JP3662288B2 - 電動アクチュエータ - Google Patents

電動アクチュエータ Download PDF

Info

Publication number
JP3662288B2
JP3662288B2 JP05836495A JP5836495A JP3662288B2 JP 3662288 B2 JP3662288 B2 JP 3662288B2 JP 05836495 A JP05836495 A JP 05836495A JP 5836495 A JP5836495 A JP 5836495A JP 3662288 B2 JP3662288 B2 JP 3662288B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
driving force
rotational driving
rotational
electric actuator
frame
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP05836495A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH08256448A (ja
Inventor
茂和 永井
昭男 斉藤
亨 杉山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SMC Corp
Original Assignee
SMC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SMC Corp filed Critical SMC Corp
Priority to JP05836495A priority Critical patent/JP3662288B2/ja
Publication of JPH08256448A publication Critical patent/JPH08256448A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3662288B2 publication Critical patent/JP3662288B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)

Description

【0001】
【産業上の利用分野】
本発明は、駆動力伝達手段を介して回転駆動源の回転駆動力をスライドテーブルに伝達し、前記スライドテーブルをフレームの長手方向に沿って変位させることによりワークを搬送する電動アクチュエータに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、例えば、ワークを搬送するための手段として電動アクチュエータが用いられている。この電動アクチュエータは、基本的には、電動モータと、前記電動モータの回転駆動力を直線運動に変換して他の部材に伝達するボールねじ等の駆動力伝達手段と、前記駆動力伝達手段を介してアクチュエータ本体の長手方向に沿って変位するスライドテーブルとから構成される。
【0003】
本出願人は、前記電動アクチュエータに関し、種々の提案を行っている(例えば、特願平6−67370号、特願平6−157116号等)。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、前記の提案に関連してなされたものであり、回転駆動源に対して瞬時に過大な負荷が付与された場合、前記回転駆動源の回転駆動力がスライドテーブルに伝達されることを阻止することにより、該回転駆動源を保護して耐久性を向上させることが可能な電動アクチュエータを提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために、本発明は、回転駆動源と、
長手方向に沿って長尺に形成されたフレームと、
前記回転駆動源の駆動作用下に前記フレームに沿って変位するスライドテーブルと、
前記回転駆動源の回転駆動力を前記スライドテーブルに伝達する駆動力伝達手段と、
前記回転駆動源と前記駆動力伝達手段との間に設けられ、前記回転駆動源の回転駆動力を前記駆動力伝達手段に伝達する一方、前記回転駆動源の回転トルクが予め設定された設定値を超えた時、該回転駆動源から駆動力伝達手段に対する回転駆動力の伝達を規制するトルクリミッタと、
を備え、
前記トルクリミッタは、一組の摩擦板と、前記一組の摩擦板の間に挟持されたリング体とを有し、
前記駆動力伝達手段は、前記回転駆動源の駆動軸に連結されたローラと前記一組の摩擦板の間に挟持されたリング体との間に懸架される第1ベルトと、前記スライドテーブルに軸着されたピン部材を介して前記トルクリミッタと同軸に軸支されたプーリと、前記フレームの凹部の底面部に長手方向に沿って張設されると共に、前記プーリに懸架される第2ベルト部材とを含み、
前記回転駆動源の回転駆動力が前記第1ベルトを介して前記トルクリミッタのリング体と同軸に軸支されたプーリに伝達されて該プーリが所定方向に回転すると共に、前記プーリに懸架された第2ベルト部材を介して前記スライドテーブルがフレームの凹部の長手方向に沿って変位することを特徴とする。
【0006】
【作用】
上記の本発明に係る電動アクチュエータでは、付勢された回転駆動源の回転駆動力が駆動力伝達手段を介してスライドテーブルに伝達され、前記スライドテーブルがフレームに沿って変位する。この結果、前記スライドテーブルに載置されたワークを所定位置に搬送することができる。
【0007】
