JPH01288615A - 静圧軸受装置 - Google Patents
静圧軸受装置Info
- Publication number
- JPH01288615A JPH01288615A JP11751688A JP11751688A JPH01288615A JP H01288615 A JPH01288615 A JP H01288615A JP 11751688 A JP11751688 A JP 11751688A JP 11751688 A JP11751688 A JP 11751688A JP H01288615 A JPH01288615 A JP H01288615A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- base
- guide
- bearing device
- fixed part
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003068 static effect Effects 0.000 title description 2
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 claims description 14
- 238000007751 thermal spraying Methods 0.000 claims description 2
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims 1
- BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] Chemical compound N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 14
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 abstract description 3
- 238000007667 floating Methods 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 3
- 101150006573 PAN1 gene Proteins 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は静圧軸受装置、殊に精密位置決め装置に適用す
る精密軸受装置に関する。
る精密軸受装置に関する。
この種の静圧軸受装置としては、第３図に示すものが従
来より使用されている。これはベース１」二に水平方向
ガイドを行なうガイド２を設けるとともに、可動体３に
一月の軸受パッド４．４を設けたもので、両軸受バンド
４．イは、上記ガイド２の各側面及びベース１上面に向
けて圧縮空気を噴出するノズルを備えている。図中の矢
印はこのノズルからの空気の噴出力向を示している。両
軸受パッド４．４から噴出させる圧縮空気によって、Ｌ
ｉｆ動体３をベース１及びガイド２がら浮かすとともに
、ガイド２の側面と可動体３とが接触しないようにして
いるわけである。
来より使用されている。これはベース１」二に水平方向
ガイドを行なうガイド２を設けるとともに、可動体３に
一月の軸受パッド４．４を設けたもので、両軸受バンド
４．イは、上記ガイド２の各側面及びベース１上面に向
けて圧縮空気を噴出するノズルを備えている。図中の矢
印はこのノズルからの空気の噴出力向を示している。両
軸受パッド４．４から噴出させる圧縮空気によって、Ｌ
ｉｆ動体３をベース１及びガイド２がら浮かすとともに
、ガイド２の側面と可動体３とが接触しないようにして
いるわけである。
ところで、第６図は、この種の軸受装置の剛性（ふらつ
きの少なさ）を評価するｔこめに行なった解析の結果の
一例を示しており、縦軸は軸受面と鉛直力向１こ加えら
れる負荷室ｉｗ、ｍ軸は圧縮空気によって形成される軸
受隙間Ｉ」であり、この両者の相関を圧縮空気の圧力Ｐ
ｓをパラメータとして示しでいる。静圧軸受装置の剛性
は、単位負荷光たりの軸受隙間Ｈの変化量であられされ
ることから、第６図中では、曲線のある点における接線
の傾きの大小で示されることになる。つまり、各負荷容
量Ｗと圧力Ｐｓ及び隙間ｆイの大きさを定める時、その
点における接線の傾きか大きければ剛性が高く、小さけ
れば剛性が低くなるわけであり、剛性を高くするには、
負荷容量Ｗを大きく動るとともに隙間Ｈを小さくすれば
よいことになる。 ここにおいて、上記従来例で示した静圧軸受装置の鉛直
