KR101133284B1

KR101133284B1 - 기판 합착 장치

Info

Publication number: KR101133284B1
Application number: KR1020100011144A
Authority: KR
Inventors: 심석희
Original assignee: 엘아이지에이디피 주식회사
Priority date: 2010-02-05
Filing date: 2010-02-05
Publication date: 2012-04-05
Also published as: KR20110091353A

Abstract

본 발명은 기판 합착장치에 관한 것으로, 상부 챔버, 상기 상부챔버와 접하면서 기판의 합착공간을 형성하는 하부챔버, 상기 상부챔버의 내측에 고정 설치되며, 제1 기판이 부착되는 상정반, 상기 하부챔버의 내측에 승강 가능하게 설치되며, 제2 기판이 부착되는 하정반, 상기 상정반으로부터 연장되어, 상기 상부 챔버의 내벽 삽입공에 고정 설치되는 복수개의 지지바, 그리고 상기 삽입공의 내측에서 상기 지지바를 적어도 두 방향 이상으로 고정시키는 고정부재 어셈블리를 포함하고, 상기 고정부재 어셈블리는 상기 삽입공의 내측 상면으로부터 하향 돌출되고, 상기 지지바와 점 접촉 또는 선 접촉하여 상기 지지바를 고정시키는 제1 고정부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 합착 장치를 제공한다.
본 발명에 의할 경우, 상기 챔버에 고정 설치되는 상정반의 고정 구조를 개선하여, 합착공간의 진공 배기시 챔버의 변형이 발생하더라도 상정반의 원형을 유지할 수 있어, 정확한 기판 정렬 및 합착이 가능하다.

Description

기판 합착 장치 {AN APPARATUS FOR ATTACHING SUBSTRATES}

본 발명은 기판 합착장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평판표시패널의 제조공정에서 기판을 합착시키기 위하여 마련되는 평판표시패널용 기판합착장치에 관한 것이다.

정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 증가되어 왔다. 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Pannel), ELD(Electro Luminescent Display)등 여러가지 평판표시장치가 연구되어 왔고 그 일부는 이미 실생활에 널리 사용되고 있다.

그 중 LCD의 경우에는 CRT(Cathode Ray Tube)에 비하여 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 특징에 따른 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 많이 사용되고 있다. LCD에 사용되는 액정표시패널의 대표적인 예로써 TFT-LCD 패널이 있다. TFT-LCD 패널은 복수의 TFT(Thin Film Transistor)가 매트릭스형으로 형성된 어레이 기판과, 컬러 필터나 차광막 등이 형성된 컬러 필터 기판이 수 ㎛ 정도의 간격을 가지고 서로 대향하여 합착되고, 합착 전, 합착 중 또는 합착 후에 액정이 주입되어 봉지됨으로써 패널의 제조가 이루어진다.

따라서, LCD에 사용되는 액정표시패널을 제조함에 있어서는 어레이 기판 및 컬러 필터 기판을 각각 제조한 후에 양 기판을 합착하고 그 사이의 공간에 액정 물질을 주입하는 공정이 필수적으로 필요하며, 이 중에서 기판을 합착시키는 공정은 LCD의 품질을 결정하는 중요한 공정 중에 하나이다.

일반적으로 기판합착공정은 내부를 진공상태로 형성시킬 수 있는 상부챔버와 하부챔버로 구성되는 기판합착장치에 의하여 수행된다. 한편, 상부챔버와 하부챔버에 각각 부착된 기판들은 상부챔버에 부착된 기판이 이동하면서 기판간의 간격을 조절하고, 하부챔버에 부착된 기판을 이동시켜 각 기판의 정렬상태를 조절하도록 마련된다.

다만, 공정중 내부를 진공 상태로 형성하는 바, 외부 기압과 내부 기압의 차이로 인하여 챔버가 변형되는 현상이 발생한다. 따라서, 상부 챔버와 일체로 고정 설치되는 상정반 또한 챔버의 구조적인 변형에 따라 변형이 발생하는 바, 기판을 제대로 정렬하여 합착하는 것이 곤란하였다.

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위해, 기압 차이에 의해 챔버의 형상이 변하는 경우에도 기판이 안착되는 상정반은 원형을 유지할 수 있는 기판 합착장치를 제공하기 위함이다.

