JP2578007B2 - 基板貼合装置 - Google Patents
基板貼合装置Info
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- JP2578007B2 JP2578007B2 JP2039929A JP3992990A JP2578007B2 JP 2578007 B2 JP2578007 B2 JP 2578007B2 JP 2039929 A JP2039929 A JP 2039929A JP 3992990 A JP3992990 A JP 3992990A JP 2578007 B2 JP2578007 B2 JP 2578007B2
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- Japan
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- stage
- substrate
- glass substrate
- bonding apparatus
- main body
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Description
【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本発明は２枚の基板、例えば液晶基板における上ガラ
ス基板と下ガラス基板とを重ね合わせ高精度で貼り合わ
せる基板貼合装置に関する。
ス基板と下ガラス基板とを重ね合わせ高精度で貼り合わ
せる基板貼合装置に関する。
＜従来の技術＞ この種の基板貼合装置の従来例としては第５図に示す
ようなものが掲げられる。
ようなものが掲げられる。
図中10は、図外の装置本体に固定された上ステージ10
である。この上ステージ10の下面には上ガラス基板ａを
吸着して取り付けることができるようになっている。一
方の下ガラス基板ｂはガイド機構60を介して装置本体に
装備された下ステージ20上に取り付けることができるよ
うになっている。ガイド機構60はレールであるＸ軸ガイ
ド61、Ｙ軸ガイド62、シャフト軸であるＺ軸ガイド63、
リング状のベアリングであるθ軸ガイド64から構成され
ており、これで下ステージ20をＸ、Ｙ、Ｚ、θ方向に移
動自在にするようになっている。ここにＸ、Ｚ方向とは
図中示されている方向である一方、Ｙ方向とは紙面垂直
な方向で、θ方向とはＺ軸を軸芯とした回転方向である
とする。
である。この上ステージ10の下面には上ガラス基板ａを
吸着して取り付けることができるようになっている。一
方の下ガラス基板ｂはガイド機構60を介して装置本体に
装備された下ステージ20上に取り付けることができるよ
うになっている。ガイド機構60はレールであるＸ軸ガイ
ド61、Ｙ軸ガイド62、シャフト軸であるＺ軸ガイド63、
リング状のベアリングであるθ軸ガイド64から構成され
ており、これで下ステージ20をＸ、Ｙ、Ｚ、θ方向に移
動自在にするようになっている。ここにＸ、Ｚ方向とは
図中示されている方向である一方、Ｙ方向とは紙面垂直
な方向で、θ方向とはＺ軸を軸芯とした回転方向である
とする。
下ステージ20をＸ、Ｙ、Ｚ、θ方向に動かせるに必要
な駆動力は次に説明する駆動機構70により得られるよう
になっている。この駆動機構70はモータとボール螺子機
構とを組み合わせた独立の機構を４組含んだ構成となっ
ている。なお、図中では下ステージ20をＺ方向に交互に
動かせる上下駆動機構71のみが示されており、他につい
ては図示省略されている。
な駆動力は次に説明する駆動機構70により得られるよう
になっている。この駆動機構70はモータとボール螺子機
構とを組み合わせた独立の機構を４組含んだ構成となっ
ている。なお、図中では下ステージ20をＺ方向に交互に
動かせる上下駆動機構71のみが示されており、他につい
ては図示省略されている。
上記のような構成の基板貼合装置により上ガラス基板
ａと下ガラス基板ｂとが貼り合わされるまでの過程につ
いて説明する。
ａと下ガラス基板ｂとが貼り合わされるまでの過程につ
いて説明する。
まず、初期状態では、上ステージ10と下ステージ20と
の間には隙間が出来ており、この隙間を通じて上ステー
ジ10、下ステージ20に上ガラス基板ａ、下ガラス基板ｂ
を夫々取り付ける。そして上下駆動機構71を動作させ
て、下ステージ20をＺ方向に動かせると、下ステージ20
が上ステージ10に近接するとともに上ガラス基板ａと下
ガラス基板ｂとが接触し、両者の間に存在する接着剤に
より互いに貼り付けられ、液晶基板が作成されるように
なっている。
の間には隙間が出来ており、この隙間を通じて上ステー
ジ10、下ステージ20に上ガラス基板ａ、下ガラス基板ｂ
を夫々取り付ける。そして上下駆動機構71を動作させ
て、下ステージ20をＺ方向に動かせると、下ステージ20
が上ステージ10に近接するとともに上ガラス基板ａと下
ガラス基板ｂとが接触し、両者の間に存在する接着剤に
より互いに貼り付けられ、液晶基板が作成されるように
