JPH0430931A

JPH0430931A - 移動テーブル

Info

Publication number: JPH0430931A
Application number: JP13340290A
Authority: JP
Inventors: Yoshiyuki Sugiyama; 杉山　吉幸; Takeo Sato; 佐藤　健夫; Shinichiro Aoki; 新一郎青木; Masaki Yamamoto; 正樹山本; Hiroyuki Takeuchi; 宏之竹内; Yoshito Nakanishi; 淑人中西
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1990-05-23
Filing date: 1990-05-23
Publication date: 1992-02-03

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は、精密な移動精度を要する超精密加工機や、半
導体製造装置等に用い、例えば、シリコンウェハを直交
方向に移動させるために用いる移動テーブルに関するも
のである。

従来の技術最近、半導体製造装置等の分野において、移動テーブル
は、ウェハ等をますます大ストロークでかつ、微小に送
ることができるように構成されることが要求されてきて
いる。例えば、マスクとウェハとをサブミクロンオーダ
ーで精密に位置合わせするために、微小送り機構が用い
られる。また、ノリコンウェハはその大きさが直径で６
インチや８インチの大きさのものが用いられており、こ
のようなウェハ全体を均一に露光するためには大ストロ
ークで送る機構を必要とする。従来の移動テーブルにお
いて、大ストローク送りには、例えば、ボールねしを用
いた構成が知られ、微小送りには、例えば、圧電素子（
ピエヅ素子）を用いた構成が知られている。以下、図面
を参照しながら上記従来の移動テーブルについて説明す
る。

第３図は従来の一例における移動テーブル（特開昭６２
−４４３２９号公報参照）を示す横断面間である。

第３図に示すように、ベース１０１上に軌道台１０２が
取り付けられ、軌道台１０２上にローラヘアリング１０
３を介してスライドテーブル１０４が支持され、スライ
ドテーブル１０４はローラベアリング１０３を介して軌
道台１０２に倣って紙面の垂直方向に移動することがで
きる。スライドチーフル１０４の移動方向に沿って案内
軸１０５が設けられ、案内軸１０５上にはこの案内軸１
０５を軌道としてスライドテーブル１０４と平行に移動
することができるリニアポールヘアリング１０６が設け
られている。スライドテーブル１０４とリニアポールベ
アリング１０６との間に引張ばね１０７が張設され、こ
の引張ばね１０７の弾性によりスライドテーブル１０４
が軌道面１０２側に付勢されている。

このような移動テーブルにおいては、スライドテーブル
１０４の移動にポールねしを用いることができる。例え
ば、案内軸１０５と平行にポールねしのねし軸を配置し
、ねし軸にポールを介して螺合されたナツトをスライド
テーブル１０４の内面に固定し、ねし軸をベース１０１
上に支持した駆動モ夕に連係する。そして、駆動モータ
の駆動によりねし軸が回転すると、ねし軸のリード分だ
けす、２トを介してスライドテーブル１０４を軌道面１
０２および案内軸１０５に沿って大ストロークで移動さ
せることができる。

第４図は従来の他の例における微小位置決め装置（特開
昭６２−１５０４９号公報参照）を示す一部切欠き斜視
図である。

第４図に示すように、バー２０１がケース２０２に直線
ガイドであるポールブツシュ２０３を介して支持されて
いる。ケース２０２の内側には制動を行うためのピエゾ
素子２０４が設けられ、ピエゾ素子２０４の内面には摩
擦係数が大きく、耐摩耗性の優れた摩擦板２０５が設け
られている。バー２０１は駆動源のシリンダーに連係さ
れている。

以上のような構成において、以下、その動作について説
明する。

ピエゾ素子２０４に電界を加え、これを伸ばしてその内
面に取り付けられた摩擦板２０５をバー２０１に押し付
け、その状態でバー２０１にシリンダー２０６により力
Ｆを加える。このとき加える力Ｆは摩擦板２０５とバー
２０１の摩擦力より弱いため、バー２０１は静止してい
る。次に、ピエゾ素子２０４に逆方向に電界をかけるか
、または電界を取り去ってピエゾ素子２０４を瞬間的に
縮めて摩ＷＩ板２０５とバー２０１との摩擦をなくし、
その後、再び、ピエゾ素子２０４に電界を加えてこれを
伸ばし、摩擦板２０５をバー２０１に押し付けてバー２
０１を静止させる。ここで、摩擦板２０５からバー２０
１が離れている時間ｔを制御することにより、バー２０
１およびこのバー２旧に連係されたテーブル（図示省略
）を微小送りして任意に位置決めすることが可能である
。そして、時間りの制御に高い周波数応答性のあるピエ
ゾ素子や電磁石を用いることにより、微小な位置決めが
可能となる。

発明が解決しようとする課題しかし、以上のような従来技術によりテーブルを大スト
ロークで移動させ゛、しかも、微小に移動させて位置決
めするには、第３図に示す移動テーブルのスライドテー
ブル１０３上に第４図に示す機構を搭載する必要があり
、ウェハ等の送りに用いるテーブルを大ストローク送り
機構と微小送り機ＦｓＬ二対して別々の直線案内ＩＩ構
を用いて案内する必要があるため、装置が大がかりで構
造が複雑となるばかりでなく、高価になるなどの課題が
あった。

