JP2718694B2 - 案内装置 - Google Patents
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- JP2718694B2 JP2718694B2 JP63113740A JP11374088A JP2718694B2 JP 2718694 B2 JP2718694 B2 JP 2718694B2 JP 63113740 A JP63113740 A JP 63113740A JP 11374088 A JP11374088 A JP 11374088A JP 2718694 B2 JP2718694 B2 JP 2718694B2
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/01—Frames, beds, pillars or like members; Arrangement of ways
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
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- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
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- B23Q1/38—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
- B23Q1/385—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports in which the thickness of the fluid-layer is adjustable
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B60—VEHICLES IN GENERAL
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- B60L13/00—Electric propulsion for monorail vehicles, suspension vehicles or rack railways; Magnetic suspension or levitation for vehicles
- B60L13/10—Combination of electric propulsion and magnetic suspension or levitation
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/02—Sliding-contact bearings
- F16C29/025—Hydrostatic or aerostatic
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0662—Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load
- F16C32/067—Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load of bearings adjustable for aligning, positioning, wear or play
- F16C32/0674—Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load of bearings adjustable for aligning, positioning, wear or play by means of pre-load on the fluid bearings
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
- H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
- H02K41/031—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors of the permanent magnet type
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2322/00—Apparatus used in shaping articles
- F16C2322/39—General build up of machine tools, e.g. spindles, slides, actuators
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K7/00—Arrangements for handling mechanical energy structurally associated with dynamo-electric machines, e.g. structural association with mechanical driving motors or auxiliary dynamo-electric machines
- H02K7/08—Structural association with bearings
Description
【発明の詳細な説明】 本発明は案内装置に関するもので、案内装置は少なく
とも１個の台座部、少なくとも１個の空気静力学的に軸
支され台座部に関して移動できる移動車部及び移動車部
に対する駆動装置から構成されている。前記台座部には
案内軌道が設けられ、前記移動車部には複数の軸受が設
けられ、軸受は案内軌道と共働し、又そこにはダクトが
空気クッションを発生させかつ持続するための加圧空気
の供給のために設けてあり、空気クッションは空気軸受
として作用し、前記案内装置は空気軸受にプレストレス
を与える手段をも構成する。
とも１個の台座部、少なくとも１個の空気静力学的に軸
支され台座部に関して移動できる移動車部及び移動車部
