JPH11190336A - 静圧軸受支持のガイドローラ - Google Patents
静圧軸受支持のガイドローラInfo
- Publication number
- JPH11190336A JPH11190336A JP35795397A JP35795397A JPH11190336A JP H11190336 A JPH11190336 A JP H11190336A JP 35795397 A JP35795397 A JP 35795397A JP 35795397 A JP35795397 A JP 35795397A JP H11190336 A JPH11190336 A JP H11190336A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- roller
- main shaft
- magnet
- bearing
- supported
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 構造を簡素化して安価で、しかも、スラスト
方向に高剛性な軸受構造を有するガイドローラを提供す
る。 【解決手段】 円筒状のローラ１に主軸２を挿通し、ロ
ーラ１側に設けた軸受スリーブ３，３’と主軸２側に設
けた軸受スリーブ４，４’との間に有するラジアル軸受
すき間Ｓ1 に圧縮空気を供給することにより、ローラ１
を主軸２に対してラジアル方向に非接触支持する静圧軸
受支持のガイドローラにおいて、ローラ１を磁石６，
７，７’，８，８’，９，１０，１１，１３によるロー
ラ１の軸方向への吸引力または反発力を利用して主軸２
に対してスラスト方向に非接触支持させる。
方向に高剛性な軸受構造を有するガイドローラを提供す
る。 【解決手段】 円筒状のローラ１に主軸２を挿通し、ロ
ーラ１側に設けた軸受スリーブ３，３’と主軸２側に設
けた軸受スリーブ４，４’との間に有するラジアル軸受
すき間Ｓ1 に圧縮空気を供給することにより、ローラ１
を主軸２に対してラジアル方向に非接触支持する静圧軸
受支持のガイドローラにおいて、ローラ１を磁石６，
７，７’，８，８’，９，１０，１１，１３によるロー
ラ１の軸方向への吸引力または反発力を利用して主軸２
に対してスラスト方向に非接触支持させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気テープやフィ
ルムコンデンサー等の製造工程で使用される静圧軸受支
持のガイドローラに関する。
ルムコンデンサー等の製造工程で使用される静圧軸受支
持のガイドローラに関する。
【０００２】
【従来の技術】静圧軸受支持のガイドローラは、図５に
示すように、円筒状のローラ２１に内部に給気通路２２
ａを有する主軸２２を挿通し、このローラ２１の内周面
に一対の軸受スリーブ２３，２３’を取付け、主軸２２
に軸受スリーブ２３，２３’の内周面と微少なラジアル
軸受すき間Ｓ1 を介して対向するとともに、該ラジアル
軸受すき間Ｓ1 に開口し、かつ、給気通路２２ａにも連
通する複数の給気ノズル２４ａ，２４ａ’を有する一対
の軸受スリーブ２４，２４’を取付け、主軸２２の給気
通路２２ａに供給された圧縮空気を軸受スリーブ２４，
２４’の各給気ノズル２４ａ，２４ａ’からラジアル軸
受すき間Ｓ1 に噴出することにより、ローラ２１を主軸
２２に対してラジアル方向に非接触支持する構造となっ
ている。
示すように、円筒状のローラ２１に内部に給気通路２２
ａを有する主軸２２を挿通し、このローラ２１の内周面
に一対の軸受スリーブ２３，２３’を取付け、主軸２２
に軸受スリーブ２３，２３’の内周面と微少なラジアル
軸受すき間Ｓ1 を介して対向するとともに、該ラジアル
軸受すき間Ｓ1 に開口し、かつ、給気通路２２ａにも連
通する複数の給気ノズル２４ａ，２４ａ’を有する一対
の軸受スリーブ２４，２４’を取付け、主軸２２の給気
通路２２ａに供給された圧縮空気を軸受スリーブ２４，