方向の剛性を高めるには、隙間Ｉ４の値は結果的に得ら
れるものであるから、「げ動体３その他の可動部の重量
を大きくする他はなく、小型軽量化を図ることとの両立
が困姉となる。 もっとも、第４図及び第５図に示すように、鉛直方向に
ついても水平方向と同様のいわゆる画面拘束型とするな
らば、鉛直方向の剛性も軸受隙ｊ？ＩＩ」の調整によっ
て高めることができるか、通常のこの種の静圧軸受装置
での軸受隙間Ｉ」の値は１（）μ肩前後であり、調整は
１〜数μ肩の精度で行なうことになる。こうした精度を
可動体２の可動範囲全長にわたり確保することは、非常
に高精度な部品加工と惧重な組立調整が必要であり、コ
スト高となる。また、圧縮空気の力で可動体３がたわん
だりして軸受隙間Ｈが変化してしまうという結果を招か
ないように、可動体３を始めとする部材やその組立接合
部にかなりの剛性を持たせなくてはならず、これが可動
部３０重量増を招いて、高速性を阻害することになる。 本発明はこのような点に鑑み為されたものであり、その
目的とするところは可動体の重量増を招くことなく剛性
を高めることができる静圧軸受装置を提供するにあり、
また他の目的とするところは、磁気機構を設けたものに
ついて、安定した磁気力を発揮させることができる静圧
軸受装置を提供するにある。
きの少なさ）を評価するｔこめに行なった解析の結果の
一例を示しており、縦軸は軸受面と鉛直力向１こ加えら
れる負荷室ｉｗ、ｍ軸は圧縮空気によって形成される軸
受隙間Ｉ」であり、この両者の相関を圧縮空気の圧力Ｐ
ｓをパラメータとして示しでいる。静圧軸受装置の剛性
は、単位負荷光たりの軸受隙間Ｈの変化量であられされ
ることから、第６図中では、曲線のある点における接線
の傾きの大小で示されることになる。つまり、各負荷容
量Ｗと圧力Ｐｓ及び隙間ｆイの大きさを定める時、その
点における接線の傾きか大きければ剛性が高く、小さけ
れば剛性が低くなるわけであり、剛性を高くするには、
負荷容量Ｗを大きく動るとともに隙間Ｈを小さくすれば
よいことになる。 ここにおいて、上記従来例で示した静圧軸受装置の鉛直
方向の剛性を高めるには、隙間Ｉ４の値は結果的に得ら
れるものであるから、「げ動体３その他の可動部の重量
を大きくする他はなく、小型軽量化を図ることとの両立
が困姉となる。 もっとも、第４図及び第５図に示すように、鉛直方向に
ついても水平方向と同様のいわゆる画面拘束型とするな
らば、鉛直方向の剛性も軸受隙ｊ？ＩＩ」の調整によっ
て高めることができるか、通常のこの種の静圧軸受装置
での軸受隙間Ｉ」の値は１（）μ肩前後であり、調整は
１〜数μ肩の精度で行なうことになる。こうした精度を
可動体２の可動範囲全長にわたり確保することは、非常
に高精度な部品加工と惧重な組立調整が必要であり、コ
スト高となる。また、圧縮空気の力で可動体３がたわん
だりして軸受隙間Ｈが変化してしまうという結果を招か
ないように、可動体３を始めとする部材やその組立接合
部にかなりの剛性を持たせなくてはならず、これが可動
部３０重量増を招いて、高速性を阻害することになる。 本発明はこのような点に鑑み為されたものであり、その
目的とするところは可動体の重量増を招くことなく剛性
を高めることができる静圧軸受装置を提供するにあり、
また他の目的とするところは、磁気機構を設けたものに
ついて、安定した磁気力を発揮させることができる静圧
軸受装置を提供するにある。
しかして本発明は、固定部とこの固定部にガイドされて
移動する可動体との上下対向面のいずれか一方から空気
を噴出させて固定部にメ１してｆ＋ｆ動部を浮」ニさせ
ている静圧軸受装置において、固／部と可動部との対向
面に互いを吸引させる磁気機構を設けている静圧軸受装
置に特徴を有してｔ（す、またＩＩ！ｌＩ定部と、二の
固定部にガイドされで移動する可動体との対向面の一力
に他方に対して磁気力を作用させる磁気機構を設けると
ともに、この磁気機構の表面に溶射にて形成され且つ表
面仕上げ加工が施された非磁性体皮膜を形成している静
圧軸受装置に特徴を有しでいる。 １作用１ 本発明によれば、固定部と可動部との対向面を互いに吸
引させる磁気機構が、固定部から可動部を空気にて浮か
そうとすることに対しての負荷となり、重量増を招くこ
となく負荷容量を高めることができる。また、磁気は構
をもつものにおいて、磁気機構の表面に非磁性体皮膜を
股゛けると１、二の非磁性体皮膜は適度なレジツユアル
効果を磁気力にＪヲえて、軸受隙間のわずがな変動が磁
気力に与える影響を抑えるものである。 ［実施例］ 以下本発明を図示の実施例に基づいて詳述すると、第１
図は一実施例を示しており、ベース１上にはガイド２を
