KR102195904B1 - 스테이지장치 - Google Patents

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타츠야 요시다
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스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤
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Abstract

스테이지장치는, 반면에 배치되는 제1 지지부, 제2 지지부, 제3 지지부(13) 및 제4 지지부와, 제1 지지부 및 제2 지지부에 지지되고, Y축방향으로 뻗는 제1 Y축 가이드와, 제3 지지부(13) 및 제4 지지부에 지지되고, Y축방향으로 뻗도록 마련되는 제2 Y축 가이드(42)와, 제1 Y축 가이드 및 제2 Y축 가이드(42)로 가이드되어 Y축방향으로 이동하는 제1 Y축 슬라이더, 제2 Y축 슬라이더, 및 X축 유닛을 구비한다. 제3 지지부(13)은, 제2 Y축 가이드(42)를, X축방향으로 변위 가능하게 지지한다.

Description

스테이지장치
본 발명은, 스테이지장치에 관한 것이다.
대상물을 위치결정하기 위한 스테이지장치가 알려져 있다. 종래에서는, 평행하게 마련된 2개의 축과, 대상물이 실리는 테이블이 고정되고, 2개의 축으로 가이드되어 이동하는 이동체를 구비하는 스테이지장치가 제안되어 있다(예를 들면 특허문헌 1).
특허문헌 1: 일본 공개특허공보 2012-160663호
상술한 종래의 스테이지장치에서는, 이동체는 2개의 축으로 가이드되어 이동하기 때문에, 2개의 축이 설계대로 평행하게 되도록 조립되어 있지 않으면, 축이 이동체에 간섭할 수 있다. 따라서, 종래의 스테이지장치는, 2개의 축이 설계대로 평행하게 되도록 비교적 높은 조립 정밀도로 조립할 필요가 있어, 조립작업이 곤란했다.
본 발명은 이러한 상황을 감안하여 이루어진 것으로, 조립작업이 비교적 용이하고, 또한, 이동체를 가이드하는 축이 이동체에 간섭하는 것을 억제할 수 있는 스테이지장치의 제공에 있다.
상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 어느 한 양태의 스테이지장치는, 지지평면에 배치되는 제1, 제2, 제3 지지부와, 제1, 제2 지지부에 지지되고, 제1 방향으로 뻗는 제1 축과, 제3 지지부에 지지되고, 제1 방향으로 뻗도록 마련되는 제2 축과, 제1 축 및 제2 축으로 가이드되어 제1 방향으로 이동하는 이동체를 구비한다. 제1, 제2, 제3 지지부 중 적어도 하나의 지지부는, 그 지지부에 지지되는 축을, 제1 방향에 직교하고, 또한, 지지평면에 평행한 제2 방향으로 변위 가능하게 지지한다.
다만, 이상의 구성요소의 임의의 조합이나, 본 발명의 구성요소나 표현을 방법, 장치, 시스템 등의 사이에서 서로 치환한 것도 또한, 본 발명의 양태로서 유효하다.
본 발명에 의하면, 조립작업이 비교적 용이하고, 또한, 이동체를 가이드하는 축이 이동체에 간섭하는 것을 억제할 수 있는 스테이지장치를 제공할 수 있다.
도 1의 (a), 도 1의 (b)는, 실시형태에 관한 스테이지장치를 나타내는 도이다.
도 2의 (a) 내지 도 2의 (c)는, 도 1의 제1 지지부와 그 주변을 나타내는 도이다.
도 3의 (a) 내지 도 3의 (c)는, 도 1의 제3 지지부와 그 주변을 나타내는 도이다.
도 4의 (a) 내지 도 4의 (c)는, 변형예에 관한 스테이지장치의 제3 지지부와 그 주변을 나타내는 도이다.
도 5의 (a) 내지 도 5의 (c)는, 변형예에 관한 스테이지장치의 제2 지지부와 그 주변을 나타내는 도이다.
이하, 각 도면에 나타나는 동일 또는 동등한 구성요소, 부재, 공정에는, 동일한 부호를 붙이는 것으로 하고, 적절히 중복된 설명은 생략한다. 또, 각 도면에 있어서의 부재의 치수는, 이해를 용이하게 하기 위하여 적절히 확대, 축소하여 나타난다. 또, 각 도면에 있어서 실시형태를 설명함에 있어서 중요하지 않은 부재의 일부는 생략하여 표시한다.