に対する駆動装置から構成されている。前記台座部には
案内軌道が設けられ、前記移動車部には複数の軸受が設
けられ、軸受は案内軌道と共働し、又そこにはダクトが
空気クッションを発生させかつ持続するための加圧空気
の供給のために設けてあり、空気クッションは空気軸受
として作用し、前記案内装置は空気軸受にプレストレス
を与える手段をも構成する。
かかる案内装置はUS−PS 4,392,642において既知であ
る。この既知の案内装置において、移動車は７個の空気
軸受により支持され直線上の移動中案内される。移動車
は案内ブロックの水平面で３個の軸受により支持され、
そして２個の垂直平行な案内軌道の手段により移動の方
向に対し横の方向で位置決めされる。各案内軌道は２個
の別の軸受と共働する。このように、移動車の６個の自
由度のうち５個が７個の軸受の手段により決定される。
移動車を支持する３個の空気軸受は移動車の重量により
プレストレスが与えられる。移動車を案内するように働
く４個の空気軸受は同じくプレストレスが与えられる。
しかし、これがどのようにして成し遂げられるのかにつ
いては前記特許明細書には記述されていない。
る。この既知の案内装置において、移動車は７個の空気
軸受により支持され直線上の移動中案内される。移動車
は案内ブロックの水平面で３個の軸受により支持され、
そして２個の垂直平行な案内軌道の手段により移動の方
向に対し横の方向で位置決めされる。各案内軌道は２個
の別の軸受と共働する。このように、移動車の６個の自
由度のうち５個が７個の軸受の手段により決定される。
移動車を支持する３個の空気軸受は移動車の重量により
プレストレスが与えられる。移動車を案内するように働
く４個の空気軸受は同じくプレストレスが与えられる。
しかし、これがどのようにして成し遂げられるのかにつ
いては前記特許明細書には記述されていない。
本発明の目的は案内装置の位置決め精度を向上させそ
して位置決め作業速度を速くすることである。
して位置決め作業速度を速くすることである。
本発明においては、案内軌道は相互に一つの角をなす
２個の案内平面を形成し、かつ空気軸受をプレストレス
するための手段が永久磁石部分及び強磁性部分から構成
される磁石システムから成り立っており、永久磁石部分
及び強磁性部分は台座部と移動車部に相互に対向して配
置され、磁石システムの中心線を通る対象平面は２個の
案内平面と鋭角をなしていることにより、この目的が達
成される。
２個の案内平面を形成し、かつ空気軸受をプレストレス
するための手段が永久磁石部分及び強磁性部分から構成
される磁石システムから成り立っており、永久磁石部分
及び強磁性部分は台座部と移動車部に相互に対向して配
置され、磁石システムの中心線を通る対象平面は２個の
案内平面と鋭角をなしていることにより、この目的が達
成される。
本発明においては案内平面の数は２個に限定されてい
る事実に因り、移動車の位置決め精度の向上は２個の案
内平面以上を持つ案内装置に関して得られる。空気軸受
に初期張力（Pretension）或いは逆の力を引き起すため
に磁石システムを更に利用することにより、かつ磁石シ
ステムの中心線、その中心線は案内軌道の長手軸に平行
になっているが、それを通る対象平面が２個の案内平面
に関し斜めの位置にあるように磁石システムを取り付け
ることにより、全ての空気軸受を磁石システムの手段の
みによりプレストレスすることが可能である。
る事実に因り、移動車の位置決め精度の向上は２個の案
内平面以上を持つ案内装置に関して得られる。空気軸受
に初期張力（Pretension）或いは逆の力を引き起すため
に磁石システムを更に利用することにより、かつ磁石シ
ステムの中心線、その中心線は案内軌道の長手軸に平行
になっているが、それを通る対象平面が２個の案内平面
に関し斜めの位置にあるように磁石システムを取り付け
ることにより、全ての空気軸受を磁石システムの手段の
みによりプレストレスすることが可能である。
強磁性部分は強磁性材料の帯から成り、それは台座部
分又は移動車部分のいずれかの上に設けられ、一方永久
磁石部分は強磁性担体の上に配置された複数の永久磁石
から成る。望ましくは、強磁性材料の帯はより長い台座
部に設け、そして永久磁石はより短い移動車部に設ける
と永久磁石の数は最小に迄減少させることができる。更
に、強磁性部分の長さは台座部の長さにかつ移動車部の
所要ストロークに単純な方法で合わせることができる。
磁石はサマリウム−コバルト（Samarium）−（Cobalt）
又はネオジム（Neodymium）−鉄−ホウ素製であるのが
好ましい。別に初期張力手段或いは初期張力要素は必要
とされない。特に、移動車部の最適加速を得ることがで
きるように初期張力を与える大きな重量或いは別の重量
の附加は必要とされない。装置は比較的短周期で運転す
ることができるので、その結果生産性が向上する。本発
明に係る手段により、移動されるべき大きな重量は最早
必要ではないので、部品が変形する危険は減少し、それ
は位置決め精度に有利な影響を与える。
分又は移動車部分のいずれかの上に設けられ、一方永久
磁石部分は強磁性担体の上に配置された複数の永久磁石
から成る。望ましくは、強磁性材料の帯はより長い台座
部に設け、そして永久磁石はより短い移動車部に設ける
と永久磁石の数は最小に迄減少させることができる。更
に、強磁性部分の長さは台座部の長さにかつ移動車部の
所要ストロークに単純な方法で合わせることができる。
磁石はサマリウム−コバルト（Samarium）−（Cobalt）
又はネオジム（Neodymium）−鉄−ホウ素製であるのが
好ましい。別に初期張力手段或いは初期張力要素は必要
とされない。特に、移動車部の最適加速を得ることがで
きるように初期張力を与える大きな重量或いは別の重量
の附加は必要とされない。装置は比較的短周期で運転す
ることができるので、その結果生産性が向上する。本発
明に係る手段により、移動されるべき大きな重量は最早
必要ではないので、部品が変形する危険は減少し、それ
は位置決め精度に有利な影響を与える。
注意すべきことは、US−PS 4,505,464がテーブルと移
動車から構成される案内装置を開示している。移動車は
移動車とテーブル間に引力を生ぜしめるため永久磁石部
分及び強磁性部分からなる磁石システムを利用してい
