JP4964764B2 - ナノスケール製造のためのボディの動きを制御する方法およびシステム - Google Patents

Description

本発明の分野は一般にオリエンテーション・デバイスに関する。より詳細には、本発明は、インプリント・リソグラフィにおける使用に適したオリエンテーション・ステージおよびオリエンテーション・ステージを利用する方法を対象としている。

微細加工には、たとえばマイクロメートル以下の程度のフィーチャを有する極めて微小な構造の加工が必要である。微細加工が大きな影響を及ぼした分野の１つは、集積回路の処理分野である。半導体処理産業では、製造歩留りをより大きくし、かつ、基板に形成される単位面積当たりの回路を増すための努力が継続しているため、微細加工は、ますます重要になっている。微細加工によって、より優れたプロセス制御が提供され、かつ、形成される構造の最小フィーチャ寸法がさらに縮小される。微細加工が使用されている開発の他の分野には、生物工学、光学技術、機械システムなどがある。

例示的な微細加工技法は、一般にインプリント・リソグラフィと呼ばれており、「ＭＥＴＨＯＤ ＡＮＤ Ａ ＭＯＬＤ ＴＯ ＡＲＲＡＮＧＥ ＦＥＡＴＵＲＥＳ ＯＮ Ａ ＳＵＢＳＴＲＡＴＥ ＴＯ ＲＥＰＬＩＣＡＴＥ ＦＥＡＴＵＲＥＳ ＨＡＶＩＮＧ ＭＩＮＩＭＡＬ ＤＩＭＥＮＳＩＯＮＡＬ ＶＡＲＩＡＢＩＬＩＴＹ」という名称の米国特許出願公開第２００４／００６５９７６号、「ＭＥＴＨＯＤ ＯＦ ＦＯＲＭＩＮＧ Ａ ＬＡＹＥＲ ＯＮ Ａ ＳＵＢＳＴＲＡＴＥ ＴＯ ＦＡＣＩＬＩＴＡＴＥ ＦＡＢＲＩＣＡＴＩＯＮ ＯＦ ＭＥＴＲＯＬＯＧＹ ＳＴＡＮＤＡＲＤＳ」という名称の米国特許出願公開第２００４／００６５２５２号、「ＭＥＴＨＯＤ ＡＮＤ Ａ ＭＯＬＤ ＴＯ ＡＲＲＡＮＧＥ ＦＥＡＴＵＲＥＳ ＯＮ Ａ ＳＵＢＳＴＲＡＴＥ ＴＯ ＲＥＰＬＩＣＡＴＥ ＦＥＡＴＵＲＥＳ ＨＡＶＩＮＧ ＭＩＮＩＭＡＬ ＤＩＭＥＮＳＩＯＮＡＬ ＶＡＲＩＡＢＩＬＩＴＹ」という名称の米国特許出願公開第２００４／００４６２７１号などの多くの刊行物に詳細に記載されている。これらはすべて本発明の譲受人に譲渡されたものである。上述の特許出願公開の各々に示されている例示的なインプリント・リソグラフィ技法には、重合が可能な層へのレリーフ・パターンの形成や、下を覆っている基板へのレリーフ・パターンの転写、基板へのレリーフ画像の形成が含まれている。そのために、テンプレートを使用して、基板の上に存在している成形可能な液体に接触させている。この液体が凝固して、テンプレートの表面の形状と一致するパターンが記録された凝固層が形成される。次に、基板と凝固層に転写処理が施され、凝固層のパターンに対応するレリーフ画像が基板に転写される。

基板とテンプレートの間の適切な配向を得るためには、テンプレートと基板を適切に整列させることが望ましい。そのために、オリエンテーション・ステージは、通常、インプリント・リソグラフィ・システムと共に使用されている。Ｂａｉｌｅｙらに対する米国特許第６，６９６，２２０号に、例示的なオリエンテーション・デバイスが示されている。このオリエンテーション・ステージは、インプリントされるべき基板の周りのテンプレートの較正と配向を容易にしている。オリエンテーション・ステージは、案内シャフトを備えた頂部フレームと中央フレームを備えており、それらの間にスライダが配置されている。ベース・プレートを有するハウジングが中央フレームに結合されており、案内シャフトの周りをスライダが移動して、ハウジングに結合されたテンプレートの垂直方向の並進を提供している。ベース・プレートとたわみリングの間に複数のアクチュエータが結合されている。これらのアクチュエータは、たわみリングの動きが得られるように制御することができ、したがってたわみリングの垂直方向の動きによって、テンプレートと基板の間に形成されるギャップを制御することができる。

したがって、改良型オリエンテーション・ステージおよび改良型オリエンテーション・ステージを利用する方法が提供されることが望ましい。

本発明は、間隔を隔てた２つの軸に対する角度的な動きを駆動システムに与えることによって延びる平面内におけるボディの並進動きを特徴とする、駆動システムに結合されたボディの動きを制御する方法およびシステムを対象としている。詳細には、一方の平面がボディが並進する平面に平行に延びる、間隔を隔てた２つの平面内における回転動きが生成される。したがって、ボディから間隔を隔てた表面に対するボディの適切な配向が容易になる。以下、これらおよび他の実施形態について、より詳細に説明する。

図１を参照すると、オリエンテーション・ステージ１０は、外側フレーム１４の近傍に配置された内側フレーム１２、たわみリング１６、コンプライアント・デバイス１８を有している。コンプライアント・デバイス１８については、以下でより詳細に説明する。オリエンテーション・ステージ１０のコンポーネントは、適切な任意の材料、たとえばアルミニウム、ステンレス鋼などから形成することができ、ねじが切られたファスナ（図示せず）などの適切な任意の手段を使用して１つに結合させることができる。テンプレート・チャック２０は、図２により明確に示されているオリエンテーション・ステージ１０に結合されている。詳細には、テンプレート・チャック２０は、コンプライアント・デバイス１８に結合されている。テンプレート・チャック２０は、図１に示すテンプレート２２を支持するように構成されている。参照により本明細書に組み込まれている、本発明の譲受人に譲渡された、「Ｃｈｕｃｋ Ｓｙｓｔｅｍ ｆｏｒ Ｍｏｄｕｌａｔｉｎｇ Ｓｈａｐｅｓ ｏｆ Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ」という名称の米国特許公告第２００４／００９０６１１号に、例示的なテンプレート・チャックが開示されている。テンプレート・チャック２０は、テンプレート・チャック２０の四隅をテンプレート・チャック２０の近傍に位置しているコンプライアント・デバイス１８の四隅に結合され、ねじが切られたファスナ（図示せず）などの適切な任意の手段を使用してコンプライアント・デバイス１８に結合されている。

