JP4998684B2 - 位置決め装置 - Google Patents

Description

本発明は、ワーク等を位置決めできる位置決め装置に関する。

例えば液晶パネル製造装置などにおいては、間に接着剤を塗布した２枚の液晶パネル用基板を相対的に位置決めした上で、密着する方向に外力を与えて両者を接着している（特許文献１）。
特開２００２−１３１７６２号公報

しかるに、特許文献１の技術では、２枚の液晶パネル用基板に伝達される密着力は、位置決めのためのテーブルを支持する案内軸受を介して伝達される。ここで、２枚の液晶パネル用基板間のシール部材によっては、接着に必要な外力を大きくしなくてはならない。ところが、そのように大きな外力を支持するためには、案内軸受の容量を大きくしなくてはならず、また力の伝達経路にある部材の強度も増大する必要が生じ、装置全体の大型化を招くという問題がある。これは、特に２枚の液晶パネル用基板を真空中で接着する場合、位置決め装置を収容する真空チャンバの大型化を招くこととなり、処理に必要な真空環境を得るまでの時間が長くなるという問題を生じさせる。

本発明は、かかる従来技術の問題に鑑みてなされたものであり、簡素且つコンパクトでありながら、ワークに与えられた外力を支持できる位置決め装置を提供することを目的とする。

本発明の位置決め装置は、
当接部を有するベースと、
前記ベースに対して移動可能な支持部と、
前記支持部に支持されるテーブルと、
前記支持部と前記テーブルとを連結するばね部材と、
前記ベースに対して前記支持部を移動可能に支持するガイドと、を有し、
所定値以上の外力が付与されたとき、前記ばね部材が弾性変形することにより、前記テーブルは前記ベースの当接部に当接し、前記外力が前記所定値を下回ったとき、前記テーブルは前記ベースの当接部から離隔することを特徴とする。

本発明の位置決め装置によれば、前記テーブルに所定値以上の外力が付与されたとき、前記ばね部材が弾性変形することにより、前記テーブルは前記ベースの当接部に当接し、前記外力が前記所定値を下回ったとき、前記テーブルは前記ベースの当接部から離隔するので、かかる外力を付与しないことで、前記当接部から離隔した前記テーブルを位置決めするために任意に移動させることができる。一方、かかる外力を付与することにより、前記テーブルが前記当接部に当接するので、その外力のほとんどを、前記ガイドの代わりに前記当接部で支持することができ、それにより前記ガイドをコンパクトなものとできる。

前記支持部は、前記ベースに対して、第１の方向（例えばＸ軸方向）と、前記第１の方向に直交する第２の方向（例えばＹ軸方向）と、回転方向（例えばθ軸回り）に移動可能にガイドされると好ましい。

前記ばね部材は板ばねであると好ましい。

また、請求項４の前記位置決め装置は、真空雰囲気に維持されたチャンバ内に配置されており、前記支持部を駆動する駆動源は、前記チャンバ外に配置されているので、駆動源を真空対応にしなくてすむため低コスト化が図れ、またチャンバの大きさを小さくできる。

以下、図面を参照して本発明の実施の形態に付いて説明する。図１は、第１の実施の形態にかかる位置決め装置の上面図であり、図２は、図１の構成をII-II線で切断して矢印方向に見た図である。なお、位置決め装置は、真空チャンバ内で用いることができる。

図２において、ベース１上に、紙面垂直方向に延在する一対のガイドレール２，２が配置されている。更に、ベース１の上方に配置されたＸ軸ステージ３の下面には、スライダ４，４が配置されており、それぞれガイドレール２，２に沿って移動可能となっている。Ｘ軸ステージ３は、中央に開口３ａを有しており、ベース１上に配置されたＸ軸アクチュエータ３ｂにより、ガイドレール２，２に沿って駆動されるようになっている。ガイドレール２，２とスライダ４，４で、Ｘ軸方向のガイドを構成する。

Ｘ軸ステージ３上に、図２で左右方向に延在する一対のガイドレール５，５が配置されている。更に、Ｘ軸ステージ３の上方に配置されたＹ軸ステージ６の下面には、スライダ７，７が配置されており、それぞれガイドレール５，５に沿って移動可能となっている。Ｙ軸ステージ６は、中央に開口６ａを有しており、Ｘ軸ステージ３上に配置されたＹ軸アクチュエータ６ｂにより、ガイドレール５，５に沿って駆動されるようになっている。ガイドレール５，５とスライダ７，７で、Ｙ軸方向のガイドを構成する。

