JP4883845B2 - リニアモータ駆動ユニット - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば工作機械のワークテーブル等のように、ベッド等の固定部上で移動自在に支承された可動体に接続され、かかる可動体に所定の移動量を与えつつこれを往復駆動させるリニアモータ駆動ユニットに関する。
【0002】
【従来の技術】
工作機械の各種テーブル、産業用ロボットの走行部、各種搬送装置等においては、ベッドやコラム等の固定部上でテーブル等の可動体を直線的に案内し、且つ、これを所定の位置に位置決めすることが要求されている。従来、このような可動体の案内構造としては図6に示すものが一般に良く知られている。具体的には、固定部100上に一対の直線案内装置101,101を配設して上記可動体102を支持すると共に、かかる可動体102の下側にはボールねじ103を配置し、このボールねじ103をロータリモータ104で駆動するように構成されている。上記直線案内装置101はボールを介して組み付けられた軌道レール105及びスライドブロック106から構成されている。従って、軌道レール105を固定部100に、スライドブロック106を可動体102に固定することによって、可動体102を固定部100上で軌道レール105に沿って自在に案内することが可能となっている。また、上記ボールねじ103はボールを介してねじ軸107とナット部材(図示せず)とが螺合したものであり、ナット部材が可動体102に固定される一方、ねじ軸107は直線案内装置101の軌道レール105と平行に且つ回転自在に設けられている。このため、ロータリモータ104で上記ねじ軸107を回転させると、ナット部材がロータリモータ104の回転に応じてねじ軸107上を移動し、可動体102に対して軌道レール105に沿った方向の推進力を与え、且つ、可動体102を所定の位置に停止させることができるようになっている。
【0003】
このように、ボールねじを用いて可動体を固定部上で正確に位置決めするためには、ロータリモータの回転速度や回転量を適格に制御することが必要とされる。しかし、エンコーダを内蔵すると共にフィードバック制御機能を備えてユニット化された精密ロータリモータが市場には多種供給されている。従って、上記案内構造を構築しようとする者は、これらの精密ロータリモータを用途に合わせて購入し、それを固定部に据えつけると共にカップリングを介してねじ軸に結合しさえすれば、極めて容易に上記案内構造を構築することができる。
【0004】
一方、近年では、ボールねじを用いず、リニアモータを用いて直接可動体を駆動する案内構造も増加してきている。しかし、ステータとロータとがケーシング内で一体化されているロータリモータと異なり、リニアモータではマグネットプレートとコイルとが分離された状態にあり、マグネットプレートを固定部に対して、コイルを可動体に対して別々に固定する必要が生じる。すなわち、リニアモータはマクネットプレートとコイルとが一体化された状態で取り引きされておらず、購入後の取り扱いが大変に面倒である。特に、マクネットプレートとコイルとは極めて小さな所定の隙間で対向させることが必要とされることから、これらマグネットプレートとコイルとを別々に取り扱った場合には、その取付け作業に手間がかかり、マグネットプレートをコイルに接触させ、破損させてしまういったトラブルや、マグネットプレートとコイルとの間に手を挟んでしまうといった事故が発生し易い。
【0005】
また、マグネットプレートに対するコイルの移動量を検出するためのリニアエンコーダも全く別個に取り引きされており、フィードバック制御機能を実現するためには、リニアモータとは別個にリニアエンコーダを購入し、これを固定部や可動体に対して組み付ける必要がある。そして、このようにマグネットプレート、コイル及びリニアエンコータを全く別々に固定部や可動体に組み付けるに当たっては、各取付け作業毎に一定の精度が要求され、その作業が大変面倒なものになってしまう。
【0006】
これらマグネットプレート、コイル及びリニアエンコーダが完全にユニット化されたリニアモータも市場には存在するが、かかるリニアモータは特定用途向けであり、必要とされる条件に応じてこれを改良し得る余地は殆ど存在しない。
【0007】
