JPH0431814A - ステージ駆動装置 - Google Patents
ステージ駆動装置Info
- Publication number
- JPH0431814A JPH0431814A JP2137944A JP13794490A JPH0431814A JP H0431814 A JPH0431814 A JP H0431814A JP 2137944 A JP2137944 A JP 2137944A JP 13794490 A JP13794490 A JP 13794490A JP H0431814 A JPH0431814 A JP H0431814A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- linear guide
- drive
- guide member
- wheel
- knob
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 25
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 20
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 6
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000002747 voluntary effect Effects 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
- 230000002618 waking effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
- B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/34—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
- B23Q5/38—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously
- B23Q5/385—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously using a gear and rack mechanism or a friction wheel co-operating with a rail
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/54—Arrangements or details not restricted to group B23Q5/02 or group B23Q5/22 respectively, e.g. control handles
- B23Q5/56—Preventing backlash
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/24—Base structure
- G02B21/26—Stages; Adjusting means therefor
-
- G—PHYSICS
- G12—INSTRUMENT DETAILS
- G12B—CONSTRUCTIONAL DETAILS OF INSTRUMENTS, OR COMPARABLE DETAILS OF OTHER APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G12B5/00—Adjusting position or attitude, e.g. level, of instruments or other apparatus, or of parts thereof; Compensating for the effects of tilting or acceleration, e.g. for optical apparatus
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/20—Control lever and linkage systems
- Y10T74/20207—Multiple controlling elements for single controlled element
- Y10T74/20372—Manual controlling elements
- Y10T74/20384—Levers
- Y10T74/2039—Pair of levers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Invalid Beds And Related Equipment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、互いに直交する方向へ移動可能で一側面に直
線案内部材を取付けた一対の移動台と各移動台の移動方
向に対し直交する方向へ延びていて各移動台を移動させ
るための一対の同軸的に配置された駆動ノブと各駆動ノ
ブと各直線案内部材との間に配置されていて各駆動ノブ
の回転運動を各移動台の直線案内部材を介しての直線運
動へ変換する一対の伝動機構とを備えた、例えば顕微鏡
等光学検査機器用ステージに好適に利用し得る駆動装置
に関する。
線案内部材を取付けた一対の移動台と各移動台の移動方
向に対し直交する方向へ延びていて各移動台を移動させ
るための一対の同軸的に配置された駆動ノブと各駆動ノ
ブと各直線案内部材との間に配置されていて各駆動ノブ
の回転運動を各移動台の直線案内部材を介しての直線運
動へ変換する一対の伝動機構とを備えた、例えば顕微鏡
等光学検査機器用ステージに好適に利用し得る駆動装置
に関する。
この種のステージ駆動装置は、半導体製造過程の大型ウ
ェハを検査する顕微鏡に適していることから、従来多く
の形式のものが提案されているが、これらは、何れもス
テージを粗動する場合はステージの動きが軽く、駆動ノ