２４’の各給気ノズル２４ａ，２４ａ’からラジアル軸
受すき間Ｓ1 に噴出することにより、ローラ２１を主軸
２２に対してラジアル方向に非接触支持する構造となっ
ている。
【０００３】従来、この種の静圧軸受支持のガイドロー
ラにおいては、図５に示すように、ローラ側の軸受スリ
ーブ２３に取付けたスラスト板２５を両面から微少なス
ラスト軸受すき間Ｓ2 を介してはさみ込む形で主軸２２
に軸受スリーブ２４およびノズル板２６を取付けたり、
図示されていないが、主軸２２に取付けた一方の軸受ス
リーブ２４を両端から微少なスラスト軸受すき間Ｓ2 を
介してはさみ込む形でローラ２１に一対のスラスト板２
５を取付け、スラスト軸受すき間Ｓ2 に圧縮空気を供給
することにより、ローラ２１が主軸２２に対してスラス
ト方向に非接触支持されている。
ラにおいては、図５に示すように、ローラ側の軸受スリ
ーブ２３に取付けたスラスト板２５を両面から微少なス
ラスト軸受すき間Ｓ2 を介してはさみ込む形で主軸２２
に軸受スリーブ２４およびノズル板２６を取付けたり、
図示されていないが、主軸２２に取付けた一方の軸受ス
リーブ２４を両端から微少なスラスト軸受すき間Ｓ2 を
介してはさみ込む形でローラ２１に一対のスラスト板２
５を取付け、スラスト軸受すき間Ｓ2 に圧縮空気を供給
することにより、ローラ２１が主軸２２に対してスラス
ト方向に非接触支持されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の静圧
軸受支持のガイドローラでは、スラスト軸受すき間Ｓ2
を正確に形成する必要があるため、軸受スリーブ２４と
スラスト板２５は平面度、平行度をミクロン精度で加工
する必要がある。また、ノズル板２６も精度良く加工
し、しかも、スラスト板２５とのスラスト軸受すき間Ｓ
2 を正確に形成するよう主軸２２に取付ける必要があ
る。更に、軸受スリーブ２４、スラスト板２５およびノ
ズル板２６の面粗さ、表面処理等も厳しく管理する必要
がある。これによって工数や手間がかかり、コストが割
高となる。
軸受支持のガイドローラでは、スラスト軸受すき間Ｓ2
を正確に形成する必要があるため、軸受スリーブ２４と
スラスト板２５は平面度、平行度をミクロン精度で加工
する必要がある。また、ノズル板２６も精度良く加工
し、しかも、スラスト板２５とのスラスト軸受すき間Ｓ
2 を正確に形成するよう主軸２２に取付ける必要があ
る。更に、軸受スリーブ２４、スラスト板２５およびノ
ズル板２６の面粗さ、表面処理等も厳しく管理する必要
がある。これによって工数や手間がかかり、コストが割
高となる。
【０００５】本発明は、上記のような諸問題を解決する
ことをその目的とするものである。
ことをその目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明では、円筒状のロ
ーラに主軸を挿通し、ローラ側に設けた軸受スリーブと
主軸側に設けた軸受スリーブとの間に有する軸受すき間
に圧縮空気を供給することにより、前記ローラを主軸に
対してラジアル方向に非接触支持する静圧軸受支持のガ
イドローラにおいて、前記ローラに主軸に取付けた軸受
スリーブの端面とすき間を介して対向するスラスト板を
取付け、このスラスト板またはこれと対向した軸受スリ
ーブに磁石を取付け、かつ、この磁石を取付けないスラ
スト板または軸受スリーブを磁性体で製作して前記すき
間に圧縮空気を供給することにより、磁石による吸引力
と圧縮空気による反発力との釣り合いを利用してローラ
を主軸に対してスラスト方向に非接触支持した。
ーラに主軸を挿通し、ローラ側に設けた軸受スリーブと
主軸側に設けた軸受スリーブとの間に有する軸受すき間
に圧縮空気を供給することにより、前記ローラを主軸に
対してラジアル方向に非接触支持する静圧軸受支持のガ
イドローラにおいて、前記ローラに主軸に取付けた軸受
スリーブの端面とすき間を介して対向するスラスト板を
取付け、このスラスト板またはこれと対向した軸受スリ
