JP2002174317A - アクチュエータ - Google Patents

アクチュエータ

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JP2002174317A JP2000370659A JP2000370659A JP2002174317A JP 2002174317 A JP2002174317 A JP 2002174317A JP 2000370659 A JP2000370659 A JP 2000370659A JP 2000370659 A JP2000370659 A JP 2000370659A JP 2002174317 A JP2002174317 A JP 2002174317A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】送りねじ軸機構をユニット化し、前記ユニット
化された送りねじ軸機構をフレームに対して簡便に組み
付けることができ、あるいは前記ユニット化された送り
ねじ軸機構をフレームから簡便に離脱させることにあ
る。 【解決手段】ボールねじ軸２８およびボールねじナット
３０を含む送りねじ軸機構１６と、前記ボールねじ軸２
８およびボールねじナット３０を挿入する開口部７８が
形成されたスライダ１８とを備え、前記送りねじ軸機構
１６は、一体的に組み付けられたユニットからなり、ス
ライダ１８の開口部７８を介してフレーム１２に対して
着脱自在に装着される。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、駆動源の駆動作用
下にフレームに沿ってスライダを直線状に往復動作させ
ることが可能なアクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、例えば、ワークを搬送するた
めにアクチュエータ等の搬送手段が用いられている。
【０００３】ここで、従来技術に係るアクチュエータを
図１２および図１３に示す（例えば、特開平１１−３０
２３４号公報等参照）。
【０００４】この従来技術に係るアクチュエータ１は、
軌道レール２の凹部３に沿って変位するスライダ４と、
図示しない駆動モータによって駆動され且つ前記スライ
ダ４に対して取り外し可能なナット体５に螺合するねじ
軸６とを有する。前記ねじ軸６の両端部には、該ねじ軸
６を回転自在に支持するねじ軸支持体７ａ、７ｂがそれ
ぞれ設けられ、前記ねじ軸支持体７ａ、７ｂは、軌道レ
ール２の上面８に載置した状態で取り付けられている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
従来技術に係るアクチュエータ１では、ねじ軸６および
ねじ軸支持体７ａ、７ｂを含む送りねじ軸機構がユニッ
ト化されていないため、前記送りねじ軸機構を軌道レー
ル２に対して簡便に組み付けたり、あるいは前記送りね
じ軸機構を軌道レール２から簡便に取り外すことができ
ないという不具合がある。
【０００６】すなわち、従来技術に係るアクチュエータ
１では、図１３に示されるように、ねじ軸６をスライダ
４の貫通孔９に沿って挿通させる必要があるため、換言
すると、ユニット化するときにスライダ４が邪魔部材と
なるために、ねじ軸６およびねじ軸支持体７ａ、７ｂ等
を含む構成部品を一体的に組み込んだユニットとするこ
とができないという不具合がある。
【０００７】また、ねじ軸６を軌道レール２に組み付け
る際、前記ねじ軸６をスライダ４の貫通孔９に沿って挿
通させなければならないとともに、ねじ軸６を軌道レー
ル２から取り外す場合には、ねじ軸６を軌道レール２の
軸線方向に沿った端部側から引き抜いてスライダ４の貫
通孔９から離脱させる必要がある。その際、軌道レール
２が固定されていてその軸線方向に沿った端部側に障害
物があるときには、ねじ軸６をスライダ４の貫通孔９か
ら引き出すことが困難となる不具合がある。
【０００８】本発明は、前記の不具合を考慮してなされ
たものであり、送りねじ軸機構をユニット化し、前記ユ
ニット化された送りねじ軸機構をフレームに対して簡便
に組み付けることができ、あるいは前記ユニット化され
た送りねじ軸機構をフレームから簡便に離脱させること
が可能なアクチュエータを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、フレームと、前記フレームの内部また
は外部に配設される駆動源と、送りねじ軸および送りね
じナットを含み、前記駆動源の駆動力を伝達する送りね
じ軸機構と、前記送りねじ軸および送りねじナットが挿
入自在な開口部が形成され、前記送りねじ軸機構によっ
て伝達される駆動力の作用下に前記フレームの軸線方向
に沿って往復動作するスライダと、前記スライダがフレ
