KR102149381B1 - 미세 이송기구 및 이를 포함하는 초정밀 포지셔닝 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명의 일 실시예에 따른 미세 이송기구는, 제1 구동 부재 및 상기 제1 구동 부재에 의해 구동되어 제1 축을 따라 이송되는 제1 리니어 가이드 부재를 포함하는 수평 구동 이송 모듈, 상기 제1 축과 상이한 제2 축을 따라 이송되는 제2 리니어 가이드 부재를 포함하는 수평 자유 이송 모듈 및 제2 구동 부재 및 상기 제2 구동 부재에 의해 발생되는 상기 제1 축 방향을 따른 변위를 상기 제1 축 및 상기 제2 축에 각각 수직한 제3 축을 따른 변위로 변환하는 쐐기 부재를 포함하는 수직 이송 모듈을 포함하며, 상기 수평 구동 이송 모듈의 상기 제1 리니어 가이드 부재, 상기 수평 자유 이송 모듈의 상기 제2 리니어 가이드 부재 및 상기 수직 이송 모듈의 상기 쐐기 부재 중 어느 하나의 부재 상에 다른 하나의 부재가 적층되어 상기 어느 하나의 부재의 이송에 따라 상기 다른 하나의 부재가 연동하여 이송되고, 상기 제1 구동 부재와 상기 제2 구동 부재는 상기 제1 축을 따라 상기 쐐기 부재에 대하여 동일한 측에 위치하는 것을 특징으로 하는, 미세 이송기구를 제공한다.
Description
본 발명은 미세 이송기구 및 이를 포함하는 초정밀 포지셔닝 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로 대상물체의 위치를 정밀하게 설정하기 위한 미세 이송기구 및 이를 포함하는 초정밀 포지셔닝 장치에 관한 것이다.
산업현장의 각 분야에서 초정밀 위치결정기술의 중요성은 날로 증대되고 있다. 특히, 반도체 기술의 발전은 회로의 고집적화를 불러온 결과, 최신 마이크로프로세서의 경우 사용되는 선의 폭이 0.18㎛ 수준으로 머리카락 굵기의 1/500 수준이며, 이 경우 웨이퍼를 제작하는 스테이지에 요구되는 정밀도는 선 폭의 1/10 수준의 20nm의 재현성이 요구된다.
또한, 서브미크론 수준의 초정밀 이송장치의 구현은 원자간력현미경(AFM; Atomic Force Microscope), 주사형전자현미경(SEM: Scanning Electron Microscope) 등의 초정밀 측정분야와 정보산업 등의 산업분야에서도 활용될 수 있는 등 그 응용 범위가 광범위하다.
또한, 초정밀 이송장치가 적용되는 스테이지는 고해상도 카메라 모듈의 렌즈 광축 자동 정렬에 필수적인 요소로서, 자동 주행 시스템 및 능동 안전 시스템 등 스마트카에 대한 개발 경쟁이 심화되고 있어 차량의 전·후방 및 측면 감시 카메라 모듈을 제작하기 위한 수요도 급증할 것으로 예상된다.
다만, 이러한 기술에 적용함에 있어 초정밀 이송장치의 소형 및 경량화와 함께 정밀한 미세 제어 적합성이 요구된다.
현재까지의 초정밀 포지셔닝 장치는 다수의 액추에이터를 사용하여 구조가 복잡해지고, 제어가 어려운 문제가 있었다.
또한, 초정밀 포지셔닝 장치는 수직 방향의 병진 및 회전 운동을 구현하기 위해서는 액추에이터를 수직으로 배치해야 하며, 이 경우 이송장치의 크기가 커져 강성이 낮아지게 되고 제어가 어려워지는 문제점이 있었고, 초정밀 포지셔닝 장치는 다수개의 액추에이터 및 구성요소를 수평면에 나열함으로써 배치 면적이 커지는 문제점이 있었다.
본 발명에 따른 미세 이송기구 및 이를 포함하는 초정밀 포지셔닝 장치는 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 소수의 액추에이터를 사용하고 장치의 부피를 축소시키면서 대상물체의 정밀한 포지셔닝을 수행하고자 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 미세 이송기구는, 제1 구동 부재 및 상기 제1 구동 부재에 의해 구동되어 제1 축을 따라 이송되는 제1 리니어 가이드 부재를 포함하는 수평 구동 이송 모듈, 상기 제1 축과 상이한 제2 축을 따라 이송되는 제2 리니어 가이드 부재를 포함하는 수평 자유 이송 모듈 및 제2 구동 부재 및 상기 제2 구동 부재에 의해 발생되는 상기 제1 축 방향을 따른 변위를 상기 제1 축 및 상기 제2 축에 각각 수직한 제3 축을 따른 변위로 변환하는 쐐기 부재를 포함하는 수직 이송 모듈을 포함하며, 상기 수평 구동 이송 모듈의 상기 제1 리니어 가이드 부재, 상기 수평 자유 이송 모듈의 상기 제2 리니어 가이드 부재 및 상기 수직 이송 모듈의 상기 쐐기 부재 중 어느 하나의 부재 상에 다른 하나의 부재가 적층되어 상기 어느 하나의 부재의 이송에 따라 상기 다른 하나의 부재가 연동하여 이송되고, 상기 제1 구동 부재와 상기 제2 구동 부재는 상기 제1 축을 따라 상기 쐐기 부재에 대하여 동일한 측에 위치하는 것을 특징으로 하는, 미세 이송기구를 제공한다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 축과 상기 제2 축은 서로 직교할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2 리니어 가이드 부재는, 상기 제1 리니어 가이드 부재 상에 적층되어, 상기 제1 리니어 가이드 부재의 상기 제1 축을 따른 이송에 연동되어 이송되고, 상기 제2 구동 부재 및 상기 쐐기 부재는, 상기 제2 리니어 가이드 부재 상에 적층되어, 상기 제2 리니어 가이드 부재의 상기 제2 축을 따른 이송에 연동되어 이송될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2 구동 부재 및 상기 쐐기 부재는, 상기 제1 리니어 가이드 부재 상에 적층되어, 상기 제1 리니어 가이드 부재의 상기 제1 축을 따른 이송에 연동되어 이송되고, 상기 제2 리니어 가이드 부재는, 상기 쐐기 부재 상에 적층되어, 상기 쐐기 부재의 상기 제3 축을 따른 이송에 연동되어 이송될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 구동 부재 및 상기 제1 리니어 가이드 