JP4647273B2 - ステージ駆動機構 - Google Patents

Description

本発明は、２次元方向に並進移動及び回転可能なステージを簡易的な構成で駆動させるステージ駆動機構に関する。

従来、撮影者の手ブレによる像ブレを補正するために、手ブレ量に応じて補正レンズや撮像素子等を光軸と垂直な平面上で移動させることにより、カメラの像ブレの補正を行う像ブレ補正機構は知られていた。ところで、カメラの像ブレは光軸に対する回転によるブレも生じているため、この回転ブレを補正することが好ましい。

このような回転ブレも補正可能なカメラが提案されている（特許文献１）。しかし、特許文献１に記載のカメラは、並進移動のブレを補正する駆動手段と、回転ブレを補正する駆動手段が別々に構成され、補正レンズを含めて駆動させるため装置が大型化していた。

撮像素子等を設けたステージを平面上で移動させる構成によれば、装置全体の小型化を図ることが可能であるが、ステージ機構全体を大型化することなく回転も可能とすることは困難であった。
特開昭６３−９９６８０号公報

したがって、本発明では、カメラの像ブレ補正等に用いられるような、全体を大型化することなく並進移動及び回動可能なステージ駆動機構の提供を目的とする。

本発明のステージ駆動機構は、平面に平行な第１方向及び平面に平行で第１方向と異なる第２方向への平行移動可能で平面の法線を軸に回動可能な可動部と、可動部を第１、第２方向への平行移動及び回動が可能な状態で支持する固定部と、第２方向の力を可動部に与える第１駆動手段と、第１方向の力を可動部に与える第２、第３駆動手段と、第１〜第３駆動手段が可動部に与える力を制御する制御手段とを備え、可動部或いは固定部に第１〜第３駆動手段が設けられ、第２、第３駆動手段のそれぞれが可動部に力を与える点である第２駆動点と第３駆動点とを結ぶ直線が第１方向と非平行であることを特徴としている。このような構成により、可動部の並進移動させるための駆動手段を回転させるための駆動手段としても共用する事が可能になり、機構の小型化が可能となる。

また、第１駆動手段が第２方向の力を可動部に与えるための第１コイルと第１駆動磁石とにより構成され、第２、第３駆動手段が第１方向の力を可動部に与えるための第２、第３コイルと第２、第３駆動磁石とにより構成されることが好ましく、可動部と固定部のいずれか一方に第１〜第３コイルが設けられ可動部と固定部とのいずれか他方に第１〜第３駆動磁石が設けられることが好ましい。

また、第１〜３コイルは第１〜第３駆動磁石に平面の法線の方向において対向する位置に配置されることが好ましく、第１コイルは第２方向と垂直な線分を巻線の一部として有し、第２、第３コイルは第１方向と垂直な線分を巻線の一部として有し、第１駆動磁石は第２方向にＮ極とＳ極が並べて配置され第２、第３駆動磁石は第１方向にＮ極とＳ極が並べて配置されることが好ましい。

また、制御手段は、可動部を第１方向に平行移動させる場合は第２コイルと第２駆動磁石との間に発生する第２電磁力と第３コイルと第３駆動磁石との間に発生する第３電磁力とが同方向で且つ同じ大きさとなるように制御し、可動部を回動させる場合は第２電磁力と第３電磁力とが逆方向で且つ同じ大きさとなるように制御し、可動部を第１方向に平行移動させ回動させる場合は、第２電磁力と第３電磁力とが異なる大きさとなるように制御することが好ましい。

更に、可動部の固定部に対する第１方向の位置を検出する第１位置検出手段と、第２方向の位置を検出する第２位置検出手段と、第１方向或いは第２方向のいずれか一方の位置を検出する第３位置検出手段とを備えることが好ましい。このような構成により、可動部の並進移動量及び回転角度を検出することが可能になる。

また、第１位置検出手段は第２方向の位置検出に使用される第１磁界変化検出素子と第１位置検出磁石によって構成され、第２位置検出手段は第１方向の位置検出に使用される第２磁界変化検出素子と第２位置検出磁石によって構成され、第３位置検出手段は第１方向或いは第２方向のいずれか一方の位置検出に使用される第３磁界変化検出素子と第３位置検出磁石によって構成されることが好ましい。

また、第１駆動手段が第２方向の力を可動部に与えるための第１コイルと第１位置検出磁石とにより構成され、第２、第３駆動手段が第１方向の力を可動部に与えるための第２、第３コイルと第２、第３位置検出磁石とにより構成されることが好ましい。このような構成により、可動部の位置を検出するための磁石を可動部を駆動するための磁石として共用することが可能となり、機構の小型化が可能となる。

また、第１〜第３磁界変化検出素子が、ホール素子、ＭＩセンサ、磁気性共鳴磁界検出素子、あるいはＭＲ素子であることが好ましい。

また、第１方向と第２方向が互いに垂直であることが好ましく、可動部の第１方向及び第２方向への可動範囲の中心である可動中心或いは可動部の重心を挟むように第２駆動点と前記第３駆動点とが配置され第１駆動点が可動中心或いは重心から第２方向に配置されることが好ましい。さらに、可動部が第１方向及び第２方向に沿った移動及び回動する前の初期状態において第２、第３駆動点を結ぶ線分の中心と可動中心或いは重心が一致し可動中心或いは重心と第１駆動手段が可動部に力を与える点である第１駆動点とを結ぶ線分が第２方向と平行であることが好ましい。

また、第２、第３駆動点を結ぶ直線と第１方向が非垂直であることが好ましい。このような構成によれば、駆動部を設けるために可動部から突出させる部分を短くすることが可能となり、機構の小型化が可能となる。

また、可動部と固定部との間に挟まれて回動自在である３以上のボールと、可動部が平面の法線方向に沿って固定部に付勢する付勢部とを備えることが好ましい。このような構成によれば、固定部に対する可動部の駆動に大きな抵抗を与えることなく、可動部を駆動部に保持させることが可能となる。

更に、第２方向の力を可動部に与えるための第４コイルと第４駆動磁石を備え、第４コイルは第４駆動磁石に平面の法線の方向に対向する位置に配置されることが好ましい。このような構成によれば、第１、第２方向ともに少なくとも２つの駆動手段により駆動可能なので、第１、第２方向への大きな駆動力を得ることが可能となる。

また、可動部の第１方向及び第２方向への可動範囲の中心である可動中心或いは可動部の重心を挟むように第１駆動点と第４駆動手段が可動部に力を与える点である第４駆動点とが配置され第４駆動点と第１駆動点とを結ぶ直線が第２方向と非平行であることが好ましく、制御手段は、可動部を第２方向に平行移動させる場合は第１コイルと第１駆動磁石との間に発生する第１電磁力と第４コイルと第４駆動磁石との間に発生する第４電磁力とが同方向で且つ同じ大きさとなるように制御し、可動部を第１方向に平行移動させる場合は第２コイルと第２駆動磁石との間に発生する第２電磁力と第３コイルと第３駆動磁石との間に発生する第３電磁力とが同方向で且つ同じ大きさとなるように制御し、可動部を回動させる場合は第１電磁力と第４電磁力とが逆方向で且つ同じ大きさとなるように制御或いは第２電磁力と第３電磁力とが逆方向で且つ同じ大きさとなるように制御し、可動部を第２方向に平行移動させ回動させる場合は第１電磁力と第４電磁力とが異なる大きさとなるように制御し、可動部を第１方向に平行移動させ回動させる場合は第２電磁力と第３電磁力とが異なる大きさとなるように制御することが好ましい。

また、第４駆動手段が可動部に力を与える点である第１駆動点と第１駆動点とを結ぶ直線が第２方向と平行であることが好ましく、制御手段は、可動部を第２方向に平行移動させる場合は第１コイルと第１駆動磁石との間に発生する第１電磁力と第４コイルと第４駆動磁石との間に発生する第４電磁力との一方或いは両方の向き及び大きさを制御し、可動部を第１方向に平行移動させる場合は第２コイルと第２駆動磁石との間に発生する第２電磁力と第３コイルと第３駆動磁石との間に発生する第３電磁力とが同方向で且つ同じ大きさとなるように制御し、可動部を回動させる場合は第２電磁力と第３電磁力とが逆方向で且つ同じ大きさとなるように制御し、可動部を第１方向に平行移動させ回動させる場合は第２電磁力と第３電磁力とが異なる大きさとなるように制御することが好ましい。

また、本発明の像ブレ補正機構は、撮像素子或いは像ブレ補正レンズを有し撮影レンズの光軸に直交する第１方向及び光軸に直交し第１方向と異なる第２方向への平行移動可能で光軸と平行な直線を軸に回動可能な可動部と、可動部を第１、第２方向への平行移動及び回動が可能な状態で支持する固定部と、第２方向の力を可動部に与える第１駆動手段と、第１方向の力を可動部に与える第２、第３駆動手段と、第１〜第３駆動手段が可動部に与える力を制御する制御手段とを備え、可動部或いは固定部に第１〜第３駆動手段が設けられ、第２、第３駆動手段のそれぞれが可動部に力を与える点である第２駆動点と第３駆動点とを結ぶ直線が第１方向と非平行であり、第２駆動点と第３駆動点を結ぶ線分の中心を通り光軸に平行な直線を軸に可動部が回動可能であることを特徴としている。

本発明によれば、ステージの並進移動のための駆動手段を回転させるための駆動手段として共用させることにより、ステージの並進移動及び回転が可能で且つ装置の小型化が可能なステージ駆動機構の提供が可能となる。

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
本発明の第１の実施形態を適用したステージ駆動機構に撮像素子を設けて像ブレ補正機能を備えたカメラについて、図１〜５を用いて説明する。なお、方向を説明するために、カメラ６０における光軸ＬＸと直交する水平方向を第１方向ｘ、光軸ＬＸと直行する鉛直方向を第２方向ｙ、光軸ＬＸと平行な方向を第３方向ｚとして説明する。また、図４は図３のIV‐IV線の断面における構成図を示す。