ブを用いて微動する場合はステージの動きに制動が掛け
られてステージに外力が加えられても妄りに動くことが
ないようになっている。
ェハを検査する顕微鏡に適していることから、従来多く
の形式のものが提案されているが、これらは、何れもス
テージを粗動する場合はステージの動きが軽く、駆動ノ
ブを用いて微動する場合はステージの動きに制動が掛け
られてステージに外力が加えられても妄りに動くことが
ないようになっている。
ところで、これら従来のものを機構的に大別すると、例
えば実公昭５６−１９０５０号や特開昭６１−２４６７
１４号において提案されている如く、回転力量を極く軽
くした駆動ノブと同心一体の回転輪が移動台の直線案内
部材と常時係合していて常態でのステージの移動は軽く
行なわれ得且つ微動操作時には摩擦部材によりステージ
又は駆動ノブ軸に押動力が加えられて制動が掛かるよう
にしたブレーキ方式と、特開昭５７−４５５１３号、特
開昭５７−９９６０７号、特開昭６１−１９８２０６号
及び実開平１１５３５０９号等において提案されている
如く、カムなどにより駆動ノブ軸全体が移動台の直線案
内部材に直接係脱できるようにしたり（以下、これを直
接型という）、移動台の直線案内部材に常時噛合してい
る駆動軸と駆動ノブ軸との間に中間伝達輪を配設して微
動操作時にはこの中間伝達輪を駆動軸と駆動ノブ軸とに
同時に押し付けるようにしたりする（以下、これを間接
型という）クラッチ方式とかある。
えば実公昭５６−１９０５０号や特開昭６１−２４６７
１４号において提案されている如く、回転力量を極く軽
くした駆動ノブと同心一体の回転輪が移動台の直線案内
部材と常時係合していて常態でのステージの移動は軽く
行なわれ得且つ微動操作時には摩擦部材によりステージ
又は駆動ノブ軸に押動力が加えられて制動が掛かるよう
にしたブレーキ方式と、特開昭５７−４５５１３号、特
開昭５７−９９６０７号、特開昭６１−１９８２０６号
及び実開平１１５３５０９号等において提案されている
如く、カムなどにより駆動ノブ軸全体が移動台の直線案
内部材に直接係脱できるようにしたり（以下、これを直
接型という）、移動台の直線案内部材に常時噛合してい
る駆動軸と駆動ノブ軸との間に中間伝達輪を配設して微
動操作時にはこの中間伝達輪を駆動軸と駆動ノブ軸とに
同時に押し付けるようにしたりする（以下、これを間接
型という）クラッチ方式とかある。
ところで、上記従来のステージ駆動装置の内、ブレーキ
方式のものでは、駆動ノブ軸と一体の回転輪が移動台の
直線案内部材に常時係合しているため、摩耗による性能
劣化や駆動ノブ軸の回転を軽くするための高価なベアリ
ング使用による製品コストの上昇等を回避できないとい
う問題点があり、又は直接型クラッチ方式のものでは、
各直線案内部材に各駆動ノブ軸を係合させる際されらの
ノブ軸は同心であるため各直線案内部材に対する各ノブ
軸の位置決めが難しく、往々にして一方の直線案内部材
にのみ駆動ノブ軸が強く押し当てられる結果となること
が多い。このため、片方の直線案内部材の摩耗が激しく
なったり、一対の移動台の駆動ツノ量に差が生じたりす
るという問題点があり、更に間接型クラッチ方式のもの
では、直線案内部材と駆動軸とが常時係合しているため
ブレーキ方式のものと同様な問題点を有すると共に、中
間伝達輪を駆動軸と駆動ノブ軸に同時に押し付ける点に
関して直接型クラッチ方式のものと同様の問題点を有す
る。尚、上記直接型クラッチ方式の持つ問題点を解決す
るために、従来、駆動ノブ軸にゴム等の弾性部材軸を固
着してこれを直線案内部材に係脱させるようにしたもの
が提案されているが、この方式のものはステージの位置
決めを行う際−旦移動台を送って駆動ノブから手を離す
と弾性部材軸の弾性により移動台が動いてステージが正
しい位置からずれてしまうという問題点があるばかりか
、半導体製造過程で用いられる場合にはクリーンルーム
内でのゴミの発生源になるという問題点もある。又、ゴ
ム等の弾性部材軸によるこのような問題点と各駆動ノブ
軸を各直線案内部材に同時に押し付けるようにした場合
等の上記問題点を解消するものとして前記特開昭６１−
１９８２０６号により提案されているように弾性部材軸
を使用しないようにした構成のものがあるか、これは構
造が極めて複雑で高価なものになるという問題点がある
。
方式のものでは、駆動ノブ軸と一体の回転輪が移動台の
直線案内部材に常時係合しているため、摩耗による性能
劣化や駆動ノブ軸の回転を軽くするための高価なベアリ
ング使用による製品コストの上昇等を回避できないとい
う問題点があり、又は直接型クラッチ方式のものでは、
各直線案内部材に各駆動ノブ軸を係合させる際されらの
ノブ軸は同心であるため各直線案内部材に対する各ノブ
軸の位置決めが難しく、往々にして一方の直線案内部材
にのみ駆動ノブ軸が強く押し当てられる結果となること
が多い。このため、片方の直線案内部材の摩耗が激しく
なったり、一対の移動台の駆動ツノ量に差が生じたりす
るという問題点があり、更に間接型クラッチ方式のもの
では、直線案内部材と駆動軸とが常時係合しているため
ブレーキ方式のものと同様な問題点を有すると共に、中
間伝達輪を駆動軸と駆動ノブ軸に同時に押し付ける点に
関して直接型クラッチ方式のものと同様の問題点を有す
る。尚、上記直接型クラッチ方式の持つ問題点を解決す
るために、従来、駆動ノブ軸にゴム等の弾性部材軸を固
着してこれを直線案内部材に係脱させるようにしたもの
が提案されているが、この方式のものはステージの位置
決めを行う際−旦移動台を送って駆動ノブから手を離す
と弾性部材軸の弾性により移動台が動いてステージが正
しい位置からずれてしまうという問題点があるばかりか
、半導体製造過程で用いられる場合にはクリーンルーム
内でのゴミの発生源になるという問題点もある。又、ゴ
ム等の弾性部材軸によるこのような問題点と各駆動ノブ
軸を各直線案内部材に同時に押し付けるようにした場合
等の上記問題点を解消するものとして前記特開昭６１−
１９８２０６号により提案されているように弾性部材軸
を使用しないようにした構成のものがあるか、これは構
造が極めて複雑で高価なものになるという問題点がある
。
本発明は、従来技術の有するこのような問題点に鑑みて
