WO2016121967A1

WO2016121967A1 - 三次元座標測定装置

Info

Publication number: WO2016121967A1
Application number: PCT/JP2016/052776
Authority: WO
Inventors: 幸男菅野; 圭一郎五味; 藤田　隆
Original assignee: 株式会社東京精密
Priority date: 2015-01-30
Filing date: 2016-01-29
Publication date: 2016-08-04
Also published as: EP3527931B1; JP2017075962A; JP6119914B2; US20200124400A1; US20180149470A1; JP6099290B2; JP6176415B2; EP3239649B1; US20170322016A1; EP3239649A1; EP3527931A1; US11067382B2; JP2017138324A; JP2018017738A; US10663283B2; JP6229812B1; EP3239649A4; JP6274349B2; JPWO2016121967A1; US9921049B2

Abstract

　Ｙキャリッジの振れを抑止することができ、測定精度の向上を図ることができる三次元座標測定装置を提供する。石材の定盤１０の右側部には、溝４０がＹ軸方向に沿って形成され、その溝４０と定盤１０の右側面１０Ｒとの間に門型のＹキャリッジをＹ軸方向に移動可能に支持するＹガイド４２が形成される。Ｙキャリッジの右側の右Ｙキャリッジ１６の下端部には支持部５０が設けられ、その支持部５０は、定盤１０の上面１０Ｔ、右側面１０Ｒ、下面１０Ｂ、溝４０の右側面４０Ｒの各々に前後に２つずつ配置されたエアパッド６２Ｆ、６４Ｆ、６６Ｆ、６８Ｆ、・・・を介して定盤１０に支持される。

Description

三次元座標測定装置

　本発明は三次元座標測定装置に係り、特にＸ、Ｙ、Ｚ軸の３軸方向に測定プローブを移動させて測定対象物の三次元形状を測定する三次元座標測定装置に関する。

　一般的な三次元座標測定装置では、測定対象物を載置する定盤の上部に前後方向（Ｙ軸方向）に移動自在のＹキャリッジが配置される。Ｙキャリッジは、左右方向（Ｘ軸方向）に沿って架け渡された柱状のＸガイドを有し、ＸガイドにはＸキャリッジがＸ軸方向に移動自在に支持される。Ｘキャリッジには、上下方向（Ｚ軸方向）に沿った柱状のＺキャリッジがＺ軸方向に移動自在に支持され、Ｚキャリッジの下端には測定プローブが取り付けられる。これにより、測定プローブの測定子（スタイラス）がＸ、Ｙ、Ｚ軸の３軸方向に移動自在に支持される（特許文献１～３等参照）。

　このような三次元座標測定装置において、特許文献１には、定盤の左右両側面と、定盤上面とでエアパッド（エアベアリング）を介してＹキャリッジを支持する支持構造が開示されている。

特開２００７－３３０５２号公報特開平７－１３９９３６号公報特開平７－１６７６４１号公報

　ところで、高速化、高精度化が進む三次元座標測定装置において、Ｙキャリッジの高剛性化は不可欠である。

　しかしながら、特許文献１では、定盤の横幅全体をＹキャリッジの３つのエアパッドで挟み込む構造により、Ｙキャリッジを支持しているため、左右方向への振れには強いが前後方向の振れには弱く、Ｚ軸周り方向（ヨーイング方向）の振れが生じ易いという問題があった。

　また、特許文献１では、Ｙキャリッジの上方向への動きを抑止するエアパッドを備えていないため、ＹキャリッジのＸ軸周り方向（ピッチング方向）の振れが生じてしまい、測定精度の低下を招く可能性があった。なお、Ｙキャリッジにピッチング方向の振れが発生すると、ヨーイング方向の振れが悪化するおそれがある。

　本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、Ｙキャリッジの振れを抑止することができ、測定精度の向上を図ることができる三次元座標測定装置を提供することを第１の目的とする。

　また、上記のような三次元測定装置において、測定対象物の各点のＹ軸方向の位置（Ｙ座標値）の測定、即ち、測定プローブのスタイラスのＹ座標値の測定は、ＹキャリッジのＹ軸方向の位置（Ｙ座標値）を測定することにより行われる。ＹキャリッジのＹ軸座標値を測定する位置検出手段としてリニアエンコーダが用いられる。そのリニアエンコーダにおけるスケール（目盛が形成された部材）は、特許文献２に記載のようにＹキャリッジに設けられる駆動部の近傍となる定盤の部分に設けられることが多い。また、特許文献３に記載のようにＹキャリッジをＹ軸方向に移動可能に支持するＹガイドであって、定盤とは別部材のＹガイドが設けられている場合には、そのＹガイドにスケールが設置されるものもある。

　しかしながら、定盤とは別部材のＹガイドにスケールを設置する場合には、定盤とＹガイドの熱変形の差や、定盤とＹガイドとの締結部の安定性を考慮すると、持続的に高い測定精度を保つことが困難である。

　また、定盤にスケールを設置する場合であっても、従来では、定盤のＹ軸方向に沿った側面等の定盤の周縁部にスケールを設置するため、スケールと測定対象物が配置される測定領域までの間に、ＹキャリッジのＺ軸方向に沿って立設された支柱部分などが介在してスケールから測定領域までの距離が長くなる。

　一方、Ｙキャリッジ（左右に架け渡されるＸガイド）はＸ軸方向に沿って配置されるが、Ｙキャリッジのヨーイング方向（Ｚ軸周り方向）の振れなどによってＸガイドの方向がＸ軸方向からずれると、測定領域からスケールまでの距離が長いほど、測定領域における測定プローブの測定子が実際に配置されている位置のＹ座標値と、スケールにより実測されるＹキャリッジのＹ座標値から得られる測定子のＹ座標値との差が大きくなる。

　したがって、従来のように測定領域からスケールまでの距離が長いと、Ｙキャリッジのヨーイング方向の振れ等によって、ＹキャリッジのＹ座標値の測定精度、即ち、測定対象物のＹ座標値の測定精度の低下を招き易い。

　また、定盤の周縁部にスケールを設置した場合には、スケールが外気に近いために周囲温度に影響され易く、スケール自体の伸縮による誤差も生じ易い。

　本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、ＹキャリッジのＹ軸方向の位置の測定精度、即ち、測定対象物のＹ座標値の測定精度の向上を図る三次元座標測定装置を提供することを第２の目的とする。

　また、上記のような三次元座標測定装置において、特許文献１には、定盤の左右側面と、左右側面に沿った定盤上面とでエアパッド（エアベアリング）を介してＹキャリッジを支持する支持構造が開示されている。

　また、特許文献１に記載されているように、定盤の変形による定盤表面の真直度低下や振動などによって測定精度が低下することを避けるため、定盤として、硬度が高く比重の大きい御影石や大理石などの石材のものが使用されている。

　一方、石材の定盤は、熱伝導率が低いため内部に熱が伝わり難く、定盤の周囲の外気の温度（周囲温度）が変化した場合に、定盤の内部が一様な温度となるまでに長時間に渡り温度勾配が生じる。このような温度勾配が生じると、定盤が変形し、定盤表面（上面、側面等）の真直度低下により測定精度の低下を招くという問題がある。特に定盤の左右の側面はＹキャリッジのガイドとして使用されるため、左右の側面の真直度の低下はＹキャリッジの支持角度に誤差を生じ、測定結果に大きな影響を及ぼす。

　そこで、特許文献１では、Ｙキャリッジのガイドとして使用されない定盤の表面、即ち、前後の側面を断熱部材で被覆することを開示している。これによれば、定盤の前後の側面から出入りする熱量が低減するため、周囲温度が変化して定盤の内部に温度勾配が生じたとしてもＹ軸方向に対する温度勾配の発生が抑止される。したがって、周囲温度の変化にかかわらず定盤の左右の側面における真直度の低下が抑止され、測定精度の低下が抑止される。

　ところで、特許文献１のように、定盤の領域のうち、測定対象物が載置されて測定が行われる測定領域と、ＹキャリッジをＹ軸方向にガイドするガイド領域とが一体で形成されている場合、ＹキャリッジをＹ軸方向に移動させるＹ駆動機構のモータ等で発生した熱がガイド領域を介して測定領域に流れ込む。

　測定領域は体積が大きく熱容量が大きい（熱伝導率が低い）ため、測定領域に熱が流れ込むと定盤が一様な温度となるまでに長い時間を要する。

　そのため、特許文献１のように定盤の前後の側面を断熱部材で被覆して周囲の気温の影響による定盤のＹ軸方向に対する温度勾配の発生を抑止しても、Ｙ駆動機構により発生する熱によりＹ軸方向に対して温度勾配が生じる可能性がある。この場合に、ガイド部の表面の真直度が低下し、測定精度の低下を招く。

　本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、熱による定盤の変形を抑止して精度の高い測定を行うことができる三次元座標測定装置を提供することを第３の目的とする。

　本発明の目的を達成するための三次元座標測定装置は、上下面と側面を有し、測定対象物を載置する定盤と、測定プローブを支持し、定盤を跨いで定盤のＹ軸方向に移動自在な門型のＹキャリッジであって、二つの支柱部材により定盤に支持されるＹキャリッジと、を備え、二つの支柱部材は、ＹキャリッジをＹ軸方向に駆動する駆動機構をもつ第１の支柱部材と、第１の支柱部材に追従移動する第２の支柱部材とを有し、定盤は、第１の支柱部材側で、定盤の上下面に垂直な対の２側面を有し、第１の支柱部材は、定盤の上下方向を挟み込む上下支持部材と、対の２側面を挟み込む側面支持部材との少なくとも一方で定盤に支持され、第２の支柱部材は、定盤の上面にある上面支持部材で支持される。

　この三次元座標測定装置によれば、ＹキャリッジをＹ方向に沿って移動させた際にＺ軸周りの揺動が抑えられ、ヨーイング誤差を抑えることができる。また、ヨーイング誤差の悪化につながるピッチング誤差及びローリング誤差を低減することができる。その結果、Ｙキャリッジの振れを抑止することができる。

　本発明の他の態様に係る三次元座標測定装置において、定盤の第１の支柱部材側の側面を第１の側面とした場合、定盤の上面における第１の側面側にはＹ軸方向に沿って溝が形成され、且つ第１の支柱部材は、第１の側面及び溝の内面に摺動可能に配置されており、溝の内面は、互いに対向するＹ軸方向に沿った第２の側面と第３の側面とを有し、且つ第２の側面は第３の側面よりも第１の側面に近い側に形成されており、２側面は、第１の側面と第２の側面とにより構成される。定盤に形成された溝により２側面を構成することで、定盤を基準とした測定精度が得られる。

　本発明の他の態様に係る三次元座標測定装置において、第１の支柱部材が少なくとも側面支持部材にて定盤に支持される場合、側面支持部材は、２側面の一方に摺動可能に配置されており、Ｙ軸方向に沿った２箇所に設けられた第１の支持部材及び第２の支持部材と、２側面の他方に摺動可能に配置されており、Ｙ軸方向に沿った２箇所に設けられた第３の支持部材及び第４の支持部材と、を有し、第１の支持部材と第３の支持部材、及び、第２の支持部材と第４の支持部材は、互いに対向する位置に配置されている。これにより、特にＹキャリッジのＺ軸周りの揺動（ヨーイング誤差）が抑えられる。

　本発明の他の態様に係る三次元座標測定装置において、第１の支柱部材が少なくとも上下支持部材にて定盤に支持される場合、上下支持部材は、定盤の上面に摺動可能に配置されており、Ｙ軸方向に沿った２箇所に設けられた第５の支持部材及び第６の支持部材と、定盤の下面に摺動可能に配置されており、Ｙ軸方向に沿った２箇所に設けられた第７の支持部材及び第８の支持部材と、を有し、第５の支持部材と第７の支持部材、及び、第６の支持部材と第８の支持部材は、互いに対向する位置に配置されている。これにより、特にＹキャリッジのＸ軸周りの揺動（ピッチング誤差）が抑えられる。

　本発明の他の態様に係る三次元座標測定装置において、駆動機構は、第１の支柱部材が側面支持部材にて定盤に支持される場合、２箇所の側面支持部材の間となる位置で２側面の一方に当接し、且つ第１の支柱部材が上下支持部材にて定盤に支持される場合、２箇所の上下支持部材の間となる位置で２側面の一方に当接する。これにより、Ｙキャリッジに与えられる振動をＹ軸方向に沿った２箇所に設けられた側面支持部材や上下支持部材で吸収することができる。これにより、ヨーイング誤差、及びこのヨーイング誤差の悪化につながるピッチング誤差及びローリング誤差を低減することができる。

　本発明の他の態様に係る三次元座標測定装置において、２箇所のＹ軸方向の距離は、２側面の間の距離よりも大きい。これにより、Ｙキャリッジに与えられる振動を低減することができる。

