KR100815908B1 - 액정표시소자의 합착 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 액정표시소자의 제조 공정 중 기판간의 합착을 위한 합착 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 각 기판간 합착 수행시 각 스테이지의 특정 부위 마모나 여타의 원인에 의한 평탄도(平坦度)의 편차가 발생되었을 경우 이를 보상해 줄 수 있도록 한 액정표시소자의 합착 장치에 관한 것이다.

이를 위해 본 발명은 각 기판간 합착 공정이 수행되는 진공 챔버와; 상기 진공 챔버 내의 상측 공간과 하측 공간에 대향 설치된 상부 스테이지 및 하부 스테이지와; 상기 어느 한 스테이지에 연결되어 각 부위별 차등적인 가압력을 제공하는 가압수단:을 포함하여 구성된 액정표시소자의 합착 장치를 제공한다.

액정표시소자, 합착 장치, 특정 부위 가압수단

Description

액정표시소자의 합착 장치{bonding device for liquid crystal display}

도 1 및 도 2 는 종래 액정표시소자의 제조 장비 중 합착 장치를 개략적으로 나타낸 구성도

도 3 은 본 발명 액정표시소자의 합착 장치를 구성하는 각 가압수단의 장착 상태를 개략적으로 나타낸 요부 사시도

도 4 는 본 발명 액정표시소자의 합착 장치를 구성하는 각 가압수단이 진공 챔버 내에 장착된 상태에 따른 개략적인 구성도

도 5 는 본 발명에 따른 각 가압수단을 이용하여 합착이 수행되는 최초 상태를 개략적으로 나타낸 구성도

도 6 은 본 발명에 따른 각 가압수단을 이용하여 합착이 이루어지는 도중의 상태를 개략적으로 나타낸 구성도

도면의 주요 부분에 대한 부호 설명

110. 진공 챔버 210. 상부 스테이지

220. 하부 스테이지 310. 메인 가압수단

320. 서브 가압수단 321. 서브 이동축

322. 서브 구동 모터 323. 서브 로드셀

510,520. 기판

본 발명은 제조 장비에 관한 것으로, 특히, 대면적의 액정표시소자에 유리한 액정 적하 방식을 적용한 액정표시소자의 합착 장치에 관한 것이다.

정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display)등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.

그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 특징에 따른 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)을 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이 하는 텔레비전 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.

이와 같이 액정표시소자는 여러 분야에서 화면 표시장치로서의 역할을 하기 위해 여러 가지 기술적인 발전이 이루어 졌음에도 불구하고 화면 표시장치로서 화상의 품질을 높이는 작업은 상기 특징 및 장점과 배치되는 면이 많이 있다. 따라서, 액정표시소자가 일반적인 화면 표시장치로서 다양한 부분에 사용되기 위해서는 경량, 박형, 저 소비전력의 특징을 유지하면서도 고정세, 고휘도, 대면적 등 고 품 위 화상을 얼마나 구현할 수 있는가에 발전의 관건이 걸려 있다고 할 수 있다.

상기와 같은 액정표시소자의 제조 방법으로는 한쪽의 기판상에 주입구가 형성되도록 밀봉제를 패턴 묘화하여 진공 중에서 기판을 접합한 후에 밀봉제의 주입구를 통해 액정을 주입하는 통상적인 액정 주입 방식과, 일본국 특개평11-089612 및 특개평 11-172903호 공보에서 제안된 액정을 적하한 기판과 다른 하나의 기판을 준비하고, 진공 중에서 상하의 기판을 근접시켜 접합하는 액정 적하 방식 등으로 크게 구분할 수 있다.

이 때, 상기한 각각의 방식 중 액정 적하 방식은 액정 주입 방식에 비해 많은 공정(예컨대, 액정 주입구의 형성, 액정의 주입, 액정 주입구의 밀봉 등을 위한 각각의 공정)을 단축하여 수행함에 따라 상기 추가되는 공정을 따른 각각의 장비를 더 필요로 하지 않는다는 장점을 가진다.