ームに沿って変位する際、該スライダを案内するガイド
機構と、を備え、前記送りねじ軸機構は、一体的に組み
付けられたユニットからなりフレームに対して着脱自在
に装着されることを特徴とする。
【００１０】この場合、送りねじ軸機構を、回転駆動源
の駆動作用下に所定方向に回動する送りねじ軸と、前記
送りねじ軸が螺合するねじ孔が貫通形成された送りねじ
ナットと、ベアリング押さえ部材と、軸受機構とが一体
的に組み付けられたユニットとし、または、回転駆動源
の駆動作用下に所定方向に回動する送りねじ軸と、前記
送りねじ軸が螺合するねじ孔が貫通形成された送りねじ
ナットと、ベアリング押さえ部材と、軸受機構と、駆動
源を保持するハウジングとが一体的に組み付けられたユ
ニットとし、あるいは、回転駆動源の駆動作用下に所定
方向に回動する送りねじ軸と、前記送りねじ軸が螺合す
るねじ孔が貫通形成された送りねじナットと、ベアリン
グ押さえ部材と、軸受機構と、駆動源を保持するハウジ
ングと、エンドプレートとが一体的に組み付けられたユ
ニットとして構成してもよい。
【００１１】本発明によれば、送りねじ軸機構をユニッ
ト化し、前記ユニット化された送りねじ軸機構をスライ
ダの開口部を介してフレームに対して簡便に組み付ける
ことができ、あるいは前記ユニット化された送りねじ軸
機構をフレームから簡便に離脱させることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明に係るアクチュエータにつ
いて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しなが
ら以下詳細に説明する。
【００１３】図１において、参照数字１０は、本発明の
実施の形態に係るアクチュエータを示す。
【００１４】このアクチュエータ１０は、複数の取付用
孔部１１が形成され、断面コ字状を呈し長尺に形成され
たフレーム１２と、前記フレーム１２の一端部に連結さ
れた回転駆動源１４と、前記フレーム１２に対して着脱
自在なユニットとして構成され、図示しないカップリン
グ部材を介して回転駆動源１４の回転駆動力を伝達する
送りねじ軸機構１６と、前記送りねじ軸機構１６を介し
て伝達される駆動力の作用下に前記フレーム１２の軸線
方向に沿って往復動作するスライダ１８と、前記スライ
ダ１８をフレーム１２に沿って案内するガイド機構２０
（図１０参照）とを有する。
【００１５】なお、前記フレーム１２およびスライダ１
８をステンレススチール等の金属製材料によって形成す
ると好適である。
【００１６】送りねじ軸機構１６は、図７および図８に
示されるように、図示しないカップリング部材を介して
回転駆動源１４の駆動軸と同軸状に連結されるボールね
じ軸（送りねじ軸）２８と、前記ボールねじ軸２８に螺
合するねじ孔が貫通して形成されたボールねじナット
（送りねじナット）３０とを含む。
【００１７】前記ボールねじナット３０は、貫通するね
じ孔が形成された円筒部３２と、前記円筒部３２の一端
部に一体的に形成され、ねじ部材３４を介してスライダ
１８の側面部に固定されるフランジ部３６とから構成さ
れる。
【００１８】また、送りねじ軸機構１６は、回転駆動源
１４を支持する支持部３８を有しフレーム１２の一端部
にねじ部材４０を介して連結されるハウジング４２と、
前記ボールねじ軸２８の端部に連結される軸受機構４４
と、ねじ部材４６を介して前記ハウジング４２に連結さ
れるベアリング押さえ部材４８とを備える。前記ベアリ
ング押さえ部材４８には、略水平方向に沿って所定間隔
離間する一組のダンパ４９ａ、４９ｂがスライダ１８側
に向かって突出するように設けられている。
【００１９】前記フレーム１２の軸線方向に沿った他端
部には、ボールねじ軸２８の一端部を回動自在に軸支す
るエンドプレート５０がねじ部材５２を介して装着され
ている。なお、前記軸受機構４４は、図９に示されるよ
うに、スペーサ５４、ベアリング５６およびロックナッ
ト５８から構成される。
【００２０】この場合、図９に示されるように、ボール
ねじ軸２８、ボールねじナット３０、ベアリング押さえ
部材４８および軸受機構４４を含む送りねじ軸機構１６
が一体的に組み付けられたユニットとして設けるとよ
い。
【００２１】また、図８に示されるように、ボールねじ
軸２８、ボールねじナット３０、ベアリング押さえ部材
４８および軸受機構４４を有する送りねじ軸機構１６に
対し、さらにハウジング４２をも含んで一体的に組み付
けたユニットとしてもよい。
【００２２】さらに、ボールねじ軸２８、ボールねじナ
ット３０、ベアリング押さえ部材４８、軸受機構４４お
よびハウジング４２を有する送りねじ軸機構１６に対
し、さらにエンドプレート５０をも一体的に組み付けた
ユニットとしてもよい。