부재는, 상기 제2 리니어 가이드 부재 상에 적층되어, 상기 제2 리니어 가이드 부재의 상기 제2 축을 따른 이송에 연동되어 이송되고, 상기 제2 구동 부재 및 상기 쐐기 부재는, 상기 제1 리니어 가이드 부재 상에 적층되어, 상기 제1 리니어 가이드 부재의 상기 제1 축을 따른 이송에 연동되어 이송될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 리니어 가이드 부재는, 제1 고정부 및 상기 제1 고정부 상에 슬라이딩 이동 가능하도록 결합되는 제1 이동부를 포함하며, 상기 제2 리니어 가이드 부재는, 제2 고정부 및 상기 제2 고정부 상에 슬라이딩 이동 가능하도록 결합되는 제2 이동부를 포함하고, 상기 쐐기 부재는, 제1 경사부 및 상기 제1 경사부의 경사면 상에 슬라이딩 이동 가능하도록 결합되는 제2 경사부를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2 리니어 가이드 부재의 상기 제2 고정부는, 상기 제1 리니어 가이드 부재의 상기 제1 이동부 상에 결합되며, 상기 제2 구동 부재 및 상기 쐐기 부재의 상기 제1 경사부는, 상기 제2 리니어 가이드 부재의 상기 제2 이동부 상에 결합될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2 구동 부재 및 상기 쐐기 부재의 상기 제1 경사부는, 상기 제1 리니어 가이드 부재의 상기 제1 이동부 상에 결합되며, 상기 제2 리니어 가이드 부재의 상기 제2 고정부는, 상기 쐐기 부재의 상기 제2 경사부 상에 결합될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 구동 부재 및 상기 제1 리니어 가이드 부재의 상기 제1 고정부는, 상기 제2 리니어 가이드 부재의 상기 제2 이동부 상에 결합되며, 상기 제2 구동 부재 및 상기 쐐기 부재의 상기 제1 경사부는, 상기 제1 리니어 가이드 부재의 상기 제1 이동부 상에 결합될 수 있다.
본 실시예에 따른 미세 이송기구는, 상기 제1 리니어 가이드 부재, 상기 제2 리니어 가이드 부재 또는 상기 쐐기 부재 중 최상층에 적층되는 어느 하나의 상부에 모션 플레이트를 틸팅 가능하게 연결시키기 위한 조인트 모듈을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 초정밀 포지셔닝 장치는, 베이스 플레이트, 상기 베이스 플레이트의 상방에 이격 배치되는 모션 플레이트 및 미세 이송기구를 포함하며, 상기 미세 이송기구는 상기 베이스 플레이트 상에 적어도 2개 이상 배치되어 상기 모션 플레이트를 지지하며 이송시키고, 상기 수평 구동 이송 모듈의 상기 제1 구동 부재의 구동에 의한 상기 제1 리니어 가이드 부재의 이송 및 상기 수직 이송 모듈의 상기 제2 구동 부재의 구동에 의한 상기 쐐기 부재의 이송 중 적어도 하나 이상의 이송에 연동하여, 상기 수평 자유 이송 모듈의 상기 제2 리니어 가이드 부재가 이송됨으로써 상기 모션 플레이트의 6-자유도 이송이 가능하도록 구성되는, 초정밀 포지셔닝 장치를 제공한다.
본 실시예에 있어서, 상기 미세 이송기구는, 상기 제1 축이 일방으로 연장되는 제1 미세 이송기구 및 상기 제2 축이 상기 제1 미세 이송기구의 상기 제1 축과 동일한 방향으로 연장되는 제2 미세 이송기구를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 미세 이송기구는, 상기 제1 축이 동일한 방향으로 연장되는 복수 개가 구비되며, 상기 베이스 플레이트 상에 서로 이격 배치될 수 있다.
본 실시예에 따른 초정밀 포지셔닝 장치는, 상기 베이스 플레이트 상에 배치되며, 상기 모션 플레이트의 이송에 따라 변형되면서 상기 모션 플레이트를 지지하는 보조 지지기구를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 미세 이송기구는 수평 구동 이송 모듈, 수평 자유 이송 모듈 및 수직 이송 모듈이 적층된 구조를 가지며, 2개의 구동 부재만을 포함하는 단일한 기구로 구성되어 수평 및 수직 방향 이송이 가능하며, 복수 개의 기구들이 조합되어 그 위에 탑재되는 물체를 지지하면서 6-자유도 이송을 수행할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 미세 이송기구는 베이스 플레이트 상에 여러 위치에 배치되어 서로 조합되므로, 미세 이송기구가 배치되는 위치에 따라 용도별로 다양한 스테이지를 구현할 수 있다는 장점을 가지고 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 초정밀 포지셔닝 장치는 모션 플레이트를 복수 개의 미세 이송기구로 지지하면서, 미세 이송기구 각각의 모듈의 미세한 이동 및 복수 개의 미세 이송기구의 상호 이동을 통한 정밀한 위치 설정을 구현하는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 초정밀 포지셔닝 장치는 복수 개의 미세 이송기구를 각각 개별적으로 제어하여 정밀한 위치 설정을 구현하는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 일 실시형태의 미세 이송기구를 보여주는 측면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 다른 실시형태 및 또 다른 실시형태의 미세 이송기구를 보여주는 측면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 일 실시형태의 초정밀 포지셔닝 장치를 보여주는 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 일 실시형태의 초정밀 포지셔닝 장치에서 모션 플레이트를 제거한 모습을 보여주는 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 일 실시형태의 초정밀 포지셔닝 장치에서 모션 플레이트를 제거한 모습을 보여주는 평면도이다.