前記スライドテーブルによってワークを搬送している途中において、回転駆動源の回転トルクが予め設定された設定値を超える時には、トルクリミッタによって前記回転駆動源から駆動力伝達手段に対する回転駆動力の伝達が規制される。この場合、第1ベルトを介して回転駆動力が伝達されるリング体と一組の摩擦板の間の摩擦力が減少し前記一組の摩擦板の間でリング体がスリップした状態となることにより、プーリに懸架された第2ベルト部材を介して回転転駆動力がスライドテーブルに伝達されないため、スライドテーブルが停止する。
【0008】
【実施例】
本発明に係る電動アクチュエータについて好適な実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【0009】
図1は、本発明の第1参考例に係る電動アクチュエータからトップカバーを外した状態の一部断面平面図、図2は、図1に示す電動アクチュエータの縦断面図、図3は、図2のIII−III線に沿った縦断面図、図4は、図1に示す電動アクチュエータに組み付けられたトルクリミッタの正面図である。
【0010】
この電動アクチュエータ10は、基本的には、長手方向に沿って長尺状に形成されたフレーム12と、前記フレーム12に画成された凹部14内に長手方向に沿って支持されたボールねじ16と、略平行な一組のガイドレール18a、18bの案内作用下にフレーム12の長手方向に沿って変位するスライドテーブル20と、前記フレーム12の一端部に固定され、前記ボールねじ16を所定方向に回転させる駆動部22とから構成される。
【0011】
前記フレーム12の長手方向に沿った両端部には一組のエンドカバー24a、24bがそれぞれ対向して固着され、前記フレーム12の短手方向に沿った両側面部には一組のサイドカバー26a、26bがそれぞれ対向して装着され、前記フレーム12の上面部にはトップカバー28が装着される(図2および図3参照)。なお、前記サイドカバー26a、26bおよびトップカバー28は、それぞれフレーム12に着脱自在に設けられ、例えば、前記サイドカバー26a、26bに設けられた突起部30a、30bをフレーム12の側面部に画成された溝部32a、32bに嵌挿することにより前記フレーム12にサイドカバー26a、26bを簡便に取着し、あるいは前記突起部30a、30bを溝部32a、32bから抜脱することによりサイドカバー26a、26bをフレーム12から簡便に離脱させることができる(図3参照)。
【0012】
前記フレーム12には、長手方向に沿って断面略矩形状の第1〜第4貫通孔34a〜34dが画成され、前記第1〜第4貫通孔34a〜34dは、それぞれ流体通路並びに配線用通路として用いられるものである(図3参照)。前記フレーム12の底面部には、断面略T字状の連結用溝部36a、36bが所定間隔離間して略平行に一組画成され、前記連結用溝部36a、36bに図示しない連結部材を嵌合することにより該フレーム12を他のフレームまたは部材等に連結することができる。さらに、前記フレーム12の上面部に画成された相互に対向する段部38a、38bに沿って略平行に一組のガイドレール18a、18bが固設される。
【0013】
スライドテーブル20は、断面略コの字状を呈し、略平行な一組のガイドレール18a、18bに沿って摺動変位する一組のガイドブロック40a、40bと、前記ガイドブロック40a、40bの上面部に固着され、複数の取付用孔部42が画成された一組の固定ブロック44a、44bと、前記一組の固定ブロック44a、44b間に連結され、ボールねじ16に螺合する略円柱状の軸受ブロック46を保持する保持ブロック48とから構成され、前記一組の固定ブロック44a、44bおよび保持ブロック48は、一体的に形成されている。
【0014】
駆動部22は、一端部がカップリング部材50を介してボールねじ16と同軸に連結され、他端部がモータ軸52と同軸に連結されるトルクリミッタ54と、前記トルクリミッタ54を介して前記ボールねじ16を回転駆動するインダクションモータ56とから構成される。前記ボールねじ16の一端部には、該ボールねじ16を回転自在に軸支する支持ブロック58がフレーム12内の凹部14に固設される。また、前記インダクションモータ56はケーシング60によって保持され、前記ケーシング60は段部を介してフレーム12の端部に一体的に連結されている。
【0015】
前記トルクリミッタ54は、図4に示されるように、略円盤状部分62と外周面にねじ部が刻設された軸部64とが一体的に結合されたハブ66と、前記ねじ部に嵌合する調整ナット68と、前記ハブ66の略円盤状部分62と調整ナット68との間に軸支される一組の摩擦板70a、70bと、前記一方の摩擦板70a(70b)を前記略円盤状部分62によって保持される他方の摩擦板70b(70a)側に押圧する皿ばね72と、前記一組の摩擦板70a、70bの間に挟持され、軸線方向に沿ったシャフト部分74がカップリング部材50を介してボールねじ16と同軸に連結される連結部材76とから構成される。前記ハブ66の軸部にはインダクションモータ56のモータ軸52が連結され、前記インダクションモータ56の駆動作用下に摩擦板70a、70bに挟持された連結部材76が一体的に回転し、同軸に軸支されるカップリング部材50を介して前記インダクションモータ56の回転駆動力がボールねじ16に伝達される。この場合、前記調整ナット68の緊締力を増減させることにより皿ばね72が一組の摩擦板70a、70bを押圧して前記連結部材76を挟持する摩擦板70a、70bの挟持力が調整され、この結果、インダクションモータ56の回転トルクが設定される。
【0016】
本発明の第1参考例に係る電動アクチュエータ10は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。
【0017】