る。しかし、この力は単一の平面においてのみ働きそし
て使用されているローラ・ベアリングの間隙がないよう
にするのに役立つ。
動車から構成される案内装置を開示している。移動車は
移動車とテーブル間に引力を生ぜしめるため永久磁石部
分及び強磁性部分からなる磁石システムを利用してい
る。しかし、この力は単一の平面においてのみ働きそし
て使用されているローラ・ベアリングの間隙がないよう
にするのに役立つ。
更に、移動車を２個の直交する案内平面において空気
軸受で支持することは本来US−PS 3,272,568にて既知で
ある。磁気引力が案内平面と移動車との間で各案内平面
に対し個々の永久磁石の手段により生じるということに
より空気軸受はプレストレスが与えられる。
軸受で支持することは本来US−PS 3,272,568にて既知で
ある。磁気引力が案内平面と移動車との間で各案内平面
に対し個々の永久磁石の手段により生じるということに
より空気軸受はプレストレスが与えられる。
空気軸受に使用される軸受は本来既知の構造で例えば
特にUS−PS 4,449,834にて既知である。
特にUS−PS 4,449,834にて既知である。
本発明にかかる案内装置の好適実施例において、一の
案内平面は２個の軸受及び１個の軸受と夫々共働する第
１及び第２の案内軌道から構成されていて、他の案内平
面は２個の軸受と共働する単一の案内軌道から構成され
る。移動車部の特徴的配置、すなわち一の案内平面にお
ける３点の支持及び他の案内平面における２点の支持に
因り、５個の軸受は移動車部の５個の自由度を決定する
のに十分である。第２の直線案内平面が無しですますこ
とができるように構造は静的に決定される。
案内平面は２個の軸受及び１個の軸受と夫々共働する第
１及び第２の案内軌道から構成されていて、他の案内平
面は２個の軸受と共働する単一の案内軌道から構成され
る。移動車部の特徴的配置、すなわち一の案内平面にお
ける３点の支持及び他の案内平面における２点の支持に
因り、５個の軸受は移動車部の５個の自由度を決定する
のに十分である。第２の直線案内平面が無しですますこ
とができるように構造は静的に決定される。
注意すべきことは、一の案内平面の第１及び第２の案
内軌道は必ずしも同一幾何学的平面に存在する必要はな
い。若し、唯２個の案内軌道が相互に平行で、同じ方向
にそれらの自由表面が方向付けされ、そして３点支持に
よる３個の軸受との共働により１個の案内平面を形成す
るならば、２個の案内軌道が２個の異なる幾何学的平面
に存在してもよい。
内軌道は必ずしも同一幾何学的平面に存在する必要はな
い。若し、唯２個の案内軌道が相互に平行で、同じ方向
にそれらの自由表面が方向付けされ、そして３点支持に
よる３個の軸受との共働により１個の案内平面を形成す
るならば、２個の案内軌道が２個の異なる幾何学的平面
に存在してもよい。
２個の案内平面が相互に鋭角から鈍角への角をなす。
本発明に係る案内装置の別の好適実施例は２個の案内平
面が直交しかつ磁石システムの中心線を通る対象平面は
一の案内平面と鋭角をなし、他の案内平面とその補角を
なすことに特徴がある。
本発明に係る案内装置の別の好適実施例は２個の案内平
面が直交しかつ磁石システムの中心線を通る対象平面は
一の案内平面と鋭角をなし、他の案内平面とその補角を
なすことに特徴がある。
本発明に係る案内装置の更に好適な実施例において
は、移動車部は台座部と懸架する位置で連結され、同時
に対象平面が一及び他の案内平面となす角は夫々60°及
び30°となる。この手段に因り、磁気による初期張力の
利用が可能となる。移動車部と台座部との懸架連結は台
座部には下向きの案内軌道が配置され、台座部は一又は
二以上の支持部、すなわち脚又はそれに似たものに支持
され、一種のコンソール、門或は橋を形成することを意
味する。このような配置は移動車部の下に加工用材料を
供給し、位置決めし、取り去るための自由な空間が確保
できるという利点がある。夫々60°及び30°の角度に因
り、重力は釣合い、かつ全ての軸受が実質的に同程度に
荷重されるように軸受に分布される。
は、移動車部は台座部と懸架する位置で連結され、同時
に対象平面が一及び他の案内平面となす角は夫々60°及
び30°となる。この手段に因り、磁気による初期張力の
利用が可能となる。移動車部と台座部との懸架連結は台
座部には下向きの案内軌道が配置され、台座部は一又は
二以上の支持部、すなわち脚又はそれに似たものに支持
され、一種のコンソール、門或は橋を形成することを意
味する。このような配置は移動車部の下に加工用材料を
供給し、位置決めし、取り去るための自由な空間が確保
できるという利点がある。夫々60°及び30°の角度に因
り、重力は釣合い、かつ全ての軸受が実質的に同程度に
荷重されるように軸受に分布される。
注意すべきは、前述のUS−PS 3,272,568は空気静力学
的に、かつ空気軸受の磁気による初期張力が加えられて
懸架する位置で軸支される移動車を開示する。各案内平
面には別個の永久磁石が使用される。
的に、かつ空気軸受の磁気による初期張力が加えられて
懸架する位置で軸支される移動車を開示する。各案内平
面には別個の永久磁石が使用される。
比較的軽量でそれにも拘らず剛性が高い移動車部は本
発明に係る案内装置の別の好適実施例において示され
る。それは移動車部がアルミニウム製で骨組構造の断面
を有する。アルミニウム製のかかる形状は比較的安価で
効率のよい方法で押し出し成型の手段により製作される
ことができる。
発明に係る案内装置の別の好適実施例において示され
る。それは移動車部がアルミニウム製で骨組構造の断面
を有する。アルミニウム製のかかる形状は比較的安価で
効率のよい方法で押し出し成型の手段により製作される
ことができる。
案内装置の更に好適な実施例は台座部が花崗岩（Gran
ite）製であるということに特徴がある。この実施例は
移動する必要のない静止式台座部を有する案内装置にお
いて特に使用される。案内装置の部品に対する花崗岩の
使用は本来既知である。花崗岩は応力がなく、正確に寸
法通り作ることができ、外からの侵入物に抵抗力があ
り、かつ減衰性状を有する。
ite）製であるということに特徴がある。この実施例は
移動する必要のない静止式台座部を有する案内装置にお
いて特に使用される。案内装置の部品に対する花崗岩の