本発明はこのような問題点に鑑みなされたものであり、その目的とするところは、各種案内構造の駆動源として容易に且つ安全に取り付けることができ、必要とされる用途に対して柔軟に適応させることが可能なリニアモータ駆動ユニットを提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明のリニアモータ駆動ユニットは、固定部に対して直線移動自在な可動体に取り付けられ、かかる可動体に推力を与える目的で使用されるリニアモータ駆動ユニットであって、長尺なベースプレートと、このベースプレート上に配設されると共に該ベースプレートの長手方向に沿って所定のピッチで複数の磁極が配列されたマグネットプレートと、上記可動体の取付け面を有する天板と、この天板に固定されて上記マグネットプレートに対向する可動子と、上記マグネットプレートの両側に沿ってベースプレート上に設けられた一対の軌道レールと、上記可動子の両側に沿って天板に固定され、上記可動子とマグネットプレートとの非接触状態を保ちながら上記軌道レール上を移動するスライド部材とから構成され、上記軌道レール及びスライド部材は、可動子をマグネットプレートから引き離す方向へ自在に分離し得るように構成されていることを特徴とするものである。
【0009】
このような技術的手段によれば、マグネットプレートはベースプレートに固定される一方、可動子は天板に固定されており、しかも、かかる天板はスライド部材と軌道レールとを介してベースプレートに組み付けられているので、マグネットプレートと可動子をユニット化された一体のものとして取り扱うことが可能となる。このため、これらマグネットプレート及び可動子を固定部や可動体に取り付ける作業を容易に行うことができ、かかる作業の際にマグネットプレートを破損したり、マグネットプレートと可動子との間に手を挟んでしまったりといったトラブルを回避することが可能となる。すなわち、上記軌道レール及びスライド部材は可動子をマグネットプレートから引き離す方向へ分離し得るように構成されているので、直線案内装置によって移動自在に支承された可動体の下側に本発明のリニアモータ駆動ユニットを挿入し、ベースプレートを固定部へ、天板を可動体へ夫々固定することにより、マグネットプレート及び可動子を所定の隙間で容易に対向させることができる。
【0010】
また、リニアエンコーダをベースプレートと天板との間に組み込むことも可能であり、そのように構成した場合には、リニアモータとリニアエンコーダとをユニット化された一体のものとして取り扱うことができるので、フィードバック制御機能を備えた案内構造を容易に且つ短時間で構築することが可能となる。
【0011】
従って、本発明のリニアモータ駆動ユニット幅広い用途に対して容易に適用可能であり、大量生産によってコストダウンを図ることも可能となる。
【0012】
また、限定された用途に対しては、上記天板をテーブルとしてそのまま用いることも可能である。その場合、マグネットプレートと可動子との間に作用する磁気力が軌道レールとスライド部材との間に予圧を与える結果となるので、かかる予圧を損なわない範囲で上記天板をテーブルとして使用することが可能となる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に基づいて本発明のリニアモータ駆動ユニットを詳細に説明する。
図1は本発明を適用したリニアモータ駆動ユニット1を示す正面断面図である。このリニアモータ駆動ユニット1は、長尺なベースプレート2上に一対のリニアガイド3を介して天板4を移動自在に支承すると共に、これらベースプレート2と天板4との間にリニアサーボモータ5を配して、上記天板4に推進力を与えるように構成されている。
【0014】
図2及び図3は上記リニアガイド3の構成の詳細を示す斜視図及び正面断面図である。このリニアガイド3は、ベースプレート2の長手方向に沿って配設される軌道レール30と、この軌道レール30に沿って移動すると共に上記天板4に固定されるスライド部材31とから構成されている。上記軌道レール30は長手方向に垂直な断面が略矩形状に形成されており、長手方向に沿った一方の側面には2条のボール転走面32が互いに90°拡開する方向に向けて形成されている。一方、上記スライド部材31の側面には軌道レール30のボール転走面32と対向する2条の負荷転走面33が形成されており、多数のボール34が軌道レール30のボール転走面32とスライド部材31の負荷転走面33との間で荷重を負荷しながら転走するようになっている。また、スライド部材31には上記負荷転走面33を転走し終えたボール34を循環させるためのボール無限軌道35が形成されており、ボール34が無限循環することでスライド部材31が軌道レール30に沿って連続的に移動し得るように構成されている。尚、図2及び図3中において、符号36はリテーナであり、スライド部材31を軌道レール30から分離した際に、ボール34がスライド部材31の負荷転走面33から転がり落ちるのを防止している。
【0015】