Ｙ軸ステージ６上に、不図示のガイドにより、環状のθ軸ステージ８が相対回転可能に配置されている。ドーナツ板状のθ軸ステージ８は、Ｙ軸ステージ６上に配置されたθ軸アクチュエータ８ａにより、θ軸ステージ８の中心軸（θ軸という）回りに回転駆動される。θ軸ステージ８の上面には、ばね部材である３本の板ばね９の外方端が、周方向に等間隔で取り付けられ、各板ばね９は半径方向内方に向かって延在している。各板ばね９の内方端は、θ軸ステージ８の内側に非接触状態で配置された円形のテーブル１０の上面に接合されている。ステージ３，６、８が支持部を構成する。

ベース１の上面には、当接部である円筒部１ａが形成され、Ｘ軸ステージ３の開口３ａと、Ｙ軸ステージ６の開口６ａを貫通して、その上面が、テーブル１０の下方に位置するようになっている。テーブル１０に、ワークＷの自重を超える所定値以上の外力が付与されないときは、板ばね９のみによりテーブル１０は支持されており、そのときテーブル１０と円筒部１ａとの間には、タッチダウンスキマΔ（数１０〜数１００μｍ）が生じている。尚、タッチダウン時の溶着等を防止するために、テーブル１０と円筒部１ａを、焼き入れした鋼（ＳＵＳ４４０Ｃ等）を用いて形成したり、テーブル１０と円筒部１ａの密着する対向面に真空用グリースなどを塗布すると好ましい。

本実施の形態の動作について説明する。テーブル１０の上にパネル基板Ｗ１を載置し、その上面の適所に接着剤を塗布した上で、パネル基板Ｗ１に重ねるようにして、不図示の筐体に固定されたホルダＨ（図２）により保持されたパネル基板Ｗ２を配置し、更にアクチュエータ３ｂ、６ｂ、８ａを、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、θ軸回りに駆動して、パネル基板Ｗ１，Ｗ２を互いに適切に位置決めする。

その後、ホルダＨを駆動して、所定値以上の外力により、パネル基板Ｗ２をパネル基板Ｗ１に向かって押圧する。かかる場合、板ばね９が弾性変形することで、テーブル１０の下面が円筒部１ａに当接し、付与された外力を支持することができる。１分程度外力を維持した後、ホルダＨがパネル基板Ｗ２の保持を中止し上方へと退却することで、固化した接着剤により接着されたパネル基板Ｗ１，Ｗ２を得ることができる。

本実施の形態によれば、所定値以上の外力が付与されたときに、板ばね９により弾性支持されたテーブル１０の下面が円筒部１ａに当接するため、ステージ３，６、８のガイドには、比較的小さい板ばね９の弾性力のみが付与されるのみであり、ホルダＨから付与された外力のほとんどは、当接部１ａで支持されることから、ステージ３，６、８のガイドの容量を小さくでき、また力伝達経路中の部材の強度を低くできるので、位置決め装置の構成を簡素化しコンパクトにできる。一方、テーブル１０をＸ軸方向、Ｙ軸方向、θ軸回りに駆動する際には、円筒部１ａと非接触状態となるので、スムーズ且つ精度の良い位置決めが可能となる。

図３は、第２の実施の形態にかかる位置決め装置の上面図であり、図４は、図３の構成をIV-IV線で切断して矢印方向に見た図である。尚、図３において左右方向をＸ軸方向とし、上下方向をＹ軸方向とする。

図４において、ベース１０１の上部は、筐体状のチャンバ１０２に覆われており、その内部は真空雰囲気に維持されている。ベース１０１の上面に、円形開口１０３ａを有する矩形板状のガイド部１０３が配置され、更に円形開口１０３ａ内においてベース１０１の上面には、当接部である円盤部１０１ａが形成されている。

ガイド部１０３の上方には、同様に円形開口１０４ａを有する矩形板状の支持部１０４が配置されている。ガイド部１０３と支持部１０４との間に、４つの平面玉軸受１０５が配置されている。