ーブに磁石を取付け、かつ、この磁石を取付けないスラ
スト板または軸受スリーブを磁性体で製作して前記すき
間に圧縮空気を供給することにより、磁石による吸引力
と圧縮空気による反発力との釣り合いを利用してローラ
を主軸に対してスラスト方向に非接触支持した。
【０００７】また、本発明では、前記ローラの両端面に
磁石を取付け、かつ、主軸側に組み込まれたローラを両
端からはさみ込む形の一対のスラスト板に前記磁石と同
一の磁極を有する磁石を取付け、磁石と磁石とによる反
発力を利用してローラを主軸に対してスラスト方向に非
接触支持した。
磁石を取付け、かつ、主軸側に組み込まれたローラを両
端からはさみ込む形の一対のスラスト板に前記磁石と同
一の磁極を有する磁石を取付け、磁石と磁石とによる反
発力を利用してローラを主軸に対してスラスト方向に非
接触支持した。
【０００８】また、本発明では、前記ローラの内周面ま
たは前記主軸の外周面のどちらか一方に磁石を取付け、
この磁石と対向する面に該磁石と端面を揃えて反対の磁
極を有する磁石または磁性体を取付け、磁石と磁石また
は磁性体による吸引力を利用してローラを主軸に対して
スラスト方向に非接触支持した。
たは前記主軸の外周面のどちらか一方に磁石を取付け、
この磁石と対向する面に該磁石と端面を揃えて反対の磁
極を有する磁石または磁性体を取付け、磁石と磁石また
は磁性体による吸引力を利用してローラを主軸に対して
スラスト方向に非接触支持した。
【０００９】更に、本発明では、前記ローラの内周面ま
たは主軸の外周面に軸方向に磁極を有する磁石をその両
端に磁性体を配置して取付け、この磁石および磁性体と
対向する面に該磁石と軸方向に反対の磁極を有する磁石
をその両端に磁性体を配置して磁力線ループが閉じるよ
うに取付け、一方の磁石および磁性体と他方の磁石およ
び磁性体とによる吸引力を利用してローラを主軸に対し
てスラスト方向に非接触支持した。
たは主軸の外周面に軸方向に磁極を有する磁石をその両
端に磁性体を配置して取付け、この磁石および磁性体と
対向する面に該磁石と軸方向に反対の磁極を有する磁石
をその両端に磁性体を配置して磁力線ループが閉じるよ
うに取付け、一方の磁石および磁性体と他方の磁石およ
び磁性体とによる吸引力を利用してローラを主軸に対し
てスラスト方向に非接触支持した。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に示す実施例に基いて説明する。
に示す実施例に基いて説明する。
【００１１】図１は本発明の実施例を示すものであっ
て、このガイドローラは、円筒状のローラ１と、ローラ
１内に挿通された主軸２と、ローラ１の内周面に取付け
られた一対の軸受スリーブ３，３’と、主軸２に軸受ス
リーブ３，３’と対向して取付けられた一対の軸受スリ
ーブ４，４’と、ローラ１の一端側の軸受スリーブ３の
端面に取付けられたスラスト板５とを主要な構成要素と
する。
て、このガイドローラは、円筒状のローラ１と、ローラ
１内に挿通された主軸２と、ローラ１の内周面に取付け
られた一対の軸受スリーブ３，３’と、主軸２に軸受ス
リーブ３，３’と対向して取付けられた一対の軸受スリ
ーブ４，４’と、ローラ１の一端側の軸受スリーブ３の
端面に取付けられたスラスト板５とを主要な構成要素と
する。
【００１２】ローラ１は、外周面がワーク（テープやフ
イルム等）をガイドできるように平滑に仕上げられてい
る。
イルム等）をガイドできるように平滑に仕上げられてい
る。
【００１３】主軸２は、内部に給気通路２ａを形成し、
この給気通路２ａには給気コネクタ２ｂから圧縮空気が
供給される。
この給気通路２ａには給気コネクタ２ｂから圧縮空気が
供給される。
【００１４】軸受スリーブ３，３’は、主軸２に取付け
た軸受スリーブ４，４’と対向する内周面が平滑に仕上
げられている。
た軸受スリーブ４，４’と対向する内周面が平滑に仕上
げられている。
【００１５】軸受スリーブ４，４’は、ローラ１に取付
けた軸受スリーブ３，３’の内周面と微少なラジアル軸