図1に示したように、上記ベースプレート2の長手方向に沿った両側縁部には一対のスタンドオフ20,20が立設されており、上記軌道レール30は各スタンドオフ20上にボルトで夫々固定されている。一方、スライド部材31は各軌道レール30に対応して天板4の両側縁部に固定されており、かかる天板4は一対のスタンドオフ20,20の間を跨ぐようにして設けられている。ここで、各軌道レール31はボール転走面32が形成された側面を上に向けてスタンドオフ20に固定される一方、各スライド部材31は負荷転走面33が形成された側面を下に向けて天板4に固定されており、スライド部材31は軌道レール30に対して上方(図1の紙面上側)から組み付けられている。従って、軌道レール30のボール転走面32は水平方向(図1の紙面左右方向)に対して上向きに45°の角度でボール34と接触する一方、スライド部材31の負荷転走面33は水平方向に対して下向きに45°の角度でボール34と接触しており、これら軌道レール30及びスライド部材31から構成されるリニアガイド3は天板4に作用する鉛直下向きの荷重F1及び水平方向に作用する荷重F2のみを負荷し得るようになっている。すなわち、上記天板4はリニアガイド3によってベースプレート2上に支承されており、荷重F1及びF2を負荷しながら自在に移動し得る反面、鉛直上向きの荷重が作用した際にはベースプレート2から離間し得るようになっている。
【0016】
また、上記天板4とベースプレート2との間にはリニアサーボモータ5が設けられ、このリニアサーボモータ5によって発生した推力及び保持力により、天板4がベースプレート2上を移動し、また、ベースプレート2上の所定の位置で停止し得るように構成されている。かかるリニアサーボモータ5は、ベースプレート2側に固定されたマグネットプレート50と、天板4側に固定された可動子51とにより構成されている。ベースプレート2上には上記スタンドオフ20に挟まれるようにしてボルスター52が固定され、マグネットプレート50はこのボルスター52上に配置されている。また、上記マグネットプレート50にはベースプレート2の長手方向に沿って複数の磁極が所定のピッチで着磁されており、これらの磁極はN極及びS極が交互に配列されている。一方、上記可動子51は複数のコイルアセンブリを天板4の移動方向に繰り返し配列して構成されており、各コイルアセンブリは励磁コア53に対してコイル54を巻回して構成されている。そして、各コイルアセンブリはヨーク55を介して天板4の下面に固定されており、互いに隣接するコイルアセンブリの配設ピッチはマグネットプレート50における磁極の配列ピッチと同じである。
【0017】
また、このリニアモータ駆動ユニット1においては、図4に示すように、ホールセンサ6がブラケット60を介して天板4に固定されており、ベースプレート2に固定されたマグネットプレート50と所定の間隙を保って対向している。このホールセンサ6は磁束密度の変化に応じた信号を発生することから、天板4が軌道レール30に沿ってベースプレート2上を移動すると、マグネットプレート50の磁極が発する磁界の強度に応じて信号を発生する。従って、このホール素子6の信号に基づいて各コイルアセンブリに対する給電のタイミングを制御することにより、励磁コア53の先端とマグネットプレート50の磁極との間に磁気吸引力が発生し、天板4に対してベースプレート2の長手方向に沿った推進力を連続的に与えることが可能となる一方、天板4をベースプレート2上の一カ所に係止する保持力を与えることが可能となる。
【0018】
更に、上記ブラケット60には光学式リニアエンコーダの読取部61が固定されており、この読取部61は軌道レール30の長手方向に沿って上記スタンドオフ20の側面に貼付されたエンコーダテープ62と対面している。従って、天板4が軌道レール30に沿ってベースプレート2上を移動すると、上記読取部61がエンコーダテープ62に所定のピッチで形成された明暗の縞をカウントし、かかるカウント値に基づいてベースプレート2に対する天板4の移動量を把握し得るようになっている。尚、図4中の符号63は、ホールセンサ6及び上記読取部61からの信号を図示外の制御部へ伝達すると共に上記可動子51に対して給電するためのケーブルである。また、上記読取部及61びエンコーダテープ62から構成されるリニアエンコーダは光学式のものに限らず、マグネットスケールの磁気を読み取る磁気式のものであっても差し支えない。
【0019】
そして、以上のように構成された本実施例のリニアモータ駆動ユニット1は、例えば図5に示すように、別のリニアガイド7,7によって固定部8上で案内される可動体9の下面側に配設され、かかる可動体9の駆動手段として使用される。すなわち、リニアモータ駆動ユニット1のベースプレート2が固定部8に、天板4が可動体9に固定して使用される。また、ベースプレート2の長手方向は上記ガイドユニット7による可動体9の移動方向と平行に設定される。そして、この状態で上記可動子51を構成する各コイルアセンブリに対して通電することにより、天板4に与えられた推力が可動体9に伝達され、可動体9を固定部8上で任意の量だけ駆動し、且つ、所定の位置に保持することができるものである。
【0020】