도 6는 본 발명의 일 실시예에 따른 일 실시형태의 초정밀 포지셔닝 장치를 보여주는 측면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 다른 실시형태의 초정밀 포지셔닝 장치를 보여주는 평면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 다른 실시형태의 보조 지지기구를 보여주는 측면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 다른 실시형태 및 또 다른 실시형태의 미세 이송기구를 보여주는 측면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 일 실시형태의 초정밀 포지셔닝 장치를 보여주는 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 일 실시형태의 초정밀 포지셔닝 장치에서 모션 플레이트를 제거한 모습을 보여주는 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 일 실시형태의 초정밀 포지셔닝 장치에서 모션 플레이트를 제거한 모습을 보여주는 평면도이다.
도 6는 본 발명의 일 실시예에 따른 일 실시형태의 초정밀 포지셔닝 장치를 보여주는 측면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 다른 실시형태의 초정밀 포지셔닝 장치를 보여주는 평면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 다른 실시형태의 보조 지지기구를 보여주는 측면도이다.
본 발명은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 한편, 본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
이하에서, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 일 실시형태의 미세 이송기구(10)를 보여주는 측면도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 미세 이송기구(10)는, 후술할 베이스 플레이트(11) 상에 배치되어, 모션 플레이트(12)를 지지하며 6 자유도로 이송시키기 위한 것으로서, 모션 플레이트(12)의 초정밀 포지셔닝을 구현하기 위하여 미세한 위치 이동을 수행하기 위한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 미세 이송기구(10)는 수평 구동 이송 모듈(101), 수평 자유 이송 모듈(102), 수직 이송 모듈(103) 및 조인트 모듈(104)을 포함할 수 있다.
수평 구동 이송 모듈(101)은 수평면 상에서 구동력을 이용하여 물체의 이송을 수행하기 위한 모듈일 수 있다. 수평 구동 이송 모듈(101)은 제1 구동 부재(1011) 및 제1 리니어 가이드 부재(1012)를 포함할 수 있다.
제1 구동 부재(1011)는 수평 이송을 수행하기 위한 동력을 발생시키는 것으로서, 서보 모터, 초음파 모터 또는 피에조 액추에이터 등의 부품을 포함할 수 있다. 본 실시예에서는 설명의 편의를 위해 제1 구동 부재(1011)가 서보 모터를 포함하는 것으로 예를 들어 설명하겠다. 다만, 제1 구동 부재(1011)의 구성이 이에 한정되는 것은 아니다. 서보 모터에는 서보 모터의 회전축의 회전 각도를 센싱할 수 있도록 엔코더(미도시)가 설치될 수 있다. 서보 모터에는 볼스크류를 결합하여 서보 모터의 회전 운동을 직선 운동으로 변환할 수 있다. 볼스크류의 일단부는 서보 모터에 결합되고 타단부는 제1 리니어 가이드 부재(1012)에 결합되어, 서보 모터의 회전 구동을 제1 리니어 가이드 부재(1012)의 직선 구동으로 변환시킬 수 있다.
제1 리니어 가이드 부재(1012)는 제1 구동 부재(1011)에 의해 구동되어 제1 축(x)을 따라 이송되면서 그의 상부에 탑재된 물체를 이송시키는 부재일 수 있다. 제1 리니어 가이드 부재(1012)는 제1 고정부(1012a) 및 상기 제1 고정부(1012a) 상에 슬라이딩 이동 가능하도록 결합되는 제1 이동부(1012b)를 포함할 수 있다.
구체적으로, 제1 고정부(1012a)는 제1 축(x) 방향으로 연장된 가이드 레일(미도시)을 포함할 수 있고, 제1 이동부(1012b)에는 가이드 레일에 상보적인 형태의 가이드 홈(미도시)이 구비될 수 있다. 제1 이동부(1012b)는 상기 가이드 레일을 따라 가이드홈이 슬라이딩 되어 제1 고정부(1012a)에 대하여 제1 축(x)을 따라 이동될 수 있다.
다시 말하면, 제1 이동부(1012b)의 일측에는 제1 구동 부재(1011)가 결합되며, 제1 구동부재가 제1 이동부(1012b)를 제1 축(x)을 따라 밀거나 당겨서 제1 고정부(1012a)에 대하여 상대 이동되도록 할 수 있다.
본 실시예에 사용되는 제1 및 제2 리니어 가이드 부재(1012, 1021)는 상술한 가이드 레일 및 가이드 홈의 조합 구조뿐만 아니라, 본 실시예에 사용되는 제1 및 제2 리니어 가이드 부재(1012, 1022)는 상술한 가이드 레일 및 가이드 홈의 조합 구조뿐만 아니라, 이동부와 고정부 사이에 배치되는 윤활 부재로 구형체 또는 실린더 형상의 롤러가 복수 개 사용될 수 있으며, 이에 한정되지 않고 시중에 리니어 가이드로 상용화된 제품이 사용될 수도 있다.
수평 자유 이송 모듈(102)은 구동력이 간접적으로 작용하여 수평면 상에서 물체의 가이드 이송을 수행하는 모듈일 수 있다. 즉, 수평 구동 이송 모듈(101)과 수직 이송 모듈(103)은 각각 구동 부재(1011, 1031)가 구비되어 구동력을 이용하여 이송을 수행하는 반면에, 수평 자유 이송 모듈(102)은 구동 부재를 포함하지 않고, 수평 구동 이송 모듈(101) 및 수직 이송 모듈(103)에서 발생되는 위치 이동에 반응하여 위치 이동 되면서 이송을 수행하는 모듈일 수 있다. 수평 자유 이송 모듈(102)은 상기 제1 축(x)과 상이한 제2 축(y)을 따라 이송되는 제2 리니어 가이드 부재(1021)를 포함할 수 있다.