　本発明の他の態様に係る三次元座標測定装置において、駆動機構は、２側面の一方に当接するローラと、ローラを回転させるモータとを備える。

　本発明の他の態様に係る三次元座標測定装置において、第１の支柱部材と第２の支柱部材との間の位置において定盤にＹ軸方向に沿って配置されたスケールにより、ＹキャリッジのＹ軸方向の位置を検出する位置検出手段を備える。これにより、定盤の上面において測定対象物が配置される測定領域からスケールまでの距離を短くすることができるので、測定精度を向上させることができる。

　また、ＹキャリッジがＹ軸方向に移動することによって生じるヨーイング誤差があったとしても、スケールは測定領域と第１の支柱部材の間に存在するため、より測定領域に近い部分（すなわちワークに近い部分）でスケールを読み取ることができる。すなわち、駆動側（第１の支柱部材、駆動機構）よりもヨーイング誤差が小さくなる位置でスケールの読み取りを行うことができるので、より測定精度を向上させることができる。

　本発明の他の態様に係る三次元座標測定装置において、定盤の第１の支柱部材の側にある側面を第１の側面とした場合、定盤の上面における第１の側面の側にはＹ軸方向に沿って溝が形成され、且つ第１の支柱部材は、第１の側面及び溝の内面に摺動可能に配置されており、溝の内面は、互いに対向するＹ軸方向に沿った第２の側面と第３の側面とを有し、且つ第２の側面は第３の側面よりも第１の側面に近い側に形成されており、スケールは、第３の側面に設置される。これにより、定盤の上面において測定対象物が配置される測定領域からスケールまでの距離を短くすることができる。また、定盤の内側の溝の内部にスケールを設置していることから外気の温度変化の影響が少なく、スケールの伸縮による精度低下が抑止される。その結果、測定精度を向上させることができる。

　さらに、スケールは定盤の第３の側面、すなわち、定盤の上面に対して垂直な垂直面に取り付けられている。このため、仮に定盤の上部（上方）からゴミやホコリが落ちてきたとしても、スケール上に乗ることはなく、ゴミやホコリによるスケール読み取りの誤作動は起こらない。

　本発明の他の態様に係る三次元座標測定装置において、溝の開口を被覆する被覆部材を備える。これにより、溝の内部を外気から遮蔽することができるため、スケールに外気が直接あたることが防止され、また、溝の内部の温度変化も抑止される。したがって、外気の温度変化によるスケールの伸縮がより確実に抑止される。

　本発明の他の態様に係る三次元座標測定装置において、定盤のＸ軸方向に沿った側面を覆う断熱部材を備える。これにより、定盤の側面から定盤の内部又は外気へと出入りする熱が断熱部材により低減されるため、定盤の周囲温度が変化しても、定盤の内部に温度変化が生じ難くなり、定盤の変形が抑止される。また、定盤の内部に温度変化が生じたとしてもＹ軸方向に対する温度勾配の発生が抑止されるため、少なくとも第１の側面の直進度の低下が抑止され、ＹキャリッジのＹ軸方向への移動が精度良く行われる。

　本発明の他の態様に係る三次元座標測定装置において、上下支持部材と側面支持部材と上面支持部材とは、エアパッドである。

　本発明の他の態様に係る三次元座標測定装置において、定盤は、石材定盤である。

　本発明の三次元座標測定装置によれば、Ｙキャリッジの振れを抑止することで、測定精度の向上を図ることができる。

　また、本発明の三次元座標測定装置によれば、ＹキャリッジのＹ軸方向の位置の測定精度、即ち、測定対象物のＹ座標値の測定精度の向上を図ることができる。

　本発明の三次元座標測定装置によれば、熱による定盤の変形を抑止して精度の高い測定を行うことができる。

本発明が適用される三次元座標測定装置の外観を示した斜視図（第１の実施形態）本発明が適用される三次元座標測定装置の外観を示した正面図定盤の右側部を拡大して示した正面図定盤の右側部を拡大して示した右側面図カバーを外した状態のＹキャリッジを示した斜視図定盤の上面を示した上面図であり、Ｙキャリッジに設けられたエアパッドの定盤に対する配置を示した図（第１の実施形態）定盤の右側面を示した右側面図であり、Ｙキャリッジに設けられたエアパッドの定盤に対する配置を示した図（第１の実施形態）定盤の溝の部分を拡大して示した正面図Ｘガイドから取り外したＺコラムを示した斜視図Ｘガイドから取り外したＺコラムを示した斜視図Ｘガイドから取り外したＺコラムを示した斜視図Ｘガイドから取り外したＺコラムの支持部を示した斜視図Ｘガイドから取り外したＺコラムの支持部を示した斜視図定盤のＹガイドがＹキャリッジを支持する支持点の位置関係を定盤の上面側から示した模式図定盤のＹガイドがＹキャリッジを支持する支持点の位置関係を定盤の右側面側から示した模式図（第１の実施形態）定盤の溝の部分を拡大して示した斜視図であって蛇腹カバーを示した図（第２の実施形態）定盤のＹガイドがＹキャリッジを支持する支持点と、リニアエンコーダにおけるスケールと、測定対象物が配置される測定領域との位置関係を定盤の上面側から示した模式図（第２の実施形態）本発明が適用される三次元座標測定装置の外観を示した斜視図（第３の実施形態）定盤の上面を示した上面図であり、Ｙキャリッジに設けられたエアパッドの定盤に対する配置を示した図（第３の実施形態）定盤の右側面を示した右側面図であり、Ｙキャリッジに設けられたエアパッドの定盤に対する配置を示した図（第３の実施形態）周囲温度が低下するときの定盤の収縮の様子を示した図周囲温度が上昇するときの定盤の収縮の様子を示した図比較例１の三次元座標測定装置の外観を示した正面図（正面概略図）図２３中のＸＸＩＶ－ＸＸＩＶ線に沿う断面図（断面概略図）比較例２の三次元座標測定装置の外観を示した正面図（正面概略図）比較例３の三次元座標測定装置の外観を示した正面図（正面概略図）本実施形態の三次元座標測定装置１の外観を示した正面図（正面概略図）図２７中のＸＸＶＩＩＩ－ＸＸＶＩＩＩ線に沿う断面図（断面概略図）定盤の上面を示した上面図であり、Ｙキャリッジに設けられた各エアパッドと駆動部との配置を示した図他実施形態の三次元座標測定装置の外観を示した正面図（正面概略図）

　以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について詳説する。

　図１及び図２は、本発明が適用される三次元座標測定装置１の外観を示した斜視図及び正面図（第１の実施形態）である。

　これらの図に示す三次元座標測定装置１は、設置面（床面）に架台１２を介して支持された定盤１０を有する。定盤１０は花崗岩（granite、御影石）や大理石（marble、石灰岩、結晶質石灰岩）などの石材により矩形状に一体形成され、測定対象物を載置する平坦な上面１０Ｔを有する。上面１０Ｔは、Ｘ軸及びＹ軸に平行に、即ち、Ｚ軸に垂直に配置される。なお、定盤１０は石材の定盤に限らない。

　定盤１０の上面１０Ｔ側には、定盤１０を跨いで門型のＹキャリッジ１４が設置される。Ｙキャリッジ１４は、定盤１０を正面側から見たときの定盤１０の右側及び左側（片側）の各々にＺ軸方向に沿って延在して立設される第１の支柱部材である右Ｙキャリッジ１６及び第２の支柱部材である左Ｙキャリッジ１８と、右Ｙキャリッジ１６及び左Ｙキャリッジ１８の上端部に架け渡されてＸ軸方向に沿って延在する柱状のＸガイド２０とを有する。

　右Ｙキャリッジ１６の下端部は、定盤１０に形成されるＹ軸方向に沿った後述のＹガイド４２に移動自在に支持される。また、右Ｙキャリッジ１６の下端部には、Ｙガイド４２に当接する駆動部が設けられており、右Ｙキャリッジ１６はその駆動部の駆動力によってＹガイド４２に沿って移動する。左Ｙキャリッジ１８の下端部は、定盤１０の上面１０Ｔに摺動自在に支持される。

　これによって、Ｙキャリッジ１４は、定盤１０に対してＹ軸方向に移動可能に支持され、また、右Ｙキャリッジ１６の下端部の駆動部により、右Ｙキャリッジ１６を駆動側とし、左Ｙキャリッジ１８を従動側としてＹ軸方向に移動する。

　Ｘガイド２０には、Ｚコラム２２がＸガイド２０に沿って移動自在に支持される。Ｚコラム２２は、Ｘガイド２０に当接する駆動部を内蔵しており、その駆動部の駆動力によってＸガイド２０に沿ってＸ軸方向に移動する。

　また、Ｚコラム２２の内部には、Ｚ軸に沿って延在する柱状のＺキャリッジ２４がＺ軸方向に移動自在に支持されており（図２参照）、そのＺキャリッジ２４の下端部側がＺコラム２２の下端部側から突出する。Ｚコラム２２は、Ｚキャリッジ２４に当接する駆動部を内蔵しており、その駆動部の駆動力によってＺキャリッジ２４がＺ軸方向に移動する。

　Ｚキャリッジ２４の下端部には、タッチプローブ等の測定プローブ２６が取り付けられる。測定プローブ２６は、例えば、先端球を有する棒状のスタイラス２８を有し、測定プローブ２６は、スタイラス２８の先端（先端球）の測定対象物への接触の有無やスタイラス２８の先端の測定対象物への接触により生じるスタイラス２８の変位量を検出する。

　以上のごとく構成された三次元座標測定装置１は、Ｙキャリッジ１４のＹ軸方向への移動、Ｚコラム２２のＸ軸方向への移動、及び、Ｚキャリッジ２４のＺ軸方向への移動によって測定プローブ２６のスタイラス２８をＸ、Ｙ、Ｚ軸方向に移動させ、定盤１０の上面１０Ｔに載置された測定対象物の表面に沿わせてスタイラス２８の先端（先端球）を移動させる。そして、そのときのＹキャリッジ１４のＹ軸方向の位置（移動量）、Ｚコラム２２のＸ軸方向の位置（移動量）、Ｚキャリッジ２４のＺ軸方向の位置（移動量）、及びスタイラス２８の位置（変位量）を計測することにより、測定対象物の表面の各位置の三次元座標を測定する。なお、三次元座標の測定に関する処理については周知であるので詳細な説明は省略する。

　次に、Ｙキャリッジ１４をＹ軸方向に移動可能に支持すると共にＹ軸方向に移動させるＹ駆動機構について説明する。

　まず、Ｙ駆動機構におけるＹキャリッジ１４の支持手段（Ｙガイド機構、二つの支柱部材）について説明する。

　図３及び図４は、定盤１０の右側部を拡大して示した正面図及び右側面図である。

　図３に示すように、定盤１０は、Ｚ軸に垂直な上面１０Ｔ及び下面１０Ｂと、Ｘ軸に垂直な右側面１０Ｒ（本発明の第１の側面に相当）を有する。また、定盤１０の右側面１０Ｒの近くであって定盤１０の上面１０Ｔ側には、Ｙ軸方向に沿った溝４０が形成される。

　なお、図１及び図２では、溝４０の上部開口に蛇腹カバー等の伸縮自在の被覆部材が設置され、定盤１０の前側及び後側の側面に金属カバー等の板状の被覆部材が取り付けられた状態を示しているが、図３及び図４ではそれらの被覆部材を取り外した状態が示されている。

　溝４０は、互いに対向するＸ軸に垂直な右側面４０Ｒ（本発明の第２の側面に相当）及び左側面４０Ｌ（本発明の第３の側面に相当）と、Ｚ軸に垂直な底面４０Ｂとを有する。

　これにより、溝４０の右側面４０Ｒと、定盤１０の右側面１０Ｒと、それらの間の定盤１０の上面１０Ｔと、定盤１０の下面１０Ｂとで、Ｙ軸方向に沿って延在するＹガイド４２が形成される。

　なお、定盤１０の右側面１０Ｒと、溝４０の右側面４０Ｒ及び左側面４０Ｌは、Ｙ軸方向に沿って形成された面であれば必ずしもＸ軸に垂直な面でなくてもよく、定盤１０の下面１０Ｂと溝４０の底面４０Ｂは、必ずしもＺ軸に垂直な面でなくてもよい。

　また、以下において、溝４０の右側面４０ＲをＹガイド４２の左側面４２Ｌ、定盤１０の右側面１０ＲをＹガイド４２の右側面４２Ｒ、それらの間の定盤１０の上面１０ＴをＹガイド４２の上面４２Ｔ、定盤１０の下面１０ＢをＹガイド４２の下面４２Ｂというものとする。

　一方、図５には、各部のカバーを取り外した状態のＹキャリッジ１４の斜視図が示されており、図４及び図５に示すように、右Ｙキャリッジ１６の下端部には、Ｙ軸方向に幅広の支持部５０が設けられる。

