KR20080015544A

KR20080015544A - 기판 합착장치

Info

Publication number: KR20080015544A
Application number: KR1020060076987A
Authority: KR
Inventors: 최봉환
Original assignee: 주식회사 에이디피엔지니어링
Priority date: 2006-08-16
Filing date: 2006-08-16
Publication date: 2008-02-20

Abstract

본 발명은 기판 합착장치에 관한 것으로, 제1 기판이 부착되는 제1 척이 결합되는 상부 챔버와, 상기 제1 기판과 합착되는 제2 기판이 안착되는 제2 척이 결합되는 하부 챔버와, 상기 상부 챔버의 상측에 구비되는 분리 구동부와, 상기 분리 구동부로부터 동력을 전달받아 상기 제1 척을 관통하여 상기 제1 척으로부터 제1 기판을 분리시키는 분리 부재 및 상기 분리 구동부로부터 제공된 동력을 상기 제1 기판의 전체 면적에 대응되도록 분산 시켜 상기 분리 부재를 가압하는 동력 전달부를 구비함으로써, 척으로부터 균일하게 기판을 분리하여 두 기판 간 정렬 상태를 유지하며 기판을 낙하시켜, 두 기판의 손상 없이 안정적인 합착 공정을 진행시킬 수 있는 효과가 있다.

Description

기판 합착장치{Apparatus for assembling substrates}

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 합착장치를 간략하게 나타낸 단면도이다.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 합착장치의 일부를 나타낸 사시도이다.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 합착장치의 일부를 나타낸 사시도이다.

도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 합착장치의 일부를 나타낸 사시도이다.

도 5a 내지 도 5b는 본 발명의 실시예에 따른 기판 합착장치의 작동상태를 나타낸 간략하게 나타낸 작동도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

100: 상부 챔버

161: 분리 구동부

163: 동력 전달부

165: 분리 부재

200: 하부 챔버

본 발명은 기판 분리유닛을 가진 기판 합착장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판 분리유닛이 구비된 챔버를 구비하는 기판 합착장치에 관한 것이다.

기판 합착장치는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display ; LCD)에 사용되는 액정 표시 패널을 합착하기 위한 것이다. 액정 표시 패널의 대표적인 예로써 TFT-LCD 패널이 있다. TFT-LCD 패널은 복수의 TFT(Thin Film Transistor)가 매트릭스형으로 형성된 TFT 기판과, 컬러 필터나 차광막 등이 형성된 컬러 필터 기판이 수 ㎛ 정도의 간격을 가지고 서로 대향하여 합착되고, 합착 전, 합착 중 또는 합착 후에 액정이 주입되어 패널의 제조가 이루어진다.

이와 같은 패널의 합착을 수행하는 종래의 기판 합착 장치는 두 기판의 합착이 진행되는 내부공간이 형성된 챔버를 구비한다. 챔버 내부에는 챔버 내부로 반입되는 두 기판을 부착하는 한 쌍의 척(chuck)이 구비된다. 일반적으로 척(chuck)은 정전력에 의해 기판을 부착하는 정전척(ECS; Electro Static Chuck)이 사용된다.

이러한 정전척은 챔버의 상부와 하부에 각각 구비되어 챔버 내부로 반입되는 두 기판을 부착하여 챔버 내부의 상부와 하부에 각각 위치시킨다.

챔버는 상부의 기판을 하부의 기판과 정렬시키며 하강시켜 하부의 기판에 근접 시키게 된다. 두 기판이 근접하면 상부의 정전척에 전류를 차단하여 상부의 기판을 자유 낙하시켜 기판 합착 공정을 진행시키게 된다.

그러나 정전척에 전류를 차단하더라도 잔류 정전력이 존재하여 기판의 분리가 균일하게 진행되지 않는다. 이는 기판이 일측으로 기울어진 상태로 낙하하여 두 기판 간 접촉이 이루어져 기판에 손상을 일으킬 수 있는 문제점을 가지고 있다.

또한, 두 기판 간 정렬상태가 틀어져 두 기판을 재정렬 시켜야하는 번거로움이 발생되는 문제점을 가지고 있다.