제2 리니어 가이드 부재(1021)는, 제2 고정부(1021a) 및 상기 제2 고정부(1021a) 상에 슬라이딩 이동 가능하도록 결합되는 제2 이동부(1021b)를 포함할 수 있다. 제2 리니어 가이드 부재(1021)는 제1 리니어 가이드 부재(1012)와 동일한 부재가 사용될 수 있다.
다만, 제2 리니어 가이드 부재(1021)는 제1 리니어 가이드 부재(1012)와는 다른 방향으로 물체를 가이드 이송시키기 위해 제2 고정부(1021a)의 가이드 레일(미도시)이 연장되는 방향이 제1 고정부(1012a)의 가이드 레일이 연장되는 방향과 다르게 배치될 수 있다. 예를 들어, 제1 고정부(1012a)의 가이드 레일은 제1 축(x) 방향으로 연장될 수 있고, 제2 고정부(1021a)의 가이드 레일은 제2 축(y) 방향으로 연장될 수 있다. 아울러, 모션 플레이트(12)의 6-자유도 이송을 용이하게 제어하기 위하여 상기 제1 축(x)과 상기 제2 축(y)은 서로 직교하는 것이 바람직할 수 있다.
수직 이송 모듈(103)은 물체의 승강을 위한 모듈일 수 있다. 수직 이송 모듈(103)은 제2 구동 부재(1031), 쐐기 부재(1034), 가이드 부재(1032, 1033)를 포함할 수 있다.
제2 구동 부재(1031)는 수직 이송을 수행하기 위한 동력을 발생시키는 것으로서, 제1 구동 부재(1011)와 유사한 구성일 수 있으며, 제2 구동 부재(1031)는 수평 이송을 수행하기 위한 동력을 발생시키는 것으로서, 서보 모터, 초음파 모터 또는 피에조 액추에이터 등의 부품을 포함할 수 있다. 본 실시예에서는 설명의 편의를 위해 제2 구동 부재(1031)가 서보 모터를 포함하는 것으로 예를 들어 설명하겠다. 다만, 제2 구동 부재(1031)의 구성이 이에 한정되는 것은 아니다. 제2 구동 부재(1031)는 서보 모터와 볼스크류가 결합된 구성일 수 있다. 서보 모터에는 서보 모터의 회전축의 회전 각도를 센싱할 수 있도록 엔코더(미도시)가 설치될 수 있다.
쐐기 부재(1034)는 제2 구동 부재(1031)에 의해 발생되는 제1 축(x) 방향을 따른 변위를 제1 축(x) 및 제2 축(y)에 각각 수직한 제3 축(z)을 따른 변위로 변환하는 부재일 수 있다. 쐐기 부재(1034)는 제1 경사부(1034a)와 제1 경사부(1034a)의 경사면 상에 슬라이딩 이동 가능하도록 결합되는 제2 경사부(1034b)로 구성될 수 있다. 제1 경사부(1034a)의 상측에 형성된 경사면 상에는 가이드 레일이 형성되어 있고, 제2 경사부(1034b)의 하측에 형성된 경사면 상에는 가이드 홈이 형성될 수 있다. 가이드 레일에 가이드 홈이 결합됨으로써, 제1 경사부(1034a)와 제2 경사부(1034b)가 서로 결합되며, 제2 경사부(1034b)가 제1 경사부(1034a)의 제1 축(x) 방향 이동에 따라 가이드 되어 제3 축(z) 방향으로 이동될 수 있다.
가이드 부재(1032, 1033)는 제1 축(x) 방향 가이드 부재(1032)와 제3 축(z) 방향 가이드 부재(1033)로 구성되어, 쐐기 부재(1034)의 이동을 가이드 하는 부재일 수 있다.
구체적으로, 제1 축(x) 방향 가이드 부재(1032) 상에 제1 축(x) 방향으로 연장된 가이드 레일이 형성될 수 있고, 제1 경사부(1034a)의 하부에 가이드 레일에 상응하는 형상의 가이드 홈이 형성되고, 서로 결합되어 제1 경사부(1034a)가 제1 축(x) 방향 가이드 부재(1032)에 대하여 제1 축(x) 방향으로 슬라이딩 될 수 있다. 아울러, 제1 경사부(1034a)의 하부에 형성된 가이드 홈이 가이드 레일에 결합되어서 제2 축(y) 방향으로 제1 경사부(1034a)가 이탈되는 것이 방지될 수 있다. 또한, 제3 축(z) 방향 가이드 부재(1033)의 측면에는 제3 축(z) 방향으로 가이드 레일이 연장 형성될 수 있고, 제2 경사부(1034b)의 측면에는 가이드 홈이 형성되고, 서로 결합되어 제2 경사부(1034b)가 제3 축(z) 방향 가이드 부재(1033)에 대하여 제3 축(z) 방향으로 슬라이딩 될 수 있다. 아울러, 제2 경사부(1034b)의 측면에 형성된 가이드 홈이 가이드 레일에 결합되어서 제2 축(y) 방향으로 제2 경사부(1034b)가 이탈되는 것이 방지될 수 있다.
다시 말하면, 제2 구동 부재(1031)에 의해 제1 경사부(1034a)가 제 1축 방향으로 가이드되어 밀리거나 당겨질 수 있고, 이에 따라 제2 경사부(1034b)가 제1 경사부(1034a)의 경사면 상에 슬라이딩됨과 동시에 상하방향으로 가이드되어 승강될 수 있다.