設けるとともに、このガイド２の一側面に永久磁石５を
取り付けである。またベース１の表面にも永久磁石５．
５を取り付けである。 そして、ベース１及びガイド２における永久磁石５が取
り付けられている表面全面に、非磁性体皮膜６を形成し
である。この非磁性体皮膜６は、セラミックのような非
磁性体材料を溶射し、その後表面仕上げ加工を行なうこ
とで形成している。 一方、可動体３の下面両側には、夫々磁性体からなる軸
受パッド４，４を取すイ」けである。一方の軸受パッド
４は、ベース１及びガイド２における各永久磁石５が配
されたところに向けてＪ玉網空気を噴出するノズルを備
えており、他方の軸受パッド４はベース１の永久磁石５
が配されたところに向けて圧縮空気を噴出するノズルを
備えている。 図中の矢印は、前記従来例と同様に空気の噴出方向を示
している。 この静圧軸受装置においては、軸受バンド４とベース１
との開に噴出する空気によって、可動体ｊ３がベース１
がら浮Ｆ−，１″るものであり、そし′ζ、永久磁石５
が軸受バンド４Ｉ４に及ば１磁気吸引力によって、鉛直
方向の負荷容量Ｗが高められている。また、軸受バンド
４からガイド２に向けて噴出土る空気は、力゛イド２の
一側面に向けられているだけである］−に、他方の軸受
バンド４が力゛イド２の他側面から削れているために、
空気だけでは七の水平力向の位置が定まらないが、ここ
で′は力゛イド２の側面に設けられた永久磁石５か空気
圧に抗して軸受バッドイを吸引する力によって、水平方
向位置が規制され′Ｃいる。 つまり、ここでは永久磁石５の磁気吸引力が１１動部の
重量を増やさずとも負荷容量Ｗを高くできるものであり
、また本実施例に／」く１ものでは、水平力向について
も磁気吸引力による賀荷容ＭＷの増大で剛性の向」二が
なされでおり、両ｔｈ１拘東型とする必要性をなくシ゛
（いる。 第２図に他の実施例を示す。ここで・はベース１−７＝ 」−に二つのガイド２，２を設けるとともに、山形断面
とされた一方のガイド２の」二面の両頭斜面と、他方の
〃イｌ” ２の上面とに夫々永久磁石５及び非磁性体皮
膜６を設け、そして可動体３の下面両側に夫々収り付け
られた−・対の軸受パッド４，４のうちの一方を」−記
山形断面のガイド２に対応する断面三角形の凹溝が下面
に形成されたものとして、ガイド２の両頭斜面に向けて
圧縮空気を噴出する２種のノズルを設け、他方の軸受バ
ンド４の下面に１：方に向けて圧縮空気を噴出するノズ
ルを設けたものである。 ５；のものにおいても、鉛直方向及び水平方向の負荷容
量Ｗが永久磁石５による磁気吸引力で高められて剛性の
向」二がなされている。また水平方向については、山形
断面をなすガイド２とこれに対応する形状の軸受バンド
４を用いている関係上、両面拘束型に近いものとなって
いるが、要求される精度は、永久磁石５による磁気吸引
力による剛性の向−」−もあって、通常の両面拘束型の
ものよりはるかに低いものとなっている。 ここにおいて、」二記二つの実施例で′示した非磁性体
皮膜６は、永久磁石５の磁気力が軸受パッド４にりえる
力に−〕いて適度なレジツユアル効果をりえるものて゛
あり、５：のために、たとえば加工精度の関係で軸受隙
間Ｉ］にわずかな変動があった時にも、永久磁石５が軸
受バンド４に及ぼす力は殆ど変化せず、安定した特性を
得ることかできるものである。また、非磁性体皮膜６の
祠貿を適宜設定する、二とによって、ガイド２やベース
１表面の耐食性の向上及び傷付きの防止笠を行なうこと
ができる。 尚、ここでは永久磁石５をベース１やガイド２の側に設
けでいるが、可動体３側に設けても、また磁気吸引力が
作用するＪ：うにするならば両方に設けてもよいもので
あり、電磁石を用いてもよいものである。 更に、６ｆ動体３に大ぎな面積を必要としない時には、
第１図及び第２図中の各左半分のみの構造で静圧軸受装
置を構成することができる。
移動する可動体との上下対向面のいずれか一方から空気
を噴出させて固定部にメ１してｆ＋ｆ動部を浮」ニさせ
ている静圧軸受装置において、固／部と可動部との対向
面に互いを吸引させる磁気機構を設けている静圧軸受装
置に特徴を有してｔ（す、またＩＩ！ｌＩ定部と、二の
固定部にガイドされで移動する可動体との対向面の一力
に他方に対して磁気力を作用させる磁気機構を設けると
ともに、この磁気機構の表面に溶射にて形成され且つ表
面仕上げ加工が施された非磁性体皮膜を形成している静
圧軸受装置に特徴を有しでいる。 １作用１ 本発明によれば、固定部と可動部との対向面を互いに吸
引させる磁気機構が、固定部から可動部を空気にて浮か
そうとすることに対しての負荷となり、重量増を招くこ
