移動ブロックとの間に、所定の隙間を介して対向した状態で案内する第２の案内面と、前記プロセス室外より低圧の減圧室とを備えた第２の筐体と、
前記第１の開口を囲むようにして、前記第１の筐体と前記移動ブロックとの間に設けられ、前記プロセス室内と、前記プロセス室内よりも高圧のプロセス室外との間をシールする第１の差動排気シールと、
前記減圧室内を、前記減圧室内よりも高圧の減圧室外より低い圧力に維持するシール機構と、
前記第１差動排気シール又は前記シール機構の動作状況に応じて、前記第１の案内面と前記移動ブロックとの間の隙間を制御する制御手段とを有していることを特徴とする。
【００１７】
図４は、本発明に対応する構成を示す概略図である。本発明に対応する構成においては、図２の構成に対して、制御装置１３が排気ポンプＰ１またはＰ２の異常を検知すると、異常発生した排気ポンプＰ１またはＰ２の停止及び対応するバルブＶの閉止に加え、それぞれアクチュエータ１０，１１を介してバルブＶ１及びＶ２の開閉制御等を行う点のみが異なっている。
【００１８】
図４の構成によれば、通常状態では、制御手段である制御装置１３は、バルブＶ１，Ｖ２を開放状態におき、図２の構成と同様に、排気ポンプＰ３、Ｐ４により差圧室７，８内を負圧状態にする。なお、同様にバルブＶも開放状態とされているので、排気ポンプＰ１、Ｐ２により差圧室４，５内も負圧状態とされて移動ブロック３の上下面のすきまは等しい状態である。ここで、排気ポンプＰ１もしくはその配管にトラブルが生じた場合、制御装置１３が、排気ポンプＰ１の異常を検知すると、従来の場合と同様排気ポンプＰ１に対応するバルブＶの閉止及び排気ポンプＰ１の停止が行われるとともに、差圧室７内、または差圧室８内の圧力を差圧室４内よりも迅速に大気圧に近づけるように設定の制御が行われる。このとき、排気ポンプＰ１の停止、及びこれに対応のバルブＶの閉止により、差圧室４内の圧力は次第に差圧室５内の圧力に近づくものの、これより早く、差圧室７内、又は８内の圧力が大気圧に近づく。それにより、移動ブロック３の図４で上下面において圧力差が生じ、案内面１ａに対する隙間が小さくなることから、プロセス室Ｐ内の真空度が悪化する時間を遅らせることができ、その間に、処理中の処理対象物を密封する（例えばゲートバルブによる仕切り）などの対策をとることができる。前記「所定の制御」としては、例えば以下が挙げられる。第１の方法は、アクチュエータ１０、１１の双方を駆動して、バルブＶ１、Ｖ２を同時に閉止し、排気ポンプＰ３、Ｐ４も停止させるという方法である。これにより、まず差圧室８内が、その後差圧室７内も大気圧に達する。この動作のタイミングは、差圧室４内の圧力の上昇よりも差圧室７内及び差圧室８内の圧力の上昇の和が大きくなるように行われればよい。すなわち、このようにすることにより、移動ブロック３の上下面の圧力は、通常状態に対し下面側がより高くなるため、通常状態に比べ、案内面１ａとの隙間を案内面２ａとの隙間より狭くなるように変化させることができる。
【００１９】
第２の方法は、アクチュエータ１０を駆動し、バルブＶ１を閉止し、排気ポンプＰ３も停止させるという方法である。これにより、差圧室８内が大気圧に達する。この際も、差圧室４内の圧力上昇よりも差圧室８内の圧力上昇が速く行われるようにすることにより、第１の方法の場合と同様、移動ブロック３と案内面１ａとの隙間を案内面２ａとの隙間より狭くなるよう、変化させることができる。
【００２０】
第３の方法は、アクチュエータ１１を駆動し、バルブＶ２を閉止し、排気ポンプＰ４を停止させるとともに、差圧室７にガス（例えばドライエア、あるいは窒素等の不活性ガス）を供給し、急速に差圧室７内を大気圧に上昇させる方法である。あるいは差圧室８側、または差圧室７，８の両方を同様にしてもよい。これらの場合も上記第１及び第２の方法の場合と同様に、移動ブロック３と案内面１ａとの隙間を、案内面２ａとの隙間より狭くなるよう変化させることができる。特に、ガスを差圧室７及び／又は差圧室８に供給することにより、より急速に差圧室７内及び／又は差圧室８内を大気圧まで上昇させることができる。
【００２１】
次に、排気ポンプＰ２もしくはその配管にトラブルが生じた場合について述べる。この場合も、基本的に制御装置１３の制御により、移動ブロック３と案内面１ａとの隙間を、案内面２ａとの隙間より狭くなるようにする点は同様である。但し、排気ポンプＰ２に対応のバルブＶの閉止（及び排気ポンプＰ２の停止）を行った場合、差圧室５内は大気圧まで上昇し、差圧室４内もこれに伴い圧力が若干上昇するため、案内面２ａ側はこれに打ち勝つような圧力上昇が必要となる。すなわち、排気ポンプＰ２の対応のバルブＶの閉止、排気ポンプＰ２の停止とともに、少なくとも差圧室７内及び差圧室８内の圧力上昇の和が、差圧室４内及び差圧室５内の圧力上昇の和よりも大きくなるように、制御装置１３により所定の制御が行われる。
【００２２】