カメラ６０は、主電源のオン／オフの切替えを行う電源ボタン６１、レリーズボタン６２、ＬＣＤモニタ６３、ＣＰＵ４０、撮像ブロック４４、ＡＥ部４５、ＡＦ部４６、撮像部６４、及び撮影レンズ６８によって構成される。

電源ボタン６１を押すことにより電源スイッチ４７のオン／オフが切替えられる。被写体像が、撮影レンズ６８を介して撮像部６４に設けられる撮像素子４８により受光される。撮像素子４８は例えばＣＣＤである。また、撮像された被写体像はＬＣＤモニタ６３に表示される。

レリーズボタン６２を、半押しすることにより測光スイッチ４１がオンにされて測光、測距、及び合焦動作が行われ、全押しすることによりレリーズスイッチ４２がオンにされてレリーズ動作が実行される。

ＣＰＵ４０において、後述する像ブレ補正に関する各部の制御、及びカメラ６０全体の動作の制御が行われる。

撮像部６４は撮像ブロック４４により駆動される。ＡＥ部４５により被写体の測光動作が実行されて露光値が算出される。次に算出された露光値に基づき撮影に必要となる絞り値及び露光時間が算出される。ＡＦ部４６により測距が行われる。この測距に基づき撮影レンズ６８が光軸方向に変位されることにより焦点調整が行われる。

カメラ６０の像ブレ補正装置（図示せず）は、像ブレ補正ボタン６９、ＣＰＵ４０、角速度検出部４９、駆動用ドライバ回路５２、ステージ駆動機構１０、ホール素子信号処理部５３、及び撮影レンズ６８によって構成される。

像ブレ補正ボタン６９を押すことにより像ブレ補正スイッチ４３がオンにされる。像ブレ補正スイッチ４３がオンにされると、測光等の他の動作と独立して一定時間毎に角速度検出部４９及びステージ駆動機構１０が駆動されて像ブレ補正が行われる。

スイッチ４１〜４３の入力信号に対応する各種の出力はＣＰＵ４０によって制御される。測光スイッチ４１、レリーズスイッチ４２、及び像ブレ補正スイッチ４３のオン／オフ情報はそれぞれ１ビットのデジタル信号としてＣＰＵ４０のポートＰ４１、Ｐ４２、Ｐ４３に入力される。

次に角速度検出部４９、駆動用ドライバ回路５２、ステージ駆動機構１０、及びホール素子信号処理部５３についての詳細とＣＰＵ４０への入出力関係について説明する。

角速度検出部４９は第１〜第３角速度センサ５０_a、５０_b、５０_c、及びアンプ・ハイパスフィルタ回路５１によって構成される。第１角速度センサ５０_aにより一定時間（１ｍｓ）毎にカメラ６０の第１方向ｘの角速度が検出され、同様に第２角速度センサ５０_bにより一定時間毎にカメラ６０の第２方向ｙの角速度が検出される。第３角速度センサ５０_cにより一定時間毎にカメラ６０の第３方向ｚに垂直な平面上（以下ｘｙ平面上とする）における回転角速度が検出される。

アンプ・ハイパスフィルタ回路５１により、第１方向ｘと第２方向ｙとの角速度、及びｘｙ平面上における回転角速度に応じた信号が増幅された後、第１〜第３角速度センサ５０_a、５０_b、５０_cのヌル電圧やパンニングが増幅された信号から除去される。アンプ・ハイパスフィルタ回路５１によりヌル電圧等が除去された信号は第１、第２、第３角速度ｖｘ、ｖｙ、ｖθとして、ＣＰＵ４０のＡ／Ｄ０、Ａ／Ｄ１、及びＡ／Ｄ２に入力される。

Ａ／Ｄ０、Ａ／Ｄ１、及びＡ／Ｄ２から入力された第１、第２、及び第３角速度ｖｘ、ｖｙ、ｖθはＣＰＵ４０によりＡ／Ｄ変換される。Ａ／Ｄ変換された第１、第２、及び第３角速度ｖｘ、ｖｙ、ｖθ、及び焦点距離等を考慮した変換係数に基づいて一定時間に生じた像ブレ量がＣＰＵ４０により算出される。この像ブレ量は第１方向ｘ、第２方向ｙ、及びｘｙ平面上における回転角度の変位量として算出される。

ＣＰＵ４０により、算出された像ブレ量に応じて撮像部６４の移動すべき位置Ｓが演算される。この演算においては、第１方向、第２方向、及びｘｙ平面上における回転角度も考慮される。位置Ｓの第１方向ｘ成分をｓｘ、第２方向ｙ成分をｓｙ、ｘｙ平面上の回転角度成分をｓθとする。

撮像部６４を含む可動部２０の移動は後述する電磁力によって行われる。可動部２０を位置Ｓまで回転を含めて移動させるための駆動力Ｄについて２つの第１方向ｘ成分を第１、第２水平方向ＰＷＭデューティーｄｘ１、ｄｘ２、１つの第２方向ｙ成分を鉛直方向ＰＷＭデューティーｄｙとする。

ステージ駆動機構１０は、撮像部６４を有する可動部２０と固定部３０とによって構成される。ステージ駆動機構１０により、撮像部６４をＣＰＵ４０が算出した移動すべき位置Ｓに回転を含めて移動させることにより、回転を含めたｘｙ平面上のブレによって生じた被写体像の結像面における光軸ＬＸのズレが除去される。従って、被写体像と結像面位置が一定に保たれて像ブレ補正が実行される。

可動部２０の駆動は、駆動用ドライバ回路５２によって制御される第１駆動部、第２駆動部、及び第３駆動部（図示せず）により駆動される。第１〜第３駆動部は、ＣＰＵ４０におけるＰＷＭ０、ＰＷＭ１から出力される第１、第２水平方向ＰＷＭデューティーｄｘ１、ｄｘ２とＰＷＭ２から出力される鉛直方向ＰＷＭデューティーｄｙとに基づいて駆動用ドライバ回路５２によって制御される。

第１〜第３駆動部による可動部２０の位置Ｐは第１〜３ホール素子２３_a、２３_b、２３_c及びホール素子信号処理部５３によって検出される。検出された位置Ｐは第１、第２水平方向位置検出信号ｐｘ１、ｐｘ２が第１方向ｘ成分として、鉛直方向位置検出信号ｐｙが第２方向ｙ成分として、それぞれＣＰＵ４０のＡ／Ｄ３、Ａ／Ｄ４、Ａ／Ｄ５に入力される。第１、第２水平方向位置検出信号ｐｘ１、ｐｘ２、及び鉛直方向位置検出信号ｐｙはＡ／Ｄ３〜Ａ／Ｄ５によってＡ／Ｄ変換される。

第１、第２水平方向位置検出信号ｐｘ１、ｐｘ２、及び鉛直方向位置検出信号ｐｙに対してＡ／Ｄ変換後の位置Ｐの２つの第１方向ｘ成分、及び１つの第２方向ｙ成分のデータをそれぞれｐｄｘ１、ｐｄｘ２、ｐｄｙとする。これらのデータから、可動部２０の位置Ｐの第１方向ｘ成分ｐｘｘ、第２方向ｙ成分ｐｙｙ、及び回転角度ｐθが算出される。算出された位置Ｐ（ｐｘｘ、ｐｙｙ、ｐθ）のデータと移動すべき位置Ｓ（ｓｘ、ｓｙ、ｓθ）のデータとに基づいて第１〜第３駆動部は制御される。

第１駆動部は鉛直方向駆動用の第１コイル２１_a及び第１駆動磁石３１_aにより構成される。第２駆動部は水平方向駆動用の第２コイル２１_b及び第２駆動磁石３１_bにより構成される。第３駆動部は水平方向駆動用の第３コイル２１_c及び第３駆動磁石３１_cにより構成される。

可動部２０は可動基板２２、第１〜第３コイル２１_a、２１_b、２１_c、撮像部６４、第１〜第３ホール素子２３_a、２３_b、２３_c、ボール受け板２４、及びプレート２５によって構成される。固定部３０は第１〜第３駆動磁石３１_a、３１_b、３１_c、第１〜第３ヨーク３２_a、３２_b、３２_c、及びベース板３３によって構成される。

可動部２０と固定部３０とにより、第１〜第３ボール１１_a、１１_b、１１_cが挟まれる。第１〜第３ボール１１_a、１１_b、１１_cは、第３方向ｚに平行な単一の平面上にあり、それぞれボール受け板２４とベース板３３との間で回動自在である。可動部２０と固定部３０とは第１〜第３ボール１１_a、１１_b、１１_cを介して接触が維持される。このような構成により、可動部２０は第１方向ｘ、或いは第２方向ｙへの平行移動、及び第３方向ｚに平行な直線を軸に回動可能な状態で、固定部３０に支持される。なお、４以上のボールが挟まれる構成であってもよい。

可動部２０は固定部３０に固定されたバネ等の付勢部材（図示せず）により固定部２０側のと反対の方向から固定部３０側に付勢される。付勢部材は可動部２０の回転を含むｘｙ平面上の移動可能な状態を維持する。

撮像素子４８の撮像範囲を最大活用するために、撮影レンズ６８の光軸ＬＸが撮像素子４８の中心近傍を通る位置関係にある時に、可動部２０は第１方向ｘ、第２方向ｙともに可動範囲の中心（可動中心）に位置するように、可動部２０と固定部３０の位置関係が調整される。また、可動部２０が第１方向ｘ、第２方向ｙへの直線的な移動、及び回動する前の初期状態において、可動部２０が移動範囲の中心に位置するように、可動部２０と固定部３０の位置関係が設定される。