なされたものであり、その目的とするところは、係合部
品の摩耗や移動台の駆動力量に差の生じることのない、
構造簡単にして且つ廉価に製作し得る、この種ステージ
駆動装置を提供しようとするものである。
なされたものであり、その目的とするところは、係合部
品の摩耗や移動台の駆動力量に差の生じることのない、
構造簡単にして且つ廉価に製作し得る、この種ステージ
駆動装置を提供しようとするものである。
上記目的を達成するために、本発明によるステージ駆動
装置は、微動用の駆動ノブと一体の回転輪と、駆動ノブ
と同心的に回動可能に取付けられていて回転輪に噛合し
た中間伝達輪と移動台に取付けられた直線案内部材に係
脱可能の駆動輪とを同心一体に枢支したレバーとを夫々
含む一対の伝動機構を備えている。
装置は、微動用の駆動ノブと一体の回転輪と、駆動ノブ
と同心的に回動可能に取付けられていて回転輪に噛合し
た中間伝達輪と移動台に取付けられた直線案内部材に係
脱可能の駆動輪とを同心一体に枢支したレバーとを夫々
含む一対の伝動機構を備えている。
好適には、上記駆動ノブ又は中間伝達輪は制動手段を備
えており、又上記直線案内部材は円形又は角形の断面形
状を有していて両端部二個所のみで移動台に取付けられ
ている。
えており、又上記直線案内部材は円形又は角形の断面形
状を有していて両端部二個所のみで移動台に取付けられ
ている。
上記レバーは駆動輪が直線案内部材に係合する位置と直
線案内部材から離脱した位置とを取り得るようになって
いて、駆動輪が直線案内部材に当接している時は、駆動
ノブの回動により移動台が所定方向へ移動せしめられ得
る。これによりステージは所望の位置へ移動せしめられ
る。
線案内部材から離脱した位置とを取り得るようになって
いて、駆動輪が直線案内部材に当接している時は、駆動
ノブの回動により移動台が所定方向へ移動せしめられ得
る。これによりステージは所望の位置へ移動せしめられ
る。
この場合、駆動ノブ又は中間伝達輪に制動手段が備えら
れていれば、移動台の微動作に慣性力が作用せず而もス
テージに外力が加えられても妄りに移動台が動くような
ことはない。又、直線案内部材がその両端部のみで取付
けられていれば、直線案内部材は撓むことが可能である
ため移動台の移動時横揺れや縦揺れが生じても駆動輪と
直線案内部材との係合状態は常に正常に保たれ得る。
れていれば、移動台の微動作に慣性力が作用せず而もス
テージに外力が加えられても妄りに移動台が動くような
ことはない。又、直線案内部材がその両端部のみで取付
けられていれば、直線案内部材は撓むことが可能である
ため移動台の移動時横揺れや縦揺れが生じても駆動輪と
直線案内部材との係合状態は常に正常に保たれ得る。
以下、本発明を図示した実施例に基つき詳述する。
先づ、第１図において、１はねじ等を用いて顕微鏡本体
の準焦部に取付けられるべき固定板、２は固定板１に第
１方向（例えばＸ方向）へ直線移動し得るように取付け
られていて一側面に断面か円形の第１方向へ延びた棒状
の直線案内部材２ａを取付けた第１移動台、３は第１移
動台２に第２方向（例えばＹ方向）へ直線移動し得るよ
うに取付けられていて一側面に断面が円形の第２方向へ
延びた棒状の直線案内部材３ａを取付けた第２移動台、
４は固定板ｌに取付けられていて後述する駆動ノブと切
換えノブを含む伝動機構ユニットである。
の準焦部に取付けられるべき固定板、２は固定板１に第
１方向（例えばＸ方向）へ直線移動し得るように取付け
られていて一側面に断面か円形の第１方向へ延びた棒状
の直線案内部材２ａを取付けた第１移動台、３は第１移
動台２に第２方向（例えばＹ方向）へ直線移動し得るよ
うに取付けられていて一側面に断面が円形の第２方向へ
延びた棒状の直線案内部材３ａを取付けた第２移動台、
４は固定板ｌに取付けられていて後述する駆動ノブと切
換えノブを含む伝動機構ユニットである。
第２及び第３図は、伝動機構ユニット４の部分の内部構
造を示しているが、図中、５は固定板１と一体的に取付
けられた軸受筒、６は軸受筒５内に回転可能に挿通され
ていて頂部に回転輪６ａを有する主軸、７は軸受筒５の
外側に回転可能に嵌装されていて頂部に回転輪７ａを有
する軸筒、８は軸筒７に固着された第１駆動ノブ、９は
主軸６の下端部に固着された第２駆動ノブ、１０は第１
駆動ノブ８の内側に形成された空間内において軸受筒５
に固着されていて軸筒７を支持する支持環、１１は支持
環１０に嵌装されていて第１駆動ノブ８に当接し得るワ
ッシャー １２は支持環１０の段部とワッシャー１１と
の間に介在せしめられた皿ばね、１３は支持環１０に嵌
装されていて第２駆動ノブ９に当接し得るワッシャー
１４は支持環ｌＯの段部とワッシャー１３との間に介在
せしめられた皿ばねであって、支持環１０とワッシャー
１１と皿ばね１２は第１駆動ノブ８のための制動手段を
、又支持環１０とワッシャー１３と皿ばね１４は第２駆
動ノブ９のための制動手段を夫々構成している。１５は
固定板ｌと一体の部材に取付けられた軸受、１６は軸受
１５に回転可能に支承されていて外周の一部を直径方向
に切除して形成したカム１６ａ（第３図）を有する切換
え軸、１７は切換え軸１６に固着された切換えノブ、１
８は軸受筒５に回動可能に取付けられていて自由端部が
切換え軸１６のカム１６ａに当接し得る第ルバー １９
は第２レバー１８に枢着されていて回転輪７ａに噛合す
る中間伝達輪、２０は中間伝達輪１９と同心一体に取付
けられていてＶ字形外周面が直線案内部材２ａに摩擦係
合し得る駆動輪、２１は軸受筒５に回動可能に取付けら
れていて自由端部が切換え軸１６のカム１６ａに当接し
得る第２レバー ２２は第２レバー２１に枢着されてい
て回転輪６ａに噛合する中間伝達輪、２３は中間伝達輪
２２と同心一体に取付けられていてＶ字形外周面が直線
案内部材３ａに摩擦係合し得る駆動輪、２４（第３図）
は基部が固定板１と一体の部材に固着されていて第１及
び第２レバー１８．２１を第３図の位置で反時計方向へ
即ち駆動輪２０及び２３が直線案内部材２ａ及び３ａに
夫々押し付けられる方向へ弾圧する板ばね、２５（第３
図）は切換え軸１６に固着されていて不動部分に植設さ
れた一対のストッパーピン２６，２７に当接し得るピン