なっている。
このとき両基板に付けられたアライメントマークがず
れていたならば、下ステージ20をＸ、Ｙ平面上を動かせ
るべく、駆動機構70を所定動作させる。すると、上ステ
ージ10側の上ガラス基板ａは固定のままであるが、下ス
テージ20側の下ガラス基板ｂが動き、これで貼合圧力が
加えられた状態におけるガラス基板ａと下ガラス基板ｂ
との位置合わせが行われるようになっている。そして所
定時間経過後に上下駆動機構71を再び動作させ、下ステ
ージ20をＺ方向に動かすと、上ステージ10との間に隙間
ができるので、この隙間を通じて下ステージ20側に付い
た液晶基板を取り出すようにする。
れていたならば、下ステージ20をＸ、Ｙ平面上を動かせ
るべく、駆動機構70を所定動作させる。すると、上ステ
ージ10側の上ガラス基板ａは固定のままであるが、下ス
テージ20側の下ガラス基板ｂが動き、これで貼合圧力が
加えられた状態におけるガラス基板ａと下ガラス基板ｂ
との位置合わせが行われるようになっている。そして所
定時間経過後に上下駆動機構71を再び動作させ、下ステ
ージ20をＺ方向に動かすと、上ステージ10との間に隙間
ができるので、この隙間を通じて下ステージ20側に付い
た液晶基板を取り出すようにする。
＜発明が解決しようとする課題＞ しかしながら、上記従来例による場合には、次に述べ
るような欠点が指摘されている。
るような欠点が指摘されている。
まず、第１の欠点としては、貼合圧力が上ガラス基板
ａと下ガラス基板ｂとに加えられた状態で下ステージ20
を動かすと、この過程で両基板の間に反力が生じ、この
反力がガイド機構60に直接作用してこの各部が撓むので
ある。この反力は時間の経過とともに小さくなるが、ガ
イド機構60の各部に生じていた撓みも開放されることに
なる。この結果、下ステージ20が若干動いてしまい、こ
れが上ガラス基板ａと下ガラス基板ｂとのアライメント
精度を高める上で大きな障害となっている。
ａと下ガラス基板ｂとに加えられた状態で下ステージ20
を動かすと、この過程で両基板の間に反力が生じ、この
反力がガイド機構60に直接作用してこの各部が撓むので
ある。この反力は時間の経過とともに小さくなるが、ガ
イド機構60の各部に生じていた撓みも開放されることに
なる。この結果、下ステージ20が若干動いてしまい、こ
れが上ガラス基板ａと下ガラス基板ｂとのアライメント
精度を高める上で大きな障害となっている。
次に、第２の欠点としては、上ガラス基板ａ又は下ガ
ラス基板ｂの厚みが不均一である場合には、貼合圧力も
面全体にわたって均一でなく、部分的に無理な力が加わ
り、破損の虞れがあるという欠点がある。
ラス基板ｂの厚みが不均一である場合には、貼合圧力も
面全体にわたって均一でなく、部分的に無理な力が加わ
り、破損の虞れがあるという欠点がある。
本発明は上記事情に鑑みて創案されたものであり、そ
の目的とするところは、基板のアライメント精度を高め
ることができ又は基板の厚みの不均一に関係なく均一な
貼合圧力を得ることができる基板貼合装置を提供するこ
とにある。
の目的とするところは、基板のアライメント精度を高め
ることができ又は基板の厚みの不均一に関係なく均一な
貼合圧力を得ることができる基板貼合装置を提供するこ
とにある。
＜課題を解決するための手段＞ 本発明の第１請求項にかかる基板貼合装置は、本体の
天板に固定され第１の基板を取り付けた第１のステージ
と、本体の下板に固定され第２の基板を取り付けた第２
のステージとが面接触位置から面離反位置にかけて動く
構成となっており、前記第１の基板と第２の基板とを互
いに重ねて貼り合わせる基板貼合装置において、前記第
１のステージは天板の下面に取り付けられ第２のステー
ジの周面を囲んで配置された複数対の駆動機構を具備し
ており、前記第２のステージは下板に対して第２のステ
ージをＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向及びＺ方向を軸芯とした
回転方向θに移動させるガイド機構と、下板に対して第
２のステージをＺ方向に昇降させる上下駆動機構とを具
備しており、かつ、前記１対の駆動機構は第２のステー
ジをＸ方向、Ｙ方向に移動させる移動部材と、この移動
部材に対向して設けられ移動部材を常に反対方向に与圧
する付勢部材と備えたことを特徴としている。
天板に固定され第１の基板を取り付けた第１のステージ
と、本体の下板に固定され第２の基板を取り付けた第２
のステージとが面接触位置から面離反位置にかけて動く
構成となっており、前記第１の基板と第２の基板とを互
いに重ねて貼り合わせる基板貼合装置において、前記第
１のステージは天板の下面に取り付けられ第２のステー
ジの周面を囲んで配置された複数対の駆動機構を具備し
ており、前記第２のステージは下板に対して第２のステ
ージをＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向及びＺ方向を軸芯とした
回転方向θに移動させるガイド機構と、下板に対して第
２のステージをＺ方向に昇降させる上下駆動機構とを具