受すき間Ｓ1 を介して対向するとともに、ラジアル軸受
すき間Ｓ1 に開口する複数の給気ノズル４ａ，４ａ’を
有する。一方の軸受スリーブ４は、磁性体で形成される
とともに、スラスト板５に向けて開口する複数の給気ノ
ズル４ｂを有する。各給気ノズル４ａ，４ａ’，４ｂ
は、主軸２に形成された給気通路２ａに連通している。
けた軸受スリーブ３，３’の内周面と微少なラジアル軸
受すき間Ｓ1 を介して対向するとともに、ラジアル軸受
すき間Ｓ1 に開口する複数の給気ノズル４ａ，４ａ’を
有する。一方の軸受スリーブ４は、磁性体で形成される
とともに、スラスト板５に向けて開口する複数の給気ノ
ズル４ｂを有する。各給気ノズル４ａ，４ａ’，４ｂ
は、主軸２に形成された給気通路２ａに連通している。
【００１６】スラスト板５は、主軸２に取付けた一方の
軸受スリーブ４の端面とすき間Ｓ2を介して対向すると
ともに、軸受スリーブ４の端面と対向する面にリング状
の磁石６を取付けている。磁石６の磁力は、その吸引力
と軸受スリーブ４の給気ノズル４ｂの吐出圧力による反
発力が一致するよう選定する。
軸受スリーブ４の端面とすき間Ｓ2を介して対向すると
ともに、軸受スリーブ４の端面と対向する面にリング状
の磁石６を取付けている。磁石６の磁力は、その吸引力
と軸受スリーブ４の給気ノズル４ｂの吐出圧力による反
発力が一致するよう選定する。
【００１７】このガイドローラでは、主軸２の給気通路
２ａに給気コネクタ２ｂから圧縮空気を供給すると、そ
の圧縮空気が軸受スリーブ４，４’の各給気ノズル４
ａ，４ａ’からラジアル軸受すき間Ｓ1 に向けて噴出さ
れるとともに、軸受スリーブ４の各給気ノズル４ｂから
スラスト板５に向けて噴出される。これによってローラ
１は、ラジアル軸受すき間Ｓ1 に噴出される圧縮空気に
よって形成される空気膜により、主軸２に対してラジア
ル方向に非接触支持されるとともに、すき間Ｓ2に噴出
される圧縮空気による反発力と磁石６によるローラ１の
軸方向への吸引力との釣り合いにより、主軸２に対して
スラスト方向に非接触支持される。
２ａに給気コネクタ２ｂから圧縮空気を供給すると、そ
の圧縮空気が軸受スリーブ４，４’の各給気ノズル４
ａ，４ａ’からラジアル軸受すき間Ｓ1 に向けて噴出さ
れるとともに、軸受スリーブ４の各給気ノズル４ｂから
スラスト板５に向けて噴出される。これによってローラ
１は、ラジアル軸受すき間Ｓ1 に噴出される圧縮空気に
よって形成される空気膜により、主軸２に対してラジア
ル方向に非接触支持されるとともに、すき間Ｓ2に噴出
される圧縮空気による反発力と磁石６によるローラ１の
軸方向への吸引力との釣り合いにより、主軸２に対して
スラスト方向に非接触支持される。
【００１８】この実施例のガイドローラによれば、スラ
スト板５に噴出される圧縮空気による反発力と磁石６に
よるローラ１の軸方向への吸引力との釣り合いを利用し
てローラ１を主軸２に対してスラスト方向に非接触支持
させることにより、従来のようにスラスト板５の両面ま
たは軸受スリーブ４の両端を微少なスラスト軸受すき間
を介して挟み込む必要がないとともに、スラスト方向に
高剛性な軸受構造が得られる。これによって部品点数が
削減されて構造を簡素化できるとともに、軸受スリーブ
４とスラスト板５との間のすき間Ｓ2 を厳しく管理する
必要がなく軸受スリーブ４とスラスト板５の対向面のみ
を精度良く加工すればよいため、精度良く加工する部品
点数を削減でき、しかも、安定した回転性能を実現でき
る。
スト板５に噴出される圧縮空気による反発力と磁石６に
よるローラ１の軸方向への吸引力との釣り合いを利用し
てローラ１を主軸２に対してスラスト方向に非接触支持
させることにより、従来のようにスラスト板５の両面ま
たは軸受スリーブ４の両端を微少なスラスト軸受すき間
を介して挟み込む必要がないとともに、スラスト方向に
高剛性な軸受構造が得られる。これによって部品点数が
削減されて構造を簡素化できるとともに、軸受スリーブ