更に初期状態において、撮像素子４８の撮像面を構成する短形の４辺のそれぞれは、第１方向ｘ或いは第２方向ｙのいずれかに平行な状態にあるように、可動部２０と固定部３０の位置関係が設定される。なお、撮像素子４８の中心とは撮像素子４８の撮像面を形成する短形が有する２つの対角線の交点とする。

可動部２０において、撮影レンズ６８の方向から見て光軸方向に撮像部６４、プレート２５が可動基板２２に取付けられる。撮像部６４には、撮像素子４８、ステージ６５、押さえ部６６、及び光学ローパスフィルタ６７が設けられる。ステージ６５とプレート２５により、撮像素子４８、押さえ部６６、及び光学ローパスフィルタ６７が挟まれる。

ボール受け板２４はステージ６５に取付けられる。撮像素子４８がプレート２５を介して可動基板２２に取付けられた状態において、撮像素子４８の撮像面が光軸ＬＸに垂直になるように取付けが調整される。プレート２５は金属製であり、撮像素子４８と接触することにより撮像素子４８の放熱をすることが可能である。

可動基板２２は変形したＴ字形に形成される。可動基板２２は、撮像部６４が取付けられる基板中央部２２_e、基板中央部２２_eから第２方向ｙに延びる第１端部２２_a、基板中央部２２_eから第１方向ｘに延びる第２端部２２_b、及び第３端部２２_cを有する。第２端部２２_bと第３端部２２_cは、第１方向ｘから見てずれる様に形成される。なお、可動基板２２はＴ字形に形成されてもよい。

可動基板２２上において、第１コイル２１_aは第１端部２２_aに、第２コイル２１_bは第２端部２２_bに、第３コイル２１_cは第３端部２２_cに設けられる。第１〜第３コイル２１_a、２１_b、２１_cはシート状で且つ渦巻き状のコイルパターンとして形成される。

第１コイル２１_aのコイルパターンは、第１コイル２１_aの電流の方向と第１駆動磁石３１_aの磁界の向きとから生じる第１電磁力Ｐｗ１により第１コイル２１_aを含む可動部２０を第２方向ｙに移動させるために、第１方向ｘと平行な線分を有する。

第２コイル２１_bのコイルパターンは、第２コイル２１_bの電流の方向と第２駆動磁石３１_bの磁界の向きとから生じる第２電磁力Ｐｗ２により第２コイル２１_bを含む可動部２０を第１方向ｘに移動させるために、第２方向ｙと平行な線分を有する。

第３コイル２１_cのコイルパターンは、第３コイル２１_cの電流の方向と第３駆動磁石３１_cの磁界の向きとから生じる第３電磁力Ｐｗ３により第３コイル２１_cを含む可動部２０を第１方向ｘに移動させるために、第２方向ｙと平行な線分を有する。

第１電磁力Ｐｗ１は第１コイル２１_aの第１方向ｘと平行な線分の各々にかかる電磁力の合力である。第１電磁力Ｐｗ１が１点に集中してかかるとみなせる点である第１駆動点２６_aが第１コイル２１_aの中心となるように、第１コイル２１_aのコイルパターンは形成される。同様に、第２電磁力Ｐｗ２が１点に集中してかかるとみなせる点である第２駆動点２６_bが第２コイル２１_bの中心となるように、第２コイル２１_bのコイルパターンは形成され、第３電磁力Ｐｗ３が１点に集中してかかるとみなせる点である第３駆動点２６_cが第３コイル２１_cの中心となるように、第３コイル２１_cのコイルパターンは形成される。

可動部２０が回動されない初期の状態において、第１駆動点２６_aと撮像素子４８の中心を結ぶ線分は、第２方向ｙと平行となるように可動基板２２上において第１コイル２１_aが配置される。第２駆動点２６_bと第３駆動点２６_cを結ぶ線分の中心と撮像素子４８の中心が重なるように、且つ第２駆動点２６_bと第３駆動点２６_cを結ぶ直線が第１方向ｘに平行な直線と交わる関係即ち第１方向ｘと非平行な関係となるように、可動基板２２上において第２、第３コイル２１_b、２１_cが配置される。

このような構成をとることにより、第１〜第３電磁力Ｐｗ１〜Ｐｗ３の向き、大きさを制御することにより可動部２０を第１方向ｘと第２方向ｙとに平行な平面上を第１方向ｘ、或いは第２方向ｙへ移動自在であり、また第１方向ｘと第２方向ｙとに平行な平面に垂直で撮像素子４８の中心を通る直線を軸として回動自在である。

また、第１〜第３コイル２１_a、２１_b、２１_cをシートコイルとする構成なので、各コイル２１_a、２１_b、２１_cの第３方向ｚの厚さを薄くする事が可能である。また、電磁力を高めるために第３方向ｚにシートコイルが複数枚重ねられても第３方向ｚの厚さは殆ど増加させないことも可能である。従って、可動部２０と固定部３０の間隔を狭めてステージ駆動機構１０の小型化を図る事が可能である。

第１〜第３コイル２１_a、２１_b、２１_cはフレキシブル基板（図示せず）を介してこれらを駆動する駆動用ドライバ回路５２と接続される。駆動用ドライバ回路５２には、ＣＰＵ４０のＰＷＭ０、ＰＷＭ１、ＰＷＭ２から第１、第２水平方向ＰＷＭデューティーｄｘ１、ｄｘ２、鉛直方向ＰＷＭデューティーｄｙがそれぞれ入力される。

駆動用ドライバ回路５２は入力された鉛直方向ＰＭＷデューティーｄｙの値に応じて第１コイル２１_aに電力を供給し、可動部２０を第２方向ｙに移動させる。また、駆動用ドライバ回路５２は入力された第１、第２水平方向ＰＭＷデューティーｄｘ１、ｄｘ２の値に応じて第２、第３コイル２１_b、２１_cそれぞれに電力を供給し、可動部２０を第１方向ｘに移動させ、可動部２０をｘｙ平面上に回転させる。

可動部２０を第１方向ｘに平行移動させる場合、第２、第３電磁力Ｐｗ２、Ｐｗ３とが同じ向きで、同じ大きさとなるように、ＣＰＵ４０により第１、第２水平方向ＰＷＭデューティーｄｘ１、ｄｘ２の値が制御される。

可動部２０を第１方向ｘに平行移動させること無くｘｙ平面上で回動させる場合、第２、第３電磁力Ｐｗ２、Ｐｗ３とが逆向きで、同じ大きさとなるように、ＣＰＵ４０により第１、２水平方向ＰＷＭデューティーｄｘ１、ｄｘ２の値が制御される。

可動部２０を第１方向ｘに移動してｘｙ平面上で回動させる場合、第２、第３電磁力Ｐｗ２、Ｐｗ３とが異なる大きさとなるように、ＣＰＵ４０により第１、２水平方向ＰＷＭデューティーｄｘ１、ｄｘ２の値が制御される。

第１ホール素子２３_aは第３方向ｚにおいて第１駆動点２６_aに重なる位置に設けられる。第２ホール素子２３_bは、撮像素子４８の中心を通り第１方向ｘに平行な直線と第２駆動点２６_bを通り第２方向ｙに平行な直線との交点に重なる位置に設けられる。第３ホール素子２３_cは、撮像素子４８の中心を通り第１方向ｘに平行な直線と第３駆動点２６_cを通り第２方向ｙに平行な直線との交点に重なる位置に設けられる。

固定部３０において、板状部材であるベース板３３には第１〜第３ヨーク３２_a、３２_b、３２_c、及び第１〜第３駆動磁石３１_a、３１_b、３１_cが設けられる。ベース板３３は撮像素子４８の撮像面と平行で、可動基板２２と撮影レンズ６８の間に配置される。なお、可動基板２２がベース板３３と撮影レンズ６８の間に配置される構成であってもよい。

第１駆動磁石３１_aは第１コイル２１_a及び第１ホール素子２３_aと第３方向ｚにおいて対向するように、ベース板３３における可動部２０側に第１ヨーク３２_aを介して設けられる。同様に、第２駆動磁石３１_bは第２コイル２１_b及び第２ホール素子２３_bと第３方向ｚに対向するように、ベース板３３における可動部２０側に第２ヨーク３２_bを介して設けられる。同様に、第３駆動磁石３１_cは第３コイル２１_c及び第３ホール素子２３_cと第３方向ｚにおいて対向するように、ベース板３３における可動部２０側に第３ヨーク３２_cを介して設けられる。

第１駆動磁石３１_aは第２方向ｙにＮ極とＳ極が並べられる。第１駆動磁石３１_aの第１方向ｘの長さは可動部２０が第１方向ｘに移動する時に第１コイル２１_aと第１ホール素子２３_aに及ぼす磁界が変化しないように第１コイル２１_aの第１方向ｘの第１有効長Ｌ１に比べて長めに形成される。

第２駆動磁石３１_bは第１方向ｘにＮ極とＳ極が並べられる。第２駆動磁石３１_bの第２方向ｙの長さは可動部２０が第２方向ｙに移動する時に第２コイル２１_bと第２ホール素子２３_bに及ぼす磁界が変化しないように第２コイル２１_bの第２方向ｙの第２有効長Ｌ２に比べて長めに形成される。

第３駆動磁石３１_cは第１方向ｘにＮ極とＳ極が並べられる。第３駆動磁石３１_cの第２方向ｙの長さは可動部２０が第２方向ｙに移動する時に第３コイル２１_cと第３ホール素子２３_cに及ぼす磁界が変化しないように第３コイル２１_cの第２方向ｙの第３有効長Ｌ３に比べて長めに形成される。

第１ヨーク３２_aは第１方向ｘから見てコの字型形状を有する多角柱の軟磁性体部材により形成される。第１ヨーク３２_aのコの字型形状の間に第１駆動磁石３１_a、第１コイル２１_a、及び第１ホール素子２３_aを第３方向ｚで挟みながら、第１ヨーク３２_aはベース板３３上の可動部２０側の面に固定される。