まず、予め、電動アクチュエータ10を組み付ける際、トルクリミッタ54の調整ナット68の緊締力を調節することにより、インダクションモータ56の回転トルクが所望の値に設定される。
【0018】
そこで、図示しない電源を付勢してインダクションモータ56を回転駆動させる。前記インダクションモータ56の回転駆動力はモータ軸52に連結されたトルクリミッタ54に伝達され、さらに、トルクリミッタ54の摩擦板70a、70bに挟持された連結部材76およびカップリング部材50を介してボールねじ16に伝達され、前記ボールねじ16が所定方向に回転する。
【0019】
この場合、予め設定された回転トルクの範囲内では、連結部材76がスリップすることなく一組の摩擦板70a、70bによって確実に挟持された状態にあり、インダクションモータ56の回転駆動力がボールねじ16に伝達される。
【0020】
前記ボールねじ16の回転駆動力は、該ボールねじ16に螺着された軸受ブロック46に伝達され、前記軸受ブロック46を保持する保持ブロック48を介してスライドテーブル20がガイドレール18a、18bに沿って円滑に直線状に変位する。
【0021】
このようにして、インダクションモータ56の駆動作用下にスライドテーブル20が所定方向に変位してワーク(図示せず)を搬送している途中において、該インダクションモータ56の回転トルクが設定値を超えた時、トルクリミッタ54を構成する一組の摩擦板70a、70bと連結部材76との摩擦力が減少して前記一組の摩擦板70a、70bが連結部材76を挟持する力が弱くなる。この結果、前記一組の摩擦板70a、70bの間で連結部材76がスリップし、インダクションモータ56の回転駆動力がボールねじ16側に伝達されることが阻止され、スライドテーブル20が停止する。
【0022】
従って、設定値を超える過大な負荷が瞬時にインダクションモータ56に付与された場合であっても、前記トルクリミッタ54が該インダクションモータ56の回転駆動力をボールねじ16に伝達することを阻止してスライドテーブル20を停止させる。このため、前記インダクションモータ56を保護して該インダクションモータ56の耐久性を向上させることができるとともに、前記スライドテーブル20の直線精度が保持され、円滑にワークを搬送することができる。
【0023】
また、設定値を超える過大な負荷が瞬時にインダクションモータ56に付与されて該インダクションモータ56の回転が停止した場合、前記インダクションモータ56は公知のサーボモータと異なって容易に停止状態を検出することができるため、該インダクションモータ56を迅速且つ簡便に元の状態に復帰させることができる利点がある。
【0024】
次に、本発明の実施例に係る電動アクチュエータ80を図5〜図7に示す。なお、実施例において、前記第1参考例と同一の構成要素には同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略し、異なる構成要素並びに動作についてのみ説明する。
【0025】
本発明の実施例に係る電動アクチュエータ80は、基本的には、長手方向に沿って長尺状に形成されたフレーム82と、前記フレーム82に画成された凹部84内に沿って変位するスライドテーブル86と、前記スライドテーブル86の一端部にねじ止めして固定された一組の支持プレート88a、88bを介して支持される駆動部90とから構成される。
【0026】
前記フレーム82の長手方向に沿った両端部には一組のエンドカバー92a、92bがそれぞれ対向して固着され、前記フレーム82の短手方向に沿った両側面部には一組のサイドカバー26a、26bがそれぞれ対向して装着される。なお、前記サイドカバー26a、26bは、第1参考例と同様に着脱自在に設けられている。また、前記フレーム82には、流体通路並びに配線用通路として用いられる第1〜第8貫通孔94a〜94hが長手方向に沿って画成される。さらに、前記フレーム82の上面部に画成された相互に対向する段部38a、38bには、略平行な一組のガイドレール96a、96bが固着される。
【0027】
前記フレーム82の凹部84の底面部には長手方向に沿って所定距離離間する一組の固定ブロック98a、98bが固設され、前記一組の固定ブロック98a、98b間にはタイミングベルト100が張設される(図6参照)。前記タイミングベルト100の中間部は、後述する一組の第2プーリ102a、102bを経由して第1プーリ104に懸架され、所定の張力に保持された状態で該タイミングベルト100の両端部が一組の固定ブロック98a、98bにそれぞれ係着される。また、前記フレーム82の両端部に近接する部位には、相互に対向する一組の支持ブロック106a、106bが固設され、前記支持ブロック106a、106bには貫通孔を介してそれぞれ一組のショックアブソーバ108a、108bが保持される。この場合、前記ショックアブソーバ108a、108bを構成するロッド110a、110bにスライドテーブル86が当接することにより、前記スライドテーブル86の変位終端位置が規制される。
【0028】
前記スライドテーブル86にねじ止めして固定された支持プレート88a、88bには第1プーリ104を回転自在に軸支する第1ピン部材112が軸着され、前記支持プレート88a、88bの下方側には、一組の第2プーリ102a、102bをそれぞれ回転自在に軸支する第2ピン部材114a、114bが所定距離離間して設けられる。この場合、前記第1ピン部材112は、相互に対向する支持プレート88a、88bの凹部に埋め込まれた一組の軸受部材116a、116bによって回転自在に軸支されるとともに、その一端部には前記第1プーリ104と同軸にトルクリミッタ54aが連結される。
【0029】