４とスラスト板５との間のすき間Ｓ2 を厳しく管理する
必要がなく軸受スリーブ４とスラスト板５の対向面のみ
を精度良く加工すればよいため、精度良く加工する部品
点数を削減でき、しかも、安定した回転性能を実現でき
る。
【００１９】尚、上記実施例では、スラスト板５に噴出
される圧縮空気による反発力と磁石６の吸引力との釣り
合いを利用してローラ１を主軸２に対してスラスト方向
に非接触で支持するようにしているが、図２に示すよう
に、軸受スリーブ３，３’を一体化して形成したローラ
１の両端面にリング状の磁石７，７’を取付け、かつ、
軸受スリーブ４，４’に一体化して形成されたローラ１
を両端からはさみ込む形の一対のスラスト板５，５’に
磁石７，７’と同一の磁極を有するリング状の磁石８，
８’を取付け、磁石７，７’と磁石８，８’との間に発
生する反発力を利用してローラ１を主軸２に対してスラ
スト方向に非接触支持するようにしても良い。
される圧縮空気による反発力と磁石６の吸引力との釣り
合いを利用してローラ１を主軸２に対してスラスト方向
に非接触で支持するようにしているが、図２に示すよう
に、軸受スリーブ３，３’を一体化して形成したローラ
１の両端面にリング状の磁石７，７’を取付け、かつ、
軸受スリーブ４，４’に一体化して形成されたローラ１
を両端からはさみ込む形の一対のスラスト板５，５’に
磁石７，７’と同一の磁極を有するリング状の磁石８，
８’を取付け、磁石７，７’と磁石８，８’との間に発
生する反発力を利用してローラ１を主軸２に対してスラ
スト方向に非接触支持するようにしても良い。
【００２０】また、図３に示すように、軸受スリーブ
３，３’を一体化して形成したローラ１の内周面中央部
に円筒状の磁石９を取付け、かつ、主軸２に磁石９と対
向して該磁石９の両端面と軸方向に両端面を揃えるとと
もに、磁石９と反対の磁極を有する円筒状の磁石１０を
取付け、磁石９と磁石１０との間に発生する吸引力を利
用してローラ１を主軸２に対してスラスト方向に非接触
支持するようにしても良い。また、この場合、ローラ１
または主軸２のどちらか一方に磁石９または磁石１０を
取付け、磁石９または磁石１０を取付けないローラ１ま
たは主軸２のどちらか一方に磁性体を取付けるようにし
ても良い。
３，３’を一体化して形成したローラ１の内周面中央部
に円筒状の磁石９を取付け、かつ、主軸２に磁石９と対
向して該磁石９の両端面と軸方向に両端面を揃えるとと
もに、磁石９と反対の磁極を有する円筒状の磁石１０を
取付け、磁石９と磁石１０との間に発生する吸引力を利
用してローラ１を主軸２に対してスラスト方向に非接触
支持するようにしても良い。また、この場合、ローラ１
または主軸２のどちらか一方に磁石９または磁石１０を
取付け、磁石９または磁石１０を取付けないローラ１ま
たは主軸２のどちらか一方に磁性体を取付けるようにし
ても良い。
【００２１】更に、図４に示すように、ローラ１の内周
面に軸方向に磁極を有する磁石１１をその両端に磁性体
１２を配置して取付け、かつ、主軸２に磁石１１および
磁性体１２と対向して該磁石１１と軸方向に反対の磁極
を有する磁石１３をその両端に磁性体１４を配置して磁
石１１および磁性体１２との磁力線ループが閉じるよう
に取付け、磁石１１および磁性体１２と磁石１３および
磁性体１４との間に発生する吸引力を利用してローラ１
を主軸２に対してスラスト方向に非接触支持するように
しても良い。
面に軸方向に磁極を有する磁石１１をその両端に磁性体
１２を配置して取付け、かつ、主軸２に磁石１１および
磁性体１２と対向して該磁石１１と軸方向に反対の磁極
を有する磁石１３をその両端に磁性体１４を配置して磁
石１１および磁性体１２との磁力線ループが閉じるよう
に取付け、磁石１１および磁性体１２と磁石１３および
磁性体１４との間に発生する吸引力を利用してローラ１
を主軸２に対してスラスト方向に非接触支持するように
しても良い。
【００２２】
【発明の効果】以上のように、ローラを磁石によるロー