미세 이송기구(10)의 수평 구동 이송 모듈(101), 수평 자유 이송 모듈(102) 및 수직 이송 모듈(103)은 서로 적층되어 이루어지고, 상기 제1 구동 부재(1011)와 상기 제2 구동 부재(1031)는 상기 제1 축(x)을 따라 상기 쐐기 부재(1034)에 대하여 동일한 측에 위치할 수 있다. 이로써, 미세 이송기구가 작은 부피를 차지하고, 단순한 구조로 구성될 수 있다.
조인트 모듈(104)은, 제1 리니어 가이드 부재(1012), 제2 리니어 가이드 부재(1021) 또는 쐐기 부재(1034) 중 최상층에 적층되는 어느 하나의 부재의 상부에 모션 플레이트(12)를 틸팅 및 제3 축(z)을 회전축으로 회전 가능하게 연결시키기 위한 것일 수 있다.
예를 들어, 조인트 모듈(104)은 볼 조인트일 수 있다. 볼 조인트로 구성된 조인트 모듈(104)은 모션 플레이트(12)를 미세 이송기구(10)에 대하여 자유롭게 틸팅되도록 연결시킬 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며 조인트 모듈(104)은 모션 플레이트(12)를 미세 이송기구(10)에 틸팅가능하게 연결시킬 수 있는 다양한 구성을 포함할 수 있다.
본 실시예에 따른 일 실시형태로서, 제2 리니어 가이드 부재(1021)는 제1 리니어 가이드 부재(1012) 상에 적층되어, 제1 리니어 가이드 부재(1012)의 제1 축(x)을 따른 제1 축(x) 이송에 연동될 수 있다. 제2 구동 부재(1031) 및 쐐기 부재(1034)는 제2 리니어 가이드 부재(1021) 상에 적층되어, 제2 리니어 가이드 부재(1021)의 제2 축(y)을 따른 제2 축(y) 이송에 연동될 수 있다.
즉, 제2 리니어 가이드 부재(1021)의 제2 고정부(1021a)는 제1 리니어 가이드 부재(1012)의 제1 이동부(1012b) 상에 결합되며, 제2 구동 부재(1031) 및 쐐기 부재(1034)의 제1 경사부(1034a)는 제2 리니어 가이드 부재(1021)의 제2 이동부(1021b) 상에 결합될 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 다른 실시형태 및 또 다른 실시형태의 미세 이송기구(10', 10'')를 보여주는 측면도이다.
도 2를 참조하면, 본 실시예에 따른 다른 실시형태의 미세 이송기구(10')로서, 제2 구동 부재(1031') 및 쐐기 부재(1034')는, 제1 리니어 가이드 부재(1012') 상에 적층되어, 제1 리니어 가이드 부재(1012')의 제1 축(x)을 따른 제1 축(x) 이송에 연동될 수 있다. 제2 리니어 가이드 부재(1021')는, 쐐기 부재(1034') 상에 적층되어, 쐐기 부재(1034')의 제3 축(z)을 따른 변위 변환에 연동될 수 있다.
즉, 제2 구동 부재(1031') 및 쐐기 부재(1034')의 제1 경사부(1034a')는 제1 리니어 가이드 부재(1012')의 제1 이동부(1012b') 상에 결합되며, 제2 리니어 가이드 부재의 제 2 고정부(1021a')는 쐐기 부재의 제2 경사부(1034b') 상에 결합될 수 있다.
본 실시예의 또 다른 실시형태의 미세 이송기구(10'')로서, 제1 구동 부재(1011'') 및 제1 리니어 가이드 부재(1012'')는 제2 리니어 가이드 부재(1021'') 상에 적층되어 제2 리니어 가이드 부재(1021')의 제2 축(y)을 따른 제2 축(y) 이송에 연동될 수 있다. 제2 구동 부재(1031'') 및 쐐기 부재(1034'')는 제1 리니어 가이드 부재(1012'') 상에 적층되어, 제1 리니어 가이드 부재(1012'')의 제1 축(x)을 따른 제1 축(x) 이송에 연동될 수 있다.
즉, 제1 구동 부재(1011'') 및 제1 리니어 가이드 부재(1012'')의 제1 고정부(1012a'')는, 제2 리니어 가이드 부재(1021'')의 제2 이동부(1021b'') 상에 결합되며, 제2 구동 부재(1031'') 및 쐐기 부재(1034'')의 제1 경사부(1034a'')는 제1 리니어 가이드 부재(1012'')의 제1 이동부(1012b'') 상에 결합될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 미세 이송기구(10, 10', 10'')는 수평 구동 이송 모듈(101, 101', 101''), 수평 자유 이송 모듈(102, 102', 102'') 및 수직 이송 모듈(103, 103', 103'')이 적층된 구조를 가지며, 2개의 구동 부재만을 포함하는 단일한 기구로 구성되어 수평 및 수직 방향 이송이 가능하며, 복수 개의 기구들이 조합되어 그 위에 탑재되는 물체를 지지하면서 6-자유도 이송을 수행할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 미세 이송기구(10, 10', 10'')는 베이스 플레이트(11) 상에 여러 위치에 배치되어 서로 조합되므로, 미세 이송기구(10, 10', 10'')가 배치되는 위치에 따라 그 위에 탑재되는 물체를 다양한 위치에 포지셔닝할 수 있다.
이하에서는, 상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 일 실시형태의 미세 이송기구(10)를 포함하는, 본 발명의 일 실시예에 따른 초정밀 포지셔닝 장치(1)에 대하여 설명하겠다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 일 실시형태의 초정밀 포지셔닝 장치(1)를 보여주는 사시도이다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 일 실시형태의 초정밀 포지셔닝 장치(1)에서 모션 플레이트(12)를 제거한 모습을 보여주는 사시도이다. 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 일 실시형태의 초정밀 포지셔닝 장치(1)에서 모션 플레이트(12)를 제거한 모습을 보여주는 평면도이다. 도 6는 본 발명의 일 실시예에 따른 일 실시형태의 초정밀 포지셔닝 장치(1)를 보여주는 측면도이다.