備しており、かつ、前記１対の駆動機構は第２のステー
ジをＸ方向、Ｙ方向に移動させる移動部材と、この移動
部材に対向して設けられ移動部材を常に反対方向に与圧
する付勢部材と備えたことを特徴としている。
本発明の第２請求項にかかる基板貼合装置は、本体の
天板に固定され第１の基板を取り付けた第１のステージ
と、本体の下板に固定され第２の基板を取り付けた第２
のステージとが面接触位置から面離反位置にかけて動く
構成となっており、前記第１の基板と第２の基板とを互
いに重ねて貼り合わせる基板貼合装置において、前記第
２のステージは、下板に対してガイド機構を介してＸ方
向、Ｙ方向及びＺ方向を軸芯とした回転方向θに移動可
能に設けられたステージ本体と、第２の基板を取り付け
るステージとを具備しており、前記ステージはその中央
部が半球状先端部を有する支持台によって支持されてお
り、かつ、ステージとステージ本体の縁部との間には複
数個のバネが設けられていることを特徴としている。
天板に固定され第１の基板を取り付けた第１のステージ
と、本体の下板に固定され第２の基板を取り付けた第２
のステージとが面接触位置から面離反位置にかけて動く
構成となっており、前記第１の基板と第２の基板とを互
いに重ねて貼り合わせる基板貼合装置において、前記第
２のステージは、下板に対してガイド機構を介してＸ方
向、Ｙ方向及びＺ方向を軸芯とした回転方向θに移動可
能に設けられたステージ本体と、第２の基板を取り付け
るステージとを具備しており、前記ステージはその中央
部が半球状先端部を有する支持台によって支持されてお
り、かつ、ステージとステージ本体の縁部との間には複
数個のバネが設けられていることを特徴としている。
＜作用＞ まず、本発明の第１請求項にかかる基板貼合装置につ
いて説明する。
いて説明する。
第１のステージと第２のステージとを面離反位置から
面接触位置に動かすと、第１の基板と第２の基板とが互
いに重ね合わされ、両者間に存在する接着剤により貼り
合わされる。
面接触位置に動かすと、第１の基板と第２の基板とが互
いに重ね合わされ、両者間に存在する接着剤により貼り
合わされる。
この際、第１の基板と第２の基板とが位置ずれをして
いたならば、この位置ずれに応じて駆動機構を動作させ
る。すると、駆動機構により作り出された駆動力が直接
に第２のステージに伝わり、第２のステージのみがガイ
ド機構により規制されて平面的に動くとともに、第２の
基板のみが動かされ、結果として、第１の基板との第２
の基板の位置ずれが打ち消される。このとき、第１の基
板と第２の基板との間に発生する反力は、ガイド機構及
び駆動機構に伝達される。しかしながら、駆動機構は付
勢部材によって発生する与圧によって移動部材を常に反
対方向に押し込んでいる。従って、前記反力の全てがガ
イド機構に直接作用するわけでなく、ガイド機構に作用
する反力は駆動機構の移動部材に作用する分だけ少ない
ものになる。それ故、第２のステージの位置決めに大き
な影響を有するガイド機構における各部の撓み量は非常
に小さく、この撓みが元に戻った際における第２のステ
ージの移動量も極めて小さいものとなる。
いたならば、この位置ずれに応じて駆動機構を動作させ
る。すると、駆動機構により作り出された駆動力が直接
に第２のステージに伝わり、第２のステージのみがガイ
ド機構により規制されて平面的に動くとともに、第２の
基板のみが動かされ、結果として、第１の基板との第２
の基板の位置ずれが打ち消される。このとき、第１の基
板と第２の基板との間に発生する反力は、ガイド機構及
び駆動機構に伝達される。しかしながら、駆動機構は付
勢部材によって発生する与圧によって移動部材を常に反
対方向に押し込んでいる。従って、前記反力の全てがガ
イド機構に直接作用するわけでなく、ガイド機構に作用
する反力は駆動機構の移動部材に作用する分だけ少ない
ものになる。それ故、第２のステージの位置決めに大き
な影響を有するガイド機構における各部の撓み量は非常
に小さく、この撓みが元に戻った際における第２のステ
ージの移動量も極めて小さいものとなる。
その後、第１のステージと第２のステージとを面接触
位置から面離反位置に動かし、貼り合わされた第１の基
板と第２の基板とを取り出す。
位置から面離反位置に動かし、貼り合わされた第１の基
板と第２の基板とを取り出す。
次に、本発明の第２請求項にかかる基板貼合装置につ
いて説明する。
いて説明する。
第１のステージと第２のステージとを面離反位置から
面接触位置に動かすと、第１の基板及び第２の基板に貼
合圧力が加えられる。このとき、第１の基板と第２の基
板の厚みが不均一であると、これに応じて第２のステー
ジの中でも少なくとも第２の基板の載置部分が自由に傾
くので、結果として、第１の基板と第２の基板に加えら
れる貼合圧力は面全体にわたって均一となる。
面接触位置に動かすと、第１の基板及び第２の基板に貼
合圧力が加えられる。このとき、第１の基板と第２の基
板の厚みが不均一であると、これに応じて第２のステー
ジの中でも少なくとも第２の基板の載置部分が自由に傾
くので、結果として、第１の基板と第２の基板に加えら