「所定の制御」としては、例えば、前記第１の方法、あるいは前記第３の方法が含む３通りの方法のうち差圧室７及び差圧室８の双方について（バルブＶ１，Ｖ２の閉止、排気ポンプＰ３、Ｐ４の停止とともに）ガスを供給する方法、などが挙げられる。移動ブロック３と案内面１ａとの隙間を急速に狭くすることができる点で後者の方がより好ましい。本発明においては、差動排気シールは２段に限らず、１段でも、３段以上でも良い。
【００２３】
また、図４の例では、４つの差圧室４，５，７，８について、それぞれ独立に排気ポンプ（Ｐ１〜Ｐ４）を接続する構成としているが、本発明はこれに限らず、差圧室４と差圧室７との排気ポンプの共通化及び／又は差圧室５と差圧室８との排気ポンプの共通化を図るようにしてもよい。
【００２４】
この場合、例えば、差圧室４と差圧室７との排気ポンプを共通化する例を示すと、この排気ポンプからの配管はバルブＶを経由し、その後分岐されて一方が直接、差圧室４に、他方はさらにバルブＶ２を経由して差圧室７に接続される。バルブＶは、この共通の排気ポンプに不具合が生じた場合に閉止されるものであり、バルブＶ２は、差圧室５に対応する排気ポンプＰ２に不具合が生じた場合に、アクチュエータ１１により閉止されるものである。
【００２５】
更にこの場合、この共通の排気ポンプの不具合を制御装置１３が検知すると、この共通の排気ポンプに対応するバルブＶの閉止及びこの共通の排気ポンプの停止とともに、差圧室８に対応のバルブＶ１をアクチュエータ１０の駆動により閉止し、排気ポンプＰ３も停止する。さらに、アクチュエータ１１の駆動により、バルブＶ２も閉止する。これにより、前記図４の場合に排気ポンプＰ１に不具合が生じ、前記第１の方法にて対処した場合と同等の状況となる。差圧室５に対応の排気ポンプＰ２が不具合の場合は、排気ポンプＰ２に対応のバルブＶの閉止、排気ポンプＰ２の停止とともに、アクチュエータ１０、１１の駆動により、バルブＶ１及びＶ２を閉止し、差圧室８に対応の排気ポンプＰ３を停止する。これらの場合もバルブＶ１，あるいはＶ２の閉止とともに、差圧室７及び／又は差圧室８にガスを供給するような構成とすることにより、さらに迅速に移動ブロック３と案内面１ａとの隙間を急速に狭くできるので、そのような構成としてもよい。
【００２６】
差圧室５と差圧室８との排気ポンプを共通化する場合も同様の考え方で、この共通の排気ポンプからの配管はバルブＶを経由し、その後分岐されて、一方が直接、差圧室５に、他方はさらにバルブＶ１を経由して差圧室８に接続される。この共通の排気ポンプの不具合を制御装置１３が検知すると、この共通の排気ポンプに対応するバルブＶの閉止、及びこの共通の排気ポンプの停止とともに、差圧室７に対応のバルブＶ２をアクチュエータ１１の駆動により閉止し、排気ポンプＰ４も停止する。差圧室４に対応の排気ポンプＰ１が不具合の場合は、排気ポンプＰ１に対応のバルブＶの閉止、排気ポンプＰ１の停止とともに、差圧室８に対応のバルブＶ１をアクチュエータ１０の駆動により閉止し、排気ポンプＰ３を停止するか、あるいはこれに加え差圧室７に対応のバルブＶ２の閉止、排気ポンプＰ４の停止を行う。さらに、場合に応じ、適宜差圧室７及び／又は差圧室８にガスを供給するようにすると好ましいのは前記の他の場合と同様である。
【００２７】
詳細は省略するが、差圧室４と７の排気ポンプを共通化するとともに差圧室５と８の排気ポンプを共通化した場合についても同様の考え方で構成し、適宜の制御により、いずれの排気ポンプに不具合が生じた場合にも移動ブロック３と案内面１ａとの隙間を狭くなるようにすることができる。さらに、例えば、減圧室側の差圧室は１段とし、差圧室４に対応の排気ポンプは、減圧室内の排気用として共通化するようにしてもよい。
【００２８】
尚、バルブＶ、Ｖ１，Ｖ２を閉止した後は、負荷軽減のため対応する排気ポンプＰ１，Ｐ２、Ｐ３，Ｐ４をすぐに停止させることが望ましい。（以下の実施の形態において同じ）
【００２９】
さらにまた、外部雰囲気が十分にクリーンでかつ湿度も低い場合であれば、バルブＶ１，Ｖ２が、前記第１の差動排気シール又はシール機構（４，５，７，８）の動作状況に応じて、前記シール機構（ここでは第２の差動排気シール）が排気源と接続されている配管内を大気に開放する機能を有するようにしてもよい。但し、上記差圧室４と７との排気ポンプ（あるいは差圧室５と８との排気ポンプ）を共通化する場合は、バルブＶ２（あるいはバルブＶ１）よりも差圧室７寄り（あるいは差圧室８寄り）の側で大気開放とする。
【００３０】
更に、前記第１の差動排気シールは２段以上であり、前記シール機構（ここでは第２の差動排気シール）を１段として、減圧室Ｒ側、すなわち案内面２ａの側は微小隙間部を設けるか、或いは前記第１の差動排気シールのうち最も前記プロセス室から遠い位置の差動排気シールと、前者の場合は減圧室Ｒとが、後者の場合は前記第２の差動排気シールとが、同一の排気源に接続されているようにしても良い。同様に近い側同士を接続するようにしてもよい。（図４の場合で排気ポンプＰ１とＰ４を共通化する場合に相当）
【００３１】