도 3 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 초정밀 포지셔닝 장치(1)는 베이스 플레이트(11), 모션 플레이트(12) 및 미세 이송기구(10)를 포함할 수 있다.
베이스 플레이트(11)는 평판형으로 형성되어, 복수 개의 미세 이송기구(10)가 탑재되는 플레이트일 수 있다.
모션 플레이트(12)는 그의 상부에 물체를 탑재하기 위한 플레이트일 수 있다. 모션 플레이트(12)는 복수 개의 미세 이송기구(10) 상에 탑재되며, 미세 이송기구(10)에 의해 지지되면서, 미세 이송기구(10)가 발생시키는 미세 이동에 의하여 6-자유도를 가지며 이송되는 플레이트일 수 있다. 모션 플레이트(12)의 하부에는 미세 이송기구(10)의 조인트 모듈(104)과 결합되기 위한 연결부(미도시)가 형성될 수 있다. 예를 들어, 모션 플레이트(12)의 하부에는 조인트 모듈(104)의 형상에 상응하는 형상으로 형성되는 홈이 형성될 수 있다. 이로써, 모션 플레이트(12)는 미세 이송기구(10) 상에 안정적으로 탑재될 수 있다.
미세 이송기구(10)는 베이스 플레이트(11) 상에 적어도 2개 배치되어 모션 플레이트(12)를 지지하며 이송시킬 수 있다. 바람직하게 미세 이송기구(10)는 베이스 플레이트(11) 상에 3개가 배치되어 모션 플레이트(12)를 안정적으로 지지하며, 6-자유도로 이송시킬 수 있다.
본 실시예에 따른 일 실시형태로서, 미세 이송기구(10)는 제1 축(x)이 일방으로 연장되는 제1 미세 이송기구(10-1) 및 제2 축(y)이 제1 미세 이송기구(10-1)의 제1 축(x)과 동일한 방향으로 연장되는 제2 미세 이송기구(10-2)를 포함할 수 있다.
나아가, 제1 미세 이송기구(10-1)는 제1 축(x)이 동일한 방향으로 연장되는 복수 개가 구비되어 베이스 플레이트(11) 상에 서로 이격 배치될 수 있다. 각각의 제1 미세 이송기구(10-1)는 서로 이격되어 제1 축(x)이 평행하게 배치될 수 있다.
구체적으로, 각각의 제1 미세 이송기구(10-1)의 제1 구동 부재(1011)가 제1 이동부(1012b)를 제1 축(x)을 따라 동일한 변위로 이동시키고, 제2 미세 이송기구(10-2)는 제2 이동부(1021b)가 제1 축(x)을 따라 이동되면서, 모션 플레이트(12)의 제1 축(x) 방향 이송을 수행할 수 있다.
또한, 제2 미세 이송기구(10-2)의 제1 구동 부재(1011)가 제1 이동부(1012b)를 제2 축(y)을 따라 이동시키고, 제1 미세 이송기구(10-1)는 제2 이동부(1021b)가 제2 축(y)을 따라 이동되면서, 모션 플레이트(12)의 제2 축(y) 방향 이송을 수행할 수 있다.
또한, 제1 미세 이송기구(10-1) 및 제2 미세 이송기구(10-2)의 각각의 제1 구동 부재(1011)가 제1 이동부(1012b)를 이동시키면서, 모션 플레이트(12)의 제3 축(z)을 중심으로 하는 회전(γ) 이송을 수행할 수 있다.
또한, 제1 미세 이송기구(10-1) 및 제2 미세 이송기구(10-2)의 각각의 제2 구동 부재(1031)가 제2 경사부(1034b)를 동일 변위로 이동시키면서 모션 플레이트(12)의 제3 축(z) 방향 이송을 수행할 수 있다.
또한, 제1 미세 이송기구(10-1) 및 제2 미세 이송기구(10-2)의 각각의 제2 구동 부재(1031)가 제2 경사부(1034b)를 상이한 변위로 이동시키면서 모션 플레이트(12)의 제1 축(x) 및/또는 제2 축(y)을 중심으로 하는 틸팅(α, β) 이송을 수행할 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 다른 실시형태의 초정밀 포지셔닝 장치(1)를 보여주는 평면도이다. 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 다른 실시형태의 보조 지지기구(24)를 보여주는 측면도이다.
본 실시예에 따른 다른 실시형태로서, 초정밀 포지셔닝 장치(미도시)는 베이스 플레이트(21) 상에 배치되며 모션 플레이트(미도시)의 이송에 따라 변형되면서 모션 플레이트를 지지하는 보조 지지기구(24)를 더 포함할 수 있다. 보조 지지기구(24)는 복수개의 리니어 가이드 부재(241, 242), 쐐기 부재(243) 및 조인트 모듈(244)을 포함할 수 있다.
