JPS6125742A - ガイド装置 - Google Patents
ガイド装置Info
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- JPS6125742A JPS6125742A JP14514984A JP14514984A JPS6125742A JP S6125742 A JPS6125742 A JP S6125742A JP 14514984 A JP14514984 A JP 14514984A JP 14514984 A JP14514984 A JP 14514984A JP S6125742 A JPS6125742 A JP S6125742A
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- Japan
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- bearing
- guide
- magnet
- guide member
- air supply
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/38—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/02—Sliding-contact bearings
- F16C29/025—Hydrostatic or aerostatic
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/12—Arrangements for adjusting play
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0662—Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load
- F16C32/067—Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load of bearings adjustable for aligning, positioning, wear or play
- F16C32/0674—Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load of bearings adjustable for aligning, positioning, wear or play by means of pre-load on the fluid bearings
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2322/00—Apparatus used in shaping articles
- F16C2322/39—General build up of machine tools, e.g. spindles, slides, actuators
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産１上皇剋朋分肚
この発明は各種の加工機を保持する移動テーブルをガイ
ド部材に沿って非接触状態で移動させて、高精度な案内
及び位置決めを行い得るようにしたガイド装置に関する
ものである。
ド部材に沿って非接触状態で移動させて、高精度な案内
及び位置決めを行い得るようにしたガイド装置に関する
ものである。
従来優伎血
超精密工作機械や測定器の如く、サブミクロンの高精度
な案内及び位置決めが要求されるものでは、その案内と
して、近年、静圧空気軸受を備えたガイド装置が用いら
れている。このガイド装置は、例えば第４図及び第５図
に示す様に、レール状のガイド部材（１）に角筒状の移
動チーフル（２）を抱持させると共に前記ガイド部材（
１）の外周面と移動テーブル（２）の内周面との間に微
小な軸受すきま（３）を設け、移動テーブル（２）内に
給気通路（４）及び給気孔（５）（５）−を形成したも
ので、外部のコンプレッサで発生させた圧縮空気をエア
ーホース（６）を介して移動テーブル（２）の給気通路
（４）へ供給し、さらに給気通路（４）から給気孔（５
）（５） −を介して軸受すきま（３）へ噴出させて
適当な圧力分布を作り、これによりガイド部材（１）と
移動テーブル（２）との間に上下左右において静圧空気
軸受（６ａ）（６ｂ） （６ｃ） （６ｄ）を構成
して移動テーブル（２）の荷重を負荷させるようにしで
ある。そしてこの負荷状態でボールネジ等の適宜の駆動
手段にて移動テーブル（２）をガイド部材（１）に沿っ
て移動させ、移動テーブル（２）の上面に載せた機械（
図示せず）て加工を行う。
な案内及び位置決めが要求されるものでは、その案内と
して、近年、静圧空気軸受を備えたガイド装置が用いら
れている。このガイド装置は、例えば第４図及び第５図
に示す様に、レール状のガイド部材（１）に角筒状の移
動チーフル（２）を抱持させると共に前記ガイド部材（
１）の外周面と移動テーブル（２）の内周面との間に微