이에 최근에는 상기한 액정 적하 방식을 이용하기 위한 각종 장비의 연구가 이루어지고 있다.

도시한 도 1 및 도 2는 상기한 바와 같은 종래의 액정 적하 방식을 적용한 기판간 합착 장치를 나타내고 있다.

즉, 종래의 합착 장치는 외관을 이루는 프레임(10)과, 스테이지부(21,22)와, 밀봉제 토출부(도시는 생략함) 및 액정 적하부(30)와, 챔버부(31,32)와, 챔버 이동수단(40) 그리고, 스테이지 이동수단(50)으로 크게 구성된다.

이 때, 상기 스테이지부는 상부 스테이지(21)와 하부 스테이지(22)로 각각 구분되고, 밀봉제 토출부 및 액정 적하부(30)는 상기 프레임의 합착 공정이 이루어 지는 위치의 측부에 장착되며, 상기 챔버부는 상부 챔버 유닛(31)과 하부 챔버 유닛(32)으로 각각 합체 가능하게 구분된다.

이와 함께, 상기 챔버 이동수단(40)은 하부 챔버 유닛(32)을 상기 합착 공정이 이루어지는 위치 혹은, 밀봉제의 토출 및 액정의 적하가 이루어지는 위치에 선택적으로 이동시킬 수 있도록 구동하는 구동 모터로 구성된다.

그리고, 상기 스테이지 이동수단(50)은 샤프트(61)와, 하우징(62)과, 리니어 가이드(63)와, 모터(64)와, 볼나사(65) 및 너트 하우징(66)으로 이루어진다.

즉, 상부 스테이지(21)는 샤프트(61)에 의해 지지되고, 상기 샤프트(61)는 하우징(66)에 고정되며, 상기 하우징(66)은 프레임(67)에 대하여 리니어 가이드(63)로 설치되고, 그 상하 구동은 프레임(67) 상의 브라켓(68)에 고정된 모터(64)에 의하여 행하여 진다. 이 때 구동력의 전달은 볼나사(65)와 너트 하우징(66)으로 실행되도록 구성되고, 상기 너트 하우징(66)은 하중계(69)를 거쳐 하우징(66)과 이어진다.

이하, 상기한 종래의 합착 장치를 이용한 액정표시소자의 제조 과정을 그 공정 순서에 의거하여 보다 구체적으로 설명하면 하기와 같다.

우선, 상부 스테이지(21)에는 어느 하나의 기판(51)이 로딩된 상태로 부착 고정되고, 하부 스테이지(22)에는 다른 하나의 기판(52)이 로딩된 상태로 부착 고정된다.

이 상태에서 상기 하부 스테이지(22)를 가지는 하부 챔버 유닛(32)은 챔버 이동수단(40)에 의해 도시한 도 1과 같이 밀봉제 도포 및 액정 적하를 위한 공정 위치 상으로 이동된다.

그리고, 상기 상태에서 밀봉제 토출부 및 액정 적하부(30)에 의한 밀봉제의 도포 및 액정 적하가 완료되면 다시 상기 챔버 이동수단(40)에 의해 도시한 도 2와 같이 기판간 합착을 위한 공정 위치 상으로 이동하게 된다.

이후, 챔버 이동수단(40)에 의한 각 챔버 유닛(31,32)간 합착이 이루어져 각 스테이지(21,22)가 위치된 공간이 밀폐되고, 별도의 진공 수단에 의해 상기 공간이 진공 상태를 이루게 된다.

그리고, 상기한 진공 상태에서 스테이지 이동수단(50)을 구성하는 모터(64)가 구동함에 따라 샤프트(61)가 하강하고, 이 샤프트(61)의 하강에 의해 상부 스테이지(21)가 하향 이동하면서 각 기판(51,52)간 합착을 수행하게 된다.

이 때, 하중계(69)는 로드셀(가압력센서)로 작용하고, 차차로 피드백된 신호를 기초로 모터(64)를 제어하여 합착에 필요한 가압력을 설정된 만큼만 부여하는 것이 가능하다.

그러나 전술한 바와 같은 종래 기판간 합착 장치를 구성하는 상부 스테이지의 상향/하향 이동시키기 위한 구성은 오랜 기간 사용함으로써 위치 변동에 따른 상부 스테이지의 평탄도 오차가 발생됨에도 불구하고, 상기 오차를 보정하기 위한 별도의 구성이나 수단을 가지지 못하였기 때문에 상기 평탄도 오차 만큼의 합착 불량이 야기된 문제점을 가진다.

즉, 종래의 스테이지 이동장치는 단순히 상부 스테이지의 주변에만 2개의 축 이 구성되어 있을 뿐 아니라 이 각각의 축은 모터의 구동력을 전달받아 양측이 균일한 힘으로 동일한 양만큼 상부 스테이지를 하향 이동시켜 주도록 구성되어 있음에 따라 초기 작업 수행 전 상부 스테이지의 평탄도 상태 즉, 기준을 셋팅하고자 할 경우 그 정확한 셋팅을 수행하기 어려웠고, 오랜 사용에 따른 구동부간 유격 등에 의해 틀려진 평탄도를 보정할 수 없었던 문제점이 있다.

또한, 필요에 의해 상부 스테이지의 특정 부위를 임의로 또는, 일시적으로 원하는 힘 만큼 추가적인 가압을 수행할 수 없었기 때문에 상부 스테이지의 특정 부위 마모가 발생되더라도 이에 따른 보상이 이루어지지 못하여 해당 부분에 대한 기판간의 합착 불량이 발생될 수도 있다.

즉, 도시한 도 2와 같이 상부 스테이지의 어느 한측 부위가 마모 등에 의해 여타의 부위와의 높이 편차가 발생될 경우 상기 마모가 발생된 부위는 각 기판간 합착이 원활히 이루어지지 못하였기 때문에 합착 불량이 발생된 것이다.

특히, 씨일재가 도포된 부위는 한 쌍의 기판간 합착 후 틈새가 발생되기 쉬움을 고려할 때, 상기 부위에의 기판간 합착이 정확히 이루어져야 하지만, 종래에는 각 스테이지의 특정 부위 마모에 따른 보상이 이루어지지 않았기 때문에 합착 불량이 더욱 커질 수 밖에 없었던 문제점을 가지게 된다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 각 기판간 합착 공정 진행전 각 스테이지의 평탄도(平坦度) 측정이 원활히 이루어질 수 있도록 함과 더불어 어느 한 스테이지 혹은, 해당 스테이지를 구동하는 구동 부위 중 어느 한 부위가 오랜 사용으로 인해 각 부위간 편차가 발생되었을 경우 이를 보상 해 줄 수 있도록 한 액정표시소자의 합착 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면 각 기판간 합착 공정이 수행되는 진공 챔버와; 상기 진공 챔버 내의 상측 공간과 하측 공간에 대향 설치된 상부 스테이지 및 하부 스테이지와; 상기 어느 한 스테이지에 연결되어 각 부위별 차등적인 가압력을 제공하는 가압수단:을 포함하여 구성된 액정표시소자의 합착 장치:을 포함하여 구성된 액정표시소자의 합착 장치가 제공된다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도 3 내지 도 6을 참조하여 보다 상세히 설명하면 하기와 같다.

우선, 도시한 도 3 내지 도 6은 본 발명에 따른 액정표시소자의 합착 장치를 개략적으로 나타내고 있으며, 이를 통해 알 수 있듯이 본 발명의 합착 장치는 진공 챔버(110)와, 스테이지부와, 가압수단을 포함하여 구성됨이 제시된다.

상기에서 본 발명의 합착 장치를 구성하는 진공 챔버(110)는 그 내부가 선택적으로 진공 상태 혹은, 대기압 상태를 이루면서 각 기판(510,520)간 가압을 통한 합착 공정이 수행된다.

그리고, 본 발명의 합착 장치를 구성하는 스테이지부는 상기 진공 챔버(110) 내부로 반입된 각 기판(510,520)을 상기 진공 챔버(110) 내의 해당 작업 위치에 고정시키는 역할을 수행한다.