【００２３】ガイド機構２０は、図１０に示されるよう
に、フレーム１２の内壁の底面に近接する部位に該フレ
ーム１２の軸線方向に沿って延在し、その縦断面が円弧
状に形成された一組の対向する第１ボール転動溝６０
ａ、６０ｂと、フレーム１２の内壁に対向するスライダ
１８の側面に形成され、その縦断面が円弧状に形成され
た一組の第２ボール転動溝６２ａ、６２ｂと、前記第２
ボール転動溝６２ａ、６２ｂに近接しスライダ１８の軸
線方向に沿って貫通する一組のボール転動孔６４ａ、６
４ｂとを有する。
【００２４】また、ガイド機構２０は、ボールねじナッ
ト３０のフランジ部３６と略平行となるようにスライダ
１８の下部側にねじ部材６６を介して一体的に連結され
るプレート６８およびカバー７０と、スライダ１８の側
面に装着されるリターンガイド７２とを有する。前記プ
レート６８、カバー７０およびリターンガイド７２をそ
れぞれ樹脂製材料によって形成すると好適である。
【００２５】この場合、前記プレート６８およびカバー
７０をスライダ１８の側面の下部側に装着することによ
り、前記プレート６８およびカバー７０が装着されてい
ないスライダ１８の側面の上部側をダンパ４９ａ、４９
ｂが当接する当接面として用いることができる。
【００２６】なお、前記プレート６８、カバー７０およ
びリターンガイド７２は、スライダ１８の軸線方向に沿
った一方の側面側と他方の側面側とで同一構成部品によ
って構成されている。
【００２７】前記カバー７０には、ボールリターン溝７
４が形成され、この場合、相互に対向する第１および第
２ボール転動溝６０ａ、６０ｂ、６２ａ、６２ｂと、ス
ライダ１８に形成された貫通するボール転動孔６４ａ、
６４ｂと、前記ボールリターン溝７４とによって複数の
ボール７６が転動する無限循環軌道が構成される。
【００２８】スライダ１８の上部の中央部には、図７に
示されるように、軸線方向に沿って延在する断面Ｕ字状
の開口部７８が形成され、前記開口部７８は、上方に向
かって開口する大きな凹部状に形成されることにより、
ボールねじナット３０の円筒部３２が上方側から着脱自
在に設けられる。
【００２９】また、前記スライダ１８には、図６に示さ
れるように、前記開口部７８から下部側に向かって貫通
する矩形状の孔部８０が形成され、前記孔部８０には、
ボールねじナット３０に装着され、複数のボール７６が
転動する通路として機能するリターンチューブ（図示せ
ず）が収納される。従って、リターンチューブを収納す
るための孔部８０を形成することにより、スライダ１８
の高さ方向の寸法を抑制することができる。
【００３０】本発明の実施の形態に係るアクチュエータ
１０は、基本的には以上のように構成されるものであ
り、次にその動作並びに作用効果について説明する。
【００３１】先ず、アクチュエータ１０の組み付け方法
について説明する。
【００３２】先ず、スライダ１８の両端面に対しねじ部
材６６を介して一組のプレート６８およびカバー７０を
それぞれ装着し、前記スライダ１８をフレーム１２の凹
部内に組み付ける。この場合、スライダ１８の軸線方向
に沿った一端側と他端側とで同一構成要素からなるプレ
ート６８、カバー７０およびリターンガイド７２が装着
されるため、スライダ１８の一端側または他端側のいず
れの方向からでもプレート６８およびカバー７０等を装
着することができるように設定されている。
【００３３】換言すると、スライダ１８の軸線方向に沿
った一端側と他端側とで同一の構成部材を用いることに
より、その方向性を問題とすることがなく、簡便に組み
付けることができる。また、ガイド機構２０を構成する
部品の共通化を図ることにより、部品点数を削減して製
造コストを低減することができる。
【００３４】続いて、図７に示されるように、ボールね
じナット３０の円筒部３２をスライダ１８の上方側から
開口部７８に沿って進入させ、フランジ部３６をねじ部
材３４によってスライダ１８の側面に締結するととも
に、ボールねじ軸２８、ボールねじナット３０、エンド
プレート５０およびハウジング４２が一体的に組み付け
られた送りねじ軸機構１６をフレーム１２に装着する。
【００３５】この場合、スライダ１８の上面部に断面Ｕ
字状の開口部が形成されているため、スライダが邪魔部
材となることがなく、スライダ１８の上方側から、ボー
ルねじ軸２８、ボールねじナット３０、エンドプレート
５０およびハウジング４２が一体的に組み付けられた送
りねじ軸機構１６のユニットをフレーム１２に対して簡
便に装着することができる。なお、前記とは反対に、ス
ライダ１８の開口部７８を通じて送りねじ軸機構１６の
ユニットをフレーム１２から簡便に離脱させることがで
きる。
【００３６】なお、本実施の形態では、図５に示される
ように、無限循環軌道に沿って転動するボール７６の中