れる貼合圧力は面全体にわたって均一となる。
＜実施例＞ 以下、本発明にかかる基板貼合装置の一実施例を図面
を参照して説明する。第１図、第２図は基板貼合装置の
側面図、平面図、第３図（ａ）、（ｂ）は下ステージの
平面図、側面図、第４図は下ステージの機能を説明する
ための第３図（ｂ）に対応する図である。
を参照して説明する。第１図、第２図は基板貼合装置の
側面図、平面図、第３図（ａ）、（ｂ）は下ステージの
平面図、側面図、第４図は下ステージの機能を説明する
ための第３図（ｂ）に対応する図である。
ここに掲げる基板貼合装置は、液晶基板製造用のもの
で、液晶基板としての上ガラス基板と下ガラス基板とを
高精度にアライメントし貼り合わせる装置である。第１
図及び第２図を参照してその機械構成について説明す
る。
で、液晶基板としての上ガラス基板と下ガラス基板とを
高精度にアライメントし貼り合わせる装置である。第１
図及び第２図を参照してその機械構成について説明す
る。
図中１は図外の装置本体に固定された天板である。こ
の天板１の下面中央部には上ステージ10（第１のステー
ジに相当する）が固定されており、上ステージ10の面上
には上ガラス基板ａ（第１の基板に相当する）を吸着し
て取り付けることができるようになっている（第４図参
照）。また、天板１の下面でも上ステージ10の周囲に相
当する部位には後述する駆動機構40X1、40X2、40Yが固
定されている。なお、第１図中示すＺ方向は上ステージ
10の面に対する鉛直方向に、第２図中に示すＸ、Ｙ、θ
方向は上ステージ10の平面上に夫々設定されている。
の天板１の下面中央部には上ステージ10（第１のステー
ジに相当する）が固定されており、上ステージ10の面上
には上ガラス基板ａ（第１の基板に相当する）を吸着し
て取り付けることができるようになっている（第４図参
照）。また、天板１の下面でも上ステージ10の周囲に相
当する部位には後述する駆動機構40X1、40X2、40Yが固
定されている。なお、第１図中示すＺ方向は上ステージ
10の面に対する鉛直方向に、第２図中に示すＸ、Ｙ、θ
方向は上ステージ10の平面上に夫々設定されている。
また、図中２は、天板１と同じく装置本体に固定され
た下板である。この下板２の上面にはガイド機構30等を
介して下ステージ20（第２のステージに相当する）が移
動自在に設けられており、下ステージ20の上面には、下
ガラス基板ｂ（第２の基板に相当する）を取り付けるこ
とができるようになっている（第４図参照）。なお、下
ステージ20は上ステージ10に対向配置されている。
た下板である。この下板２の上面にはガイド機構30等を
介して下ステージ20（第２のステージに相当する）が移
動自在に設けられており、下ステージ20の上面には、下
ガラス基板ｂ（第２の基板に相当する）を取り付けるこ
とができるようになっている（第４図参照）。なお、下
ステージ20は上ステージ10に対向配置されている。
ここでガイド機構30について詳しく説明する。
下板２と下段台31との間には２本のレールであるＸ軸
ガイド34が設けられており、これで下段台31が下板２に
対してＸ方向に移動自在にされている。
ガイド34が設けられており、これで下段台31が下板２に
対してＸ方向に移動自在にされている。
また下段台31と中段台32との間にはＸ軸ガイド34と同
じ構造のＹ軸ガイド35が設けられており、これで中段台
32が下段台31に対してＹ方向に移動自在にされている。
更に、中段台32と上段台33との間には２本のシャフトで
あるＺ軸ガイド36が設けられており、これで上段台33が
中段台32に対してＺ軸方向に移動自在にされている。こ
の上段台33と下ステージ20との間にはリング状をなした
ベアリングであるθ軸ガイド37が設けられており、これ
で下ステージ20が上段台33に対してθ方向に移動自在に
されている。
じ構造のＹ軸ガイド35が設けられており、これで中段台
32が下段台31に対してＹ方向に移動自在にされている。
更に、中段台32と上段台33との間には２本のシャフトで
あるＺ軸ガイド36が設けられており、これで上段台33が
中段台32に対してＺ軸方向に移動自在にされている。こ
の上段台33と下ステージ20との間にはリング状をなした
ベアリングであるθ軸ガイド37が設けられており、これ
で下ステージ20が上段台33に対してθ方向に移動自在に
されている。
つまり上記のように構造のガイド機構30により下ステ
ージ20が下板２に対してＸ、Ｙ、Ｚ、θ方向に移動自在
にされるようになっている。
ージ20が下板２に対してＸ、Ｙ、Ｚ、θ方向に移動自在
にされるようになっている。
また、中段台32にはＺ軸ガイド36の他に、ボール螺子
機構である上下駆動機構50が設けられており、上下駆動
機構50を動作させると、上段台33を中段台32に対して、
言い換えると、下ステージ20を下板２に対してＺ方向に
動かすことができるようになっている。しかも下ステー
ジ20が上ステージ10に近接すると、両者の間に上ガラス
基板ａと下ガラス基板ｂとが挟み込まれ、かかる状態に