また、上述した例では、制御手段として、制御装置１３が減圧室Ｒ側の差圧室、あるいは減圧室Ｒの圧力を上げるように制御することにより案内面１ａ側の隙間が狭くなるようにしているが、これに代え、静圧軸受６，９のエアの吐出圧力を調整するようにしてもよい。すなわち、差圧室４あるいは差圧室５に対応の排気ポンプに不具合が生じた場合、対応のバルブ閉止、排気ポンプ停止とともに、制御装置１３は、静圧軸受９へのエアの供給圧力が高くなるように調整するか、あるいは静圧軸受６へのエアの供給圧力が低くなるように調整するようにしてもよい。もちろん静圧軸受９への供給圧力を高くするとともに、静圧軸受６への供給圧力を低くするようにしてもよい。さらに、前記第１の発明、あるいは第２の発明と組み合わせてもよい。
【００３２】
上述した例では、静圧軸受６，９により、エアを吐出して移動ブロック３を両面から支持しているが、前記移動ブロック３は、前記第１の筐体１及び前記第２の筐体２に対して、静圧軸受に代え、例えば磁気軸受で支持されていてもよい。このような磁気軸受を用いると、排気ポンプ等のトラブルが生じた際に、磁気軸受に供給する電力に応じて軸受の性能を適宜低下させることで、移動ブロック３の上下面の隙間を調整できるので好ましい。
【００３３】
さらにまた、制御手段として、移動ブロック３の見かけの厚さを制御装置１３の制御により変化させるようにしてもよい。具体的には、例えば、移動ブロックを厚さ方向に２つに分け、両者間に、移動ブロック３の厚さ方向に伸縮可能な圧電素子を適宜の数、介在させるようにする。そして、差圧室４あるいは差圧室５に対応の排気ポンプに不具合が生じた場合、対応のバルブＶの停止、排気ポンプ停止とともに、制御装置１３は圧電素子に所定の電圧を供給して、圧電素子が所定量伸びた状態となるようにすることにより、移動ブロック３の見かけの厚さを増加させる。これにより、移動ブロック３と案内面１ａとの隙間を狭くすることができる。上記の他、例えば移動ブロック３を所望温度に加熱する手段を設け、熱膨張により隙間調整する、等の方法もある。
【００３４】
以上のような各制御手段は、上述のような排気ポンプのトラブル時の対応の他にも移動ブロック３と案内面１ａとの隙間を一時的に小さくしたい場合、あるいは両者を密着させたい場合に用いることもできる。例えば、プロセス室Ｐの真空度が所定のレベルに達するまでの間、この隙間を無くした状態とすることにより、時間短縮やこの間に必要な排気ポンプの数を減らせるなどの利点がある。
【００３５】
本明細書中で用いる差動排気シールとは、例えば対向する２面間の微小な間隙にある気体を前記２面間に設けられた差圧室を介して排気することにより、非接触の状態で、対向面を挟む両側の雰囲気（例えば大気圧と高真空）を一定の状態に保つように機能するものをいう。以下に述べる実施の形態においては、排気面を有する部材を差動排気シールという。また、ラビリンスシールとは、微小な間隙を介して対向する２面間に差圧室は設けられておらず、一方の雰囲気の側を構成する減圧室から直接排気することにより、両側の雰囲気を一定の状態に保つように機能するものをいう。
【００３６】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の好適な実施の形態について説明する。図５は、本発明の第１の実施の形態にかかる位置決め装置１１０の正面断面図であり、密閉されている筐体の上部を省略し且つ差動排気シール及び静圧軸受に関しては簡略化して示している。図６は、図５の位置決め装置１１０を矢印ＶＩ−ＶＩ線で切断して矢印方向に見た図である。図７は、図５の位置決め装置１１０を図６に示す矢印ＶＩＩ−ＶＩＩで切断して矢印方向に見た図である。図８〜１０は、それぞれ図６の位置決め装置１１０を図６の矢印ＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ、ＩＸ−ＩＸ、Ｘ−Ｘ線で切断して矢印方向に見た図である。
【００３７】
図５に示すように、本実施の形態の位置決め装置１１０は、プロセス室Ｐを内包し、又プロセス室Ｐとその外部とを連通する開口１２０ａを有する第１の筐体１２０と、第１の筐体１２０の開口１２０ａに対向して配置された移動ブロック１３０と、第１の筐体１２０と移動ブロック１３０との間に挟まれた中間ブロック（第１の筐体の一部を成す）１７０と、移動ブロック１３０を挟んで第１の筐体１２０（或いは中間ブロック１７０）の反対側に配置された第２の筐体１４０とから構成されている。プロセス室Ｐは、不図示のポンプにより吸引され負圧となっている。なお、中間ブロック１７０と第２の筐体１４０とは軸受ブロック１８３，１８４により連結されており、その状態で移動ブロック１３０はこれらにより所定のすきまを介して拘束され、図５で紙面に直交する方向にスライド可能とされている。
【００３８】