図５は、図４の構成をV-V線に沿って切断し矢印方向に見た図である。図６は、図５の構成をVI-VI線に沿って切断し矢印方向に見た図である。図５，６において、平面玉軸受１０５は、９つの玉１０５ａと、玉１０５ａを収容する円形のポケットを備えた矩形板状の保持器１０５ｂとからなる。玉１０５ａは、支持部１０４とガイド部１０３との間で転動し、これにより支持部１０４はガイド部１０３に対してＸ軸及びＹ軸方向及び回転方向（θ軸方向という）に相対変位可能となっている。ガイド部１０３の上面には、ストッパとして機能する突起１０３ａが、保持器１０５ｂの各側面に対応して配置され、支持部１０４とガイド部１０３との相対移動量が所定範囲を超えたときに、保持器１０５ｂの側面に当接することで、平面玉軸受１０５がガイド部１０３から落下しないようにしている。

図７は、変形例にかかる平面玉軸受１０５’を示す、図６と同様な断面図である。図７において、ガイド部１０３の上面には、矩形状又は円形状の凹部１０３ｂが形成され、その内部に玉１０５ａが収容されている。かかる変形例によれば、保持器が不要であり、また支持部１０４とガイド部１０３との相対移動量に関わりなく、玉１０３ａはガイド部１０３から落下することが防止される。

図８は、別な変形例にかかる平面玉軸受１０５”を軸線方向上方から見た図である。図８において、ガイド部１０３の上面には、円形開口１０３ａの周囲にドーナツ板状の保持器１０５ｂ”が配置され、その周方向に並んだポケットには、玉１０５ａが配置されている。図示していないが、ガイド部１０３の円形開口１０３ａの縁に、周方向に延在する短い壁を設ければ、これが保持器１５ｂ”のストッパとして機能するので、支持部１０４とガイド部１０３との相対移動量に関わりなく、平面玉軸受１０５”がガイド部１０３から落下することが防止される。

図３，４において、支持部１０４の上面には、ばね部材である３本の板ばね１０６の外方端が、周方向に等間隔で取り付けられ、各板ばね１０６は円形開口１０４ａの半径方向内方に向かって延在している。各板ばね１０６の内方端は、円形開口１０４ａの内側に非接触状態で配置された円盤状のテーブル１０７の上面に接合されている。テーブル１０７には、ワーク（不図示）が載置される。

ここで、テーブル１０７に、ワークの自重を超える所定値以上の外力が付与されないときは、板ばね１０６のみによりテーブル１０７は支持されており、そのときテーブル１０７と円盤部１０１ａとの間には、タッチダウンスキマΔ（数１０〜数１００μｍ）が生じている。タッチダウン時の溶着等を防止するために、テーブル１０７と円盤部１０１ａを、焼き入れした鋼（ＳＵＳ４４０Ｃ等）を用いて形成したり、テーブル１０７と円盤部１０１ａの密着する対向面に真空用グリースなどを塗布すると好ましい。

尚、支持部１０４とテーブル１０７の自重により、平面玉軸受１０５には、常に予圧が付与されているが、かかる自重が不十分である場合、図３に点線で示すような予圧機構ＰＳを設け、平面玉軸受１０５に補助的に予圧を与えることができる。予圧機構ＰＳとしては、ばねの付勢力や磁気吸引力を用いて支持部１０４をガイド部１０３に付勢する構成が考えられる。

チャンバ１０２の外部は大気環境となっている。チャンバ１０２の外部において、支持台１０８ｘ上に、駆動源としての２つのモータ１０９Ａ、１０９Ｂが軸線を図３，４で左右方向（Ｘ軸方向）に平行にして固定されている。

モータ１０９Ａ、１０９Ｂの回転軸１１０Ａ，１１０Ｂは、外側カップリング１１１Ａ、１１１Ｂに連結されている。外側カップリング１１１Ａ、１１１Ｂは、チャンバ１０２の開口１０２ａ、１０２ｂに装着された磁気シールユニット１１２Ａ、１１２Ｂの軸１１３Ａ、１１３Ｂに連結されている。図示していないが、磁気シールユニット１１２Ａ、１１２Ｂは、軸１１３Ａ，１１３Ｂを支持する軸受と、永久磁石と、永久磁石に捕捉されて軸１１３Ａ、１１３Ｂの周囲の空間を密封する磁性流体とをその内部に有し、開口１０２ａ、１０２ｂを介する気体等の移動を阻止し、チャンバ１０２内の真空環境を維持するように機能するものである。尚、上記のような磁性流体シールに変えて、磁気カップリング、差動排気シール、Ｏ−リング等を用いたシールユニットとしてもよい（特開２００３−３１４５７２号公報参照）。