至ると、上記した駆動機構40x1、40x2、40yにより下ス
テージ20をＸ、Ｙ、θ方向に動かすことができるように
なっている。
機構である上下駆動機構50が設けられており、上下駆動
機構50を動作させると、上段台33を中段台32に対して、
言い換えると、下ステージ20を下板２に対してＺ方向に
動かすことができるようになっている。しかも下ステー
ジ20が上ステージ10に近接すると、両者の間に上ガラス
基板ａと下ガラス基板ｂとが挟み込まれ、かかる状態に
至ると、上記した駆動機構40x1、40x2、40yにより下ス
テージ20をＸ、Ｙ、θ方向に動かすことができるように
なっている。
ここで駆動機構40x1について説明する。図中41x1は天
板１の下面に固定されたモータである。モータ41x1のシ
ャフトは、天板１側のサポートベアリング42x1に支持さ
れたボール螺子45x1に連結されており、このボール螺子
45x1の先端部には、天板１に固定したスライド49x1によ
りＸ方向に交互に移動自在な移動部材43x1が連結されて
いる。この移動部材43x1の内部には、ボール螺子45x1に
螺着されたナットが設けられている一方、先端部には下
ステージ20の一側面に接触するローラフォロア44x1が設
けられている。また、天板１の下面でも上ステージ10を
基準とするモータ41x1の対向位置には、バネ45x1を介し
て付勢部材46x1が設けられており、付勢部材46x1のモー
タ41x1側先端部には、下ステージ20の他端面に接触する
ローラフォロア48x1が設けられている。
板１の下面に固定されたモータである。モータ41x1のシ
ャフトは、天板１側のサポートベアリング42x1に支持さ
れたボール螺子45x1に連結されており、このボール螺子
45x1の先端部には、天板１に固定したスライド49x1によ
りＸ方向に交互に移動自在な移動部材43x1が連結されて
いる。この移動部材43x1の内部には、ボール螺子45x1に
螺着されたナットが設けられている一方、先端部には下
ステージ20の一側面に接触するローラフォロア44x1が設
けられている。また、天板１の下面でも上ステージ10を
基準とするモータ41x1の対向位置には、バネ45x1を介し
て付勢部材46x1が設けられており、付勢部材46x1のモー
タ41x1側先端部には、下ステージ20の他端面に接触する
ローラフォロア48x1が設けられている。
即ち、モータ41x1を動作させて、移動部材43x1が反Ｘ
方向に移動すると、下ステージ20とともに付勢部材46x1
が動かされてバネ45x1を縮むようになっている。その
後、モータ41x1を上記とは反対に動作させ、移動部材43
x1がＸ方向に移動すると、バネ45x1の付勢力により付勢
部材46x1とともに下ステージ20が動かされるようになっ
ている。
方向に移動すると、下ステージ20とともに付勢部材46x1
が動かされてバネ45x1を縮むようになっている。その
後、モータ41x1を上記とは反対に動作させ、移動部材43
x1がＸ方向に移動すると、バネ45x1の付勢力により付勢
部材46x1とともに下ステージ20が動かされるようになっ
ている。
一方、駆動機構40x2、40yについては駆動機構40x1と
全く同一の構造で、ただ、これらは、第２図に示すよう
に下ステージ20に対する配置関係のみが異なっている。
即ち、駆動機構40x1、40x2を同じように動作させると、
駆動機構40yにおけるローラフォロア44y、48yが回転し
て滑るとともに、下ステージ20がＸ方向に交互に動かさ
れるようになっている。また、駆動機構40x1、40x2の何
れか一方を動作させると、同様に、下ステージ20がθ方
向に交互に動かされようになっている。そして駆動機構
40yのみを動作させると、駆動機構40x1、40x2における
ローラフォロア44x1、48x2、44x1、48x2が回転して滑る
とともに、下ステージ20がＹ方向に交互に動かされるよ
うになっている。
全く同一の構造で、ただ、これらは、第２図に示すよう
に下ステージ20に対する配置関係のみが異なっている。
即ち、駆動機構40x1、40x2を同じように動作させると、
駆動機構40yにおけるローラフォロア44y、48yが回転し
て滑るとともに、下ステージ20がＸ方向に交互に動かさ
れるようになっている。また、駆動機構40x1、40x2の何
れか一方を動作させると、同様に、下ステージ20がθ方
向に交互に動かされようになっている。そして駆動機構
40yのみを動作させると、駆動機構40x1、40x2における
ローラフォロア44x1、48x2、44x1、48x2が回転して滑る
とともに、下ステージ20がＹ方向に交互に動かされるよ
うになっている。
次に、下ステージ20の詳細について第３図及び第４図
を参照して説明する。
を参照して説明する。
上段台33にθ軸ガイド37を介して取り付けられたステ
ージ本体22には、底面中央部に支持台23に有する凹部22
1が形成されている。この凹部221の開口面には、下ステ
ージ20を取り付け可能なステージ21が設けられている。
このステージ21の裏面中央部と支持台23の半球状先端部