図１、２を参照すると、内側フレーム１２は、面２５によって取り囲まれた中央通路２４を有しており、外側フレーム１４は、中央通路２４と重畳している中央開口２６を有している。たわみリング１６の形状は環状であり、たとえば円形または楕円形である。たわみリング１６は、内側フレーム１２と外側フレーム１４に結合されており、中央通路２４と中央開口２６の両方の外側に位置している。詳細には、たわみリング１６は、領域２８、３０、３２で内側フレーム１２に結合され、領域３４、３６、３８で外側フレーム１４に結合されている。領域３４は、領域２８、３０の間に、それらから等距離で配置されている。領域３６は、領域３０、３２の間に、それらから等距離で配置されている。また、領域３８は、領域２８、３２の間に、それらから等距離で配置されている。この方法によれば、たわみリング１６は、コンプライアント・デバイス１８、テンプレート・チャック２０、テンプレート２２を取り囲み、かつ、内側フレーム１２を外側フレーム１４に固定して取り付けることができる。コンプライアント・デバイス１８の四隅２７は、ねじが切られたファスナ（図示せず）を使用して面２５に取り付けられている。

オリエンテーション・ステージ１０は、テンプレート２２の動きを制御し、かつ、基準面（図示せず）に対する所望の空間関係でテンプレート２２を配置するように構成されている。そのために、複数のアクチュエータ４０、４２、４４が、外側フレーム１４と内側フレーム１２の間に、オリエンテーション・ステージ１０の周りに間隔を隔てて接続されている。アクチュエータ４０、４２、４４は、それぞれ第１の端部４６と第２の端部４８を有している。アクチュエータ４０の第１の端部４６は外側フレーム１４と対向し、第２の端部４８は内側フレーム１２と対向している。アクチュエータ４０、４２、４４は、３つの軸Ｚ₁、Ｚ₂、Ｚ₃に沿った内側フレーム１２の並進動きを容易にすることによって内側フレーム１２を外側フレーム１４に対して傾斜させている。オリエンテーション・ステージ１０は、軸Ｚ₁、Ｚ₂、Ｚ₃の周りの約±１．２ｍｍの動き範囲を提供することができる。この方法によれば、アクチュエータ４０、４２、４４は、内側フレーム１２に、コンプライアント・デバイス１８、延いてはテンプレート２２とテンプレート・チャック２０の両方に、複数の軸Ｔ₁、Ｔ₂、Ｔ₃のうちの１つまたは複数の周りの角度的な動きをさせることができる。詳細には、軸Ｚ₂、Ｚ₃に沿った内側フレーム１２と外側フレーム１４の間の距離を短くし、かつ、軸Ｚ₁に沿ったそれらの間の距離を長くすることにより、傾斜軸Ｔ₂の周りの第１の方向の角度的な動きが生じる。軸Ｚ₂、Ｚ₃に沿った内側フレーム１２と外側フレーム１４の間の距離を長くし、かつ、軸Ｚ₁に沿ったそれらの間の距離を短くすることにより、傾斜軸Ｔ₂の周りの、第１の方向とは逆の第２の方向の角度的な動きが生じる。同様の方法で、内側フレーム１２が、軸Ｚ₃に沿って逆方向に、軸Ｚ₁、Ｚ₂に沿った移動の２倍の距離を移動している間に、内側フレーム１２を軸Ｚ₁、Ｚ₂に沿って同じ方向に、同じ大きさで移動させることによって内側フレーム１２と外側フレーム１４の間の距離を変更することにより、軸Ｔ₁の周りの角度的な動きが生じる。同様に、内側フレーム１２が、軸Ｚ₂に沿って逆方向に、軸Ｚ₁、Ｚ₃に沿った移動の２倍の距離を移動している間に、内側フレーム１２を軸Ｚ₁、Ｚ₃に沿って同じ方向に、同じ大きさで移動させることによって内側フレーム１２と外側フレーム１４の間の距離を変更することにより、軸Ｔ₃の周りの角度的な動きが生じる。アクチュエータ４０、４２、４４は、±２００Ｎの最大動作力を有することができる。オリエンテーション・ステージ１０は、軸Ｔ₁、Ｔ₂、Ｔ₃の周りの約±０．１５°の動き範囲を提供することができる。

アクチュエータ４０、４２、４４は、機械部品が最少になり、したがって不均一な機械コンプライアンスと微粒子の原因による摩擦が最小化されるよう選択される。アクチュエータ４０、４２、４４の例には、ボイス・コイル・アクチュエータ、圧電アクチュエータ、リニア・アクチュエータがある。アクチュエータ４０、４２、４４の例示的実施形態は、Ｃａｌｉｆｏｒｎｉａ州Ｓｙｌｍａｒ在所のＢＥＩ ＴｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓからＬＡ２４−２０−０００Ａの商品名で入手することができる。また、アクチュエータ４０、４２、４４は、内側フレーム１２と外側フレーム１４の間に、それらの周りに対称になるように結合されており、中央通路２４と中央開口２６の外側に位置している。このような構成により、外側フレーム１４からコンプライアント・デバイス１８まで、障害物のない通路が構成される。また、構造が対称であるため、動的振動や不均一な熱ドリフトが最小化され、それにより内側フレーム１２の微小動き修正が提供される。

内側フレーム１２、外側フレーム１４、たわみリング１６、アクチュエータ４０、４２、４４の組合せによってコンプライアント・デバイス１８の角度的な動きが提供され、延いては傾斜軸Ｔ₁、Ｔ₂、Ｔ₃の周りのテンプレート・チャック２０、テンプレート２２の角度的な動きが提供される。しかしながら、テンプレート２２には、完全に直角ではないとしても、軸Ｚ₁、Ｚ₂、Ｚ₃に対して横方向に延びている平面に存在している軸に沿った並進動きが付与されることが望ましい。これは、テンプレート、テンプレート・チャック、コンプライアント・デバイスを組み立てる際にテンプレートの面に存在する、傾斜軸Ｔ₁、Ｔ₂、Ｔ₃とは間隔を隔てた、図のＣ₁、Ｃ₂で示す複数のコンプライアンス軸のうちの１つまたは複数の軸の周りの角度的な動きをテンプレート２２に付与する機能をコンプライアント・デバイス１８に提供することによって達成される。