전술한 본 발명의 목적은, 상부 챔버, 상기 상부챔버와 접하면서 기판의 합착공간을 형성하는 하부챔버, 상기 상부챔버의 내측에 고정 설치되며, 제1 기판이 부착되는 상정반, 상기 하부챔버의 내측에 승강 가능하게 설치되며, 제2 기판이 부착되는 하정반, 상기 상정반으로부터 연장되어, 상기 상부 챔버의 내벽 삽입공에 설치되는 복수개의 지지바 그리고, 상기 삽입공의 내측에서 상기 지지바의 이동을 제한하는 고정부재 어셈블리를 포함하고, 상기 고정부재 어셈블리는 상기 삽입공의 내측면으로 돌출 형성되는 복수개의 고정부재를 포함하여 구성되며, 상기 복수개의 고정부재 중 적어도 하나의 고정부재는 상기 지지바와 점접촉 또는 선접촉 하여 상기 지지바를 고정시키는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치에 의해 달성될 수 있다.

여기서, 상기 고정부재 어셈블리는 상기 삽입공의 내측 하면으로부터 상향 돌출되어 상기 제1 고정부재와 함께 상기 지지바의가 수직 방향으로 이동하는 것을 제한하는 제2 고정부재 및 상기 지지바의 단부에 설치되어 상기 지지바가 길이 방향으로 이동하는 것을 제한하는 제3 고정부재를 더 포함하여 구성될 수 있다.

한편, 상기 삽입공은 상기 상부 챔버의 외부와 연통 가능하게 형성되며, 상기 삽입공과 상기 상부 챔버 내부의 공간을 차폐하기 위한 밀폐 부재를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.

이때, 상기 밀폐 부재는 상기 지지바를 둘러싸면서 상기 상정반의 외측면과 상기 삽입공의 내벽에 부착 설치되는 튜브형 탄성부재로 구성될 수 있다.

한편, 제1 고정 부재 또는 제3 고정 부재는 상기 지지바와 접촉하는 단부가 뾰족한 단면 또는 반구형의 단면을 갖도로 구성될 수 있다.

그리고, 제1 고정 부재 및 제2 고정 부재 중 적어도 하나 이상은 상기 상부 챔버의 내벽에 삽입 설치되는 바(bar)로 구성될 수 있다.

한편, 상기 삽입공은 상기 상부챔버의 측벽을 관통하는 구조로 형성되며, 상기 제3 고정부재는 상기 삽입공의 외측으로부터 삽입되도록 설치하는 것이 바람직하다.

이러한 상기 고정부재 어셈블리는 상기 상부 챔버 각각의 내벽에 적어도 하나 이상씩 구비되도록 형성될 수 있다.

본 발명에 따른 기판 합착장치는 상기 챔버에 고정 설치되는 상정반의 고정 구조를 개선하여, 합착공간의 진공 배기시 챔버의 변형이 발생하더라도 상정반의 원형을 유지할 수 있어, 정확한 기판 정렬 및 합착이 가능하다.

도 1은 본 발명에 따른 기판 합착장치의 단면을 나타난 단면도,
도 2는 도 1의 상정반의 지지바가 결합되는 모습을 도시한 단면도이고,
도 3은 도 1에서 삽입공이 형성되는 상부 챔버의 횡단면을 도시한 단면도이다.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명에 따른 기판 합착장치를 구체적으로 설명하도록 한다.

본 발명을 설명함에 있어서, 정의되는 각 구성요소의 명칭은 설명의 편의상 기능을 고려하여 명명된 것으로, 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 의미로 해석되어서는 안될 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 기판 합착장치의 단면을 나타난 단면도이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 합착장치(100)는, 베이스(10)와, 베이스(10)의 상부에 마련되는 하부챔버(30)와, 하부챔버(30)와 결합되어 기판이 합착되는 공간을 형성하는 상부챔버(20)와, 하부챔버(30)에 대하여 상부챔버(20)를 승강시키는 리프트부(40)를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 상부챔버(20)는 리프트부(40)에 의해 지지되는 상태로 마련되며, 하부챔버(30)와 결합되어, 내부 공정 공간을 형성하도록 그 하부가 함입되는 상부공간부(21)가 형성된다.