図５，図８〜１０で、移動ブロック１３０の両側の上面は、中間ブロック１７０に対して所定の隙間を介して、静圧軸受１８１（その下面が第１の案内面）で支持され、移動ブロック１３０の両側の下面は、第２の筐体１４０に対して所定の隙間を介して、静圧軸受１８２（その上面が第２の案内面）で支持され、移動ブロック１３０の両側面は、軸受ブロック１８３，１８４に設けられた静圧軸受１８５で支持されている。従って、移動ブロック１３０は、図５において紙面に垂直方向に（図６においては上下方向に）移動可能となっている。尚、本実施の形態では、静圧軸受１８１，１８２，１８５は、それぞれ略円筒形の多孔質グラファイトでなるもので、その軸受面が、中間ブロック１７０、筐体１４０、或いは軸受ブロック１８３，１８４と面一となるように固定されており、不図示のエア供給路を介してエアが供給されるようになっている。
【００３９】
静圧軸受１８１に隣接し且つその内側における移動ブロック１３０の上面と、中間ブロック１７０との間は、差動排気シール１５０で密封され、静圧軸受１８２に隣接し且つその内側における移動ブロック１３０の下面と、第２の筐体１４０との間は、ラビリンスシール１６０により密封されている。静圧軸受１８１，１８２，１８５は、不図示のポンプから圧送された空気により、対向する面を非接触に支持することができる。
【００４０】
差動排気シール１５０における内側の差圧室１５１は、排気ポンプＰ１に接続され、差圧室１５２は、排気ポンプＰ０に接続され、それぞれ吸引されることで負圧となっている。差動排気シール１５０の静圧軸受１８１よりの差圧室１５３と、ラビリンスシール１６０を構成する排気通路は、共通の排気ポンプＰ２に接続され、吸引されることで負圧となっている。尚、各排気ポンプＰ１、Ｐ２、及びＰ０に通じる配管には、不図示の制御手段の制御下で不図示のアクチュエータにより開閉駆動されるバルブＶ及びアクチュエータ１９０により開閉駆動されるバルブＶ１が配置されている。尚、静圧軸受１８１と差動排気シール１５０との間に設けられる溝１５４内と、静圧軸受１８２とラビリンスシール１６０との間に設けられる溝１６４内とは、後述のように大気圧に維持されている。
【００４１】
不図示の定盤上に支持された筐体１２０は、その下壁１２０ｃに、長孔状の開口（第１の開口）１２０ａを形成している。図５で、筐体１２０の下壁１２０ｃの下面には、長円形状の浅い座繰り部１２０ｄが形成されている。下壁１２０ｃに対向する中間ブロック１７０の上面には、座繰り部１２０ｄの周囲に沿って溝部１７０ａが形成されている。溝部１７０ａ内には、Ｏ−リング１７１が配置されている。Ｏ−リング１７１は、筐体１２０の下壁１２０ｃの下面に当接し、中間ブロック１７０との間を密封するようになっている。尚、図５に明示されていないが、溝部１７０ａの外側の周囲においても、筐体１２０の下壁１２０ｃの下面と、中間ブロック１７０の上面との間には、隙間が設けられている。この外側の周囲の隙間は、０．１ｍｍ程度のものであるが、これにより中間ブロック１７０の上面と、下壁１２０ｃの下面との非接触状態が保たれる。
【００４２】
中間ブロック１７０の中央には長円の開口１７０ｂが形成されている。かかる開口１７０ｂ及び第１の筐体１２０の開口１２０ａを、これらに接触せずに貫通するようにして、軸１３１が延在している。軸１３１は、移動ブロック１３０の上面に取り付けられて一体となっている。
【００４３】
第１の筐体１２０内のプロセス室Ｐと、第２の筐体１４０と移動ブロック１３０とラビリンスシール１６０とで形成された減圧室Ｒとは、部材間の微小な隙間を除き連通していない。減圧室Ｒが移動ブロック１３０の下面と対向している部分が、凹部１４０ａとなっている。尚、移動ブロック１３０は、不図示の駆動部に、中間ブロック１７０と第２の筐体１４０との間の、軸受ブロック１８３のない部分（移動ブロック１３０の短手方向の側部開口）を貫通するように設けられた連結部１３３（図６）を介して連結されている。駆動部としては、例えばモータとボールねじ等の送りねじとの組み合わせ、モータとベルト及びプーリとの組み合わせ、或いはリニアモータ等を用いることができる。又、静圧軸受１８５の代わりに或いはそれに加えて、第２の筐体１４０に対して移動ブロック１３０を駆動することができる超音波モータ（不図示）を、前記側部開口の部分に臨むように固定部に設け、これを駆動部とすることもできる。更に又、連結部１３３を設ける代わりに、移動ブロック１３０の長手方向端部に、連結部を設け、これを介して駆動部を連結するようにしても良い。この場合、前記側部開口は遮蔽してもよい。
【００４４】
図６に示すように、ラビリンスシール１６０の排気機構は、第２の筐体１４０の上面に形成された長円状の減圧室Ｒの周囲に沿って形成されたトラック状の溝１６１と，それに連通する連通孔１６５と、排気孔１６９とから構成される。図６において、減圧室Ｒを取り巻くように形成された溝１６４は、接線方向両側に延び第２の筐体１４０の両端面で大気に開放している。図６，９に示すように、溝１６１の溝底から、第２の筐体１４０の内部に向かって、連通孔１６５が形成され（他の場所にもある）、図８〜１０に示すごとく第２の筐体１４０の内部を長手方向に延在する排気孔１６９に連通している。排気孔１６９は、両端が第２の筐体１４０の外部へと抜けており、図５の排気吸引ポンプＰ２に接続されている。
【００４５】