このような使用方法において、固定部8から可動体9迄の高さHを本実施例のリニアモータ駆動ユニット1の高さh(図1参照)よりも僅かに大きく(例えば0.1mm程度)設定しておけば、天板4を可動体9に固定したことによって、スライド部材31が軌道レール30から僅かに浮き上がった状態となり、可動体9はこれを支承するリニアガイド7によってのみ固定部8上で案内されるることになる。このため、リニアモータ駆動ユニット1による天板4の案内方向が固定部8上における可動体9の案内方向と厳密に合致していなくとも、可動体9の移動に対して起きな抵抗が作用することなく、可動体9を軽く駆動することができるものである。つまり、可動体9の高さHをリニアモータ駆動ユニット1の高さhよりも僅かに大きく設定しておけば、リニアモータ駆動ユニット1の固定部8及び可動体9への組み付けはある程度までラフに行うことができ、組み付けにかかる手間を軽減することができるものである。
【0021】
また、このリニアモータ駆動ユニット1を可動体8に組み付ける前においては、可動子51を固定した天板4が一対のリニアガイド3,3によってベースプレート2上に架設されていることから、可動子51とマグネットプレート50とが接触してしまうといったトラブルを防止することができる他、可動子51とマグネットプレート50との間に手を挟んでしまうといった事故の発生も防止することができるものである。
【0022】
更に、本実施例のリニアモータ駆動ユニット1によれば、可動子51を固定した天板4それ自体もリニアガイド3によってベースプレート2上で支えられていることから、かかる天板4に対して鉛直上向きの荷重(F1と反対方向への荷 重)が作用せず、また、F1が極めて軽荷重であれば、図5に示すようにリニアガイド7で支えられた可動体9を別途設けずとも、この天板4自体を可動体として利用してテーブル案内構造を構築することも可能である。天板4とベースプレート2との間にはリニアサーボモータ5の吸引力、すなわち可動子51とマグネットプレート50との間の磁気吸引力が作用していることから、この磁気吸引力はスライド部材31を軌道レール30に押し付ける予圧力として働き、天板4に作用する鉛直上向きの荷重がこの予圧力を上回らない限りは、天板4とベースプレート2とが分離してしまうことがないからである。
【0023】
また更に、本実施例のリニアモータ駆動ユニットでは、リニアサーボモータを構成するマグネットプレート及び可動子がリニアベアリングを介してユニット化されていると共に、リニアサーボモータの制御に必要なホールセンサやリニアエンコーダが外リニアサーボモータと一体化されているので、可動体の案内構造を構築するに当たりこのリニアモータ駆動ユニットを使用すれば、フィードバック制御機能を備えた案内構造を容易に且つ短時間で構築することが可能となる。
【0024】
尚、上記リニアガイド3は図2及び図3に示したものに限定されず、天板4に作用する鉛直下向きの荷重F1を負荷し得るものであれば、適宜その構成を変更することができる。但し、天板4を可動体9に固定して使用することを考慮した場合、ベースプレート2に固定されたマグネットプレート50と天板4に固定された可動子51との間隔を自在に調整し得るよう、かかるリニアガイド3は荷重F1の作用方向とは反対方向について負荷能力を具備していないことが必要である。例えば、上記リニアガイド3の他の例としては、図7に示すように、可動体9の移動方向に沿って延びるガイドシャフト70を上記スタンドオフ20上に配設する一方、可動体9にはこのガイドシャフト70の上を走行するローラ71を設けたものが考えられる。
【0025】
また、天板4とベースプレート2との間に設けられるリニアモータは、前述のリニアサーボモータモータ5に限られず、例えばリニアパルスモータ等の他の形式のリニアモータを使用することも可能である。
【0026】
【発明の効果】
以上説明してきたように、本発明のリニアモータ駆動ユニットによれば、マグネットプレートと可動子とがリニアガイドを介して一体化されており、これらを容易に取り扱うことが可能となる一方、特定方向に関してはマグネットプレートと可動子とを容易に分離することが可能であり、各種案内構造の駆動源として容易に且つ安全に取り付けることができ、必要とされる用途に対して柔軟に適応させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明のリニアモータ駆動ユニットの実施例を示す正面断面図である。
【図2】 実施例に係るリニアモータ駆動ユニットに使用されるリニアガイドの一例を示す斜視図である。
【図3】 実施例に係るリニアモータ駆動ユニットに使用されるリニアガイドの一例を示す断面図である。
【図4】 実施例に係るリニアモータ駆動ユニットの正面図である。
【図5】 実施例に係るリニアモータ駆動ユニットを可動体の駆動手段として用いた案内構造を示す正面図である。