また、前記支持プレート88a、88bの上部にはねじ止めされた一組の支持ブロック118a、118bを介してインダクションモータ120が連結される。この場合、前記インダクションモータ120は、支持ブロック118a、118bおよび支持プレート88a、88bを介してスライドテーブル86に連結され、該スライドテーブル86と一体的に変位する。前記インダクションモータ120のモータ軸に軸支されたローラ122と一組の摩擦板70a、70bに挟持されたリング体124との間にはタイミングベルト126が懸架され、前記タイミングベルト126を介してインダクションモータ120の回転駆動力がトルクリミッタ54aに伝達される。なお、実施例で用いられるトルクリミッタ54aは、図4に示される連結部材76に代替して摩擦板70a、70bと略同一の直径を有するリング体124が前記摩擦板70a、70bの間に介装されている点で第1参考例と異なるが、前記リング体124、連結部材76は同一の機能を営むものであり、その他の構成並びに動作も略同様であるのでその詳細な説明を省略する。
【0030】
前記インダクションモータ120の回転駆動力は、前記第1ピン部材112を介してトルクリミッタ54aと同軸に軸支された第1プーリ104に伝達され、前記第1プーリ104が所定方向に回転する。この場合、一組の固定ブロック98a、98b間に張設されたタイミングベルト100が所定間隔離間する一組の第2プーリ102a、102bを経由して第1プーリ104に懸架されているため、前記第1プーリ104の回転作用下に該第1プーリ104が前記タイミングベルト100に摺接してスライドテーブル86がフレーム82の長手方向に沿って所定方向に変位する。
【0031】
このようにして、インダクションモータ120の駆動作用下にスライドテーブル86が所定方向に変位してワーク(図示せず)を搬送している途中において、該インダクションモータ120の回転トルクが設定値を超えた時、トルクリミッタ54aを構成する一組の摩擦板70a、70bとリング体124との摩擦力が減少して前記一組の摩擦板70a、70bがリング体124を挟持する力が弱くなる。この結果、前記一組の摩擦板70a、70bの間でリング体124がスリップした状態となり、インダクションモータ120の回転駆動力は、第1ピン部材112を介して第1プーリ104側に伝達されることがない。従って、瞬時に過大な負荷がインダクションモータ120に付与された場合でも、前記トルクリミッタ54aが該インダクションモータ120の回転駆動力を第1プーリ104に伝達することを阻止するため、該インダクションモータ120の耐久性を向上させることができるとともに、スライドテーブル86の直線精度を保持して円滑にワークを搬送することができる。
【0032】
次に、本発明の第2参考例に係る電動アクチュエータ130を図8および図9に示す。
【0033】
この電動アクチュエータ130では、インダクションモータ120の回転駆動力をスライドテーブル86に伝達する手段として、長尺状のラック132と前記ラック132に噛合するピニオン134とを用いている点で第1参考例及び本実施例と異なる。
【0034】
すなわち、フレーム82の凹部136に長手方向に沿って長尺状のラック132を保持部材138を介して固定し、一方、前記ラック132に噛合するピニオン134をシャフト140によってトルクリミッタ54bと同軸に軸支している。なお、この第2参考例で用いられるトルクリミッタ54bには、図4に示される連結部材76に代替して一対の摩擦板70a、70bの間に直径の大なる第1ギヤ142が挟持され、前記第1ギヤ142は、インダクションモータ120のモータ軸に軸支された直径の小なる第2ギヤ144に噛合する。
【0035】
2参考例に係る電動アクチュエータ130では、駆動力伝達手段を相互に噛合するラック132とピニオン134とで構成することにより、スライドテーブル86の変位時における騒音の発生を防止するという効果を得ることができる。
【0036】
【発明の効果】
本発明に係る電動アクチュエータによれば、以下の効果が得られる。
【0037】
すなわち、回転駆動源に対して設定値を超える過大な負荷が付与された場合、回転駆動力伝達規制手段によって回転駆動源から駆動力伝達手段に対して回転駆動力が伝達されることが規制される。この結果、回転駆動源を保護して該回転駆動源の耐久性を向上させるとともに、スライドテーブルの直線精度を保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1参考例に係る電動アクチュエータからトップカバーを外した状態の一部断面平面図である。
【図2】 図1に示す電動アクチュエータの縦断面図である。
【図3】 図2のIII−III線に沿った縦断面図である。
【図4】 図1に示す電動アクチュエータに組み付けられたトルクリミッタの正面図である。
【図5】 本発明の実施例に係る電動アクチュエータからトップカバーを外した状態の平面図である。
【図6】 図5のVI−VI線に沿った縦断面図である。
【図7】 図6のVII−VII線に沿った要部縦断面図である。
【図8】 本発明の第2参考例に係る電動アクチュエータからトップカバーを外した状態の平面図である。
【図9】 図8のIX−IX線に沿った要部縦断面図である。
【符号の説明】
10、80、130…電動アクチュエータ
12、82…フレーム 16…ボールねじ
18a、18b、96a、96b…ガイドレール
20、86…スライドテーブル 22、90…駆動部
54、54a、54b…トルクリミッタ
56、120…インダクションモータ 70a、70b…摩擦板
76…連結部材 100、126…タイミングベルト
102a、102b、104…プーリ 132…ラック
134…ピニオン 142、144…ギヤ