使用は本来既知である。花崗岩は応力がなく、正確に寸
法通り作ることができ、外からの侵入物に抵抗力があ
り、かつ減衰性状を有する。
しかしながら、若し台座部が移動できるものとすれ
ば、例えばＸ−Ｙ案内装置或いはＸ−Ｙ−Ｚ案内装置の
場合においては、本発明によれば台座部はアルミニウム
製で骨組構造の断面形状を有する。前述したように、か
かる形状は押し出し成型で効率的で安価な方法で製作で
き比較的軽量で高い剛性を有する。
ば、例えばＸ−Ｙ案内装置或いはＸ−Ｙ−Ｚ案内装置の
場合においては、本発明によれば台座部はアルミニウム
製で骨組構造の断面形状を有する。前述したように、か
かる形状は押し出し成型で効率的で安価な方法で製作で
き比較的軽量で高い剛性を有する。
本発明に係る案内装置は、例えば、US−PS 4,644,642
に係る基体の上に部品を配置する装置で使用できる。こ
の既知の装置において、移動車部は回転型電気モータの
手段によりピニオンとラック機構を経て駆動される。電
気モータとピニオンは案内装置の構造及び台座部と移動
車部の寸法に応じて台座部上または移動車部上のいずれ
かに取付けることができる。
に係る基体の上に部品を配置する装置で使用できる。こ
の既知の装置において、移動車部は回転型電気モータの
手段によりピニオンとラック機構を経て駆動される。電
気モータとピニオンは案内装置の構造及び台座部と移動
車部の寸法に応じて台座部上または移動車部上のいずれ
かに取付けることができる。
空気軸受にプレストレスを与える磁気手段及び移動車
部の駆動装置は本発明に係る案内装置の別の好適実施例
と効果的かつ効率よく組合せられる。すなわち、移動車
部の駆動装置は固定子及び電機子と共に永久磁石を有す
るリニア電気モータとして製作され、それらは空気軸受
にプレストレスを与える磁石システムとして働く。これ
らの手段に因り、全ての空気軸受にプレストレを与える
ためには永久磁石の性質及び公知のリニア電気モータの
手段を利用することで十分である。別の初期張設力手段
は必要とされない。永久磁石は一の部品、すなわち固定
子又は電機子のいずれかに固定してよく、一方の強磁性
成層鉄心を有するコイルを他の部品に取り付ける。しか
し、望ましくは電機子の上にコイルをそして固定子の上
に永久磁石を取付けることにより、コイルの数を最小に
し、固定子により構成される磁石部分の長さを簡易な方
法で移動車の所要のストローク長さに合わせ、かつコイ
ルの数を変え及び強磁性部分を構成する電機子を所要値
まで拡長し又は短縮することにより磁力を調整すること
が可能となる。
部の駆動装置は本発明に係る案内装置の別の好適実施例
と効果的かつ効率よく組合せられる。すなわち、移動車
部の駆動装置は固定子及び電機子と共に永久磁石を有す
るリニア電気モータとして製作され、それらは空気軸受
にプレストレスを与える磁石システムとして働く。これ
らの手段に因り、全ての空気軸受にプレストレを与える
ためには永久磁石の性質及び公知のリニア電気モータの
手段を利用することで十分である。別の初期張設力手段
は必要とされない。永久磁石は一の部品、すなわち固定
子又は電機子のいずれかに固定してよく、一方の強磁性
成層鉄心を有するコイルを他の部品に取り付ける。しか
し、望ましくは電機子の上にコイルをそして固定子の上
に永久磁石を取付けることにより、コイルの数を最小に
し、固定子により構成される磁石部分の長さを簡易な方
法で移動車の所要のストローク長さに合わせ、かつコイ
ルの数を変え及び強磁性部分を構成する電機子を所要値
まで拡長し又は短縮することにより磁力を調整すること
が可能となる。
注意すべきことは、移動車の駆動装置のためにリニア
電気モータを使用することはUS−PS 4,505,464で本来既
知である。該電気モータは永久磁石と大量の強磁性材料
からなり、その結果として花崗岩製の移動車の重量に加
えて引張力が移動車に加えられる。しかし、これらの力
は移動車が軸支されているローラ・ベァリングの間隙を
除くのに、すなわち一方向にのみ働く。
電気モータを使用することはUS−PS 4,505,464で本来既
知である。該電気モータは永久磁石と大量の強磁性材料
からなり、その結果として花崗岩製の移動車の重量に加
えて引張力が移動車に加えられる。しかし、これらの力
は移動車が軸支されているローラ・ベァリングの間隙を
除くのに、すなわち一方向にのみ働く。
ブラシなしモータがリニア電気モータとして使用され
ていることに特徴のある本発明に係る案内装置の別の好
適実施例において、運転支障度の低い運転を行うことが
できる。かかるモータはブラシ・モータより摩損に対し
て高い抵抗力を有する。望ましくは、ブラシなしリニア
・モータは出願人の先願未公開の特許出願において記述
されている種類のものを使うのがよい。
ていることに特徴のある本発明に係る案内装置の別の好
適実施例において、運転支障度の低い運転を行うことが
できる。かかるモータはブラシ・モータより摩損に対し
て高い抵抗力を有する。望ましくは、ブラシなしリニア
・モータは出願人の先願未公開の特許出願において記述
されている種類のものを使うのがよい。
本発明に係る案内装置はＸ−Ｙ運動を行うために前述
の特徴を有する２台の移動車部及び２個の台座部から構
成され、第２の台座部は第１の移動車部と連結される。
の特徴を有する２台の移動車部及び２個の台座部から構
成され、第２の台座部は第１の移動車部と連結される。
望ましくは、静止のままの台座部は全ての実施例にお
いて花崗岩製であるのがよい。
いて花崗岩製であるのがよい。
図面を参照して本発明をより詳細に説明する。
第１図は基体に電気及びまたは電子部品を配置するた
めの装置１の実施例を鳥瞰図的に示めしている。この装
置１は主として部品を取り付けるための２個の配置ユニ
ット２、基体Ｓを供給するための１個の供給ユニット
３、及び配置ユニット２を制御するための２個の制御キ
ャビネット４から構成される。配置ユニットの一の前面
には、コンテナ５が設置され、そこでテープに包まれた
部品と共に巻わく６が軸支されている。判り易くするた
め、第１図においては他の配置ユニット用のコンテナは
省略されている。配置ユニット２にはＸ−Ｙ方向で移動
自在な単一又は多数の取り付けヘッド（図示されていな
い）が備えてある。第１図において参照番号９が付され