小な軸受すきま（３）を設け、移動テーブル（２）内に
給気通路（４）及び給気孔（５）（５）−を形成したも
ので、外部のコンプレッサで発生させた圧縮空気をエア
ーホース（６）を介して移動テーブル（２）の給気通路
（４）へ供給し、さらに給気通路（４）から給気孔（５
）（５） −を介して軸受すきま（３）へ噴出させて
適当な圧力分布を作り、これによりガイド部材（１）と
移動テーブル（２）との間に上下左右において静圧空気
軸受（６ａ）（６ｂ） （６ｃ） （６ｄ）を構成
して移動テーブル（２）の荷重を負荷させるようにしで
ある。そしてこの負荷状態でボールネジ等の適宜の駆動
手段にて移動テーブル（２）をガイド部材（１）に沿っ
て移動させ、移動テーブル（２）の上面に載せた機械（
図示せず）て加工を行う。
尚、前記カーイド装置は、移動テーブル（２）の上下に
構成される静圧空気軸受（６ａ） （６ｂ）を互いに
釣り合せ、且つ左右に構成される静圧空気軸受（６ｃ）
（６ｄ）を互いに釣り合わせ°ζある。
構成される静圧空気軸受（６ａ） （６ｂ）を互いに
釣り合せ、且つ左右に構成される静圧空気軸受（６ｃ）
（６ｄ）を互いに釣り合わせ°ζある。
上記の如きガイド装置は、高精度な直進性及び位置決め
精度が得られるが、剛性を高くできないといった問題が
あった。
精度が得られるが、剛性を高くできないといった問題が
あった。
即ち上記ガイド装置の剛性には、静圧空気軸受（６ａ）
（６ｂ） （６ｃ） （６ｄ）の剛性ｋＡとガ
イド部材（１）の剛性ｋＢとで決定され、両割性ｋＡ、
に８が大きい程全体剛性ｋが高くなる。
（６ｂ） （６ｃ） （６ｄ）の剛性ｋＡとガ
イド部材（１）の剛性ｋＢとで決定され、両割性ｋＡ、
に８が大きい程全体剛性ｋが高くなる。
従って剛性ｋＡ、に８を共に大きくすればよいが、移動
テーブル（２）の移動ストロークが長く、ガイド部材（
１）が長尺になると、ガイド部材（１）は下部に支えが
無い為に剛性に８が小さくなり、静圧空気軸受の剛性ｋ
Ａを大きくしても、全体剛性ｋが低く、第５図に示す様
に、ガイド部材（１）に作用する荷重Ｗにてガイド部材
（１）が中央部で撓みを生じて移動テーブル（２）の直
進性が損なわれ、極端な場合には移動テーブル（２）が
ガイド部材（１）に接触して移動不可能になるといった
問題がある。
テーブル（２）の移動ストロークが長く、ガイド部材（
１）が長尺になると、ガイド部材（１）は下部に支えが
無い為に剛性に８が小さくなり、静圧空気軸受の剛性ｋ
Ａを大きくしても、全体剛性ｋが低く、第５図に示す様
に、ガイド部材（１）に作用する荷重Ｗにてガイド部材
（１）が中央部で撓みを生じて移動テーブル（２）の直
進性が損なわれ、極端な場合には移動テーブル（２）が
ガイド部材（１）に接触して移動不可能になるといった
問題がある。
そこでガイド部材の剛性を高くする為に、第６図に示す
様に、移動テーブル（２）の下部中央部を欠除（８）さ
せて鞍型に形成し、ガイド部材（１）の上部に支持部材
（９）を設け、この支持部材（９）を欠除部（８）から
突出させて床上に載させた構造のものがある。
様に、移動テーブル（２）の下部中央部を欠除（８）さ
せて鞍型に形成し、ガイド部材（１）の上部に支持部材
（９）を設け、この支持部材（９）を欠除部（８）から
突出させて床上に載させた構造のものがある。
このガイド装置ではガイド部材（１）は支持部材（９）
にて支持されるので、ガイド部材（１）の割付ｋＢが高
くなる。しかし１、移動テーブル（２）は、下部を一部
欠除（８）さゼであるので、１部の静圧空気軸受（６ｂ
）のａｌｌ性が低くなるので上下方向の釣合いを保つた
めに、移動チーフル（２）の上部内面に８ （１０）を
形成して上部の静圧空気軸受（６ａ）の剛性を抑えねば
ならず、軸受の剛性ｋＡが低下する。
にて支持されるので、ガイド部材（１）の割付ｋＢが高
くなる。しかし１、移動テーブル（２）は、下部を一部
欠除（８）さゼであるので、１部の静圧空気軸受（６ｂ
）のａｌｌ性が低くなるので上下方向の釣合いを保つた
めに、移動チーフル（２）の上部内面に８ （１０）を
形成して上部の静圧空気軸受（６ａ）の剛性を抑えねば
ならず、軸受の剛性ｋＡが低下する。
そこで、ガイド部材（１）と移動テーブル（２）との間
の軸受すきま（３）を小さくして剛性ｋＡを高くすると
、移動テーブル（２７が第７図に示す様に、下部が外方
に拡がり、剛性が低くなる。従ってこのガイド装置では
静圧空気軸受の剛性ｋＡが低かった。
の軸受すきま（３）を小さくして剛性ｋＡを高くすると
、移動テーブル（２７が第７図に示す様に、下部が外方
に拡がり、剛性が低くなる。従ってこのガイド装置では
静圧空気軸受の剛性ｋＡが低かった。
従来の２種のガイド装置では全体の剛性ハを高（するこ
とができず、高荷重に使用できなかった。
とができず、高荷重に使用できなかった。
また上記ガイド装置は何れも軸受すきま（３）を所足の
間隔に形成せねばな・ｂず、ガイド部材（１）及び移動
テーブル（２）を高精度に製作しなりればならないので
、製作が非常に困難であった。
間隔に形成せねばな・ｂず、ガイド部材（１）及び移動
テーブル（２）を高精度に製作しなりればならないので
、製作が非常に困難であった。