心を結ぶ略水平直線とボールねじ軸２８の中心を通る略
水平直線との離間距離Ｈが小さく設定されるため、スラ
イダ１８に付与されるモーメントを抑制して、安定した
前記スライダ１８の往復直線運動を確保することができ
る。
【００３７】次に、アクチュエータ１０の動作について
説明する。
【００３８】図示しない電源を付勢することにより回転
駆動源１４の回転駆動力がボールねじ軸２８に伝達され
る。所定方向に回動するボールねじ軸２８がボールねじ
ナット３０のねじ孔に螺合することにより、ボールねじ
ナット３０に連結されたスライダ１８がガイド機構２０
の案内作用下に一体的にフレーム１２の軸線方向に沿っ
て変位する。なお、図示しないコントローラの制御作用
下に、回転駆動源１４に流される電流の極性を正逆逆転
させることにより、前記スライダ１８をフレーム１２の
軸線方向に沿って往復動作させることができる。
【００３９】スライダ１８がフレーム１２の軸線方向に
沿って往復動作する際、第１ボール転動溝６０ａ、６０
ｂおよび第２ボール転動溝６２ａ、６２ｂに沿って複数
のボール７６が転動する。
【００４０】なお、本実施の形態では、ボールねじ軸２
８と回転駆動源１４の回転駆動軸とを同軸状に連結して
いるが、ボールねじ軸２８に連結される第１プーリ（図
示せず）と回転駆動軸に連結される第２プーリ（図示せ
ず）とをそれぞれ懸架する図示しないタイミングベルト
を用いることにより、ボールねじ軸２８と回転駆動源１
４とを略平行に配設してもよい。
【００４１】また、前記回転駆動源１４に代替して、図
示しないロッドレスシリンダまたは流体圧シリンダ等の
駆動手段を用いてもよい。
【００４２】さらに、図１１に示されるように、取付手
段８２を介してフレーム１２の側面にフォトセンサ８４
を装着し、スライダ１８に連結され該スライダ１８と一
体的に変位する断面Ｌ字状の被検出部材８６を検出する
ことにより、原点位置を検出することができる。
【００４３】加えて、本実施の形態では、フレーム１２
のボール転動溝６０ａ、６０ｂを略水平に２列配置する
ことにより、４列配置した場合と比較して、該フレーム
１２の側部の高さ方向の寸法を抑制して剛性を増大させ
ることができるという利点がある。
【００４４】
【発明の効果】本発明によれば、以下の効果が得られ
る。
【００４５】すなわち、送りねじ軸機構をユニット化
し、前記ユニット化された送りねじ軸機構をスライダの
開口部に沿って挿入することにより、フレームに対して
簡便に組み付けることができ、あるいは前記ユニット化
された送りねじ軸機構をフレームから簡便に離脱させる
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るアクチュエータの斜
視図である。
【図２】前記アクチュエータの側面図である。
【図３】前記アクチュエータの平面図である。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ線に沿った縦断面図である。
【図５】図３のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図である。
【図６】図３のＶＩ−ＶＩ線に沿った縦断面図である。
【図７】前記アクチュエータの要部分解斜視図である。
【図８】前記アクチュエータを構成する送りねじ軸機構
の分解斜視図である。
【図９】前記送りねじ軸機構の部分分解斜視図である。
【図１０】前記アクチュエータを構成するガイド機構の
分解斜視図である。
【図１１】フレームの側面にセンサが装着された状態を
示す一部縦断面図である。
【図１２】従来技術に係るアクチュエータの一部切欠斜
視図である。
【図１３】前記従来技術に係るアクチュエータの分解斜
視図である。
【符号の説明】
１０…アクチュエータ １２…フレーム １４…回転駆動源 １６…送りねじ軸
機構 １８…スライダ ２０…ガイド機構 ２８…ボールねじ軸 ３０…ボールねじ
ナット ３２…円筒部 ４２…ハウジング ４４…軸受機構 ４８…ベアリング
押さえ部材 ５０…エンドプレート ６０ａ、６０ｂ、６２ａ、６２ｂ…ボール転動溝 ６４ａ、６４ｂ…ボール転動孔 ６８…プレート ７０…カバー ７２…リターンガ
イド ７８…開口部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 齋藤 優 茨城県筑波郡谷和原村絹の台４−２−２ エスエムシー株式会社筑波技術センター内 Ｆターム(参考） 3J104 AA03 AA23 AA34 AA65 AA69 AA73 AA76 AA79 BA21 DA18 EA04

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】フレームと、 前記フレームの内部または外部に配設される駆動源と、 送りねじ軸および送りねじナットを含み、前記駆動源の