ている本発明に係る案内装置は取り付けヘッドを移動す
るのに役立つ。
めの装置１の実施例を鳥瞰図的に示めしている。この装
置１は主として部品を取り付けるための２個の配置ユニ
ット２、基体Ｓを供給するための１個の供給ユニット
３、及び配置ユニット２を制御するための２個の制御キ
ャビネット４から構成される。配置ユニットの一の前面
には、コンテナ５が設置され、そこでテープに包まれた
部品と共に巻わく６が軸支されている。判り易くするた
め、第１図においては他の配置ユニット用のコンテナは
省略されている。配置ユニット２にはＸ−Ｙ方向で移動
自在な単一又は多数の取り付けヘッド（図示されていな
い）が備えてある。第１図において参照番号９が付され
ている本発明に係る案内装置は取り付けヘッドを移動す
るのに役立つ。
第２図は案内装置９の底面図で、案内装置９は第１の
台座部11、第１の移動車部13、第２の台座部111、及び
第２の移動車部113から構成される。更に図示されてい
ない取り付けヘッドが前記第２の移動車部に固定されて
いる。台座部11は花崗岩でできており、鋳鉄製の２本の
キャリア７に支えられる鋳鉄製の橋梁部８に第１図に示
される通りはめ込められている。この如く、組立体は門
又は橋を形成するので十分な空間が取り付けヘッドの下
での基体の移動に利用できる。このような構造ができる
ように移動車部13は台座部11に懸架する位置で連結され
る。相応する方法で、移動車部113は台座部111に懸架す
る位置で連結され、台座部は移動車部13に固定される。
台座部11には案内軌道15,17及び19が設けられ、それ等
は２個の直交案内平面上に存在する。すなわち、第３図
に示される通り案内軌道15及び17は水平案内平面Ａ−Ａ
上に存在し、一方案内軌道19は垂直案内平面Ｂ−Ｂ上に
存在する。
台座部11、第１の移動車部13、第２の台座部111、及び
第２の移動車部113から構成される。更に図示されてい
ない取り付けヘッドが前記第２の移動車部に固定されて
いる。台座部11は花崗岩でできており、鋳鉄製の２本の
キャリア７に支えられる鋳鉄製の橋梁部８に第１図に示
される通りはめ込められている。この如く、組立体は門
又は橋を形成するので十分な空間が取り付けヘッドの下
での基体の移動に利用できる。このような構造ができる
ように移動車部13は台座部11に懸架する位置で連結され
る。相応する方法で、移動車部113は台座部111に懸架す
る位置で連結され、台座部は移動車部13に固定される。
台座部11には案内軌道15,17及び19が設けられ、それ等
は２個の直交案内平面上に存在する。すなわち、第３図
に示される通り案内軌道15及び17は水平案内平面Ａ−Ａ
上に存在し、一方案内軌道19は垂直案内平面Ｂ−Ｂ上に
存在する。
移動車部13はアルミニウム製で押し出し成型され、断
面は骨組構造の外形を有する。従って、移動車部13は比
較的軽量で、花崗岩の台座部11に比較すれば特に軽量で
ある。移動車部は５個の空気軸受、すなわち水平案内平
面Ａ−Ａで３個により垂直案内平面Ｂ−Ｂで２個により
空気静力学的に軸支される。この目的のため、５個の軸
受21が移動車部13に設けてある。すなわち案内軌道15に
ある２個の軸受及び案内軌道17にある１個の軸受が水平
案内平面Ａ−Ａにおける１個の３点支持を構成する。案
内軌道19にある２個の軸受により、移動車部13は垂直案
内平面Ｂ−Ｂにおいて案内される。このように、移動車
部13の５個の自由度が決定される。軸受には空気ダクト
23が設けられ、それは加圧空気導管25に接続され、空気
軸受として作用する空気クッションを作りかつ持続する
ためにそれを通して圧縮空気が供給される。このように
圧縮空気が案内軌道の案内平面と各軸受21との間に供給
されることにより空気クッションが発生し、各軸受21は
案内平面から離れる方向の反発力を受ける。この反発力
に対抗して案内平面に接近する方向への吸引力を磁気的
手段（磁石システム）により発生し、これにより空気ク
ッションは圧縮された状態に維持される、即ち「プレス
トレス」を与えられる。このプレストレスを付与された
空気クッションにより応答性のよい滑らかな動作の軸受
作用を行うことができるようになる。先に述べた通り、
磁石システムがこの目的のために使用されてよく、それ
は永久磁石部分と強磁性部分とから構成され、そのうち
の一の部分が台座部11に設けられ、かつ他の部分が移動
車部13に設けられる。このような分離した磁石システム
は特に回転型電気モータとの組合せで用いられ、回転型
電気モータはウォームスクリュ機構或いはピニオン−ラ
ック機構を経て移動車部に対する駆動力源となる。しか
しながら、図示の実施例では、移動車部13は永久磁石と
共にリニア−電気モータにより駆動される。このモータ
は空気軸受にプレストレスを与えるのに好都合である。
電気モータは固定子31を備え、それは一連の永久磁石33
からなり、永久磁石は帯状の強磁性担体35に固定され
る。固定子31は花崗岩の台座11の溝状凹部39にアンカー
37により取付けられる。
面は骨組構造の外形を有する。従って、移動車部13は比
較的軽量で、花崗岩の台座部11に比較すれば特に軽量で
ある。移動車部は５個の空気軸受、すなわち水平案内平
面Ａ−Ａで３個により垂直案内平面Ｂ−Ｂで２個により
空気静力学的に軸支される。この目的のため、５個の軸
受21が移動車部13に設けてある。すなわち案内軌道15に
ある２個の軸受及び案内軌道17にある１個の軸受が水平
案内平面Ａ−Ａにおける１個の３点支持を構成する。案
内軌道19にある２個の軸受により、移動車部13は垂直案
内平面Ｂ−Ｂにおいて案内される。このように、移動車
部13の５個の自由度が決定される。軸受には空気ダクト
23が設けられ、それは加圧空気導管25に接続され、空気
軸受として作用する空気クッションを作りかつ持続する
ためにそれを通して圧縮空気が供給される。このように
圧縮空気が案内軌道の案内平面と各軸受21との間に供給
されることにより空気クッションが発生し、各軸受21は
案内平面から離れる方向の反発力を受ける。この反発力
に対抗して案内平面に接近する方向への吸引力を磁気的
手段（磁石システム）により発生し、これにより空気ク
ッションは圧縮された状態に維持される、即ち「プレス
トレス」を与えられる。このプレストレスを付与された
空気クッションにより応答性のよい滑らかな動作の軸受
作用を行うことができるようになる。先に述べた通り、
磁石システムがこの目的のために使用されてよく、それ
は永久磁石部分と強磁性部分とから構成され、そのうち
の一の部分が台座部11に設けられ、かつ他の部分が移動
車部13に設けられる。このような分離した磁石システム
は特に回転型電気モータとの組合せで用いられ、回転型
電気モータはウォームスクリュ機構或いはピニオン−ラ
ック機構を経て移動車部に対する駆動力源となる。しか
しながら、図示の実施例では、移動車部13は永久磁石と
共にリニア−電気モータにより駆動される。このモータ
は空気軸受にプレストレスを与えるのに好都合である。
電気モータは固定子31を備え、それは一連の永久磁石33
からなり、永久磁石は帯状の強磁性担体35に固定され
る。固定子31は花崗岩の台座11の溝状凹部39にアンカー
37により取付けられる。
複数のコイルと強磁性の担体からなる電気モータの電
機子41は移動車部13に固定される。電機子41には冷却用
リブ43及び冷却液の循環のための冷却用ダクト45が設け
てある。モータの中心線Ｘ−Ｘを通る対称平面Ｃ−Ｃが
夫々水平案内平面Ａ−Ａと鋭角αをなし、垂直案内平面
Ｂ−Ｂと鋭角βをなすように電気モータ29は配置され
る。固定子31と電機子41は永久磁石部分と強磁性部分か
らなる磁石システムを構成し、磁石システムは空気軸受
に初期張力を与えるのに役立つ。電気モータが斜めに位
置していることに因り、電気モータにより生じた永久磁
石の引力の結果としてのみ、５個の空気軸受はこれ以上
のプレストレス附加手段なしに全てプレストレスが与え
られることができ、かつ移動車は２個の案内平面におい
て案内されることができる。このように磁石システムの
対称平面が案内平面の長手方向軸線に対して直交する横
方向の断面で見て、２個の案内平面に対して傾斜して配
置されることになる。磁石システムの磁気的プレストレ
ス力は対称平面に平行な方向に指向するため、このプレ
ストレス力は第１案内平面に直交する方向の成分と、第
２案内平面に直交する方向の成分とを有し、従って移動
車部は単に１個の磁石システムにより２個の案内平面の
双方に対してプレストレス力を受けることになる。この
ようにして簡単な構成の案内装置が得られる。夫々αが
60°かつβが30°で示されている実施例では、重力は全
ての空気軸受が同じ荷重を受けるような方法で釣合うこ
とが判明している。すなわち、プレストレスの作用点、
換言すれば電気モータの中心線の位置は全てのモーメン
トの合計が零になるように選定される。
機子41は移動車部13に固定される。電機子41には冷却用
リブ43及び冷却液の循環のための冷却用ダクト45が設け
てある。モータの中心線Ｘ−Ｘを通る対称平面Ｃ−Ｃが
夫々水平案内平面Ａ−Ａと鋭角αをなし、垂直案内平面
Ｂ−Ｂと鋭角βをなすように電気モータ29は配置され
る。固定子31と電機子41は永久磁石部分と強磁性部分か
らなる磁石システムを構成し、磁石システムは空気軸受
に初期張力を与えるのに役立つ。電気モータが斜めに位
置していることに因り、電気モータにより生じた永久磁
石の引力の結果としてのみ、５個の空気軸受はこれ以上
のプレストレス附加手段なしに全てプレストレスが与え
られることができ、かつ移動車は２個の案内平面におい
て案内されることができる。このように磁石システムの
対称平面が案内平面の長手方向軸線に対して直交する横
方向の断面で見て、２個の案内平面に対して傾斜して配
置されることになる。磁石システムの磁気的プレストレ
ス力は対称平面に平行な方向に指向するため、このプレ
ストレス力は第１案内平面に直交する方向の成分と、第
２案内平面に直交する方向の成分とを有し、従って移動
車部は単に１個の磁石システムにより２個の案内平面の
双方に対してプレストレス力を受けることになる。この
ようにして簡単な構成の案内装置が得られる。夫々αが
60°かつβが30°で示されている実施例では、重力は全
ての空気軸受が同じ荷重を受けるような方法で釣合うこ
とが判明している。すなわち、プレストレスの作用点、
換言すれば電気モータの中心線の位置は全てのモーメン
トの合計が零になるように選定される。
台座部11上の移動車部13の位置は台座部11に固定され
た測定定規49及び移動車部13に固定された光学的センサ
ー51を有する既知の変位測定システムにより決定され
る。この測定システムは発明の部分を構成しない。
た測定定規49及び移動車部13に固定された光学的センサ
ー51を有する既知の変位測定システムにより決定され
る。この測定システムは発明の部分を構成しない。
第３図において、参照番号53及び55は帯状の遮蔽部品
を表示し、それらは台座部11の２個の長手方向側面に設
けられる。判り易くするため、これらの遮蔽部品は第２
図では省略されている。
を表示し、それらは台座部11の２個の長手方向側面に設
けられる。判り易くするため、これらの遮蔽部品は第２
図では省略されている。
第２の台座部111と第２の移動車部113は第１の台座部
11と第１の移動車部13が共働するのと同じように共働す
る。移動車部113は移動車部13と同じくアルミニウム製
で、骨組構造の断面を有している。花崗岩の台座部11と
対照的に、台座部111はアルミニウム製で骨組構造の断
面形状を有している。結果として、移動すべき全体重量
は小さくされている。
11と第１の移動車部13が共働するのと同じように共働す
る。移動車部113は移動車部13と同じくアルミニウム製
で、骨組構造の断面を有している。花崗岩の台座部11と
対照的に、台座部111はアルミニウム製で骨組構造の断
面形状を有している。結果として、移動すべき全体重量
は小さくされている。
台座部111には３本の案内軌道115,117及び119が設け
られ、それらは２個の直交する案内平面に位置する。す
なわち、第４図に示される通り、案内軌道115及び117は
水平案内平面Ｄ−Ｄに位置し、一方案内軌道119は垂直
案内平面Ｅ−Ｅに位置する。移動車部113は同じく５個
の空気軸受により、すなわち、３個は水平案内平面Ｄ−
Ｄにおいて２個は垂直案内平面Ｅ−Ｅにおいて空気静力
学的に軸支される。この目的のため、移動車部113には
５個の軸受121が設けられる。すなわち、案内軌道115に
ある２個の軸受及び案内軌道117にある１個の軸受が水
平案内平面Ｄ−Ｄにおける３点案内を構成する。案内軌
道119にある２個の軸受は垂直案内平面Ｅ−Ｅにおける
２点案内を構成する。台座部111及び移動車部113からな
る第２の組立体の軸受容量は台座部11及び移動車部13か
らなる第１の組立体の軸受容量に等しくする必要はな
い。従って第２の組立体の部品は第１の組立体の相応す
る部品より小さい寸法でよい。例えば、移動車部113の
軸受121は移動車部13の軸受21より小さい直径であり台
座部111の案内軌道115,117及び119は台座部11の案内軌
道15,17及び19より相対的に小さい。軸受121には空気ダ
クトが設けられ、空気ダクトは加圧空気導管125に連通
する。永久磁石を有する第２のリニア・サーボ・モータ
129が第１のサーボ・モータ29と同じように配置されて
いる。永久磁石133と強磁性材料の担体135からなる固定
子131がアンカーの手段なしに台座部111に直接固定され
ている。冷却リブ143及び冷却用ダクト145が設けてある
電機子141が移動車部113に取り付けてある。台座部111
及び移動車部113から成る第２の組立体の所要軸受容量
は小さくてよいので、固定子141は固定子41より短い長
さでよい。サーボ・モータ129の中心線Ｙ−Ｙを通る対
象平面Ｆ−Ｆが夫々水平案内平面Ｄ−Ｄと鋭角γをな
し、垂直平面Ｅ−Ｅと鋭角δをなすような角度でサーボ
・モータ129は配置される。この場合も又、５個の空気
軸受の荷重は夫々角γが60°及び角δが30°で均一とな
る。測定定規149及び光学的センサー151は移動車の位置
を感知するのに役立つ。第４図において、参照番号153
及び155は遮蔽部品を示し、それら遮蔽部品は判り易く
するために第２図ではこれ又省略されている。本発明に
係る案内装置の実施例のデータを以下に記述する： 第１のサーボ・モータの磁力： 3000N 第２のサーボ・モータの磁力： 1500N リニア電気モータのエア・ギャプ： 250μｍ 空気軸受のエア・ギャプ厚さ： 10 μｍ 空気軸受の空気圧： 6 bar 変位の最大速さ： 1.5m/s 最大加速度： 2 G 位置決め精度： 10 μｍ 配置されそして位置決めされる要素、例えば部品の配
置のための単一又は複数の取り付けヘッド、テーブル、
基体のためのキャリア、ツール、加工用材料及び其の他
似た物が移動車部113に固定される。
られ、それらは２個の直交する案内平面に位置する。す
なわち、第４図に示される通り、案内軌道115及び117は
水平案内平面Ｄ−Ｄに位置し、一方案内軌道119は垂直
案内平面Ｅ−Ｅに位置する。移動車部113は同じく５個
の空気軸受により、すなわち、３個は水平案内平面Ｄ−
Ｄにおいて２個は垂直案内平面Ｅ−Ｅにおいて空気静力
学的に軸支される。この目的のため、移動車部113には
５個の軸受121が設けられる。すなわち、案内軌道115に
ある２個の軸受及び案内軌道117にある１個の軸受が水
平案内平面Ｄ−Ｄにおける３点案内を構成する。案内軌
道119にある２個の軸受は垂直案内平面Ｅ−Ｅにおける
２点案内を構成する。台座部111及び移動車部113からな
る第２の組立体の軸受容量は台座部11及び移動車部13か
らなる第１の組立体の軸受容量に等しくする必要はな
い。従って第２の組立体の部品は第１の組立体の相応す
る部品より小さい寸法でよい。例えば、移動車部113の
軸受121は移動車部13の軸受21より小さい直径であり台
座部111の案内軌道115,117及び119は台座部11の案内軌
道15,17及び19より相対的に小さい。軸受121には空気ダ
クトが設けられ、空気ダクトは加圧空気導管125に連通
する。永久磁石を有する第２のリニア・サーボ・モータ
129が第１のサーボ・モータ29と同じように配置されて
いる。永久磁石133と強磁性材料の担体135からなる固定
子131がアンカーの手段なしに台座部111に直接固定され
ている。冷却リブ143及び冷却用ダクト145が設けてある
電機子141が移動車部113に取り付けてある。台座部111
及び移動車部113から成る第２の組立体の所要軸受容量
は小さくてよいので、固定子141は固定子41より短い長
さでよい。サーボ・モータ129の中心線Ｙ−Ｙを通る対
象平面Ｆ−Ｆが夫々水平案内平面Ｄ−Ｄと鋭角γをな
し、垂直平面Ｅ−Ｅと鋭角δをなすような角度でサーボ
・モータ129は配置される。この場合も又、５個の空気
軸受の荷重は夫々角γが60°及び角δが30°で均一とな
る。測定定規149及び光学的センサー151は移動車の位置
を感知するのに役立つ。第４図において、参照番号153
及び155は遮蔽部品を示し、それら遮蔽部品は判り易く
するために第２図ではこれ又省略されている。本発明に
係る案内装置の実施例のデータを以下に記述する： 第１のサーボ・モータの磁力： 3000N 第２のサーボ・モータの磁力： 1500N リニア電気モータのエア・ギャプ： 250μｍ 空気軸受のエア・ギャプ厚さ： 10 μｍ 空気軸受の空気圧： 6 bar 変位の最大速さ： 1.5m/s 最大加速度： 2 G 位置決め精度： 10 μｍ 配置されそして位置決めされる要素、例えば部品の配
置のための単一又は複数の取り付けヘッド、テーブル、
基体のためのキャリア、ツール、加工用材料及び其の他
似た物が移動車部113に固定される。
以上記述した実施例に係る案内装置には２台の移動車
部が設けてあり、それらは懸架する位置で相応する台座
と連結されている。本発明は単一の移動車部或いは３台
の移動車部を有する案内装置において同様に使用しても
よい。台座部と移動車部との懸架式連結は必要とされな
い；台座部と移動車部との水平連結の場合は、同じ有利
な効果が原則的に得られる。
部が設けてあり、それらは懸架する位置で相応する台座
と連結されている。本発明は単一の移動車部或いは３台
の移動車部を有する案内装置において同様に使用しても
よい。台座部と移動車部との懸架式連結は必要とされな
い；台座部と移動車部との水平連結の場合は、同じ有利
な効果が原則的に得られる。
第１図は基体の上に電気及び／又は電子部品を配置する
ための装置を鳥瞰図的に示している。この装置には本発
明に係る案内装置が設けてある； 第２図は本発明に係る案内装置の実施例の底面斜視図で