【図6】 ロータリモータを駆動手段として用いた従来の案内構造の一例を示す斜視図である。
【図7】 実施例に係るリニアモータ駆動ユニットに使用されるリニアガイドの他の例を示す斜視図である。
【符号の説明】
1…リニアモータ駆動ユニット、2…ベースプレート、4…天板、30…軌道レール、31…スライド部材、50…マグネットプレート、51…可動子、
Claims (1)
- 固定部に対して直線移動自在な可動体に取り付けられ、かかる可動体に推力を与える目的で使用されるリニアモータ駆動ユニットであって、
長尺なベースプレートと、
このベースプレート上に配設されると共に該ベースプレートの長手方向に沿って所定のピッチで複数の磁極が配列されたマグネットプレートと、
上記可動体の取付け面を有する天板と、
この天板に固定されて上記マグネットプレートに対向する可動子と、
2条のボール転走面を有すると共に、これらボール転走面が形成された側を上記天板に向けて上記マグネットプレートの両側に沿ってベースプレート上に設けられ、前記ボール転走面は天板に対して45°の角度で傾斜している一対の軌道レールと、
各軌道レールに対応して上記可動子の両側に沿って天板に固定され、前記軌道レールのボール転走面を転走する多数のボールを有すると共にこれらボールが循環する無限軌道を有し、上記可動子とマグネットプレートとの非接触状態を保ちながら上記軌道レール上を移動するスライド部材と、
から構成され、
上記軌道レール及びスライド部材は、可動子をマグネットプレートから引き離す方向へ自在に分離し得るように構成されていることを特徴とするリニアモータ駆動ユニット。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US09/692,159 US6495935B1 (en) | 2000-10-20 | 2000-10-20 | Linear motor drive unit |
US09/692159 | 2000-10-20 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002136097A JP2002136097A (ja) | 2002-05-10 |
JP4883845B2 true JP4883845B2 (ja) | 2012-02-22 |
Family
ID=24779484
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001147326A Expired - Fee Related JP4883845B2 (ja) | 2000-10-20 | 2001-05-17 | リニアモータ駆動ユニット |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6495935B1 (ja) |
JP (1) | JP4883845B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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KR102168148B1 (ko) * | 2019-04-18 | 2020-10-20 | 주식회사 팔복인더스트리 | 리니어 스테이지 |
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---|---|---|---|---|
FR1592065A (ja) * | 1967-01-25 | 1970-05-11 | ||
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-
2000
- 2000-10-20 US US09/692,159 patent/US6495935B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2001
- 2001-05-17 JP JP2001147326A patent/JP4883845B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002136097A (ja) | 2002-05-10 |
US6495935B1 (en) | 2002-12-17 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101021 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101129 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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