　また、支持部５０は、図３のように正面側からみると二股状に形成される。

　なお、図３及び図４では支持部５０を覆う被覆部材を取り外した状態が示されている。

　支持部５０は、主に図３に示すように、Ｙガイド４２の上面４２Ｔに対向し、Ｚ軸に直交する方向（水平方向）に沿って配置される基端部５２と、基端部５２からＺ軸方向に延設されてＹガイド４２の右側面４２Ｒに対向する側に配置される右側部５４と、基端部５２からＺ軸方向に延設されてＹガイド４２の左側面４２Ｌに対向する側に配置される左側部５６とを有する。

　また、右側部５４の下端部にはＹガイド４２の下面４２Ｂに対向する位置までＸ軸方向に延設された支持板５８Ａ、５８Ａが支持部５０の先端部５８として設けられる。

　支持部５０のこれらの基端部５２、右側部５４、左側部５６、及び先端部５８の各々には、次に示すように、空気を噴出することでＹガイド４２に対して摺動可能となる複数の円板状のエアパッドが設けられる。また、左Ｙキャリッジ１８の下端部にも空気を噴出することで定盤１０の上面１０Ｔに対して摺動可能となる円板状のエアパッドが設けられる。

　図６及び図７は、定盤１０の上面１０Ｔ及び右側面１０Ｒを示した上面図及び右側面図であり、Ｙキャリッジ１４に設けられたエアパッドの定盤１０に対する配置が示されている。

　これらの図において、Ｙガイド４２の上面４２Ｔに沿って配置された２つのエアパッド６２Ｆ、６２Ｅ（本発明の上下支持部材に相当）は、支持部５０の基端部５２においてＹ軸方向に沿った２箇所（Ｙ軸に平行な直線上の２箇所）の位置に設けられており、Ｙガイド４２の上面４２Ｔに対向して下向きに配置される。

　Ｙガイド４２の右側面４２Ｒに沿って配置された２つのエアパッド６４Ｆ、６４Ｅ（本発明の側面支持部材に相当）は、支持部５０の右側部５４においてＹ軸方向に沿った２箇所（Ｙ軸に平行な直線上の２箇所）の位置に設けられており、Ｙガイド４２の右側面４２Ｒに対向して左向きに配置される。

　Ｙガイド４２の左側面４２Ｌ（溝４０の右側面４０Ｒ）に沿って配置された２つのエアパッド６６Ｆ、６６Ｅ（本発明の側面支持部材に相当）は、支持部５０の左側部５６においてＹ軸方向に沿った２箇所（Ｙ軸に平行な直線上の２箇所）の位置に設けられており、Ｙガイド４２の左側面４２Ｌに対向して右向きに配置される。なお、エアパッド６４Ｆ、６４Ｅ，６６Ｆ、６６Ｅは、本発明の第１の支持部材と第２の支持部材と第３の支持部材と第４の支持部材とに相当する。

　Ｙガイド４２の下面４２Ｂに沿って配置された２つのエアパッド６８Ｆ、６８Ｅ（図３及び図７参照、本発明の上下支持部材に相当）は、支持部５０の先端部５８においてＹ軸方向に沿った２箇所（Ｙ軸に平行な直線上の２箇所）の位置に設けられ、Ｙガイド４２の下面に対向して上向きに配置される。なお、エアパッド６２Ｆ，６２Ｅ，６８Ｆ，６８Ｅは、本発明の第５の支持部材と第６の支持部材と第７の支持部材と第８の支持部材とに相当する。

　定盤１０の左側面の近くの上面に配置されたエアパッド７０（本発明の上面支持部材に相当）は、左Ｙキャリッジ１８の下端部に設けられ、定盤１０の上面１０Ｔに対向して下向きに配置される。

　ここで、支持部５０の基端部５２、右側部５４、左側部５６、及び先端部５８の各々において、前側（正面側）に設置されるエアパッド６２Ｆ、６４Ｆ、６６Ｆ、６８Ｆは、Ｙ軸方向に関して略同一位置に配置され（即ち、同一のＸＺ平面に沿った位置に配置され）、後側（背面側）に配置されるエアパッド６２Ｅ、６４Ｅ、６６Ｅ、６８Ｅは、Ｙ軸方向に関して略同一位置に配置される。

　支持部５０の右側部５４に設置されるエアパッド６４Ｆ、６４Ｅと左側部５６に設置されるエアパッド６６Ｆ、６６Ｅとは、互いに対向する位置（即ち、Ｚ軸方向に関して略同一位置）に配置される。

　支持部５０の基端部５２に設置されるエアパッド６２Ｆ、６２Ｅと先端部５８に設置されるエアパッド６８Ｆ、６８Ｅとは、互いに対向する位置（即ち、Ｘ軸方向に関して略同一位置）に配置される。

　左Ｙキャリッジ１８の下端部に設置されるエアパッド７０は、そのＹ軸方向に関する位置が、Ｙキャリッジ１４と共にＹ軸方向に移動する全ての部材（Ｙキャリッジ１４及びＺコラム２２）の重心のＹ軸方向の位置と略一致する位置に配置される。

　また、エアパッド６２Ｆ、６２Ｅ、７０が例えば直径１１０ｍｍのものであるのに対して、エアパッド６４Ｆ、６４Ｅ、６６Ｆ、６６Ｅは、エアパッド６２Ｆ、６２Ｅ、７０よりも直径が小さい例えば直径８０ｍｍのものが用いられる。更に、エアパッド６８Ｆ、６８Ｅは、エアパッド６４Ｆ、６４Ｅ、６６Ｆ、６６Ｅよりも直径が小さい例えば直径６０ｍｍのものが用いられる。

　なお、参考として、定盤１０は、Ｘ軸方向の幅（横幅）が約８００ｍｍ～約１０００ｍｍ、Ｙ軸方向の幅（奥行き）が約１２００ｍｍ～約２７００ｍｍのものが用いられ、Ｙキャリッジ１４は、Ｚ軸方向の幅（高さ）として約６００ｍｍ～約８００ｍｍを有し、支持部５０は、Ｙ軸方向の幅（奥行き）として約６５０ｍｍを有する。

　以上のごとく構成されたＹキャリッジ１４の支持手段によれば、Ｙキャリッジ１４は、右Ｙキャリッジ１６における支持部５０のエアパッド６２Ｆ、６２Ｅ、６４Ｆ、６４Ｅ、６６Ｆ、６６Ｅ、６８Ｆ、６８Ｅを介してＹガイド４２（定盤１０）に支持される。即ち、支持部５０とＹガイド４２との係合によってＹキャリッジ１４がＹガイド４２に支持される。また、これと共に、Ｙキャリッジ１４は、左Ｙキャリッジ１８におけるエアパッド７０を介して定盤１０（上面１０Ｔ）に支持される。

　また、各エアパッド６２Ｆ、６２Ｅ、６４Ｆ、６４Ｅ、６６Ｆ、６６Ｅ、６８Ｆ、６８Ｅ、７０から空気を噴出することで、右Ｙキャリッジ１６における支持部５０の各エアパッド６２Ｆ、６２Ｅ、６４Ｆ、６４Ｅ、６６Ｆ、６６Ｅ、６８Ｆ、６８ＥがＹガイド４２に対してＹ軸方向に摺動可能な状態となり、かつ、左Ｙキャリッジ１８におけるエアパッド７０が定盤１０の上面１０Ｔに対して摺動可能な状態となる。

　したがって、Ｙキャリッジ１４が定盤１０に対してＹ軸方向に移動可能な状態となる。

　続いて、Ｙ駆動機構におけるＹキャリッジ１４の駆動手段について説明する。

　図４のように支持部５０の右側部５４には、駆動部８０が設けられる。図６及び図７にも示されているように駆動部８０は、支持部５０の右側部５４に設けられる２つのエアパッド６４Ｆ、６４Ｅの間の略中間となる位置に配置される。なお、駆動部８０を、支持部５０の左側部５６であって且つ２つのエアパッド６６Ｆ、６６Ｅの間の略中間となる位置に配置してもよい。

　駆動部８０は、モータ８２と、回転自在のローラ８４と、それらを動力伝達可能に連結する減速機構とが支持部材に組み付けられて一体的に構成されており、モータ８２を駆動するとローラ８４が回転する。

　この駆動部８０は、図６に示すようにローラ８４の回転軸がＺ軸と平行に、かつ、ローラ８４の外周面が２つのエアパッド６４Ｆ、６４Ｅの間の略中間となる位置においてＹガイド４２の右側面４２Ｒ（定盤１０の右側面１０Ｒ）に当接するようにして支持部５０の右側部５４に設置される。

　したがって、駆動部８０のモータ８２を駆動してローラ８４を回転させることで、Ｙガイド４２に沿って支持部５０が移動し、Ｙキャリッジ１４がＹ軸方向に移動する。

　なお、Ｙキャリッジ１４の駆動手段として、駆動部８０の他にＹガイド４２の左側面４２Ｌに当接する駆動部を例えば駆動部８０に対峙させて設けてもよいし、駆動部８０の代わりにＹガイド４２の左側面４２Ｌに当接する駆動部のみを設けてもよい。

　続いて、Ｙ駆動機構におけるＹキャリッジ１４の位置検出手段について説明する。

　図８は、定盤１０の溝４０の部分を拡大して示した正面図である。同図に示すように溝４０の左側面４０Ｌには、例えば光学式のリニアエンコーダ１１０を構成する長板状のスケール１１２であって格子目盛が設けられたスケール１１２がＹ軸方向に沿って設置される（図６参照）。

　一方、支持部５０の左側部５６には、リニアエンコーダ１１０を構成する光センサ１１４が支持部材を設置され、スケール１１２に対向した位置に配置される（図６参照）。そして、光センサ１１４に対向する位置に形成されたスケール１１２の格子目盛に応じた検出信号が光センサ１１４から出力される。

　このリニアエンコーダ１１０によれば、Ｙキャリッジ１４がＹ軸方向に移動すると、Ｙキャリッジ１４と共に光センサ１１４がＹ軸方向に移動し、スケール１１２に対する光センサ１１４の対向位置が変化する。このとき、光センサ１１４から出力される検出信号に基づいてＹキャリッジ１４のＹ軸方向の位置が検出される。

　次に、Ｚコラム２２をＸ軸方向に移動可能に支持すると共にＸ軸方向に移動させるＸ駆動機構について説明する。

　まず、Ｘ駆動機構におけるＺコラム２２の支持手段（Ｘガイド機構）について説明する。

　図５には、上述のようにカバーを外した状態のＹキャリッジ１４が示されており、図９、図１０、図１１には、Ｘガイド２０から取り外したＺコラム２２が示されている。これらの図に示されているようにＺコラム２２は、各種部品が組み付けられる支持部２００であってＸキャリッジに相当する支持部２００を備え、支持部２００には、四角柱状のＸガイド２０を挿通するＸ軸方向に沿った矩形状のＸガイド挿通孔２０２が設けられる。

　支持部２００において、Ｘガイド挿通孔２０２を画定する前面２０２Ｆ、後面２０２Ｅ、上面２０２Ｔ、及び下面２０２Ｂ（Ｘガイド挿通孔２０２の前面２０２Ｆ等という）の各々には、空気を噴出することでＸガイド２０に対して摺動可能となる円板状のエアパッドが設けられる。

　Ｘガイド挿通孔２０２の前面２０２Ｆには、図１０に示すように上下と左右に対称となる４箇所の各々に１つずつの合計４つのエアパッド２１０、２１０、２１０、２１０が配置され、Ｘガイド２０の前面２０Ｆ（図５参照）に対向して後向きに配置される。

　Ｘガイド挿通孔２０２の後面２０２Ｅには、図１１に示すように上側の２箇所と下側の１箇所の各々に１つずつの合計３つのエアパッド２１２、２１２、２１２が配置され、Ｘガイド２０の後面２０Ｅ（図５参照）に対向して前向きに配置される。

　Ｘガイド挿通孔２０２の上面２０２Ｔには、図９に示すように左右の２箇所の各々に１つずつの合計２つのエアパッド２１４、２１４が配置され、Ｘガイド２０の上面２０Ｔ（図５参照）に対向して下向きに配置される。

　Ｘガイド挿通孔２０２の下面２０２Ｂには、図１０に示すように１つのエアパッド２１６が配置され、Ｘガイド２０の下面２０Ｂ（図５参照）に対向して上向きに配置される。

　以上のごとく構成されたＺコラム２２の支持手段によれば、支持部２００のＸガイド挿通孔２０２にＸガイド２０を挿通させると、支持部２００は、エアパッド２１０、２１２、２１４、２１６を介してＸガイド２０に支持されて、Ｚコラム２２が支持部２００を介してＸガイド２０に支持される。

　また、各エアパッド２１０、２１２、２１４、２１６から空気を噴出することで、支持部２００の各エアパッド２１０、２１２、２１４、２１６がＸガイド２０に対してＸ軸方向に摺動可能な状態となる。