磁気シールユニット１１２Ａ、１１２Ｂの軸１１３Ａ、１１３Ｂは、内側カップリング１１４Ａ、１１４Ｂに連結されている。内側カップリング１１４Ａ、１１４Ｂは、ベース１０１に立設された支持柱１１５Ａ、１１５Ｂに軸受ＢＲＡ、ＢＲＢを介して回転自在に支持された、ボールねじユニットＢＳＡ、ＢＳＢのねじ軸１１６Ａ、１１６Ｂに連結されている。

ベース１０１上には、図３，４で左右方向（Ｘ軸方向）に平行に延在するようにしてガイドレール１１７Ａ、１１７Ｂが設けられている。ガイドレール１１７Ａ、１１７Ｂ上には、スライダ１１８Ａ、１１８ＢがＸ軸方向に移動可能に配置されている。スライダ１１８Ａ、１１８Ｂは、ボールねじユニットＢＳＡ、ＢＳＢのナット１１９Ａ、１１９Ｂを嵌合固定したブラケットＢＫＡ、ＢＫＢの下面に取り付けられている。したがって、ねじ軸１１６Ａ、１１６Ｂの回転運動は、ナット１１９Ａ、１１９Ｂの軸線方向（Ｘ軸方向）運動に変換される。

支持部１０４の第１側面１０４ｂには、水平方向（ＸＹ平面に平行な方向）に延在するようにして、ガイドレール１２０Ａ、１２０Ｂが取り付けられている。ガイドレール１２０Ａ、１２０Ｂ上には、スライダ１２１Ａ、１２１Ｂが、分離不能であるがガイドレール１２０Ａ、１２０Ｂの延在方向に沿って相対移動可能に配置されている。スライダ１２１Ａ、１２１Ｂは、ブラケットＢＫＡ、ＢＫＢの端部に植設され且つ図３で紙面垂直方向（図４で上下方向）に延在するピン１２２Ａ、１２２Ｂを挿通され、軸受ＢＧＡ，ＢＧＢを介するピン結合により相対回転可能に嵌合している。

チャンバ１０２の外部において、支持台１０８ｙ上に、駆動源としてのモータ１０９Ｃが、その軸線をモータ１０９Ａ、１０９Ｂの軸線と直交するように（すなわち、Ｙ軸方向に平行に）して固定されている。

モータ１０９Ｃの回転軸１１０Ｃは、外側カップリング１１１Ｃに連結されている。外側カップリング１１１Ｃは、チャンバ１０２の開口１０２ｃに装着された磁気シールユニット１１２Ｃの軸１１３Ｃに連結されている。磁気シールユニット１１２Ｃは、磁気シールユニット１１２Ａ、１１２Ｂと同様に、開口１０２ｃを介する気体の移動を阻止し、チャンバ１０２内の真空環境を維持するように機能する。

磁気シールユニット１１２Ｃの軸１１３Ｃは、内側カップリング１１４Ｃに連結されている。内側カップリング１１４Ｃは、ベース１０１に立設された支持柱１１５Ｃに不図示の軸受を介して回転自在に支持された、ボールねじユニットＢＳＣのねじ軸１１６Ｃに連結されている。

ベース１０１上には、図３で上下方向（Ｙ軸方向）に延在するようにしてガイドレール（不図示）が設けられている。かかるガイドレール上には、スライダ（不図示）がＹ軸方向に沿って移動可能に配置されている。かかるスライダは、ボールねじユニットＢＳＣのナット１１９Ｃを嵌合固定したブラケットＢＫＣの下面に取り付けられている。したがって、ねじ軸１１６Ｃの回転運動は、ナット１１９Ｃの軸線方向（Ｙ軸方向）運動に変換される。

支持部１０４の第１側面１０４ｂに直交する第２側面１０４ｃには、水平方向（ＸＹ平面に平行な方向）に延在するようにして、ガイドレール１２０Ｃが取り付けられている。ガイドレール１２０Ｃ上には、スライダ１２１Ｃが分離不能であるが、ガイドレール１２０Ｃの延在方向に沿って相対移動可能に配置されている。スライダ１２１Ｃは、ブラケットＢＫＣの端部に植設され且つ図３で紙面垂直方向に延在するピン１２２Ｃを挿通され、軸受（不図示）を介するピン結合により相対回転可能に嵌合している。

モータ１０９Ａに電力を供給すると、回転軸１１０Ａが回転するので、ボールねじユニットＢＳＡのねじ軸１１６Ａが回転し、ナット１１９Ａがガイドレール１１７Ａに沿って軸線方向に移動する。それにより、ブラケットＢＫＡ、ピン１２２Ａ、スライダ１２１Ａを介してガイドレール１２０Ａが押され（又は引かれ）るので、それに応じて支持部１０４が変位する。