さらに移動テーブル（２）の下方に移動テーブル（２）
を移動させる駆動手段を配置させねばならず、それだけ
移動テーブル（２）を床から高い位置に配置する必要が
あり、ガイド部材（１）が大型となり装置全体も大型と
なろといった問題もあった。
を移動させる駆動手段を配置させねばならず、それだけ
移動テーブル（２）を床から高い位置に配置する必要が
あり、ガイド部材（１）が大型となり装置全体も大型と
なろといった問題もあった。
そこで、Ｊ、記の如き問題点を解決するものとして第８
図及び第９図に示すものが開発された。これは磁性体で
形成したＬ字形のガイド部材（１６）上に移動テーブル
（１１）を載せ、この移動テーブル（１１）のガイド部
材（１６）と対向する２面の中央部に夫々磁石（１２）
（１３）を埋設し、且つ磁石（１２） （１３）
の両側に給気孔（１４）（１５）を形成したもので、各
給気孔（１４） ＜１５＞から供給される圧縮空気に
て構成される静圧空気軸受の反発力と磁石（１２）
（１３）がガイド部材（１６）を吸引する吸引力とを釣
合わせて移動テーブル（１１）を支持するようにしたも
のである。
図及び第９図に示すものが開発された。これは磁性体で
形成したＬ字形のガイド部材（１６）上に移動テーブル
（１１）を載せ、この移動テーブル（１１）のガイド部
材（１６）と対向する２面の中央部に夫々磁石（１２）
（１３）を埋設し、且つ磁石（１２） （１３）
の両側に給気孔（１４）（１５）を形成したもので、各
給気孔（１４） ＜１５＞から供給される圧縮空気に
て構成される静圧空気軸受の反発力と磁石（１２）
（１３）がガイド部材（１６）を吸引する吸引力とを釣
合わせて移動テーブル（１１）を支持するようにしたも
のである。
滲ｌｆ邂゛ しよ゛と る 占
前記ガイド装置は、移動テーブル（１］）の交差する２
面でのみ静圧空気軸受を形成すればよく、また移動テー
ブル（１１）でガイド部材（１６）を抱持させる必要も
ないので、全体を小型にすることができる。
面でのみ静圧空気軸受を形成すればよく、また移動テー
ブル（１１）でガイド部材（１６）を抱持させる必要も
ないので、全体を小型にすることができる。
ところで、上記の如く静圧空気軸受を用いたガイド装置
では、静圧空気軸受の剛性と、ガイド部材（１６）と移
動テーブル（１１）との間の隙間とは第１Ｏ図に示す様
な相関関係にあり、隙間が狭い程剛性が高くなる。従っ
てガイド部材（１６）と移動テーブル（１１）とのすき
ま（１７）は非常に狭い範囲（５〜１５μｍ）で設定さ
れる。そのため移動テーブル（１１）の移動時に移動テ
ーブル（１１〉とガイド部材（１６）との間にごみ等が
侵入すると、両部材（１１） （１６）の表面に傷を
つけたり、或いは焼付きやかじりを生じるといった問題
がある。特に磁石（１２） （１３）を用いたガイド
装置では磁石（１２） （１３）にてごみを吸着する
ことが多く、従来の如く磁石（１２） ＜１３）の表
面が移動テーブル（１１）の表面と面一になっていると
、吸着されたごみがすぐにガイド部材（１６）と移動テ
ーブル（１１）との間に侵入して前記の如き問題を生じ
ていた。
では、静圧空気軸受の剛性と、ガイド部材（１６）と移
動テーブル（１１）との間の隙間とは第１Ｏ図に示す様
な相関関係にあり、隙間が狭い程剛性が高くなる。従っ
てガイド部材（１６）と移動テーブル（１１）とのすき
ま（１７）は非常に狭い範囲（５〜１５μｍ）で設定さ
れる。そのため移動テーブル（１１）の移動時に移動テ
ーブル（１１〉とガイド部材（１６）との間にごみ等が
侵入すると、両部材（１１） （１６）の表面に傷を
つけたり、或いは焼付きやかじりを生じるといった問題
がある。特に磁石（１２） （１３）を用いたガイド
装置では磁石（１２） （１３）にてごみを吸着する
ことが多く、従来の如く磁石（１２） ＜１３）の表
面が移動テーブル（１１）の表面と面一になっていると
、吸着されたごみがすぐにガイド部材（１６）と移動テ
ーブル（１１）との間に侵入して前記の如き問題を生じ
ていた。
占 ゛ るための □
この発明は交差する少なくとも２つのガイド面を有し、
各ガイド面の中央部に案内方向に沿ってその全長に亘っ
て磁性体若しくは磁石を一部突出させて埋設固定したガ
イド部材と、前記ガイド部材のガイド面と対向する軸受
面を有し、各軸受面の中央部に前記磁性体若しくは磁石
と対応させて磁石若しくは磁性体を全長に亘って埋設固
定すると共に磁石若しくは磁性体の両側にこれを挟むよ
うに複数の給気孔を案内方向に対称に形成し、さらに内
部に各給気孔と連通ずる給気通路を形成すると共に軸受
面に給気孔を囲むように流出溝を形成し、且つ前記磁石
若しくは磁性体の表面側に前記流出溝と連通ずる排気溝
を形成し、この排気溝の両端を開放させた移動テーブル
と、移動テーブルを移動させる駆動手段とでガイド装置
を構成し、ガイド部材に移動テーブルを被せ、ガイド面
と軸受面との間に微小な軸受すきまを形成すると共に移
動テーブル内で磁石と磁性体とを適当なすきまを持たせ
て対向させ、給気孔から軸受すきまへ供給される圧縮空
気にて構成する静圧空気軸受の反発力と、磁石と磁性体
との吸引力とを釣合わせて移動テーブルを鼻接触状態で