　したがって、Ｚコラム２２がＸ軸方向に移動可能な状態となる。

　続いて、Ｘ駆動機構におけるＺコラム２２の駆動手段について説明する。

　図９～図１１に示すようにＸガイド挿通孔２０２の後面２０２Ｅには、上述のＹ駆動機構における駆動部８０と同様の構成を有し、モータ２２２とローラ２２４（図１１参照）を備えた駆動部２２０が設けられる。駆動部２２０は、ローラ２２４の回転軸がＺ軸と平行となるようにＸガイド挿通孔２０２の後面２０２Ｅに設置され、かつ、ローラ２２４の外周面がＸガイド挿通孔２０２の後面２０２Ｅの上側に設置された２つのエアパッド２１２、２１２の間の略中間となる位置においてＸガイド２０の後面２０Ｅ（図５参照）に当接するように設置される。

　したがって、駆動部２２０のモータ２２２を駆動してローラ２２４を回転させることで、Ｘガイド２０に沿って支持部２００が移動し、Ｚコラム２２がＸ軸方向に移動する。

　なお、Ｘガイド２０及び支持部２００には、Ｘ駆動機構におけるＺコラム２２の位置検出手段として、Ｙ駆動機構における上述のリニアエンコーダ１１０と同様の光学式のリニアエンコーダが設けられ、Ｘガイド２０には、長板状のスケールがＸ軸方向に沿って設置され、支持部２００には、光センサがスケールに対向した位置に配置される。

　次に、Ｚキャリッジ２４をＺ軸方向に移動可能に支持すると共にＺ軸方向に移動させるＺ駆動機構について説明する。

　まず、Ｚ駆動機構におけるＺキャリッジ２４の支持手段（Ｚガイド機構）について説明する。

　図１２、図１３には、図９～図１１に示したＺコラム２２の支持部２００からＺキャリッジ２４を取り外した状態が示されており、これらの図に示されているように支持部２００には、四角柱状のＺキャリッジ２４を挿通するＺ軸方向に沿った矩形状のＺキャリッジ挿通孔２５０がＸガイド挿通孔２０２の前側に設けられる。

　支持部２００において、Ｚキャリッジ挿通孔２５０を画定する前面２５０Ｆ、後面２５０Ｅ、右側面２５０Ｒ、及び左側面２５０Ｌ（Ｚキャリッジ挿通孔２５０の前面２５０Ｆ等という）の各々（図１３参照）には、空気を噴出することでＺキャリッジ２４に対して摺動可能となるエアパッドが設けられる。

　Ｚキャリッジ挿通孔２５０の下側開口付近には、図１２に示すようにＺキャリッジ挿通孔２５０の前面２５０Ｆ、後面２５０Ｅ、右側面２５０Ｒ、及び左側面２５０Ｌの各々に１つずつの合計４つのエアパッド２６０、２６２、２６４、２６６が配置され、それらのエアパッド２６０、２６２、２６４、２６６の各々は、Ｚキャリッジ２４の前面２４Ｆ、後面２４Ｅ、右側面２４Ｒ、及び左側面２４Ｌ（図１１参照）の各々に対向して後向き、前向き、左向き、右向きに配置される。

　Ｚキャリッジ挿通孔２５０の上側開口付近には、図１３に示すようにＺキャリッジ挿通孔２５０の前面２５０Ｆ、後面２５０Ｅ、及び右側面１０Ｒの各々に１つずつの合計３つのエアパッド２６０、２６２、２６４が配置され、それらのエアパッド２６０、２６２、２６４の各々は、Ｚキャリッジ２４の前面２４Ｆ、後面２４Ｅ、及び右側面２４Ｒの各々に対向して後向き、前向き、左向きに配置される。

　一方、Ｚキャリッジ挿通孔２５０の上側開口付近におけるＺキャリッジ挿通孔２５０の左側面２５０Ｌには２つのエアパッド２６６、２６６が配置され、それらのエアパッド２６６、２６６は、Ｚキャリッジ２４の左側面２４Ｌに対向して右向きに配置される。

　以上のごとく構成されたＺキャリッジ２４の支持手段によれば、支持部２００のＺキャリッジ挿通孔２５０にＺキャリッジ２４を挿通させると、支持部２００は、エアパッド２６０、２６２、２６４、２６６を介してＺキャリッジ２４を支持する。

　また、各エアパッド２６０、２６２、２６４、２６６から空気を噴出することで、支持部２００の各エアパッド２６０、２６２、２６４、２６６がＺキャリッジ２４に対して摺動可能な状態となり、Ｚキャリッジ２４がＺ軸方向に移動可能な状態となる。

　続いて、Ｚ駆動機構におけるＺキャリッジ２４の駆動手段について説明する。

　図１２及び図１３に示すようにＺキャリッジ挿通孔２５０の前面２５０Ｆには、上述のＹ駆動機構における駆動部８０と同様の構成を有し、モータ２７２とローラ２７４（図１３参照）を備えた駆動部２７０が設けられる。駆動部２７０は、ローラ２７４の回転軸がＸ軸と平行となるようにＺキャリッジ挿通孔２５０の前面２５０Ｆに設置され、かつ、ローラ２７４の外周面がＺキャリッジ挿通孔２５０の前面２５０Ｆに設置された２つのエアパッド２６０、２６０の間の略中間となる位置においてＺキャリッジ２４の前面２４Ｆに当接するように設置される。

　したがって、駆動部２７０のモータ２７２を駆動してローラ２７４を回転させることで、Ｚキャリッジ２４が支持部２００に対してＺ軸方向に移動する。

　なお、Ｚキャリッジ２４及び支持部２００には、Ｚ駆動機構におけるＺキャリッジ２４の位置検出手段として、Ｙ駆動機構における上述のリニアエンコーダ１１０と同様の光学式のリニアエンコーダが設けられ、Ｚキャリッジ２４には、長板状のスケールがＺ軸方向に沿って設置され、支持部２００には、光センサがスケールに対向した位置に配置される。

　また、図９～図１３に示されているケーブル保護管２７８は、ケーブルを内部に挿通させて案内する湾曲可能な案内部材である。Ｚキャリッジ２４の下端部に取り付けられる測定プローブ２６のケーブルは、Ｚコラム２２の内部において、Ｚキャリッジ２４の内部及びケーブル保護管２７８の内部に挿通配置され、他の部材との干渉が防止される。

　以上のごとく構成された三次元座標測定装置１において、主に、Ｙキャリッジ１４のＺ軸周り方向（ヨーイング方向）及びＸ軸周り方向（ピッチング方向）の振れを抑止する効果について説明する。

　図１４は、定盤１０のＹガイド４２がＹキャリッジ１４を支持する支持点の位置関係を定盤１０の上面１０Ｔ側から示した模式図である。

　同図において、定盤１０に形成されたＹガイド４２の左側面４２Ｌに存在する前後２つの支持点Ｐ１、Ｐ２は、Ｙキャリッジ１４（支持部５０）のエアパッド６６Ｆ、６６Ｅが当接する位置を示し、Ｙガイド４２の右側面４２Ｒに存在する前後２つの支持点Ｐ３、Ｐ４は、Ｙキャリッジ１４（支持部５０）のエアパッド６４Ｆ、６４Ｅが当接する位置を示し、Ｙガイド４２の右側面４２Ｒに存在する支持点Ｐ０は、Ｙキャリッジ１４（支持部５０）の駆動部８０のローラ８４が当接する位置を示す（図６参照）。

　また、支持点Ｐ１、Ｐ２は固定の支持点を示し、支持点Ｐ３、Ｐ４は補助的な支持点を示す。即ち、固定の支持点Ｐ１、Ｐ２となるエアパッド６６Ｆ、６６Ｅは、Ｙキャリッジ１４の支持部５０において、それらが摺動するガイド面であるＹガイド４２の左側面４２Ｌの法線方向に進退移動不能に支持される。一方、補助的な支持点Ｐ３、Ｐ４となるエアパッド６４Ｆ、６４Ｅは、Ｙキャリッジ１４の支持部５０において、それらが摺動するガイド面であるＹガイド４２の右側面４２Ｒの法線方向に対して進退移動可能に支持されると共に、右側面４２Ｒに当接する方向に付勢される。

　これによれば、駆動部８０のローラ８４をＹガイド４２の右側面４２Ｒに押し当てたとき、Ｙガイド４２は、支持点Ｐ３、Ｐ４を補助的な支持点として、右側面４２Ｒの１つの支持点Ｐ０と、左側面４２Ｌの２つの支持点Ｐ１、Ｐ２で支持した状態で安定する。

　したがって、Ｙキャリッジ１４のＺ軸周り方向（ヨーイング方向）の角度位置は、支持点Ｐ１、Ｐ２の位置により一意的に決まり、ヨーイング方向の振れが抑止される。そして、Ｘガイド２０（Ｘ軸）のヨーイング方向の振れが抑止されることで、定盤１０の上面１０Ｔ上の測定領域（Ｙキャリッジ１４と干渉しない領域）に配置された測定対象物に関して測定されるＸ座標値及びＹ座標値は、Ｙガイド４２（左側面４２Ｌ）の位置を基準にして高精度に得られる。

　図１５は、定盤１０のＹガイド４２がＹキャリッジ１４を支持する支持点の位置関係を定盤１０の右側面１０Ｒ側から示した模式図である。

　同図において、定盤１０に形成されたＹガイド４２の上面４２Ｔに存在する前後２つの支持点Ｐ５、Ｐ６は、Ｙキャリッジ１４（支持部５０）のエアパッド６２Ｆ、６２Ｅが当接する位置を示し、Ｙガイド４２の下面４２Ｂに存在する前後２つの支持点Ｐ７、Ｐ８は、Ｙキャリッジ１４（支持部５０）のエアパッド６８Ｆ、６８Ｅが当接する位置を示す（図７参照）。

　これによれば、Ｙガイド４２は、上面４２Ｔの前後２つの支持点Ｐ５、Ｐ６だけでなく、下面４２Ｂの前後２つの支持点Ｐ７、Ｐ８によりＹキャリッジ１４を支持する。

　したがって、Ｙキャリッジ１４のＸ軸周り方向（ピッチング方向）の振れが支持点Ｐ５、Ｐ６だけでなく、支持点Ｐ７、Ｐ８によっても抑止され、Ｙキャリッジ１４を高速でＹ軸方向に移動させた際であっても、Ｙキャリッジ１４のピッチング方向の振れが抑止される。

　特に、Ｚ軸方向に関して支持点Ｐ５、Ｐ６と支持点Ｐ７、Ｐ８との間に駆動部８０が配置されるため（図７等参照）、駆動部８０の駆動力によってＹキャリッジ１４にピッチング方向の回転力が生じ難くなっていることからも、Ｙキャリッジ１４のピッチング方向の振れが抑止される。

　なお、駆動部８０のＹ軸方向の位置は、Ｙキャリッジ１４と共にＹ軸方向に移動する全ての部材（Ｙキャリッジ１４及びＺコラム２２）の重心のＹ軸方向の位置と略一致する位置であることが望ましい。

　そして、Ｚキャリッジ２４（Ｚ軸）のピッチング方向の振れが抑止されることで、測定プローブ２６により測定される測定領域の測定対象物のＹ座標値及びＺ座標値は、Ｙガイド４２（上面４２Ｔ）の位置を基準にして高精度に得られる。

　また、定盤１０に溝４０を形成することで定盤１０の右側面１０Ｒに沿った一部の領域をＹガイド４２としたことで、Ｙガイド４２を別部材で構成した場合と比べて、Ｙガイド４２の熱変形が生じ難くなり、Ｙガイド４２の直進性が持続的に維持され易くなる。また、定盤１０の左右両側面をＹガイドとして利用した場合と比べても、Ｙガイド４２の各面が近接していることから各面の相対的な変化量が小さくＹガイド４２の直進性が持続的に維持される。

　したがって、Ｙキャリッジ１４のＹ軸方向の位置変化に伴うＹキャリッジ１４のヨーイング方向及びピッチング方向の振れが小さく、Ｙキャリッジ１４のＹ軸方向への移動を持続的に安定させることができ、持続的に測定精度を保つことができる。また、Ｙガイド４２を別部材で構成する場合と比較してＹガイド４２（Ｙガイド機構）を簡易且つ安価な構成とすることができる。

　そのため、定盤１０の一部をＹガイド４２としたことで、Ｙガイド４２を定盤１０と別部材で構成した場合と比較して、測定中におけるＹガイド４２の形状変化が少なく、Ｙガイド４２の湾曲等による測定誤差を演算上での補正により軽減することが容易となる。ただし、定盤１０は必ずしも石材定盤でなくてもよい。

　次に、本発明の第２の実施形態に係る三次元座標測定装置１において、主に、Ｙキャリッジ１４のＹ軸方向の位置（Ｙ座標値）の測定精度、即ち、測定対象物のＹ座標値の測定精度を向上させるための構成について説明する。なお、第２の実施形態に関する説明では、第１の実施形態と共通する構成については、同一の符号を付して説明を省略する。