図３、４を参照すると、コンプライアント・デバイス１８は、サポート・ボディ５０、複数のたわみアーム５４、５６、５８、６０、向かい合ってサポート・ボディ５０に結合されたフローティング・ボディ５２を備えている。テンプレート・チャック２０は、従来の締付け手段を介してフローティング・ボディ５２に取り付けるように意図されており、テンプレート２２は、従来の方法を使用したチャックによって保持されている。

たわみアーム５４、５６、５８、６０は、それぞれ第１のセットと第２のセットのたわみ継手６２、６４、６６、６８を備えている。説明を分かり易くするために、たわみアーム５６に関連して第１のセットと第２のセットのたわみ継手６２、６４、６６、６８について説明するが、この説明は、たわみアーム５６、５８、６０と結合しているたわみ継手のセットについても等しく適用される。必ずしもその必要はないが、コンプライアント・デバイス１８は、ソリッド・ボディ、たとえばステンレス鋼から形成されている。したがって、サポート・ボディ５０とフローティング・ボディ５２、たわみアーム５４、５６、５８、６０は一体形成されており、第１のセットと第２のセットのたわみ継手６２、６４、６６、６８と向かい合って、一体として回転結合されている。サポート・ボディ５０は、中央に配置された通路７０を備えている。フローティング・ボディは、中央に配置された、通路７０と重畳している開口７２を備えている。たわみアーム５４、５６、５８、６０は、それぞれその両端に端部７４、７６を備えている。個々のたわみアーム５４、５６、５８、６０の端部７４は、たわみ継手６６、６８を介してサポート・ボディ５０に接続されている。端部７４は、通路７０の外側に位置している。個々のたわみアーム５４、５６、５８、６０の端部７６は、たわみ継手６２、６４を介してフローティング・ボディ５２に接続されている。端部７６は、開口７２の外側に位置している。

図４、５を参照すると、たわみ継手６２、６４、６６、６８は、それぞれ、端部７４、７６の近傍、つまりサポート・ボディ５０またはフローティング・ボディ５２のいずれか一方と、たわみアーム５４、５６、５８、６０のうちの１つとの界面に、デバイス１８から変形させた材料によって形成されている。そのために、たわみ継手６２、６４、６６、６８は、デバイス１８を機械加工し、レーザ切断し、あるいは他の適切な処理を施すことによって形成されている。詳細には、継手６４、６６は、対向する２つの面８０、８２を有するたわみ部材７８から形成されている。面８０、８２の各々は、それぞれ隙間８４、８６を備えている。隙間８４は、隙間８６とは反対の方向に向いて配置されており、また、隙間８６は、隙間８４とは反対の方向に向いている。面８０から遠ざかる方向に隙間８６から延びているギャップ８８は、たわみアーム５６の周囲の開口の中で終端している。継手６２、６８も、対向する２つの面９２、９４を有するたわみ部材９０から形成されている。面９２、９４の各々は、それぞれ隙間９６、９８を備えている。隙間９８は、面９２に向かって配置されており、隙間９８は、面９４とは反対の方向に向いている。ギャップ１００は、面９２から遠ざかる方向に隙間９８から延びており、ギャップ１０２は、隙間９８から延びている。ギャップ８８、１００、１０２の間隔Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３は、サポート・ボディ５０とフローティング・ボディ５２のいずれかの間で相対動きが生じることになる動き範囲をそれぞれ決めている。

図３、５を参照すると、たわみアーム５６、５８のたわみ継手６２と結合しているたわみ部材９０は、軸１０４の周りの回転を容易にしており、また、たわみアーム５６、５８の継手６６と結合しているたわみ部材７８は、軸１０６の周りの回転を容易にしている。たわみアーム５４、６０のたわみ継手６２と結合しているたわみ部材９０は、軸１０８の周りの回転を容易にしており、また、たわみアーム５４、６０のたわみ継手６６と結合しているたわみ部材７８は、軸１１０の周りの回転を容易にしている。たわみアーム５４、５６のたわみ継手６４と結合しているたわみ部材７８は、軸１１２の周りの回転を容易にしており、また、たわみアーム５４、５６のたわみ継手６８と結合しているたわみ部材９０は、軸１１４の周りの回転を容易にしている。たわみアーム５８、６０の継手６４と結合しているたわみ部材７８は、軸１１６の周りの回転を容易にしており、また、たわみアーム５８、６０のたわみ継手６８と結合しているたわみ部材９０は、軸１１８の周りの回転を容易にしている。

したがって、たわみアーム５４、５６、５８、６０は、それぞれ、回転軸のグループがオーバラップする前記デバイス１８の領域に配置されている。たとえば、たわみアーム５４の端部７４は、軸１１０、１１４がオーバラップする領域に配置されており、端部７６は、軸１０８、１１２がオーバラップする領域に配置されている。たわみアーム５６の端部７４は、軸１０６、１１４がオーバラップする領域に配置されており、端部７６は、軸１１０、１１２がオーバラップする領域に配置されている。たわみアーム５８の端部７４は、軸１０６、１１８がオーバラップする領域に配置されており、端部７６は、軸１０４、１１６がオーバラップする領域に配置されている。同様に、たわみアーム６０の端部７４は、軸１１０、１１８がオーバラップする領域に配置されており、端部７６は、軸１０８、１１６がオーバラップする領域に配置されている。

この構成の結果として、たわみアーム５４、５６、５８、６０は、それぞれ、サポート・ボディ５０とフローティング・ボディ５２に対して、軸がオーバラップしている２つのグループ（第１のグループがもう１つのグループに対して横方向に延びている）の周りの相対回転動きを提供するように結合されている。したがって、たわみアーム５４、５６、５８、６０の各々に、直交する軸の２つのグループの周りの動きが提供され、かつ、これらのたわみアームのフットプリントが最小化される。デバイス１８は、上記軸の上方に、約±０．０４°の傾斜動き範囲、約±０．０２°のアクティブ傾斜動き範囲、約±０．０００５°のアクティブ・シータ動き範囲を提供することができる。さらに、たわみアーム５４、５６、５８、６０の個々のフットプリントが小さくなるため、たわみアーム５４、５６、５８、６０によって妨害されない空隙１２０を通路７０と開口７２の間に残すことができる。したがってデバイス１８は、インプリント・リソグラフィ・システムとの使用に適している。これについては、以下でより詳細に説明する。

図３、４、６、７を参照すると、サポート・ボディ５０とフローティング・ボディ５２に対するたわみアーム５４、５６、５８、６０のこの構成は、デバイス１８の荷重の平行伝達を容易にしている。たとえば、サポート・ボディ５０に荷重力が付与されると、個々のたわみアーム５４、５６、５８、６０は、実質的に同じ大きさの力Ｆ₁ をフローティング・ボディ５２に付与する。これは、とりわけ、力Ｆ₁ またはＦ₂ のいずれかが付与された場合の、デバイス１８を使用した所望の構造剛性の達成を容易にしている。そのために、たわみ継手６２、６４、６６、６８は回転継手であり、たわみとサポート・ボディ５０またはフローティング・ボディ５２のいずれかとの間の、回転動きを除くあらゆる方向の動きが最小化される。詳細には、たわみ継手６２、６４、６６、６８は、たわみアーム５４、５６、５８、６０、サポート・ボディ５０、フローティング・ボディ５２の間の並進動きを最小化し、かつ、軸１０４、１０６、１０８、１１０、１１２、１１４、１１６、１１８の周りの回転動きを容易にしている。

図３、４、５、６、７を参照すると、軸１０４、１０６、１０８、１１０の相対位置は、フローティング・ボディ５２から間隔を隔てたフローティング・ボディ５２の開口７２の中心下方に、軸１０４、１０８からと軸１０６、１１０とから等距離に位置している位置１２２に、第１のリモート・センタ・コンプライアンス（ＲＣＣ）を提供している。同様に、軸１１２、１１６からと軸１１４、１１８とから等距離の位置には、前記フローティング・ボディ５２の、位置１２２の実質的に近くに第２のＲＣＣを提供している。この第２のＲＣＣは、位置１２２に位置していることが望ましい。軸１１２、１１４間と、軸１１６、１１８間とは、それぞれ等距離に位置している。軸１０４、１０６、１０８、１１０のグループの軸は、それぞれ、そのグループの残りの軸１０４、１０６、１０８、１１０に対して平行に延びている。同様に、軸１１２、１１４、１１６、１１８のグループの軸は、それぞれ、そのグループの残りの軸１１２、１１４、１１６、１１８に対して平行に延び、かつ前記軸１０４、１０６、１０８、１１０の各々に対して直角に延びている。軸１１０は、第１の方向に沿って、軸１０８からｄ₁ の距離だけ間隔を隔てており、また、直交する第２の方向に沿って、軸１０８からｄ₂ の距離だけ間隔を隔てている。軸１０４は、第１の方向に沿って、軸１０６からｄ₃ の距離だけ間隔を隔てており、また、第２の方向に沿って、軸１０６からｄ₄ の距離だけ間隔を隔てている。軸１１２は、第１と第２の両方の方向に直交している第３の方向に沿って、軸１１４からｄ₅ の距離だけ間隔を隔てており、また、第２の方向に沿って、軸１１４からｄ₆ の距離だけ間隔を隔てている。軸１１６は、第２の方向に沿って、軸１１８からｄ ₇ の距離だけ間隔を隔てており、また、第３の方向に沿って、軸１１８からｄ₈ の距離だけ間隔を隔てている。距離ｄ₁ 、ｄ₄ 、ｄ₆ 、ｄ₇ は、実質的に同じ距離である。距離ｄ₂ 、ｄ₃ 、ｄ₅ 、ｄ₈ は、実質的に同じ距離である。

横方向に延びている複数の軸の２つのセットは、それらの交点にＲＣＣ１２２が位置していると見なすことができるよう、距離ｄ₁ 〜ｄ₈ を適切に確立することによって実質的に極めて近くに配置することができる。４つの軸が含まれている第１のセットは、１２４、１２６、１２８、１３０で示されている。たわみアーム５４のたわみ継手６２、６６は、軸１２４に沿って位置しており、たわみアーム５６のたわみ継手６２、６６は、軸１２６に沿って位置している。たわみアーム５８のたわみ継手６２、６６は、軸１２８に沿って位置しており、たわみアーム６０のたわみ継手６２、６６は、軸１３０に沿って位置している。４つの軸の第２のセットは、１３２、１３４、１３６、１３８で示されている。たわみアーム５６のたわみ継手６４、６８は、軸１３２に沿って位置しており、たわみアーム５８のたわみ継手６４、６８は、軸１３４に沿って位置している。たわみアーム６０のたわみ継手６４、６８は、軸１３６に沿って位置しており、たわみアーム５４のたわみ継手６４、６８は、軸１３８に沿って位置している。この構成により、ＲＣＣ１２２に対する、軸１２４、１２６、１２８、１３０、１３２、１３４、１３６、１３８のセットのうちの任意の１つの周りのフローティング・ボディ５２の動きが、残りの軸１２４、１２６、１２８、１３０、１３２、１３４、１３６、１３８の周りの動きから結合解除される。したがって、ＲＣＣ１２２に対するフローティング・ボディ５２のジンバル様の動きが提供され、この構造の剛性によって、完全には防止することはできないとしても、軸１２４、１２６、１２８、１３０、１３２、１３４、１３６、１３８に対するフローティング・ボディの並進動きが抑制される。

図４、１０を参照すると、本発明の代替実施形態によれば、デバイス１８は、デバイス１８と共に示されている能動コンプライアンス機能を備えることができる。そのために、複数のレバー・アーム１４０、１４２、１４６、１４８がフローティング・ボディ５２に結合されている。これらのレバー・アームは、サポート・ボディ５０に向かって延び、アクチュエータのピストンの近傍で終端している。図に示すように、レバー・アーム１４０の一方の端部は、アクチュエータ１５０のピストンの近傍に配置され、レバー・アーム１４２の一方の端部は、アクチュエータ１５２のピストンの近傍に配置され、レバー・アーム１４６の一方の端部は、アクチュエータ１５４のピストンの近傍に配置され、また、アクチュエータ・アーム１４８の一方の端部は、アクチュエータ・アーム１１８に結合されたアクチュエータ１５６のピストンの近傍に配置されている。アクチュエータ１５０、１５２、１５４、１５６の適切なセットを起動することにより、サポート・ボディ５０に対するフローティング・ボディ５２の相対位置の角位置決めを達成することができる。アクチュエータ１５０、１５２、１５４、１５６の例示的実施形態は、Ｃａｌｉｆｏｒｎｉａ州Ｓｙｌｍａｒ在所のＢＥＩ ＴｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓからＬＡ１０−１２−０２７Ａの商品名で入手することができる。

アクチュエータ１５０、１５２、１５４、１５６を起動することにより、サポート・ボディ５０に対するフローティング・ボディ５２の回転動きを提供することができる。たとえば、アクチュエータ１５０を起動することにより、レバー・アーム１４０をＦ₁の方向に沿って移動させることができ、また、アクチュエータ１５４を操作することにより、レバー・アーム１４６をレバー・アーム１４０が移動する方向とは逆の方向に移動させることができる。同様に、アクチュエータ１５２、１５６のうちの少なくともいずれか一方を起動することにより、それぞれレバー・アーム１４２、１４８を移動させることができる。アクチュエータ１５２、１５６の両方を起動すると、レバー・アーム１４０、１４２、１４６、１４８の各々が、たわみアーム５４、５６、５８、６０のうちの１つに向かって移動する（レバー・アーム１４０、１４２、１４６、１４８は、それぞれ異なるたわみアーム５４、５６、５８、６０に向かって移動する）。たとえば、レバー・アーム１４０はたわみアーム５４に向かって移動し、レバー・アーム１４２はたわみアーム５６に向かって移動し、レバー・アーム１４６はたわみアーム５８に向かって移動し、レバー・アーム１４２はたわみアーム６０に向かって移動する。この移動により、Ｆ₃の方向の周りの回転動きが付与される。しかしながら、レバー・アーム１４０、１４２、１４６、１４８は、それぞれ逆の方向に移動させることも可能であることを理解されたい。Ｆ₃の方向の周りの回転動きを付与している間、Ｆ₃の方向に沿った、サポート・ボディ５０とフローティング・ボディ５２の間の並進変位を防止することが望ましい場合、レバー・アーム１４０、１４２、１４６、１４８をそれぞれ同じ大きさで移動させることができる。しかしながら、Ｆ₁方向とＦ₂方向の周りのフローティング・ボディ５２の回転動きを付与することが望ましい場合、様々な方法で達成することができる。

フローティング・ボディ５２の回転動きは、第１と第２のＲＣＣによって案内されるため、Ｆ₃方向に沿った並進によって、サポート・ボディに対するフローティング・ボディ５２の独立した２つの角度構成を能動的に調整することができる。たとえば、レバー・アーム１４０、１４２、１４６、１４８の各々をそれぞれアクチュエータ１５０、１５２、１５４、１５６を使用して移動させることにより、Ｆ₃方向の周りに角変位させている間、Ｆ₃方向に沿ったフローティング・ボディ５２の並進に異なる量を与えることができる。また、レバー・アーム１４０、１４２、１４６、１４８のうちの３つだけを移動させることにより、Ｆ₃方向の周りに角変位させている間、Ｆ₃方向の周りの並進動きを与えることができる。サポート・ボディ５０とフローティング・ボディ５２の間に、それらの間に回転動きを付与することなく並進動きを提供することが望ましい場合、アクチュエータ１５０、１５２、１５４、１５６のうちの２つを起動して、レバー・アーム１４０、１４２、１４６、１４８のうちの２つを移動させることができる。一例として、対向する２つのレバー・アーム、たとえば１４０と１４６または１４２と１４８を同じ方向に、同じ大きさで移動させることができる。レバー・アーム１４０、１４６をそれぞれ１つの方向、たとえばたわみアーム６０、５８に向かって移動させることにより、フローティング・ボディ５２の面全体がたわみアーム５８、６０の間を延び、それによりフローティング・ボディ５２の面と重畳しているサポート・ボディ５０の面からの距離が長くなり、事実上、フローティング・ボディ１６のＦ₂方向の周りの回転動きが生成される。たわみアーム５６、５４の間を延びているフローティング・ボディ５２の面と、フローティング・ボディ５２の面と重畳しているサポート・ボディ５０の面との間の距離は短くなる。一方、レバー・アーム１４０、１４６を逆方向、たとえばたわみアーム５４、５６に向かって移動させることにより、フローティング・ボディ５２の面全体がたわみアーム５８と６０の間を延び、それによりサポート・ボディ５０の面からの距離が短くなる。たわみアーム５８と６０の間を延びているフローティング・ボディ５２の面と、フローティング・ボディ５２の面と重畳しているサポート・ボディ５０の面との間の距離は長くなる。同様に、フローティング・ボディ５２のＦ₁方向の周りの回転動きは、レバー・アーム１４０、１４６の移動に関連して上で説明したように、レバー・アーム１４２、１４８をそれぞれアクチュエータ１５２、１５６を使用して移動させることによって達成することができる。所望の動きを達成するために、上記レバー・アームの移動を任意に線形結合することができることを理解されたい。

以上の説明から、フローティング・ボディ５２のＦ₁、Ｆ₂、Ｆ₃方向の周りの回転動きは、互いに直交していることが分かる。アクチュエータ１５０、１５２、１５４、１５６の個々の駆動力の大きさまたはアクチュエータの位置を調整することにより、たわみアーム５４、５６、５８、６０とフローティング・ボディ５２とサポート・ボディ５０の構造的な剛直性によって、Ｆ₁、Ｆ₂、Ｆ₃方向の周りのあらゆる結合すなわち回転動きが制限される。

図１、１１、１２を参照すると、オリエンテーション・ステージ１０は、その動作の点で、通常、インプリント・リソグラフィ・システム（図示せず）と共に使用される。例示的なリソグラフィ・システムは、Ｔｅｘａｓ７８７５８、Ａｕｓｔｉｎ、Ｓｕｉｔｅ１００、Ｂｒａｋｅｒ Ｌａｎｅ１８０７−Ｃに事業所を構えているＭｏｌｅｃｕｌａｒ Ｉｍｐｒｉｎｔｓ社から、ＩＭＰＲＩＯ（商標）２５０の商品名で入手することができる。ＩＭＰＲＩＯ １００（商標）のシステムの説明については、参照により本明細書に組み込まれているｗｗｗ．ｍｏｌｅｃｕｌａｒｉｍｐｒｉｎｔｓ．ｃｏｍを参照されたい。したがって、オリエンテーション・ステージ１０を使用することにより、テンプレート２２と、テンプレート２２に重畳している面、たとえば基板１５８の面を容易に整列させることができる。したがって基板１５８の面は、基板１５８が形成される材料、たとえば天然酸化物が存在しているケイ素からなっていても、あるいはたとえば導電材料、誘電材料などのパターン化層または非パターン化層からなっていてもよい。