支持させると共に軸受すきま内の圧縮空気を流出溝から
排出溝を経て大気中へ放出させるようになし、排出溝を
流れる圧縮空気にて磁石に吸着されたごみ等を放出させ
るようにしたものである。
各ガイド面の中央部に案内方向に沿ってその全長に亘っ
て磁性体若しくは磁石を一部突出させて埋設固定したガ
イド部材と、前記ガイド部材のガイド面と対向する軸受
面を有し、各軸受面の中央部に前記磁性体若しくは磁石
と対応させて磁石若しくは磁性体を全長に亘って埋設固
定すると共に磁石若しくは磁性体の両側にこれを挟むよ
うに複数の給気孔を案内方向に対称に形成し、さらに内
部に各給気孔と連通ずる給気通路を形成すると共に軸受
面に給気孔を囲むように流出溝を形成し、且つ前記磁石
若しくは磁性体の表面側に前記流出溝と連通ずる排気溝
を形成し、この排気溝の両端を開放させた移動テーブル
と、移動テーブルを移動させる駆動手段とでガイド装置
を構成し、ガイド部材に移動テーブルを被せ、ガイド面
と軸受面との間に微小な軸受すきまを形成すると共に移
動テーブル内で磁石と磁性体とを適当なすきまを持たせ
て対向させ、給気孔から軸受すきまへ供給される圧縮空
気にて構成する静圧空気軸受の反発力と、磁石と磁性体
との吸引力とを釣合わせて移動テーブルを鼻接触状態で
支持させると共に軸受すきま内の圧縮空気を流出溝から
排出溝を経て大気中へ放出させるようになし、排出溝を
流れる圧縮空気にて磁石に吸着されたごみ等を放出させ
るようにしたものである。
スｌ別
第１図及び第２図は本発明の一実施例を示す図面で、同
図において、（２０）はガイド部材で、矩形の長尺なバ
ー材で形成し、直交する少なくとも２つ面、例えば上面
（２０ａ ）及び側面（２０ｂ ）を平滑なガイド面に
形成しである。
図において、（２０）はガイド部材で、矩形の長尺なバ
ー材で形成し、直交する少なくとも２つ面、例えば上面
（２０ａ ）及び側面（２０ｂ ）を平滑なガイド面に
形成しである。
（２１）はガイド部材（２０）の下面中央部にポルト結
合した支持部材で、ガイド部材（２０）を全長に亘って
支持する。
合した支持部材で、ガイド部材（２０）を全長に亘って
支持する。
（２２）、り２３）はガイド部材（２０）の各ガイド面
（２０ａ ） （２０ｂ ）の中央部に案内方向（移
動方向）に沿って、その全長に亘って埋設固定した磁性
体で、一部をガイド面 （２０ａ ） （２０ｂ ）
から適当寸法突出させである。
（２０ａ ） （２０ｂ ）の中央部に案内方向（移
動方向）に沿って、その全長に亘って埋設固定した磁性
体で、一部をガイド面 （２０ａ ） （２０ｂ ）
から適当寸法突出させである。
（２４）はガ・イド部材（２０）に装着した移動テーブ
ルで、適当な大きさの２枚の板材を直交させて結合し、
その上部内面（２４ａ ）及び内側面＜２４ｂ ）を平
滑な軸受面に形成しである。この移動テーブル（２４）
は各軸受面（２４ａ ） （２４ｂ ）に略田字状の
流出溝（２５）、（２６）を形成し、且つ軸受面（２４
ａ ） （２４ｂ ）の中央部に移動方向に沿って深
さの深い排気１ｉＪＣ２７）、（２３）４形成し、流出
ｉ＠ （２５＞、（２Ｇ）と排気溝（２７）、（２８）
とを連通させると共に排気＆ （２’、″）、（２日）
の両端部を移動テーブル（２４）の端面に開口させであ
る。排気ｉ ＜２７）、（２８）はその溝幅をガイ！、
部材（２０）に埋設した磁性体（２２）、（２３）の幅
寸法上り広い溝幅に１１ニ成してあり、磁性体（７：２
） 、（２３）が排気’ｊ！Ａ （２７）、（２８）内
に入るようにしである。
ルで、適当な大きさの２枚の板材を直交させて結合し、
その上部内面（２４ａ ）及び内側面＜２４ｂ ）を平
滑な軸受面に形成しである。この移動テーブル（２４）
は各軸受面（２４ａ ） （２４ｂ ）に略田字状の
流出溝（２５）、（２６）を形成し、且つ軸受面（２４
ａ ） （２４ｂ ）の中央部に移動方向に沿って深
さの深い排気１ｉＪＣ２７）、（２３）４形成し、流出
ｉ＠ （２５＞、（２Ｇ）と排気溝（２７）、（２８）
とを連通させると共に排気＆ （２’、″）、（２日）
の両端部を移動テーブル（２４）の端面に開口させであ
る。排気ｉ ＜２７）、（２８）はその溝幅をガイ！、
部材（２０）に埋設した磁性体（２２）、（２３）の幅
寸法上り広い溝幅に１１ニ成してあり、磁性体（７：２
） 、（２３）が排気’ｊ！Ａ （２７）、（２８）内
に入るようにしである。
（２９）、（３０）は移動テーブル（２４）の軸受面（
２４ａ ） （２４ｂ ）に形成した排気１１４（２
７）、（２８）の奥部に埋設固定した磁石で、移動テー
ブル（２４）の全長に亘って配設してあり、（を気溝（
２７）、（２Ｂ）内で夫々ガイド部材（２０）に設けら
れた磁性体（２２）、（２３）と対向してし）る。
２４ａ ） （２４ｂ ）に形成した排気１１４（２
７）、（２８）の奥部に埋設固定した磁石で、移動テー
ブル（２４）の全長に亘って配設してあり、（を気溝（
２７）、（２Ｂ）内で夫々ガイド部材（２０）に設けら
れた磁性体（２２）、（２３）と対向してし）る。
（３１） （３１）−ｍ−は移動テーブル（２４）の
軸受面（２４ａ ）に埋設された磁石（２９）を挟んで