課本発明は、従来技術の以上のような情理を解決するもの
であり、ウェハ等を送るためのテーブルを直線移動する
ように案内する機構を１つ用いるだけでそのテーブルを
大ストロークで移動させることができ、しかも、微小に
移動させて位置決めすることができ、したがって、構成
の簡略化および低コスト化を図ることができるようにし
た移動テーブル全提供することを目的とするものである
。

課題を解決するための手段上記目的を達成するための本発明の技術的解決手段は、
テーブルと、このテーブルを直線移動するように案内す
る直線案内機構と、互いに連係され、上記テーブルを上
記同一の直線案内機構の案内により大ストロークで、か
つ微小に移動させることができる大ストローク送り機構
および微小送り機構とを備えたものである。

そして、上記大ストローク送り機構として送りねじ機構
を用い、微小送り機構として圧電素子を用い、また、上
記テーブルと上記送りねじ機構のナツトの間に圧電素子
を介在させるのが好ましい。

作用したがって、本発明によれば、同一の直線案内機構の案
内により、テーブルを大ストローク送り機構の駆動に伴
い、大ストロークで送ることができ、しかも、微小送り
機構の駆動に伴い、微小送りして位置決めすることがで
きる。

実施例以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明
する。

第１図および第２図は本発明の一実施例における移動テ
ーブルを示し、第１図は斜視図、第２図は縦断面図であ
る。

第１図および第２図に示すように、スライドテブル１の
下面四隅にリニアボールフッツユ２か取り付けられ、各
リニアボールブツシュ２が定位置に配置された一対の案
内軸３にスライド可能に嵌合され、スライドテーブル１
が案内軸３に沿ってスライドすることができる。定位置
に支持された駆動モータ４にボールねしのねし軸５が直
結されている。ねし軸５にボール（図示省略）を介して
螺合されたボールねじ用のナツト６には圧電素子７が固
定されている。スライドテーブル１の下面には圧電素子
７に対応する押し板８が取り付けられている。スライド
テーブル１は引張ばね９の弾性により駆動モータ４側に
付勢され、押し板８が圧電素子７に当接されている。す
なわち、スライドテーブル１の押し板８とボールねし用
のナンド６との間に圧電素子７が介在されている。

駆動モータ４の駆動によりボールねしのねし軸５が回転
すると、ねし軸５のリード分だけボールねし用のナツト
６が移動し、これに伴い、圧電素子７および押し板８を
介し、スライドチーフル１が室内軸３に沿って移動する
。このように、ポルねしを用いることにより、スライド
チーフル１を大ストロークで移動さゼることかできる。

また、圧電素子７に電界を加えると、その電界の大きさ
に比例して圧電素子７が伸び、押し板８を介し、スライ
ドテーブルｌが案内軸３に沿って移動する。この圧電素
子６は数μｍから数１００μｍ程度の移動量であるので
、スライドテーブル１を微小移動させて位置決めするこ
とが可能となる。

なお、上記実施例では、スライドテーブル１の直線案内
機構として、案内軸３とリニアボールフッツユ２を用い
た場合について説明したが、スライドテーブルｌを少な
くとも１組のＶ字状溝の嵌合により案内するようにして
もよい。この他、本発明は、その基本的技術思想を逸脱
しない範囲で種り設計変更することができる。

発明の詳細な説明したように本発明によれば、同一の直線案内機構
の案内により、テーブルを大ストロークり機構の駆動に
伴い、大ストロークで送ることができ、しかも、微小送
り機構の駆動に伴い、微小送りして位置決めすることが
できる。このように、ウェハ等を送るためのテーブルを
直線移動するように案内機構を１つだけ用いることによ
り、そのテーブルを大ストロークで、かつ微小に送るこ
とができるので、構成を簡素化することができ、しかも
、低コスト化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本発明の一実施例における移動テ
ーブルを示し、第１図は斜視図、第２図は継断面図、第
３図は従来例の移動テーブルを示す横断面図、第４図は
従来例の微小位置決め装置を示す一部切欠き斜視図であ
る。１・・・・・・スライドテーブル、２・・・・・リニア
ボールフッツユ、３・・・・・・案内軸、４・・・・駆
動モータ、５・・・・・・ボールねしのねし軸、６・・
・・・・ボールねし用ナツト、７・・・・・圧電素子、
８・・・・・・押し板、９・・・・弓張ばね。第図第図ｆスライドアープ１し５ボ′−１序ｌ麺ねじ細第図第図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）テーブルと、このテーブルを直線移動するように
案内する直線案内機構と、互いに連係され、上記テーブ
ルを上記同一の直線案内機構の案内により大ストローク
で、かつ微小に移動させることができる大ストローク送
り機構および微小送り機構とを備えたことを特徴とする
移動テーブル。
（２）大ストローク送り機構として送りねじ機構を用い
、微小送り機構として圧電素子を用いた請求項１記載の
移動テーブル。
（３）テーブルと送りねじ機構のナットの間に圧電素子
が介在された請求項２記載の移動テーブル。