　まず、溝４０の上部開口を被覆する被覆部材について説明する。

　図１６は、定盤１０の溝４０の部分を拡大して示した斜視図である。

　同図に示すように溝４０の上部開口の右縁部と左縁部には、右レール１３０Ｒと左レール１３０Ｌが定盤１０に固定されて配置される。

　右レール１３０Ｒと左レール１３０Ｌとはいずれも溝４０の正面側の端（前端）から背面側の端（後端）まで延在し、右レール１３０Ｒは、溝４０の右側面４０Ｒ（Ｙガイド４２の左側面４２Ｌ）に沿って、左レール１３０Ｌは、溝４０の左側面４０Ｌに沿って設けられる（図６参照）。

　また、右レール１３０Ｒと左レール１３０Ｌとは、左右対称の形状を有しており、各々には、横向きの開口であって互いに向き合う方向に開口を有するガイド溝１３２Ｒ、１３２Ｌが設けられる。

　そして、溝４０の上部開口には、右レール１３０Ｒのガイド溝１３２Ｒと左レール１３０Ｌのガイド溝１３２Ｌに左右両側の端縁部が嵌入して支持された伸縮自在の蛇腹カバー１３４が設置される。

　蛇腹カバー１３４は、右Ｙキャリッジ１６における支持部５０の左側部５６を挟んで前側の蛇腹カバー１３４Ｆと後側の蛇腹カバー１３４Ｅ（図１参照）とに分離して設置されており、前側に設置される蛇腹カバー１３４Ｆは、前端が定盤１０の前側面に不図示の固定部材（定盤１０の前側面を被覆する被覆部材等）を介して固定され、後端が支持部５０の左側部５６の前面に固定される。後側に設置される蛇腹カバー１３４Ｅは、前端が支持部５０の左側部５６の後面に固定され、後端が定盤１０の後側面に不図示の固定部材（定盤１０の後側面を被覆する被覆部材等）を介して定盤１０に固定される。

　これによれば、溝４０の上部開口が蛇腹カバー１３４により被覆される。そして、Ｙキャリッジ１４（支持部５０）のＹ軸方向への移動に伴って蛇腹カバー１３４がＹ軸方向に伸縮し、Ｙキャリッジ１４が前側に移動したときには、前側の蛇腹カバー１３４Ｆが収縮し、後側の蛇腹カバー１３４Ｅが伸張する。Ｙキャリッジ１４が後側に移動したときには、前側の蛇腹カバー１３４Ｆが伸張し、後側の蛇腹カバー１３４Ｅが収縮する。したがって、Ｙキャリッジ１４のＹ軸方向の位置にかかわらず、常に溝４０の上部開口が蛇腹カバー１３４により被覆される。

　これによって、溝４０の内部に設置されたスケール１１２に外気が直接あたることが防止され、また、溝４０の内部の温度変化も抑止することができ、外気の温度変化によってスケール１１２が伸縮することが防止される。

　また、溝４０の内部にゴミや埃等が入り込むことが防止され、スケール１１２にゴミ等が付着して、格子目盛の読み取りエラーによる測定誤差が発生するという事態や、溝４０の内部に配置されたエアパッド６６Ｆ、６６Ｅにゴミ等が付着してＹキャリッジ１４のＹ軸方向への移動が不安定になるという事態等が未然に防止される。

　次に、以上のごとく構成された三次元座標測定装置１において、主に、Ｙキャリッジ１４のＹ軸方向の位置（Ｙ座標値）の測定精度、即ち、測定対象物のＹ座標値の測定精度の向上を図る効果について説明する。

　図１７は、定盤１０のＹガイド４２がＹキャリッジ１４を支持する支持点と、リニアエンコーダ１１０におけるスケール１１２と、測定対象物が配置される測定領域との位置関係を定盤１０の上面１０Ｔ側から示した模式図である。

　同図において、定盤１０に形成されたＹガイド４２の左側面４２Ｌに存在する前後２つの支持点Ｐ１、Ｐ２は、Ｙキャリッジ１４（支持部５０）のエアパッド６６Ｆ、６６Ｅが当接する位置を示し、Ｙガイド４２の右側面４２Ｒに存在する前後２つの支持点Ｐ３、Ｐ４は、Ｙキャリッジ１４（支持部５０）のエアパッド６４Ｆ、６４Ｅが当接する位置を示し、Ｙガイド４２の右側面４２Ｒに存在する支持点Ｐ０（駆動点）は、Ｙキャリッジ１４（支持部５０）の駆動部８０のローラ８４が当接する位置を示す（図６参照）。

　同図に示すように、溝４０の左側面４０Ｌに設置されるスケール１１２は、測定領域と、支持点Ｐ０～Ｐ４が設けられるＹガイド４２との間に配置される。即ち、スケール１１２は、Ｙキャリッジ１４（右Ｙキャリッジ１６）のエアパッド６４Ｆ、６４Ｅ、６６Ｆ、６６Ｅ、及び駆動部８０よりも測定領域側に配置される。

　したがって、測定領域とスケール１１２との間にＹキャリッジ１４のＺ軸方向に沿った支柱部材である右Ｙキャリッジ１６が介在せず、測定領域からスケール１１２までの距離が短い。

　そのため、Ｙキャリッジ１４のヨーイング方向（Ｚ軸周り方向）の振れなどによってＹキャリッジ１４のＸガイド２０の方向がＸ軸方向からずれた場合であっても、測定領域における測定プローブ２６のスタイラス２８が実際に配置されている位置のＹ座標値と、スケール１１２（リニアエンコーダ１１０）により実測されるＹキャリッジ１４のＹ座標値から得られるスタイラス２８のＹ座標値との差が小さくなる。

　したがって、Ｙキャリッジ１４にヨーイング方向の振れ等が生じた場合であっても、Ｙキャリッジ１４のＹ座標値の測定精度、即ち、測定対象物のＹ座標値の測定精度の向上が図られる。

　なお、駆動部８０のローラ８４をＹガイド４２の右側面４２Ｒに押し当てたとき、Ｙガイド４２は、支持点Ｐ３、Ｐ４を補助的な支持点として、右側面４２Ｒの１つの支持点Ｐ０と、左側面４２Ｌの２つの支持点Ｐ１、Ｐ２で支持した状態で安定する。これによって、Ｙキャリッジ１４のヨーイング方向の振れが生じ難い構成となっている。

　また、スケール１１２は、定盤１０に設置されるため、定盤１０とは別体のＹガイド等にスケール１１２を設置する場合と比較して、Ｙガイドの熱変形の影響や定盤とＹガイドとの締結部の不安定さによる測定精度の低下が生じない。そのため、持続的に高い測定精度を保つことができる。

　更に、定盤１０の周縁部（右側面１０Ｒ、左側面１０Ｌ等）にスケール１１２を設けるのではなく、定盤１０の内側に配置していることから外気の温度変化の影響が少なく、スケール１１２の伸縮による精度低下が抑止される。特に、上述のように溝４０の上部開口に蛇腹カバー１３４を設置して、溝４０の内部を外気から遮蔽しているため、スケール１１２に外気が直接あたることが防止され、また、溝４０の内部の温度変化も抑止されている。したがって、外気の温度変化によるスケール１１２の伸縮が確実に抑止され、スケール１１２として、温度変化が生じても伸縮しない高価な材質のものを使用する必要がなく、安価なものを用いることができる。

　また、上記実施の形態では、スケール１１２を溝４０の左側面４０Ｌに設置したが、左側面４０Ｌ以外の溝４０の内面（溝４０の右側面４０Ｒ、底面４０Ｂなど）にＹ軸方向に沿って設置することで上述と同様の効果が得られる。

　また、上記実施の形態では、溝４０の上部開口を被覆する被覆部材として蛇腹カバー１３４を用いたが、蛇腹カバー以外の種類の被覆部材を用いてもよい。たとえば、伸縮性のある材質の被覆部材で、溝４０に嵌入するＹキャリッジ１４の下端部分（支持部５０の左側部５６）の前側と後側の各々の溝４０の上部開口を覆うこともできる。また、溝４０の上部開口全体を一体形成された被覆部材で被覆すると共に、その被覆部材にＹキャリッジ１４の下端部分（支持部５０の左側部５６）が溝４０の外部から内部に挿通するための切込み等の挿通路であってＹキャリッジ１４の下端部分が挿通するとき以外は閉塞する挿通路を溝４０（Ｙ軸方向）に沿って形成したものであってもよい。更に、溝４０の上部開口を被覆する被覆部材を設けない形態としてもよい。

　また、上記実施の形態では、Ｙキャリッジ１４のＹ座標値を測定するＹキャリッジ１４の位置検出手段や、Ｚコラム２２の位置検出手段、Ｚキャリッジ２４の位置検出手段として、光学式のリニアエンコーダ及びスケールを用いた形態を示したが、光学式に限らず、磁気式等の他の種類のリニアエンコーダ及びスケールを用いることができる。

　次に、本発明の第３の実施形態に係る三次元座標測定装置１において、主に、熱による定盤の変形を抑止するための構成について説明する。なお、第３の実施形態に関する説明では、第１又は第２の実施形態と共通する構成については、同一の符号を付して説明を省略する。

　本実施形態に係る三次元座標測定装置１では、第２の実施形態の構成に加えて、定盤１０の前側面１０Ｆ及び後側面１０Ｅに被覆部材が設けられる。図１８、図１９及び図２０に示されているように、定盤１０の前側面１０Ｆと後側面１０Ｅの各々には、それらの面の略全体を被覆する被覆部材として板状の断熱部材１５０、１５２が固着される。

　これにより、定盤１０の前側面１０Ｆ及び後側面１０Ｅから定盤１０の内部又は外気へと出入りする熱量が低減するため、定盤１０の周囲の外気の温度（周囲温度）が変化しても、定盤１０の内部の温度変化が生じ難くなり、定盤１０の変形が抑止される。また、後述のように定盤１０の内部に温度変化が生じたとしてもＹ軸方向に対する温度勾配の発生が抑止される。したがって、Ｙキャリッジ１４の直進度の低下が抑止される。

　本実施形態では、定盤１０の前側面１０Ｆ及び後側面１０Ｅが断熱部材１５０、１５２で被覆されるため、定盤１０の前側面１０Ｆ及び後側面１０Ｅが外気と熱的に遮断される。したがって、定盤１０の前側面１０Ｆ及び後側面１０Ｅから定盤１０の内部又は外気へと出入りする熱量が低減される。

　ここで、定盤１０として、溝４０が形成されず、かつ、断熱部材１５０、１５２が設けられていない定盤を仮定して、周囲温度の変化に対するその定盤１０の変形の様子について説明する。

　図２１は、定盤１０の周囲温度が低下するときに定盤１０が収縮する様子を示す。周囲温度が低下する場合には、定盤１０はその内部に先立って周辺部から温度が低下する。そのため、周囲温度が低下した後から定盤１０の内部が一様な温度に安定するまでの間、定盤１０の中心部が周辺部よりも高い温度分布となる。この間、定盤１０のＹ軸方向に沿う右側面１０Ｒ及び左側面１０Ｌと、Ｘ軸方向に沿う前側面１０Ｆ及び後側面１０Ｅは、その中間部が端部よりも外側に膨らんだ状態となる。

　逆に、図２２は、定盤１０の周囲温度が上昇するときに定盤１０が膨張する様子を示す。周囲温度が上昇する場合には、定盤１０はその内部に先立って周辺部から温度が上昇する。そのため、周囲温度が上昇した後から定盤１０の内部が一様な温度に安定するまでの間、定盤１０の中心部が周辺部よりも低い温度分布となる。この間、定盤１０のＹ軸方向に沿う右側面１０Ｒ及び左側面１０Ｌと、Ｘ軸方向に沿う前側面１０Ｆ及び後側面１０Ｅは、その中間部が端部よりも内側にへこんだ状態となる。

　このような定盤１０の変形により、Ｙ軸方向に沿う右側面１０Ｒ及び左側面１０Ｌの真直度の低下を招く。そして、右側面１０Ｒを基準にしてＹキャリッジ１４をＹ軸方向に移動させると、Ｙキャリッジ１４にヨーイング方向（Ｚ軸周り方向）の振れが生じ、Ｙキャリッジ１４のＸガイド２０の方向がＸ軸方向からずれる。そのため、Ｙキャリッジ１４のＹ座標値の測定精度の低下を招く。

　これに対して本実施の形態の定盤１０は、前側面１０Ｆ及び後側面１０Ｅが断熱部材１５０、１５２で被覆されるため、前側面１０Ｆ及び後側面１０Ｅから定盤１０の内部又は外気へと出入りする熱量が低減する。そのため、周囲温度の低下、又は、上昇によって、定盤１０の内部に温度変化が生じ難くなると共に、温度変化が生じたとしてもＹ軸方向に対する温度勾配の発生が抑止される。