ある； 第３図は第２図において矢印IIIの方向で見た装置の部
分を示す； 第４図は第２図において矢印IVの方向で見た装置の別の
部分を示す。 １……装置、２……配置ユニット ３……供給ユニット、５……コンテナ ６……巻わく、９……案内装置 11……第１の台座部、13……第１の移動車部 15,17,19……案内軌道、21……軸受 23……空気ダクト、25……加圧空気導管 29……リニア電気モータ、31……固定子 33……永久磁石、35……強磁性担体 41……電機子、43……冷却用リブ 45……冷却用ダクト、49……測定定規 111……第２の台座部、113……第２の移動車部 115,117,119……案内軌道 121……軸受、125……加圧空気導管 129……第２のリニア・サーボ・モータ 131……固定子、133……永久磁石 135……担体、141……電機子
ための装置を鳥瞰図的に示している。この装置には本発
明に係る案内装置が設けてある； 第２図は本発明に係る案内装置の実施例の底面斜視図で
ある； 第３図は第２図において矢印IIIの方向で見た装置の部
分を示す； 第４図は第２図において矢印IVの方向で見た装置の別の
部分を示す。 １……装置、２……配置ユニット ３……供給ユニット、５……コンテナ ６……巻わく、９……案内装置 11……第１の台座部、13……第１の移動車部 15,17,19……案内軌道、21……軸受 23……空気ダクト、25……加圧空気導管 29……リニア電気モータ、31……固定子 33……永久磁石、35……強磁性担体 41……電機子、43……冷却用リブ 45……冷却用ダクト、49……測定定規 111……第２の台座部、113……第２の移動車部 115,117,119……案内軌道 121……軸受、125……加圧空気導管 129……第２のリニア・サーボ・モータ 131……固定子、133……永久磁石 135……担体、141……電機子
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−196758（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−199459（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−64902（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−237848（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−230836（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−229664（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−144788（ＪＰ，Ｕ)
Claims (10)
- 【請求項１】少なくとも１個の台座部、台座部に関し移
動可能であって空気静力学的に軸支されている少なくと
も１個の移動車部、及び移動車部の駆動装置から構成さ
れる案内装置であって、前記台座部には案内軌道が設け
られ、前記移動車部には複数の軸受が設けられ、該軸受
は案内軌道と共働し、該軸受には空気軸受として作用す
る空気クッションを発生させかつ持続するための加圧空
気を供給するためにダクトが設けられ、前記案内装置は
空気軸受にプレストレスを与える手段を更に備えている
案内装置において、案内軌道は相互に一の角を挟む２個
の案内平面を形成し、かつ空気軸受にプレストレスを与
える手段を永久磁石部分及び強磁性部分よりなる磁石シ
ステムにより構成し、前記永久磁石部分及び強磁性部分
は前記案内平面に平行に永久磁石部分及び強磁性部分の
長手方向軸線の方向に延在し、かつ前記長手方向軸線に
直交する横方向の断面で見て互いに対向する台座部及び
移動車部にそれぞれ配置し、前記永久磁石部分及び強磁
性部分は共通の対称平面を有し、この対称平面は前記長
手方向軸線に平行に延び、かつ前記横方向に直交し、ま
た前記長手方向に直交する横方向の断面で見て前記対称
平面は前記２個の案内平面に対してそれぞれ鋭角の角度
をなすよう配置したことを特徴とする案内装置。 - 【請求項２】一の案内平面が２個の軸受及び１個の軸受
と夫々共働する第１及び第２の案内軌道により形成さ
れ、かつ他の案内平面が２個の軸受と共働する単一の案
内軌道により形成されることに特徴のある請求項１記載
の案内装置。 - 【請求項３】２個の案内平面が相互に直交し、かつ磁石
システムの中心線を通る対象平面が一の案内平面と鋭角
をなしかつ他の案内平面と補角をなすことに特徴のある
請求項１または請求項２記載の案内装置。 - 【請求項４】移動車部が台座部に懸架する位置で連結さ
れ、かつ対象平面が１の及び他の案内平面となす角度が
夫々60°及び30°であることに特徴のある請求項1,2又
は３のうちいずれか１項記載の案内装置。 - 【請求項５】移動車部がアルミニウム製で、骨組構造の
断面を有することに特徴のある請求項1,2,3又は４のう
ちいずれか１項記載の案内装置。 - 【請求項６】台座部が花崗岩製であることに特徴のある
請求項１から５のうちいずれか１項記載の案内装置。 - 【請求項７】台座部がアルミニウム製で断面が骨組構造
形状を有することに特徴のある請求項１から５のうちい
ずれか１項記載の案内装置。 - 【請求項８】移動車部の駆動装置は永久磁石を備え固定
子と電機子を有するリニア電気モータの形をとってお
り、前記固定子と前記電機子が空気軸受にプレストレス
を与える磁石システムとして作用することに特徴のある
請求項１から７のうちいずれか１項記載の案内装置。 - 【請求項９】ブラシなしモータがリニア電気モータとし
て使用されることに特徴のある請求項８記載の案内装
置。 - 【請求項１０】第２の台座部及び第２の移動車部が請求
項１から９のうちいずれか１項記載の特徴を有し、第２
の台座部の案内軌道及び第２の移動車部の運動の方向が
第１の台座部の案内軌道及び第１の移動車部の運動の方
向に対し夫々直角をなし、かつ第２の台座部が第１の移
動車部に連結されていることに特徴のある請求項１から
９のうちいずれか１項記載の案内装置。
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