    駆動力を伝達する送りねじ軸機構と、 前記送りねじ軸および送りねじナットが挿入自在な開口
    部が形成され、前記送りねじ軸機構によって伝達される
    駆動力の作用下に前記フレームの軸線方向に沿って往復
    動作するスライダと、 前記スライダがフレームに沿って変位する際、該スライ
    ダを案内するガイド機構と、 を備え、前記送りねじ軸機構は、一体的に組み付けられ
    たユニットからなりフレームに対して着脱自在に装着さ
    れることを特徴とするアクチュエータ。
  2. 【請求項２】請求項１記載のアクチュエータにおいて、 前記送りねじ軸機構は、回転駆動源の駆動作用下に所定
    方向に回動する送りねじ軸と、前記送りねじ軸が螺合す
    るねじ孔が貫通形成された送りねじナットと、ベアリン
    グ押さえ部材と、軸受機構とが一体的に組み付けられた
    ユニットからなることを特徴とするアクチュエータ。
  3. 【請求項３】請求項１記載のアクチュエータにおいて、 前記送りねじ軸機構は、回転駆動源の駆動作用下に所定
    方向に回動する送りねじ軸と、前記送りねじ軸が螺合す
    るねじ孔が貫通形成された送りねじナットと、ベアリン
    グ押さえ部材と、軸受機構と、駆動源を保持するハウジ
    ングとが一体的に組み付けられたユニットからなること
    を特徴とするアクチュエータ。
  4. 【請求項４】請求項１記載のアクチュエータにおいて、 前記送りねじ軸機構は、回転駆動源の駆動作用下に所定
    方向に回動する送りねじ軸と、前記送りねじ軸が螺合す
    るねじ孔が貫通形成された送りねじナットと、ベアリン
    グ押さえ部材と、軸受機構と、駆動源を保持するハウジ
    ングと、エンドプレートとが一体的に組み付けられたユ
    ニットからなることを特徴とするアクチュエータ。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005064173A1 (ja) * 2003-12-25 2005-07-14 Thk Co., Ltd. アクチュエータ及び運動案内装置
US7181988B2 (en) 2003-09-09 2007-02-27 Smc Kabushiki Kaisha Actuator
US7878082B2 (en) 2004-05-13 2011-02-01 Nippon Thompson Co., Ltd. Sliding device for use in confined spaces
JP2015200561A (ja) * 2014-04-08 2015-11-12 株式会社ミツトヨ 並進機構及び三次元測定機
WO2022039117A1 (ja) * 2020-08-21 2022-02-24 ファナック株式会社 直動装置

Families Citing this family (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040179933A1 (en) * 2003-03-11 2004-09-16 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Pedestal/heater assembly lift mechanism with direct drive lead screw
DE102004055306B4 (de) * 2003-11-21 2007-06-14 Smc K.K. Stellglied
JP2007270860A (ja) * 2006-03-30 2007-10-18 Smc Corp 電動アクチュエータ
DE602007006650D1 (de) * 2006-03-30 2010-07-01 Linak As Linearbetätigungsglied
TWI314835B (en) * 2006-04-21 2009-09-11 Qisda Corp Panel display
WO2008031274A1 (fr) * 2006-09-12 2008-03-20 Kuo-An Wang Dispositif de réglage d'un meuble de type siège ou inclinable
US20080152515A1 (en) * 2006-12-21 2008-06-26 Karg Jeffrey A Reciprocating antirotation pump
US8096156B2 (en) 2006-12-22 2012-01-17 Crown Packaging Technology, Inc. Forming of metal container bodies