である。
造を示しているが、図中、５は固定板１と一体的に取付
けられた軸受筒、６は軸受筒５内に回転可能に挿通され
ていて頂部に回転輪６ａを有する主軸、７は軸受筒５の
外側に回転可能に嵌装されていて頂部に回転輪７ａを有
する軸筒、８は軸筒７に固着された第１駆動ノブ、９は
主軸６の下端部に固着された第２駆動ノブ、１０は第１
駆動ノブ８の内側に形成された空間内において軸受筒５
に固着されていて軸筒７を支持する支持環、１１は支持
環１０に嵌装されていて第１駆動ノブ８に当接し得るワ
ッシャー １２は支持環１０の段部とワッシャー１１と
の間に介在せしめられた皿ばね、１３は支持環１０に嵌
装されていて第２駆動ノブ９に当接し得るワッシャー
１４は支持環ｌＯの段部とワッシャー１３との間に介在
せしめられた皿ばねであって、支持環１０とワッシャー
１１と皿ばね１２は第１駆動ノブ８のための制動手段を
、又支持環１０とワッシャー１３と皿ばね１４は第２駆
動ノブ９のための制動手段を夫々構成している。１５は
固定板ｌと一体の部材に取付けられた軸受、１６は軸受
１５に回転可能に支承されていて外周の一部を直径方向
に切除して形成したカム１６ａ（第３図）を有する切換
え軸、１７は切換え軸１６に固着された切換えノブ、１
８は軸受筒５に回動可能に取付けられていて自由端部が
切換え軸１６のカム１６ａに当接し得る第ルバー １９
は第２レバー１８に枢着されていて回転輪７ａに噛合す
る中間伝達輪、２０は中間伝達輪１９と同心一体に取付
けられていてＶ字形外周面が直線案内部材２ａに摩擦係
合し得る駆動輪、２１は軸受筒５に回動可能に取付けら
れていて自由端部が切換え軸１６のカム１６ａに当接し
得る第２レバー ２２は第２レバー２１に枢着されてい
て回転輪６ａに噛合する中間伝達輪、２３は中間伝達輪
２２と同心一体に取付けられていてＶ字形外周面が直線
案内部材３ａに摩擦係合し得る駆動輪、２４（第３図）
は基部が固定板１と一体の部材に固着されていて第１及
び第２レバー１８．２１を第３図の位置で反時計方向へ
即ち駆動輪２０及び２３が直線案内部材２ａ及び３ａに
夫々押し付けられる方向へ弾圧する板ばね、２５（第３
図）は切換え軸１６に固着されていて不動部分に植設さ
れた一対のストッパーピン２６，２７に当接し得るピン
である。
本発明に係るステージの駆動装置は上記の如く構成され
ているか、次にその作用を説明する。図示の状態は、駆
動輪２０．２３が直線案内部材２ａ、３ａに夫々係合し
た状態即ち第１及び第２移動台２．３を微動操作し得る
状態であるが、この切換え状態で例えば第１駆動ノブ８
を回せば、この回転は軸筒７を介して回転輪７ａに伝達
され、更に中間伝達輪１９及び駆動輪２０へ伝達される
。
ているか、次にその作用を説明する。図示の状態は、駆
動輪２０．２３が直線案内部材２ａ、３ａに夫々係合し
た状態即ち第１及び第２移動台２．３を微動操作し得る
状態であるが、この切換え状態で例えば第１駆動ノブ８
を回せば、この回転は軸筒７を介して回転輪７ａに伝達
され、更に中間伝達輪１９及び駆動輪２０へ伝達される
。
この場合駆動輪２０は板ばね２４により直線案内部材２
ａへ押し付けられていて両者間には摩擦力が作用してい
るから、駆動輪２０の上記回転により第１移動台２は第
１方向（Ｘ方向）へ直線移動する。この際、第１駆動ノ
ブ８には制動手段によりブレーキが掛けられているから
、第１移動台２が慣性運動することはなく、意図した所
定位置に正確に停止させることができる。同様に第２駆
動ノブ９を回した時は、主軸６１回転輪６ａ、中間伝達
輪２２．駆動輪２３及び直線案内部材３ａを介して第２
移動台３を第２方向（Ｙ方向）へ直線移動させることか
できる。
ａへ押し付けられていて両者間には摩擦力が作用してい
るから、駆動輪２０の上記回転により第１移動台２は第
１方向（Ｘ方向）へ直線移動する。この際、第１駆動ノ
ブ８には制動手段によりブレーキが掛けられているから
、第１移動台２が慣性運動することはなく、意図した所
定位置に正確に停止させることができる。同様に第２駆
動ノブ９を回した時は、主軸６１回転輪６ａ、中間伝達
輪２２．駆動輪２３及び直線案内部材３ａを介して第２
移動台３を第２方向（Ｙ方向）へ直線移動させることか
できる。
次に、図示の状態で切換えノブ１７をピン２５がストッ
パーピン２７に当接するまで回せば、第１及び第２レバ
ー１８及び２１は第３図の位置から同時に切換え軸１６
の円周面に押されて右旋し、その結果、駆動輪２０，２
３は直線案内部材２ａ。
パーピン２７に当接するまで回せば、第１及び第２レバ
ー１８及び２１は第３図の位置から同時に切換え軸１６
の円周面に押されて右旋し、その結果、駆動輪２０，２
３は直線案内部材２ａ。
３ａから夫々離脱する。従って、微動操作状態は解除さ
れ、第１及び第２移動台２及び３は手による粗動操作が
可能となる。
れ、第１及び第２移動台２及び３は手による粗動操作が
可能となる。
以上の説明で明らかな如（、切換え軸１６に形成される
カムを、第４図に示すように、第２レバー１８専用のカ
ム１６ａ’と第２レバー２１専用のカム１６８′とを１
８０°離れた角度位置に形成し、その中間の角度位置に
既述の第１及び第２レバー１８及び２１共通のカム１６
ａを形成するようにすれば、切換えノブ１７の回転位置
によって第１及び第２移動台２及び３を別々に粗動又は
微動の操作状態に切換えたり、同時に粗動又は微動の操
作状態に切換えたりすることが可能となる。
カムを、第４図に示すように、第２レバー１８専用のカ
ム１６ａ’と第２レバー２１専用のカム１６８′とを１
８０°離れた角度位置に形成し、その中間の角度位置に
既述の第１及び第２レバー１８及び２１共通のカム１６
ａを形成するようにすれば、切換えノブ１７の回転位置
によって第１及び第２移動台２及び３を別々に粗動又は
微動の操作状態に切換えたり、同時に粗動又は微動の操
作状態に切換えたりすることが可能となる。
この場合の切換え位置はクリック装置等を用いて規制す
るようにすれば良い。又、一般に移動台は、加工上の問
題や組立て上の問題から常に正確に平行移動している訳
でなく、横揺れ（ヨーイング）や縦揺れ（ピッチング）
を起こしなから移動する。