差動排気シール１５０は、図９に示すように、差圧室を構成する溝１５１，１５２，１５３と排気孔１５９Ａ，１５９Ｂ、１５９Ｃと、それらの対向する同士を互いに連通する連通孔１５５，１５６，１５７とから構成される。中間ブロック１７０の長孔１７０ｂの周囲に沿って、４本の溝１５１〜１５４がトラック状に延在している。そのうち溝１５４は、接線方向両側に延び中間ブロック１７０の両端面で大気に開放している。溝１５１〜１５３の溝底から、第２の筐体１４０の内部に向かって、それぞれ連通孔１５５〜１５７がそれぞれ複数ずつ形成され、図８〜１０に示すごとく中間ブロック１７０の内部を長手方向に延在する６本の排気孔１５９Ａ，１５９Ｂ、１５９Ｃに連通している。排気孔１５９Ａ，１５９Ｂ、１５９Ｃは、両端が中間ブロック１７０の外部へと抜けており、排気孔１５９Ａは排気ポンプＰ０に接続され、排気孔１５９Ｂは排気ポンプＰ１に接続され、排気孔１５９Ｃは排気ポンプＰ２に接続されている。最も好ましいのは、このように、排気孔１５９Ａ、１５９Ｂ、１５９Ｃ、すなわち差圧室１５１，１５２，１５３をそれぞれ異なる排気ポンプにより排気することであるが、排気孔１５９Ａ，１５９Ｂを排気ポンプＰ１に接続し、排気孔１５９Ｃを排気ポンプＰ２に接続して排気ポンプＰ０を省いても良い。あるいは、排気口１５９Ａを排気ポンプＰ１に接続し、排気孔１５９Ｂと１５９Ｃとを排気ポンプＰ２に接続するようにしてもよい。要は、少なくとも最も外側の差圧室１５３が減圧室Ｒの排気ポンプと共通であればよい。なお、排気孔１５９Ａ，１５９Ｂ、１５９Ｃは、図８〜１０に示すように、中間ブロック１７０の内部に向かうに連れ（すなわち開口１４０ａ寄りのものほど）太くなる径を有していると好ましい。
【００４６】
次に、本実施の形態に係る位置決め装置１１０の動作について説明する。不図示の駆動源の駆動力は、連結部材１３３を介して移動ブロック１３０に伝達され、それにより軸１３１も一体で移動するので、軸１３１の上端に取り付けられたテーブルに載置されたワーク（不図示）を、第１の筐体１２０内で軸１３１が移動可能な範囲内で任意の位置に位置決めできる。
【００４７】
本実施の形態によれば、排気ポンプＰ２もしくはその配管にトラブルが生じ、異常が検知された場合、不図示の制御装置により、バルブＶ１の閉止及び排気ポンプＰ２の停止が行われる。これにより大気に開放した溝１５４に隣接しているので、空気の漏れ込みにより溝１５３内は大気圧に近づくものの、本実施の形態では、同時に溝１６１内、ひいては減圧室Ｒ内も大気圧に近づく。一方、排気ポンプＰ１及びＰ０は機能しているので、溝１５１及び１５２は依然として負圧に維持されるため、移動ブロック１３０の図５で上下面において圧力差が生じ、大型の装置では１トン近い吸引力が発生し、移動ブロック１３０と中間ブロック１７０との間の隙間が小さくなることから、プロセス室Ｐ内の真空度が悪化する時間を遅らせることができ、その間に、処理中の処理対象物を密封する（例えばゲートバルブによる仕切り）などの対策をとることができる。
【００４８】
尚、排気ポンプもしくはその配管にトラブルが生じた場合、移動ブロック１３０の両面において圧力差が生じると、移動ブロック１３０の変形などにより静圧軸受１８１，１８２，１８５への接触など恐れがあるが、ある程度移動ブロック１３０の剛性を高めることで、かかる不具合は回避できる。
【００４９】
又、不図示の制御手段により、排気ポンプＰ２もしくはその配管にトラブルが生じたことを検出した場合、図９に示すアクチュエータ１９０を駆動してバルブＶ１を閉止することで、移動ブロック１３０の図５で上下面における圧力差をゆっくり生じさせるようにもできる。排気ポンプ等にトラブルが生じた場合、ガイドの支持条件が変わることによる案内精度の低下やガイドの変形などに起因した部材の競り合い等を抑制するために、位置決め装置を非常停止する必要があるが、プロセス室内を真空から大気圧までに徐々に戻すことで、その間に適切な処置をとれるようにするいわゆるインターロック機構として十分に機能できる。
【００５０】
なお、減圧室Ｒの排気を溝１６１に連通する複数の連通孔１６５を介して行うようにしているが、直接減圧室Ｒ内に連通する太い径の排気孔を経由するようにしてもよい。更に、差動排気シールの吸引力に対して、中間ブロック１７０を支持する静圧軸受１８１，１８２が十分な支持剛性を有している場合は、移動ブロック１３０と中間ブロック１７０との間の隙間の変化量が微小であるため、上述の効果を得にくい場合もある。かかる場合、静圧軸受１８１の空気吐出圧力を調整できるようにして、排気ポンプ等のトラブルに応じて、静圧軸受１８１の空気吐出圧力を低下せしめると、移動ブロック１３０と中間ブロック１７０との間の隙間を迅速に縮小できる。或いは、静圧軸受に代え、軸受性能を外部からの供給電圧で調整することができる磁気軸受を採用し、排気ポンプ等のトラブルに応じて、それへの供給電圧を下げ、移動ブロック１３０と中間ブロック１７０との間の隙間を迅速に縮小するようにしてもよい。以上とは逆に、静圧軸受１８２の空気吐出圧力（磁気軸受の場合は供給電圧）を調整できるようにして、排気ポンプ等のトラブルに応じて、静圧軸受１８２の空気吐出圧力（磁気軸受の場合は供給電圧）を増加せしめると、移動ブロック１３０と第２の筐体１４０との間の隙間が迅速に増加するので、同様な効果を得られる。あるいは、静圧軸受１８１の空気の吐出圧力の低下と静圧軸受１８２の空気の吐出圧力の増加とを同時に行うようにしてもよい。（磁気軸受の場合も同様）