又、モータ１０９Ｂに電力を供給すると、回転軸１１０Ｂが回転するので、ボールねじユニットＢＳＢのねじ軸１１６Ｂが回転し、ナット１１９Ｂがガイドレール１１７Ｂに沿って軸線方向に移動する。それにより、ブラケットＢＫＢ、ピン１２２Ｂ、スライダ１２１Ｂを介してガイドレール１２０Ｂが押され（又は引かれ）るので、それに応じて支持部１０４が変位する。

更に、モータ１０９Ｃに電力を供給すると、回転軸１１０Ｃが回転するので、ボールねじユニットＢＳＣのねじ軸１１６Ｃが回転し、ナット１１９Ｃがガイドレール１１７Ｃに沿って軸線方向に移動する。それにより、ブラケットＢＫＣ、ピン１２２Ｃ、スライダ１２１Ｃを介してガイドレール１２０Ｃが押され（又は引かれ）るので、それに応じて支持部１０４が変位する。

図３において、幾何学的関係より明らかであるが、例えば、モータ１０９Ａ、１０９Ｂの回転軸１１０Ａ、１１０Ｂを同方向に同量回転させれば、支持部１０４をＸ軸方向のいずれかに駆動できる。これによりばね板１０６に連結されたテーブル１０７を、それに載置したワークごと、Ｘ軸方向に所定量変位させることができる。

更に、例えば、モータ１０９Ｃの回転軸１１０Ｃを回転させれば、支持部１０４をＹ軸方向のいずれかに駆動できる。これによりばね板１０６に連結されたテーブル１０７を、それに載置したワークごと、Ｙ軸方向に所定量変位させることができる。

加えて、例えばモータ１０９Ａ、１０９Ｂの回転軸１１０Ａ、１１０Ｂを異なる方向に同量回転させれば、ナット１１９Ａから、ピン１２２Ａ、スライダ１２１Ａを介してガイドレール１２０Ａに伝達される力と、ナット１１９Ｂから、ピン１２２Ｂ、スライダ１２１Ｂを介してガイドレール１２０Ｂに伝達される力とが逆方向で釣り合うので、支持部１０４は、ＸＹ平面と直交する軸の中心回りに回転することとなる。これによりばね板１０６に連結されたテーブル１０７を、それに載置したワークごと、θ軸方向に所定量変位させることができる。そして、各モータ１０９Ａ、１０９Ｂ、１０９Ｃによる回転方向、及び回転量を適宜選択することにより、テーブル１０７を、それに載置したワークごと、ＸＹ平面内の調整可能な範囲内で、任意に位置決めすることができる。

例えば、上述した実施の形態のように、テーブル１０７の上にパネル基板（不図示）を載置し、その上面の適所に接着剤を塗布した上で、かかるパネル基板に重ねるようにして、不図示の筐体に固定されたホルダ（不図示）により保持された別のパネル基板（不図示）を配置し、上述のごとくＸ軸方向、Ｙ軸方向、θ軸方向に駆動して、両パネル基板を互いに適切に位置決めする。

その後、ホルダを駆動して、所定値以上の外力により、上方のパネル基板を下方のパネル基板に向かって押圧する。かかる場合、板ばね１０６が弾性変形することで、テーブル１０７の下面が円盤部１０１ａに当接し、付与された外力を支持することができる。所定時間後、ホルダが上方へと退却することで、固化した接着剤により接着されたパネル基板を得ることができる。

本実施の形態によれば、所定値以上の外力が付与されたときに、板ばね１０６により弾性支持されたテーブル１０７の下面が円盤部１０１ａに当接するため、ガイド部１０３には、平面玉軸受１０５を介して比較的小さい板ばね１０６の弾性力のみが付与されるのみであり、付与された外力のほとんどは、円盤部１０１ａで支持されることから、平面玉軸受１０５の容量やガイド部１０３の支持剛性等を小さくでき、また力伝達経路中の部材の強度を低くできるので、位置決め装置の構成を簡素化しコンパクトにできる。一方、テーブル１０７をＸ軸方向、Ｙ軸方向、θ軸方向に駆動する際には、円盤部１０１ａと非接触状態となるので、スムーズ且つ精度の良い位置決めが可能となる。