とは接触しており、これでステージ21が点支持されるよ
うになっている。また、ステージ21とステージ本体22の
縁部との間には、複数個の板バネ24が設けられており、
ステージ本体22に対してステージ21が第４図に示すよう
に若干傾くことができるようになっている。
ージ本体22には、底面中央部に支持台23に有する凹部22
1が形成されている。この凹部221の開口面には、下ステ
ージ20を取り付け可能なステージ21が設けられている。
このステージ21の裏面中央部と支持台23の半球状先端部
とは接触しており、これでステージ21が点支持されるよ
うになっている。また、ステージ21とステージ本体22の
縁部との間には、複数個の板バネ24が設けられており、
ステージ本体22に対してステージ21が第４図に示すよう
に若干傾くことができるようになっている。
以上のように構成された基板貼合装置の動作説明を再
び第１図及び第２図に戻って行う。
び第１図及び第２図に戻って行う。
初期状態では、上ステージ10と下ステージ20との間に
は隙間が出来ており、この隙間を通じて上ステージ10、
下ステージ20に、液晶基板を構成する上ガラス基板ａ、
下ガラス基板ｂを夫々取り付ける。そして、上下駆動機
構50を動作させて、下ステージ20をＺ方向に動かせる
と、下ステージ20が上ステージ10に近接し、上ガラス基
板ａと下ガラス基板ｂとが接触し、用意された接着剤に
より貼り合わされる。このとき、第４図に示すように両
者の厚みが不均一である場合でも、これに応じてステー
ジ21が傾くようになっているので、貼合圧力は全面にわ
たって均一となる。
は隙間が出来ており、この隙間を通じて上ステージ10、
下ステージ20に、液晶基板を構成する上ガラス基板ａ、
下ガラス基板ｂを夫々取り付ける。そして、上下駆動機
構50を動作させて、下ステージ20をＺ方向に動かせる
と、下ステージ20が上ステージ10に近接し、上ガラス基
板ａと下ガラス基板ｂとが接触し、用意された接着剤に
より貼り合わされる。このとき、第４図に示すように両
者の厚みが不均一である場合でも、これに応じてステー
ジ21が傾くようになっているので、貼合圧力は全面にわ
たって均一となる。
また、両基板に付けられたアライメントマークがずれ
ていたならば、このずれに応じて駆動機構40x1、40x2、
40yを動作させる。すると、上ステージ10側の上ガラス
基板ａは固定のままであるが、下ステージ20側の下ガラ
ス基板ｂがＸ、Ｙからなる平面上を動き、これにより両
者の位置合わせが行われる。そして所定時間経過後に上
下駆動機構50を再び動作させ、下ステージ20をＺ方向に
動かすと、上ステージ10との間に隙間ができるので、こ
の状態で下ステージ20側に付いた液晶基板を取り出す。
ていたならば、このずれに応じて駆動機構40x1、40x2、
40yを動作させる。すると、上ステージ10側の上ガラス
基板ａは固定のままであるが、下ステージ20側の下ガラ
ス基板ｂがＸ、Ｙからなる平面上を動き、これにより両
者の位置合わせが行われる。そして所定時間経過後に上
下駆動機構50を再び動作させ、下ステージ20をＺ方向に
動かすと、上ステージ10との間に隙間ができるので、こ
の状態で下ステージ20側に付いた液晶基板を取り出す。
以上にように構成された基板貼合装置による場合に
は、次のようなメリットを享受できる。
は、次のようなメリットを享受できる。
上ガラス基板ａと下ガラス基板ｂとの位置ずれを修正
するべく、上ガラス基板ａと下ガラス基板ｂとの間に貼
合圧力を加えられた状態で下ステージ20を動かすと、こ
の過程で両基板の間に反力が発生する。しかしながら、
駆動機構40は付勢部材46によって発生する与圧によって
移動付勢部材43を常に反対方向（Ｘ方向）に押し込んで
いる。従って、第２ステージ20を移動させるための抵抗
力が変動するにもかかわらず、前記反力の全てがガイド
機構30に直接作用するわけではなく、ガイド機構30に作
用する反力は、付勢部材46によって発生する与圧によっ
て、移動部材43に作用する分だけ少ないものになる。そ
れ故、反力とともに発生するガイド機構30における各部
の撓み量も小さく、この撓みが元に戻った際における下
ステージ20の移動量も極めて小さいものとなる。従っ
て、上ガラス基板ａと下ガラス基板ｂとの位置合わせの
精度を高めることができる。なお、反力が100〜200kgf
程度であるときでもアライメント精度を±２μｍ以内に
収め得ることが実験により確かめられている。
するべく、上ガラス基板ａと下ガラス基板ｂとの間に貼
合圧力を加えられた状態で下ステージ20を動かすと、こ
の過程で両基板の間に反力が発生する。しかしながら、
駆動機構40は付勢部材46によって発生する与圧によって
移動付勢部材43を常に反対方向（Ｘ方向）に押し込んで
いる。従って、第２ステージ20を移動させるための抵抗
力が変動するにもかかわらず、前記反力の全てがガイド
機構30に直接作用するわけではなく、ガイド機構30に作
用する反力は、付勢部材46によって発生する与圧によっ