특히, 이러한 문제점은 기판의 대면적화에 따라 더욱 심해질 수 있다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 기판이 부착된 척으로부터 기판을 분리하는 분리 부재를 구비하여, 척으로부터 기판을 균일하게 분리시키도록 한 기판 합착장치를 제공하기 위한 것이다.

전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 합착장치는 제1 기판이 부착되는 제1 척이 결합되는 상부 챔버와, 상기 제1 기판과 합착되는 제2 기판이 안착되는 제2 척이 결합되는 하부 챔버와, 상기 상부 챔버의 상측에 구비되는 분리 구동부와, 상기 분리 구동부로부터 동력을 전달받아 상기 제1 척을 관통하여 상기 제1 척으로부터 제1 기판을 분리시키는 분리 부재 및 상기 분리 구동부로부터 제공된 동력을 상기 제1 기판의 전체 면적에 대응되도록 분산 시켜 상기 분리 부재를 가압하는 동력 전달부를 구비한다.

그리고 상기 상부 챔버의 내부에는 상기 동력 전달부가 상하 승강되도록 상기 상부 챔버와 이격되어 상기 제1 척을 고정하는 척 플레이트가 결합될 수 있다.

그리고 상기 동력 전달부는 상기 상부 챔버를 관통하며, 상기 분리 구동부와 연결되어 승강되는 구동 축과, 상기 구동 축이 승강됨에 따라 상기 상부 챔버와 상기 척 플레이트의 사이에서 승강되는 구동 플레이트를 구비할 수 있다.

그리고 상기 상부 챔버는 상기 구동 플레이트와 상기 제1 척 플레이트의 사이에 탄성부재를 구비할 수 있다.

그리고 상기 분리 부재는 상기 제1 기판의 전체 면적에 대응되어 분포되는 다수개의 분리 핀 일 수 있다.

또한, 제1 기판이 부착되는 제1 척이 결합되는 상부 챔버와, 상기 제1 기판과 합착되는 제2 기판이 안착되는 제2 척이 결합되는 하부 챔버와, 상기 상부 챔버의 상측에 구비되는 분리 구동부와, 상기 분리 구동부로부터 제공된 동력을 상기 제1 기판의 전체 면적에 대응되도록 분산 시키는 동력 전달부 및 상기 동력 전달부와 결합되며, 상기 제1 기판 가압면에 대응되어 일측으로 가로지르는 제1 바와, 상기 제1 바와 교차되어 타측으로 가로지르는 제2 바를 갖는 분리 부재를 구비한다.

그리고, 상기 상부 챔버의 내부에는 상기 동력 전달부가 상하 승강되도록 상기 상부 챔버와 이격되어 상기 제1 척을 고정하는 척 플레이트가 결합될 수 있다.

그리고, 상기 동력 전달부는 상기 상부 챔버를 관통하며, 상기 분리 구동부와 연결되어 승강되는 구동 축과, 상기 구동 축이 승강됨에 따라 상기 상부 챔버와 상기 척 플레이트의 사이에서 승강되는 구동 플레이트와, 상기 제1 척과 상기 척 플레이트를 관통하여 상기 구동 플레이트와 상기 분리 부재를 연결하는 구동 핀을 구비할 수 있다.

그리고, 상기 상부 챔버는 상기 구동 플레이트와 상기 제1 척 플레이트의 사이에 탄성부재를 구비할 수 있다.

그리고, 상기 분리 부재는 상기 제1 바의 양 끝단과 상기 제2 바의 양 끝단을 각각 연결하는 보조바를 더 구비할 수 있다.

이하에서는 도시된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판 합착장치에 대해 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 합착장치를 개략적으로 나타낸 단면도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 합착장치의 일부를 나타낸 사시도이다.

도 1 내지 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 기판 합착장치는 합착이 진행되는 내부공간을 제공하는 챔버(500)가 구비된다. 챔버(500)의 외부에는 기판 이송장치(미도시)가 구비되어, 챔버(500) 내부로 제1 기판(P1)과 제2 기판(P2)이 반입된다. 이러한 제1 기판(P1) 및 제2 기판(P2)은 TFT 기판 또는 칼라필터 기판일 수 있다.

챔버(500)는 제1 기판(P1)을 부착하는 제1 척(110)이 결합되는 상부 챔버(100)와, 제2 기판(P2)이 안착되도록 제2 척(210)이 구비되는 하부 챔버(200)로 구분된다.

상부 챔버(100)의 내부에는 챔버(500) 내부로 반입되는 제1 기판(P1)을 부착하기 위한 제1 척(110)이 구비된다. 제1 척(110)은 제1 척(110)을 고정하기 위한 제1 척 플레이트(120)에 부착되어, 상부 챔버(100) 내부에 결합되는 상정반(130)에 결합된다.

상정반(130)의 테두리 주변부에는 상정반(130)의 평편도 조정을 위한 리니어 엑츄에이터(미도시)가 설치될 수 있다. 이러한 리니어 엑츄에이터는 제1 기판(P1)과 제2 기판(P2)의 간격이 균일하게 제1 기판(P1)이 하강하도록 상정반(130)의 평편도를 조정한다.

하부 챔버(200)의 내부에는 챔버(500) 내부로 반입되는 제2 기판(P2)을 부착하기 위한 제2 척(210)이 구비된다. 제2 척(210)은 제2 척(210)을 고정하기 위한 제2 척 플레이트(220)에 부착되어, 하부 챔버(200) 내부에 결합되는 하정반(230)에 결합된다.

하정반(230)의 테두리 주변부에는 얼라이너(aligner;미도시)가 설치될 수 있다. 이러한 얼라이너는 후술할 카메라(150)와 조명장치(250)를 이용한 두 기판(P1,P2)의 정렬에 따라 제2 기판(P2)이 안착된 하정반(230)을 전후, 좌우로 조절함으로써 두 기판(P1,P2)을 정렬하게 된다.

여기서 제1 척(110)과 제2 척(210)은 정전력을 이용하여 기판을 부착하는 정 전척(ECS; Electro Static Chuck)이 채용될 수 있다. 이러한 정전척은 소정 두께를 가지는 절연체 내에 (+), (-)전극을 배치하고, 이 전극에 전원을 인가하면, 기판 표면은 유전체 분극 현상으로 인해 인위적인 극성을 띄게 되어 정전력이 발생되는 것을 이용한 것이다.

한편, 상부 챔버(100)의 상측에는 챔버(500) 내부로 반입되는 제1 기판(P1)을 수취하기 위하여 마련되는 상부 리프트 구동부(140)와, 상부 챔버(100)와 제1 척(110)을 관통하여 상하 승강 되는 상부 리프트 핀(141)이 구비된다.

또한, 하부 챔버(200)의 하측에는 챔버(500) 내부로 반입되는 제2 기판(P2)을 제2 척(210)으로 안내하기 위한 하부 리프트 구동부(240)와, 하부 챔버(200)와 제2 척(210)을 관통하여 상하 승강되는 하부 리프트 핀(241)이 구비된다.

그리고 하부 리프트 구동부(240)와 하부 리프트 핀(241)은 합착 공정이 완료되면 합착된 두 기판(P1,P2)을 배출하기 위해, 두 기판(P1,P2)을 제2 척(210)으로부터 상승시키게 된다.

그리고, 상부 챔버(100)의 상측에는 두 기판(P1,P2)의 정렬을 위한 다수개의 카메라(150)와, 상부 챔버(100)와 제1 척(110)을 상하로 관통하는 촬영홀(151)이 구비된다.

또한, 하부 챔버(200)의 하측에는 상부 챔버(100)의 카메라(150)와 대항하여, 카메라 촬영에 조명을 제공하기 위한 조명장치(250)와, 하부 챔버(200)와 제2 척을 관통되는 조명홀(251)이 구비된다.

이러한 촬영홀(151)과 조명홀(251)은 서로 연통하여 두 기판(P1,P2)에 형성 된 얼라인 마크를 카메라(150)가 촬영하여 두 기판(P1,P2)을 정렬할 수 있도록 한다.

그리고 상부 챔버(100)는 하부 챔버(200)에 설치된 승강 스크류(410)와 승강 구동부(430)에 의해 지지되어 상하 승강 가능하게 설치된다. 승강 스크류(410)와 승강 구동부(430)는 기판 합착을 위한 구동부(400)를 구성한다.

