JPS6318682B2 - - Google Patents
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- JPS6318682B2 JPS6318682B2 JP15160280A JP15160280A JPS6318682B2 JP S6318682 B2 JPS6318682 B2 JP S6318682B2 JP 15160280 A JP15160280 A JP 15160280A JP 15160280 A JP15160280 A JP 15160280A JP S6318682 B2 JPS6318682 B2 JP S6318682B2
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- JP
- Japan
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- displacement table
- arm
- point
- displacement
- pressing
- Prior art date
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 65
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0002—Arrangements for supporting, fixing or guiding the measuring instrument or the object to be measured
- G01B5/0004—Supports
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/34—Relative movement obtained by use of deformable elements, e.g. piezoelectric, magnetostrictive, elastic or thermally-dilatable elements
- B23Q1/36—Springs
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Workshop Equipment, Work Benches, Supports, Or Storage Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は交叉する２軸方向の変位を微小距離で
正確に得ることができ，且つ，該微小変位量を正
確に保持しつつ固定状態となすことができる装置
に関するものである。
正確に得ることができ，且つ，該微小変位量を正
確に保持しつつ固定状態となすことができる装置
に関するものである。
従来，交叉する２軸方向の変位を得るための装
置として，案内レールによつて１軸方向に移動が
規制された可動部材上に同じく案内レールによつ
て１軸方向に移動が規制された可動部材を移動軸
方向が互いに交叉するように配置し，それぞれの
可動部材を直接螺子によつて移動させるか，マイ
クロメーターヘツドの押圧によつて移動させるこ
とにより２軸方向の移動量あるいは位置の決定を
なすものが知られている。これ等の従来の装置に
よつては，可動部材の送り量（移動量）を微小と
なすために送り用のボルトあるいはマイクロメー
ターの螺子ピツチを細かくしなければならず，該
加工のむずかしさ，又，ピツチを細かくしたため
の耐久性の問題，可動部材と案内レールとのギヤ
ツプによるガタの問題等が残されており，更に該
装置によつて決定された移動量あるいは位置を保
持しつつ固定する場合においても，固定手段によ
つて可動部材を固定する部位に，螺子部のバツク
ラツシユにより位置ずれを生じてしまう恐れがあ
つた。
置として，案内レールによつて１軸方向に移動が
規制された可動部材上に同じく案内レールによつ
て１軸方向に移動が規制された可動部材を移動軸
方向が互いに交叉するように配置し，それぞれの
可動部材を直接螺子によつて移動させるか，マイ
クロメーターヘツドの押圧によつて移動させるこ
とにより２軸方向の移動量あるいは位置の決定を
なすものが知られている。これ等の従来の装置に
よつては，可動部材の送り量（移動量）を微小と
なすために送り用のボルトあるいはマイクロメー
ターの螺子ピツチを細かくしなければならず，該
加工のむずかしさ，又，ピツチを細かくしたため
の耐久性の問題，可動部材と案内レールとのギヤ
ツプによるガタの問題等が残されており，更に該
装置によつて決定された移動量あるいは位置を保
持しつつ固定する場合においても，固定手段によ
つて可動部材を固定する部位に，螺子部のバツク
ラツシユにより位置ずれを生じてしまう恐れがあ
つた。
本発明は叙上の点に鑑みなされたもので，送り
用の螺子部の加工に特段の精度を要せず，固定時
の位置ずれを極力なくし，微小変位量の位置決め
を正確に行なわしめる装置を提供するにある。
用の螺子部の加工に特段の精度を要せず，固定時
の位置ずれを極力なくし，微小変位量の位置決め
を正確に行なわしめる装置を提供するにある。
添付図面に示す一実施例に基づき本発明を更に
詳細に説明すれば以下の通りである。
詳細に説明すれば以下の通りである。
第１図は本発明の微小変位テーブル１を示すも
ので，参照符号２で示す押圧移動部と，該押梓移
動部２に一端部が弾性的に屈曲可能な連接部３・
３によつて連接された第１アーム４・４と，該第
１アーム４・４の他端部に一端部が弾性的に屈曲
可能な連接部５・５によつて連接された第２アー
ム６・６と，該第２アーム６・６の他端部に一端
部が弾性的に屈曲可能な連接部７・７によつて連
接された第３アーム８・８と，該第３アーム８・
８の他端部に弾性的に屈曲可能な連接部９・９に
よつて連接された平衡部材１０と、該平衡部材１
０に弾性的に屈曲可能な連接部１１によつて連接
された変位テーブル１２と，前記第１のアーム
４・４の他端部近傍，前記第３のアーム８・８の
他端部の近傍および変位テーブル１２の両側部の
それぞれを弾性的に屈曲可能な連接部１３・１
３，１４・１４，１５…によつて支持する固定部
１６とより構成されている。参照符号１７…は平
衡アームで前記連接部１５…によつて一端部が固
定部１６へ連接され他端部は前記変位テーブル１
２に一体化され，該変位テーブル１２の移動の
際，僅かながら湾曲し変位テーブル１２の直線的
移動を補助する。
ので，参照符号２で示す押圧移動部と，該押梓移
動部２に一端部が弾性的に屈曲可能な連接部３・
３によつて連接された第１アーム４・４と，該第
１アーム４・４の他端部に一端部が弾性的に屈曲
可能な連接部５・５によつて連接された第２アー
ム６・６と，該第２アーム６・６の他端部に一端
部が弾性的に屈曲可能な連接部７・７によつて連
接された第３アーム８・８と，該第３アーム８・
８の他端部に弾性的に屈曲可能な連接部９・９に
よつて連接された平衡部材１０と、該平衡部材１
０に弾性的に屈曲可能な連接部１１によつて連接
された変位テーブル１２と，前記第１のアーム
４・４の他端部近傍，前記第３のアーム８・８の
他端部の近傍および変位テーブル１２の両側部の
それぞれを弾性的に屈曲可能な連接部１３・１
３，１４・１４，１５…によつて支持する固定部
１６とより構成されている。参照符号１７…は平
衡アームで前記連接部１５…によつて一端部が固
定部１６へ連接され他端部は前記変位テーブル１
２に一体化され，該変位テーブル１２の移動の
際，僅かながら湾曲し変位テーブル１２の直線的
移動を補助する。
ここで該変位テーブル１の動作説明をすると次
の通りである。
の通りである。
押圧移動部２を図中に示す矢印方向にボルトあ
るいはマイクロメーターヘツド（図示せず）等に
より押圧し移動させる。該押圧移動部２の移動に
伴ない第１アーム４・４が連接部１３・１３を支
点としてそれぞれの一端部が押圧移動部２に応動
して移動され，第１アーム４・４の他端部はそれ
ぞれ一端部の移動量より縮小されて逆方向に移動
される。該第１アーム４・４の移動は連接部５・
５を作用点として連接された第２アーム６・６を
介して該第２アーム６・６の他端部に連接部７・
７を力点として連接された第３アーム８・８の一
端部に伝達され，該第３アーム８・８の一端部に
前記第１アーム４・４の他端部の移動と同様の移
動を与える。該第３アーム８・８は連接部１４・
１４によつて固定部１６へ支持されているもので
あるから，連接部１４・１４を支点として，前記
した一端部の移動に伴ない該移動量より縮小さ
れ，且つ，逆方向の移動が他端部に生ずる。該第
３アーム８・８の他端部の移動は平衡部材１０を
介して変位テーブル１２を該移動と同量，同方向
に移動させる。従つて，アーム６は作用点と力点
を備えていることになる。
るいはマイクロメーターヘツド（図示せず）等に
より押圧し移動させる。該押圧移動部２の移動に
伴ない第１アーム４・４が連接部１３・１３を支
点としてそれぞれの一端部が押圧移動部２に応動
して移動され，第１アーム４・４の他端部はそれ
ぞれ一端部の移動量より縮小されて逆方向に移動
される。該第１アーム４・４の移動は連接部５・
５を作用点として連接された第２アーム６・６を
介して該第２アーム６・６の他端部に連接部７・
７を力点として連接された第３アーム８・８の一
端部に伝達され，該第３アーム８・８の一端部に
前記第１アーム４・４の他端部の移動と同様の移
動を与える。該第３アーム８・８は連接部１４・
１４によつて固定部１６へ支持されているもので
あるから，連接部１４・１４を支点として，前記
した一端部の移動に伴ない該移動量より縮小さ
れ，且つ，逆方向の移動が他端部に生ずる。該第
３アーム８・８の他端部の移動は平衡部材１０を
介して変位テーブル１２を該移動と同量，同方向
に移動させる。従つて，アーム６は作用点と力点
を備えていることになる。
従つて，変位テーブル１２の移動方向および移
動量は前記押圧部材２の移動方向と同様で，第１
アーム４・４，第３アーム８・８によつて縮小さ
れた移動量として与えられる。前記押圧移動部
２，第１アーム４・４，第２アーム６・６，第３
アーム８・８，平衡部材１０および変位テーブル
１２相互の連接，又，第１アーム４・４，第３ア
ーム８・８および変位テーブル１２と固定部１６
との連接は，何れも弾性的に屈曲可能な連接部に
よるものであるため，前記押圧移動部２への押圧
力を解除すれば前記各構成要素は連接部の弾性力
により初期の位置に復帰される。又，前記押圧移
動部２を押圧移動させるボルト，あるいはマイク
ロメータヘツド等は，反力として常に一定方向の
力を押圧移動部２より受けているものであるか
ら，バツクラツシユ等の生ずる恐れが極力防止で
き，且つ，変位テーブル１２の移動量が押圧移動
部２の移動量を縮小することによつて生じている
ものであるから，ボルト，マイクロメータヘツド
等の精度の影響も極力微小となすことができる。
動量は前記押圧部材２の移動方向と同様で，第１
アーム４・４，第３アーム８・８によつて縮小さ
れた移動量として与えられる。前記押圧移動部
２，第１アーム４・４，第２アーム６・６，第３
アーム８・８，平衡部材１０および変位テーブル
１２相互の連接，又，第１アーム４・４，第３ア
ーム８・８および変位テーブル１２と固定部１６
との連接は，何れも弾性的に屈曲可能な連接部に
よるものであるため，前記押圧移動部２への押圧
力を解除すれば前記各構成要素は連接部の弾性力
により初期の位置に復帰される。又，前記押圧移
動部２を押圧移動させるボルト，あるいはマイク
ロメータヘツド等は，反力として常に一定方向の
力を押圧移動部２より受けているものであるか
ら，バツクラツシユ等の生ずる恐れが極力防止で
き，且つ，変位テーブル１２の移動量が押圧移動
部２の移動量を縮小することによつて生じている
ものであるから，ボルト，マイクロメータヘツド
等の精度の影響も極力微小となすことができる。
第２図は本発明の一実施例を示す全体図であ
り，第３図はその要部断面図で，該図に基づき本
発明装置を説明すれば次のとおりである。
り，第３図はその要部断面図で，該図に基づき本
発明装置を説明すれば次のとおりである。
第２図において参照符号１０１は基台であり，
該基台１０１上には参照符号１０２で示す微小変
位テーブルが止着され，該微小変位テーブル１０
２上には該微小変位テーブル１０２の変位方向と
交叉する方向に変位方向を配した微小変位テーブ
ル１０３がスペーサー１０４を介して配置され，
更に該微小変位テーブル１０３上には参照符号１
０５で示す載置台が止着されている。参照符号１
０６・１０６で示す部材は係合部材で，上方にお
いて相対向する如く係合部１０７・１０７が形成
されており，前記載置台１０５が上方へ移動され
た時，該載置台１０５の両側部に係合するような
されていて，下方において前記基台１０１に止着
されている。参照符号１０８・１０９は支持体
で，前記基台１０１上に止着され，それぞれ前記
微小変位テーブル１０２・１０３を動作させるマ
イクロメータあるいはステツピツングモータ等の
駆動手段１１０・１１１が装着されている。以上
の構成についての詳細は第３図を用いて後述す
る。参照符号１１２は前記基台１０１に設けたハ
ウジングで内部に前記載置台１０５を係合部材１
０６・１０６に係合させる押圧手段１１３（後述
する）が配置されている。
該基台１０１上には参照符号１０２で示す微小変
位テーブルが止着され，該微小変位テーブル１０
２上には該微小変位テーブル１０２の変位方向と
交叉する方向に変位方向を配した微小変位テーブ
ル１０３がスペーサー１０４を介して配置され，
更に該微小変位テーブル１０３上には参照符号１
０５で示す載置台が止着されている。参照符号１
０６・１０６で示す部材は係合部材で，上方にお
いて相対向する如く係合部１０７・１０７が形成
されており，前記載置台１０５が上方へ移動され
た時，該載置台１０５の両側部に係合するような
されていて，下方において前記基台１０１に止着
されている。参照符号１０８・１０９は支持体
で，前記基台１０１上に止着され，それぞれ前記
微小変位テーブル１０２・１０３を動作させるマ
イクロメータあるいはステツピツングモータ等の
駆動手段１１０・１１１が装着されている。以上
の構成についての詳細は第３図を用いて後述す
る。参照符号１１２は前記基台１０１に設けたハ
ウジングで内部に前記載置台１０５を係合部材１
０６・１０６に係合させる押圧手段１１３（後述
する）が配置されている。
第３図に示す如く，基台１０１に設けたハウジ
ング１１２内には押圧手段１１３が配置されてい
る。該押圧手段１１３は前記微小変位テーブル１
０２・１０３およびスペーサ１０４に対して遊嵌
され，一端部が前記載置台１０５に固着された連
結棒１１４と該連結棒１１４の他端部に当接され
該連結棒１１４を押圧する油圧式，圧縮空気等の
加圧手段１１５とより構成されている。尚，該加
圧手段は機械式であつてもよい。次に載置台１０
５，微小変位テーブル１０２・１０３，スペーサ
ー１０４および基台１０１の止着構造について詳
述する。基台１０１に設けたハウジング１１２に
は，微小変位テーブル１０２の固定部１０２ａが
スペーサー１１６を介して止着され該微小変位テ
ーブル１０２の変位テーブル１０２ｂにはスペー
サー１１７・１０４および１１８を介して微小変
位テーブル１０３の固定部１０３ａが止着され，
更に該微小変位テーブル１０３の変位テーブル１
０３ｂにはスペーサー１１９を介して載置台１０
５が止着されている。
ング１１２内には押圧手段１１３が配置されてい
る。該押圧手段１１３は前記微小変位テーブル１
０２・１０３およびスペーサ１０４に対して遊嵌
され，一端部が前記載置台１０５に固着された連
結棒１１４と該連結棒１１４の他端部に当接され
該連結棒１１４を押圧する油圧式，圧縮空気等の
加圧手段１１５とより構成されている。尚，該加
圧手段は機械式であつてもよい。次に載置台１０
５，微小変位テーブル１０２・１０３，スペーサ
ー１０４および基台１０１の止着構造について詳
述する。基台１０１に設けたハウジング１１２に
は，微小変位テーブル１０２の固定部１０２ａが
スペーサー１１６を介して止着され該微小変位テ
ーブル１０２の変位テーブル１０２ｂにはスペー
サー１１７・１０４および１１８を介して微小変
位テーブル１０３の固定部１０３ａが止着され，
更に該微小変位テーブル１０３の変位テーブル１
０３ｂにはスペーサー１１９を介して載置台１０
５が止着されている。
次に本発明装置の作用について説明する。
マイクロメーターあるいはステツピングモータ
ー等の駆動手段１１０・１１１を駆動して両微小
変位テーブル１０２・１０３を動作させる。即
ち，微小変位テーブル１０２を動作させると第１
図に基づき説明した如く，微小変位テーブル１０
２の変位テーブル１０２ｂが一軸方向に移動する
が，該移動によつて変位テーブル１０２ｂに止着
されているスペーサー１０４，微小変位テーブル
１０３および載置台１０５も同時に移動される。
該方向への所望の移動が得られたならば駆動手段
１１０を停止し，次いで駆動手段１１１を駆動し
て微小変位テーブル１０３を動作させ，変位テー
ブル１０３ｂを前記方向と交叉する方向へ移動さ
せる。該移動により変位テーブル１０３ｂに止着
された載置台１０５が変位テーブル１０２ｂによ
つて与えられた方向と交叉する方向に移動され
る。該方向への所望の移動が得られたならば駆動
手段１１１停止し変位テーブル１０３ｂの移動を
停止する。この状態において載置台１０５の３軸
方向の移動が完了される。又，前述した如く微小
変位テーブル１０２・１０３は連接部の存在によ
り前記駆動手段１１０・１１１に対し常時押圧さ
れているから位置のズレはない。これより加圧手
段１１５を駆動させることによつて連結棒１１４
を押圧し上方へ移動させる。該連結棒１１４の上
方への移動によつて一端部に固着された載置台１
０５も同時に押圧移動されてその両側部が係合部
材１０６・１０６の係合部１０７・１０７に当接
係合される。この動作により載置台１０５の固定
がなされるのであるが，載置台１０５に直接ある
いは間接的に止着された微小変位テーブル１０
２・１０３は，前述の如く各構成要素が弾性的に
屈曲可能な連接部によつて連接されているから，
それぞれの移動方向に対し垂直方向の力が加わつ
ても変位テーブル１０２ｂ・１０３ｂはその位置
をずらされることなく前記垂直方向の移動がなさ
れる。前記係合部１０７・１０７と載置台１０５
の間隙は，固定の応答性，精度向上のために極力
狭く設定する。
ー等の駆動手段１１０・１１１を駆動して両微小
変位テーブル１０２・１０３を動作させる。即
ち，微小変位テーブル１０２を動作させると第１
図に基づき説明した如く，微小変位テーブル１０
２の変位テーブル１０２ｂが一軸方向に移動する
が，該移動によつて変位テーブル１０２ｂに止着
されているスペーサー１０４，微小変位テーブル
１０３および載置台１０５も同時に移動される。
該方向への所望の移動が得られたならば駆動手段
１１０を停止し，次いで駆動手段１１１を駆動し
て微小変位テーブル１０３を動作させ，変位テー
ブル１０３ｂを前記方向と交叉する方向へ移動さ
せる。該移動により変位テーブル１０３ｂに止着
された載置台１０５が変位テーブル１０２ｂによ
つて与えられた方向と交叉する方向に移動され
る。該方向への所望の移動が得られたならば駆動
手段１１１停止し変位テーブル１０３ｂの移動を
停止する。この状態において載置台１０５の３軸
方向の移動が完了される。又，前述した如く微小
変位テーブル１０２・１０３は連接部の存在によ
り前記駆動手段１１０・１１１に対し常時押圧さ
れているから位置のズレはない。これより加圧手
段１１５を駆動させることによつて連結棒１１４
を押圧し上方へ移動させる。該連結棒１１４の上
方への移動によつて一端部に固着された載置台１
０５も同時に押圧移動されてその両側部が係合部
材１０６・１０６の係合部１０７・１０７に当接
係合される。この動作により載置台１０５の固定
がなされるのであるが，載置台１０５に直接ある
いは間接的に止着された微小変位テーブル１０
２・１０３は，前述の如く各構成要素が弾性的に
屈曲可能な連接部によつて連接されているから，
それぞれの移動方向に対し垂直方向の力が加わつ
ても変位テーブル１０２ｂ・１０３ｂはその位置
をずらされることなく前記垂直方向の移動がなさ
れる。前記係合部１０７・１０７と載置台１０５
の間隙は，固定の応答性，精度向上のために極力
狭く設定する。
叙上の如くなした本発明によれば，各構成要素
が屈曲によつて動作されるものであるから，従来
の如く案内レールと可動部材との間のギヤツプに
よるガタや位置合わせ精度の低下といつた問題を
極力解消でき，連接部の位置を適宜設定すること
により，極めて微小な移動を容易に得ることがで
きる。又，可動部材を固定する場合にも決定され
た位置を保持しつつ固定し得るもので，送り装置
に起因するバツクラツシユも極力防止できるもの
である。
が屈曲によつて動作されるものであるから，従来
の如く案内レールと可動部材との間のギヤツプに
よるガタや位置合わせ精度の低下といつた問題を
極力解消でき，連接部の位置を適宜設定すること
により，極めて微小な移動を容易に得ることがで
きる。又，可動部材を固定する場合にも決定され
た位置を保持しつつ固定し得るもので，送り装置
に起因するバツクラツシユも極力防止できるもの
である。
尚，前記実施例中，載置台１０５を固定するた
めに押圧手段１１３によつて載置台１０５を係合
部材１０６に係合させる例について説明したが，
他に，係合部材１０６と基台１０１間に押圧手段
を配置し該押圧手段により係合部材１０６を下方
に押圧して載置台１０５に係合させ固定するよう
にしてもよいものである。
めに押圧手段１１３によつて載置台１０５を係合
部材１０６に係合させる例について説明したが，
他に，係合部材１０６と基台１０１間に押圧手段
を配置し該押圧手段により係合部材１０６を下方
に押圧して載置台１０５に係合させ固定するよう
にしてもよいものである。
第１図は本発明の微小変位テーブルを示す図，
第２図は本発明装置の全体を示す図，第３図は本
発明装置の要部断面図である。 １・１０２・１０３……微小変位テーブル、２
……押圧移動部、３・５・７・９・１３・１４…
…連接部、４・６・８……アーム、１２・１０２
ｂ・１０３ｂ……変位テーブル、１６・１０２
ａ・１０３ａ……固定部、１０１……基台、１０
５……載置台、１０６……係合部材、１１３……
押圧手段、１１４……連結棒、１１５……加圧手
段。
第２図は本発明装置の全体を示す図，第３図は本
発明装置の要部断面図である。 １・１０２・１０３……微小変位テーブル、２
……押圧移動部、３・５・７・９・１３・１４…
…連接部、４・６・８……アーム、１２・１０２
ｂ・１０３ｂ……変位テーブル、１６・１０２
ａ・１０３ａ……固定部、１０１……基台、１０
５……載置台、１０６……係合部材、１１３……
押圧手段、１１４……連結棒、１１５……加圧手
段。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 押圧移動部を第１アームに有すると共に，両
端部を作用点としてテーブルに連接した支点を作
用点側に近接して有する第１アームと，該第１ア
ームの作用点を力点とし他端部を作用点とした連
接アームと，該連接アームの作用点を力点とし，
他端部を変位テーブルの作用点としてテーブルに
連接した支点を作用点側に接近して有する最終ア
ームと，該最終アームを他端部に弾性的に屈曲可
能な連接部によつて連接された変位テーブルと，
少なくとも前記第１アームと最終アームとを弾性
的に屈曲可能な連接部によつて支持する固定部と
を有する微小変位テーブル装置において，微小変
位テーブルを変位方向が交叉する如く２個配置
し，一方の微小変位テーブルの変位テーブルには
載置台を配置するとともに固定部には他方の微小
変位テーブルの変位テーブルを止着し，又，他方
の変位テーブルの固定部には基台を止着し，該基
台には前記載置台と係合可能な係合部材を配置す
るとともに該係合部材と載置台とを係合させる押
圧手段を配置したことを特徴とする微小変位テー
ブルの固定装置。 ２ 前記押圧手段は，一端部が前記載置台に固着
され前記両微小変位テーブルに遊嵌された連結棒
と，該連結棒の他端部に当接され該連結棒を押圧
する加圧手段とよりなることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の微小変位テーブルの固定装
置。 ３ 前記押圧手段は，前記係合部材と基台との間
に配置され該係合部材を押圧する加圧手段よりな
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
微小変位テーブルの固定装置。 ４ 前記加圧手段は，機械式加圧手段よりなるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第２項〜第３項記
載の微小変位テーブルの固定装置。 ５ 前記加圧手段は油圧式加圧手段よりなること
を特徴とする特許請求の範囲第２項〜第３項記載
の微小変位テーブルの固定装置。 ６ 前記加圧手段は，圧縮空気式加圧手段よりな
ることを特徴とする特許請求の範囲第２項〜第３
項記載の微小変位テーブルの固定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15160280A JPS5774601A (en) | 1980-10-29 | 1980-10-29 | Apparatus for fixing finely displacing table |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15160280A JPS5774601A (en) | 1980-10-29 | 1980-10-29 | Apparatus for fixing finely displacing table |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5774601A JPS5774601A (en) | 1982-05-10 |
| JPS6318682B2 true JPS6318682B2 (ja) | 1988-04-19 |
Family
ID=15522110
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15160280A Granted JPS5774601A (en) | 1980-10-29 | 1980-10-29 | Apparatus for fixing finely displacing table |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5774601A (ja) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| DE3246359A1 (de) * | 1982-12-15 | 1984-06-20 | Standard Elektrik Lorenz Ag, 7000 Stuttgart | Justiervorrichtung zur spielfreien verschiebung von objekten in einem koordinatensystem |
| GB8421962D0 (en) * | 1984-08-30 | 1984-10-03 | Boc Group Plc | Separation of gaseous mixture |
| JPS61164759A (ja) * | 1985-01-14 | 1986-07-25 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 微動移動機構 |
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| WO1991001848A1 (en) * | 1989-08-04 | 1991-02-21 | Hatheway Alson E | Precision motion transducer |
| JPH03159148A (ja) * | 1989-11-16 | 1991-07-09 | Advantest Corp | 位置決め装置及びこの位置決め装置を利用したｉｃ試験装置 |
| CA2112792A1 (en) * | 1993-01-29 | 1994-07-30 | Donald F. Rogowski | Paper surface roughness analyzer |
| US5684707A (en) * | 1994-10-03 | 1997-11-04 | Westvaco Corporation | Apparatus and method for analyzing paper surface topography |
| CN102930904B (zh) * | 2012-10-10 | 2015-03-11 | 北京航空航天大学 | 基于柔性倾斜梁的用于提高直线电机分辨率的微动平台 |
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-
1980
- 1980-10-29 JP JP15160280A patent/JPS5774601A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5774601A (en) | 1982-05-10 |
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