図に示すテンプレート２２と基板１５８は、一定の距離で間隔を隔てており、それらの間にギャップ１６０を形成している。ギャップ１６０と結合している体積は、基板と対向しているテンプレート２２の面や、テンプレート２２と対向している基板１５８の面のトポグラフィ、さらに基板１５８の中立軸Ｂに対する基板の中立軸Ａの角度関係を始めとする多くの要因によって決まる。また、上記両方の面のトポグラフィがパターン化される場合、ギャップ１６０と結合している体積は、さらに、テンプレート２２と基板１５８の間の軸Ｚの周りの角度関係によって決まる。インプリント・リソグラフィ技法を使用した望ましいパターニングが、適切な体積をギャップ１６０に提供することに大きく依存していることを考慮すると、テンプレート２２と基板１５８を正確に整列させることが望ましい。そのために、テンプレート２２は、テンプレート・アラインメント・マークを備えており（図に示す１６２は、そのうちの１つである）、基板１５８は、基板アラインメント・マークを備えている（図に示す１６４は、そのうちの１つである）。

この例では、テンプレート・アラインメント・マーク１６２と基板アラインメント・マーク１６４が重畳すると、テンプレート２２と基板１５８の間の所望の整列が得られることが仮定されている。図に示すように、２つのマークが距離Ｏだけオフセットしている場合、テンプレート２２と基板１５８の間の所望の整列は得られない。また、オフセットＯは、１つの方向の線形オフセットとして示されているが、オフセットは、Ｏ₁、Ｏ₂で示す２つの方向に沿って直線的に存在することを理解されたい。また、テンプレート２２と基板１５８の間のオフセットは、１つまたは２つの方向の上記線形オフセット以外に、あるいは上記線形オフセットの代わりに、図１３に角度θで示す角度オフセットからなっている場合もある。

図２、１０、１４を参照すると、１つまたは複数の軸Ｔ₁、Ｔ₂、Ｔ₃、Ｆ₁、Ｆ₂、Ｆ₃の周りの回転動きを組み合せることによって、テンプレート２２と基板１５８の間の所望の整列が得られる。詳細には、線形オフセットを小さくするために、コンプライアント・デバイス１８、テンプレート・チャック２０、テンプレート２２の１つまたは複数の軸Ｔ₁、Ｔ₂、Ｔ₃の周りの動きが、１つのユニットの動きとして試行される。通常、この試行によって、中立軸ＡとＢの間に斜角Φが生成される。次に、角度Φを補償するために軸Ｆ₁、Ｆ₂のうちのいずれか一方または両方の周りのテンプレート２２の角度的な動きが試行され、それにより中立軸Ａが中立軸Ｂに平行に延びることが保証される。さらに、軸Ｔ₁、Ｔ₂、Ｔ₃、Ｆ₁、Ｆ₂の周りの角度的な動きを組み合せることにより、中立軸Ｂに平行に延び、かつ、完全には直角ではないにしても、軸Ｚ₁、Ｚ₂、Ｚ₃に対して横方向に延びている平面内におけるテンプレート２２の動きを実現するためのテンプレート２２の揺動動きが得られる。この方法によれば、図１５に示すように、中立軸Ｂに平行に延びている平面に位置している直線軸に沿って、テンプレート２２を基板１５８に対して適切に整列させることができる。完全には除去することはできないとしても、角度オフセットを小さくすることが望ましい場合、所望の整列を提供するために、アクチュエータ１５０、１５２、１５４、１５６を使用して軸Ｆ３の周りにテンプレート２２を回転させることができる。

所望の整列が得られると、アクチュエータ４０、４２、４４が起動され、テンプレート２２が移動して基板の近傍の面に接触する。この例では、面は、基板１５８の上に配置された重合可能なインプリント可能材料１６６からなっている。アクチュエータ４０、４２、４４は、所望の整列が一度得られると、中立軸ＡとＢの間に形成される角度の変化を最小化するように動作することに留意されたい。しかしながら、たわみ継手６２、６４、６６、６８およびたわみアーム５４、５６、５８、６０によって決まる角度の平行からの逸脱が、コンプライアント・デバイス１８のコンプライアンス許容誤差範囲内である限り、中立軸ＡとＢは、必ずしも互いに正確に平行に延びている必要はないことを知っておかれたい。この方法によれば、重合可能材料中へのパターン形成の解像度を最小化するために、可能な限り平行になるように中立軸ＡとＢを配向することができる。したがって、第１と第２のＲＣＣが位置している位置１２２は、テンプレート２２と材料の界面に配置されることが望ましい。

図１、１６、１７を参照すると、上で説明したように、上記システム１０は、インプリント・リソグラフィ技法を使用した、基板１５８などの基板のパターニングに有用である。そのために、テンプレート２２は、通常、型１７２を形成しているパターンがその面に記録されたメサ１７０を備えている。参照により本明細書に組み込まれている米国特許第６，６９６，２２０号に、例示的なテンプレート２２が示されている。型１７２のパターンは、図に示すように、間隔を隔てた複数の凹所１７４と突起１７６によって形成された複数のフィーチャの滑らかな面からなっていてもよい。突起１７６は幅Ｗ₁ を有しており、凹所１７４は幅Ｗ₂ を有している。これらの複数のフィーチャは、基板１５８に転写されるパターンの基礎を形成する原始パターンを形成している。

図１６、１７を参照すると、材料１６６に記録されるパターンは、部分的には材料１６６と型１７２および図に示すように転写層１７８などの既存の層を備えることができる基板１５８との機械的な接触によって生成される。転写層１７８の例示的な実施形態は、Ｍｉｓｓｏｕｒｉ州Ｒｏｌｌａ在所のＢｒｅｗｅｒ Ｓｃｉｅｎｃｅ社から、ＤＵＶ３０Ｊ−６の商品名で入手することができる。材料１６６、転写層１７８は、ドロップ・ディスペンス技法および回転塗布技法を始めとする知られている任意の技法を使用して付着させることができることを理解されたい。

材料１６６の、突起１７６と重畳している部分１８０は、材料１６６と接触する際に、ｔ₁ の厚さを維持していることが望ましく、また、サブ部分１８２は、ｔ₂ の厚さを維持していることが望ましい。厚さｔ₁ は残留厚さと呼ばれている。厚さ「ｔ₁ 」と「ｔ₂ 」は、アプリケーションに応じて所望の任意の厚さにすることができる。厚さｔ₁ とｔ₂ は、１０ｎｍから１０μｍの範囲の値を持たせることができる。材料１６６を含有している総体積は、基板１５８の、型１７２と重畳していない領域を超えて延びる材料１６６の量を最小化するか、あるいは回避することができ、かつ、所望の厚さｔ₁ 、ｔ₂ を得ることができる体積にすることができる。そのために、メサ１７０は、凹所１７４の深さｈ_r より実質的に高い高さｈ_m を備えている。この方法によれば、ｔ₁ とｔ₂ が所望の厚さに到達した場合に、基板１５８と型１７２との材料１６６の毛管力によって、基板１５８の、型１７２と重畳していない領域を超えて延びる材料１６６の移動が制限される。

システム１０によって提供される利点は、厚さｔ₁とｔ₂の正確な制御が容易になることである。詳細には、厚さｔ₁には、それぞれ実質的に同じ厚さを持たせ、また、厚さｔ₂にも、それぞれ実質的に同じ厚さを持たせることが望ましい。図１６に示すように、厚さｔ₁は一様ではなく、また、厚さｔ₂も一様ではない。これは、基板１５８に対する型１７２の望ましくない配向である。本発明によるシステム１０を使用することにより、図１７に示すように、一様な厚さｔ₁とｔ₂を得ることができる。したがって、極めて望ましいことに、厚さｔ₁とｔ₂を正確に制御することができる。本発明によれば、システム１０によって、たとえば約５０ｎｍ以下の最小フィーチャ・サイズを有する３シグマの整列精度が提供される。

本発明の実施形態についての以上の説明は、例示的なものにすぎない。したがって、上で説明した開示には、本発明の範囲を維持しつつ多くの変更や修正を加えることができる。したがって本発明の範囲は、上記の説明には一切制限されず、特許請求の範囲およびそれらの等価物のすべての範囲を参照して決定されるものとする。

本発明によるテンプレート・チャックとテンプレートを示すオリエンテーション・ステージの分解斜視図である。 図１に示すオリエンテーション・ステージの斜視図である。 本発明の第１の実施形態によるテンプレート・ホルダとテンプレートと共に図１に示すオリエンテーション・ステージに含まれている受動コンプライアント・デバイスの分解斜視図である。 図３に示す受動コンプライアント・デバイスの詳細斜視図である。 中に含まれているたわみ継手を詳細に示す、図４に示す受動コンプライアント・デバイスの側面図である。 図４に示す受動コンプライアント・デバイスの側面図である。 図６に示す、９０度回転した受動コンプライアント・デバイスの側面図である。 図６に示す、１８０度回転した受動コンプライアント・デバイスの側面図である。 図６に示す、２７０度回転した受動コンプライアント・デバイスの側面図である。 本発明の代替実施形態によるコンプライアント・デバイスの斜視図である。 １つの方向に沿った不整列を示す、図１に示す、基板と重畳したテンプレートの簡易正面図である。 ２つの横方向に沿った不整列を示す、図１１に示すテンプレートと基板の上から見た図である。 角不整列を示す、図１１に示すテンプレートと基板の上から見た図である。 角不整列を示す、図１に示す、基板と重畳したテンプレートの簡易正面図である。 図１１、１２、１３、１４に示すテンプレートと基板の間の所望の整列を示す簡易正面図である。 図１、３、１１、１２、１３、１４、１５に示す、基板と重畳したテンプレートの一実施形態の詳細図である。 基板に対する所望の空間配置を示す、図１６に示すテンプレートの詳細図である。

Claims (15)

1. インプリント・リソグラフィにおける使用のためのテンプレートの動きを制御するシステムであって：
   前記テンプレート（２２）と結合されたオリエンテーション・ステージ（１０）であって：
   内側フレーム（１２）、
   外側フレーム（１４）、
   コンプライアント・デバイス（１８）を含み、前記内側フレームが前記外側フレームと前記コンプライアント・デバイスの間に結合されるオリエンテーション・ステージ、および
   前記コンプライアント・デバイス（１８）と結合され、かつテンプレート（２２）を支持するべく構成されたテンプレート・チャック（２０）を包含し、
   前記オリエンテーション・ステージが、さらに前記外側フレームと内側フレームの間において、動きの軸（Ｚ１，Ｚ２，Ｚ３）に沿って内側フレームと外側のフレームの間の距離を変更し、外側フレームに関して内側フレームを傾斜させて、内側フレーム（１２）に複数の傾斜軸（Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３）のうちの１つまたは複数の軸周りの角度的な動きをコンプライアント・デバイス（１８）へ付与させるように接続された複数のアクチュエータ（４０，４２，４４）を包含すること、および
   前記コンプライアント・デバイス（１８）が、前記傾斜軸（Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３）から間隔が隔てられた複数のコンプライアンス軸（Ｃ１，Ｃ２）のうちの１つまたは複数の軸周りの角度的な動きをテンプレート（２２）へ付与するように、コンプライアント・デバイス（１８）は、サポート・ボディ（５０）と、フローティング・ボディ（５２）と、前記フローティング・ボディを前記サポート・ボディ（５０）に結合する複数のたわみアーム（５４，５６，５８，６０）とを含み、
   前記たわみアーム（５４，５６，５８，６０）のそれぞれは、両端の端部（７４，７６）と、第１および第２のセットのたわみ継手（６２，６４，６６，６８）とを含み；それにおいて各たわみアーム（５４，５６，５８，６０）の端部（７４）は、２つのたわみ継手（６６，６８）を通じてサポート・ボディ（５０）と接続され、かつ各たわみアーム（５４，５６，５８，６０）の反対側の端部（７６）は、第１のグループ（１０４，１０６，１０８，１１０）が残りのグループ（１１２，１１４，１１６，１１８）に対して横方向に延びるオーバーラップしている２つの軸グループ周りの相対的な回転動きをサポート・ボディ（５０）とフローティング・ボディ（５２）の間に与えるように、２つのたわみ継手（６２，６４）を通じてフローティング・ボディ（５２）と接続されていることを特徴とするシステム。
2. 前記アクチュエータ（４０，４２，４４）は、前記内側フレーム（１２）と前記外側のフレーム（１４）の間に結合され、前記内側フレームの周囲の近傍に位置する２またはそれを超える数の並進軸（Ｚ１，Ｚ２，Ｚ３）に沿った並進動きを変更して前記複数の傾斜軸（Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３）のうちの１つの軸周りの前記角度的な動きを付与する請求項１に記載のシステム。
3. 前記内側フレーム（１２）は通路（２４）を有し、前記外側フレーム（１４）は開口（２６）を有し、前記複数のアクチュエータ（４０，４２，４４）が前記内側フレームと前記外側フレームの間に結合されて、前記開口（２６）が前記通路（２４）と重畳し、前記複数のアクチュエータが前記通路の外側に配置される請求項１に記載のシステム。
4. 前記アクチュエータ（４０，４２，４４）は、前記内側フレーム（１２）と前記外側のフレーム（１４）の間に結合されて、前記内側フレーム（１２）の周囲の近傍に位置する２またはそれを超える数の並進軸（Ｚ１，Ｚ２，Ｚ３）に沿った並進動きを変更して前記傾斜軸（Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３）のうちの１つの軸周りの前記角度的な動きを付与し、前記コンプライアント・デバイス（１８）が、前記コンプライアンス軸（Ｃ１，Ｃ２）のうちの１つの軸周りの前記角度的な動きを提供し、それにおいて前記コンプライアンス軸のうちの前記１つの軸周りの前記角度的な動きは、前記傾斜軸のうちの前記１つの軸の前記角度的な動きとは独立である請求項１に記載のシステム。
5. 前記複数のアクチュエータ（４０，４２，４４）は、オリエンテーション・ステージ（１０）の周りに間隔が隔てられるように外側フレーム（１４）と内側フレーム（１２）の間に接続され、前記アクチュエータのそれぞれは、外側フレーム（１４）と対向する第１の端部（４６）および内側フレーム（１２）と対向する第２の端部（４８）を有し、前記アクチュエータ（４０，４２，４４）は、コンプライアント・デバイス（１８）と、したがってテンプレート（２２）ならびにテンプレート・チャック（２０）の両方に、前記複数の傾斜軸（Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３）のうちの前記１つまたは複数の軸周りの角度的な動きを与える３つの軸（Ｚ１、Ｚ２、Ｚ３）に沿った外側フレームに関する内側フレーム（１２）の並進動きを容易にすることによって外側フレーム（１４）に関して内側フレーム（１２）を傾斜させるために動作可能である請求項１に記載のシステム。
6. 前記アクチュエータ（４０，４２，４４）は、それらに関して対称に配置され、かつ中央通路（２４）および中央開口（２６）の外側に位置するように内側フレーム（１２）と外側フレーム（１４）の間に結合されている請求項３に記載のシステム。
7. 前記コンプライアント・デバイス（１８）は：
   サポート・ボディ（５０）、
   フローティング・ボディ（５２）、および
   前記フローティング・ボディを前記サポート・ボディ（５０）に結合する複数のたわみアーム（５４，５６，５８，６０）を含み、それにおいて前記フローティング・ボディに前記テンプレート・チャック（２０）が取付けられ、テンプレート（２２）がチャックによって保持されている請求項１に記載のシステム。
8. 前記オリエンテーション・ステージ（１０）は、サポート・ボディ（５０）に関する前記フローティング・ボディ（５２）の相対的な角度位置決めを達成ために動作可能なアクチュエータ（１５０，１５２，１５４，１５６）を包含する請求項７に記載のシステム。
9. 前記オリエンテーション・ステージ（１０）は、複数のレバー・アーム（１４０，１４２，１４６，１４８）を包含し、各レバー・アームがフローティング・ボディ（５２）と結合され、かつサポート・ボディ（５０）に向って延び、それに結合される前記各アクチュエータ（１５０，１５２，１５４，１５６）のピストンの近傍で終端している請求項８に記載のシステム。
10. 前記アクチュエータのそれぞれは、それぞれの前記レバー・アームの端部と前記たわみアーム（５４，５６，５８，６０）のそれぞれの１つの間に介挿されている請求項９に記載のシステム。
11. 前記請求項１〜９に記載のシステムのいずれか１つを使用するインプリント・リソグラフィにおいて前記テンプレートと基板（１５８）の間の整列を達成するためにテンプレート（２２）の空間位置を制御する方法であって：
    前記コンプライアント・デバイス（１８）、テンプレート・チャック（２０）およびテンプレート（２２）をユニットとして前記１つまたは複数の傾斜軸（Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３）のうちの第１の軸に関する第１の角度的な動きをそれに付与して、前記基板（１５８）の中立軸（Ｂ）と前記テンプレート（２２）の中立軸（Ａ）の間に傾斜角を作り出すステップ；および
    前記１つまたは複数のコンプライアンス軸（Ｃ１，Ｃ２）のうちの第２の軸に関する前記テンプレート（２２）の第２の角度的な動きを生成して、前記第１の角度を補償し、前記テンプレート中立軸（Ａ）が前記基板中立軸（Ｂ）と平行に延びることを保証するステップを包含し、そこにおいて前記第１および第２の角度的な動きの組合せが、前記基板中立軸（Ｂ）と平行に延びかつ動きの軸（Ｚ１，Ｚ２，Ｚ３）に対して横行する動き平面に沿った前記基板の相対的な並進動きを結果としてもたらす方法。
12. 前記第１および第２の軸は、互いに間隔が隔てられ、かつ互いに平行に延びる請求項１１に記載の方法。
13. 前記第１および第２の軸は、互いに間隔が隔てられ、かつ互いに交叉して延びる請求項１１に記載の方法。
14. 付与するステップは、さらに前記アクチュエータ（４０，４２，４４）を用いて、前記内側フレームの周囲の近傍に位置する２またはそれを超える数の複数の並進軸（Ｚ１，Ｚ２，Ｚ３）に沿った前記並進動きを変更して、前記内側フレーム（１２）を傾斜させ、かつ前記第１の角度的な動きを付与するステップを含む請求項１１に記載の方法。
15. 前記生成するステップは、さらに前記コンプライアント・デバイス（１８）上に作用して前記複数のコンプライアンス軸（Ｃ１，Ｃ２）のうちの１つまたは複数の軸周りの前記テンプレートの傾斜を容易にし、前記第２の角度的な動きを付与するステップを含む請求項１１または１４に記載の方法。

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