【００５１】
上記第１の実施の形態では、排気ポンプＰ１、Ｐ０もしくはそれらの配管にトラブルが生じた場合、溝１５１，１５２のうち、対応する方の溝内の気圧が上昇する。少なくとも溝１５３は依然として同じ負圧に維持されるため、前記対応する溝内の圧力の上昇は、最悪でも溝１５３内の圧力程度までに限られるものの、その結果として、プロセス室Ｐの若干の真空度の低下は免れられない。そこでこの点を改良したのが第２の実施の形態である。
【００５２】
図１１は、第２の実施の形態を示す図５と同様な正面断面図である。本実施の形態においては、図５の実施の形態に対し、バルブを設けた位置のみが異なっており、その他の点については、図５の実施の形態と同様であるので、同一の符号を付して説明を省略する。
【００５３】
異なる点をより具体的に説明する。図１１において、バルブＶ２は、不図示の制御手段の制御下でアクチュエータ１９１により駆動され閉止したときに、ラビリンスシール１６０の吸引動作のみを中断する位置に形成されている。図１１の実施の形態によれば、差動排気シール１５０のプロセス室Ｐ寄り側を吸引動作するための排気ポンプＰ１、Ｐ０のいずれか、もしくはそれらの配管にトラブルが生じた場合、その排気ポンプＰ１（あるいはＰ０）対応のバルブＶの閉止、排気ポンプＰ１（あるいはＰ０）の停止とともにバルブＶ２を閉止して、ラビリンスシール１６０の吸引動作を中断すれば、差動排気シール１５０の最も外部側の溝１５３内及び排気ポンプＰ１及びＰ０のうち正常なものに対応する溝内を吸引動作することで、溝１５３内及び溝１５１，１５２のうち、正常な排気ポンプに対応の溝内はほとんど変化なく負圧を維持し、溝１５１及び溝１５２のうち、異常の排気ポンプに対応の溝内は最悪で溝１５３と同程度まで圧力上昇があるものの、減圧室Ｒが大気圧まで上昇するため、移動ブロック１３０の上下面に圧力差が生じ、移動ブロック１３０と中間ブロック１７０との間の隙間が小さくなることから、プロセス室Ｐ内の真空度が悪化する時間を遅らせることができ、その間に、処理中の処理対象物を密封する（例えばゲートバルブによる仕切り）などの対策をとることができる。なお、排気ポンプＰ２にトラブルが生じた場合には、前記第１の実施の形態の場合と同様に対処できる。
【００５４】
また、バルブＶ２及びアクチュエータ１９１は減圧室Ｒの排気用の排気ポンプＰ２に対応するもので、かつ、減圧室Ｒ側のみの排気を停止するものであることから、以上のような場合の他にも、移動ブロック１３０と中間ブロック１７０との隙間を一時的に小さくしたい場合、あるいは両者を密着させたい場合にも用いることもできる。なお、上記第２の実施の形態において、ラビリンスシール１６０の吸引動作のみを中断する位置に設けたバルブＶ２として、他のバルブＶ、Ｖ１と同様、ＯＮ／ＯＦＦ（開閉）の切換のみを行うものを用いたが、これに代えて、バルブＶ２を例えば、ニードルバルブのような圧力制御（流量制御）の可能なものを用いても良い。特にＯＮ／ＯＦＦ制御では作用する吸引力が大きすぎる場合に、減圧室Ｒ側の圧力を制御可能とすることは有効なことである。
【００５５】
図１２は、第３の実施の形態を示す図５と同様な正面断面図である。本実施の形態においては、図５の実施の形態に対し、中間ブロック１７０の側の差動排気シール１５０を２段（差圧室（溝）を含む排気系を２段としたもの）とし、第２の筐体１４０の側にもこの差動排気シール１５０と同様な２段の差動排気シール（第２の差動排気シール）１６０を設けるとともに、主として差動排気シールの配管系が異なっており、その他の点については、図５の実施の形態と同様であるので、同一の符号を付して説明を省略する。
【００５６】
異なる点をより具体的に説明する。図１２において、差動排気シール１５０のプロセス室Ｐ寄りの側と、差動排気シール１６０の減圧室Ｒ寄りの側とは、同じ排気ポンプＰ２に接続され、且つ差動排気シール１５０の外部寄りの側と、差動排気シール１６０の外部寄りの側とは、同じ排気ポンプＰ１に接続されている。更に、バルブＶ１、Ｖ２は、不図示の制御手段の制御下でアクチュエータ１９０、１９１により駆動され閉止したときに、排気ポンプＰ１，Ｐ２による差動排気シール１６０の吸引動作のみを中断する位置に形成されている。
【００５７】