ラの軸方向への吸引力または反発力を利用して主軸に対
してスラスト方向に非接触支持させることにより、部品
点数を削減して構造を簡素化でき、しかも、精度良く加
工する部品点数も削減できるとともに、スラスト方向に
高剛性な軸受構造が得られる。これによって安価で回転
性能の良いガイドローラを提供することができる。
ラの軸方向への吸引力または反発力を利用して主軸に対
してスラスト方向に非接触支持させることにより、部品
点数を削減して構造を簡素化でき、しかも、精度良く加
工する部品点数も削減できるとともに、スラスト方向に
高剛性な軸受構造が得られる。これによって安価で回転
性能の良いガイドローラを提供することができる。
【図１】本発明の一実施例を示す断面図である。
【図２】本発明の他の実施例を示す断面図である。
【図３】本発明の他の実施例を示す断面図である。
【図４】本発明の他の実施例を示す要部断面図である。
【図５】従来例を示す断面図である。
１ ローラ ２ 主軸 ２ａ 給気通路 ３，３’，４，４’ 軸受スリーブ ４ａ，４ａ’，４ｂ 給気ノズル ５ スラスト板 ６，７，７’，８，８’，９，１０，１１，１３ 磁石 １２，１４ 磁性体 Ｓ1 ラジアル軸受すき間 Ｓ 軸受スリーブ４とスラスト板５との間のすき間
Claims (4)
- 【請求項１】 円筒状のローラに主軸を挿通し、ローラ
側に設けた軸受スリーブと主軸側に設けた軸受スリーブ
との間に有する軸受すき間に圧縮空気を供給することに
より、前記ローラを主軸に対してラジアル方向に非接触
支持する静圧軸受支持のガイドローラにおいて、 前記ローラに主軸に取付けた軸受スリーブの端面とすき
間を介して対向するスラスト板を取付け、このスラスト
板またはこれと対向した軸受スリーブに磁石を取付け、
かつ、この磁石を取付けないスラスト板または軸受スリ
ーブを磁性体で製作して前記すき間に圧縮空気を供給す
ることにより、磁石による吸引力と圧縮空気による反発
力との釣り合いを利用してローラを主軸に対してスラス
ト方向に非接触支持したことを特徴とする静圧軸受支持
のガイドローラ。 - 【請求項２】 円筒状のローラに主軸を挿通し、ローラ
側に設けた軸受スリーブと主軸側に設けた軸受スリーブ
との間に有する軸受すき間に圧縮空気を供給することに
より、前記ローラを主軸に対してラジアル方向に非接触
支持する静圧軸受支持のガイドローラにおいて、 前記ローラの両端面に磁石を取付け、かつ、主軸側に組
み込まれたローラを両端からはさみ込む形の一対のスラ
スト板に前記磁石と同一の磁極を有する磁石を取付け、
磁石と磁石とによる反発力を利用してローラを主軸に対
してスラスト方向に非接触支持したことを特徴とする静
圧軸受支持のガイドローラ。 - 【請求項３】 円筒状のローラに主軸を挿通し、ローラ
側に設けた軸受スリーブと主軸側に設けた軸受スリーブ
との間に有する軸受すき間に圧縮空気を供給することに
より、前記ローラを主軸に対してラジアル方向に非接触
支持する静圧軸受支持のガイドローラにおいて、 前記ローラの内周面または前記主軸の外周面のどちらか
一方に磁石を取付け、この磁石と対向する面に該磁石と
端面を揃えて反対の磁極を有する磁石または磁性体を取
付け、磁石と磁石または磁性体による吸引力を利用して
ローラを主軸に対してスラスト方向に非接触支持したこ
とを特徴とする静圧軸受支持のガイドローラ。 - 【請求項４】 円筒状のローラに主軸を挿通し、ローラ
側に設けた軸受スリーブと主軸側に設けた軸受スリーブ
との間に有する軸受すき間に圧縮空気を供給することに
より、前記ローラを主軸に対してラジアル方向に非接触
支持する静圧軸受支持のガイドローラにおいて、 前記ローラの内周面または主軸の外周面に軸方向に磁極
を有する磁石をその両端に磁性体を配置して取付け、こ
の磁石および磁性体と対向する面に該磁石と軸方向に反
対の磁極を有する磁石をその両端に磁性体を配置して磁
力線ループが閉じるように取付け、一方の磁石および磁
性体と他方の磁石および磁性体とによる吸引力を利用し