第１ヨーク３２_aにおける第１駆動磁石３１_aと接する側の部分により、第１駆動磁石３１_aの磁界の周囲への漏洩が防がれる。また、第１ヨーク３２_aにおける第１駆動磁石３１_aと接する側の部分と対向する側の部分により、第１駆動磁石３１_aと第１コイル２１_aとの間、及び第１駆動磁石３１_aと第１ホール素子２３_aとの間の磁束密度が高められる。

第２ヨーク３２_bは第２方向ｙから見てコの字型形状を有する多角柱の軟磁性体部材により形成される。第２ヨーク３２_bのコの字型形状の間に第２駆動磁石３１_b、第２コイル２１_b、及び第２ホール素子２３_bを第３方向ｚで挟みながら、第２ヨーク３２_bはベース板３３上の可動部２０側の面に固定される。

第２ヨーク３２_bにおける第２駆動磁石３１_bと接する側の部分により、第２駆動磁石３１_bの磁界の周囲への漏洩が防がれる。また、第２ヨーク３２_bにおける第２駆動磁石３１_bと接する側の部分と対向する側の部分により、第２駆動磁石３１_bと第２コイル２１_bとの間、及び第２駆動磁石３１_bと第２ホール素子２３_bとの間の磁束密度が高められる。

第３ヨーク３２_cは第２方向ｙから見てコの字型形状を有する多角柱の軟磁性体部材により形成される。第３ヨーク３２_cのコの字型形状の間に第３駆動磁石３１_c、第３コイル２１_c、及び第３ホール素子２３_cを第３方向ｚで挟みながら、第３ヨーク３２_cはベース板３３上の可動部２０側の面に固定される。

第３ヨーク３２_cにおける第３駆動磁石３１_cと接する側の部分により、第３駆動磁石３１_cの磁界の周囲への漏洩が防がれる。また、第３ヨーク３２_cにおける第３駆動磁石３１_cと接する側の部分と対向する側の部分により、第３駆動磁石３１_cと第３コイル２１_cとの間、及び第３駆動磁石３１_cと第３ホール素子２３_cとの間の磁束密度が高められる。

第１〜第３ホール素子２３_a、２３_b、２３_cはホール効果を利用した磁電変換素子であって、可動部２０の第１方向ｘ、第２方向ｙ（第１、第２水平方向位置検出信号ｐｘ１、ｐｘ２、鉛直方向位置検出信号ｐｙ）を検出する１軸ホール素子である。第１ホール素子２３_aにより第２方向ｙの位置が検出され、第２、第３ホール素子２３_b、２３_cにより第１方向ｘの位置が検出される。

第１〜第３駆動磁石３１_a、３１_b、３１_cから発する磁界は位置検出のためにも使用される。第１駆動磁石３１_aと第１ホール素子２３_aとにより第１位置検出手段（図示せず）が形成される。同様に、第２駆動磁石３１_bと第２ホール素子２３_bとにより第２位置検出手段（図示せず）が形成され、第３駆動磁石３１_cと第３ホール素子２３_cとにより第３位置検出手段（図示せず）が形成される。

第１ホール素子２３_aは第１コイル２１_aと第３方向ｚに積層される。第１ホール素子２３_aを第１駆動点２６_aである第１コイル２１_aの中央点に配置して積層することにより、位置検出のための磁界発生領域と可動部２０の駆動のための磁界発生領域が共用されるので、第１駆動磁石３１_a及び第１ヨーク３２_aの第２方向ｙの長さを短縮可能である。

直線的な変化量を使って精度の高い位置検出が行える範囲を最大限活用して位置検出を行うため、撮像素子４８の中心近傍が光軸ＬＸを通る位置関係にある時に、第１駆動磁石３１_aのＮ極、Ｓ極と等距離近傍に配置するように、第１ホール素子２３_aの位置が調整される。

同様に、第２ホール素子２３_bの第１方向ｘの位置は、撮像素子４８の中心近傍が光軸ＬＸを通る位置関係にある時に、第２駆動磁石３１_bのＮ極、Ｓ極と等距離近傍に配置するように調整され、第３ホール素子２３_cの第１方向ｘの位置は、撮像素子４８の中心近傍が光軸ＬＸを通る位置関係にある時に、第３駆動磁石３１_cのＮ極、Ｓ極と等距離近傍に配置するように調整される。

ホール素子信号処理部５３は第１〜第３ホール素子信号処理回路５４_a、５４_b、５４_cを有する。第１〜第３ホール素子信号処理回路５４_a、５４_b、５４_cはフレキシブル基板（図示せず）を介して第１〜第３ホール素子２３_a、２３_b、２３_cにそれぞれ接続される。

第１ホール素子信号処理回路５４_aにより、第１ホール素子２３_aの出力信号から第１ホール素子２３_aにおける出力端子間の電位差が検出される。検出された電位差に基づいて第１ホール素子２３_aがある部分（点Ａ、図５参照）の第２方向ｙの位置を特定する鉛直方向位置検出信号ｐｙがＣＰＵ４０のＡ／Ｄ５に入力される。

第２ホール素子信号処理回路５４_bにより、第２ホール素子２３_bの出力信号から第２ホール素子２３_bにおける出力端子間の電位差が検出される。検出された電位差に基づいて第２ホール素子２３_bがある部分（点Ｂ、図５参照）の第１方向ｘの位置を特定する第１水平方向位置検出信号ｐｘ１がＣＰＵ４０のＡ／Ｄ３に入力される。

第３ホール素子信号処理回路５４_cにより、第３ホール素子２３_cの出力信号から第３ホール素子２３_cにおける出力端子間の電位差が検出される。検出された電位差に基づいて第３ホール素子２３_cがある部分（点Ｃ、図５参照）の第１方向ｘの位置を特定する第２水平方向位置検出信号ｐｘ２がＣＰＵ４０のＡ／Ｄ４に入力される。

３つのホール素子２３_a、２３_b、２３_cにより、回転角度を含めた可動部２０の位置が特定される。第１ホール素子２３_aにより、可動部２０上の１つの点についての第２方向ｙの位置が特定される。第２、第３ホール素子２３_b、２３_cにより、可動部２０上の２つの点についての第１方向ｘの位置が特定される。２つの点についての第１方向ｘの位置情報と、１つの点についての第２方向ｙの位置情報とに基づいて、可動部２０の回転角度を含めた位置を特定する事が可能である。

図５を用いて、可動部２０の位置を特定する方法について説明する。点Ａ、点Ｂ、点Ｃの位置情報から、点Ｐの位置データ（ｐｘｘ、ｐｙｙ、ｐθ）が求められる。点Ａは第１ホール素子２３_aの位置、点Ｂは第２ホール素子２３_bの位置、点Ｃは第３ホール素子２３_cの位置を示す。点Ｐは線分ＢＣと直交し、点Ａを通る線と線分ＢＣとの交点である。

点Ｐを線分ＢＣの中点に合わせ、線分ＡＰの長さと線分ＢＰ、線分ＣＰの長さとが同じ長さｄになるように、可動部２０における第１〜第３ホール素子２３_a、２３_b、２３_cの位置が調整される。更に、点Ｐと撮像素子４８の中心が第３方向ｚにおいて重なるように、第１〜第３ホール素子２３_a、２３_b、２３_c及び撮像素子４８が可動部２０に配置される。

点Ａについては、第１ホール素子２３_aにより第２方向ｙの位置が検出される（鉛直方向位置検出信号ｐｙ）。点Ｂについては、第２ホール素子２３_bにより第１方向ｘの位置が検出される（第１水平方向位置検出信号ｐｘ１）。点Ｃについては、第３ホール素子２３_cにより第１方向ｘの位置が検出される（第２水平方向位置検出信号ｐｘ２）。

鉛直方向位置検出信号ｐｙ、第１、第２水平方向位置検出信号ｐｘ１、ｐｘ２がＡ／Ｄ変換されたデータｐｄｙ、ｐｄｘ１、ｐｄｘ２と、線分ＡＰ、ＢＰ、ＣＰの長さｄによって、位置Ｐ（ｐｘｘ、ｐｙｙ、ｐθ）の値が次の（１）〜（３）式により求められる。
ｐｘｘ＝（ｐｄｘ１＋ｐｄｘ２）／２ （１）
ｐｙｙ＝ｐｄｙ−ｄ×ｃｏｓ（ｐθ） （２）
ｐθ＝ｃｏｓ^-1｛（ｐｄｘ１−ｐｄｘ２）／（２×ｄ）｝ （３）
ここで回転角度ｐθは、図５に示すように、線分ＢＰと第１方向ｘのなす角度であり、線分ＡＰと第２方向ｙのなす角度とする。

次に第２の実施形態を適用したステージ駆動機構に撮像素子を設けて像ブレ補正機能を備えたカメラについて説明する。第２の実施形態では、コイル、駆動磁石、ヨーク、ホール素子、ホール素子信号処理回路の構成が第１の実施形態と異なる。以下、第１の実施形態と異なる点を中心に第２の実施形態を図６〜図９を用いて説明する。第１の実施形態と同じ機能を有する部位は同じ符号をつけている。また、図８は図７のVIII‐VIII線の断面における構成図を示す。

第２の実施形態におけるカメラ６０は、主電源のオン／オフの切替えを行う電源ボタン６１、レリーズボタン６２、ＬＣＤモニタ６３、ＣＰＵ４００、撮像ブロック４４、ＡＥ部４５、ＡＦ部４６、撮像部６４、及び撮影レンズ６８によって構成される。

第２の実施形態におけるカメラ６０の像ブレ補正装置（図示せず）は、像ブレ補正ボタン６９、ＣＰＵ４００、角速度検出部４９、駆動用ドライバ回路５２０、ステージ駆動機構１００、ホール素子信号処理部５３０、及び撮影レンズ６８によって構成される。