또한, 도면에는 도시되지 않았지만, 상부 챔버(100)와 하부 챔버(200)에는 상부 챔버(100)와 하부 챔버(200)에 의해 형성되는 합착 공정이 수행되는 공간을 진공상태로 형성하는 배기펌프(미도시)와, 합착 공간에 공정가스인 질소(N₂)가스를 공급하기 위한 공급펌프(미도시)가 각각 구비된다.

한편, 상부 챔버(100)의 상측에는 분리 구동부(161)가 구비된다. 분리 구동부(161)는 제1 척(110)에 부착된 제1 기판(P1)을 분리하기 위한 동력을 제공한다.

그리고 상부 챔버(100) 내부에는 제1 척(110)을 관통하여 승강 가능한 분리 부재(165)가 구비된다. 분리 부재(165)는 제1 척(110)으로부터 제1 기판(P1)을 균일하게 분리시키기 위해, 제1 기판(P1)의 전체 면적에 대응되어 다수개로 분포되어 구비되는 분리 핀일 수 있다.

분리 부재(165)의 일단은 상정반(130)과 제1 척 플레이트(120)의 사이에 구비된 구동 플레이트(163b)의 하측에 결합되고, 구동 플레이트(163b)의 상측에는 분리 구동부(161)의 동력을 전달하는 구동 축(163a)이 구비된다.

구동 축(163a)은 분리 구동부(161)에 연결되어, 구동 플레이트(163b)에 동력 을 전달하며, 구동 플레이트(163b)는 구동 축(163a)으로부터 전달된 동력을 분산시켜, 분리 부재(165)에 동력을 전달한다.

이와 같이 구동 축(163a)과 구동 플레이트(163b)는 분리 구동부(161)의 동력을 분리 부재(165)로 전달하는 동력 전달부(163)를 구성한다.

그리고, 상정반(130)과 제1 척 플레이트(120)의 사이에는 구동 플레이트(163b)가 상하 승강되는 공간을 제공하는 지지바(181)가 구비된다. 지지바(181)는 구동 플레이트(163b)을 관통하며, 일단이 상정반(130)의 하측에 고정되며, 타단은 제1 척 플레이트(120)의 상측에 고정된다.

이러한 지지바(181)는 상술된 리니어 엑츄에이터(미도시)가 제1 기판(P1)과 제2 기판(P2)의 간격이 균일하도록 상정반(130)의 평편도를 조정하게 되면, 제1 척 플레이트(120)의 평편도가 함께 조정될 수 있도록 한다.

또한, 이와 같이 상부 챔버(100) 내부에 지지바(181)를 제1 척 플레이트(120)와 상정반(130) 사이에 고정시켜, 구동 플레이트(163b)가 승강되도록 공간을 제공함으로써, 분리 구동부(161)에서 제공되는 동력을 분리 부재(165)에 제공하기 위해 상부 챔버(100)와 상정반(130)을 가공하지 않아도 된다. 따라서 상부 챔버(100)와 상정반(130)의 내구성을 높일 수 있으며, 분리 부재(165)가 승강되는 관통 홀의 길이 또한 짧아져, 관통 홀과 분리 부재(165) 간 마찰에 의해 생길 수 있는 부하를 줄일 수 있다.

한편, 지지바(181)의 구동 플레이트(163b)와 제1 척 플레이트(120)의 사이의 구간에는 지지바(181)를 감싸는 형상의 탄성 부재(183)가 구비된다. 이런 탄성 부 재(183)로는 링 스프링 또는 벨로우즈(bellows)가 채용될 수 있다.

이러한 탄성 부재(183)는 구동 플레이트(163b)의 하강 시, 구동 플레이트(163b)가 분리 부재(165)를 급격히 하강시켜 제1 기판(P1) 및 제2 기판(P2)이 손상되는 것을 방지하며, 구동 플레이트(163b)가 제1 척 플레이트(120)에 접촉되어 손상되는 것을 방지하는 완충작용을 한다.

또한 탄성 부재(183)는 구동 플레이트(163b)가 제1 척 플레이트(120)의 상측에 접촉되어 발생될 수 있는 마찰을 사전에 제거하며, 탄성에 의해 구동 플레이트가 원활하게 재상승 할 수 있도록 한다.