예를 들어 보조 지지기구(24)는 복수개의 리니어 가이드 부재(241, 242)가 가이드하는 방향이 제1 축(x) 및 제2 축(y) 방향을 향하도록 적층 배치될 수 있고, 그의 상부에 쐐기 부재(243) 및 가이드 부재(미도시)가 결합되어 배치되며, 그의 위에 조인트 모듈(244)이 결합되어, 모션 플레이트의 하부 일측을 지지하며 다른 미세 이송기구(20)에 의한 모션 플레이트의 이송을 안정적으로 지지 및 보조할 수 있다. 보조 지지기구(24)가 모션 플레이트의 일측을 지지함으로서, 모션 플레이트는 미세 이송기구(20) 3개에 의해 지지되는 것보다 더 안정적으로 지지될 수 있다. 보조 지지기구(24)는 상술한 구조뿐만 아니라, 모션 플레이트의 하부 일측을 지지하면서, 모션 플레이트의 이송을 안정적으로 보조할 수 있는 구성이라면 어떠한 구성이라도 적용이 가능할 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 초정밀 포지셔닝 장치(1)는 모션 플레이트(12)를 복수 개의 미세 이송기구(10)로 지지하면서, 미세 이송기구(10) 각각의 모듈의 미세한 이동 및 복수 개의 미세 이송기구(10)의 상호 이동을 통한 정밀한 위치 설정을 구현하는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 초정밀 포지셔닝 장치(1)는 복수 개의 미세 이송기구(10)를 각각 개별적으로 제어하여 정밀한 위치 설정을 구현하는 효과가 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술적 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예는 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술적 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
1: 초정밀 포지셔닝 장치 10,20: 미세 이송기구
11,21: 베이스 플레이트 12: 모션 플레이트
24: 보조 지지기구 101: 수평 구동 이송 모듈
102: 수평 자유 이송 모듈 103: 수직 이송 모듈
104: 조인트 모듈 1011: 제1 구동 부재
1012: 제1 리니어 가이드 부재 1012a: 제1 고정부
1012b: 제1 이동부 1021: 제2 리니어 가이드 부재
1021a: 제2 고정부 1021b: 제2 이동부
1031: 제2 구동 부재 1032: 제1 축 방향 가이드 부재
1033: 제3 축 방향 가이드 부재 1034: 쐐기 부재
1034a: 제1 경사부 1034b: 제2 경사부
11,21: 베이스 플레이트 12: 모션 플레이트
24: 보조 지지기구 101: 수평 구동 이송 모듈
102: 수평 자유 이송 모듈 103: 수직 이송 모듈
104: 조인트 모듈 1011: 제1 구동 부재
1012: 제1 리니어 가이드 부재 1012a: 제1 고정부
1012b: 제1 이동부 1021: 제2 리니어 가이드 부재
1021a: 제2 고정부 1021b: 제2 이동부
1031: 제2 구동 부재 1032: 제1 축 방향 가이드 부재
1033: 제3 축 방향 가이드 부재 1034: 쐐기 부재
1034a: 제1 경사부 1034b: 제2 경사부
Claims (14)
- 제1 구동 부재 및 상기 제1 구동 부재에 의해 구동되어 제1 축을 따라 이송되며 제1 고정부와 상기 제1 고정부 상에 슬라이딩 이동 가능하도록 결합되는 제1 이동부를 포함하는 제1 리니어 가이드 부재를 포함하는 수평 구동 이송 모듈;
상기 제1 축과 상이한 제2 축을 따라 이송되며 제2 고정부와 상기 제2 고정부 상에 슬라이딩 이동 가능하도록 결합되는 제2 이동부를 포함하는 제2 리니어 가이드 부재를 포함하는 수평 자유 이송 모듈; 및
제2 구동 부재 및 상기 제2 구동 부재에 의해 발생되는 상기 제1 축 방향을 따른 변위를 상기 제1 축 및 상기 제2 축에 각각 수직한 제3 축을 따른 변위로 변환하며 제1 경사부와 상기 제1 경사부의 경사면 상에 슬라이딩 이동 가능하도록 결합되는 제2 경사부를 포함하는 쐐기 부재를 포함하는 수직 이송 모듈을 포함하며,
상기 제2 리니어 가이드 부재의 상기 제2 고정부는 상기 제1 리니어 가이드 부재의 상기 제1 이동부 상에 결합되고 상기 제2 구동 부재 및 상기 쐐기 부재의 상기 제1 경사부는 상기 제2 리니어 가이드 부재의 상기 제2 이동부 상에 결합되어 상기 수평 구동 이송 모듈 상에 상기 수평 자유 이송 모듈이 적층되고, 상기 수평 자유 이송 모듈 상에 상기 수직 이송 모듈이 적층되고,
상기 제1 구동 부재와 상기 제2 구동 부재는 상기 제1 축을 따라 상기 쐐기 부재에 대하여 동일한 측에 위치하며,
상기 수평 자유 이송 모듈은 구동 부재를 포함하지 않고 상기 수평 구동 이송 모듈 및 상기 수직 이송 모듈에서 발생되는 위치 이동에 반응하여 위치이동 되면서 이송을 수행하는 것을 특징으로 하는 미세 이송기구. - 제1 구동 부재 및 상기 제1 구동 부재에 의해 구동되어 제1 축을 따라 이송되며 제1 고정부와 상기 제1 고정부 상에 슬라이딩 이동 가능하도록 결합되는 제1 이동부를 포함하는 제1 리니어 가이드 부재를 포함하는 수평 구동 이송 모듈;
상기 제1 축과 상이한 제2 축을 따라 이송되며 제2 고정부와 상기 제2 고정부 상에 슬라이딩 이동 가능하도록 결합되는 제2 이동부를 포함하는 제2 리니어 가이드 부재를 포함하는 수평 자유 이송 모듈; 및
제2 구동 부재 및 상기 제2 구동 부재에 의해 발생되는 상기 제1 축 방향을 따른 변위를 상기 제1 축 및 상기 제2 축에 각각 수직한 제3 축을 따른 변위로 변환하며 제1 경사부와 상기 제1 경사부의 경사면 상에 슬라이딩 이동 가능하도록 결합되는 제2 경사부를 포함하는 쐐기 부재를 포함하는 수직 이송 모듈을 포함하며,
상기 제2 구동 부재 및 상기 쐐기 부재의 상기 제1 경사부는 상기 제1 리니어 가이드 부재의 상기 제1 이동부 상에 결합되고 상기 제2 리니어 가이드 부재의 상기 제2 고정부는 상기 쐐기 부재의 상기 제2 경사부 상에 결합되어 상기 수평 구동 이송 모듈 상에 상기 수직 이송 모듈이 적층되고, 상기 수직 이송 모듈 상에 상기 수평 자유 이송 모듈이 적층되고,