図１２の実施の形態によれば、排気ポンプＰ２もしくはその配管にトラブルが生じた場合、（排気Ｐ２側のバルブＶの閉止、排気ポンプＰ２の停止とともに）バルブＶ１、Ｖ２を閉止して、差動排気シール１６０の吸引動作を中断すれば、差動排気シール１５０の内部寄りの側の差圧室（溝）内の圧力がやや上昇するものの、差動排気シール１５０の外部寄りの側の差圧室（溝）内のみ依然として吸引動作がなされ、差動排気シール１６０側の２段の溝内がいずれも大気圧になるため、移動ブロック１３０の上下面に圧力差が生じ、移動ブロック１３０と中間ブロック１７０との間の隙間が小さくなることから、プロセス室Ｐ内の真空度が悪化する時間を遅らせることができ、その間に、処理中の処理対象物を密封する（例えばゲートバルブによる仕切り）などの対策をとることができる。尚、バルブＶ２も閉止するのは、大気圧になる差動排気シール１６０の溝が差動排気シール１５０の内部の溝と連通するのを防ぐためである。
【００５８】
一方、排気ポンプＰ１もしくはその配管にトラブルが生じた場合は、排気ポンプＰ１側のバルブＶの閉止、排気ポンプＰ１の停止とともに、バルブＶ２を閉止して、差動排気シール１６０の吸引動作を中断すれば、差動排気シール１５０の内部寄りの側のみ吸引動作することで、移動ブロック１３０の上下面に圧力差が生じ、移動ブロック１３０と中間ブロック１７０との間の隙間が小さくなることから、プロセス室Ｐ内の真空度が悪化する時間を遅らせることができ、その間に、処理中の処理対象物を密封する（例えばゲートバルブによる仕切り）などの対策をとることができる。なお、バルブＶ１、及びＶ２をＯＮ／ＯＦＦ（開閉）の切換のみのものに代えて圧力制御の可能なものを用いても良いても良いのは、前記第２の実施の形態の場合と同様である。
【００５９】
以上の実施の形態の変形例として、図には示さないが、差動排気シール１５０のプロセス室Ｐ側を第１の排気ポンプで吸引動作し、差動排気シール１５０の外部側を第２の排気ポンプで吸引動作し、差動排気シール１６０を第３の排気ポンプで吸引動作し、バルブＶ１は、アクチュエータ１９０により駆動され閉止したときに、第３の排気ポンプによる差動排気シール１６０の吸引動作のみを中断する位置に形成されていても、第３の実施の形態と同様に動作する。尚、本変形例を、上述した実施の形態と組み合わせることは任意である。さらに、差動排気シール１５０及び１６０を２段としたが、これに限らず、例えば上記第１及び第２の実施の形態の場合の差動排気シール１５０と同様の３段としてもよい。
【００６０】
図１３は、第４の実施の形態を示す図１１と同様な正面断面図である。本実施の形態においては、図１１の実施の形態に対し、窒素ガス導入機構を設けた点等が異なっており、その他の点については、図１１の実施の形態と同様であるので、同一の符号を付して説明を省略する。
【００６１】
異なる点をより具体的に説明する。図１３において、ラビリンスシール１６０とバルブＶ２との間で配管を分岐させ、その末端を、不図示の制御手段の制御下でアクチュエータ１９２に駆動されて開閉動作するバルブＶ３を介して、加圧された窒素ガスを充填したボンベ１９３に接続している。尚、通常の動作状態では、バルブＶ３は閉止状態にあり、ボンベ１９３内の窒素ガスは位置決め装置内に供給されない。
【００６２】
図１３の実施の形態によれば、差動排気シール１５０のプロセス室Ｐ側を吸引動作するための排気ポンプＰ１もしくはその配管にトラブルが生じた場合、（排気ポンプＰ１に対応のバルブＶ閉止及び排気ポンプＰ１の停止とともに）バルブＶ２を閉止して、バルブＶ３を開放する。これにより差動排気シール１６０の吸引動作を中断すれば、差動排気シール１５０の外部側のみ吸引動作することで、移動ブロック１３０の上下面に圧力差が生じ、移動ブロック１３０と中間ブロック１７０との間の隙間が小さくなることから、プロセス室Ｐ内の真空度が悪化する時間を遅らせることができる。特に、本実施の形態では、バルブＶ３を開放状態におくことで、ボンベ１９３内の窒素ガスをラビリンスシール１６０側の溝１６１内、ひいては減圧室Ｒ内に迅速に導くことができ、従って迅速に減圧室Ｒ側の圧力を例えば大気圧まで上昇させることができる。なお、本実施の形態のボンベ１９３に接続されるバルブＶ３は、圧力制御の可能なものを用いるのがより好ましい。
【００６３】
以上、本発明を実施の形態を参照して説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定して解釈されるべきではなく、適宜変更・改良が可能であることはもちろんである。例えば、差動排気シール１５０及び差動排気シール１６０の溝部は、３列或いは２列にしたが、発明の趣旨に反しない限りそれに限定されず、吸引ポンプの性能、プロセス室内外の差圧の大きさ、等に応じ、４列以上としても良い。また、減圧室Ｒ側の差動排気シール１６０は溝部の列数を差動排気シール１５０の溝部の列数より少なくしても良く、例えば１列としても良い。その場合、差動排気シール１５０及び１６０の最も外部寄りの溝部同士が移動ブロックを挟んで互いに同じ位置で対向するように設けるのが、移動ブロックに加わる吸引力のバランスを考慮すると好ましい。第１の筐体１２０と、中間ブロック１７０との隙間の大きさも、吸引ポンプ等の性能との兼ね合いで決まるもので、数μｍから数１００μｍまで適宜選択可能である。さらに、軸受としては、リニアガイドや静圧軸受に限らず、例えばクロスローラガイド等、他の転がり軸受など各種の軸受を用いることができる。またＯ−リング等の位置決め用の溝部を中間ブロック側に設けるようにしたが、第１の筐体側、あるいは双方に設けられるようにしてもよい。更に「課題を解決する手段」で述べたような種々の構成を組み合わせても良い。