るようにすれば良い。又、一般に移動台は、加工上の問
題や組立て上の問題から常に正確に平行移動している訳
でなく、横揺れ（ヨーイング）や縦揺れ（ピッチング）
を起こしなから移動する。
従って、駆動輪２０．２３の位置か一定であるとすると
、駆動輪２０．２３と直線案内部材２ａ。
、駆動輪２０．２３と直線案内部材２ａ。
３ａとの接触状態は、横揺れにより第４図（ａ）に示す
如く、又は縦揺れで第４図（ｂ）に示す如くなり、これ
らは駆動輪と直線案内部材との間に作用する摩擦力の強
弱となり、移動台の円滑な移動に支障を来たす結果とな
る。これに対し、本駆動装置によれば、第１及び第２レ
バー１８．２１が板ばね２４により弾圧されているため
上記横揺れに対しては支障を回避することができ、又は
直線案内部材２ａ、３ａはその両端部のみで移動台２．
３に取付けられているため移動台の移動中に縦揺れが生
じてもこれに応じて直線案内部材２ａ。
如く、又は縦揺れで第４図（ｂ）に示す如くなり、これ
らは駆動輪と直線案内部材との間に作用する摩擦力の強
弱となり、移動台の円滑な移動に支障を来たす結果とな
る。これに対し、本駆動装置によれば、第１及び第２レ
バー１８．２１が板ばね２４により弾圧されているため
上記横揺れに対しては支障を回避することができ、又は
直線案内部材２ａ、３ａはその両端部のみで移動台２．
３に取付けられているため移動台の移動中に縦揺れが生
じてもこれに応じて直線案内部材２ａ。
３ａが例えば第６図に示す如く変形して駆動輪２０．２
３との正常な係合状態を維持させることができる。実用
上、直線案内部材としては、直径３ｍｍ、長さ２００＋
ｎｍ程度の丸棒が使用されるので上記の変形は柔軟に行
われ得、而もこの種の材料は安価であり多少変形してい
ても使用し得るから、装置全体を安価に提供することが
できる。
３との正常な係合状態を維持させることができる。実用
上、直線案内部材としては、直径３ｍｍ、長さ２００＋
ｎｍ程度の丸棒が使用されるので上記の変形は柔軟に行
われ得、而もこの種の材料は安価であり多少変形してい
ても使用し得るから、装置全体を安価に提供することが
できる。
尚、上記実施例では、直線案内部材２ａ、３ａとして丸
棒即ち断面円形の部材を用いたが、第７図に示す如き断
面角形の板材を用いても良いことは言うまでもない。こ
の場合は、駆動輪を軸方向へ多少遊動できるように取付
けることによって、上記の縦揺れによる支障を回避する
ことができる。
棒即ち断面円形の部材を用いたが、第７図に示す如き断
面角形の板材を用いても良いことは言うまでもない。こ
の場合は、駆動輪を軸方向へ多少遊動できるように取付
けることによって、上記の縦揺れによる支障を回避する
ことができる。
又、制動手段は駆動ノブに設けられているが、例えば第
２図に鎖線で示す如く第２レバー１８と中間伝達輪Ｉ９
との間に皿ばねを介在せしめるような方法で中間伝達輪
に設けるようにしても良い。
２図に鎖線で示す如く第２レバー１８と中間伝達輪Ｉ９
との間に皿ばねを介在せしめるような方法で中間伝達輪
に設けるようにしても良い。
上述の如く本発明によれば、簡単な切換え操作で交直す
る二方向への移動台の微動移動を独立的に或いは同時に
行うことができ、又微動操作は慣性力の作用しない状態
で円滑且つ確実に行うことができる。又、微動操作中摩
擦係合部分が移動台の横揺れ、縦揺れに柔軟に対応し得
るから、直線案内部材や駆動輪等の摩耗が少なく長期間
初期の性能を維持し得るのみならず、摩耗粉の発生の少
ないこの装置を提供することができる。更に、比較的廉
価な部品を使用することができるばかりか組立ても比較
的簡単であるから、装置全体を安価に提供することがで
きる。
る二方向への移動台の微動移動を独立的に或いは同時に
行うことができ、又微動操作は慣性力の作用しない状態
で円滑且つ確実に行うことができる。又、微動操作中摩
擦係合部分が移動台の横揺れ、縦揺れに柔軟に対応し得
るから、直線案内部材や駆動輪等の摩耗が少なく長期間
初期の性能を維持し得るのみならず、摩耗粉の発生の少
ないこの装置を提供することができる。更に、比較的廉
価な部品を使用することができるばかりか組立ても比較
的簡単であるから、装置全体を安価に提供することがで
きる。
第１図は本発明装置を使用したステージの外観斜視図、
第２図゛は本発明に係る駆動装置部分の要部断面図、第
３図は第２図の■−■線に沿って見た平面図、第４図は
切換えカムの第３図とは異なる例を示す説明図、第５図
は移動台の横揺れと縦揺れの状態を説明するための図、
第６図は直線案内部材の取付は状態と変形の様子を説明
するための図、第７図は直線案内部材の他の例を示す部
分斜視図である。 ■・・・・固定板、２，３・・・・一対の移動台１．２
ａ。 ３ａ・・・・直線案内部材、４・・・・伝動機構ユニッ
ト、５・・・・軸受筒、６・・・・主軸、６ａ・・・・
回転輪、７・・・・軸筒、７ａ・・・・回転輪、８，９
・・・・駆動ノブ、ｌＯ・・・・支持環、１１．１３・
・・・ワッシャー １２．１４・・・・皿ばね、１５ 換え軸、１６ａ、１６ａ １７・・・・切換えノブ、１８ ９．２２・・・・中間伝達輪、 ２４・・・・板ばね。 ・・・・軸受、１６・・・・切 １６ａ ・・・・カム、 ２１・・・・レバー １ ２０．２３・・・・駆動輪、 １−１図 矛２ 図 矛３図 第５図 １−６図 １−４図 ハ １Ｐ７図 書（自発） 平成 ２年 ９月７ 特願平２ １３７９４４号 ステージ駆動装置 ６、補正の内容 （１）明細書第４頁１７行目の「されらの」を「それら
のＪと訂正する。 （２）同第７頁４行目と５行目の間に下記文章を挿入す
る。 「 通常、直線案内部材は両端部二個所を取付ければ機
能上何ら問題はないか、ストロークが３００＋ｎ＋ｎを
越える場合は、三個折着しくは四個所を取付けてもよい
。但し、案内部材が取付けられる三個所以上の点は各々
同一高さとなるように調整されている必要がある。」 （３）図面中、第１図、第２図及び第３図を夫々別紙添
付の通り訂正する。 〒１０５東京都港区新橋５の１９ 明細書の発明の詳細な説明の欄及び図面。 第１ 図 図 矛２ 図 手 続 補 正 書（自発） 平成 ３年 ５月 ２日 特 許 庁 長 官 殿 ｌ。 事 件 の 表 不 特願平２ １３７９４４号 発 明 の 名 称 ステージ駆動装置 図面中、第１図乃至第４図を夫々別紙添付の通り訂正す