상기 제1 구동 부재와 상기 제2 구동 부재는 상기 제1 축을 따라 상기 쐐기 부재에 대하여 동일한 측에 위치하며,
상기 수평 자유 이송 모듈은 구동 부재를 포함하지 않고 상기 수평 구동 이송 모듈 및 상기 수직 이송 모듈에서 발생되는 위치 이동에 반응하여 위치이동 되면서 이송을 수행하는 것을 특징으로 하는 미세 이송기구. - 제1 구동 부재 및 상기 제1 구동 부재에 의해 구동되어 제1 축을 따라 이송되며 제1 고정부와 상기 제1 고정부 상에 슬라이딩 이동 가능하도록 결합되는 제1 이동부를 포함하는 제1 리니어 가이드 부재를 포함하는 수평 구동 이송 모듈;
상기 제1 축과 상이한 제2 축을 따라 이송되며 제2 고정부와 상기 제2 고정부 상에 슬라이딩 이동 가능하도록 결합되는 제2 이동부를 포함하는 제2 리니어 가이드 부재를 포함하는 수평 자유 이송 모듈; 및
제2 구동 부재 및 상기 제2 구동 부재에 의해 발생되는 상기 제1 축 방향을 따른 변위를 상기 제1 축 및 상기 제2 축에 각각 수직한 제3 축을 따른 변위로 변환하며 제1 경사부와 상기 제1 경사부의 경사면 상에 슬라이딩 이동 가능하도록 결합되는 제2 경사부를 포함하는 쐐기 부재를 포함하는 수직 이송 모듈을 포함하며,
상기 제1 구동 부재 및 상기 제1 리니어 가이드 부재의 상기 제1 고정부는 상기 제2 리니어 가이드 부재의 상기 제2 이동부 상에 결합되고 상기 제2 구동 부재 및 상기 쐐기 부재의 상기 제1 경사부는 상기 제1 리니어 가이드 부재의 상기 제1 이동부 상에 결합되어 상기 수평 자유 이송 모듈 상에 상기 수평 구동 이송 모듈이 적층되고, 상기 수평 구동 이송 모듈 상에 상기 수직 이송 모듈이 적층되고,
상기 제1 구동 부재와 상기 제2 구동 부재는 상기 제1 축을 따라 상기 쐐기 부재에 대하여 동일한 측에 위치하며,
상기 수평 자유 이송 모듈은 구동 부재를 포함하지 않고 상기 수평 구동 이송 모듈 및 상기 수직 이송 모듈에서 발생되는 위치 이동에 반응하여 위치이동 되면서 이송을 수행하는 것을 특징으로 하는 미세 이송기구. - 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 축과 상기 제2 축은 서로 직교하는, 미세 이송기구. - 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 리니어 가이드 부재, 상기 제2 리니어 가이드 부재 또는 상기 쐐기 부재 중 최상층에 적층되는 어느 하나의 상부에 모션 플레이트를 틸팅 가능하게 연결시키기 위한 조인트 모듈을 더 포함하는, 미세 이송기구. - 베이스 플레이트;
상기 베이스 플레이트의 상방에 이격 배치되는 모션 플레이트; 및
제10항에 따른 미세 이송기구를 포함하며,
상기 미세 이송기구는,
상기 베이스 플레이트 상에 적어도 2개 이상 배치되어 상기 모션 플레이트를 지지하며 이송시키고,
상기 미세 이송기구의 수평 구동 이송 모듈의 제1 구동 부재의 구동에 의한 상기 제1 리니어 가이드 부재의 이송 및 상기 미세 이송기구의 수직 이송 모듈의 제2 구동 부재의 구동에 의한 상기 쐐기 부재의 이송 중 적어도 하나 이상의 이송에 연동하여, 상기 미세 이송기구의 수평 자유 이송 모듈의 제2 리니어 가이드 부재가 이송됨으로써 상기 모션 플레이트의 6-자유도 이송이 가능하도록 구성되는, 초정밀 포지셔닝 장치. - 제11항에 있어서,
상기 미세 이송기구는,
상기 제1 축이 일방으로 연장되는 제1 미세 이송기구; 및
상기 제2 축이 상기 제1 미세 이송기구의 상기 제1 축과 동일한 방향으로 연장되는 제2 미세 이송기구를 포함하는, 초정밀 포지셔닝 장치. - 제12항에 있어서,
상기 제1 미세 이송기구는,
상기 제1 축이 동일한 방향으로 연장되는 복수 개가 구비되며, 상기 베이스 플레이트 상에 서로 이격 배치되는, 초정밀 포지셔닝 장치. - 제11항에 있어서,
상기 베이스 플레이트 상에 배치되며, 상기 모션 플레이트의 이송에 따라 변형되면서 상기 모션 플레이트를 지지하는 보조 지지기구를 더 포함하는, 초정밀 포지셔닝 장치.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| KR1020180096312A KR102149381B1 (ko) | 2018-08-17 | 2018-08-17 | 미세 이송기구 및 이를 포함하는 초정밀 포지셔닝 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020180096312A KR102149381B1 (ko) | 2018-08-17 | 2018-08-17 | 미세 이송기구 및 이를 포함하는 초정밀 포지셔닝 장치 |
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|---|---|
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Family Applications (1)
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| KR1020180096312A KR102149381B1 (ko) | 2018-08-17 | 2018-08-17 | 미세 이송기구 및 이를 포함하는 초정밀 포지셔닝 장치 |
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| JP2009012168A (ja) | 2007-06-08 | 2009-01-22 | Horiba Ltd | ステージ装置 |
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2018
- 2018-08-17 KR KR1020180096312A patent/KR102149381B1/ko active IP Right Grant
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