対称形に、複数個、例えば２個宛移動方向に沿って移動
テーブル（２４）に設けた給気孔で、内端には圧縮空気
を絞る為のオリフィス（３２） （３２）−を形成し
である。この給気孔（３１） （３１） −は圧縮空
気を、ガイド部材（２０）のガイド面（２０Ｍ ）と移
動テーブル（２４）の軸受面（２４ａ ）との間に供給
して、両者間の軸受すきま（３３）に均一な圧力分布を
形成して静圧空気軸受を構成する。
軸受面（２４ａ ）に埋設された磁石（２９）を挟んで
対称形に、複数個、例えば２個宛移動方向に沿って移動
テーブル（２４）に設けた給気孔で、内端には圧縮空気
を絞る為のオリフィス（３２） （３２）−を形成し
である。この給気孔（３１） （３１） −は圧縮空
気を、ガイド部材（２０）のガイド面（２０Ｍ ）と移
動テーブル（２４）の軸受面（２４ａ ）との間に供給
して、両者間の軸受すきま（３３）に均一な圧力分布を
形成して静圧空気軸受を構成する。
（３４） （３４）〜は移動テーブル（２４）の軸受
面（２４ｂ ）に埋設された磁石（３０）を挟んで対称
形に、複数個、例えば２個宛移動方向に沿って移動テー
ブル（２４）に設けた給気孔で、内端には圧縮空気を絞
る為のオリフィス（３５） （３５）−を形成しであ
る。この給気孔（３４） （３４）−は圧縮空気を、
ガイド部材（２０）のガイド面＜２０ｂ ＞と移動テー
ブル（２４）の軸受面（２４ｂ ）との間に供給して両
者間の軸受すきま（３６）に均一な圧力分布を形成して
静圧空気軸受を構成する。
面（２４ｂ ）に埋設された磁石（３０）を挟んで対称
形に、複数個、例えば２個宛移動方向に沿って移動テー
ブル（２４）に設けた給気孔で、内端には圧縮空気を絞
る為のオリフィス（３５） （３５）−を形成しであ
る。この給気孔（３４） （３４）−は圧縮空気を、
ガイド部材（２０）のガイド面＜２０ｂ ＞と移動テー
ブル（２４）の軸受面（２４ｂ ）との間に供給して両
者間の軸受すきま（３６）に均一な圧力分布を形成して
静圧空気軸受を構成する。
（３７）は移動テーブル（２４）内に形成した給気通路
で、前記各給気孔（３１） （３１）−−−４び（３
４） （３４） −と連通している。（３８）は給
気通路（３７）に接続したエアーホースで、コンプレツ
サ（図示せず）にて発生させられた圧縮空気を給気通路
（３７）へ供給し、さらに給気通路（３７）から給気孔
（３１） （３１） −及び（３４）（３４） −
−を介して軸受すきま（３３）、（３６）へ噴出さセる
。
で、前記各給気孔（３１） （３１）−−−４び（３
４） （３４） −と連通している。（３８）は給
気通路（３７）に接続したエアーホースで、コンプレツ
サ（図示せず）にて発生させられた圧縮空気を給気通路
（３７）へ供給し、さらに給気通路（３７）から給気孔
（３１） （３１） −及び（３４）（３４） −
−を介して軸受すきま（３３）、（３６）へ噴出さセる
。
（３９）は移動テーブル（２４）の下部に設けた駆動手
段で、例えば、移動テーブル（２４）の下部に保持体（
４０）を取付り、この保持体（４０）にナンド部材（４
１）を固設してあり、このナツト部材（４１）に送りネ
ジ（４２）を峻合させである。前記送灼ぢ、ｆ； （４
２）は両端をガイド部材（２０）或いは支持部材（２１
）に回転自在に支持させて回転・ミータ（図示セず）に
接続してあＳ０尚、上記−′ｙ１°ド装置は、ガイド部
材（２０）のガイド面（２ｖａ ）に埋設した磁性体く
２２）と移動テーブル（２４）の軸受面（２４コ）に埋
設した磁石（２９）との吸引力と、圧縮空気にて両者（
２０δ）（２４ａ）間に構成される静圧空気軸受の反発
力とを釣合わせて軸受すきま（３３）の間隔が最も高い
剛性となるように設定する。またガイド部材（２０）の
ガイド面（２０ｂ ）に埋設した磁性体（２３）と移動
テーブル（２４）の軸受面（２４ｂ ）に埋設した磁石
（３０）との吸引力と、圧縮空気にて両者（２０ｂ ）
（２４ｂ ）間に構成される静圧空気軸受の反発力
とを釣合わせて軸受すきま（３６）の間隔が晟も高い剛
性となるように設定する。
段で、例えば、移動テーブル（２４）の下部に保持体（
４０）を取付り、この保持体（４０）にナンド部材（４
１）を固設してあり、このナツト部材（４１）に送りネ
ジ（４２）を峻合させである。前記送灼ぢ、ｆ； （４
２）は両端をガイド部材（２０）或いは支持部材（２１
）に回転自在に支持させて回転・ミータ（図示セず）に
接続してあＳ０尚、上記−′ｙ１°ド装置は、ガイド部
材（２０）のガイド面（２ｖａ ）に埋設した磁性体く
２２）と移動テーブル（２４）の軸受面（２４コ）に埋
設した磁石（２９）との吸引力と、圧縮空気にて両者（
２０δ）（２４ａ）間に構成される静圧空気軸受の反発
力とを釣合わせて軸受すきま（３３）の間隔が最も高い
剛性となるように設定する。またガイド部材（２０）の
ガイド面（２０ｂ ）に埋設した磁性体（２３）と移動
テーブル（２４）の軸受面（２４ｂ ）に埋設した磁石
（３０）との吸引力と、圧縮空気にて両者（２０ｂ ）
（２４ｂ ）間に構成される静圧空気軸受の反発力
とを釣合わせて軸受すきま（３６）の間隔が晟も高い剛
性となるように設定する。