JP5047749B2 (ja) * 2007-10-04 2012-10-10 日本トムソン株式会社 小型スライド装置
US8006826B2 (en) * 2008-03-28 2011-08-30 Crown Packagin Technology, Inc. Star wheel with vacuum capability for retaining conveyed articles
ATE506879T1 (de) * 2008-09-10 2011-05-15 Man Wah Furniture Mfg Huizhou Co Ltd Ansteuerung zum einstellen von sitz- und liegemöbelteilen
DE102008054103A1 (de) * 2008-10-31 2010-05-06 Friatec Aktiengesellschaft Bauelement für Anwendungen im Brauch- und/oder Abwasserbereich und Absperrarmatur mit einem derartigen Bauelement
JP5417132B2 (ja) * 2009-11-26 2014-02-12 Ｎｔｎ株式会社 電動アクチュエータ
US8390160B2 (en) 2010-01-14 2013-03-05 Hamilton Sundstrand Corporation Compact electromechanical actuator
CN102059574A (zh) * 2010-12-06 2011-05-18 天津锐新电子热传技术股份有限公司 用于挤压机前梁板扩孔加工的动力头装置
CN102554638B (zh) * 2010-12-31 2016-06-29 富泰华工业（深圳）有限公司 定位机台
DE102011053800A1 (de) * 2011-09-20 2013-03-21 Invite GmbH Haltegestell für eine Multikupplung zum Befüllen und/oder Entleeren eines Chemieanlagencontainers
CN104279259B (zh) * 2013-07-05 2016-02-03 常州轻工职业技术学院 带有智能减速装置的生产线快速送料机构及工作方法
DE102013216881A1 (de) * 2013-08-26 2015-02-26 Robert Bosch Gmbh Linearantrieb
TWI552828B (zh) * 2014-05-15 2016-10-11 高明鐵企業股份有限公司 滑台組件
TWD174340S (zh) * 2014-07-16 2016-03-11 林納克公司 線性致動器
USD763934S1 (en) * 2014-09-09 2016-08-16 Linak A/S Linear dual actuator
CN105364919B (zh) * 2015-11-20 2017-07-04 杭州长川科技股份有限公司 一种直线运动模组
CN205522532U (zh) * 2016-02-26 2016-08-31 厦门螺壳电子科技有限公司 一种高精度3d打印机升降机构
CN108216806A (zh) * 2017-12-25 2018-06-29 东莞捷荣技术股份有限公司 一种目标产品的输送方法
CN108216813B (zh) * 2017-12-25 2022-03-15 东莞捷荣技术股份有限公司 一种应用于贴标机的贴标机构
CN108016683A (zh) * 2017-12-25 2018-05-11 东莞捷荣技术股份有限公司 一种基于贴标机的中间连接机构
CN108216808A (zh) * 2017-12-25 2018-06-29 东莞捷荣技术股份有限公司 一种基于贴标机的丝杠调整机构
CN108216812A (zh) * 2017-12-25 2018-06-29 东莞捷荣技术股份有限公司 一种贴标支架组件及贴标机构
CN108238327A (zh) * 2017-12-25 2018-07-03 东莞捷荣技术股份有限公司 一种目标产品的输送装置
CN110043624A (zh) * 2018-01-15 2019-07-23 吴旻杰 可拆式线性模组
WO2020077572A1 (zh) * 2018-10-17 2020-04-23 炼马机电（东莞）有限公司 驱动块、线性驱动器及可调用具
CN112096817A (zh) * 2020-09-01 2020-12-18 东莞仕达通自动化有限公司 一种内嵌式螺杆滑台

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH076540B2 (ja) * 1990-05-21 1995-01-30 テイエチケー株式会社 直線案内装置
JPH04138127A (ja) 1990-09-28 1992-05-12 Olympus Optical Co Ltd 内視鏡網目画像軽減装置
JP3165115B2 (ja) 1991-08-01 2001-05-14 エスエムシー株式会社 アクチュエータ
JP3183927B2 (ja) 1991-12-27 2001-07-09 株式会社ツバキ・ナカシマ 方向転換部材をベアリング本体に内蔵させた一軸テーブル送り装置
JP3135331B2 (ja) 1991-12-28 2001-02-13 エスエムシー株式会社 アクチュエータおよびその構造体
JP2720716B2 (ja) * 1992-07-14 1998-03-04 住友金属工業株式会社 耐食性に優れる高純度ガス用オーステナイト系ステンレス鋼材及びその製造方法
JPH0728444A (ja) 1993-07-13 1995-01-31 Hitachi Ltd 画像データの色調変更方法
JP3347844B2 (ja) * 1993-10-12 2002-11-20 エスエムシー株式会社 バランサ
DE19512080C2 (de) * 1994-04-05 1997-07-03 Smc Kk Elektrisches Stellglied
JP3710098B2 (ja) * 1994-07-08 2005-10-26 Ｓｍｃ株式会社 電動アクチュエータ
JP3695784B2 (ja) * 1995-03-08 2005-09-14 Ｓｍｃ株式会社 電動アクチュエータ
JP3662288B2 (ja) * 1995-03-17 2005-06-22 Ｓｍｃ株式会社 電動アクチュエータ
JP3927285B2 (ja) * 1997-07-08 2007-06-06 日本トムソン株式会社 スライド装置
JPH11201257A (ja) * 1998-01-07 1999-07-27 Smc Corp 送りねじおよびその製造方法
JPH11201161A (ja) 1998-01-09 1999-07-27 Smc Corp 動力伝導装置
JPH11218204A (ja) 1998-01-29 1999-08-10 Nippon Seiko Kk 一軸テーブル送り装置
JP2000027968A (ja) 1998-07-09 2000-01-25 Smc Corp アクチュエータ
JP2000088071A (ja) 1998-09-18 2000-03-28 Smc Corp 電動アクチュエータ
JP2000213617A (ja) 1999-01-27 2000-08-02 Nsk Ltd 高負荷容量一軸アクチュエ―タ
JP4361169B2 (ja) * 1999-06-23 2009-11-11 Ｔｈｋ株式会社 滑り案内ユニット

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7181988B2 (en) 2003-09-09 2007-02-27 Smc Kabushiki Kaisha Actuator
WO2005064173A1 (ja) * 2003-12-25 2005-07-14 Thk Co., Ltd. アクチュエータ及び運動案内装置
US8166838B2 (en) 2003-12-25 2012-05-01 Thk Co., Ltd. Actuator for driving movable object and motion guide apparatus for guiding motion of movable object
US7878082B2 (en) 2004-05-13 2011-02-01 Nippon Thompson Co., Ltd. Sliding device for use in confined spaces
JP2015200561A (ja) * 2014-04-08 2015-11-12 株式会社ミツトヨ 並進機構及び三次元測定機
WO2022039117A1 (ja) * 2020-08-21 2022-02-24 ファナック株式会社 直動装置

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Publication number Publication date
CN100462591C (zh) 2009-02-18
DE10158210A1 (de) 2002-06-13
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