이하에서는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 합착장치에 대해 설명하기로 한다. 이하에서 설명되는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 합착장치는 상술된 실시예의 기판 합착장치와 유사한 구성을 가진다. 따라서 상술된 기판 합착장치와 동일한 구성요소의 자세한 설명은 생략하기로 하고, 설명이 생략된 구성요소에 대해서는 상술된 설명을 참조하여 이해할 수 있을 것이다.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 합착장치의 일부를 나타낸 사시도이고, 도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 합착장치의 일부를 나타낸 사시도이다.

도 3 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 합착장치는 제1 기판(P1) 가압면에 대응되어 일측으로 가로지르는 제1 바(641) 와, 제1 바(641) 와 교차되어 타측으로 가로지르는 제2 바(643) 를 갖는 분리 부재(640)를 구비한다.

이러한 제1 바(641)와 제2 바(643)는 동력 전달부(630)에 결합된다. 여기서 동력 전달부(630)는 상술한 본 발명의 실시예에 따른 기판 합착장치의 동력 전달부(163)와 다른 구성을 갖는다.

본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 합착장치의 동력 전달부(630)는 상부 챔버(100)를 관통하며, 분리 구동부(610)와 연결되어 승강되는 구동 축(631)과, 구동 축(631)이 승강됨에 따라 상부 챔버(100)와 제1 척 플레이트(120)의 사이에서 승강되는 구동 플레이트(633)와, 제1 척(110)과 제1 척 플레이트(120)를 관통하여 구동 플레이트(633)와 분리 부재(640)를 연결하는 구동 핀(636a)을 구비한다.

구동 핀(636a)은 제1 기판(P1) 가압면에 대응되는 각 모서리와, 제1 기판(P1)의 가압면에 대응되는 중심부에 분포 될 수 있다. 이에 따라 제1 바(641)와 제2 바(643)는 제1 기판 가압면에 대응되는 중심부에서 교차되는 "X" 형상으로 구비되는 분리 부재(640)를 구성한다. (도 3 참조)

또한, 구동 핀(636b)은 제1 기판(P1) 가압면에 대응되는 한 변의 중심부와, 제1 기판(P1) 가압면에 대응되는 한 변과 이웃하는 한 변의 중심부와 서로 대향하는 측에 각각 구비되며, 제1 기판(P1)의 가압면에 대응되는 중심부에 분포될 수 있다. 이에 따라 제1 바(661)와 제2 바(663)는 제1 기판 가압면에 대응되는 중심부에서 교차되는 "+" 형상으로 구비되는 분리 부재(660)를 구성한다. (도 4 참조)

이와 같이 분포되는 구동 핀(636a,636b)을 서로 연결하는 형상의 분리 부재(640,660)는 구동 핀(636a,366b)이 하강 됨에 따라 제1 척(110)으로부터 제1 기 판(P1)을 균일하게 분리하게 된다. 그리고, 제1 척(110)의 하부면에는 분리 부재(640,660)가 삽입될 수 있도록 홈(미도시)이 형성된다.

또한, 분리 부재(640,660)의 제1 바(641,661)의 양 끝단과 상기 제2 바(643,663)의 양 끝단을 각각 연결하는 보조 바(650)를 더 구비할 수 있다.

여기서, 구동 핀(636a,636b)과 구동 핀(636a,636b)에 대응되는 분리 부재(640,660)를 도시된 도면을 참조하여 설명하고 있으나, 구동 핀(636a,636b)의 위치와 구동 핀(636a,636b)에 대응되는 분리 부재(640,660)의 형상은 제1 척(110)으로부터 제1 기판(P1)을 균일하게 분리하는 범위 내에서 다양하게 변형되어 실시되어 채용될 수 있을 것이다.

이와 같이 다수개의 구동 핀(636a,636b)을 서로 연결하는 분리 부재(640,660)를 구비함으로써, 제1 척(110)으로부터 제1 기판(P1)을 균일하게 분리시키기 위한 구동 핀(636a,636b)을 개수를 줄일 수 있다. 이는 장비의 생산비용 절감과 관리의 편의를 도모할 수 있다.