次に角速度検出部４９、駆動用ドライバ回路５２０、ステージ駆動機構１００、及びホール素子信号処理部５３０についての詳細とＣＰＵ４００への入出力関係について説明する。

第１の実施形態と同様に、角速度検出部４９は、第１、第２角速度ｖｘ、ｖｙ、及び第３角速度ｖθをＣＰＵ４００のＡ／Ｄ０、Ａ／Ｄ１、及びＡ／Ｄ２に入力する。第１〜第３角速度ｖｘ、ｖｙ、ｖθに基づいて、ＣＰＵ４００により像ブレ量が算出される。

第１の実施形態と同様に、ＣＰＵ４００により、算出された像ブレ量に応じて撮像部６４の移動すべき位置Ｓが演算される。

撮像部６４を含む可動部２００の駆動は後述する電磁力によって行われる。可動部２００を位置Ｓまで回転を含めて移動させるための駆動力Ｄについて２つの第１方向ｘ成分を第１、第２水平方向ＰＷＭデューティーｄｘ１、ｄｘ２、２つの第２方向ｙ成分を第１、第２鉛直方向ＰＷＭデューティーｄｙ１、ｄｙ２とする。

第１の実施形態と同様に、ステージ駆動機構１００により、被写体像と結像面位置が一定に保たれて像ブレ補正が実行される。

可動部２００の駆動は、駆動用ドライバ回路５２０によって制御される第１駆動部、第２駆動部、第３駆動部、及び第４駆動部（図示せず）により駆動される。第１〜第４駆動部は、ＣＰＵ４００におけるＰＷＭ０、ＰＭＷ１から出力される第１、第２水平方向ＰＷＭデューティーｄｘ１、ｄｘ２とＰＷＭ２、ＰＷＭ３から出力される第１、第２鉛直方向ＰＷＭデューティーｄｙ１、ｄｙ２とに基づいて駆動用ドライバ回路５２０によって制御される。

第１〜第４駆動部による可動部２００の位置Ｐは第１〜第４ホール素子２３_a、２３_b、２３_c、２３_d、及びホール素子信号処理部５３０によって検出される。検出された位置Ｐは第１、第２水平方向位置検出信号ｐｘ１、ｐｘ２が第１方向ｘ成分として、第１、第２鉛直方向位置検出信号ｐｙ１、ｐｙ２が第２方向ｙ成分として、それぞれＣＰＵ４００のＡ／Ｄ３、Ａ／Ｄ４、Ａ／Ｄ５、Ａ／Ｄ６に入力される。第１、第２水平方向位置検出信号ｐｘ１、ｐｘ２、及び第１、第２鉛直方向位置検出信号ｐｙ１、ｐｙ２はＡ／Ｄ３〜Ａ／Ｄ６によってＡ／Ｄ変換される。

第１、第２水平方向位置検出信号ｐｘ１、ｐｘ２、及び第１、第２鉛直方向位置検出信号ｐｙ１、ｐｙ２に対してＡ／Ｄ変換後の位置Ｐの２つの第１方向ｘ成分、及び２つの第２方向ｙ成分のデータをそれぞれｐｄｘ１、ｐｄｘ２、ｐｄｙ１、ｐｄｙ２とする。これらのデータから、可動部２００の位置Ｐの第１方向ｘ成分ｐｘｘ、第２方向ｙ成分ｐｙｙ、及び回転角度ｐθが算出される。算出された位置Ｐ（ｐｘｘ、ｐｙｙ、ｐθ）のデータと移動すべき位置Ｓ（ｓｘ、ｓｙ、ｓθ）のデータとに基づいて第１〜第４駆動部は制御される。

第１駆動部は鉛直方向駆動用の第１コイル２１_a及び第１駆動磁石３１_aにより構成される。第２駆動部は水平方向駆動用の第２コイル２１_b及び第２駆動磁石３１_bにより構成される。第３駆動部は水平方向駆動用の第３コイル２１_c及び第３駆動磁石３１_cにより構成される。第４駆動部は鉛直方向駆動用の第４コイル２１_d及び第４駆動磁石３１_dにより構成される。

可動部２００は可動基板２２０、第１〜第４コイル２１_a、２１_b、２１_c、２１_d、撮像部６４、第１〜第４ホール素子２３_a、２３_b、２３_c、２３_d、ボール受け板２４０、及びプレート２５によって構成される。固定部３００は第１〜第４駆動磁石３１_a、３１_b、３１_c、３１_d、第１〜第４ヨーク３２_a、３２_b、３２_c、３２_d、及びベース板３３０によって構成される。

第１の実施形態と同様に、可動部２００と固定部３００とにより、第１〜第４ボール１１_a、１１_b、１１_c、１１_dが挟まれ、可動部２００と固定部３００とは第１〜第４ボール１１_a、１１_b、１１_c、１１_dを介して接触が維持される。

第１の実施形態と同様に、可動部２００はバネ等の付勢部材（図示せず）により固定部３００側に付勢される。

可動部２００と固定部３００との位置関係は、第１の実施形態とにおける可動部２００と固定部３００との位置関係と同じである。

可動部２００に取付けられる撮像部６４等の構成は第１の実施形態と同じである。

可動基板２２０は変形した十字形に形成される。可動基板２２０は、撮像部６４が取付けられる基板中央部２２０_e、基板中央部２２０_eから第２方向ｙに延びる第１端部２２０_a、第４端部２２０_d、基板中央部２２０_eから第１方向ｘに延びる第２端部２２０_b、及び第３端部２２０_cを有する。第１端部２２０_aと第４端部２２０_dは、第２方向ｙから見てずれる様に形成され、第２端部２２０_bと第３端部２２０_cは、第１方向ｘから見てずれる様に形成される。なお、可動基板２２０は十字形に形成されてもよい。

可動基板２２０上において、第１コイル２１_aは第１端部２２０_aに、第２コイル２１_bは第２端部２２０_bに、第３コイル２１_cは第３端部２２０_cに、第４コイル２１_dは第４端部２２０_dに設けられる。第１〜第４コイル２１_a、２１_b、２１_c、２１_dはシート状で且つ渦巻き状のコイルパターンとして形成される。

第１〜第３コイル２１_a、２１_b、２１_cのコイルパターンが有する線分については第１の実施形態と同じ構成である。

第４コイル２１_dのコイルパターンは、第４コイル２１_dの電流の方向と第４駆動磁石３１_dの磁界の向きとから生じる第４電磁力Ｐｗ４により第４コイル２１_dを含む可動部２００を第２方向ｙに移動させるために、第１方向ｘと平行な線分を有する。

第１〜第３コイル２１_a、２１_b、２１_cの線分にかかる電磁力の合力については、第１の実施形態と同じである。同様に、第４電磁力Ｐｗ４が１点に集中してかかるとみなせる点である第４駆動点２６_dが第４コイル２１_dの中心となるように、第４コイルのコイルパターンは形成される。

第１駆動点２６_aと第４駆動点２６_dを結ぶ線分の中心と撮像素子４８の中心が重なるように、且つ第１駆動点２６_aと第４駆動点２６_dを結ぶ直線が第２方向ｙと平行な直線と交わる関係即ち第２方向ｙと非平行な関係となるように、可動基板２２０上において第１、第４コイル２１_a、２１_dが配置される。第２、第３コイル２１_b、２１_cの配置は、第１の実施形態と同じである。

このような構成をとることにより、第１〜第４電磁力Ｐｗ１〜Ｐｗ４の向き、大きさを制御することにより可動部２００を第１方向ｘ、あるいは第２方向ｙに移動自在であり、また撮像素子４８の中心を軸として回動自在である。

第１〜第４コイル２１_a、２１_b、２１_c、２１_dはフレキシブル基板（図示せず）を介してこれらを駆動する駆動用ドライバ回路５２０と接続される。駆動用ドライバ回路５２０には、ＣＰＵ４００のＰＷＭ０、ＰＷＭ１、ＰＷＭ２、ＰＷＭ３から第１、第２水平方向ＰＷＭデューティーｄｘ１、ｄｘ２、及び第１、第２鉛直方向ＰＷＭデューティーｄｙ１、ｄｙ２がそれぞれ入力される。

駆動用ドライバ回路５２０は入力された第１、第２鉛直方向ＰＭＷデューティーｄｙ１、ｄｙ２の値に応じて第１、第４コイル２１_a、２１_dそれぞれに電力を供給し、可動部２００を第２方向ｙに移動させ、可動部２００をｘｙ平面上に回転させる。また、駆動用ドライバ回路５２０は入力された第１、第２水平方向ＰＭＷデューティーｄｘ１、ｄｘ２の値に応じて第２、第３コイル２１_b、２１_cそれぞれに電力を供給し、可動部２００を第１方向ｘに移動させ、可動部２００をｘｙ平面上に回転させる。

可動部２００を第１方向ｘに平行移動させる場合は、第１の実施形態と同じ制御が行われる。

可動部２００を第２方向ｙに平行移動させる場合、第１、第４電磁力Ｐｗ１、Ｐｗ４とが同じ向きで、同じ大きさとなるように、ＣＰＵ４００により第１、第２水平方向ＰＷＭデューティーｄｙ１、ｄｙ２の値が制御される。

可動部２００を第１方向ｘ或いは第２方向ｙに平行移動させること無くｘｙ平面上で回動させる場合、第１、第４電磁力Ｐｗ１、Ｐｗ４とが逆向きで同じ大きさとなるよう、或いは第２、第３電磁力Ｐｗ２、Ｐｗ３とが逆向きで同じ大きさとなるように、ＣＰＵ４００により第１、２水平方向ＰＷＭデューティーｄｘ１、ｄｘ２の値の制御、或いは第１、２鉛直方向ＰＷＭデューティーｄｙ１、ｄｙ２の値の制御が行われる。