여기서, 상부공간부(21) 에는 상부챔버(20)에 대하여 고정 설치되며, 제1 기판이 부착되는 상정반(22)이 마련된다. 이러한 상정반(22)은 측면으로부터 상부챔버(20)의 내벽 측으로 연장되는 원기둥 형상의 지지바(22a)가 마련되며, 복수개의 지지바(22a)들은 상부챔버 내벽에 형성되는 삽입공(20a)에 삽입되어 고정 설치될 수 있다. 이때, 상부챔버(20) 및 상정반(22)은 사각형의 단면을 갖도록 구성되어, 각각의 측면을 따라 적어도 하나 이상의 지지바(22a) 및 삽입공(20a)을 구비하는 것이 바람직하다.

여기서, 상정반의 하면은 소정의 평편도를 갖는 상부 스테이지(23)가 마련된다. 상부스테이지(23)는 저면으로 투입되는 제1 기판을 고정하는 상부흡착플레이트(24)가 구비될 수 있다. 이러한 상부흡착플레이트(24)는 정전력에 의해 기판을 고정하는 정전척(ESC : Electro Static Chuck)으로 마련되는 것이 바람직하다.

한편 상부챔버(20)의 상부에는 상부챔버(20)와 상정반(22)을 관통하여 상정반(22)의 상부흡착플레이트(24)에 고정된 기판을 분리하기 위한 기판분리장치(25)가 구비될 수 있다. 이러한 기판분리장치(25)는 기판을 가압하는 분리핀(25a)와 분리핀(25a)을 이동시키는 분리핀작동체(25b)로 구성될 수 있다.

또한, 상부챔버(20)의 상부에는 상부챔버(20)와 상정반을 관통하는 관통공(27)이 형성되고, 관통공(27)의 외측에는 관통공(27)을 통하여 상정반(22)의 상부흡착플레이트(24)에 고정된 기판과 후술할 하부챔버(30)의 하부흡착플레이트(34)에 고정된 기판의 정렬상태를 판독하기 위한 얼라인 카메라(26)가 구비될 수 있다.

이러한, 얼라인 카메라(26)는 상부챔버(20)와 하부챔버(30) 사이에 위치하는 각 기판의 얼라인 마크(미도시)를 중첩하여 관측할 수 있도록 장착되며, 적어도 기판의 대각된 두 모서리를 관측할 수 있도록 설치된다.

하부챔버(30)는 베이스(10)의 상면에 안착되는 형태로 마련되며, 상부 챔버(20)와 결합되어 합착 공간을 형성하도록 상부가 함입되어 하부공간부(31)를 형성한다. 하부공간부(31)에는 제2 기판이 부착되는 위치를 제공하며, 하부 챔버(30)를 따라 승강할 수 있도록 설치되는 하정반(32)이 구비된다.

여기서 하정반(32)은 하부 챔버(30)의 하부공간부(31)에 구비되는 하부 스테이지(33)와, 하부스테이지(33)의 상면에 구비되어, 기판을 고정하는 하부흡착플레이트(34)로 구성될 수 있다. 한편, 하부흡착플레이트(34)는 정전력에 의해 기판을 고정하는 정전척(ESC : Electro Static Chuck)으로 구성되는 것이 바람직하다.

한편, 하부챔버(30)의 하부에는 하부챔버(30)와 하정반(32)을 관통하여 하정반(32)의 하부흡착플레이트(34)에 고정되는 기판을 승강시켜 분리하기 위한 기판승강장치(35)가 마련될 수 있다. 이러한 기판승강장치(35)는 기판을 승강시키는 승강핀(35a)과 승강핀(35a)을 이동시키는 승강핀작동체(35b)로 마련된다.

또한, 하부챔버(30)의 하부에는 하부챔버(30)와 하정반을 관통하는 관통공(37)이 형성되고, 관통공(37)의 외측에는 관통공(37)을 통하여 얼라인 카레마(26)에 판독광을 제공하는 얼라인 조명(36)이 구비될 수 있다.

그리고 상부챔버(20)와 하부챔버(30)의 인접하는 일면에는 상부챔버(20)와 하부챔버(30)가 결합하는 경우, 내측에 형성되는 합착공간과 외부와의 기밀을 유지하기 위한 기밀부재(38)가 마련될 수 있다. 따라서, 합착 공간은 합착 공정시 외부와 완전히 격리되어 진공 상태를 형성하는 것이 가능하다.