前記ガイド装置はコンプレノツにて発生した圧縮空気を
、エアーホース（３８）を介して移動チーフル（２４）
に設けた給気通路（３７） −＼供給し、給気通路（３
７）から各給気孔（３１） （３１）−１及び（３４
） （３４） へ供給して、オリフィス（３２）
（３２Ｌ−、（３５） （３５）−からガイド部材
（２０）のガイド面（２０ａ ） （２０ｂ ）に向
けて噴出させ、芥軸受すきま（３３）、 （３６）に静
圧空気軸受を構成する。そしてこの静圧空気軸受と、ガ
イド部材（２０）に埋設した磁性体（２２）、（２３）
と移動テーブル（２４）に埋設した磁石（２９）、（３
０）との吸引力とを釣合わせて移動テーブル（２４）を
非接触状態でガイド部材（２０）に支持ヒ、（！る。こ
の状態で回転モータにて送りネＤ：’ （４７） ４ｕ
転させ、送りネジ（４２）とす・ノド部材（４１）との
螺合関係によりナノ１部材（４１）及び保持体（４０）
を介して移動テーブル（２４＞ ｔガイド部＋４’ （
２０）に沿って移動させ、移動テーブル（２４） 、１
：に配置した加工機にて加工を行う。
、エアーホース（３８）を介して移動チーフル（２４）
に設けた給気通路（３７） −＼供給し、給気通路（３
７）から各給気孔（３１） （３１）−１及び（３４
） （３４） へ供給して、オリフィス（３２）
（３２Ｌ−、（３５） （３５）−からガイド部材
（２０）のガイド面（２０ａ ） （２０ｂ ）に向
けて噴出させ、芥軸受すきま（３３）、 （３６）に静
圧空気軸受を構成する。そしてこの静圧空気軸受と、ガ
イド部材（２０）に埋設した磁性体（２２）、（２３）
と移動テーブル（２４）に埋設した磁石（２９）、（３
０）との吸引力とを釣合わせて移動テーブル（２４）を
非接触状態でガイド部材（２０）に支持ヒ、（！る。こ
の状態で回転モータにて送りネＤ：’ （４７） ４ｕ
転させ、送りネジ（４２）とす・ノド部材（４１）との
螺合関係によりナノ１部材（４１）及び保持体（４０）
を介して移動テーブル（２４＞ ｔガイド部＋４’ （
２０）に沿って移動させ、移動テーブル（２４） 、１
：に配置した加工機にて加工を行う。
また、軸受すきま（３３）、（３６）に噴出された圧縮
空気は移動テーブル（２４）の軸受面（２４ａ ）（２
４ｂ ） ニ形成す：）’＋、 タ、末出？ＩＢ （２
５） （２６）を経て排気溝（２７） （２８）へ
流れ込み、排気溝（２７）（２８）から大気中へ放出さ
れる。
空気は移動テーブル（２４）の軸受面（２４ａ ）（２
４ｂ ） ニ形成す：）’＋、 タ、末出？ＩＢ （２
５） （２６）を経て排気溝（２７） （２８）へ
流れ込み、排気溝（２７）（２８）から大気中へ放出さ
れる。
第３図は他の実施例を示す図面で、移動テーブル（２４
）の軸受面（２４ａ ） （２４ｂ ）において給気
孔（３１） （３１） ・−１（３４） （３４
Ｌ−とこれらを取囲む流出溝（２５）、（２６）との間
に圧縮空気を効果的に分散させる補助溝（４３） （
４３）−を形成したものである。
）の軸受面（２４ａ ） （２４ｂ ）において給気
孔（３１） （３１） ・−１（３４） （３４
Ｌ−とこれらを取囲む流出溝（２５）、（２６）との間
に圧縮空気を効果的に分散させる補助溝（４３） （
４３）−を形成したものである。
尚、上記実施例ではガイド部材（２０）側に磁性体（２
２） （２３）を設け、移動テーブル（２４）側へ磁
石（２９） （３０）を設けたが、逆にガイド部材（
２０）側に磁石を設け、移動テーブル（２４）側に磁性
体を設けてもよい。
２） （２３）を設け、移動テーブル（２４）側へ磁
石（２９） （３０）を設けたが、逆にガイド部材（
２０）側に磁石を設け、移動テーブル（２４）側に磁性
体を設けてもよい。
光曳坐劾未
本発明のガイド装置は、ガイド部材の下部に支持部材を
設けであるので、ガイド部材の剛性が高く、しかも圧縮
空気の圧力と、磁石及び磁性体の吸引力を釣合わせて調
整することにより軸受すきまを最適すきまに設定して容
易に軸受剛性を高くすることができ、装置全体の剛性が
非常に高くなる。また移動テーブルはガイド部材を抱持
しないので、ガイド部材及び移動テーブルの寸法管理が
厳しく要求されず、製作が非常に簡単となる。
設けであるので、ガイド部材の剛性が高く、しかも圧縮
空気の圧力と、磁石及び磁性体の吸引力を釣合わせて調
整することにより軸受すきまを最適すきまに設定して容
易に軸受剛性を高くすることができ、装置全体の剛性が
非常に高くなる。また移動テーブルはガイド部材を抱持
しないので、ガイド部材及び移動テーブルの寸法管理が
厳しく要求されず、製作が非常に簡単となる。
さらに磁石と磁性体との対向面を移動テーブルの軸受面
より内部に設定して軸受面と段差を設けると共に前記対
向面を排気溝内に設けたので、軸受の剛性を高くするた
めに軸受ずきまを狭くしても、排気溝から大気中へ放出
される圧縮空気が磁石及び磁性体の表面を流れて清浄化
しており、磁石にてごみが吸着されても圧縮空気にて大
気中に放出されるので、磁石に付着したごみが軸受ずき
ま内に侵入することがなく、軸受面やガイド面を損傷す
ることがなく、且つごみの噴込みによる焼付きやかじり
等も生じることがない。
より内部に設定して軸受面と段差を設けると共に前記対
向面を排気溝内に設けたので、軸受の剛性を高くするた
めに軸受ずきまを狭くしても、排気溝から大気中へ放出
される圧縮空気が磁石及び磁性体の表面を流れて清浄化
しており、磁石にてごみが吸着されても圧縮空気にて大
気中に放出されるので、磁石に付着したごみが軸受ずき
ま内に侵入することがなく、軸受面やガイド面を損傷す
ることがなく、且つごみの噴込みによる焼付きやかじり
等も生じることがない。
第１図は本発明に係るガイド装置の縦断面図、第２図は
移動テーブルの軸受面を示す要部平面図、第３図は他の
実施例を示す要部平面図、第４図は従来のガイド装置の
縦断面図、第５図はその不具合を示す側面図、第６図は
従来の他のガイド装置を示す縦断面図、第７図はその不
具合を示す略図、第８図及び第９図は従来のさらに他の
ガイド装置を示す縦断面図、第１０図は静圧空気軸受の
軸受すきまと剛性との関係を示す図面である。 （２０）−−ガイド部材、（２０ａ ） （２０ｂ
） ガイド面、（２１＞−支持部材、（２２） （
２３）−磁性体若しくは磁石、（２４）−移動テーブル
、（２４ａ ） （２４ｂ ）−一軸受面、（２５）
（２６）−流出溝、（２７） （２８）−排気溝
、（２９） （３０）−磁石若しくは磁性体、（３１
） （３４）−給気孔、（３２） （３５Ｌ−−−
オリフィス、（３７）−給気通路、（３９Ｌ−駆動手段
。
移動テーブルの軸受面を示す要部平面図、第３図は他の
実施例を示す要部平面図、第４図は従来のガイド装置の
縦断面図、第５図はその不具合を示す側面図、第６図は
従来の他のガイド装置を示す縦断面図、第７図はその不
具合を示す略図、第８図及び第９図は従来のさらに他の
ガイド装置を示す縦断面図、第１０図は静圧空気軸受の
軸受すきまと剛性との関係を示す図面である。 （２０）−−ガイド部材、（２０ａ ） （２０ｂ
） ガイド面、（２１＞−支持部材、（２２） （
２３）−磁性体若しくは磁石、（２４）−移動テーブル
、（２４ａ ） （２４ｂ ）−一軸受面、（２５）
（２６）−流出溝、（２７） （２８）−排気溝
、（２９） （３０）−磁石若しくは磁性体、（３１
） （３４）−給気孔、（３２） （３５Ｌ−−−
オリフィス、（３７）−給気通路、（３９Ｌ−駆動手段
。
Claims (1)
- （１）交差する少なくとも２つのガイド面を有し、各ガ
イド面の中央部に案内方向に沿って、その全長に亘って
磁性体若しくは磁石を一部突出させて埋設したガイド部
材と、前記ガイド部材のガイド面と対向する軸受面を有
し、各軸受面に前記磁性体若しくは磁石と対応させて磁
石若しくは磁性体を全長に亘って埋設固定すると共に、
各々の磁石若しくは磁性体の両側にこれを挟んで対称と
なるように複数の給気孔を案内方向に沿って形成し、さ
らに内部に各給気孔と連通する給気孔通路を形成すると
共に軸受面に給気孔を囲むように流出溝を形成し、且つ
磁石若しくは磁性体の表面側に前記流出溝と連通する排
気溝を形成し、この排気溝の両端を開放させた移動テー
ブルを有し、ガイド部材に移動テーブルを被せ、ガイド
面と軸受面との間に微小な軸受すきまを形成すると共に
移動テーブル内で磁石と磁性体とを適当な隙間を持たせ
て対向配置させ、給気孔から軸受すきまへ供給される圧
縮空気の反発力と、磁石と磁性体との吸引力とを釣り合
わせて静圧軸受を構成すると共に軸受すきま内の圧縮空
気を排気溝から大気中へ排出させるようにしたことを特
徴とするガイド装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14514984A JPS6125742A (ja) | 1984-07-11 | 1984-07-11 | ガイド装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14514984A JPS6125742A (ja) | 1984-07-11 | 1984-07-11 | ガイド装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6125742A true JPS6125742A (ja) | 1986-02-04 |
| JPH0123262B2 JPH0123262B2 (ja) | 1989-05-01 |
Family
ID=15378548
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14514984A Granted JPS6125742A (ja) | 1984-07-11 | 1984-07-11 | ガイド装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6125742A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61290231A (ja) * | 1985-06-19 | 1986-12-20 | Nippon Seiko Kk | 静圧案内軸受 |
| JPS62264150A (ja) * | 1986-05-08 | 1987-11-17 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 延伸機 |
| JPS63232912A (ja) * | 1987-03-19 | 1988-09-28 | Canon Inc | 流体軸受装置 |
| JPS6441727U (ja) * | 1987-09-09 | 1989-03-13 | ||
| JPH01216120A (ja) * | 1988-02-22 | 1989-08-30 | Tokyo Electron Ltd | 検査装置 |
| JPH01288615A (ja) * | 1988-05-14 | 1989-11-20 | Matsushita Electric Works Ltd | 静圧軸受装置 |
| FR2662220A1 (fr) * | 1990-05-15 | 1991-11-22 | Maitre Ateliers | Dispositif de sustentation par coussin d'air et ses applications. |
| US5584435A (en) * | 1993-04-23 | 1996-12-17 | E. Fischer Ag | Bell atomizer with air/magnetic bearings |
| US7651272B2 (en) * | 2006-01-04 | 2010-01-26 | Fanuc Ltd | Method of assembling air bearing, air bearing and linear drive unit equipped with the same |
| JP2010155342A (ja) * | 2009-01-05 | 2010-07-15 | Kofukin Seimitsu Kogyo (Shenzhen) Yugenkoshi | エアガイド |
| WO2022209575A1 (ja) * | 2021-03-31 | 2022-10-06 | 日本精工株式会社 | テーブル装置 |
-
1984
- 1984-07-11 JP JP14514984A patent/JPS6125742A/ja active Granted
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61290231A (ja) * | 1985-06-19 | 1986-12-20 | Nippon Seiko Kk | 静圧案内軸受 |
| JPS62264150A (ja) * | 1986-05-08 | 1987-11-17 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 延伸機 |
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| JPS6441727U (ja) * | 1987-09-09 | 1989-03-13 | ||
| JPH0518498Y2 (ja) * | 1987-09-09 | 1993-05-17 | ||
| JPH01216120A (ja) * | 1988-02-22 | 1989-08-30 | Tokyo Electron Ltd | 検査装置 |
| JPH01288615A (ja) * | 1988-05-14 | 1989-11-20 | Matsushita Electric Works Ltd | 静圧軸受装置 |
| FR2662220A1 (fr) * | 1990-05-15 | 1991-11-22 | Maitre Ateliers | Dispositif de sustentation par coussin d'air et ses applications. |
| US5584435A (en) * | 1993-04-23 | 1996-12-17 | E. Fischer Ag | Bell atomizer with air/magnetic bearings |
| US7651272B2 (en) * | 2006-01-04 | 2010-01-26 | Fanuc Ltd | Method of assembling air bearing, air bearing and linear drive unit equipped with the same |
| JP2010155342A (ja) * | 2009-01-05 | 2010-07-15 | Kofukin Seimitsu Kogyo (Shenzhen) Yugenkoshi | エアガイド |
| WO2022209575A1 (ja) * | 2021-03-31 | 2022-10-06 | 日本精工株式会社 | テーブル装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0123262B2 (ja) | 1989-05-01 |
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