　したがって、周囲温度の変化にかかわらず定盤１０のＹガイド４２の真直度、即ち、Ｙガイド４２の左側面４２Ｌ、右側面４２Ｒ、上面４２Ｔ、及び下面４２Ｂの真直度の低下が抑止される。

　また、本実施の形態の定盤１０は、測定対象物が載置されて測定が行われる測定領域と、Ｙキャリッジ１４をＹ軸方向にガイドするＹガイド４２の領域（ガイド領域）とが溝４０によってＸ軸方向に不連続となっている。そのため、測定領域とガイド領域との間での熱伝導が抑止されており、ガイド領域（Ｙガイド４２）の近傍で発生する熱、即ち、Ｙ駆動機構により発生する熱であって、例えば、Ｙ駆動機構の駆動部８０のモータ等で発生した熱や、Ｙガイド４２とエアパッド６２Ｆ、６２Ｅ、６４Ｆ、６４Ｅ、６６Ｆ、６６Ｅ６８Ｆ、６８Ｅの間の摩擦熱等がガイド領域を介して測定領域に流れ込むことが抑止される。

　したがって、ガイド領域の近傍で発生した熱により定盤１０の測定領域に温度変化が生じることが抑止され、定盤１０の測定領域の変形が抑止される。そして、その熱により定盤１０のガイド領域に温度変化が生じ、温度勾配が生じたとしてもガイド領域の体積が小さいことから、ガイド領域の変形量は小さく、Ｙガイド４２の真直度への影響は殆ど生じないものとなっている。

　以上のことから、熱による定盤１０の変形が抑止され、Ｙガイド４２の真直度の低下が抑止されるため、Ｙキャリッジ１４のＹ軸方向への移動が精度良く行われる。したがって、熱の影響を受けない高精度な測定が可能となる。

　なお、定盤１０の右側面１０Ｒに沿って、Ｙガイド４２の領域の全体、又は、Ｙガイド４２と溝４０の全体を覆うカバーを設け、定盤１０のガイド領域が周囲温度の変化の影響を受けないようにしてＹガイド４２の真直度を維持するようにしてもよい。また、そのカバー内の温度がＹ駆動機構等から発生する熱により上昇した場合等においてカバー内の空気を外部に排出してカバー内の温度を一定に保持する排気手段を設けてもよい。

　また、上記実施の形態では、定盤１０の前側面１０Ｆと後側面１０Ｅに断熱部材１５０、１５２を設けたが、定盤１０の左側面１０Ｌにも断熱部材を設けてもよい。

　以上、上記実施の形態の三次元座標測定装置１は、左右を反転した構成であってもよく、溝４０及びＹガイド４２は、定盤１０の右側面１０Ｒに沿った位置ではなく、定盤１０の左側面に沿った位置に形成してもよい。

　また、上記実施の形態では、Ｙガイド４２等の各面に摺動可能に当接する支持部材としてエアパッド（エアベアリング）を用いた場合を示したが、エアパッド以外の種類の支持部材を用いてもよい。また、Ｙガイド４２等の各面に摺動可能に当接する支持部材の配置や駆動部８０の配置も適宜変更することが可能である。溝４０の内部に配置される支持部材（エアパッド６６Ｆ、６６Ｅ）は、溝４０の右側面４０Ｒ以外の溝４０の内面に摺動可能に配置してもよい。

　以上の三次元座標測定装置１の作用効果について以下、補足的に説明する。

　上記実施の形態の三次元座標測定装置１において、駆動部８０のローラ８４の軸が定盤１０の上面１０Ｔに対して垂直方向に配置される。したがって、ローラ８４が定盤１０の垂直面で接触するのでゴミをかむことがなく、また定盤１０の側面を基準にして正確に測定することができる。

　また、ローラ８４は、定盤１０の側面（右側面１０Ｒ）に沿って駆動する。したがって、微小に定盤１０が変形しても定盤１０を基準にして測定することができる。もし、定盤１０と違う別レールをローラ８４が沿って移動すると、別レールの熱膨張など他の要因で定盤１０の変形と同期しない。

　また、エアパッド６４Ｆ、６４Ｅ、６６Ｆ、６６Ｅも定盤１０の側面に沿って垂直方向に配置される。したがって、上記と同様に定盤１０を基準にして位置が設定される。また、Ｙキャリッジ１４の移動時に進行方向に対して左右に振れるヨーイング誤差を低減することができる。

　また、垂直方向に配置した駆動部８０のローラ８４が同様に垂直方向に配置したエアパッド６６Ｆ、６６Ｅで挟むように配置される。したがって、急な駆動でも前後をエアパッドで挟むことで姿勢を崩すことなくヨーイング誤差及び振動を低減することができる。

　また、Ｙキャリッジ１４における支持点Ｐ１と支持点Ｐ２との距離（間隔）が、それらの支持点Ｐ１、Ｐ２と駆動点Ｐ０との距離（間隔）に対して十分に大きい。したがって、Ｙキャリッジ１４の振動を低減することができ、また、移動方向に対して移動方向が左右に振れるヨーイング誤差を低減することができる。

　また、定盤１０の溝４０側面に垂直な配置でエアパッド６６Ｆ、６６Ｅが配置される。したがって、定盤１０に溝４０を形成し、エアパッド６６Ｆ、６６Ｅによる支持点Ｐ１、Ｐ２を定盤１０の溝４０の側面とすることで、定盤１０の熱膨張などの変形にも追従し、定盤１０を基準にして測定することができる。

　また、エアパッド６４Ｆ、６４Ｅによる支持点Ｐ３、Ｐ４に対向するエアパッド６６Ｆ、６６Ｅが定盤１０の溝４０の側面に支持点Ｐ１、Ｐ２として存在し、それらによってＹガイド４２に支持される。したがって、定盤１０の側面を基準とすると共に、Ｙキャリッジ１４が従動側（左Ｙキャリッジ１８側）に対して駆動側（駆動部８０が配置される右Ｙキャリッジ１６側）だけで支持される。そのため、従動側の摺動抵抗は無視できる程度となり、ヨーイング誤差が大幅に低減される。

　また、Ｙキャリッジ１４の従動側はＺ軸方向のエアパッド７０のみが配置され、Ｙ軸方向を抑制するエアパッドがない。したがって、従動側に余計な抵抗を作ることなく、Ｙ軸方向の移動は駆動側に倣う形になる。その結果、振動を低減し、ヨーイングを低減することができる。

　また、Ｘガイド２０及び左Ｙキャリッジ１８の従動側のＺ軸方向のエアパッド７０のＹ軸方向の位置は、左Ｙキャリッジ１８の駆動側のエアパッド６６Ｆ、６６Ｅ（支持点Ｐ１、Ｐ２）又はエアパッド６４Ｆ、６４Ｅ（支持点Ｐ３、Ｐ４）の間に存在する。したがって、急な加減速においても支持点Ｐ１、Ｐ２（又は支持点Ｐ３、Ｐ４）の幅でＸガイド２０及び測定部のモーメントを受けるだけで、摺動抵抗はほとんどない。その結果、振動やヨーイング誤差は極めて小さくなる。

　次に、本実施形態の三次元座標測定装置１と比較例１～３の三次元座標測定装置とを比較して、本実施形態の三次元座標測定装置１の作用効果についてより詳しく説明する。なお、本発明は以下の作用効果の説明に限定されるものではない。

　図２３は、特開平５－３１２５５６号公報に開示されている比較例１の三次元座標測定装置３００の外観を示した正面図（正面概略図）である。また、図２４は、図２３中のＸＸＩＶ－ＸＸＩＶ線に沿う断面図（断面概略図）である。なお、比較例１の三次元座標測定装置３００において、本実施形態の三次元座標測定装置１と機能又は構成上同一のものについては、同一符号を付してその説明は省略する。

　図２３及び図２４に示すように、比較例１の三次元座標測定装置３００において、駆動部３０１により直接駆動される側（以下、駆動側と略す）の右Ｙキャリッジ１６を支持する支持部５０は、エアパッド３０２Ｒ及びエアパッド３０２Ｔを介して定盤１０に支持される。エアパッド３０２Ｒは定盤１０の右側面に配置され、エアパッド３０２Ｔは定盤１０の上面１０Ｔの右端側に配置される。また、エアパッド３０２Ｔは、Ｙ方向に沿った２箇所の位置に設けられている（図２４参照）。

　一方、比較例１の三次元座標測定装置３００において、駆動側の右Ｙキャリッジ１６に追従してＹ方向に移動する従動側（以下、従動側と略す）の左Ｙキャリッジ１８は、エアパッド３０３Ｔとエアパッド３０３Ｌとを介して定盤１０の上面１０Ｔに摺動自在に支持される。エアパッド３０３Ｔは定盤１０の上面１０Ｔに配置される。また、左Ｙキャリッジ１８の下端部には定盤１０の左側面に対向する支持部１８ａを有しており、この支持部１８によりエアパッド３０３Ｔが定盤１０の左側面に配置される。

　駆動部３０１は、例えば本実施形態の駆動部８０と基本的に同じ構成であり、エアパッド３０２Ｒの近傍に設けられている。なお、図２４中の二点鎖線で表した矩形枠は駆動部３０１の位置を示すものである。

　比較例１の三次元座標測定装置３００では、定盤１０の図２３中の両側面（両側の垂直面）にエアパット３０２Ｒとエアパッド３０３Ｌとを配置している。この場合、Ｙキャリッジ１４をＹ方向に前後移動させる上で一見安定するとも思われるが、Ｙキャリッジ１４のＹ方向の前後移動時にヨーイング誤差が大きくなる。

　すなわち、定盤１０の両側面にエアパット３０２Ｒとエアパッド３０３Ｌとを配置した場合、駆動側の右Ｙキャリッジ１６と従動側の左Ｙキャリッジ１８とにおいて、主たる駆動動作を制御する側と、その動作に追従する側との区分けがはっきりせず、双方とも同じような摺動抵抗を持つ。その結果、Ｙキャリッジ１４をＹ方向に移動させた場合に、右Ｙキャリッジ１６と左Ｙキャリッジ１８とのＹ方向の位置関係が一定とならず、例えばＺ軸周りに揺動することで、ヨーイング誤差が大きくなる。このため、本実施形態のように、駆動側の右Ｙキャリッジ１６はＹガイド４２（図３参照）に沿って移動させ、且つ従動側の左Ｙキャリッジ１８は摺動抵抗を極力小さくした方が、駆動側の右Ｙキャリッジ１６に追従して左Ｙキャリッジ１８が移動するため、前述のＺ軸周りの揺動は発生しない。

　また、比較例１の三次元座標測定装置３００では、従動側のエアパッド３０３Ｌの近傍には駆動部３０１は配置されておらず、さらに、従動側のエアパッド３０３Ｌは、駆動側のエアパッド３０２Ｒに対してＹキャリッジ１４を挟んで反対側に位置しており、エアパッド３０２Ｒと共に定盤１０の両側面を押さえ付けている。この場合、従動側のエアパッド３０３Ｌは定盤１０の反対側であって駆動部３０１から離れた場所に位置するので、エアパッド３０３Ｌと定盤１０の左側面との摺動により、駆動部３０１を支点とする大きな回転モーメントが発生する。

　また、エアパット３０２Ｒ及びエアパッド３０３Ｌにより定盤１０の両側面を挟むように両サイドから押した状態で、エアパット３０２Ｒ及びエアパッド３０３Ｌを定盤１０の押圧方向に対して垂直方向（Ｙ方向）に移動させる場合、この移動動作時の摺動抵抗のバランスが微小に崩れることに伴ってヨーイング誤差は顕著に悪化する。

　このようなヨーイング誤差を低減する方法として、例えば特開平７－２１８２４７号公報には、Ｙキャリッジ１４をＹ方向に大きな加速度で移動させた場合であってもＹキャリッジ１４の捻じれ及び曲がりを防止可能な特殊な構造の駆動部を設けることが開示されている。しかし、この特殊な構造の駆動部を採用した場合、三次元座標測定装置３００が大型化し、且つ駆動部の構造が複雑化するという問題がある。従って、比較例１の三次元座標測定装置３００では、Ｙキャリッジ１４の移動時にヨーイング誤差が発生するという問題がある。

　さらに比較例１の三次元座標測定装置３００では、定盤１０の上面１０Ｔの右端側にエアパッド３０２ＴをＹ方向に沿って２個配置しているものの、既述の図７に示した本実施形態の三次元座標測定装置１とは異なり、定盤１０の下面側にはエアパッドが配置されていない。すなわち、比較例１の三次元座標測定装置３００には、定盤１０又はこの定盤１０に設けられたＹガイド（図示せず）の下面に対向するエアパッドは設けられていないため、駆動側の右Ｙキャリッジ１６の上下方向（Ｚ軸方向）の位置を決定する部分は定盤１０の上面だけとなる。このため、比較例１の三次元座標測定装置３００では、ヨーイング誤差以外にピッチング誤差も問題となる。