다만, 상부챔버(20)와 하부챔버(30) 사이의 합착공간이 진공 상태가 되는 경우, 외부와의 압력차이가 커짐에 따라 챔버의 형상, 특히 상부챔버(20)의 형상이 뒤틀리는 현상이 발생할 수 있다. 이에, 상부챔버(20) 내벽의 고정 설치되는 상정반(22) 또한 상부챔버(20)의 변형에 의해 변형이 일어날 수 있다.

따라서, 본 발명에서는 상부챔버(20)의 내벽에 고정 설치되는 상정반(22)이 상부챔버(20)의 변형이 발생하더라도 원형을 유지할 수 있도록 구성하는 것이 바람직하다.

도 2는 도 1의 상정반의 지지바가 결합되는 모습을 도시한 단면도이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 상정반(22)의 측면에 일체로 형성되는 복수개의 지지바(22a)는 외측 수평 방향으로 연장된다. 그리고, 각각의 지지바(22a)는 상부챔버(20) 내벽에 형성되는 복수개의 삽입공(20a)에 각각 삽입된다. 이때, 삽입공(20a)은 지지바(22a)의 단면보다 소정 간격 크게 형성되어, 별도의 고정부재 어셈블리(100)가 구비되도록 설치될 수 있다.

도 2에 도시된 바와 같이, 고정부재 어셈블리(100)는 삽입공(20a) 내측 상면으로부터 하향 돌출 형성되는 제1 고정부재(110), 삽입공(20a) 내측 하면으로부터 상향 돌출되는 제2 고정부재(120) 및 지지부의 단부를 수평방향으로 고정시키기 위한 제3 고정부재(130)를 포함하여 구성될 수 있다.

여기서, 지지바(22a)의 상측은 제1 고정부재(110)에 의해, 지지바(22a)의 하측은 제2 고정부재(120)에 의해 지지되어, 수직 방향의 이동을 제한하도록 고정될 수 있다. 이 경우, 지지바(22a)가 삽입공(20a)에 끼움되어 삽입공의 내벽에 의해 직접 지지되는 것에 비해, 상부챔버(20)의 내벽과 접촉하는 면적이 줄어드는 바, 상부챔버(20)의 변형에 의한 영향을 최소화 하는 것이 가능하다.

여기서, 본 발명에서는 상기 지지바(22a)가 상기 각각의 고정부재와 접촉하는 면적을 최소화 하는 것이 바람직하다. 특히, 압력차에 의한 상부챔버(20)의 변형은 상부챔버(20)의 상측에서 가장 심하게 발행하는 것을 고려할 때, 상부챔버(20) 상측에 근접하여 형성되는 제1 고정부재(110)는 상기 지지바(22a)와 점 접촉 또는 선 접촉하면서 지지바를 고정시키는 것이 바람직하다.

도 2에 도시된 바와 같이, 제1 고정부재(110)는 상부챔버(20) 내벽에 삽입 설치되는 바(bar) 형상의 부재로 구성될 수 있으며, 삽입공(20a)으로 돌출되는 단부는 반원 단면을 갖는 원기둥이 뉘어진 형상으로 구성될 수 있다. 이때, 제1 고정부재(110)의 단부는 원형바로 구성되는 지지바(22a)의 상단을 지지한다. 이때, 제1 고정부재(110)의 단부와 지지바(22a)가 접촉하는 부분은 서로 직교하는 방향으로 놓여진 원기둥의 측면이 맞닿은 것과 같이 점 접촉이 이루어지게 된다. 이와 같이, 제1 고정부재(110)가 점 접촉에 의해 지지바(22a)를 고정시키는 경우, 상부챔버(20)의 변형에 의해 삽입공 내측 상면이 챔버 중심 방향으로 쳐지면서 휨이 발생하더라도, 제1 고정부재(110)는 여전히 점 접촉 상태를 유지하여 지지바(22a)에 휨에 의한 영향을 미치지 않고 지지바(22a)를 고정시키는 것이 가능하다.

본 실시예의 지지바는 원형 바를 이용하여 구성하였으나, 사각 기둥 형상의 지지바를 이용하는 경우에도 본원 발명을 적용하는 것이 가능하다. 다만, 전술한 제1 고정부재를 이용하여 사각 기둥의 지지바를 고정하는 경우, 상기 지지바와 제1 고정부재 단부는 평면 상에 원기둥의 측면이 맞닿은 것과 같이 선접촉을 이루게 된다. 이때, 선 접촉이 이루어지는 방향은 상기 지지바의 길이 방향과 직각 방향을 형성하는 바, 상부 챔버의 변형에 의해 삽입공 내측 상면이 휘어지더라도, 여전히 선 접촉 상태를 유지하면서 지지바에 휨 변형의 영향을 미치지 않을 수 있는 것이다.

전술한 바와 같이, 본 실시예에서는 제1 고정부재의 단부를 반원 단면을 갖는 기둥의 형상으로 구성하였으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 이는 하나의 실시예에 불과하며, 이 이외에도 제1 고정부재의 단부의 형상을 반구형, 뾰족한 뿔 또는 삼각 기둥의 형상 등을 이용하여 다양하게 구성할 수 있다.

한편, 제2 고정부재(120)는 제1 고정부재(110)와 같이 챔버 내벽에 삽입 설치되는 바 형상의 부재로, 삽입공(20a) 내측 저면으로부터 단부가 상향 돌출 되도록 구성할 수 있다. 다만, 본 실시예에서는 상부챔버(20)의 변형이 주로 삽입공(20a)의 상측에서 주로 발생하는 것을 고려하여, 제2 고정부재(120)의 단부는 제1 고정부재(110)와 달리 더 넓은 면적에서 지지바(22a)를 지지하도록 구성할 수 있다. 다만, 상부챔버(20)의 설계에 있어 심한 변형이 예상되는 경우에는 제2 고정부재(120) 또한 제1 고정부재(110)와 마찬가지로 상기 지지바(22a)와 선 접촉 또는 점 접촉 할 수 있도록 단부를 구성하는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에서는 제1, 제2 고정부재를 상부 챔버 내벽에 삽입되는 기둥 형상으로 구성하였으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 이 이외에도, 삽입공 내벽 주변으로 형성되는 돌기 구조로 구성될 수도 있으며, 나아가 삽입공 내벽 주변에 형성되는 볼 베어링 구조 등으로 다양하게 응용 실시가 가능함을 밝혀둔다.

나아가, 본 실시예에서는 삽입공(20a)을 상부챔버(20)의 외부와 연통하도록 구성하는 것이 바람직하다. 전술한 바와 같이 상부챔버(20)의 변형은 합착 공간과 외부와의 압력 차에 의해 발생되며, 이로 인해 지지바(22a)가 삽입되는 삽입공(20a)의 형상이 변형되면서 상정반(22)의 변형을 야기할 수 있었다. 따라서, 본 실시예와 같이 삽입공(20a)이 외부와 연통하도록 구성하는 경우, 삽입공(20a) 내부의 압력이 외부의 압력과 동일하여 압력차에 의한 삽입공의 변형을 감소시킬 수 있다.

구체적으로, 본 실시예에 따른 삽입공(20a)은 상부챔버(20) 측벽을 관통하도록 형성될 수 있다. 그리고, 합착 공간을 외부와 격리 시킬 수 있도록 별도의 밀폐 부재(50)가 설치될 수 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 밀폐 부재(50)는 소정의 탄성력을 갖는 재질로 구성되어 팽창 및 수축이 가능한 자바라 등의 튜브형 부재로 구성된다. 이 밀폐 부재(50)는 상기 지지바(22a) 외측을 둘러싸면서 일단이 상정반(22)에 부착되고, 타단은 삽입공(20a)과 인접한 챔버 내벽 또는 삽입공(20a) 내벽에 부착되도록 설치된다. 따라서, 밀폐 부재(50) 내측과 연통하는 지지바(22a) 및 삽입공(20a)은 외부와 동일한 압력을 유지하는 것이 가능하며, 밀폐 부재(50) 외측 즉 상부챔버(20)와 하부 챔버(30)의 내측에 형성되는 합착 공간은 외부와 격리되어 상태로 합착 공정을 위한 환경을 조성할 수 있다.

도 3은 도 1에서 삽입공이 형성되는 상부 챔버의 횡단면을 도시한 단면도이다. 이때, 지지바(22a)의 수평 방향 이동을 제한하기 위한 제3 고정부재(130)는 상기 삽입공(20a)의 단부에 삽입 설치될 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 제3 고정부재(130)는 외측으로부터 삽입공에 단부가 삽입된 후, 상부챔버(20)의 외벽에 별도의 체결부재(미도시)를 이용하여 고정 설치될 수 있다. 그리고, 제3 고정부재(130)의 단부는 지지바(22a)의 단부와 접촉하여 지지바(22a)를 수평방향으로 고정시킬 수 있다. 이때, 제3 고정부재(130)의 단부 또한 제1 고정부재(110)와 마찬가지로 지지바의 단부와 선 접촉 또는 점 접촉 할 수 있도록 구성하는 것이 바람직하다.

한편, 도 3에 도시된 바와 같이, 본 실시예 따른 상부챔버(20) 및 상정반(22)은 사각형 형상으로 구성된다. 그리고, 각각의 측면에 적어도 하나 이상의 지지바(22a) 및 삽입공(20a)을 구비하며, 삽입공(20a)이 형성되는 위치마다 밀폐 부재(50) 및 고정부재 어셈블리(100)를 구비하는 것이 바람직하다.

이와 같이 본 실시예와 같이, 제1, 제2, 제3 고정부재로 구성되는 고정부재 어셈블리는, 지지바와의 접촉을 최소화하면서 지지바를 고정시키는 것이 가능한 바, 상부챔버의 변형에 의해 상정반이 변형되는 것을 최소화할 수 있다. 나아가, 상기 지지부가 삽입되는 삽입공을 외부와 연통 가능하게 설치하는 바, 상부 챔버 변형시 상부 챔버 측벽의 변형을 최소화하는 것이 가능하다.

이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 기술되었지만, 본 발명이 속하는 기술분야에 있어서 통상의 지식을 가진 사람이라면, 첨부된 청구 범위에 정의된 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 본 발명을 여러 가지로 변형하여 실시할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 앞으로의 실시예들의 단순한 변경은 본 발명의 범위를 벗어날 수 없을 것이다.

Claims

상부 챔버;
상기 상부챔버와 접하면서 기판의 합착공간을 형성하는 하부챔버;
상기 상부챔버의 내측에 고정 설치되며, 제1 기판이 부착되는 상정반;
상기 하부챔버의 내측에 승강 가능하게 설치되며, 제2 기판이 부착되는 하정반;
상기 상정반으로부터 연장되어, 상기 상부 챔버의 내벽 삽입공에 설치되는 복수개의 지지바; 그리고,
상기 삽입공의 내측에서 상기 지지바의 수직 방향 및 수평 방향 이동을 제한하는 고정부재 어셈블리를 포함하고,
상기 고정부재 어셈블리는 상기 삽입공 내측 상면으로부터 하향 돌출되는 제1 고정부재, 상기 제1 고정부재와 함께 상기 지지바가 수직 방향으로 이동하는 것을 제한하는 제2 고정부재 및 상기 지지바의 단부에 설치되어 상기 지지바가 길이 방향으로 이동하는 것을 제한하는 제3 고정부재를 포함하여 구성되며,
상기 상부 챔버에 발생하는 변형이 상기 상정반으로 전달되는 것을 방지하도록, 상기 제1 내지 제3 고정부재 중 적어도 하나는 상기 지지바와 점접촉 또는 선접촉하여 상기 지지바를 고정시키는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.
삭제
제1항에 있어서,
상기 제1 고정부재는 상기 지지바의 상측 표면과 점접촉 또는 선접촉하는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.
제1항에 있어서,
상기 삽입공은 상기 상부 챔버의 외부와 연통 가능하게 형성되며, 상기 삽입공과 상기 상부 챔버 내부의 공간을 차폐하기 위한 밀폐 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 합착 장치.
제4항에 있어서,
상기 밀폐 부재는 상기 지지바를 둘러싸면서 상기 상정반의 외측면과 상기 삽입공의 내벽에 부착 설치되는 튜브형 탄성부재로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 합착 장치.
제1항에 있어서,
제1 고정 부재 및 제2 고정 부재 중 적어도 하나 이상은 상기 상부 챔버의 내벽에 삽입 설치되는 바(bar)로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.
제1항에 있어서,
제1 고정 부재 및 제2 고정 부재 중 적어도 하나 이상은 상기 삽입공의 내벽에 돌출 형성되는 베어링으로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.
제1항에 있어서,
상기 삽입공은 상기 상부챔버의 측벽을 관통하는 구조로 형성되며, 상기 제3 고정부재는 상기 삽입공의 외측으로부터 삽입 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.
제1항에 있어서,
상기 고정부재 어셈블리는 상기 상부 챔버 각각의 내벽에 적어도 하나 이상씩 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.