てローラを主軸に対してスラスト方向に非接触支持した
ことを特徴とする静圧軸受支持のガイドローラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35795397A JPH11190336A (ja) | 1997-12-25 | 1997-12-25 | 静圧軸受支持のガイドローラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35795397A JPH11190336A (ja) | 1997-12-25 | 1997-12-25 | 静圧軸受支持のガイドローラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11190336A true JPH11190336A (ja) | 1999-07-13 |
Family
ID=18456796
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35795397A Withdrawn JPH11190336A (ja) | 1997-12-25 | 1997-12-25 | 静圧軸受支持のガイドローラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11190336A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011179568A (ja) * | 2010-02-26 | 2011-09-15 | Oiles Corp | ロール装置 |
| JP2011179577A (ja) * | 2010-02-26 | 2011-09-15 | Oiles Corp | カムフォロア |
| JP2012072853A (ja) * | 2010-09-29 | 2012-04-12 | Oiles Corp | カムフォロア |
| WO2012056649A1 (ja) * | 2010-10-29 | 2012-05-03 | オイレス工業株式会社 | ロール装置 |
| JP2013050150A (ja) * | 2011-08-30 | 2013-03-14 | Nsk Ltd | エアスピンドル |
| JP2015025559A (ja) * | 2014-11-05 | 2015-02-05 | オイレス工業株式会社 | カムフォロア |
| JP2015045414A (ja) * | 2014-11-05 | 2015-03-12 | オイレス工業株式会社 | ロール装置 |
| WO2015125958A1 (ja) * | 2014-02-24 | 2015-08-27 | オイレス工業株式会社 | ロール装置 |
| CN109362167A (zh) * | 2018-10-31 | 2019-02-19 | 安徽奕辉电子科技有限公司 | 静电屏蔽装置、电子设备及制作该静电屏蔽装置的方法 |
-
1997
- 1997-12-25 JP JP35795397A patent/JPH11190336A/ja not_active Withdrawn
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011179568A (ja) * | 2010-02-26 | 2011-09-15 | Oiles Corp | ロール装置 |
| JP2011179577A (ja) * | 2010-02-26 | 2011-09-15 | Oiles Corp | カムフォロア |
| JP2012072853A (ja) * | 2010-09-29 | 2012-04-12 | Oiles Corp | カムフォロア |
| CN103189659A (zh) * | 2010-10-29 | 2013-07-03 | 奥依列斯工业株式会社 | 滚筒装置 |