る。 第１ 図 第２図 ］
第２図゛は本発明に係る駆動装置部分の要部断面図、第
３図は第２図の■−■線に沿って見た平面図、第４図は
切換えカムの第３図とは異なる例を示す説明図、第５図
は移動台の横揺れと縦揺れの状態を説明するための図、
第６図は直線案内部材の取付は状態と変形の様子を説明
するための図、第７図は直線案内部材の他の例を示す部
分斜視図である。 ■・・・・固定板、２，３・・・・一対の移動台１．２
ａ。 ３ａ・・・・直線案内部材、４・・・・伝動機構ユニッ
ト、５・・・・軸受筒、６・・・・主軸、６ａ・・・・
回転輪、７・・・・軸筒、７ａ・・・・回転輪、８，９
・・・・駆動ノブ、ｌＯ・・・・支持環、１１．１３・
・・・ワッシャー １２．１４・・・・皿ばね、１５ 換え軸、１６ａ、１６ａ １７・・・・切換えノブ、１８ ９．２２・・・・中間伝達輪、 ２４・・・・板ばね。 ・・・・軸受、１６・・・・切 １６ａ ・・・・カム、 ２１・・・・レバー １ ２０．２３・・・・駆動輪、 １−１図 矛２ 図 矛３図 第５図 １−６図 １−４図 ハ １Ｐ７図 書（自発） 平成 ２年 ９月７ 特願平２ １３７９４４号 ステージ駆動装置 ６、補正の内容 （１）明細書第４頁１７行目の「されらの」を「それら
のＪと訂正する。 （２）同第７頁４行目と５行目の間に下記文章を挿入す
る。 「 通常、直線案内部材は両端部二個所を取付ければ機
能上何ら問題はないか、ストロークが３００＋ｎ＋ｎを
越える場合は、三個折着しくは四個所を取付けてもよい
。但し、案内部材が取付けられる三個所以上の点は各々
同一高さとなるように調整されている必要がある。」 （３）図面中、第１図、第２図及び第３図を夫々別紙添
付の通り訂正する。 〒１０５東京都港区新橋５の１９ 明細書の発明の詳細な説明の欄及び図面。 第１ 図 図 矛２ 図 手 続 補 正 書（自発） 平成 ３年 ５月 ２日 特 許 庁 長 官 殿 ｌ。 事 件 の 表 不 特願平２ １３７９４４号 発 明 の 名 称 ステージ駆動装置 図面中、第１図乃至第４図を夫々別紙添付の通り訂正す
る。 第１ 図 第２図 ］
Claims (3)
- （１）互いに直行する方向へ移動可能で一側面に直線案
内部材を取付けた一対の移動台と、各移動台の移動方向
に対し直交する方向へ延びていて各移動台を移動させる
ための一対の同軸的に配置された駆動ノブと、各駆動ノ
ブと各直線案内部材との間に配置されていて各駆動ノブ
の回転運動を各移動台の各直線案内部材を介しての直線
運動へ変換する一対の伝動機構とを備えたステージにお
いて、各伝動機構は、上記駆動ノブと一体の回転輪と、
上記駆動ノブと同心的に回動可能に取付けられていて上
記回転輪に噛合した中間伝達輪と上記直線案内部材に係
脱可能の駆動輪とを同心一体に枢支したレバーとを夫々
含んでおり、該レバーは上記駆動輪が上記直線案内部材
に係合する位置と直線案内部材から離脱した位置とを取
り得るようになっていることを特徴とする駆動装置。 - （２）前記駆動ノブ又は中間伝達輪は制動手段を備えて
いて、前記駆動輪が前記直線案内部材に係合している時
移動台に制動力が作用するようになっている、特許請求
の範囲（１）に記載の駆動装置。 - （３）前記直線案内部材は円形又は角形の断面形状を有
していて両端部二個所のみで移動台に取付けられている
、特許請求の範囲（１）に記載の駆動装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2137944A JP2921703B2 (ja) | 1990-05-28 | 1990-05-28 | ステージ駆動装置 |
| US07/703,781 US5228357A (en) | 1990-05-28 | 1991-05-21 | Stage driving device for optical examining apparatus |
| DE4117333A DE4117333C2 (de) | 1990-05-28 | 1991-05-27 | Antriebsvorrichtung für den Objekttisch eines Mikroskops |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2137944A JP2921703B2 (ja) | 1990-05-28 | 1990-05-28 | ステージ駆動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0431814A true JPH0431814A (ja) | 1992-02-04 |
| JP2921703B2 JP2921703B2 (ja) | 1999-07-19 |
Family
ID=15210356
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2137944A Expired - Fee Related JP2921703B2 (ja) | 1990-05-28 | 1990-05-28 | ステージ駆動装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5228357A (ja) |
| JP (1) | JP2921703B2 (ja) |
| DE (1) | DE4117333C2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6341037B1 (en) | 1999-08-24 | 2002-01-22 | Mitutoyo Corporation | Positioning stage |
| JP2002196256A (ja) * | 2000-12-22 | 2002-07-12 | Nikon Corp | 遠隔操作装置及び顕微鏡システム |
| CN105269382A (zh) * | 2014-07-07 | 2016-01-27 | 协鸿工业股份有限公司 | 卧搪工具机的可自动调整齿隙的b轴装置 |