이하에서는 상술된 바와 같은 본 발명의 실시예에 따른 기판 합착장치의 장동에 대하여 도시된 도면을 참조하여 설명하기로 한다.

도 5a 내지 도 5b는 본 발명의 실시예에 따른 기판 합착장치의 작동상태를 간략하게 나타낸 작동도이다.

도 4a 내지 도 4b를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 기판 합착장치는 제1 기판(P1)이 기판 이송장치(미도시)에 의해 챔버(500) 내부로 반입된다. 상부 챔 버(100)의 상측에 구비된 상부 리프트 구동부(140)는 상부 리프트 핀(141)을 하강시켜 제1 기판(P1)을 진공부착하게 된다. 다음으로 상부 리프트 구동부(140)는 상부 리프트 핀(141)을 상승시키며, 제1 척(110)은 제1 기판(P1)을 부착한다.

제1 기판(P1)이 제1 척(110)에 부착되면, 제2 기판(P2)이 챔버(500) 내부로 반입된다. 이 때 하부 리프트 구동부(240)는 하부 리프트 핀(241)을 상승시키며, 제2 기판(P2)은 하부 리프트 핀(241)에 안착된다. 하부 리프트 구동부(240)는 하부 리프트 핀(241)을 하강시켜 하부 리프트 핀(241)에 안착된 제2 기판(P2)을 제2 척(210)으로 안내한다. 제1 척(110)은 하강되는 하부 리프트 핀(241)에 안착된 제2 기판(P2)을 부착한다.

이와 같이 제1 기판(P1)은 상부 챔버(100)의 제1 척(110)에 부착되고 제2 기판(P2)은 하부 챔버(200)의 제2 척(210)에 부착되면, 승강 스크류(410)에 의해 상부 챔버(100)가 하부 챔버(200)측으로 하강된다.

이때 상부 챔버(100)의 상정반(130) 테두리 주변부에 설치된 리이어 액츄에이터(미도시)는 제1 기판(P1)과 제2 기판(P2) 간격이 균일하게 제1 기판(P1)이 하강하도록 상정반(130)의 평편도를 조정한다. 또한, 상부 챔버(100)의 상부에 설치된 카메라(150)와, 하부 챔버(200)의 하부에 설치된 조명장치(250)는 두 기판(P1,P2)의 얼라인 마크를 촬영하며, 하부 챔버(200)에 구비된 얼라이너(미도시)는 두 기판(P1,P2) 간 정렬을 수행하게 된다.

상부 챔버(100)가 하강함에 따라 제1 기판(P1)은 제2 기판(P2)에 근접하고, 챔버(500) 내부는 밀폐되며, 배기펌프(미도시)가 작동되어 챔버(500) 내부는 진공 상태가 형성된다.

이때 제1 척(110)에 제공되는 정전력이 차단된다. 또한, 분리 구동부(161)가 작동되어, 분리 구동부(161)에 연결된 구동 축(163a)은 구동 플레이트(163b)를 하강시키고, 구동 플레이트(163b)가 하강됨에 따라 분리 부재(165)는 제1 척(110)으로부터 제1 기판(P1)을 분리시키게 된다. 제1 기판(P1)의 전체면적에 대응되어 가압하도록 다수개로 분포되는 분리 부재(165)는 제1 척(110)으로부터 제1 기판(P1)을 균일하게 분리시키게 된다.

이와 같이 제1 기판(P1)은 제1 척(110)으로부터 자유 낙하되어 제2 기판(P2)의 상측에 안착된다.

다음으로 공급펌프(미도시)가 작동되어 상부 챔버(100)의 상측으로부터 두 기판(P1,P2)에 질소(N₂)가스가 주사된다. 질소(N₂)가스가 주사됨에 따라, 제1 기판(P1)이 제2 기판(P2)에 가압되어 두 기판(P1,P2)이 합착된다.

이와 같이 두 기판(P1,P2)이 합착되면, 승강 구동부(430)는 다시 상부 챔버(100)를 상승시킨다. 이때, 배기범프(미도시)는 질소(N₂)가스를 챔버 외부로 배출하게 되며, 챔버(500) 내부는 대기압이 형성된다.