可動部２００を第１方向ｘに移動してｘｙ平面上で回動させる場合、第１の実施形態と同じ制御が行われる。

可動部２００を第２方向ｙに移動してｘｙ平面上で回動させる場合、第１、第４電磁力Ｐｗ１、Ｐｗ４とが異なる大きさとなるように、ＣＰＵ４００により第１、２鉛直方向ＰＷＭデューティーｄｙ１、ｄｙ２の値が制御される。

第１ホール素子２３_aは、撮像素子４８の中心を通り第２方向ｙに平行な直線と第１駆動点２６_aを通り第１方向ｘに平行な直線との交点に重なる位置に設けられる。第４ホール素子２３_dは、撮像素子４８の中心を通り第２方向ｙに平行な直線と第４駆動点２６_dを通り第１方向ｘに平行な直線との交点に重なる位置に設けられる。第２、第３ホール素子２３_b、２３_cの配置は第１の実施形態と同じである。

固定部２００において、板状部材であるベース板３３０には第１〜第４ヨーク３２_a、３２_b、３２_c、３２_d、及び第１〜第４駆動磁石３１_a、３１_b、３１_c、３１_dが設けられる。ベース板３３０の可動基板２２０に対しての配置は第１の実施形態と同じである。

第１〜第３駆動磁石３１_a、３１_b、３１_c及び第１〜第３ヨーク３２_a、３２_b、３２_cの配置は第１の実施形態と同じである。第４駆動磁石３１_dは第４コイル２１_d及び第４ホール素子２３_dと第３方向ｚにおいて対向するように、ベース板３３０における可動部２００側に第４ヨーク３２_dを介して設けられる。

第１〜第３駆動磁石３１_a、３１_b、３１_cにおけるＮ極とＳ極の配置及び長さは第１の実施形態と同じである。第４駆動磁石３１_dは第２方向ｙにＮ極とＳ極が並べられる。第４駆動磁石３１_dの第１方向ｘの長さは可動部２００が第１方向ｘに移動する時に第４コイル２１_dと第４ホール素子２３_dに及ぼす磁界が変化しないように第４コイル２１_dの第１方向ｘの第４有効長Ｌ４に比べて長めに形成される。

第１〜第３ヨーク３２_a、３２_b、３２_cの機能は第１の実施形態と同じである。

第４ヨーク３２_dは第１方向ｘから見てコの字型形状を有する多角柱の軟磁性体部材により形成される。第４ヨーク３２_dコの字型形状の間に第４駆動磁石３１_d、第４コイル２１_d、及び第４ホール素子２３_dを第３方向ｚで挟みながら、第４ヨーク３２_dはベース板３３０上の可動部２００側の面に固定される。

第４ヨーク３２_dにおける第４駆動磁石３１_dと接する側の部分により、第４駆動磁石３１_dの磁界の周囲への漏洩が防がれる。また、第４ヨーク３２_dにおける第４駆動磁石３１_dと接する側の部分と対向する側の部分により、第４駆動磁石３１_dと第４コイル２１_dとの間、及び第４駆動磁石３１_dと第４ホール素子２３_dとの間の磁束密度が高められる。

第１〜第４ホール素子２３_a、２３_b、２３_c、２３_dはホール効果を利用した磁電変換素子であって、可動部２００の第１方向ｘ、第２方向ｙ（第１、第２鉛直方向位置検出信号ｐｙ１、ｐｙ２、第１、第２水平方向位置検出信号ｐｘ１、ｐｘ２）を検出する１軸ホール素子である。第１、第４ホール素子２３_a、２３_dにより第２方向ｙの位置が検出され、第２、第３ホール素子２３_b、２３_cにより第１方向ｘの位置が検出される。

第１〜第４駆動磁石３１_a、３１_b、３１_c、３１_dから発する磁界は位置検出のためにも使用される。第１〜第３位置検出手段の構成は、第１の実施形態とおなじである。同様に第４駆動磁石３１_dと第４ホール素子２３_dとにより第４位置検出手段（図示せず）が形成される。

第１〜第３ホール素子２３_a、２３_b、２３_cの位置の調整は、第１の実施形態と同じである。第４ホール素子３２_dの第２方向ｙの位置は、撮像素子４８の中心近傍が光軸ＬＸを通る位置関係にある時に、第４駆動磁石３１_dのＮ極、Ｓ極と等距離近傍に配置するように、第４ホール素子２３_dの位置が調整される。

ホール素子信号処理部５３０は第１〜第４ホール素子信号処理回路５４_a、５４_b、５４_c、５４_dを有する。第１〜第４ホール素子信号処理回路５４_a、５４_b、５４_c、５４_dはフレキシブル基板（図示せず）を介して第１〜第４ホール素子２３_a、２３_b、２３_c、２３_dにそれぞれ接続される。

第１〜３ホール素子信号処理回路５４_a、５４_b、５４_cにより検出される位置信号については、第１の実施形態と同じである。

第４ホール素子信号処理回路５４_dにより、第４ホール素子２３_dの出力信号から第４ホール素子２３_dにおける出力端子間の電位差が検出される。検出された電位差に基づいて第４ホール素子２３_dがある部分（点Ｄ’、図９参照）の第２方向ｙの位置を特定する第２鉛直方向位置検出信号ｐｙ２がＣＰＵ４００のＡ／Ｄ６に入力される。

４つのホール素子２３_a、２３_b、２３_c、２３_dにより、回転角度を含めた可動部２００の位置が特定される。第１、第４ホール素子２３_a、２３_dにより、可動部２００上の２つの点についての第２方向ｙの位置が特定される。第２、第３ホール素子２３_b、２３_cにより、可動部２００上の２つの点についての第１方向ｘの位置が特定される。２つの点についての第１方向ｘの位置情報と、２つの点についての第２方向ｙの位置情報とに基づいて、可動部２００の回転角度を含めた位置を特定する事が可能である。

図９を用いて、可動部２００の位置を特定する方法について説明する。点Ａ’、点Ｂ’、点Ｃ’、点Ｄ’の位置情報から、点Ｐの位置データ（ｐｘｘ、ｐｙｙ、ｐθ）が求められる。点Ａ’は第１ホール素子２３_aの位置、点Ｂ’は第２ホール素子２３_bの位置、点Ｃ’は第３ホール素子２３_cの位置、点Ｄ’は第４ホール素子２３_dの位置を示す。点Ｐは線分Ｂ’Ｃ’と線分Ａ’Ｄ’との交点である。

線分Ａ’Ｄ’の中点と線分Ｂ’Ｃ’の中点において両線分が交わり、その交点が点Ｐとなるように可動部２００における第１〜第４ホール素子２３_a、２３_b、２３_c、２３_dの位置が調整される。更に、点Ｐと撮像素子４８の中心が第３方向ｚにおいて重なるように、第１〜第４ホール素子２３_a、２３_b、２３_c、２３_d及び撮像素子４８が可動部２００に配置される。

点Ａ’、点Ｂ’、点Ｃ’の位置の検出は、第１の実施形態と同じである。点Ｄ’は、第４ホール素子２３_dにより第２方向ｙの位置が検出される（第２鉛直方向位置検出信号ｐｙ２）。

第１、第２鉛直方向位置検出信号ｐｙ１、ｐｙ２、第１、第２水平方向位置検出信号ｐｘ１、ｐｘ２がＡ／Ｄ変換されたデータｐｄｙ１、ｐｄｙ２、ｐｄｘ１、ｐｄｘ２と、線分Ａ’Ｐ、Ｂ’Ｐ、Ｃ’Ｐ、Ｄ’Ｐの長さｄによって、位置Ｐ（ｐｘｘ、ｐｙｙ、ｐθ）の値が次の（１）〜（３）式により求められる。
ｐｘｘ＝（ｐｄｘ１＋ｐｄｘ２）／２ （１）
ｐｙｙ＝（ｐｄｙ１＋ｐｄｙ２）／２ （２）
ｐθ＝ｃｏｓ^-1｛（ｐｄｘ１−ｐｄｘ２）／（２×ｄ）｝＝ｃｏｓ^-1｛（ｐｄｙ１−ｐｄｙ２）／（２×ｄ）｝ （３）
ここで回転角度ｐθは、図９に示すように、線分Ｂ’Ｐと第１方向ｘのなす角度であり、線分Ａ’Ｐと第２方向ｙのなす角度とする。

次に第３の実施形態を適用したステージ駆動機構に撮像素子を設けて像ブレ補正機能を備えたカメラについて説明する。第３の実施形態では、第１、第４コイル、第１、第４駆動磁石、第１、第４ヨーク、第１、第４ホール素子の配置が第２の実施形態と異なる。以下、第２の実施形態と異なる点を中心に第３の実施形態を図１０、図１１を用いて説明する。第２の実施形態と同じ機能を有する部位は同じ符号をつけている。また、図１１は図１０のXI‐XI線の断面における構成図を示す。

第３の実施形態を適用したステージ駆動機構１０１において、可動基板２２１は変形した十字形に形成される。可動基板２２１は、撮像部６４が取付けられる基板中央部２２１_e、基板中央部２２１_eから第２方向ｙに延びる第１端部２２１_a、第４端部２２１_d、基板中央部２２１_eから第１方向ｘに延びる第２端部２２１_b、及び第３端部２２１_cを有する。第２端部２２１_bと第３端部２２１_cは、第１方向ｘから見てずれる様に形成される。なお、可動基板２２１は十字形に形成されてもよい。可動基板２２１はボール受け板２４１を介して第１〜第４ボール１１_ａ〜１１_ｄを固定部３０１を構成するベース板３３１と挟んで、移動可能に支持される。