更に、本実施の形態によれば、モータ１０９Ａ、１０９Ｂ、１０９Ｃをチャンバ１０２の外部に配置したので、真空対応のモータにする必要がなく低コスト化が図れる。又、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びθ軸方向の移動のためにそれぞれ専用の可動ステージを設ける必要もなく、支持部１０４は、同一面内の駆動によりＸ軸方向、Ｙ軸方向、θ軸方向に駆動できるため、高さ方向の寸法を抑えてコンパクトな位置決め装置を提供できる。

以上、本発明を実施の形態を参照して説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定して解釈されるべきではなく、適宜変更・改良が可能であることはもちろんである。板ばねの形状・数は任意に設定することができるが、板ばねに限定されることなく、例えば用途や荷重によって適宜選択されたコイルばねを、テーブル１０とステージ６、又はテーブル１０７と支持部１０４との間に介装することもできる。本発明の位置決め装置は、パネルの接着のみならず、種々の用途に用いることができる。

第１の実施の形態にかかる位置決め装置の上面図である。 図１の構成をII-II線で切断して矢印方向に見た図である。 第２の実施の形態にかかる位置決め装置の上面図である。 図３の構成をIV-IV線で切断して矢印方向に見た図である。 図４の構成をV-V線に沿って切断し矢印方向に見た図である。 図５の構成をVI-VI線に沿って切断し矢印方向に見た図である。 変形例にかかる平面玉軸受１０５’を示す、図６と同様な断面図である。 別な変形例にかかる平面玉軸受１０５”を軸線方向上方から見た図である。

符号の説明

１ ベース
１ａ 円筒部
２，２ ガイドレール
３ Ｘ軸ステージ
３ａ 開口
３ｂ Ｘ軸アクチュエータ
４，４ スライダ
５，５ ガイドレール
６ Ｙ軸ステージ
６ａ 開口
６ｂ Ｙ軸アクチュエータ
７，７ スライダ
８ θ軸ステージ
８ａ θ軸アクチュエータ
１０ テーブル
１０１ ベース
１０１ａ 円盤部
１０２ チャンバ
１０２ａ〜１０２ｃ 開口
１０３ ガイド部
１０３ａ 円形開口
１０４ 支持部
１０４ａ 円形開口
１０４ｂ 第１側面
１０４ｃ 第２側面
１０５、１０５’、１０５” 平面玉軸受
１０６ 板ばね
１０７ テーブル
１０８ｘ 支持台
１０８ｙ 支持台
１０９Ａ〜１０９Ｃ モータ
１１０Ａ〜１１０Ｃ 回転軸
１１１Ａ〜１１１Ｃ 外側カップリング
１１２Ａ〜１１２Ｃ 磁気シールユニット
１１３Ａ〜１１３Ｃ 軸
１１４Ａ〜１１４Ｃ 内側カップリング
１１５Ａ〜１１５Ｃ 支持柱
１１６Ａ〜 １１６Ｃ ねじ軸
１１７Ａ〜１１７Ｃ ガイドレール
１１８Ａ〜１１８Ｃ スライダ
１１９Ａ〜１１９Ｃ ナット
１２０Ａ〜１２０Ｃ ガイドレール
１２１Ａ〜１２１Ｃ スライダ
１２２Ａ〜１２２Ｃ ピン
ＢＳＡ〜ＢＳＣ ボールねじユニット
Ｗ１，Ｗ２ パネル基板

Claims (4)

1. 当接部を有するベースと、
   前記ベースに対して移動可能な支持部と、
   前記支持部に支持されるテーブルと、
   前記支持部と前記テーブルとを連結するばね部材と、
   前記ベースに対して前記支持部を移動可能に支持するガイドと、を有し、
   前記テーブルに所定値以上の外力が付与されたとき、前記ばね部材が弾性変形することにより、前記テーブルは前記ベースの当接部に当接し、前記外力が前記所定値を下回ったとき、前記テーブルは前記ベースの当接部から離隔することを特徴とする位置決め装置。
2. 前記支持部は、前記ベースに対して、第１の方向と、前記第１の方向に直交する第２の方向と、回転方向に移動可能にガイドされることを特徴とする請求項１に記載の位置決め装置。
3. 前記ばね部材は板ばねであることを特徴とする請求項１又は２に記載の位置決め装置。
4. 前記位置決め装置は、真空雰囲気に維持されたチャンバ内に配置されており、前記支持部を駆動する駆動源は、前記チャンバ外に配置されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の位置決め装置。
   

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