となく負荷容量を高めることができる。また、磁気は構
をもつものにおいて、磁気機構の表面に非磁性体皮膜を
股゛けると１、二の非磁性体皮膜は適度なレジツユアル
効果を磁気力にＪヲえて、軸受隙間のわずがな変動が磁
気力に与える影響を抑えるものである。 ［実施例］ 以下本発明を図示の実施例に基づいて詳述すると、第１
図は一実施例を示しており、ベース１上にはガイド２を
設けるとともに、このガイド２の一側面に永久磁石５を
取り付けである。またベース１の表面にも永久磁石５．
５を取り付けである。 そして、ベース１及びガイド２における永久磁石５が取
り付けられている表面全面に、非磁性体皮膜６を形成し
である。この非磁性体皮膜６は、セラミックのような非
磁性体材料を溶射し、その後表面仕上げ加工を行なうこ
とで形成している。 一方、可動体３の下面両側には、夫々磁性体からなる軸
受パッド４，４を取すイ」けである。一方の軸受パッド
４は、ベース１及びガイド２における各永久磁石５が配
されたところに向けてＪ玉網空気を噴出するノズルを備
えており、他方の軸受パッド４はベース１の永久磁石５
が配されたところに向けて圧縮空気を噴出するノズルを
備えている。 図中の矢印は、前記従来例と同様に空気の噴出方向を示
している。 この静圧軸受装置においては、軸受バンド４とベース１
との開に噴出する空気によって、可動体ｊ３がベース１
がら浮Ｆ−，１″るものであり、そし′ζ、永久磁石５
が軸受バンド４Ｉ４に及ば１磁気吸引力によって、鉛直
方向の負荷容量Ｗが高められている。また、軸受バンド
４からガイド２に向けて噴出土る空気は、力゛イド２の
一側面に向けられているだけである］−に、他方の軸受
バンド４が力゛イド２の他側面から削れているために、
空気だけでは七の水平力向の位置が定まらないが、ここ
で′は力゛イド２の側面に設けられた永久磁石５か空気
圧に抗して軸受バッドイを吸引する力によって、水平方
向位置が規制され′Ｃいる。 つまり、ここでは永久磁石５の磁気吸引力が１１動部の
重量を増やさずとも負荷容量Ｗを高くできるものであり
、また本実施例に／」く１ものでは、水平力向について
も磁気吸引力による賀荷容ＭＷの増大で剛性の向」二が
なされでおり、両ｔｈ１拘東型とする必要性をなくシ゛
（いる。 第２図に他の実施例を示す。ここで・はベース１−７＝ 」−に二つのガイド２，２を設けるとともに、山形断面
とされた一方のガイド２の」二面の両頭斜面と、他方の
〃イｌ” ２の上面とに夫々永久磁石５及び非磁性体皮
膜６を設け、そして可動体３の下面両側に夫々収り付け
られた−・対の軸受パッド４，４のうちの一方を」−記
山形断面のガイド２に対応する断面三角形の凹溝が下面
に形成されたものとして、ガイド２の両頭斜面に向けて
圧縮空気を噴出する２種のノズルを設け、他方の軸受バ
ンド４の下面に１：方に向けて圧縮空気を噴出するノズ
ルを設けたものである。 ５；のものにおいても、鉛直方向及び水平方向の負荷容
量Ｗが永久磁石５による磁気吸引力で高められて剛性の
向」二がなされている。また水平方向については、山形
断面をなすガイド２とこれに対応する形状の軸受バンド
４を用いている関係上、両面拘束型に近いものとなって
いるが、要求される精度は、永久磁石５による磁気吸引
力による剛性の向−」−もあって、通常の両面拘束型の
ものよりはるかに低いものとなっている。 ここにおいて、」二記二つの実施例で′示した非磁性体
皮膜６は、永久磁石５の磁気力が軸受パッド４にりえる
力に−〕いて適度なレジツユアル効果をりえるものて゛
あり、５：のために、たとえば加工精度の関係で軸受隙
間Ｉ］にわずかな変動があった時にも、永久磁石５が軸
受バンド４に及ぼす力は殆ど変化せず、安定した特性を
得ることかできるものである。また、非磁性体皮膜６の
祠貿を適宜設定する、二とによって、ガイド２やベース
１表面の耐食性の向上及び傷付きの防止笠を行なうこと
ができる。 尚、ここでは永久磁石５をベース１やガイド２の側に設
けでいるが、可動体３側に設けても、また磁気吸引力が
作用するＪ：うにするならば両方に設けてもよいもので
あり、電磁石を用いてもよいものである。 更に、６ｆ動体３に大ぎな面積を必要としない時には、
第１図及び第２図中の各左半分のみの構造で静圧軸受装
置を構成することができる。
以上のように本発明においては、固定部と可動部との月
向面を互いに吸引させる磁気機構が、固定部からｔげ動
部を空気にて浮がそうとすることに対しての負荷となり
、このために重量増を招くことなく負荷容量を高めるこ
とができるものであって、剛性の向−１−を小型軽量化
並びに高速化と同時に図ることができる」二に、両面拘
束型とする必要がないこともあって、加工精度や組立精
度を高精度としなくともよく、これ故に安価に提供する
ことができるものである。 そして、磁気機構を設けるにあたり、磁気機構の表面に
非磁性体皮膜を設けたものでは、適度なレシジュアル効
果を発揮する非磁性体皮膜が、軸受隙間の変動が磁気力
に与える影響を抑えるために、安定した磁気特性を発揮
させることができるものである。
向面を互いに吸引させる磁気機構が、固定部からｔげ動
部を空気にて浮がそうとすることに対しての負荷となり
、このために重量増を招くことなく負荷容量を高めるこ
とができるものであって、剛性の向−１−を小型軽量化
並びに高速化と同時に図ることができる」二に、両面拘
束型とする必要がないこともあって、加工精度や組立精
度を高精度としなくともよく、これ故に安価に提供する
ことができるものである。 そして、磁気機構を設けるにあたり、磁気機構の表面に
非磁性体皮膜を設けたものでは、適度なレシジュアル効
果を発揮する非磁性体皮膜が、軸受隙間の変動が磁気力
に与える影響を抑えるために、安定した磁気特性を発揮
させることができるものである。
第１図は本発明一実施例の断面図、第２図は他の実施例
の断面図、＄３図乃至第５図は夫々異なる従来例の断面
図、第６図は負荷容量と紬受隙問及び空気圧の相関を示
す説明図であって、１はベース、２はガイド、３は可動
体、４は軸受パン１”、５は永久磁石、６は非磁性体皮
膜を示す。 代理人 弁理士 石 １）艮 七 第３図・ 第４図 第６図 第５図 柚費禅１…
の断面図、＄３図乃至第５図は夫々異なる従来例の断面
図、第６図は負荷容量と紬受隙問及び空気圧の相関を示
す説明図であって、１はベース、２はガイド、３は可動
体、４は軸受パン１”、５は永久磁石、６は非磁性体皮
膜を示す。 代理人 弁理士 石 １）艮 七 第３図・ 第４図 第６図 第５図 柚費禅１…
Claims (2)
- （１）固定部とこの固定部にガイドされて移動する可動
体との上下対向面のいずれか一方から空気を噴出させて
固定部に対して可動部を浮上させている静圧軸受装置に
おいて、固定部と可動部との対向面に互いを吸引させる
磁気機構を設けている静圧軸受装置。 - （２）固定部とこの固定部にガイドされて移動する可動
体との対向面の一方に他方に対して磁気力を作用させる
磁気機構を設けるとともに、こめ磁気機構の表面に溶射
にて形成され且つ表面仕上げ加工が施された非磁性体皮
膜を形成している静圧軸受装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11751688A JPH01288615A (ja) | 1988-05-14 | 1988-05-14 | 静圧軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11751688A JPH01288615A (ja) | 1988-05-14 | 1988-05-14 | 静圧軸受装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01288615A true JPH01288615A (ja) | 1989-11-20 |
Family
ID=14713701
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11751688A Pending JPH01288615A (ja) | 1988-05-14 | 1988-05-14 | 静圧軸受装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01288615A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006341350A (ja) * | 2005-06-10 | 2006-12-21 | Taiheiyo Cement Corp | エアスライドおよびその組立方法 |
| US7651272B2 (en) | 2006-01-04 | 2010-01-26 | Fanuc Ltd | Method of assembling air bearing, air bearing and linear drive unit equipped with the same |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5226578A (en) * | 1975-08-26 | 1977-02-28 | Suwa Seikosha Kk | Synthetic resin and glass * hydrophilized technically |
| JPS595174A (ja) * | 1982-07-01 | 1984-01-12 | Toyo Soda Mfg Co Ltd | Ｎ−アルキルモルホリンの製造方法 |
| JPS6125742A (ja) * | 1984-07-11 | 1986-02-04 | Ntn Toyo Bearing Co Ltd | ガイド装置 |
-
1988
- 1988-05-14 JP JP11751688A patent/JPH01288615A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5226578A (en) * | 1975-08-26 | 1977-02-28 | Suwa Seikosha Kk | Synthetic resin and glass * hydrophilized technically |
| JPS595174A (ja) * | 1982-07-01 | 1984-01-12 | Toyo Soda Mfg Co Ltd | Ｎ−アルキルモルホリンの製造方法 |
| JPS6125742A (ja) * | 1984-07-11 | 1986-02-04 | Ntn Toyo Bearing Co Ltd | ガイド装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006341350A (ja) * | 2005-06-10 | 2006-12-21 | Taiheiyo Cement Corp | エアスライドおよびその組立方法 |
| JP4602168B2 (ja) * | 2005-06-10 | 2010-12-22 | 太平洋セメント株式会社 | エアスライドの組立方法 |
| US7651272B2 (en) | 2006-01-04 | 2010-01-26 | Fanuc Ltd | Method of assembling air bearing, air bearing and linear drive unit equipped with the same |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5228358A (en) | Motion guiding device | |
| US4744675A (en) | Moving mechanism | |
| EP0443831A2 (en) | Motion guiding device | |
| KR940008871B1 (ko) | 자기디스크장치 | |
| JPH01288615A (ja) | 静圧軸受装置 | |
| JPH0252233B2 (ja) | ||
| JP3291900B2 (ja) | 静圧浮上ステージ | |
| JPH05217874A (ja) | 直線軸受構体およびリソグラフイ機 | |
| JP2000170767A (ja) | 静圧直線案内装置 | |
| US9081308B2 (en) | Driving apparatus and exposure apparatus and device fabrication method | |
| JP2865369B2 (ja) | 磁気吸引ガス浮上型パッド | |
| KR920015291A (ko) | 광학기록 및 재생장치의 대물렌즈 구동수단 | |
| JPWO2021149339A5 (ja) | ||
| JPH0647135Y2 (ja) | エアスライド装置 | |
| JPH1170434A (ja) | 移動テーブル | |
| JP2000214280A (ja) | ステ―ジ機構 | |
| JPH03221336A (ja) | 可動ステージ装置 | |
| JPH0517447Y2 (ja) | ||
| JP2007299925A (ja) | ステージ装置および露光装置 | |
| JPS63232912A (ja) | 流体軸受装置 | |
| JP2573502B2 (ja) | 二軸移動装置 | |
| KR100226527B1 (ko) | 자기헤드 슬라이더장치 | |
| JP2577124Y2 (ja) | スライド装置 | |
| JPH04107321A (ja) | 静圧空気軸受 | |
| JPH06241230A (ja) | 静圧軸受装置およびこれを用いた位置決めステージ |