도 1의 (a), 도 1의 (b)는, 실시형태에 관한 스테이지장치(100)을 나타내는 도이다. 도 1의 (a)는, 스테이지장치(100)의 상면도이다. 도 1의 (b)는, 스테이지장치(100)의 측면도이다. 설명의 편의상, 도시한 바와 같이, 반면(10a)(후술함)에 평행한 임의의 방향을 X축방향, X축방향에 직교하는 반면(10a)에 평행한 방향을 Y축방향, 양자에 직교하는(즉 반면(10a)에 직교하는) 방향을 Z축방향으로 하는 XYZ 직교좌표계를 정한다. 스테이지장치(100)은, XY 스테이지라고 불리며, 대상물을 X축방향, Y축방향으로 위치결정한다.
스테이지장치(100)은, 정반(10)과, 제1 지지부(11)과, 제2 지지부(12)와, 제3 지지부(13)과, 제4 지지부(14)와, X축 유닛(20)과, 제1 Y축 유닛(30)과, 제2 Y축 유닛(40)을 구비한다.
정반(10)은, 평면에서 보아 직사각형상의 판형상 부재이다. 정반(10)의 상면인 반면(10a)는 평탄하게 형성된다. 반면(10a)의 네 모서리에는, 각각 제1 지지부(11)∼제4 지지부(14)가 배치된다. 즉, 반면(10a)는, 4개의 지지부가 배치되는 지지평면으로서 기능한다.
제1 Y축 유닛(30)은, 제1 Y축 가이드(32)와, 제1 Y축 슬라이더(34)를 포함한다. 제1 Y축 가이드(32)는, 사각기둥형상의 부재이다. 제1 Y축 가이드(32)는, 그 길이방향이 Y축방향과 일치하도록 배치되고, 정반(10) 상에 마련된 제1 지지부(11), 제2 지지부(12)에 의하여 양단이 지지된다.
제1 Y축 슬라이더(34)는, 단면이 사각형인 통형상체이며, 제1 Y축 가이드(32)가 삽입통과된다. 제1 Y축 슬라이더(34)는, 제1 Y축 가이드(32)를 따라 Y축방향으로 이동 가능하게 구성된다. 본 실시형태에서는, 제1 Y축 슬라이더(34)는, 제1 Y축 가이드(32)와 함께 에어슬라이드를 구성하고, 이들 사이에 공급되는 압축기체에 의하여 제1 Y축 가이드(32)에 대하여 부상하며, 제1 Y축 가이드(32)와 비접촉상태로 제1 Y축 가이드(32)를 따라 이동한다.
제2 Y축 유닛(40)은, 제2 Y축 가이드(42)와, 제2 Y축 슬라이더(44)를 포함한다. 제2 Y축 가이드(42), 제2 Y축 슬라이더(44)는, 제1 Y축 가이드(32), 제1 Y축 슬라이더(34)와 동일하게 구성된다. 다만, 제2 Y축 가이드(42)는, 그 길이방향이 Y축방향과 일치하여 제1 Y축 가이드(32)와 나란하게, 즉, 설계상, 제1 Y축 가이드(32)와 평행하게 나란히 배치된다.
X축 유닛(20)은, X축 가이드(22)와, X축 슬라이더(24)를 포함한다. X축 가이드(22)는, 그 길이방향이 X축방향과 일치하도록 제1 Y축 슬라이더(34) 및 제2 Y축 슬라이더(44)에 연결된다. X축 가이드(22)는 특히, 저(低)무게중심화를 위하여, 제1 단면(22a)가 제1 Y축 슬라이더(34)의 측면(제2 Y축 슬라이더(44)와 대향하는 측면)(34a)에 대향하고, 제2 단면(22b)가 제2 Y축 슬라이더(44)의 측면(제1 Y축 슬라이더(34)와 대향하는 측면)(44a)에 대향하도록 연결된다.
X축 슬라이더(24)는, 단면이 사각형인 통형상체이며, X축 가이드(22)가 삽입통과된다. X축 슬라이더(24)는, 제1 Y축 슬라이더(34)나 제2 Y축 슬라이더(44)와 동일하게 하여, X축 가이드(22)와 비접촉상태로 지지된다.