Claims (3)

  1. 回転駆動源と、
    長手方向に沿って長尺に形成されたフレームと、
    前記回転駆動源の駆動作用下に前記フレームに沿って変位するスライドテーブルと、
    前記回転駆動源の回転駆動力を前記スライドテーブルに伝達する駆動力伝達手段と、
    前記回転駆動源と前記駆動力伝達手段との間に設けられ、前記回転駆動源の回転駆動力を前記駆動力伝達手段に伝達する一方、前記回転駆動源の回転トルクが予め設定された設定値を超えた時、該回転駆動源から駆動力伝達手段に対する回転駆動力の伝達を規制するトルクリミッタと、
    を備え、
    前記トルクリミッタは、一組の摩擦板と、前記一組の摩擦板の間に挟持されたリング体とを有し、
    前記駆動力伝達手段は、前記回転駆動源の駆動軸に連結されたローラと前記一組の摩擦板の間に挟持されたリング体との間に懸架される第1ベルトと、前記スライドテーブルに軸着されたピン部材を介して前記トルクリミッタと同軸に軸支されたプーリと、前記フレームの凹部の底面部に長手方向に沿って張設されると共に、前記プーリに懸架される第2ベルト部材とを含み、
    前記回転駆動源の回転駆動力が前記第1ベルトを介して前記トルクリミッタのリング体と同軸に軸支されたプーリに伝達されて該プーリが所定方向に回転すると共に、前記プーリに懸架された第2ベルト部材を介して前記スライドテーブルがフレームの凹部の長手方向に沿って変位することを特徴とする電動アクチュエータ。
  2. 請求項1記載の電動アクチュエータにおいて、
    回転駆動源はインダクションモータからなることを特徴とする電動アクチュエータ。
  3. 請求項1記載の電動アクチュエータにおいて、
    フレームの側面部には、該電動アクチュエータを他の部材に連結するための連結用溝部が設けられていることを特徴とする電動アクチュエータ。
JP05836495A 1995-03-17 1995-03-17 電動アクチュエータ Expired - Fee Related JP3662288B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP05836495A JP3662288B2 (ja) 1995-03-17 1995-03-17 電動アクチュエータ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP05836495A JP3662288B2 (ja) 1995-03-17 1995-03-17 電動アクチュエータ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH08256448A JPH08256448A (ja) 1996-10-01
JP3662288B2 true JP3662288B2 (ja) 2005-06-22