第１駆動点２６_aと第４駆動点２６_dを結ぶ線分の中心と撮像素子４８の中心が重なるように、且つ第１駆動点２６_aと第４駆動点２６_dを結ぶ直線が第２方向ｙと平行となるように、可動基板２２１上において第１、第４コイル２１_a、２１_dが配置される。第２、第３コイル２１_b、２１_cの配置は、第２の実施形態と同じである。

このような構成をとることにより、第１〜第４電磁力Ｐｗ１〜Ｐｗ４の向き、大きさを制御することにより可動部２０１を第１方向ｘ、あるいは第２方向ｙに移動自在であり、また撮像素子４８の中心を軸として回動自在である。

駆動用ドライバ回路５２０は入力された第１、第２鉛直方向ＰＭＷデューティーｄｙ１、ｄｙ２の値に応じて第１、第４コイル２１_a、２１_dそれぞれに電力を供給し、可動部２０１を第２方向ｙに移動させる。また、駆動用ドライバ回路５２０は入力された第１、第２水平方向ＰＭＷデューティーｄｘ１、ｄｘ２の値に応じて第２、第３コイル２１_b、２１_cそれぞれに電力を供給し、可動部２０１を第１方向ｘに移動させ、可動部２０１をｘｙ平面上に回転させる。

可動部２０１を第１方向ｘに平行移動させる場合は、第１の実施形態と同じ制御が行われる。第２方向ｙに平行移動させる場合は、第1、第４電磁力Ｐｗ１、Ｐｗ４のいずれか一方或いは両方の向き及び大きさ制御するために、ｄｙ１、ｄｙ2の値が制御される。可動部 を第１方向ｘに平行移動させること無くｘｙ平面上で回動させる場合、及び可動部２０１を第１方向ｘに移動してｘｙ平面上で回動させる場合も、第１の実施形態と同じ制御が行われる。

第１〜第３ホール素子２３_a、２３_b、２３_cの配置は、第１の実施形態と同じである。第４ホール素子２３_dは第３方向ｚにおいて第４駆動点２６_dに重なる位置に設けられる。

第１〜第３の実施形態では、可動部を第１方向ｘ、第２方向ｙへの平行移動させるのに使用される、コイル、磁石、及びヨークによって、可動部を回動させる事が可能である。従って、撮像装置の回転運動による像ブレ補正を行うために可動部を移動させる手段と、撮像装置の並進運動による像ブレ補正を行うために可動部を移動させる手段とを一体化されるので、機構の小型化が可能である。

また、第１〜第３の実施形態では、可動部の第１方向ｘ、第２方向ｙの位置検出に使用されるホール素子、磁石、ヨークによって、可動部の回転角度も検出する事が出来る。従って、可動部の回転角度を検出する手段と、可動部の変位位置を検出する手段とを一体化されるので、機構の小型化が可能である。

また、第１〜第３の実施形態では、基板中央部から第１方向側に設ける駆動手段により第１方向に移動させ、基板中央部から第２方向側に設ける駆動手段により第２方向に移動させる構成であるため、第１方向の側に設ける磁石を第１方向において長くすることが不要となり、第２方向側に設ける磁石を第２方向において長くすることが不要となる。

電磁力を与える方向と垂直な方向における磁石の長さ及びコイルの線分を長くする事が、大きな電磁力を生じさせるために必要である。図１２に示すように、可動部１２０を回転させるのに、基板中央部１２２_eから第１方向ｘの端部１２２_b、１２２_cに第２方向ｙへの電磁力が与えられる構成、すなわち第２駆動点１２６_bと第３駆動点１２６_cとを結ぶ直線が第２方向ｙと垂直な構成によっても、平行移動のための駆動装置を回転移動のための駆動装置と共用することが可能である。しかし、駆動磁石１３１_a、１３１_b、１３１_cを第１〜３の実施形態に比べて長くする必要があり、機構の小型化の障害となる。第１〜第３の実施形態によれば、可動部を回転させる事を可能にし、且つ前述のように第１方向側の磁石を第１方向に長くする必要が無く、第２方向側の磁石を第２方向に長くする必要が無いため、機構の小型化が可能である。

可動部の移動に使用される磁石とヨークと、可動部の位置検出に使用される磁石とヨークとが別の磁石とヨークである構成でもよいが、第１〜第３実施形態のように共用させる構成によれば、機構の小型化が可能である。

なお、可動部の移動のために電磁力を与える可動部上の位置は、第１の実施形態のように３箇所、或いは第２、第３の実施形態のように４箇所に限られない。第１方向ｘ、第２方向ｙのいずれか一方で２箇所以上、他方で１箇所以上の場所で電磁力を与えればよい。但し、２箇所以上において電磁力を与える方向に関しては電磁力を与える２点を結んだ線分と電磁力を与える方向に平行な直線が交わる即ち非平行な関係である事が必要である。

なお、位置検出を行うための可動部上の場所は、第１の実施形態のように３箇所、或いは第２、第３の実施形態のように４箇所に限られない。第１方向ｘ、第２方向ｙのいずれか一方で２箇所以上、他方で１箇所以上の場所で位置検出を行えばよい。

また、撮像素子を含む撮像部が可動部に配置されて移動する形態について説明したが、撮像部が固定され、像ブレ補正レンズを可動部に配置して移動させる形態でっても、像ブレ補正装置として第１〜第３の実施形態のステージ駆動機構を適用することにより同様の効果が得られる。

また、第１〜第３の実施形態のように、コイルを可動部に、磁石を固定部に配置する構成と異なり、コイルを固定部に、磁石を可動部に設ける構成であっても同様の効果を有する。また、第１〜第３実施形態のように、ホール素子を可動部に、磁石を固定部に配置する構成と異なり、ホール素子を固定部に、磁石を可動部に設ける構成であっても同様の効果を有する。

また、磁界を発生させる装置としての磁石は、常に磁界を発生させる磁石であっても、必要に応じて磁界を発生させる電磁石であってもよい。

また、磁界変化検出素子としてホール素子を利用した位置検出を説明したが、磁界変化検出素子として別の検出素子を利用してもよい。例えば、磁界の変化を検出することにより可動部の位置検出情報を求める事が可能なＭＩセンサ（高周波キャリア型磁界センサ）、または磁気共鳴型磁界検出素子、ＭＲ素子（時期抵抗効果素子）等の検出素子を利用しても同様の効果が得られる。

また、第１〜第３の実施形態では可動基板の可動範囲の中心を挟む位置に第２、第３駆動点が配置される構成であるが、可動基板の重心を挟む位置に配置されてもよい。或いは、可動基板が撮像素子等を固定する基板中央部から第１方向の片側の端部である第１端部に第２駆動点、及び第３駆動点が配置される構成であってもよい。第２駆動点と第３駆動点とを結ぶ直線が第１方向と非平行となるように第２駆動点と第３駆動点とが配置されていれば、可動部を第１、第２方向に沿った並進移動、回動が可能である。

本発明の第１〜第３実施形態を適用したステージ機構を利用した像ブレ補正機能を有するカメラの外観図である。 第１の実施形態を適用したステージ機構を利用した像ブレ補正機能を有するカメラの電気的構成を示す回路図である。 第１の実施形態を適用したステージ機構の構成図である。 図３のIV-IV線に沿った断面図である。 ２つの第１方向の位置と１つの第２方向の位置から、点Ｐの位置を求める方法を説明するためのｘｙ平面図である。 第２の実施形態を適用したステージ機構を利用した像ブレ補正機能を有するカメラの電気的構成を示す回路図である。 第２の実施形態を適用したステージ機構の構成図である。 図７のVIII‐VIII線に沿った断面図である。 ２つの第１方向の位置と２つの第２方向の位置から、点Ｐの位置を求める方法を説明するためのｘｙ平面図である。 第３の実施形態を適用したステージ機構の構成図である。 図１０のXI‐XI線に沿った断面図である。 第１〜第３実施形態を適用したステージ機構の効果を説明するためのステージ機構の構成図である。

符号の説明

１０、１００、１０１ ステージ駆動機構
１１_a〜１１_d 第１〜４ボール
２０、２００、２０１ 可動部
２１_a〜２１_d 第１〜４コイル
２２、２２０、２２１ 可動基板
２２_a〜２２_c、２２０_a〜２２０_c、２２１_a〜２２１_c 第１〜３端部
２２０_d、２２１_d 第４端部
２２_e、２２０_e、２２１_e 基板中央部
２３_a〜２３_d 第１〜４ホール素子
２４、２４０、２４１ ボール受け板
２６_a〜２６_d 第１〜４駆動点
３０、３００、３０１ 固定部
３１_a〜３１_d 第１〜４駆動磁石
３２_a〜３２_d 第１〜４ヨーク
３３、３３０、３３１ ベース板
４０、４００ ＣＰＵ
４３ 像ブレ補正スイッチ
４８ 撮像素子
４９ 角速度検出部
５０_a〜５０_c 第１〜３角速度センサ
５１ アンプ・ハイパスフィルタ回路
５２、５２０ 駆動用ドライバ回路
５３、５３０ ホール素子信号処理部
５４_a〜５４_d 第１〜４ホール素子信号処理回路
６０ カメラ
６４ 撮像部
６９ 像ブレ補正ボタン

Claims (18)