【００６４】
【発明の効果】
本発明の位置決め装置によれば、排気ポンプもしくはその配管にトラブルが生じた場合、移動ブロックと第１の筐体との間の隙間を小さくすることで、プロセス室内の真空度が悪化する時間を遅らせることができ、その間に、処理中の処理対象物の保護対策をとることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】比較例にかかる位置決め装置の概略構成図である。
【図２】別な比較例にかかる位置決め装置の概略構成図である。
【図３】第１の本発明に相当する位置決め装置の概略構成図である。
【図４】第２の本発明に相当する位置決め装置の概略構成図である。
【図５】第１の実施の形態にかかる位置決め装置１１０の正面断面図である。
【図６】図５の位置決め装置１１０をＶＩ−ＶＩ線で切断して矢印方向に見た図である。
【図７】図６の位置決め装置１１０をＶＩＩ−ＶＩＩ線で切断して矢印方向に見た図である。
【図８】図６の位置決め装置１１０をＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線で切断して矢印方向に見た図である。
【図９】図６の位置決め装置１１０をＩＸ−ＩＸ線で切断して矢印方向に図である。
【図１０】図６の位置決め装置１１０をＸ−Ｘ線で切断して矢印方向に見た図である。
【図１１】第２の実施の形態にかかる位置決め装置の正面断面図である。
【図１２】第３の実施の形態にかかる位置決め装置の正面断面図である。
【図１３】第４の実施の形態にかかる位置決め装置の正面断面図である。
【符号の説明】
１１０　位置決め装置
１２０　第１の筐体
１３０　移動ブロック
１４０　第２の筐体
１７０　中間ブロック
１５０　（第１の）差動排気シール
１６０　シール機構（第２の差動排気シール又はラビリンスシール）
Ｐ　プロセス室
Ｒ　減圧室

Claims

減圧下に曝されるプロセス室内に連通する第１の開口を有する第１の案内面を備えた第１の筐体と、
前記第１の案内面に対して所定の隙間を介して対向した状態で、少なくとも一方向に移動可能に設けられた移動ブロックと、
前記移動ブロックを挟んで前記プロセス室と反対側に設けられ、前記移動ブロックとの間に、所定の隙間を介して対向した状態で案内する第２の案内面と、前記プロセス室外より低圧の減圧室とを備えた第２の筐体と、
前記第１の開口を囲むようにして、前記第１の筐体と前記移動ブロックとの間に設けられ、前記プロセス室内と、前記プロセス室内よりも高圧のプロセス室外との間をシールする複段の第１の差動排気シールと、
前記減圧室内を、前記減圧室内よりも高圧の減圧室外より低い圧力に維持するシール機構とを有し、
前記第１の差動排気シールのうち最も前記プロセス室から遠い位置の差動排気シールと、前記シール機構とは、同一の排気源に接続されていることを特徴とする位置決め装置。
減圧下に曝されるプロセス室内に連通する第１の開口を有する第１の案内面を備えた第１の筐体と、
前記第１の案内面に対して所定の隙間を介して対向した状態で、少なくとも一方向に移動可能に設けられた移動ブロックと、
前記移動ブロックを挟んで前記プロセス室と反対側に設けられ、前記移動ブロックとの間に、所定の隙間を介して対向した状態で案内する第２の案内面と、前記プロセス室外より低圧の減圧室とを備えた第２の筐体と、
前記第１の開口を囲むようにして、前記第１の筐体と前記移動ブロックとの間に設けられ、前記プロセス室内と、前記プロセス室内よりも高圧のプロセス室外との間をシールする第１の差動排気シールと、
前記減圧室内を、前記減圧室内よりも高圧の減圧室外より低い圧力に維持するシール機構と、
前記第１差動排気シール又は前記シール機構の動作状況に応じて、前記第１の案内面と前記移動ブロックとの間の隙間を制御する制御手段とを有していることを特徴とする位置決め装置。
前記シール機構は、前記第２の案内面と前記移動ブロックとの対向面に設けられ、前記減圧室内を、前記減圧室内よりも高圧の減圧室外との間をシールする第２の差動排気シールであり、前記第１又は前記第２の差動排気シールの動作状況に応じて、前記第１及び前記第２の差動排気シールが排気源と接続されている配管内の圧力を制御することを特徴とする請求項２に記載の位置決め装置。
前記第１の差動排気シールは２段以上であり、前記第２の差動排気シールは１段であり、前記第１の差動排気シールのうち最も前記プロセス室から遠い位置の差動排気シールと、前記第２の差動排気シールとは、同一の排気源に接続されていることを特徴とする請求項２又は３に記載の位置決め装置。
前記移動ブロックは、前記第１の筐体及び前記第２の筐体に対して静圧軸受または磁気軸受で支持されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の位置決め装置。