이 때, 상기와 같은 스테이지부는 상기 진공 챔버(110) 내의 상측 공간과 하측 공간에 각각 대향 설치되는 상부 스테이지(210) 및 하부 스테이지(220)를 포함 하여 구성된다.

그리고, 본 발명 합착 장치를 구성하는 가압수단은 각 스테이지(210,220)의 서로 대향되지 않는 면(즉, 상부 스테이지(210)의 상면 혹은, 하부 스테이지(220)의 저면)의 중앙 부위 혹은, 주변 부위에 각각 연결되어 차등적인 가압력을 제공하게 된다.

이와 함께, 상기와 같은 가압수단은 주 가압수단(310)과 보조 가압수단(320)으로 구분할 수 있다.

상기한 주 가압수단(310)은 각 기판(510,520)간 합착 공정시 상기 각 기판에 합착을 위한 가압력을 전달하는 역할을 수행하고, 각 스테이지(210,220)의 서로 대향되지 않는 면의 중앙 부위에 설치된다.

이 때, 상기 주 가압수단(310)은 상기 상부 스테이지(210)의 상면 중앙부위(혹은, 하부 스테이지(220)의 저면 중앙부위)와 연결되어 선택적으로 상하 이동하는 메인 이동축(311)과, 상기 메인 이동축(311)에 축결합되어 상기 메인 이동축(311)을 선택적으로 상하 이동시키는 메인 구동 모터(312)를 포함하여 구축된다. 그리고, 상기 메인 구동 모터(312)는 메인 프레임(1)에 고정된다.

이와 함께, 본 발명에서는 상기 메인 이동축(311)에 상기 메인 이동축(311)을 통해 전달되는 가압력을 그 필요에 따라 변동될 수 있도록 하는 메인 로드셀(load cell)(313)이 더 포함되어 구축됨을 제시한다.

그리고, 상기한 보조 가압수단(320)은 각 기판(510,520)간 합착 공정시 혹은, 합착 완료된 합착 기판의 재차적(추가적)인 합착을 수행하고자 할 경우 보상이 이루어져야 할 부분이나, 추가적인 가압이 필요시 되는 부위를 원하는 힘만큼 가압 시켜주는 역할을 수행하며, 각 스테이지(210,220)의 서로 대향되지 않는 면의 주변 부위에 설치된다.

이 때, 상기 보조 가압수단(320)은 상기 상부 스테이지(210)의 상면 주변 부위(혹은, 하부 스테이지(220)의 저면 주변 부위)와 연결되어 선택적으로 상하 이동하는 각 서브 이동축(321)과, 상기 각 서브 이동축(321)에 각각 연결되어 각 서브 이동축(321)으로 전달되는 가압력을 그 필요에 따라 변동될 수 있도록 하는 서브 로드셀(323) 그리고, 상기 각 서브 이동축(321)에 각각 결합되어 상기 서브 이동축(321)을 선택적으로 상하 이동시키면서 가압력을 제공하는 서브 구동 모터(322)를 포함하여 구성됨을 제시한다.

특히, 상기와 같은 보조 가압수단(320)은 상부 스테이지(210)의 상면 주변 부위(혹은, 하부 스테이지(220)의 저면 주변 부위)에 최소 둘 이상 서로 대응되는 위치에 각각 설치하여 구성함을 제시한다.

보다 바람직하기로는, 상부 스테이지(210)의 상면(혹은, 하부 스테이지(220)의 저면) 각 모서리 부분이나, 상부 스테이지(210)의 상면(혹은, 하부 스테이지(220)의 저면) 중 장변과 단변의 둘레측 중앙 부분에 상기한 보조 가압수단(320)을 각각 구성하여 각 스테이지(210,220)의 특정 부위 위치 변동이나 마모 등에 따른 편차의 보정이 원활히 이루어질 수 있도록 한다.

그리고, 전술한 바와 같은 메인 로드셀(313) 및 서브 로드셀(323)은 각각 합착 장치의 운전을 제어하는 컨트롤러(도시는 생략함)와 센싱 신호에 따른 전달이 가능하도록 연결된다.