챔버(500) 내 대기압이 형성되면 하부 리프트 구동부(240)는 다시 하부 리프트 핀(241)을 상승시키고, 기판 이송장치(미도시)가 합착된 두 기판(P1,P2)을 외부로 배출하게 된다.

이상에서 살펴본 바와 같은 본 발명의 실시예에 따른 기판 합착장치는 당업자에의해 구성요소의 일부 또는 방법의 일부를 변형하여 다르게 실시 할 수 있을 것이다. 그러나, 변형된 다른 실시예가 본 발명의 기판 합착장치의 필수 구성요소를 포함하는 것이라면 모두 본 발명의 기술적 범주에 포함된다고 보아야 한다.

이상과 같은 본 발명에 따른 기판 합착장치는 척으로부터 기판을 균일하게 분리시키는 기판 분리유닛을 가진 기판 합착장치를 제공함으로써, 척으로부터 균일하게 기판을 분리하여 두 기판 간 정렬 상태를 유지하며 기판을 낙하시켜, 두 기판의 손상 없이 안정적인 합착 공정을 진행시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims

제1 기판이 부착되는 제1 척이 결합되는 상부 챔버;

상기 제1 기판과 합착되는 제2 기판이 안착되는 제2 척이 결합되는 하부 챔버;

상기 상부 챔버의 상측에 구비되는 분리 구동부;

상기 분리 구동부로부터 동력을 전달받아 상기 제1 척을 관통하여 상기 제1 척으로부터 제1 기판을 분리시키는 분리 부재; 및

상기 분리 구동부로부터 제공된 동력을 상기 제1 기판의 전체 면적에 대응되도록 분산 시켜 상기 분리 부재를 가압하는 동력 전달부; 를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.
제 1 항에 있어서, 상기 상부 챔버의 내부에는 상기 동력 전달부가 상하 승강되도록 상기 상부 챔버와 이격되어 상기 제1 척을 고정하는 척 플레이트가 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.
제 2 항에 있어서, 상기 동력 전달부는

상기 상부 챔버를 관통하며, 상기 분리 구동부와 연결되어 승강되는 구동 축 과,

상기 구동 축이 승강됨에 따라 상기 상부 챔버와 상기 척 플레이트의 사이에서 승강되는 구동 플레이트를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.
제 3 항에 있어서, 상기 상부 챔버는

상기 구동 플레이트와 상기 제1 척 플레이트의 사이에 탄성부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.
제 1 항에 있어서, 상기 분리 부재는 상기 제1 기판의 전체 면적에 대응되어 분포되는 다수개의 분리 핀인 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.
제1 기판이 부착되는 제1 척이 결합되는 상부 챔버;

상기 제1 기판과 합착되는 제2 기판이 안착되는 제2 척이 결합되는 하부 챔버;

상기 상부 챔버의 상측에 구비되는 분리 구동부;

상기 분리 구동부로부터 제공된 동력을 상기 제1 기판의 전체 면적에 대응되도록 분산 시키는 동력 전달부; 및

상기 동력 전달부와 결합되며, 상기 제1 기판 가압면에 대응되어 일측으로 가로지르는 제1 바와, 상기 제1 바와 교차되어 타측으로 가로지르는 제2 바를 갖는 분리 부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.
제 6 항에 있어서, 상기 상부 챔버의 내부에는 상기 동력 전달부가 상하 승강되도록 상기 상부 챔버와 이격되어 상기 제1 척을 고정하는 척 플레이트가 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.
제 7 항에 있어서, 상기 동력 전달부는

상기 상부 챔버를 관통하며, 상기 분리 구동부와 연결되어 승강되는 구동 축과,

상기 구동 축이 승강됨에 따라 상기 상부 챔버와 상기 척 플레이트의 사이에서 승강되는 구동 플레이트와,

상기 제1 척과 상기 척 플레이트를 관통하여 상기 구동 플레이트와 상기 분리 부재를 연결하는 구동 핀을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.
제 8 항에 있어서, 상기 상부 챔버는

상기 구동 플레이트와 상기 제1 척 플레이트의 사이에 탄성부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.
제 6 항에 있어서, 상기 분리 부재는

상기 제1 바의 양 끝단과 상기 제2 바의 양 끝단을 각각 연결하는 보조바를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.