て、移動部材43に作用する分だけ少ないものになる。そ
れ故、反力とともに発生するガイド機構30における各部
の撓み量も小さく、この撓みが元に戻った際における下
ステージ20の移動量も極めて小さいものとなる。従っ
て、上ガラス基板ａと下ガラス基板ｂとの位置合わせの
精度を高めることができる。なお、反力が100〜200kgf
程度であるときでもアライメント精度を±２μｍ以内に
収め得ることが実験により確かめられている。
更にその上で、上ガラス基板ａと下ガラス基板ｂの厚
みが不均一である場合でも、貼合圧力は全面にわたって
均一となるようになっているので、貼合圧力が部分的に
大きくなるということもなく、液晶基板を破損させる虞
れがない。従って、本案装置による場合には、液晶基板
の製造不良率を低く設定する上で非常に大きな意義があ
る。
みが不均一である場合でも、貼合圧力は全面にわたって
均一となるようになっているので、貼合圧力が部分的に
大きくなるということもなく、液晶基板を破損させる虞
れがない。従って、本案装置による場合には、液晶基板
の製造不良率を低く設定する上で非常に大きな意義があ
る。
なお、本発明の第１請求項にかかる基板貼合装置は、
液晶基板を製造する場合の適用例には止まらないことは
勿論のこと、駆動機構により生成される駆動力がガイド
機構を介してではなく直接に第２のステージに加えられ
るような基本構造であればどのような設計変更を加えて
も構わない。
液晶基板を製造する場合の適用例には止まらないことは
勿論のこと、駆動機構により生成される駆動力がガイド
機構を介してではなく直接に第２のステージに加えられ
るような基本構造であればどのような設計変更を加えて
も構わない。
また、本発明の第２請求項にかかる基板貼合装置は、
前記第２のステージの中でも少なくとも第２の基板の載
置部分を自由に傾けることができる構造であればどのよ
うに設計変更を加えても構わない。
前記第２のステージの中でも少なくとも第２の基板の載
置部分を自由に傾けることができる構造であればどのよ
うに設計変更を加えても構わない。
＜発明の効果＞ 以上、本発明の第１請求項にかかる基板貼合装置によ
る場合には、第１の基板と第２の基板との位置ずれを修
正する際に両者の間に発生する反力がガイド機構に直接
作用しないようになっているので、ガイド機構に作用す
る反力が直接作用する場合に比較して遥かに小さいもの
となる。それ故、反力の作用とともに発生するガイド機
構における各部の撓み量も小さく、この撓みが元に戻っ
た際における下ステージの移動量も極めて小さいものと
なる。従って、第１の基板と第２の基板との位置合わせ
の精度を高く設定する上で非常に大きな意義がある。
る場合には、第１の基板と第２の基板との位置ずれを修
正する際に両者の間に発生する反力がガイド機構に直接
作用しないようになっているので、ガイド機構に作用す
る反力が直接作用する場合に比較して遥かに小さいもの
となる。それ故、反力の作用とともに発生するガイド機
構における各部の撓み量も小さく、この撓みが元に戻っ
た際における下ステージの移動量も極めて小さいものと
なる。従って、第１の基板と第２の基板との位置合わせ
の精度を高く設定する上で非常に大きな意義がある。
また、本発明の第２請求項にかかる基板貼合装置によ
る場合には、精密な加工と大きな空間を要し高価な対面
軸受を用いる必要がなく、支持台とバネによる簡単な構
造でありながら動作が正確である。
る場合には、精密な加工と大きな空間を要し高価な対面
軸受を用いる必要がなく、支持台とバネによる簡単な構
造でありながら動作が正確である。
また、第１の基板と第２の基板との厚みが不均一なと
きでも、貼合圧力は全面にわたって均一となるような構
成となっているので、貼合圧力が部分的に大きくなると
いうこともなく、両基板を破損させるという可能性が無
くなる。
きでも、貼合圧力は全面にわたって均一となるような構
成となっているので、貼合圧力が部分的に大きくなると
いうこともなく、両基板を破損させるという可能性が無
くなる。
第１図乃至第４図は本発明にかかる基板貼合装置の一実
施例を説明するための図であって、第１図、第２図は基
板貼合装置の側面図、平面図、第３図（ａ）、（ｂ）は
下ステージの平面図、側面図、第４図は下ステージの機
能を説明するための第３図（ｂ）に対応する図である。
第５図は従来の基板貼合装置を説明するための図であっ
て、第１図に対応する図である。 10……上ステージ 20……下ステージ 30……ガイド機構 40x1、40x2、40y……駆動機構 50……上下駆動機構 ａ……上ガラス基板 ｂ……下ガラス基板
施例を説明するための図であって、第１図、第２図は基
板貼合装置の側面図、平面図、第３図（ａ）、（ｂ）は
下ステージの平面図、側面図、第４図は下ステージの機
能を説明するための第３図（ｂ）に対応する図である。
第５図は従来の基板貼合装置を説明するための図であっ
て、第１図に対応する図である。 10……上ステージ 20……下ステージ 30……ガイド機構 40x1、40x2、40y……駆動機構 50……上下駆動機構 ａ……上ガラス基板 ｂ……下ガラス基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−110448（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−260898（ＪＰ，Ａ)
Claims (2)
- 【請求項１】本体の天板に固定され第１の基板を取り付
けた第１のステージと、本体の下板に固定され第２の基
板を取り付けた第２のステージとが面接触位置から面離
反位置にかけて動く構成となっており、前記第１の基板
と第２の基板とを互いに重ねて貼り合わせる基板貼合装
置において、前記第１のステージは天板の下面に取り付
けられ第２のステージの周面を囲んで配置された複数対
の駆動機構を具備しており、前記第２のステージは下板
に対して第２のステージをＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向及び
Ｚ方向を軸芯とした回転方向θに移動させるガイド機構
と、下板に対して第２のステージをＺ方向に昇降させる
上下駆動機構とを具備しており、かつ、前記１対の駆動
機構は第２のステージをＸ方向、Ｙ方向に移動させる移
動部材と、この移動部材に対向して設けられ移動部材を
常に反対方向に与圧する付勢部材と備えたことを特徴と
する基板貼合装置。 - 【請求項２】本体の天板に固定され第１の基板を取り付
けた第１のステージと、本体の下板に固定され第２の基
板を取り付けた第２のステージとが面接触位置から面離
反位置にかけて動く構成となっており、前記第１の基板
と第２の基板とを互いに重ねて貼り合わせる基板貼合装
置において、前記第２のステージは、下板に対してガイ
ド機構を介してＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向を軸芯とした
回転方向θに移動可能に設けられたステージ本体と、第
２の基板を取り付けるステージとを具備しており、前記
ステージはその中央部が半球状先端部を有する支持台に
よって支持されており、かつ、ステージとステージ本体
の縁部との間には複数個のバネが設けられていることを
特徴とする基板貼合装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2039929A JP2578007B2 (ja) | 1990-02-21 | 1990-02-21 | 基板貼合装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2039929A JP2578007B2 (ja) | 1990-02-21 | 1990-02-21 | 基板貼合装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03242999A JPH03242999A (ja) | 1991-10-29 |
| JP2578007B2 true JP2578007B2 (ja) | 1997-02-05 |
Family
ID=12566633
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2039929A Expired - Lifetime JP2578007B2 (ja) | 1990-02-21 | 1990-02-21 | 基板貼合装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2578007B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5172639B2 (ja) * | 2008-12-16 | 2013-03-27 | アドヴァンスド・ディスプレイ・プロセス・エンジニアリング・コーポレーション・リミテッド | 基板合着装置 |
| KR100947082B1 (ko) * | 2009-04-24 | 2010-03-10 | 한동희 | 패널부착장치 |
| CN104148350B (zh) * | 2014-08-01 | 2016-06-08 | 大连益盛达智能科技有限公司 | Cog邦定机端子清洁压头机构 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52149347A (en) * | 1976-06-08 | 1977-12-12 | Fujitsu Ltd | Part inserting device |
| JP2538979B2 (ja) * | 1988-04-11 | 1996-10-02 | 富士通株式会社 | 部品挿入ヘッド |
-
1990
- 1990-02-21 JP JP2039929A patent/JP2578007B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03242999A (ja) | 1991-10-29 |
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