또한, 본 발명에서는 상술한 각 스테이지(210,220)의 서로 대향되는 면(즉, 상부 스테이지(210)의 저면 및 하부 스테이지(220)의 상면)의 특정 부위에 편차가 발생되었는지 혹은, 특정 부위의 마모가 발생되었는지를 확인하기 위해 위치 센싱용 센서(광 센서 등)나, 다이얼 게이지 혹은, 감압지 등과 같은 평탄도 측정수단(도시는 생략함)을 더 포함하여 구성함을 제시한다.

이 때, 상기 광 센서와 같은 각종 위치 센싱용 센서는 진공 챔버(110) 내부(혹은, 외부)에 장착하여 실시간적인 측정이 가능하도록 할 수 있기 때문에 유리하다.

또한, 전술한 바와 같은 본 발명의 합착 장치에 따른 각 가압 수단(310,320)의 구성에 있어서, 각각의 구동 모터(312,322)는 합착 장치를 구성하는 메인 프레임(1)이나 진공 챔버(110)의 외벽면에 각각 고정되도록 하여야 하고, 각 이동축(311,321)은 상기 진공 챔버(110)의 상부 혹은, 하부를 관통하여 각 스테이지(210,220)에 연결되도록 하여야 한다. 물론, 이의 경우 상기 각 이동축(311,321)과 진공 챔버(110) 간의 결합 부위는 상기 진공 챔버(110) 내부의 진공 상태 유지가 가능하도록 실링(sealing)이 이루어져야 한다.

이 때, 부호 314 및 324는 너트 하우징으로써 각 이동축의 지지를 수행한다.

즉, 본 발명은 상부 스테이지(210)의 상승/하강을 위한 1개의 메인 이동축(311)과, 상부 스테이지(210)의 평탄도에 따른 보정을 수행하기 위한 4개의 서브 이동축(321)으로 구성하여 초기 상태인 합착 작업의 수행 전에 상부 스테이지(210)의 평탄도에 대한 기준을 잡고, 오랜 사용에 의한 편차 발생 혹은, 마모 발생이 이루어졌을 경우 상기 편차 혹은, 마모에 따른 가압력 적용의 보정이 가능하게 된다.

특히, 특정 기판이나 상부 스테이지의 소정 부위를 임의로 또는, 일시적으로 추가적인 가압의 수행이 가능하게 된다.

이하, 전술한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명 액정표시소자의 합착 장치를 이용한 기판간 합착 과정에 대하여 개략적으로 설명하면 하기와 같다.

우선, 합착 장치를 소정 횟수 동안 구동시켰거나 혹은, 특정한 필요에 따라 각 스테이지(210,220)의 상태 즉, 각 스테이지(210,220)의 기판간 합착이 수행되는 면의 마모 부위(혹은, 각 스테이지의 기움 정도) 확인을 수행하게 된다.

이 때의 마모 부위 확인은 평탄도 측정수단(도시는 생략함)을 이용하여 수행되는데, 상기 평탄도 측정수단의 사용법에 대한 상세 설명은 생략한다.

그리고, 상기 과정에서 도시한 도 4와 같이 상부 스테이지(210)의 특정 부위가 일부 마모되어 여타의 부위에 비해 편차가 있음이 확인될 경우 그 편차 정도(편차값;s) 및 편차 부위에 대한 위치 좌표를 컨트롤러에 기억시킨다.

상기한 과정이 완료되어 합착 장치를 동작시키게 되면, 통상의 로봇 아암(300) 등에 의해 진공 챔버 내의 각 스테이지(210,220)에 각각의 기판(510,520) 로딩이 수행된다.

이후, 상기 과정이 완료되면 진공 챔버(110) 내부는 외부와 밀폐된 상태를 이루게 되며, 이의 상태는 도시한 도 5와 같다.

그리고, 상기한 과정에 의해 진공 챔버(110) 내부가 완전한 진공 상태를 이루면 컨트롤러(도시는 생략함)는 각 구동 모터(312,322)를 구동시켜 상부 스테이지(210)에 연결된 각각의 이동축(311,321)을 하향 이동시킨다.

이 때, 상기 컨트롤러가 각 구동 모터(312,322)를 구동시킴에 있어서, 미리 기억되어 있던 각 스테이지(210,220)의 특정 부위에 대한 편차 정도(s)를 확인하여 상기 편차 정도에 대한 보상값(R)을 계산하고, 편차 위치를 확인하여 상기 편차 위치를 가압하는 특정 보조 가압수단(320)의 가압력 설정시 상기 계산된 보상값(R)을 보상하여 주게 된다.

이 때, 상기 보상값의 계산 및 보상 방법은 해당 작업을 수행할 수 있는 프로그램을 이용하거나 작업자에 의한 수동 계산 및 조작을 이용하여 수행할 수 있음에 따라 그 구체적인 설명은 생략하도록 한다.

그리고, 상기한 합착 과정이 수행되는 도중 각 가압수단(310,320)에 장착된 각각의 로드셀(313,323)은 각 스테이지(210,220)간 가압 정도를 지속적으로 파악하여 이를 컨트롤러에 피드백하는 역할을 수행하게 되고, 각 구동 모터(312,322)는 상기 컨트롤러에 의한 차등적인 가압의 수행을 위한 동작을 제어받아 구동하면서 각 이동축(311,321)을 이동시키게 된다.

예컨대, 상부 스테이지(210)의 특정 모서리 부위가 여타의 부위에 비해 2㎜ 정도의 편차를 발생하였을 경우 컨트롤러(도시는 생략함)는 해당 모서리 부위에 설치된 보조 가압수단(320)에 상기 2㎜에 대응하는 힘을 추가적으로 보상하여 셋팅함으로써 상기 모서리 부위가 여타의 부위에 비해 2㎜를 더 가압할 수 있도록 하는 것이다.

이와 함께, 상기한 특정 보조 가압수단(320)의 보상 작업이 완료되면 상기 보상 작업을 통해 보상된 셋팅값에 따른 각 가압수단(310,320)의 각 구동 모터(312,322)의 구동이 수행되면서 각 기판(510,520)간 합착을 수행하게 되고, 이의 과정 중 가압력의 보상이 이루어진 특정 보조 가압수단(320)은 상기 보상된 가압력 만큼 추가로 가압함으로써 해당 부위의 합착 정도를 높이게 된다.

즉, 보정이 이루어진 부위를 가압하는 어느 하나의 보조 가압수단(320)을 제외한 여타의 각 가압수단은 기 설정된 힘으로의 가압이 완료되어 더 이상의 가압이 이루어지지 않더라도, 상기 보정이 이루어진 부위를 가압하는 어느 하나의 가압수단은 계속적인 가압을 수행하면서 해당 부위의 합착을 계속적으로 수행하게 되며, 이의 상태는 도시한 도 6과 같다.

만일, 편차가 발생된 부위가 어느 한 보조 가압수단(320)이 위치된 부위와 정확히 대응되지 않고, 상기 어느 한 보조 가압수단이 위치된 부위와 다른 한 보조 가압 수단이 위치된 부위 사이일 경우 상기한 각각의 보조 가압수단이 가지는 셋팅값을 보상해 줌으로써 원활한 합착이 진행될 수 있도록 하게 됨은 이해 가능하다.

한편, 본 발명에 따른 각 가압수단(310,320)의 구성은 반드시 합착 장치에만 적용할 수 있는 것은 아니다.

즉, 통상의 기판간 합착 공정을 수행하는 합착 장치가 아니라 합착 공정이 완료된 후 추가적인 가압(특히, 특정 부위의 추가적인 가압)을 재차적으로 수행하는 별도의 장비에 적용할 수도 있다.

또한, 본 발명은 반드시 각 스테이지(210,220)의 특정 부위 편차에 대한 보상만을 수행하게 되는 것만은 아니며, 씨일재가 도포된 영역 등과 같이 여타 부위에 비해 더 강한 힘으로 가압이 필요시 되는 부위를 차등적으로 가압할 수 있음에 따라 합착 불량을 미연에 차단할 수 있도록 한다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명 액정표시소자의 합착 장치에 따른 구성에 의해 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.

장비의 계속적인 구동에 의해 각 스테이지(특히, 상부 스테이지)의 위치 편차가 발생되거나 또는, 특정 부위의 마모가 발생되었을 경우 이의 보상이 자동적으로(혹은, 작업자에 의한 수동적으로) 수행된 상태에서 합착 공정이 수행될 수 있도록 함으로써 항상 균일한 합착 정도를 얻을 수 있게 된 효과가 있다.

즉, 본 발명은 특정 스테이지의 어느 한측 부위가 여타의 부위와 편차가 발생되더라도 상기 편차가 발생된 부위에 대한 가압력의 보상이 이루어지도록 함으로써 전체적으로 균일한 기판간 합착이 이루어질 수 있게 된 것이다.

특히, 본 발명은 씨일재가 도포된 부위와 같이 여타 부위에 비해 추가적인 가압력이 필요시 되는 부위만을 선택적으로 추가 가압할 수 있게 됨으로써 합착 불량이 발생될 수 있는 부위의 합착 보상이 가능하여 기판간 합착 불량을 미연에 방지할 수 있게 된 효과가 있다.

Claims (8)

1. 각 기판간 합착 공정이 수행되는 진공 챔버와;

   상기 진공 챔버 내의 상측 공간과 하측 공간에 대향 설치된 상부 스테이지 및 하부 스테이지와;

   어느 한 스테이지의 중앙측 부위에 장착되어 가압력을 부여하는 주 가압수단과;

   상기 어느 한 스테이지에 연결되어 각 기판의 씨일재가 도포된 영역과 대응하는 부위에 가압력을 제공하되 상기 어느 한 스테이지의 마모 정도에 따라 차등적인 압력을 제공하며, 어느 한 스테이지의 주변 부위에 연결되어 상하 이동하는 둘 이상의 이동축과; 상기 각 이동축에 각각 연결되어 각 이동축으로 전달되는 가압력을 그 필요에 따라 변동될 수 있도록 하는 로드셀; 그리고, 상기 각 이동축에 각각 결합되어 상기 이동축을 상하 이동시키는 구동 모터:를 포함하는 다수의 보조 가압수단과;

   각 스테이지의 서로 대향되는 면의 마모 여부를 확인하기 위한 평탄도 측정수단과;

   상기 평탄도 측정 수단을 통해 마모된 부위에서의 편차 정도 및 편차 부위에 대한 위치 좌표에 대한 정보를 공급받고, 이 정보에 근거하여 상기 각 구동모터의 구동을 제어하는 컨트롤러를 포함함을 특징으로 하는 액정표시소자의 합착 장치.
2. 삭제
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 주 가압수단은

   어느 한 스테이지의 중앙 부위에 연결되어 상하 이동하는 이동축과;

   상기 이동축에 축결합되어 상기 이동축을 상하 이동시키는 구동 모터:를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자의 합착 장치.
4. 제 3 항에 있어서,

   상기 주 가압수단의 이동축에는

   상기 이동축으로 전달되는 가압력을 그 필요에 따라 변동될 수 있도록 하는 로드셀이 더 포함되어 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자의 합착 장치.
5. 삭제
6. 제 1 항에 있어서,

   상기 보조 가압수단은

   각 스테이지의 상면 혹은, 저면의 주변 부위에 최소 둘 이상 서로 대응되는 위치에 각각 설치하여 구성함을 특징으로 하는 액정표시소자의 합착 장치.
7. 삭제
8. 제 1 항에 있어서,

   상기 평탄도 측정수단은

   각종 위치 센싱용 센서나, 다이얼 게이지 또는, 감압지와 같은 특정 부위의 평면 여부를 감지하기 위한 장치로 구성함을 특징으로 하는 액정표시소자의 합착 장치.

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