Family

ID=13082271

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP05836495A Expired - Fee Related JP3662288B2 (ja) 1995-03-17 1995-03-17 電動アクチュエータ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3662288B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3488686B2 (ja) * 2000-12-05 2004-01-19 Smc株式会社 アクチュエータ

Also Published As

Publication number Publication date
JPH08256448A (ja) 1996-10-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5326335A (en) Drive apparatus
US5934141A (en) Two-axis cartesian robot
US6151981A (en) Two-axis cartesian robot
US5070792A (en) Multi-position travelling carriage with flexible track
US7393267B2 (en) Floor sanding machine
JPH0678782B2 (ja) 回転運動を直線運動に遊びなく変換するための装置
US5411334A (en) Rolling guide unit
TWI570404B (zh) 扭轉測試機
CA2729341A1 (en) Torque-limited chain tensioning for power tools
US5216932A (en) X-y drive apparatus
US5357819A (en) Drive apparatus
JP3662288B2 (ja) 電動アクチュエータ
ES2112110A1 (es) Dispositivo para desplazar soportes de cojinete fijados sobre carros y que alojan a arboles.
US5345832A (en) Drive apparatus
JP2004132391A (ja) 電動アクチュエータ
ATE258482T1 (de) Antrieb für maschinenaggregate, wie schlitten, greifeinrichtungen und dergleichen
GB2142410A (en) Improvements in or relating to linear actuators
JP3229633B2 (ja) 駆動装置
CA2402766A1 (en) Worktable for an apparatus for grinding recesses
ATE226130T1 (de) Perforieraggregat
CN210778532U (zh) 一种半导体封装固晶滚料夹具
SU1728093A1 (ru) Нат жное устройство скребкового конвейера
JPH0529573Y2 (ja)
US4068378A (en) Portable chain saw
SU1727031A1 (ru) Установка дл механических испытаний образца материала при циклическом нагружении

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20040805

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20040824

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20041025

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20041130

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050131

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20050308

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20050323

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090401

Year of fee payment: 4

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees