JP2652263B2 - 物体移動装置 - Google Patents
物体移動装置Info
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- JP2652263B2 JP2652263B2 JP2184346A JP18434690A JP2652263B2 JP 2652263 B2 JP2652263 B2 JP 2652263B2 JP 2184346 A JP2184346 A JP 2184346A JP 18434690 A JP18434690 A JP 18434690A JP 2652263 B2 JP2652263 B2 JP 2652263B2
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、半導体ウエハまたは液晶表示パネル等の平
板状物体にパターンを形成するための露光装置および各
種測定装置に関し、特に位置決め対象物の移動装置に関
するものである。
板状物体にパターンを形成するための露光装置および各
種測定装置に関し、特に位置決め対象物の移動装置に関
するものである。
［従来の技術］ 従来例を第３図に示す。１はウエハ等（図示しない）
の位置決めされるべき対象物を（図では上面側に）載置
・固定するプレート、３はピエゾでありＺ方向に伸縮す
る。ピエゾ３の一端は基準面（図では下側に位置する）
に固定され、他端はヒンジ５を関してレバー６に固定さ
れている。４はピエゾドライバである。レバー６の一端
は基準面（側面）に固定され、他端はヒンジ16に固定さ
れている。ヒンジ16の他端はプレート１に固定されてい
る。プレート１にはヒンジ16と同様の構成の他の２本の
ヒンジ17、18がヒンジ16と同様にして装着される。
の位置決めされるべき対象物を（図では上面側に）載置
・固定するプレート、３はピエゾでありＺ方向に伸縮す
る。ピエゾ３の一端は基準面（図では下側に位置する）
に固定され、他端はヒンジ５を関してレバー６に固定さ
れている。４はピエゾドライバである。レバー６の一端
は基準面（側面）に固定され、他端はヒンジ16に固定さ
れている。ヒンジ16の他端はプレート１に固定されてい
る。プレート１にはヒンジ16と同様の構成の他の２本の
ヒンジ17、18がヒンジ16と同様にして装着される。
10、11、12は板バネであり、それぞれ一端はプレート
１に固定され、他端は基準面に固定されている。板バネ
10〜12によりプレート１は、X,Y方向の並進運動（XY面
内でのＸ方向およびＹ方向の移動）および、Ｚ軸回りの
回転運動が拘束される。
１に固定され、他端は基準面に固定されている。板バネ
10〜12によりプレート１は、X,Y方向の並進運動（XY面
内でのＸ方向およびＹ方向の移動）および、Ｚ軸回りの
回転運動が拘束される。
ピエゾドライバ４によりピエゾを伸ばした時、レバー
６はそのヒンジを回転中心として回転し、この要領でヒ
ンジ16を押し上げ、プレート１を押し上げる。ヒンジ1
7、18についても同様である。
６はそのヒンジを回転中心として回転し、この要領でヒ
ンジ16を押し上げ、プレート１を押し上げる。ヒンジ1
7、18についても同様である。
各ヒンジ16、17、18のピエゾの伸び量を制御すること
によりプレート１はＺ方向の並進運動（Ｚ軸に沿った移
動）、Ｘ軸回りおよびＹ軸回りの回転運動（チルト動
作）が可能となる。
によりプレート１はＺ方向の並進運動（Ｚ軸に沿った移
動）、Ｘ軸回りおよびＹ軸回りの回転運動（チルト動
作）が可能となる。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、上記従来例ではピエゾ駆動時にヒンジ
16〜18に対し圧縮力が加わる構成となっているため、次
のような欠点があった。各ヒンジ16〜18に形成された２
か所のくびれ部は、第４図に示すように必ずしもＺ方向
同一直線上にない。組立誤差、加工誤差によってくびれ
部分はX,Y方向にズレを生じる。また、運動学的にもピ
エゾを伸縮させることによりXY方向に若干のズレを生じ
る。プレート１をＺ方向またはチルト方向に素早く移動
させるためには、ヒンジ16〜18のＺ方向剛性をできるだ
け高くすることが必要である。しかしながら、ヒンジ16
〜18に圧縮力が加わると上記ズレが大きくなる方向に作
用し、Ｚ方向剛性が低下する。このため、従来はプレー
ト１の素早い移動ができなかった。
16〜18に対し圧縮力が加わる構成となっているため、次
のような欠点があった。各ヒンジ16〜18に形成された２
か所のくびれ部は、第４図に示すように必ずしもＺ方向
同一直線上にない。組立誤差、加工誤差によってくびれ
部分はX,Y方向にズレを生じる。また、運動学的にもピ
エゾを伸縮させることによりXY方向に若干のズレを生じ
る。プレート１をＺ方向またはチルト方向に素早く移動
させるためには、ヒンジ16〜18のＺ方向剛性をできるだ
け高くすることが必要である。しかしながら、ヒンジ16
〜18に圧縮力が加わると上記ズレが大きくなる方向に作
用し、Ｚ方向剛性が低下する。このため、従来はプレー
ト１の素早い移動ができなかった。
本発明は上記従来技術の欠点に鑑みなされたものであ
って、ピエゾ駆動時にプレートに対しＺ方向に作用して
プレートをＺ方向に移動させるヒンジのＺ方向の剛性を
高めて迅速で確実な移動を達成可能な移動装置の提供を
目的とする。
って、ピエゾ駆動時にプレートに対しＺ方向に作用して
プレートをＺ方向に移動させるヒンジのＺ方向の剛性を
高めて迅速で確実な移動を達成可能な移動装置の提供を
目的とする。
［課題を解決するための手段および作用］ 前記目的を達成するため、本発明によれば、Ｚ方向並
進運動およびX,Y軸廻りのチルト運動可能なプレート１
を駆動する要素の１つであるヒンジに関して、前記ヒン
ジに常に引っ張り力が加わるような構成とすることによ
り、ヒンジ部の高いＺ方向剛性を確保し、プレート１の
素早い移動を可能にしたものである。
進運動およびX,Y軸廻りのチルト運動可能なプレート１
を駆動する要素の１つであるヒンジに関して、前記ヒン
ジに常に引っ張り力が加わるような構成とすることによ
り、ヒンジ部の高いＺ方向剛性を確保し、プレート１の
素早い移動を可能にしたものである。
［実施例］ 第１図は本発明の実施例の斜視図である。同図におい
て、１は位置決めすべき対象となるウエハ等を載置・固
定するプレート、２はウエハである。３はＺ方向に伸縮
するピエゾであり、一端は基準面に固定され、他端はヒ
ンジ５を介してレバー６に固定されている。レバー６の
一端は基準面に固定され、他端はヒンジ７に固定されて
いる。４はピエゾドライバである。ヒンジ７の他端はプ
レート１に固定されている。プレート１にはヒンジ７と
同様の構成の他の２本のヒンジ８、９がヒンジ７と同様
にして装着されている。10、11、12は板バネであり各々
一端はプレート１に固定され、他端は板バネ台13〜15を
介して基準面に固定されている。板バネ10〜12および板
バネ台13〜15によりプレート１は、X,Y方向の並進運動
（XY平面内でのX,Y各方向の移動）およびＺ軸回りの回
転運動が拘束される。即ち、プレート１は、Ｚ軸方向の
移動およびX,Y軸廻りのチルト動作のみ可能となる。
て、１は位置決めすべき対象となるウエハ等を載置・固
定するプレート、２はウエハである。３はＺ方向に伸縮
するピエゾであり、一端は基準面に固定され、他端はヒ
ンジ５を介してレバー６に固定されている。レバー６の
一端は基準面に固定され、他端はヒンジ７に固定されて
いる。４はピエゾドライバである。ヒンジ７の他端はプ
レート１に固定されている。プレート１にはヒンジ７と
同様の構成の他の２本のヒンジ８、９がヒンジ７と同様
にして装着されている。10、11、12は板バネであり各々
一端はプレート１に固定され、他端は板バネ台13〜15を
介して基準面に固定されている。板バネ10〜12および板
バネ台13〜15によりプレート１は、X,Y方向の並進運動
（XY平面内でのX,Y各方向の移動）およびＺ軸回りの回
転運動が拘束される。即ち、プレート１は、Ｚ軸方向の
移動およびX,Y軸廻りのチルト動作のみ可能となる。
ピエゾ３を伸ばすと、レバー６はくびれ部分を回転中
心として回転し、てこの要領でヒンジ７を介してプレー
ト１を引き上げる。ヒンジ８、９に関しても同様の動作
が行なわれる。各ヒンジ７、８、９のピエゾの伸び量を
制御することによりＺ方向並進移動およびX,Y軸回りの
チルト回転を制御できる。このときヒンジ７〜９には常
に引っ張り力が加わるため、第２図に示すようにヒンジ
部のくびれ部分がXY方向にズレを生じていてもズレが修
正される方向に力が働き、Ｚ方向剛性は高い値を確保で
きる。したがって、Ｚ方向の並進およびX,Y軸回りの回
転に関して素早い移動を実現できる。
心として回転し、てこの要領でヒンジ７を介してプレー
ト１を引き上げる。ヒンジ８、９に関しても同様の動作
が行なわれる。各ヒンジ７、８、９のピエゾの伸び量を
制御することによりＺ方向並進移動およびX,Y軸回りの
チルト回転を制御できる。このときヒンジ７〜９には常
に引っ張り力が加わるため、第２図に示すようにヒンジ
部のくびれ部分がXY方向にズレを生じていてもズレが修
正される方向に力が働き、Ｚ方向剛性は高い値を確保で
きる。したがって、Ｚ方向の並進およびX,Y軸回りの回
転に関して素早い移動を実現できる。
［発明の効果］ 以上説明したように、Ｚ方向並進運動、およびX,Y軸
回りの回転運動可能なプレート１を駆動する要素の１つ
であるヒンジ部について、常に引っ張り力が加わるよう
な構成としたことによりヒンジ部のＺ方向剛性が高ま
り、素早い移動が可能となる。これによりウエハ処理等
のスループットが向上し、例えば、半導体露光装置に関
してICの製造コストを下げることができる。
回りの回転運動可能なプレート１を駆動する要素の１つ
であるヒンジ部について、常に引っ張り力が加わるよう
な構成としたことによりヒンジ部のＺ方向剛性が高ま
り、素早い移動が可能となる。これによりウエハ処理等
のスループットが向上し、例えば、半導体露光装置に関
してICの製造コストを下げることができる。
第１図は、本発明の実施例に係る平板状物体移動装置の
外観図、 第２図は、本発明の装置のヒンジ部への力の作用説明
図、 第３図は、従来の平板状物体移動装置の外観図、 第４図は、従来装置のヒンジ部への力の作用説明図であ
る。 1:プレート、 2:ウエハ、 3:ピエゾ、 4:ピエゾドライバ、 5:ヒンジ、 6:レバー、 ７、８、9:ヒンジ、 10、11、12:板バネ。
外観図、 第２図は、本発明の装置のヒンジ部への力の作用説明
図、 第３図は、従来の平板状物体移動装置の外観図、 第４図は、従来装置のヒンジ部への力の作用説明図であ
る。 1:プレート、 2:ウエハ、 3:ピエゾ、 4:ピエゾドライバ、 5:ヒンジ、 6:レバー、 ７、８、9:ヒンジ、 10、11、12:板バネ。
Claims (3)
- 【請求項１】XY平面に平行な物体搭載面を有しＺ方向に
移動可能でかつＸおよびＹ軸廻りに回転可能なテーブル
と、該テーブルの少なくとも３か所に設けた各々独立に
制御可能なＺ方向駆動手段と、前記テーブルのＸ方向お
よびＹ方向の移動およびＺ軸廻りの回転動作を拘束する
ガイド手段とを備え、前記各Ｚ方向駆動手段は駆動力発
生手段と２か所にくびれ部を有し駆動時にテーブルに対
し前記駆動力を作用させるためのヒンジ部材とを含み、
該ヒンジ部材は前記テーブルに対し駆動力が引っ張り方
向に作用するように配設されたことを特徴とする物体移
動装置。 - 【請求項２】前記駆動力発生手段はピエゾ素子からな
り、前記各ヒンジ部材は長軸をＺ方向に沿わせて一端が
テーブルに固定され他端がレバー部材を介して前記ピエ
ゾ素子に連結されたことを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載の物体移動装置。 - 【請求項３】前記物体は平板状物体であることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の物体移動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2184346A JP2652263B2 (ja) | 1990-07-13 | 1990-07-13 | 物体移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2184346A JP2652263B2 (ja) | 1990-07-13 | 1990-07-13 | 物体移動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0472712A JPH0472712A (ja) | 1992-03-06 |
| JP2652263B2 true JP2652263B2 (ja) | 1997-09-10 |
Family
ID=16151665
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2184346A Expired - Fee Related JP2652263B2 (ja) | 1990-07-13 | 1990-07-13 | 物体移動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2652263B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104485839A (zh) * | 2014-12-09 | 2015-04-01 | 武汉理工大学 | 压电式俘能器 |
| CN110682084A (zh) * | 2019-10-22 | 2020-01-14 | 杜海峰 | 一种抽油机校正装置 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2580691Y2 (ja) * | 1992-04-28 | 1998-09-10 | 豊田工機株式会社 | フローティング装置 |
| TW509823B (en) * | 2000-04-17 | 2002-11-11 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus, device manufacturing method, and device manufactured thereby |
| JP4946770B2 (ja) * | 2007-10-10 | 2012-06-06 | 株式会社ジェイテクト | 調整ステージ及び調整ステージ装置 |
| CN104766634B (zh) * | 2015-03-18 | 2017-05-31 | 苏州大学 | 压电式二维串联小体积工作台 |
-
1990
- 1990-07-13 JP JP2184346A patent/JP2652263B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104485839A (zh) * | 2014-12-09 | 2015-04-01 | 武汉理工大学 | 压电式俘能器 |
| CN110682084A (zh) * | 2019-10-22 | 2020-01-14 | 杜海峰 | 一种抽油机校正装置 |
| CN110682084B (zh) * | 2019-10-22 | 2021-09-28 | 杜海峰 | 一种抽油机校正装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0472712A (ja) | 1992-03-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090523 Year of fee payment: 12 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100523 Year of fee payment: 13 |
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