X축 슬라이더(24)에는, 도시하지 않은 테이블이 고정된다. 테이블에는, 반도체 웨이퍼 등의 대상물이 실린다. 제1 Y축 슬라이더(34) 및 제2 Y축 슬라이더(44)를 Y축방향으로 이동시켜, X축 슬라이더(24)를 X축방향으로 이동시킴으로써, 테이블을 XY방향으로 이동시키고, 대상물을 XY방향으로 위치결정할 수 있다.
도 2의 (a)∼도 2의 (c)는, 제1 지지부(11)과 그 주변을 나타내는 도이다. 도 2의 (a)는, 제1 지지부(11)과 그 주변을 나타내는 사시도이다. 도 2의 (b)는, 제1 지지부(11)을 Y축방향으로부터 본 측면도이다. 도 2의 (c)는, 제1 지지부(11)을 X축방향으로부터 본 측면도이다. 다만, 대표로 제1 지지부(11)의 구성을 설명하지만, 제2 지지부(12), 제4 지지부(14)에 대해서도 동일한 설명이 적용된다.
제1 지지부(11)은, 제1 Y축 가이드(32)를 고정적으로 지지한다. 다르게 말하면, 제1 지지부(11)은, 제1 Y축 가이드(32)를, X축방향으로도 Y축방향으로도(Z축방향으로도) 변위 불가능하게 지지한다. 더 다르게 말하면, 제1 지지부(11)은, 제1 Y축 가이드(32)를 구속하듯이 지지한다. 본 실시형태에서는, 제1 지지부(11)은, 직육면체 형상으로 형성되고, 그 하면이 반면(10a)에 고정되며, 그 상면에 제1 Y축 가이드(32)가 고정된다. 제1 지지부(11)은, 제1 Y축 가이드(32)를 변위 불가능하게 지지할 수 있도록, 즉 제1 지지부(11) 자신이 변형하지 않도록, 실험이나 시뮬레이션에 기초하여, 그 소재, X축방향의 폭, Y축방향의 폭, 및 Z축방향의 폭이 결정된다.
도 3의 (a)∼도 3의 (c)는, 제3 지지부(13)과 그 주변을 나타내는 도이다. 도 3의 (a)∼도 3의 (c)는 각각, 도 2의 (a)∼도 2의 (c)에 대응한다.
제3 지지부(13)은, 제2 Y축 가이드(42)를, X축방향으로 변위 가능하게, Y축방향 및 Z축방향으로는 변위 불가능하게 지지한다. 본 실시형태에서는, 제3 지지부(13)은, 제1 베이스(51)과, 제2 베이스(52)와, 중간부(53)과, 제1 탄성 힌지(54)와, 제2 탄성 힌지(55)와, 제3 탄성 힌지(56)과, 제4 탄성 힌지(57)을 포함한다.
제1 베이스(51), 중간부(53), 제2 베이스(52)는, 모두 직육면체 형상으로 형성되고, 이 순서로 Z축방향으로 늘어선다. 제1 베이스(51)은, 반면(10a)에 고정된다. 제2 베이스(52)의 상면에는 제2 Y축 가이드(42)가 고정된다.
제1 탄성 힌지(54) 및 제2 탄성 힌지(55)는, 제1 베이스(51)와 중간부(53)의 사이에 병렬로 마련되며, 제1 베이스(51)과 중간부(53)을 연결한다. 제3 탄성 힌지(56) 및 제4 탄성 힌지(57)은, 제2 베이스(52)와 중간부(53)의 사이에 병렬로 마련되며, 제2 베이스(52)와 중간부(53)을 연결한다.
제1 탄성 힌지(54), 제2 탄성 힌지(55), 제3 탄성 힌지(56), 제4 탄성 힌지(57)은, 모두, 제1 베이스(51), 제2 베이스(52), 중간부(53)과 비교하여 단면적이 작은 판형의 탄성 힌지이다. 구체적으로는, 이들 4개의 탄성 힌지는, Y축방향으로는 비교적 두껍게(폭이 넓게) 형성되고, X축방향으로는 비교적 얇게(폭이 좁게) 형성된다. 본 실시형태에서는, 4개의 탄성 힌지는, Y축방향으로는 제1 베이스(51) 등과 동일한 두께로, X축방향으로는 가장 얇은 부분의 두께가 제1 베이스(51) 등의 1/20 이하가 되도록 형성되어 있다.
4개의 탄성 힌지는, 상술과 같이 X축방향으로 얇게 형성되어 있기 때문에, Y축방향에 평행한 축 둘레로 변형할 수 있다. 이로써, 제2 베이스(52), 나아가서는 제2 베이스(52)에 고정된 제2 Y축 가이드(42)는, 제1 베이스(51)에 대하여 X축방향으로 미소하게 이동할 수 있다. 이와 같이, 제3 지지부(13)은, 자신이 X축방향으로 변위함으로써, 제2 Y축 가이드(42)를 X축방향으로 변위 가능하게 지지한다. 4개의 탄성 힌지는, 이와 같이 변위할 수 있도록, 실험이나 시뮬레이션에 기초하여, X축방향의 폭이 결정된다.
계속해서, 본 실시형태가 나타내는 효과에 대하여 설명한다.
제1 Y축 슬라이더(34)와 제2 Y축 슬라이더(44)는, X축 가이드(22)에 의하여 연결된다. 그리고, 제1 Y축 슬라이더(34), 제2 Y축 슬라이더(44)는 각각, 평행이 되도록 배치된 제1 Y축 가이드(32), 제2 Y축 가이드(42)를 따라 이동하도록 구성된다. 즉, 제1 Y축 슬라이더(34), 제2 Y축 슬라이더(44), 및 X축 가이드(22)에 의하여 구성되는 하나의 이동체가, 서로 평행이 되도록 배치된 2개의 Y축 가이드를 따라 이동하도록 구성된다. 그러나, 제1 Y축 가이드(32)와 제2 Y축 가이드(42)는, 설계상은 평행이더라도, 조립오차 등에 의하여 엄밀하게는 평행이 아닌 경우도 있다. 이 경우, 제1 Y축 슬라이더(34), 제2 Y축 슬라이더(44), 및 X축 가이드(22)에 의하여 구성되는 이동체는, 서로 평행이 아닌 2개의 Y축 가이드를 따라 이동하려고 하며, 이동체가 2개의 Y축 가이드에 접촉(즉 간섭)하는 긁힘이 생길 수 있다. 구체적으로는, 제1 Y축 슬라이더(34), 제2 Y축 슬라이더(44)가 각각 제1 Y축 가이드(32), 제2 Y축 가이드(42)에 접촉하는 긁힘이 생길 수 있다.
이에 반해, 본 실시형태에서는, 제3 지지부(13)은, 제2 Y축 가이드(42)를 X축방향으로 변위 가능하게 지지한다. 즉 제3 지지부(13)은, 제2 Y축 가이드(42)를 X축방향으로 구속하지 않는다. 이로 인하여, 제2 Y축 가이드(42)는, 제2 Y축 가이드(42)와 제2 Y축 슬라이더(44)의 사이에 공급되는 압축기체에 밀려 X축방향으로 변위할 수 있다. 따라서, 제1 Y축 가이드(32)와 제2 Y축 가이드(42)가 평행이 아닌 경우에서도, 제1 Y축 가이드(32), 제2 Y축 가이드(42), 및 X축 유닛(20)의 이동에 수반하여, 제2 Y축 가이드(42)는, 긁힘이 생기지 않도록 X축방향으로 변위할 수 있다. 즉, 본 실시형태에 의하면, 긁힘이 생기지 않거나, 혹은 긁힘이 생기는 것이 억제된다. 반대로 말하면, 제1 Y축 가이드(32)와 제2 Y축 가이드(42)가 엄밀하게는 평행이 아니어도 긁힘이 생기지 않기 때문에, 제1 Y축 가이드(32)와 제2 Y축 가이드(42)를 엄밀하게 평행이 되도록 조립하지 않아도 된다. 따라서, 스테이지장치(100)을 조립하는 것이 비교적 용이해진다.
또, 본 실시형태에 의하면, 제1 Y축 가이드(32)는, 제1 지지부(11), 제2 지지부(12)에 의하여 고정적으로 지지되기 때문에, 즉 X축방향으로 변위 불가능하게 2개소에서 지지되기 때문에, 기준이 될 수 있다. 따라서, 제1 Y축 가이드(32)를 기준으로 하기 위하여 Y축방향으로 양호한 정밀도로 조립하기만 하면, 제1 Y축 슬라이더(34), 제2 Y축 슬라이더(44), 및 X축 유닛(20)은, 그 기준이 되는 제1 Y축 가이드(32)를 따라 Y축방향으로 이동할 수 있어, 높은 위치결정 정밀도를 실현할 수 있다.
이상, 실시형태에 스테이지장치에 대하여 설명했다. 이 실시형태는 예시이며, 이들 각 구성요소나 각 처리 프로세스의 조합에 다양한 변형예가 가능한 것, 또 그러한 변형예도 본 발명의 범위에 있다는 것은 당업자에게 이해될 것이다. 이하 변형예를 나타낸다.
(변형예 1)
실시형태에서는 특별히 언급하지 않았지만, 제2 Y축 가이드(42)를 X축방향으로 변위 가능하게 지지하는 제3 지지부의 구성에는, 다양한 변형예가 생각된다.
도 4의 (a)∼도 4의 (c)는, 변형예에 관한 스테이지장치의 제3 지지부(113)을 나타내는 도이다. 도 4의 (a)∼도 4의 (c)는 각각, 도 3의 (a)∼도 3의 (c)에 대응한다. 본 변형예에서는, 제3 지지부(113)은, 제1 베이스(51)과, 제2 베이스(52)와, 중간부(53)과, 제1 탄성 힌지(154)와, 제2 탄성 힌지(156)을 포함한다. 제1 탄성 힌지(154)는, 제1 베이스(51)와 중간부(53)의 사이에 마련되며, 제1 베이스(51)과 중간부(53)을 연결한다. 제2 탄성 힌지(156)은, 제2 베이스(52)와 중간부(53)의 사이에 마련되며, 제2 베이스(52)와 중간부(53)을 연결한다. 즉, 본 변형예에서는, 제1 베이스(51)과 중간부(53)의 사이, 제2 베이스(52)와 중간부(53)의 사이에, 각각 하나의 탄성 힌지가 마련된다. 본 변형예에 의하면, 상술한 실시형태와 동일한 효과를 나타낼 수 있다.
또 예를 들면, 제3 지지부는, 탄성 힌지 대신에, 탄성 힌지와 동일한 기능을 갖는 다른 기구, 즉 마찰이나 히스테리시스를 갖지 않는 다른 기구를 포함하여 구성되어도 된다. 일례로서는, 제3 지지부는, 탄성 힌지 대신에, 직동베어링이나 에어베어링을 포함하여 구성되어도 된다.
(변형예 2)
실시형태 및 상술한 변형예에서는, 제2 Y축 가이드(42)는, 일단측은 제3 지지부(13)에 의하여 X축방향으로 변위 가능하게 지지되고, 타단측은 제4 지지부(14)에 의하여 고정적으로 지지되는 경우에 대하여 설명했지만, 이것에 한정되지 않으며, 제2 Y축 가이드(42)는, 양단측이 X축방향으로 변위 가능하게 지지되어도 된다. 즉, 제4 지지부(14)가, 제3 지지부(13)과 동일하게 구성되어도 된다.
(변형예 3)
실시형태 및 상술한 변형예에서는, 제1 Y축 가이드(32)는, 양단이 고정적으로 지지되는 경우에 대하여 설명했지만, 이것에 한정되지 않는다. 제1 Y축 가이드(32)는, 일단은 고정적으로 지지되고, 타단은, X축방향으로 변위 불가능하게, Y축방향으로는 변위 가능하게 지지되어도 된다.
예를 들면, 제2 지지부가 제1 Y축 가이드(32)를 X축방향으로는 변위 불가능하게, Y축방향으로는 변위 가능하게 해도 된다. 도 5의 (a)∼도 5의 (c)는, 변형예에 관한 스테이지장치의 제2 지지부(112)를 나타내는 도이다. 도 5의 (a)∼도 5의 (c)는 각각, 도 3의 (a)∼도 3의 (c)에 대응한다. 제2 지지부(112)는, 도 3의 (a)∼도 3의 (c)의 제3 지지부(13)을 Z축에 평행한 축 둘레로 90도 회전시킨 것처럼 구성된다.
본 변형예에 의하면, 제1 Y축 가이드(32)는, 제1 지지부(11)에 의하여 고정적으로 지지되지만, 제2 지지부(12)에는 Y축방향으로 변위 가능하게 지지된다. 이로써, 제1 Y축 가이드(32)는, Y축방향으로 변위할 수 있다. 여기에서, 제3 지지부(13)은, X축방향으로 변위 가능하게, Y축방향으로 변위 불가능하게 제2 Y축 가이드(42)를 지지한다. 그러나, 제3 지지부(13)은, 탄성 힌지를 포함함으로써 Y축방향의 지지 강성이 내려가, 엄밀하게는, Y축방향의 변위도 약간이지만 허용한다. 즉, 제2 Y축 가이드(42)는, 엄밀하게는, Y축방향으로도 미소하게 변위 가능하게 지지된다. 이에 반해 본 변형예에서는, 제1 Y축 가이드(32)도 Y축방향으로 변위 가능하게 지지되기 때문에, 제1 Y축 가이드(32)와 제1 Y축 슬라이더(34)의 Y축방향의 지지 강성을 균등화할 수 있다.
또한, 본 변형예에 의하면, 주위의 온도변화 등에 수반하여 제1 Y축 가이드(32)에 온도변화가 생긴 경우에도, 제1 Y축 가이드(32)는 Y축방향으로 팽창 또는 수축할 수 있기 때문에, 제1 Y축 가이드(32)에는 열응력은 생기지 않거나 혹은 제1 Y축 가이드(32)에 생기는 열응력을 저감시킬 수 있다. 제1 Y축 가이드(32)에 휨이 생기는 것을 억제할 수 있다.
(변형예 4)
실시형태에서는, 제1 Y축 슬라이더(34), 제2 Y축 슬라이더(44)가 각각, 제1 Y축 가이드(32), 제2 Y축 가이드(42)를 4면에서 구속하는 경우에 대하여 설명했지만, 이것에 한정되지 않는다. 제1 Y축 슬라이더(34), 제2 Y축 슬라이더(44)는 각각, 제1 Y축 가이드(32), 제2 Y축 가이드(42)의 하면을 개방하도록 구성되어도 된다. 즉, 제1 Y축 슬라이더(34) 및 제2 Y축 슬라이더(44)는 예를 들면, Y축방향에 직교하는 단면의 형상이 오목형이 되도록 구성되어도 된다. 이 경우, 지지부가 제1 Y축 가이드(32), 제2 Y축 가이드(42)의 양단 이외를 지지하는 것이 가능해진다.
(변형예 5)
실시형태 및 상술한 변형예에서는, Y축 가이드와 Y축 슬라이더가 에어슬라이드를 구성하는 경우에 대하여 설명했지만, 이것에 한정되지 않는다. Y축 가이드를 따라 Y축 슬라이더가 이동 가능하게 구성되어 있으면 되고, 예를 들면, Y축 가이드와 Y축 슬라이더가 볼나사 기구를 구성해도 된다. 이 경우, 나사축이 Y축 가이드로서 기능하고, 너트가 Y축 슬라이더로서 기능하며, Y축 가이드로서의 나사축이 지지부에 의하여 지지된다. 또 예를 들면, Y축 가이드와 Y축 슬라이더가 리니어모터를 구성해도 된다. 이 경우, 고정자가 Y축 가이드로서 기능하고, 가동자가 Y축 슬라이더로서 기능하며, Y축 가이드로서의 고정자가 지지부에 의하여 지지된다.
(변형예 6)
실시형태 및 상술한 변형예에서는, 제1 Y축 가이드(32), 제2 Y축 가이드(42)가 각각 2개의 지지부에 지지되는 경우에 대하여 설명했지만 이것에 한정되지 않는다. 제1 Y축 가이드(32) 및 제2 Y축 가이드(42)의 일방이 복수의 지지부에 지지되고, 타방이 적어도 하나의 지지부에 지지되며, 또한, 제1 Y축 가이드(32) 및 제2 Y축 가이드(42)를 지지하는 복수의 지지부 중 적어도 하나가 Y축 가이드를 X축방향으로 변위 가능하게 지지할 수 있으면 된다. 즉, 제1 Y축 가이드(32) 및 제2 Y축 가이드(42)는, 합하여 3개 이상의 지지부에 지지되고, 이들 지지부 중 적어도 하나가, 그 지지부에 지지되는 Y축 가이드를 X축방향으로 변위 가능하게 지지할 수 있으면 된다.