1. 平面に平行な第１方向及び前記平面に平行で前記第１方向と異なる第２方向への平行移動可能で、前記平面の法線を軸に回動可能な可動部と、
   前記可動部を前記第１、第２方向への平行移動及び回動が可能な状態で支持する固定部と、
   前記第２方向の力を前記可動部に与える第１駆動手段と、
   前記第１方向の力を前記可動部に与える第２、第３駆動手段と、
   前記第１〜第３駆動手段が前記可動部に与える力を制御する制御手段とを備え、
   前記可動部或いは前記固定部に、前記第１〜第３駆動手段が設けられ、
   前記第２、第３駆動手段のそれぞれが前記可動部に力を与える点である第２駆動点と第３駆動点とを結ぶ直線が前記第１方向と非平行であり、
   前記可動部の前記固定部に対する前記第１方向の位置を検出する第１位置検出手段と、
   前記可動部の前記固定部に対する前記第２方向の位置を検出する第２位置検出手段と、
   前記可動部の前記固定部に対する前記第１方向或いは前記第２方向のいずれか一方の位置を検出する第３位置検出手段とを備え、
   前記第１位置検出手段は、前記第２方向の位置検出に使用される第１磁界変化検出素子と第１位置検出磁石によって構成され、
   前記第２位置検出手段は、前記第１方向の位置検出に使用される第２磁界変化検出素子と第２位置検出磁石によって構成され、
   前記第３位置検出手段は、前記第１方向或いは前記第２方向のいずれか一方の位置検出に使用される第３磁界変化検出素子と第３位置検出磁石によって構成され、
   前記第１駆動手段が、前記第２方向の力を前記可動部に与えるための第１コイルと前記第１位置検出磁石とにより構成され、
   前記第２、第３駆動手段が、前記第１方向の力を前記可動部に与えるための第２、第３コイルと前記第２、第３位置検出磁石とにより構成される
   ことを特徴とするステージ駆動機構。
2. 前記第１駆動手段が、前記第２方向の力を前記可動部に与えるための第１コイルと第１駆動磁石とにより構成され、
   前記第２、第３駆動手段が、前記第１方向の力を前記可動部に与えるための第２、第３コイルと第２、第３駆動磁石とにより構成される
   ことを特徴とする請求項１に記載のステージ駆動機構。
3. 前記可動部と前記固定部のいずれか一方に、前記第１〜第３コイルが設けられ、前記可動部と前記固定部とのいずれか他方に、前記第１〜第３駆動磁石が設けられる
   ことを特徴とする請求項２に記載のステージ駆動機構。
4. 前記第１〜３コイルは、前記第１〜第３駆動磁石に前記平面の法線の方向において対向する位置に配置されることを特徴とする請求項２に記載のステージ駆動機構。
5. 前記第１コイルは前記第２方向と垂直な線分を巻線の一部として有し、前記第２、第３コイルは前記第２方向と垂直な線分を巻線の一部として有し、
   前記第１駆動磁石は前記第２方向にＮ極とＳ極が並べて配置され、前記第２、第３駆動磁石は前記第１方向にＮ極とＳ極が並べて配置される
   ことを特徴とする請求項２に記載のステージ駆動機構。
6. 前記制御手段は、
   前記可動部を前記第１方向に平行移動させる場合は、前記第２コイルと前記第２駆動磁石との間に発生する第２電磁力と、前記第３コイルと前記第３駆動磁石との間に発生する第３電磁力とが同方向で且つ同じ大きさとなるように制御し、
   前記可動部を回動させる場合は、前記第２電磁力と前記第３電磁力とが逆方向で且つ同じ大きさとなるように制御し、
   前記可動部を前記第１方向に平行移動させ回動させる場合は、前記第２電磁力と前記第３電磁力とが異なる大きさとなるように制御する
   ことを特徴とする請求項２に記載のステージ駆動機構。
7. 前記第１〜第３磁界変化検出素子が、ホール素子、ＭＩセンサ、磁気性共鳴磁界検出素子、あるいはＭＲ素子であることを特徴とする請求項１に記載のステージ駆動機構。
8. 前記第１方向と前記第２方向が互いに垂直であることを特徴とする請求項１に記載のステージ駆動機構。
9. 前記可動部の前記第１方向及び前記第２方向への可動範囲の中心である可動中心、或いは前記可動部の重心を挟むように前記第２駆動点と前記第３駆動点とが配置され、
   前記第１駆動点が、前記可動中心、或いは前記重心から前記第２方向に配置される
   ことを特徴とする請求項１に記載のステージ駆動機構。
10. 前記可動部が前記第１方向及び前記第２方向に沿った移動及び回動する前の初期状態において、前記第２、第３駆動点を結ぶ線分の中心と前記可動中心、或いは前記重心が一致し、前記可動中心、或いは前記重心と前記第１駆動手段が前記可動部に力を与える点である第１駆動点とを結ぶ線分が第２方向と平行である
    ことを特徴とする請求項９に記載のステージ駆動機構。
11. 前記第２、第３駆動点を結ぶ直線と前記第１方向が非垂直であることを特徴とする請求項１に記載のステージ駆動機構。
12. 前記可動部と前記固定部との間に挟まれて、回動自在である３以上のボールと、前記可動部が前記平面の法線方向に沿って前記固定部に付勢する付勢部とを備える
    ことを特徴とする請求項１に記載のステージ駆動機構。
13. 前記第２方向の力を前記可動部に与えるための、第４コイルと第４駆動磁石を備え、
    前記第４コイルは前記第４駆動磁石に前記平面の法線の方向に対向する位置に配置される
    ことを特徴とする請求項４に記載のステージ駆動機構。
14. 前記可動部の前記第１方向及び前記第２方向への可動範囲の中心である可動中心、或いは前記可動部の重心を挟むように、前記第１駆動点と前記第４駆動手段が前記可動部に力を与える点である第４駆動点とが配置され、
    前記第４駆動点と前記第１駆動点とを結ぶ直線が前記第２方向と非平行である
    ことを特徴とする請求項１３に記載のステージ駆動機構。
15. 前記制御手段は、
    前記可動部を前記第２方向に平行移動させる場合は、前記第１コイルと前記第１駆動磁石との間に発生する第１電磁力と、前記第４コイルと前記第４駆動磁石との間に発生する第４電磁力とが同方向で且つ同じ大きさとなるように制御し、
    前記可動部を前記第１方向に平行移動させる場合は、前記第２コイルと前記第２駆動磁石との間に発生する第２電磁力と、前記第３コイルと前記第３駆動磁石との間に発生する第３電磁力とが同方向で且つ同じ大きさとなるように制御し、
    前記可動部を回動させる場合は、前記第１電磁力と前記第４電磁力とが逆方向で且つ同じ大きさとなるように制御、或いは前記第２電磁力と前記第３電磁力とが逆方向で且つ同じ大きさとなるように制御し、
    前記可動部を前記第２方向に平行移動させ回動させる場合は、前記第１電磁力と前記第４電磁力とが異なる大きさとなるように制御し、
    前記可動部を前記第１方向に平行移動させ回動させる場合は、前記第２電磁力と前記第３電磁力とが異なる大きさとなるように制御する
    ことを特徴とする請求項１４に記載のステージ駆動機構。
16. 前記第４駆動手段が前記可動部に力を与える点である第１駆動点と前記第１駆動点とを結ぶ直線が前記第２方向と平行であることを特徴とする請求項１３に記載のステージ駆動機構。
17. 前記制御手段は、
    前記可動部を前記第２方向に平行移動させる場合は、前記第１コイルと前記第１駆動磁石との間に発生する第１電磁力と、前記第４コイルと前記第４駆動磁石との間に発生する第４電磁力との一方或いは両方の向き及び大きさを制御し、
    前記可動部を前記第１方向に平行移動させる場合は、前記第２コイルと前記第２駆動磁石との間に発生する第２電磁力と、前記第３コイルと前記第３駆動磁石との間に発生する第３電磁力とが同方向で且つ同じ大きさとなるように制御し、
    前記可動部を回動させる場合は、前記第２電磁力と前記第３電磁力とが逆方向で且つ同じ大きさとなるように制御し、
    前記可動部を前記第１方向に平行移動させ回動させる場合は、前記第２電磁力と前記第３電磁力とが異なる大きさとなるように制御する
    ことを特徴とする請求項１６に記載のステージ駆動機構。
18. 手ブレ補正部材を有し、撮影レンズの光軸に直交する第１方向及び前記光軸に直交し前記第１方向と異なる第２方向への平行移動可能で、前記光軸と平行な直線を軸に回動可能な可動部と、
    前記可動部を前記第１、第２方向への平行移動及び回動が可能な状態で支持する固定部と、
    前記第２方向の力を前記可動部に与える第１駆動手段と、
    前記第１方向の力を前記可動部に与える第２、第３駆動手段と、
    前記第１〜第３駆動手段が前記可動部に与える力を制御する制御手段とを備え、
    前記可動部或いは前記固定部に、前記第１〜第３駆動手段が設けられ、
    前記第２、第３駆動手段のそれぞれが前記可動部に力を与える点である第２駆動点と第３駆動点とを結ぶ直線が前記第１方向と非平行であり、
    前記第２駆動点と前記第３駆動点を結ぶ線分の中心を通り光軸に平行な直線を軸に可動部が回動可能であり、
    前記可動部の前記固定部に対する前記第１方向の位置を検出する第１位置検出手段と、
    前記可動部の前記固定部に対する前記第２方向の位置を検出する第２位置検出手段と、
    前記可動部の前記固定部に対する前記第１方向或いは前記第２方向のいずれか一方の位置を検出する第３位置検出手段とを備え、
    前記第１位置検出手段は、前記第２方向の位置検出に使用される第１磁界変化検出素子と第１位置検出磁石によって構成され、
    前記第２位置検出手段は、前記第１方向の位置検出に使用される第２磁界変化検出素子と第２位置検出磁石によって構成され、
    前記第３位置検出手段は、前記第１方向或いは前記第２方向のいずれか一方の位置検出に使用される第３磁界変化検出素子と第３位置検出磁石によって構成され、
    前記第１駆動手段が、前記第２方向の力を前記可動部に与えるための第１コイルと前記第１位置検出磁石とにより構成され、
    前記第２、第３駆動手段が、前記第１方向の力を前記可動部に与えるための第２、第３コイルと前記第２、第３位置検出磁石とにより構成される
    ことを特徴とする像ブレ補正機構。

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