| CN113156635A (zh) * | 2021-05-27 | 2021-07-23 | 乐世科(苏州)生物医学科技有限公司 | 一种具有可拆卸机械平台的荧光显微镜及其方法 |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4135532A1 (de) * | 1991-10-28 | 1993-04-29 | Fibro Gmbh | Positioniervorrichtung |
| DE19532008C2 (de) * | 1995-08-31 | 1998-01-29 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Koaxialtrieb für den Objekttisch eines Mikroskops |
| JP3576291B2 (ja) * | 1995-10-23 | 2004-10-13 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡ステージ |
| DE29600887U1 (de) * | 1996-01-19 | 1996-03-07 | Leica Ag | Antriebsvorrichtung für einen Mikroskop-Kreuztisch |
| DE19700549A1 (de) * | 1997-01-10 | 1998-07-16 | Alsthom Cge Alcatel | Vorrichtung zur präzisen Anordnung von mikrooptischen Bauteilen auf einem Träger |
| DE19818341B4 (de) * | 1998-04-23 | 2008-06-26 | Schneider Gmbh & Co. Kg | Interferometer zum Vermessen asphärischer Linsen |
| DE10023568C2 (de) | 2000-05-15 | 2002-08-01 | Leica Microsystems | Fokussiertrieb für optische Instrumente |
| FR2819059B1 (fr) * | 2001-01-03 | 2003-08-15 | Jeulin Sa | Ensemble de microscope a platine ergonomique |
| US6788457B2 (en) * | 2002-05-30 | 2004-09-07 | George Mauro | Microscope stage |
| JP2005006553A (ja) * | 2003-06-19 | 2005-01-13 | Olympus Corp | 細胞培養検出装置 |
| ATE553408T1 (de) * | 2007-01-11 | 2012-04-15 | Renishaw Plc | Probenpositionierungsbühne und betriebsverfahren dafür |
| GB0700507D0 (en) * | 2007-01-11 | 2007-02-21 | Renishaw Plc | A Movement Apparatus |
| ES2642051T3 (es) | 2008-05-28 | 2017-11-15 | Steelcase Inc. | Conjunto de superficie de trabajo |
| CN105068233A (zh) * | 2015-07-31 | 2015-11-18 | 梧州奥卡光学仪器有限公司 | 显微镜载物台 |
| CN107728305A (zh) * | 2017-11-17 | 2018-02-23 | 珠海科域生物工程股份有限公司 | 一种显微镜微调传动机构 |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5619050A (en) * | 1980-04-28 | 1981-02-23 | Fuji Photo Film Co Ltd | Negative film containing method |
| DE3025974C2 (de) * | 1980-07-09 | 1982-06-09 | Gebr. Märzhäuser Wetzlar oHG, 6330 Wetzlar | Antriebsvorrichtung für den Kreuztisch eines Mikroskopes oder ähnlichen Gerätes |
| US4552033A (en) * | 1980-07-08 | 1985-11-12 | Gebr. Marzhauser Wetzlar oHG | Drive system for a microscope stage or the like |
| DE3037741C2 (de) * | 1980-07-09 | 1982-12-30 | Gebr. Märzhäuser Wetzlar oHG, 6330 Wetzlar | Antriebsvorrichtung für einen Schlitten |
| DE3027461C2 (de) * | 1980-07-19 | 1986-12-18 | Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar | Verstellvorrichtung für einen Objekttisch eines optischen Instruments |
| DE3345570A1 (de) * | 1983-12-16 | 1985-07-04 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Kupplung fuer den antrieb eines kreuztisches |