예를 들면, 제1 Y축 가이드(32) 및 제2 Y축 가이드(42)는, 합하여 3개의 지지부에 지지되어도 된다. 구체적으로는, 예를 들면, 제1 Y축 가이드(32)가 2개의 지지부에 지지되고, 제2 Y축 가이드(42)가 하나의 지지부에 지지되며, 이들 3개의 지지부 중 적어도 하나의 지지부가 Y축 가이드를 X축방향으로 변위 가능하게 지지해도 된다. 이 경우, 변형예 4에서 기재한 바와 같이 제2 Y축 슬라이더(44)가 제2 Y축 가이드(42)의 하면을 개방하도록 구성되어 있으면, 제2 Y축 가이드(42)를 지지하는 하나의 지지부는, 제2 Y축 가이드(42)의 길이방향에 있어서의 한가운데를 지지할 수 있다. 즉, 제2 Y축 가이드(42)를 보다 안정적으로 지지할 수 있다.
또 예를 들면, 제1 Y축 가이드(32) 및 제2 Y축 가이드(42)는, 합하여 5개의 지지부에 지지되어도 된다. 구체적으로는, 예를 들면, 제1 Y축 가이드(32)가 3개의 지지부에 지지되고, 제2 Y축 가이드(42)가 2개의 지지부에 지지되며, 이들 5개의 지지부 중 적어도 하나의 지지부가 Y축 가이드를 X축방향으로 변위 가능하게 지지해도 된다. 이 경우, 변형예 4에서 기재한 바와 같이 제1 Y축 슬라이더(34)가 제1 Y축 가이드(32)의 하면을 개방하도록 구성되어 있으면, 3개의 지지부에 의하여, 제1 Y축 가이드(32)의 양단과 그 길이방향에 있어서의 한가운데를 지지할 수 있다. 제1 Y축 가이드(32)의 양단에 더하여 길이방향에 있어서의 한가운데를 지지함으로써, 제1 Y축 가이드(32)가 휘는 것을 억제할 수 있다.
상술한 실시형태 및 변형예의 임의의 조합도 또한 본 발명의 실시형태로서 유용하다. 조합에 의하여 생기는 새로운 실시형태는, 조합되는 실시형태 및 변형예 각각의 효과를 함께 가진다. 또, 청구항에 기재된 각 구성 요건이 해야 할 기능은, 실시형태 및 변형예에 있어서 나타난 각 구성요소의 단체 혹은 그들의 연계에 의하여 실현되는 것도 당업자에게는 이해될 것이다. 예를 들면 청구항에 기재된 이동체는, 실시형태에 기재된 제1 Y축 슬라이더(34), 제2 Y축 슬라이더(44) 및 X축 유닛(20)의 조합에 의하여 실현되어도 된다.
산업상의 이용 가능성
본 발명은 스테이지장치에 이용할 수 있다.
10 정반
10a 반면
11 제1 지지부
12 제2 지지부
13 제3 지지부
14 제4 지지부
20 X축 유닛
32 제1 Y축 가이드
34 제1 Y축 슬라이더
42 제2 Y축 가이드
44 제2 Y축 슬라이더
100 스테이지장치

Claims (3)

  1. 지지평면에 배치되는 제1, 제2, 제3 지지부와,
    상기 제1, 제2 지지부에 지지되고, 제1 방향으로 뻗는 제1 축과,
    상기 제3 지지부에 지지되고, 상기 제1 방향으로 뻗도록 마련되는 제2 축과,
    상기 제1 축 및 상기 제2 축으로 가이드되어 상기 제1 방향으로 이동하는 이동체를 구비하고,
    상기 제1, 제2, 제3 지지부 중 적어도 하나의 지지부는, 그 지지부에 지지되는 축을, 상기 제1 방향으로 변위 불가능하되, 상기 제1 방향에 직교하고, 또한, 상기 지지평면에 평행한 제2 방향으로 변위 가능하게 지지하는 것을 특징으로 하는 스테이지장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1, 제2 지지부는, 상기 제1 축을, 상기 제2 방향으로 변위 불가능하게 지지하는 것을 특징으로 하는 스테이지장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제1 지지부는, 상기 제1 축을, 상기 제1 방향으로 변위 불가능하게 지지하고,
    상기 제2 지지부는, 상기 제1 축을, 상기 제1 방향으로 변위 가능하게 지지하는 것을 특징으로 하는 스테이지장치.
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