　ピッチング誤差を低減するには、右Ｙキャリッジ１６をＹ方向に駆動する駆動部３０１と、右Ｙキャリッジ１６を支持するエアパッドとの位置関係が重要になる。例えば比較例１の三次元座標測定装置３００では、駆動部３０１を定盤１０の上面１０Ｔよりも下側に設けているので、定盤１０の上面１０Ｔを支点として右Ｙキャリッジ１６は瞬間的にＸ軸周りに傾く（揺動する）ことになる。このため、比較例１の三次元座標測定装置３００のように、単に定盤１０上だけで駆動側の右Ｙキャリッジ１６を支持している場合、その支持点は上下方向で一点だけになり、駆動部３０１による駆動時に定盤１０上の支持点を支点として回転モーメントが働く。その結果、右Ｙキャリッジ１６がＸ軸周りに揺動してピッチング誤差が顕著になる。

　また、Ｙキャリッジ１４（右Ｙキャリッジ１６）を単に定盤１０上だけで支持する場合、Ｙキャリッジ１４を駆動する際のピッチング誤差は、ヨーイング誤差にも影響する。すなわち、ピッチング誤差が発生する場合は、Ｙ方向の前後のエアパッド３０２Ｔの一方が定盤１０の上面１０Ｔから離れ、他方が上面１０Ｔに近づく形態になる。その際、右Ｙキャリッジ１６及び左Ｙキャリッジ１８は、非対称構造で駆動側の右Ｙキャリッジ１６の摺動抵抗が従動側の左Ｙキャリッジ１８よりも大きい方がよいが、そうした非対称性があるがゆえに、ピッチング誤差による変化によって摺動抵抗のバランスが左右でとれなくなる。このため、さらにＹキャリッジ１４は大きく捻られるように変形する。その結果、ヨーイング誤差の悪化につながるおそれがある。

　さらに、比較例１の三次元座標測定装置３００のように、定盤１０の上面側にエアパッド３０２Ｔを配置するが、下面側にエアパッドを配置しない場合、Ｙキャリッジ１４の荷重は、駆動側の右Ｙキャリッジ１６と従動側の左Ｙキャリッジ１８との双方に略均等に等分される。従動側にＹキャリッジ１４の半分の重量がかかれば、それだけ従動側の左Ｙキャリッジ１８の摺動抵抗が大きくなる。その結果、ヨーイング誤差が大きくなる。

　ピッチング誤差を低減するためには、本実施形態の三次元座標測定装置１のように、定盤１０の上下面をエアパッド６２Ｅ，６２Ｆ，６８Ｅ，６８Ｆ（図７参照）で挟み込み、その上下面の間に駆動部８０（図７参照）を設ける必要がある。その結果、Ｙキャリッジ１４（右Ｙキャリッジ１６）をＹ方向に移動した場合に、定盤１０の上下面の双方が右Ｙキャリッジ１６の支持点となり、さらにこれら２つの支持点に挟まれた位置に駆動部８０が位置するため、Ｙキャリッジ１４の加速時及び減速時でもピッチング誤差が発生し難くなる。なお、加速時及び減速時のピッチング誤差を抑えるためには、駆動部８０は、Ｙキャリッジ１４（右Ｙキャリッジ１６）のＹ方向の重心位置、例えばエアパッド６２Ｅとエアパッド６２Ｆとの中心位置にあることが好ましい。

　なお、比較例１の三次元座標測定装置３００では、定盤１０の下面にエアパッドが設けられておらず、右Ｙキャリッジ１６の支持点が上下方向で１点だけとなるので、Ｘ軸周りのピッチング誤差だけでなく、右Ｙキャリッジ１６のＹ軸周りの揺動、すなわち、ローリング誤差も発生するおそれがある。このようなローリング誤差が発生した場合にも、ピッチング誤差が発生した場合と同様に摺動抵抗のバランスが左右でとれなくなるので、ヨーイング誤差の悪化につながるおそれがある。

　これに対して、本実施形態の三次元座標測定装置１の右Ｙキャリッジ１６では、定盤１０の上面側のみならず下面側からもエアパッド６２Ｅ，６２Ｆ，６８Ｅ，６８Ｆ（図７参照）で押さえて右Ｙキャリッジ１６を上下で拘束して支持する。このため、駆動側の右Ｙキャリッジ１６の摺動抵抗は大きくなるが、従動側の左Ｙキャリッジ１８の摺動抵抗はその分比較的小さく抑えることができる。このとき、駆動側の右Ｙキャリッジ１６において定盤１０を上下方向で挟むことによって、Ｙキャリッジ１４のＹ方向の前後の倒れ（揺動）は補正できると共に、Ｙキャリッジ１４にかかる重量を駆動側部分でほとんど支持することが可能となる。

　また、本実施形態の三次元座標測定装置１の従動側の左Ｙキャリッジ１８は、駆動側の右Ｙキャリッジ１６を中心としたローリング誤差をなくすために単純に定盤１０の上面１０Ｔを基準に支持する役割になる。このため、駆動側の右Ｙキャリッジ１６は、Ｙキャリッジ１４を支えるべく定盤１０に対してローリングするが、従動側の左Ｙキャリッジ１８は、そのローリング誤差を緩和する程度に定盤１０の上面１０Ｔのみで軽く支えておく程度でよい。その結果、従動側の左Ｙキャリッジ１８では摺動抵抗が発生することなく、結果として駆動側の右Ｙキャリッジ１６の摺動抵抗に律速される形になり、ヨーイング誤差を小さく抑えることができる。

　図２５は、特開昭６４－０３５３１０号公報あるいは特開昭６２－２３５５０２号公報に開示されている比較例２の三次元座標測定装置４００の外観を示した正面図（正面概略図）である。なお、比較例２の三次元座標測定装置４００において、本実施形態の三次元座標測定装置１と機能又は構成上同一のものについては、同一符号を付してその説明は省略する。

　図２５に示すように、比較例２の三次元座標測定装置４００において、駆動側（駆動部の図示は省略）の右Ｙキャリッジ１６を支持する支持部５０は、エアパッド４０２Ｒとエアパッド４０２Ｔとエアパッド４０２Ｌとエアパッド４０２Ｂとを介してＹガイド４２（定盤１０）に支持される。エアパッド４０２Ｒは定盤１０のＹガイド４２の右側面に配置され、エアパッド４０２ＴはＹガイド４２の上面側に配置され、エアパッド４０２ＬはＹガイド４２の左側面に配置され、エアパッド４０２ＢはＹガイド４２の下面側に配置される。

　また、比較例２の三次元座標測定装置４００は、駆動側の右Ｙキャリッジ１６に追従してＹ方向に移動する従動側の左Ｙキャリッジ１８Ｌ及びその支持部５０Ｌを有する。ここで、従動側の左Ｙキャリッジ１８Ｌ及び支持部５０Ｌと、駆動側の右Ｙキャリッジ１６及び支持部５０とは左右対称な形状を有している。

　定盤１０の上面１０Ｔの左側端側には、溝４０Ａ及びＹガイド４２Ａが形成されている。溝４０Ａ及びＹガイド４２Ａと、溝４０及びＹガイド４２とは左右対称な形状を有している。そして、前述の支持部５０Ｌは、Ｙ方向に沿ってＹガイド４２Ａに移動自在に支持される。

　従動側の支持部５０Ｌは、エアパッド４０３Ｔとエアパッド４０３Ｂとを介してＹガイド４２Ａ（定盤１０）に支持される。エアパッド４０３ＴはＹガイド４２Ａの上面側に配置され、エアパッド４０３ＢはＹガイド４２Ａの下面側に配置される。なお、比較例２の三次元座標測定装置４００は、Ｙガイド４２Ａのさらに左側面側にエアパッドを配置した構成もとり得る。

　従動側の左Ｙキャリッジ１８Ｌにおいて、駆動側の右Ｙキャリッジ１６と同様に、Ｙガイド４２Ａの上下面にエアパッド４０３Ｔとエアパッド４０３Ｂとを配置した場合、駆動側の右Ｙキャリッジ１６と従動側の左Ｙキャリッジ１８Ｌとの双方において摺動抵抗が大きくなる。その結果、比較例２の三次元座標測定装置４００においても前述の比較例１と同様に、Ｙキャリッジ１４をＹ方向に移動させた場合に、右Ｙキャリッジ１６と左Ｙキャリッジ１８ＬとのＹ方向の位置関係が一定とならず、例えばＺ軸周りに揺動することで、ヨーイング誤差が大きくなるおそれがある。

　従って、ヨーイング誤差を抑えるためには、本実施形態の三次元座標測定装置１のように、主たる駆動動作を制御する側と、その動作に追従する側とを明確に区分けすることが好ましい。すなわち、駆動側の右Ｙキャリッジ１６は、摺動抵抗を大きくして少しでもＹガイド４２に沿って移動するようにしながら、従動側の左Ｙキャリッジ１８は、駆動側に追随してその移動に対して抵抗にならない程度に最低限で支える形が好ましい。

　図２６は、比較例３の三次元座標測定装置５００の外観を示した正面図（正面概略図）である。なお、比較例３の三次元座標測定装置５００において、本実施形態の三次元座標測定装置１と機能や構成上同一のものについては、同一符号を付してその説明は省略する。

　図２６に示すように、駆動部５０１によりＹ方向に駆動される駆動側の右Ｙキャリッジ１６を支持する支持部５０は、エアパッド５０２Ｒとエアパッド５０２Ｔとエアパッド５０２Ｌとを介してＹガイド４２（定盤１０）に支持される。エアパッド５０２Ｒは定盤１０のＹガイド４２の右側面に配置され、エアパッド５０２ＴはＹガイド４２の上面側に配置され、エアパッド５０２ＬはＹガイド４２の左側面に配置される。なお、エアパッド５０２Ｒ，５０２Ｔ，５０２ＬはそれぞれＹ方向に沿った２箇所の位置に設けられている。

　比較例３の三次元座標測定装置５００において、駆動側の右Ｙキャリッジ１６に追従してＹ方向に移動する従動側の左Ｙキャリッジ１８は、エアパッド５０３Ｔを介して定盤１０の上面１０Ｔに摺動自在に支持される。

　駆動部５０１は、Ｙガイド４２（定盤１０）の右側面に設けられたシャフト形リニアモータである。駆動部５０１は、支持部５０に固定されたシャフト形リニアモータの可動子５０１Ｂと、Ｙ方向に平行に配置された固定子（シャフト）５０１Ｃと、固定子５０１Ｃの両端をＹガイド４２の右側面に固定する固定部５０１Ａとを備える。

　また、比較例３の三次元座標測定装置５００においては、スケール１１２が、Ｙガイド４２の右側面と定盤１０の左側面とにそれぞれ設けられている。

　比較例３の三次元座標測定装置５００では、前述の比較例１と同様に、定盤１０の下面に対向するエアパッドが配置されていないので、右Ｙキャリッジ１６がＸ軸周りに揺動してピッチング誤差が顕著に生じるおそれがある。また、前述の比較例１で説明したように、ピッチング誤差による変化によって、右Ｙキャリッジ１６及び左Ｙキャリッジ１８の摺動抵抗のバランスが左右でとれなくなると共に、Ｙキャリッジ１４の荷重が右Ｙキャリッジ１６と左Ｙキャリッジ１８との双方に略均等に等分されてしまう。その結果、ヨーイング誤差が悪化するおそれがある。従って、ピッチング誤差及びヨーイング誤差を低減するためには、本実施形態の三次元座標測定装置１のように、定盤１０の上下面をエアパッド６２Ｅ，６２Ｆ，６８Ｅ，６８Ｆで挟み込み、その上下面の間に駆動部８０を設けることが好ましい。

　また、比較例３の三次元座標測定装置５００では、シャフト形リニアモータの駆動部５０１を構成する固定部５０１Ａ及び固定子５０１ＣがＹガイド４２（定盤１０）の右側面に設けられている。このように固定部５０１Ａ及び固定子５０１ＣをＹガイド４２（定盤１０）の右側面に設けた場合、定盤１０に対する固定部５０１Ａ及び固定子５０１Ｃの設置誤差が生じたり、各々の熱膨張係数の違いに起因するバイメタル効果によって固定部５０１Ａ及び固定子５０１Ｃに歪みが生じたりするおそれがある。この場合、定盤１０を基準とした測定精度を得るのは困難である。このため、本実施形態の三次元座標測定装置１のように、Ｙガイド４２（定盤１０）の右側面に当接するローラ８４を有する駆動部８０を設けることが好ましい。

　さらに比較例３の三次元座標測定装置５００では、スケール１１２がＹガイド４２の右側面と定盤１０の左側面とにそれぞれ設けられており、定盤１０の上面１０Ｔにおいて測定対象物が配置される測定領域からスケール１１２までの距離が長くなる。その結果、スタイラス２８の測定子が実際に配置されている位置のＹ座標値と、スケール１１２により実測されるＹキャリッジ１４のＹ座標値から得られる測定子のＹ座標値との差が大きくなる。また、Ｙキャリッジ１４のヨーイング方向の振れ等によって、Ｙキャリッジ１４のＹ座標値の測定精度の低下を招き易い。さらに、定盤１０の周縁部にスケール１１２を設置した場合には、スケール１１２が外気に近いために周囲温度に影響され易く、スケール１１２自体の伸縮による誤差も生じ易い。

　そのため、本実施形態の三次元座標測定装置１のように、溝４０の左側面４０Ｌ（図３参照）にスケール１１２を設けて、定盤１０の上面１０Ｔにおいて測定対象物が配置される測定領域からスケール１１２までの距離を短くすることが好ましい。すなわち、従動側の左Ｙキャリッジ１８、測定領域、スケール１１２、駆動側の右Ｙキャリッジ１６（駆動部８０）の順に配置されていることが好ましい。このように、スケール１１２を駆動側（右Ｙキャリッジ１６側）でかつ測定領域に近い場所に設けることで、ヨーイング誤差があっても誤差を極小化できる。なお、上面１０Ｔに対して垂直な左側面４０Ｌにスケールを設けた場合、仮に、定盤１０の上部（上方）からゴミやホコリが落ちてきたとしても、スケール１１２上に乗ることはなく、ゴミやホコリによるスケール１１２の読み取りの誤作動は起こらない。

　図２７は、本実施形態の三次元座標測定装置１の外観を示した正面図（正面概略図）である。図２８は、図２７中のＸＸＶＩＩＩ－ＸＸＶＩＩＩ線に沿う断面図（断面概略図）である。図２９は、定盤１０の上面１０Ｔを示した上面図であり、Ｙキャリッジ１４に設けられた各エアパッドと駆動部８０との配置を示した図である。また、図２８中の二点鎖線で示す矩形枠は、駆動部８０の位置を示している。

　図２７から図２９に示すように、本実施形態の三次元座標測定装置１は、上記比較例１から比較例３に対して、下記の相違点１から相違点４を有する。

　相違点１として、本実施形態の三次元座標測定装置１では、駆動側の右Ｙキャリッジ１６と、右Ｙキャリッジ１６の動作に追従（追従移動）する従動側の左Ｙキャリッジ１８との区分けを明確（左右非対称構造）にし、且つ従動側の左Ｙキャリッジ１８の摺動抵抗を極力小さくしている。これにより、Ｙキャリッジ１４をＹ方向に沿って移動させた際にＺ軸周りの揺動が抑えられ、ヨーイング誤差を抑えることができる。

　相違点２として、本実施形態の三次元座標測定装置１では、駆動部８０の駆動による回転モーメントがＹキャリッジ１４にかかるため、駆動部８０を挟み込むように駆動部８０により駆動される部分の上下左右前後にエアパッドを配置している。これにより、ヨーイング誤差の悪化につながるピッチング誤差及びローリング誤差を低減することができる。

　すなわち、本実施形態の三次元座標測定装置１では、ヨーイング誤差の低減するため、駆動側の右Ｙキャリッジ１６が定盤１０（Ｙガイド４２）の上下左右を挟み込む形態とされる。さらに、駆動部８０を中央としてこの駆動部８０のＹ方向の前後に、エアパッド６２Ｅ，６４Ｅ，６６Ｅ，６８Ｅと、エアパッド６２Ｆ，６４Ｆ，６６Ｆ，６８Ｆとを配置している。また、従動側のエアパッド７０は、定盤１０の上面側だけに限定して配置すると共に、Ｙ方向において駆動側の各エアパッドの前後の間隔の間に配置する。これにより、駆動側の方に摺動抵抗が集中し、従動側は単に支えるだけとなる。

　また、図２９に示すように、従動側のエアパッド７０は、駆動部８０を基準に定盤１０の略反対側に位置し、且つ従動側のエアパッド７０と駆動部８０を結ぶラインＬＸと、駆動部８０を挟んでその前後存在する２対のエアパッドを結ぶラインＬＹとが垂直になるようにすればよい。別の見方をすれば、駆動部８０は駆動側の２対のエアパッドの中間地点に設けるとともに、従動側のエアパッド７０も駆動側の２対のエアパッドの中間地点に設けた方が好ましい。

　相違点３として、本実施形態の三次元座標測定装置１では、Ｙガイド４２（定盤１０）の右側面に当接するローラ８４を有する駆動部８０を設けている。これにより、比較例３とは異なり、駆動部８０の設置誤差が生じたり、バイメタル効果による歪みが駆動部８０に発生したりすることが防止されるため、定盤１０を基準とした測定精度が得られる。

　相違点４として、本実施形態の三次元座標測定装置１では、溝４０の左側面４０Ｌにスケール１１２を設け、定盤１０の上面１０Ｔにおいて測定対象物が配置される測定領域からスケール１１２までの距離を短くしている。これにより、測定精度を向上させることができる。

　なお、上記実施形態では、定盤１０の上面１０Ｔに形成した溝４０によりＹガイド４２を形成しているが、他の方法でＹガイドを形成してもよい。

　図３０は、上記実施形態とは異なるＹガイド４２Ｚを備える他実施形態の三次元座標測定装置１Ａの正面概略図である。図３０に示すように、定盤１０の上面１０Ｔの図中右端部（右Ｙキャリッジ１６に対向する端部）には、Ｚ方向に凸状に設けられた凸部であって、且つＹ軸方向に延びた凸部が形成されている。そして、この凸部によって、右Ｙキャリッジ１６をＹ軸方向に移動自在に支持するＹガイド４２Ｚが形成される。なお、三次元座標測定装置１Ａは、Ｙガイド４２Ｚを備える点を除けば、上記実施形態の三次元座標測定装置１と基本的に同じ構成である。

　このように凸部によってＹガイド４２Ｚを形成することも可能である。ここで、Ｙガイド４２Ｚが例えば定盤１０とは別の素材で形成されていた場合には、定盤１０及びＹガイド４２Ｚの双方の熱伝導率が異なるため、Ｙガイド４２Ｚに変形が生じる場合がある。また、定盤１０が僅かに反っている場合には、定盤基準の測定を行うことができないおそれがある。このため、上記実施形態で説明したように、溝４０によりＹガイド４２を形成することが好ましい。

　１…三次元座標測定装置、１０…定盤、１０Ｂ，２０Ｂ，４２Ｂ，２０２Ｂ…下面、１０Ｒ，２４Ｒ，４０Ｒ，４２Ｒ，２５０Ｒ…右側面、１０Ｔ，２０Ｔ，４２Ｔ，２０２Ｔ…上面、１２…架台、１４…Ｙキャリッジ、１６…右Ｙキャリッジ、１８…左Ｙキャリッジ、２０…Ｘガイド、２０Ｅ，２４Ｅ，２０２Ｅ，２５０Ｅ…後面、２０Ｆ，２４Ｆ，２０２Ｆ，２５０Ｆ…前面、２２…Ｚコラム、２４…Ｚキャリッジ、２４Ｌ，４０Ｌ，４２Ｌ，２５０Ｌ…左側面、２６…測定プローブ、２８…スタイラス、４０…溝、４０Ｂ…底面、４２…Ｙガイド、５０，２００…支持部、５２…基端部、５４…右側部、５６…左側部、５８…先端部、５８Ａ…支持板、６２Ｅ，６２Ｆ，６４Ｅ，６４Ｆ，６６Ｅ，６６Ｆ，６８Ｅ，６８Ｆ，７０，２１０，２１２，２１４，２１６，２６０，２６２，２６４，２６６…エアパッド、８０，２２０，２７０…駆動部、８２，２２２，２７２…モータ、８４，２２４，２７４…ローラ、１１０…リニアエンコーダ、１１２…スケール、１１４…光センサ、１３０Ｌ…左レール、１３０Ｒ…右レール、１３２Ｌ、１３２Ｒ…ガイド溝、１３４、１３４Ｅ、１３４Ｆ…蛇腹カバー、１５０、１５２…断熱部材、２０２…Ｘガイド挿通孔、２５０…Ｚキャリッジ挿通孔

Claims

　上下面と側面を有し、測定対象物を載置する定盤と、
　測定プローブを支持し、前記定盤を跨いで前記定盤のＹ軸方向に移動自在な門型のＹキャリッジであって、二つの支柱部材により定盤に支持されるＹキャリッジと、を備え、
　前記二つの支柱部材は、前記Ｙキャリッジを前記Ｙ軸方向に駆動する駆動機構をもつ第１の支柱部材と、前記第１の支柱部材に追従移動する第２の支柱部材とを有し、
　前記定盤は、前記第１の支柱部材側で、前記定盤の上下面に垂直な対の２側面を有し、
　前記第１の支柱部材は、前記定盤の上下方向を挟み込む上下支持部材と、前記対の２側面を挟み込む側面支持部材との少なくとも一方で前記定盤に支持され、
　前記第２の支柱部材は、前記定盤の上面にある上面支持部材で支持される、
　三次元座標測定装置。
　前記定盤の前記第１の支柱部材側の側面を第１の側面とした場合、前記定盤の上面における前記第１の側面側には前記Ｙ軸方向に沿って溝が形成され、且つ前記第１の支柱部材は、前記第１の側面及び前記溝の内面に摺動可能に配置されており、
　前記溝の内面は、互いに対向する前記Ｙ軸方向に沿った第２の側面と第３の側面とを有し、且つ前記第２の側面は前記第３の側面よりも前記第１の側面に近い側に形成されており、
　前記２側面は、前記第１の側面と前記第２の側面とにより構成される請求項１に記載の三次元座標測定装置。
　前記第１の支柱部材が少なくとも前記側面支持部材にて前記定盤に支持される場合、
　前記側面支持部材は、
　前記２側面の一方に摺動可能に配置されており、前記Ｙ軸方向に沿った２箇所に設けられた第１の支持部材及び第２の支持部材と、
　前記２側面の他方に摺動可能に配置されており、前記Ｙ軸方向に沿った２箇所に設けられた第３の支持部材及び第４の支持部材と、を有し、
　前記第１の支持部材と前記第３の支持部材、及び、前記第２の支持部材と前記第４の支持部材は、互いに対向する位置に配置されている請求項１又は２に記載の三次元座標測定装置。
　前記第１の支柱部材が少なくとも前記上下支持部材にて前記定盤に支持される場合、
　前記上下支持部材は、
　前記定盤の上面に摺動可能に配置されており、前記Ｙ軸方向に沿った２箇所に設けられた第５の支持部材及び第６の支持部材と、
　前記定盤の下面に摺動可能に配置されており、前記Ｙ軸方向に沿った２箇所に設けられた第７の支持部材及び第８の支持部材と、を有し、
　前記第５の支持部材と前記第７の支持部材、及び、前記第６の支持部材と前記第８の支持部材は、互いに対向する位置に配置されている請求項１から３のいずれか１項に記載の三次元座標測定装置。
　前記駆動機構は、前記第１の支柱部材が前記側面支持部材にて前記定盤に支持される場合、２箇所の前記側面支持部材の間となる位置で前記２側面の一方に当接し、且つ前記第１の支柱部材が前記上下支持部材にて前記定盤に支持される場合、２箇所の前記上下支持部材の間となる位置で前記２側面の一方に当接する請求項１から４のいずれか１項に記載の三次元座標測定装置。
　前記２箇所の前記Ｙ軸方向の距離は、前記２側面の間の距離よりも大きい請求項５に記載の三次元座標測定装置。
　前記駆動機構は、前記２側面の一方に当接するローラと、前記ローラを回転させるモータとを備える請求項５又は６に記載の三次元座標測定装置。
　前記第１の支柱部材と前記第２の支柱部材との間の位置において前記定盤に前記Ｙ軸方向に沿って配置されたスケールにより、前記Ｙキャリッジの前記Ｙ軸方向の位置を検出する位置検出手段を備える請求項１から７のいずれか１項に記載の三次元座標測定装置。
　前記定盤の前記第１の支柱部材の側にある側面を第１の側面とした場合、前記定盤の上面における前記第１の側面の側には前記Ｙ軸方向に沿って溝が形成され、且つ前記第１の支柱部材は、前記第１の側面及び前記溝の内面に摺動可能に配置されており、
　前記溝の内面は、互いに対向する前記Ｙ軸方向に沿った第２の側面と第３の側面とを有し、且つ前記第２の側面は前記第３の側面よりも前記第１の側面に近い側に形成されており、
　前記スケールは、前記第３の側面に設置される請求項８に記載の三次元座標測定装置。
　前記溝の開口を被覆する被覆部材を備える請求項９に記載の三次元座標測定装置。
　前記定盤のＸ軸方向に沿った側面を覆う断熱部材を備える請求項１から１０のいずれか１項に記載の三次元座標測定装置。
　前記上下支持部材と前記側面支持部材と上面支持部材とは、エアパッドである請求項１から１１のいずれか１項に記載の三次元座標測定装置。
　前記定盤は、石材定盤である請求項１から１２のいずれか１項に記載の三次元座標測定装置。