| US4660942A (en) * | 1984-07-02 | 1987-04-28 | Warner-Lambert Technologies Inc. | Microscope adjustment apparatus |
| US4573771A (en) * | 1984-07-02 | 1986-03-04 | Warner-Lambert Technologies, Inc. | Microscope adjustment apparatus |
| DE3505217C1 (de) * | 1985-02-15 | 1986-02-27 | Gebr. Märzhäuser Wetzlar GmbH & Co KG, 6330 Wetzlar | Antriebsvorrichtung für den Kreuztisch eines Mikroskopes oder ähnlichen Gerätes |
| JPH071340B2 (ja) * | 1985-02-28 | 1995-01-11 | 株式会社ニコン | ステ−ジの駆動装置 |
| US4700585A (en) * | 1985-08-09 | 1987-10-20 | Gebr. Marzhauser Wetzlar oHG | Drive for the compound stage of a microscope or similar apparatus |
| JPH01153509A (ja) * | 1987-12-11 | 1989-06-15 | Tokai Denka Kogyo Kk | 高純度過酸化水素の製造方法 |
-
1990
- 1990-05-28 JP JP2137944A patent/JP2921703B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-05-21 US US07/703,781 patent/US5228357A/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-05-27 DE DE4117333A patent/DE4117333C2/de not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6341037B1 (en) | 1999-08-24 | 2002-01-22 | Mitutoyo Corporation | Positioning stage |
| JP2002196256A (ja) * | 2000-12-22 | 2002-07-12 | Nikon Corp | 遠隔操作装置及び顕微鏡システム |
| CN105269382A (zh) * | 2014-07-07 | 2016-01-27 | 协鸿工业股份有限公司 | 卧搪工具机的可自动调整齿隙的b轴装置 |
| CN113156635A (zh) * | 2021-05-27 | 2021-07-23 | 乐世科(苏州)生物医学科技有限公司 | 一种具有可拆卸机械平台的荧光显微镜及其方法 |
| CN113156635B (zh) * | 2021-05-27 | 2022-05-13 | 乐世科(苏州)生物医学科技有限公司 | 一种具有可拆卸机械平台的荧光显微镜及其方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE4117333C2 (de) | 1994-02-10 |
| DE4117333A1 (de) | 1991-12-05 |
| US5228357A (en) | 1993-07-20 |
| JP2921703B2 (ja) | 1999-07-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0431814A (ja) | ステージ駆動装置 | |
| KR930000292B1 (ko) | 얼라인먼트 테이블 장치 | |
| JP2601834B2 (ja) | テーブル装置 | |
| JPH0719693Y2 (ja) | 移動テーブル | |
| US6498892B1 (en) | Positioning device especially for assembling optical components | |
| JP4606956B2 (ja) | ステージ装置 | |
| TW577049B (en) | Tilt angle adjustment device for the spindle motor of a compact disk drive | |
| JPS62152632A (ja) | テ−ブル装置 | |
| JP4998684B2 (ja) | 位置決め装置 | |
| JPH0475012A (ja) | ステージ駆動装置 | |
| KR20040084712A (ko) | 대형 기판 스테이지 | |
| JPS6336924Y2 (ja) | ||
| JP3651358B2 (ja) | ステージ装置の駆動機構 | |
| JP2524603Y2 (ja) | 回転体の支持機構 | |
| JP2585710Y2 (ja) | ステージ | |
| JP2883628B2 (ja) | Ｘ―ｙテーブル装置 | |
| JPS60221809A (ja) | 移動装置 | |
| JPH01302197A (ja) | 位置決め装置 | |
| JP3116380B2 (ja) | 移動テーブル装置 | |
| JPH062073Y2 (ja) | ラック・ピニオン伝動装置 | |
| JPH0310732A (ja) | Ｚ―θテーブル | |
| US4803892A (en) | Manually operable device for displacing movable stages | |
| JPH0430931A (ja) | 移動テーブル | |
| JPS5853743Y2 (ja) | スライドレ−ル保持機構 | |
| JP2023139834A (ja) | 位置決め装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |