JP4998684B2 - 位置決め装置 - Google Patents
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Description
当接部を有するベースと、
前記ベースに対して移動可能な支持部と、
前記支持部に支持されるテーブルと、
前記支持部と前記テーブルとを連結するばね部材と、
前記ベースに対して前記支持部を移動可能に支持するガイドと、を有し、
所定値以上の外力が付与されたとき、前記ばね部材が弾性変形することにより、前記テーブルは前記ベースの当接部に当接し、前記外力が前記所定値を下回ったとき、前記テーブルは前記ベースの当接部から離隔することを特徴とする。
1a 円筒部
2,2 ガイドレール
3 X軸ステージ
3a 開口
3b X軸アクチュエータ
4,4 スライダ
5,5 ガイドレール
6 Y軸ステージ
6a 開口
6b Y軸アクチュエータ
7,7 スライダ
8 θ軸ステージ
8a θ軸アクチュエータ
10 テーブル
101 ベース
101a 円盤部
102 チャンバ
102a〜102c 開口
103 ガイド部
103a 円形開口
104 支持部
104a 円形開口
104b 第1側面
104c 第2側面
105、105’、105” 平面玉軸受
106 板ばね
107 テーブル
108x 支持台
108y 支持台
109A〜109C モータ
110A〜110C 回転軸
111A〜111C 外側カップリング
112A〜112C 磁気シールユニット
113A〜113C 軸
114A〜114C 内側カップリング
115A〜115C 支持柱
116A〜 116C ねじ軸
117A〜117C ガイドレール
118A〜118C スライダ
119A〜119C ナット
120A〜120C ガイドレール
121A〜121C スライダ
122A〜122C ピン
BSA〜BSC ボールねじユニット
W1,W2 パネル基板
Claims (4)
- 当接部を有するベースと、
前記ベースに対して移動可能な支持部と、
前記支持部に支持されるテーブルと、
前記支持部と前記テーブルとを連結するばね部材と、
前記ベースに対して前記支持部を移動可能に支持するガイドと、を有し、
前記テーブルに所定値以上の外力が付与されたとき、前記ばね部材が弾性変形することにより、前記テーブルは前記ベースの当接部に当接し、前記外力が前記所定値を下回ったとき、前記テーブルは前記ベースの当接部から離隔することを特徴とする位置決め装置。 - 前記支持部は、前記ベースに対して、第1の方向と、前記第1の方向に直交する第2の方向と、回転方向に移動可能にガイドされることを特徴とする請求項1に記載の位置決め装置。
- 前記ばね部材は板ばねであることを特徴とする請求項1又は2に記載の位置決め装置。
- 前記位置決め装置は、真空雰囲気に維持されたチャンバ内に配置されており、前記支持部を駆動する駆動源は、前記チャンバ外に配置されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の位置決め装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006233393A JP4998684B2 (ja) | 2005-09-07 | 2006-08-30 | 位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005258989 | 2005-09-07 | ||
JP2005258989 | 2005-09-07 | ||
JP2006233393A JP4998684B2 (ja) | 2005-09-07 | 2006-08-30 | 位置決め装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007102198A JP2007102198A (ja) | 2007-04-19 |
JP4998684B2 true JP4998684B2 (ja) | 2012-08-15 |
Family
ID=38029143
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006233393A Active JP4998684B2 (ja) | 2005-09-07 | 2006-08-30 | 位置決め装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4998684B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
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JP5343728B2 (ja) * | 2009-06-19 | 2013-11-13 | 株式会社島津製作所 | 2軸ステージ装置 |
JP6963796B2 (ja) * | 2017-09-12 | 2021-11-10 | アイセル株式会社 | アライメントステージ |
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Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002014309A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-01-18 | Minolta Co Ltd | フィルムホルダ、フィルム収容治具及びこれらを用いた液晶表示素子の製造方法 |
JP3542956B2 (ja) * | 2000-10-30 | 2004-07-14 | 信越エンジニアリング株式会社 | 液晶パネル用基板の貼り合わせ装置 |
JP3766615B2 (ja) * | 2001-07-27 | 2006-04-12 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置および基板処理方法 |
-
2006
- 2006-08-30 JP JP2006233393A patent/JP4998684B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007102198A (ja) | 2007-04-19 |
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