| JP2012097793A (ja) * | 2010-10-29 | 2012-05-24 | Oiles Corp | ロール装置 |
| WO2012056649A1 (ja) * | 2010-10-29 | 2012-05-03 | オイレス工業株式会社 | ロール装置 |
| KR101491675B1 (ko) * | 2010-10-29 | 2015-02-11 | 오일레스고교 가부시키가이샤 | 롤 장치 |
| TWI491553B (zh) * | 2010-10-29 | 2015-07-11 | Oiles Industry Co Ltd | Reel device |
| JP2013050150A (ja) * | 2011-08-30 | 2013-03-14 | Nsk Ltd | エアスピンドル |
| WO2015125958A1 (ja) * | 2014-02-24 | 2015-08-27 | オイレス工業株式会社 | ロール装置 |
| JP2015025559A (ja) * | 2014-11-05 | 2015-02-05 | オイレス工業株式会社 | カムフォロア |
| JP2015045414A (ja) * | 2014-11-05 | 2015-03-12 | オイレス工業株式会社 | ロール装置 |
| CN109362167A (zh) * | 2018-10-31 | 2019-02-19 | 安徽奕辉电子科技有限公司 | 静电屏蔽装置、电子设备及制作该静电屏蔽装置的方法 |
| CN109362167B (zh) * | 2018-10-31 | 2021-07-06 | 安徽奕辉电子科技有限公司 | 静电屏蔽装置、电子设备及制作该静电屏蔽装置的方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH11190336A (ja) | 静圧軸受支持のガイドローラ | |
| CN100360277C (zh) | 高频主轴 | |
| JP4124977B2 (ja) | 回転装置 | |
| KR101491675B1 (ko) | 롤 장치 | |
| JP3779186B2 (ja) | 静圧気体軸受 | |
| JP4204251B2 (ja) | 静圧気体軸受スピンドル装置 | |
| JP2002103218A (ja) | センタ装置とこれを用いた加工機 | |
| JPH08323567A (ja) | Ｘｙテーブル | |
| JP3291947B2 (ja) | 吸着機構付スピンドル装置 | |
| JPH1162968A (ja) | 複合空気軸受ユニット | |
| JP2004190793A (ja) | 静圧空気軸受スピンドル | |
| JP2000027969A (ja) | 磁気ねじ及び送り装置 | |
| JP2000161357A (ja) | 軸受装置 | |
| JP2531837Y2 (ja) | 高速静圧気体軸受装置 | |
| JPH03863Y2 (ja) | ||
| JPS60249724A (ja) | 静圧気体軸受装置 | |
| JP2001304259A (ja) | 静圧空気軸受スピンドル | |
| WO2015125958A1 (ja) | ロール装置 | |
| JP2002276648A (ja) | スピンドルモータ | |
| JP2517557Y2 (ja) | 主軸装置の静圧軸受 | |
| KR100414907B1 (ko) | 하이브리드형 초정밀 고속화 공기베어링 스핀들 시스템 | |
| JPH0229815Y2 (ja) | ||
| JP3287122B2 (ja) | 静圧気体軸受 | |
| JP3346061B2 (ja) | 吸着機構付スピンドル装置 | |
| JP2002235741A (ja) | ハイブリッド軸受装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050301 |