KR101586623B1

KR101586623B1 - 진공챔버 합착 스테이지 보정장치

Info

Publication number: KR101586623B1
Application number: KR1020150081080A
Authority: KR
Inventors: 신용욱; 장재혁; 손세헌; 안치홍
Original assignee: 주식회사 톱텍
Priority date: 2015-06-09
Filing date: 2015-06-09
Publication date: 2016-01-20

Abstract

본 발명은 후 보정검사를 통해 얻어진 기 합착된 디스플레이패널의 합착 데이터 값을 토대로 제1,2기판 합착 전 어느 하나의 기판의 정렬상태가 보정되도록 하는 진공챔버 합착 스테이지 보정장치에 관한 것으로, 상기 제1기판과 제2기판 중 어느 하나의 기판이 흡착 지지되는 상부가 개방된 하부챔버의 상부에 배치되며, 다른 하나의 기판이 안착되는 적어도 하나의 스테이지가 구비된 상태로 상하 반전과 승강을 통해 상기 하부챔버와 선택적으로 결합되어 상기 제1기판과 제2기판이 합착되는 진공챔버를 형성하는 상부챔버; 및 상기 상부챔버의 상측에 설치되며, 다른 하나의 기판의 합착방향이 보정되도록 상기 스테이지를 록킹한 상태로 X-Y-θ 방향으로 이동시켜 상기 스테이지를 보정하는 스테이지보정부;를 포함하여 구성되어 있다.

Description

진공챔버 합착 스테이지 보정장치{Apparutus for aligning stage for bonding pannel in vacuum chamber}

본 발명은 진공챔버 합착 스테이지 보정장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 후 보정검사를 통해 얻어진 기 합착된 디스플레이패널의 합착 데이터 값을 토대로 제1,2기판 합착 전 어느 하나의 기판의 정렬상태가 보정되도록 함으로써 디스플레이패널의 합착상태에 대한 신뢰성이 향상되도록 하여 제품의 하자가 발생되는 것을 방지하는 진공챔버 합착 스테이지 보정장치에 관한 것이다.

일반적으로 OLED(organic light emitting diode display), LCD(liquid crystal display) 및 PDP(plasma display panel)를 비롯한 다양한 디스플레이장치는 보통 복층 구조로 이루어져 있어서 제조시 진공 상태에서 기판을 서로 합착하는 합착공정을 거치게 된다.

예컨대, 디스플레이장치를 구성하는 유리기판들 간의 합착, 패널과 유리기판의 합착 및 복수의 TFT(Thin Film Transistor)가 매트릭스형으로 형성된 어레이 기판과 컬러필터 기판 간의 합착 등을 비롯하여 다양한 종류의 기판 합착 공정이 이루어진다.

또한, 최근에는 디스플레이장치에 좀더 다양한 기능을 부가하기 위해 LCD 모듈(이하 'LCM'이라 함)에 EGIP(Electric graphic input panel) 또는 터치패널(touch pannel)이라고도 하는 디지타이저(digitizer)를 합착하기도 한다.

한편, 유기기판, 패널, LCD 모듈 및 터치 패널(혹은 터치 윈도우)과 같은 다양한 기판들을 서로 합착하는 장치는 한국공개특허 제2007-0113843호, 한국등록특허 제0994718호, 한국등록특허 제1073558호 및 한국등록특허 제0499571호 등에서 다양하게 제안되고 있다.

상기와 같은 종래의 기술들은 진공챔버의 하부 스테이지에 제1기판(패널 또는 윈도우)을 올려놓고, 상부 스테이지의 고정용 척(chuck)에 제2기판(윈도우 또는 패널)을 고정한 상태에서 제1기판을 직상부로 상승시키거나 혹은 제2기판을 직하부로 하강시켜 서로 밀착시켜 합착하는 방식을 사용하였다.

그러나, 상기의 기술들은 합착 전 기판의 정렬을 위한 수단으로 기판의 정렬상태를 감지하기 위한 비젼이 각 기판이 안착되는 인접위치에 설치됨에 따라 비젼과 그에 따른 시스템이 추가되어 결국 비용 및 장비가 커지게 되는 치명적인 문제를 갖는다.

이는, 각 기판의 정렬상태가 합착 전에 정교하게 이루어지지 않을 경우 기판들의 합착 방향 불일치에 의해 얼라인 불량, 수지 오버플로우 및 기포발생 등과 같이 제품의 신뢰성 저하를 유발시키는 하자가 발생하기 때문이다. 만일, 진공챔버가 복수개인 경우 대응하는 비젼과 시스템이 추가됨은 물론일 것이다.

또한 비젼을 통한 기판의 보정을 위해 작업자가 직접 지그 또는 스테이지의 위치를 보정하기 때문에 정밀도를 높이기 위한 작업시간이 증가하는 문제가 있다.

국내공개특허 제2007-0113843호 국내등록특허 제0994718호 국내등록특허 제1073558호 국내등록특허 제0499571호

본 발명은 상기와 같은 문제점 및 기술적 편견을 해소하기 위해 안출된 것으로, 후 보정검사를 통해 얻어진 기 합착된 디스플레이패널의 합착 데이터 값을 토대로 제1,2기판 합착 전 어느 하나의 기판의 정렬상태가 보정되도록 함으로써 디스플레이패널의 합착상태에 대한 신뢰성이 향상되도록 하여 제품의 하자가 발생되는 것을 방지하는 진공챔버 합착 스테이지 보정장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 스테이지 보정장치는, 제1기판과 제2기판이 합착된 디스플레이패널의 합착상태를 후 보정검사를 통한 데이터 값을 토대로 상기 제1기판과 제2기판 중 어느 하나의 기판의 합착방향이 보정되도록 하는 진공챔버 합착 스테이지 보정장치에 있어서, 상기 제1기판과 제2기판 중 어느 하나의 기판이 흡착 지지되는 상부가 개방된 하부챔버의 상부에 배치되며, 상기 다른 하나의 기판이 안착되는 적어도 하나의 스테이지가 구비된 상태로 상하 반전과 승강을 통해 상기 하부챔버와 선택적으로 결합되어 상기 제1기판과 제2기판이 합착되는 진공챔버를 형성하는 상부챔버; 및 상기 상부챔버의 상측에 설치되며, 상기 다른 하나의 기판의 합착방향이 보정되도록 상기 스테이지를 록킹한 상태로 X-Y-θ 방향으로 이동시켜 상기 스테이지를 보정하는 스테이지보정부;를 포함하여 구성된다.

이때, 상기 스테이지는, 상기 상부챔버의 개방된 내측으로 고정수단에 의해 유동가능하게 안착되는 지그; 상기 지그의 상부면에 고정되며, 상기 다른 하나의 기판이 흡착된 상태로 안착되도록 복수개의 흡착홀이 형성된 편평한 면으로 이루어진 안착블럭; 상기 안착블럭의 일측에 이동가능하게 설치되며, 상기 안착블럭에 안착된 상기 다른 하나의 기판을 상기 보정된 상기 스테이지의 방향과 일치되도록 푸쉬하는 기판정렬수단; 및 상기 지그의 상부로 돌출되게 구비되며, 상기 스테이지보정부와 록킹될 수 있도록 상부가 편평한 접촉면을 갖는 스틸재질로 이루어진 복수개의 록킹부재;로 구성된 것이 바람직하다.

또한, 상기 고정수단은, 지그의 상면에 구비되며, 상기 지그를 관통하여 하측방향으로 출몰하는 로드와, 상기 로드의 선단에 로드의 직경보다 큰 직경으로 돌출되게 형성된 걸림고리로 이루어진 고정실린더; 및 상기 고정실린더의 하방으로 배치되며, 상기 상부챔버의 바닥에 삽입고정된 원통의 몸체와, 상기 걸림고리가 몸체 내부로 수용되도록 몸체를 관통하여 형성된 개구공과, 상기 로드만이 몸체를 관통하여 출몰하도록 상기 로드의 직경 보다 큰 직경을 갖는 관통공이 형성되고 상기 걸림고리는 상기 몸체에 걸리도록 상기 개구공의 상측 일부를 폐쇄하여 형성한 걸림단이 형성된 고정구;로 구성된 것이 바람직하다.

더하여, 상기 기판정렬수단은, 상기 안착블럭의 양측에 X축 방향으로 L/M가이드를 타고 각각 이동가능하게 설치되어 상기 안착블럭에 안착되는 상기 다른 하나의 기판 양측을 푸쉬하는 적어도 하나의 X축푸쉬블럭이 구비된 X축푸쉬바; 상기 안착블럭의 Y축 방향으로 L/M가이드를 타고 이동가능하게 설치되어 상기 안착블럭에 안착되는 상기 다른 하나의 기판 일측을 푸쉬하는 적어도 하나의 Y축푸쉬블럭이 구비된 Y축푸쉬바;로 구성된 것이 바람직하다.

한편, 상기 상부챔버가 상하 반전 및 승강이 이루어지도록, 상기 상부챔버의 양측으로 각각 축 결합되어 상기 상부챔버가 상하 반전 되도록 하는 한 쌍의 지지블럭; 어느 하나의 상기 지지블럭 일측으로 구비되어 상기 상부챔버를 상하 반전시키는 반전모터; 상기 한 쌍의 지지블럭을 각각 수용한 상태로 상기 상부챔버의 양측에 배치되어 상기 지지블럭을 승강 가능하게 지지하는 한 쌍의 지지프레임; 및 상기 한 쌍의 지지프레임 하부에 설치되며, 상기 지지블럭의 저면과 결합된 승강로드의 승강에 의해 상부챔버를 승강시키는 승강실린더;로 구성된 것이 바람직하다.

이때, 상기 스테이지는 상기 상부챔버의 상면과 하면에 각각 배치되는 것이 바람직하다.

그리고, 상기 스테이지보정부는, 상기 상부챔버의 상측에 X축 방향으로 소정의 길이로 배치된 X축겐트리프레임; 상기 X축겐트리프레임에 이동가능하게 설치되며, 하강을 통해 상기 스테이지와 록킹된 상태로 X-Y-θ 방향으로 이동하면서 상기 스테이지의 보정위치를 제어하는 마운트헤드;로 구성된 것이 바람직하다.

또한, 상기 마운트헤드는, X축겐트리프레임에 이동가능하게 설치된 이송판의 단부에 L/M가이드로 결합되어 구동모터에 의해 승강하는 승강부재; 판상으로 상기 승강부재의 하부로 이격되게 배치되며, 내측에 상기 스테이지의 상기 복수개의 록킹부재와 전원인가에 의한 자력으로 록킹되는 전자석이 구비된 보정플레이트; 상기 승강부재에 고정된 상태로 상기 보정플레이트의 상측에 배치되며, 상기 보정플레이트가 X-Y-θ 방향으로 이동할 수 있도록 구동력을 부여하는 UVW구동장치; 및 상기 승강부재에 구비되어 하강시 상기 지그에 형성된 얼라인마크를 인식하는 비젼;으로 구성된 것이 바람직하다.

더하여, 상기 전자석은 상기 보정플레이트를 관통한 상태로 설치되며, 상기 록킹부재와 록킹을 위해 접촉될 때 충격이 흡수될 수 있도록 탄성부재에 의해 지지되는 것이 바람직하다.

마지막으로, 상기 X축겐트리프레임에는 상기 X축겐트리프레임에 이동가능하게 설치되어 상기 상부챔버의 상기 스테이지로 상기 다른 하나의 기판을 공급하는 공급척이 더 구비된 것이 바람직하다.

상기와 같은 구성을 가진 본 발명의 진공챔버 합착 스테이지 보정장치는, 후 보정검사를 통해 얻어진 기 합착된 디스플레이패널의 합착 데이터 값을 토대로 제1,2기판 합착 전 어느 하나의 기판의 정렬상태가 보정되도록 함으로써 디스플레이패널의 합착상태에 대한 신뢰성이 향상되도록 하는 데 탁월한 효과가 있다.

또한, 디스플레이패널의 신뢰성이 개선됨에 따라 적용되는 제품의 하자 발생이 방지되는 또 다른 효과가 있다.

또한, 종래와 같이 보정이 작업자에 의해 이루어지지 않고, 기판이 안착되는 스테이지 자체를 이동시켜 기판의 보정이 자동으로 이루어지도록 함으로써 합착에 대한 정밀도가 향상되는 월등한 효과가 있다.

도 1은 본 발명에 따른 스테이지 보정장치를 나타낸 사시도이고,
도 2는 본 발명에 따른 스테이지 보정장치의 구성중 상부챔버를 나타낸 사시도이며,
도 3은 도 2 상부챔버의 요부단면도이고,
도 4는 본 발명에 따른 스테이지 보정장치의 구성중 스테이지를 나타낸 요부사시도이며,
도 5는 본 발명에 따른 스테이지 보정장치의 구성중 고정구를 나타낸 사시도이고,
도 6은 본 발명에 따른 스테이지 보정장치의 구성중 스테이지보정부를 나타낸 요부사시도이며,
도 7 및 도 8은 본 발명에 따른 스테이지 보정장치에 의해 기판이 합착되는 과장을 보여주는 참고도이다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예들을 첨부된 도면을 참고하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시 예들은 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 설명하는 실시 예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예들은 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 상세하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에 나타난 각 요소의 형상은 보다 분명한 설명을 강조하기 위하여 과장될 수 있다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

설명에 앞서, 본 발명은 LCM(LCD Module) 위에 TSM(touch screen module, '터치윈도우')을 합착하는데 적용되는 것을 예로 들어 설명한다.

그러나, 본 발명에 적용되는 '기판'은 LCM과 TSM은 물론, 유리기판, 다양한 디스플레이장치의 패널, 혹은 컬러필터 기판 역시 포함하는 것으로 정의한다.

본 실시예에서는 본 발명에 공급되는 제1기판을 LCM이라 하고, 제2기판을 TSM이라 하여 예를 들어 설명한다.

도 1 내지 도 8에 나타낸 바와 같이 본 발명의 진공챔버 합착 스테이지 보정장치(400)는, 제1기판(LCM)과 제2기판(TSM)이 합착된 디스플레이패널의 합착상태를 후 보정검사를 통한 데이터 값을 토대로 상기 제1기판(LCM)과 제2기판(TSM) 중 어느 하나의 기판의 합착방향이 보정되도록 하는 것으로, 상기 제1기판(LCM)과 제2기판(TSM) 중 어느 하나의 기판이 흡착 지지되는 상부가 개방된 하부챔버(190)의 상부에 배치되며, 상기 다른 하나의 기판이 안착되는 적어도 하나의 스테이지(200)가 구비된 상태로 상하 반전과 승강을 통해 상기 하부챔버(190)와 선택적으로 결합되어 상기 제1기판(LCM)과 제2기판(TSM)이 합착되는 진공챔버를 형성하는 상부챔버(100); 및 상기 상부챔버(100)의 상측에 설치되며, 상기 다른 하나의 기판의 합착방향이 보정되도록 상기 스테이지(200)를 록킹한 상태로 X-Y-θ 방향으로 이동시켜 상기 스테이지(200)를 보정하는 스테이지보정부(300);를 포함하여 구성되어 있다.

본 발명의 스테이지 보정장치(400)는 도시되지 않은 기판합착장치의 일측으로 배치되어 합착장치에 이동가능하게 구비된 하부챔버(190)의 상부로 상부챔버(100)가 배치되고, 상부챔버(100)의 상측방향으로 스테이지보정부(300)가 배치된다(도 1 참조).

이때, 본 발명의 스테이지 보정장치(400)는 제1기판과 제2기판이 합착된 디스플레이패널의 합착상태를 후 보정검사를 통한 데이터 값을 토대로 제1기판과 제2기판 중 어느 하나의 기판의 합착방향이 보정되도록 한다.

즉, 본 발명의 스테이지 보정장치(400)를 먼저 구동하여 디스플레이패널을 합착하고, 합착된 디스플레이패널을 도시하지 않은 별도의 검사장비를 통한 후 보정검사라는 과정을 거치도록 함으로써 제1기판(LCM)에 대한 제2기판(TSM)의 합착상태 데이터 값을 추출하며, 상기의 데이터 값을 토대로 제2기판(TSM)의 합착방향이 제1기판(LCM)과 매칭될 수 있도록 후술하는 스테이지(200)를 보정하는 것이다.

이때, 제1기판(LCM)이 제2기판(TSM)에 대해 기준이 되는 것은, 제1기판(LCM) 하부챔버(190)에 기계적인 수치로 배치됨에 따라 그 위치가 반드시 한정되기 때문이다.

이하 설명에서는, 제1기판(LCM)은 하부챔버(190)에 배치되고, 제2기판(TSM)은 상부챔버(100)에 배치되는 것으로 설명한다.

한편, 후 보정검사를 통해 추출된 데이터 값은 도시하지 않은 제어부로 송신되고, 데이터 값을 수신한 제어부는 상기의 테이터 값을 토대로 후술하는 상부챔버(100) 와 스테이지보정부(300)의 제어를 통해 상부챔버(100)의 스테이지(200)의 보정을 제어하게 된다.

상부챔버(100)는 제1기판(LCM)이 흡착된 상태로 내부에 지지되는 상부가 개방된 내략적인 사각 형상을 갖는 하부챔버(190)의 상부에 배치되어 있으며, 상기 하부챔버(190)의 형상과 대응하는 형상으로 내부에 제2기판(TSM)이 안착되는 적어도 하나의 스테이지(200)가 구비된 상태로 상하 반전과 승강을 통해 하부챔버(190)와 선택적으로 결합되어 제1기판(LCM)과 제2기판(TSM)이 합착될 수 있는 내부가 진공을 이루는 진공챔버를 형성한다.

여기서, 상부챔버(100)에는 진공챔버 형성시 내부가 진공상태가 될 수 있도록 압을 형성하기 위한 별도의 장치가 구비됨은 물론일 것이다.

본 실시예에서는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 상부챔버(100)의 일면 내측에 배치되는 스테이지(200)가 2개인 것으로 도시하고 있으나, 그 개수는 합착되는 기판의 크기에 따라 달라질 수 있기 때문에 반드시 한정하지는 않는다.

한편, 상부챔버(100)가 상하 반전 및 승강이 이루어지도록, 상부챔버(100)의 양측으로는 각각 축(110) 결합되어 상부챔버(100)가 상하 반전 되도록 하는 한 쌍의 지지블럭(120)이 구비되어 있다.

이때, 어느 하나의 지지블럭(120) 일측으로에는 내부적으로 상기의 축(110)과 기계적인 결합을 이룬 상태로 상부챔버(100)를 상하 반전시키는 반전모터(130)가 구비되어 있다.

그리고, 상부챔버(100)의 양측에는 한 쌍의 지지블럭(120)을 각각 수용한 상태로 상부챔버(100)의 양측에 배치되어 지지블럭(120)을 승강 가능하게 지지하는 한 쌍의 지지프레임(140)이 구비되어 있다.

또한, 한 쌍의 지지프레임(140)의 각 하부에는 지지블럭(120)의 저면과 결합된 승강로드(151)의 승강에 의해 상부챔버(100)를 승강시키는 승강실린더(150)가 설치되어 있다.

상기와 같은 지지블럭(120), 반전모터(130), 지지프레임(140) 및 승강실린더(150)는 상부챔버(100)가 하부챔버(190)의 상측방향으로 소정 간격으로 이격된 상태를 유지토록 함과 동시에 기판의 합착을 위한 진공챔버를 형성하기 위해 상부챔버(100)를 반전시키며, 반전된 상부챔버(100)를 하강 또는 상승시키는 역할을 한다(도 7 참조).

한편 도 3 내지 5에 도시된 바와 같이 상부챔버(100)의 내부로 구비된 제2기판(TSM)이 안착되는 스테이지(200)는, 지그(210)와, 안착블럭(220)과, 기판정렬수단(230) 및 록킹부재(240)로 구성된다.

지그(210)는 상부챔버(100)의 개방된 내측으로 고정수단(250)에 의해 유동가능하게 안착되는 사각형상으로 소정의 두께를 이루고 있다.

이때 고정수단(250)은 고정실린더(260)와 고정구(270)가 한 조를 이루도록 구성되어 있으며, 복수개의 고정수단(250)이 지그(210)에 설치된다.

고정실린더(260)는 지그(210) 상면의 각 코너에 구비되며 지그(210)를 관통하여 도면상 하측 방향으로 출몰하는 로드(261)와, 로드(261)의 선단에 로드(261)의 직경보다 큰 직경으로 돌출되게 형성된 원통형상의 걸림고리(263)를 갖는 구조를 이루고 있다.

고정구(270)는 고정실린더(260)의 직 하방으로 배치된 상태로 상부챔버(100)의 바닥에 삽입고정된 원통의 몸체(271)와, 걸림고리(263)가 몸체(271) 내부로 수용되도록 몸체(271)를 관통하여 형성된 개구공(273)과, 로드(261)만이 몸체(271)를 관통하여 출몰하도록 로드(261)의 직경 보다 큰 직경을 갖는 관통공(275a)이 형성되고 걸림고리(263)는 몸체(271)에 걸리도록 개구공(273)의 상측 일부를 폐쇄하여 형성한 걸림단(275)이 형성된 구조를 이루고 있다.

이때, 걸림단(275)에 형성된 관통공(275a)의 직경이 로드(261)의 직경보다 큰 직경을 갖는 이유는, 후술하는 스테이지보정부(300)의 마운트헤드(370)를 통해 스테이지(200)의 지그(210) 방향이 X-Y-θ 방향으로 보정될 때 지그(210)가 유동할 수 있는 공간이 확보되도록 하기 위함인 것이고, 통상 지그(210)의 보정이 0.1mm~0.2mm 정도의 ±범위 내에서 이루어지기 때문에 관통공(275a)의 직경은 로드(261)의 직경보다 위의 범위를 충족할 수 있는 직경이면 된다.

상기와 같은 고정수단(250)은 도 4에 도시된 바와 같이, 지그(210)의 각 코너에 4개가 구비되어 고정실린더(260)의 구동을 통해 고정구(270)의 걸림단(275)에 걸림고리(263)가 걸리도록 함으로써 지그(210)의 위치를 고정시켜 상부챔버(100) 내에서의 지그(210)의 슬립을 방지시키고(도 5의 확대도), 반대로 후술하는 스테이지보정부(300)에 의해 지그(210)의 위치를 보정시키고자 하는 경우 고정실린더(260)의 구동을 통해 고정구(270)의 걸림단(275)으로부터 걸림고리(263)를 이격시킴으로써 지그(210)의 고정을 해제하여 지그(210)를 보정하고자 하는 만큼 유동시키면 된다. 이후, 지그(210)의 보정이 완료되면 고정실린더(260)를 구동시켜 걸림단(275)에 걸림고리(263)가 걸리도록 하여 지그(210)를 다시 고정시킨다.

안착블럭(220)은, 도 4와 같이 지그(210)의 상부면에 고정되며 다른 하나의 기판인 제2기판(TSM)이 흡착된 상태로 안착되도록 표면에 복수개의 흡착홀(221)이 형성된 편평한 면을 유지하고 있다.

이때, 안착블럭(220)은 지그(210)가 보정될 때 함께 보정된 상태를 이루도록 지그(210)와 일체를 이루게 고정된 상태이다.

기판정렬수단(230)은, 도 4와 같이 안착블럭(220)의 일측에 이동가능하게 설치되며 안착블럭(220)에 안착되는 다른 하나의 기판인 제2기판(TSM)을 후술하는 스테이지보정부(300)에 의해 보정된 스테이지(200)의 방향과 일치되도록 푸쉬하는 것으로, X축푸쉬바(231)와 Y축푸쉬바(235)로 구성되어 있다.

X축푸쉬바(231)는 안착블럭(220)의 양측에 도 4에 표기된 X축 방향으로 L/M가이드를 타고 각각 이동가능하게 설치되어 안착블럭(220)에 안착되는 다른 하나의 기판인 제2기판(TSM)의 양측을 푸쉬하는 것으로, 적어도 하나의 X축푸쉬블럭(233)이 구비되어 있다(도 4 참조).

Y축푸쉬바(235)는 안착블럭(220)의 일측인 도 4에 표기된 Y축 방향으로 L/M가이드를 타고 이동가능하게 설치되어 안착블럭(220)에 안착되는 다른 하나의 기판인 제2기판(TSM)의 일측을 푸쉬하는 것으로, 적어도 하나의 Y축푸쉬블럭(237)이 구비되어 있다.

이때, X축푸쉬블럭(233)과 Y축푸쉬블럭(237)은 제2기판(TSM)의 양측과 일측에 각각 접촉됨에 따라 표면이 탄성을 갖는 재질로 구성되는 물론일 것이다.

또한, X축푸쉬바(231)와 Y축푸쉬바(235)는 지지플레이트의 상면에 고정된 각 X축과 Y축으로 향하는 L/M가이드를 타고 안착블럭(220)의 일측과 양측으로 각각 이동가능 설치됨에 따라 결국 지그(210)의 보정시 지그(210)와 동일한 방향을 향하게 된다.

X축푸쉬바(231)와 Y축푸쉬바(235)는 도시하지 않은 별도의 구동원에 의해 L/M가이드를 타고 이동하게 된다.

상기와 같은 기판정렬수단(230)은, 지그(210)의 보정방향으로 함께 이동함에 따라 지그(210)의 보정이 완료된 상태에서 안착블럭(220)에 안착되는 제2기판(TSM)의 3면을 X축푸쉬바(231)와 Y축푸쉬바(235)를 통해 푸쉬(도 4 참조)하여 정렬시키기 때문에 정렬이 완료되면 제2기판(TSM)의 방향이 보정된 지그(210)의 방향과 일치하는 방향을 향하도록 한다.

록킹부재(240)는 도 4와 같이 지그(210)의 상부로 3개가 돌출되게 구비되며, 후술하는 스테이지보정부(300)의 마운트헤드(370)와 자력에 의해 록킹될 수 있도록 상부가 편평한 접촉면을 갖는 원통형상의 스틸재질로 이루어져 있다.

즉, 록킹부재(240)는 후 보정검사에 의해 추출된 데이터 값에 맞게 지그(210)가 후술하는 스테이지보정부(300)의 마운트헤드(370)를 통해 X-Y-θ 방향으로 이동하면서 보정될 수 있도록 지그(210)를 상부챔버(100)의 내부로부터 이격되게 하는 것이다. 이때, 고정수단(250)에 의한 지그(210)의 고정상태는 해제된 상태임이 물론일 것이다.

한편, 도 3과 같이 상부챔버(100)의 내측으로 구비되는 2개의 스테이지(200)는 상부챔버(100)의 상면과 하면에 각각 배치될 수도 있다.

이는, 상부챔버(100)의 상면과 하면에 각각 2개의 스테이지(200)를 구비함으로써 디스플레이패널의 합착 공정이 상하 반전을 통해 이루어짐에 따라 신속하고 계속적으로 이루어지도록 하기 위함이다.

본 실시예에서는 스테이지(200)가 상부챔버(100)의 상.하부에 구비되는 것으로 도시하고 있으나 스테이지(200)의 위치나 개수는 반드시 한정하지 않는다.

스테이지보정부(300)는 도 1, 도 3 및 도 6에 도시된 바와 같이, 상부챔버(100)의 상측에 설치되며, 다른 하나의 기판인 제2기판(TSM)의 합착방향이 보정되도록 스테이지(200)를 록킹한 상태로 X-Y-θ 방향으로 이동시켜 스테이지(200)를 보정하는 것으로, 상부챔버(100)의 상측에 X축 방향으로 소정의 길이로 배치된 X축겐트리프레임(310)과, X축겐트리프레임(310)에 이동가능하게 설치되어 하강을 통해 스테이지(200)와 록킹된 상태로 X-Y-θ 방향으로 이동하면서 스테이지(200)의 보정위치를 제어하는 마운트헤드(370)로 구성되어 있다.

즉, 스테이지보정부(300)가 스테이지(200)의 구성중 하나인 지그(210)의 위치를 보정하여 스테이지(200) 전체가 보정되도록 함으로써 안착블럭(220)에 안착되는 제2기판(TSM)의 위치가 자동으로 보정되게 하는 것이다.

이때 마운트헤드(370)는 도 6과 같이 승강부재(320)와, 보정플레이트(330)와, UVW구동장치(340) 및 비젼(350)으로 구성된다.

승강부재(320)는 하부의 상부챔버(100) 방향으로 소정길이를 갖는 상태로 X축겐트리프레임(310)에 이동가능하게 설치된 이송판(360)의 단부에 L/M가이드로 결합되어 구동모터(321)에 의해 상부챔버(100) 방향으로 승강한다.

보정플레이트(330)는 판상으로 소정의 넓이를 유지한 상태로 승강부재(320)의 하부로부터 이격되게 배치되며, 판상의 내측에 스테이지(200)에 구비된 복수개의 록킹부재(240)와 전원 인가에 의한 자력으로 록킹되는 복수개의 전자석(331)이 구비되어 있다.

이때, 전자석(331)은 보정플레이트(330)를 관통한 상태로 설치되며, 록킹부재(240)와 록킹을 위해 접촉될 때 충격이 흡수될 수 있도록 탄성부재(333)에 의해 지지되는 것이 바람직하다.

이 경우, 탄성부재(333)는 도 6에 도시된 바와 같은 압축코일스프링으로 사용되며, 압축코일스프링의 일단은 전자석(331)의 상단과 연결되고 하단은 보정플레이트(330)에 연결되게 설치되는 것이 바람직하다.

한편, 전자석(331)은 지그(210)에 구비된 록킹부재(240)의 위치 및 개수와 대응되게 설치되는 것이 바람직하다.

UVW구동장치(340)는 고정브라켓(343)을 통해 승강부재(320)에 고정된 상태로 보정플레이트(330)의 상측에 배치되며, 보정플레이트(330)가 X-Y-θ 방향으로 이동할 수 있도록 구동력을 부여하게 된다.

이때, UVW구동장치(340)에는 UVW구동장치(340)가 보정플레이트(330)의 상면과 이동가능하게 연결된 상태에서 보정플레이트(330)를 X-Y-θ 방향으로 이동시킬 수 있도록 보정플레이트(330)를 X축과 Y축 및 θ방향으로 밀거나 회전시키기 위한 복수개의 구동실린더(341)가 구비되어 있다. 상기의 UVW구동장치(340)는 이미 공지되어 산업의 여러 분야에서 적용되고 있는바 자세한 설명은 생략하기로 한다.

따라서, UVW구동장치(340)는 제어부(미도시)의 제어에 따라 후 보정검사를 통해 추출된 제2기판(TSM)이 보정되어야 하는 데이터 값 만큼 보정플레이트(330)를 X-Y-θ방향으로 이동 시킨다.

비젼(350)은 승강부재(320)에 구비되어 하강시 지그(210)에 형성된 얼라인마크(213)를 인식하는 것으로, 지그(210)에 형성된 얼라인마크(213)의 이동전과 후의 거리편차를 연산하여 지그(210)의 보정이 정확하게 이루어졌는지를 인식한다.

한편, X축겐트리프레임(310)에는 X축겐트리프레임(310)에 이동가능하게 설치되어 상부챔버(100)의 스테이지(200)로 다른 하나의 기판인 제2기판(TSM)을 공급하는 공급척(380)이 더 구비될 수도 있다.

이하, 첨부된 도 1 내지 8을 참조하면서 본 발명의 스테이지 보정장치(400)에 의해 스테이지(200)가 보정되는 과정을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 도시되지 않은 기판합착장치에서 플라즈마 공정과 레진도포 공정을 각각 거친 제1기판(LCM)과 제2기판(TSM)은 하부챔버(190)와 상부챔버(100)에 안착된다.

이때, 제1기판(LCM)은 하부챔버(190)에 안착되고, 제2기판(TSM)은 상부챔버(100)에 안착되며, 상기의 상태에서 상부챔버(100)가 회전 반전된 상태로 하강하면서 하부챔버(190)와 결합되어 진공챔버를 형성하여 제1기판(LCM)과 제2기판(TSM)을 합착시켜 디스플레이패널을 완성한다(도 7 및 8 참조).

이렇게 합착이 완료된 디스플레이패널은 별도로 마련된 후 보정검사를 거치도록 하여 제1기판(LCM)에 대한 제2기판(TSM)의 합착방향 데이터 값을 추출한다.

데이터 값은 제어부(미도시)로 송신되고, 제어부는 데이터 값이 기 설정된 값을 만족하지 못하는 경우 상부챔버(100)의 제2기판(TSM)이 안착되는 스테이지(200)의 방향을 데이터 값과 일치되게 보정될 수 있도록 스테이지보정부(300)의 마운트헤드(370)를 제어하게 된다.

스테이지(200)의 보정과정은,

먼저, 스테이지(200)의 현재상태는 후 보정검사를 거친 디스플레이패널을 먼저 합착한 상태로 고정수단(250)에 의해 상부챔버(100)에 고정된 상태이다.

상기와 같은 상태에서, 스테이지보정부(300)의 마운트헤드(370)가 기 설정된 상부챔버(100)의 상측으로 이동하고, 이동된 상태에서 구동모터(321)의 구동을 통해 승강부재(320)를 스테이지(200)를 향해 하강한다(도 3 참조).

이때, 승강부재(320)의 하강은 비젼(350)이 스테이지(200)의 지그(210)에 형성된 얼라인마크(213)를 인식(촬영)할 수 있는 거리인 지그(210)와 비젼(350) 사이의 110mm까지 1차하강 한다.

1차하강이 완료되면 비젼(350)은 얼라인마크(213)를 인식(촬영)하여 지그(210)의 현재방향을 통한 스테이지(200)의 현재상태를 파악한다.

이후, 마운트헤드(370)는 보정플레이트(330)의 전자석(331)과 록킹부재(240)가 접촉될 때까지 2차하강을 하게 된다(도 4 참조).

이때, 전자석(331)의 탄성부재(333)는 전자석(331)과 록킹부재(240)가 접촉되는 과정에서 인장되면서 록킹부재(240)와의 접촉에 따른 전자석(331)의 충격을 완화시킨다.

전자석(331)과 록킹부재(240)가 접촉이 완료되면, 전자석(331)으로 전원이 인가되면서 전자석(331)과 록킹부재(240)가 서로 록킹된 상태를 이루도록 한다.

이와 함께, 지그(210)에 구비된 복수개 고정수단(250)의 고정실린더(260)가 동시에 구동하면서 걸림단(275)에 밀착되게 걸려있는 걸림고리(263)를 이격시켜 지그(210)의 고정상태를 해제시킨다.

이렇게 되면, 지그(210)는 마운트헤드(370)와 서로 록킹된 상태로 상부챔버(100)로부터 유동가능한 자유로워 진다.

상기의 상태에서, 마운트헤드(370)의 UVW구동장치(340)는 지그(210)의 방향이 후 보정검사를 통해 추출된 데이터 값과 일치할 수 있도록 도 4에 표시된 화살표방향을 따라 지그(210)를 X-Y-θ 방향으로 이동시면서 방향을 보정 한다.

상기의 과정을 통해 지그(210)의 방향이 보정되면, 도 3의 확대된 도면에 도시된 바와 같이 고정수단(250)의 고정실린더(260)가 동시에 구동하면서 고정구(270)의 걸림단(275)에 걸림고리(263)를 밀착시켜 지그(210)의 보정된 상태를 고정시킨다.

이와 함께, 전자석(331)에 인가된 전원을 차단함으로써 전자석(331)과 록킹부재(240)의 록킹을 해제한다.

이후, 승강부재(320)는 구동모터(321)에 의해 1차하강 위치로 상승하게 되고, 상기의 상태에서 지그(210)의 얼라인마크(213)를 다시 인식(촬영)한다. 이는, 지그(210) 보정 전의 얼라인마크(213)와 보정 후의 얼라인마크(213)에 대한 포인트의 거리편차를 연산하여 지그(210)의 위치가 정확하게 보정되었는지를 확인하기 위해서이다.

만일, 추출된 데이터 값 대비 지그(210)의 보정이 덜 이루어졌다면, 데이터 값과 보정된 값 만큼의 거리편차를 확인하여 앞서 서술된 보정과정을 다시 거치면서 나머지 거리만큼 지그(210)의 재 보정이 이루어지며, 상기의 과정은 데이터 값과 지그(210)의 보정된 상태가 일치할 때까지 계속적으로 이루어지게 된다.

반면, 승강부재(320)의 1차하강 위치에서 지그(210)의 보정이 정확하게 이루어진 것으로 인식되면, 마운트헤드(370)는 승강부재(320)를 원위치로 상승시키면서 최초의 위치로 복귀하게 된다.

앞서 서술된 보정과정은 상부챔버(100)에 지그(210)가 복수개인 경우 반복적으로 이루어지면서 스테이지(200)의 위치를 보정하게 된다.

다음은 보정된 스테이지(200)로 제2기판(TSM)이 보정되게 안착되는 과정을 설명하기로 한다.

먼저, 기판정렬수단(230)의 X축푸쉬바(231)와 Y축푸쉬바(235)는 각각 안착블럭(220)으로부터 소정간격으로 이격되게 이동된 상태이다.

상기와 같은 상태에서, 보정된 지그(210)의 안착블럭(220)에 제2기판(TSM)이 공급되어 안착된다.

이때, 제2기판(TSM)은 흡착홀(221)을 통해 석션이 이루어지지 않은 상태이기 때문에 안착블럭(220) 상에서 자유로운 이동이 가능한 상태이다(도 4 참조).

제2기판(TSM)이 안착되면, X축푸쉬바(231)와 Y축푸쉬바(235)가 도시하지 않은 별도의 구동원에 의해 동시에 안착블럭(220)을 향해 이동하게 되고, 이 과정에서 X축푸쉬바(231)의 X축푸쉬블럭(233)과 Y축푸쉬바(235)의 Y축푸쉬블럭(237)이 제2기판(TSM)의 일측과 양측을 푸시하게 된다.

기판정렬수단(230)의 푸쉬는 해당하는 기판의 사이즈에 해당하는 폭 만큼 이루어지게 된다.

기판정렬수단(230)의 푸쉬가 완료되면, 제2기판(TSM)은 지그(210)의 보정방향과 대응하는 방향으로 자동 보정된 상태를 이루게 된다. 이는 앞서 서술된 사항이지만 지그(210)와 안착블럭(220)이 결합에 의해 일체화된 상태이기 때문이다.

따라서, 공급되는 제2기판(TSM)이 다른 정렬상태를 가지더라도 기판정렬수단(230)의 푸쉬에 의해 지그(210)의 보정된 방향으로 재정렬되도록 하는 것이다.

상기와 같이 제2기판(TSM)이 보정되면, 상부챔버(100)는 상하 반전과 하강을 통해 하부챔버(190)와 결합되면서 진공챔버를 형성하여 보정된 디스플래이패널을 합착하게 된다(도 7 및 8 참조).

지금까지 서술된 바와 같이 본 발명의 스테이지 보정장치는, 후 보정검사를 통해 얻어진 기 합착된 디스플레이패널의 합착 데이터 값을 토대로 제1,2기판 합착 전 어느 하나의 기판의 정렬상태가 보정되도록 함으로써 디스플레이패널의 합착상태에 대한 신뢰성이 향상되도록 하는 데 탁월한 효과가 있다.

이상, 본 발명의 스테이지 보정장치를 바람직한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 설명하였으나, 이는 발명의 이해를 돕고자 하는 것일 뿐 발명의 기술적 범위를 이에 한정하고자 함이 아님은 물론이다.

즉, 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 않고도 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 다양한 변형이나 개조가 가능함은 물론이고, 그와 같은 변경이나 개조는 청구범위의 해석상 본 발명의 기술적 범위 내에 있음은 말할 나위가 없다.

100 : 상부챔버 110 : 축
120 : 지지블럭 130 : 반전모터
140 : 지지프레임 150 : 승강실린더
151 : 승강로드 190 : 하부챔버
200 : 스테이지 210 : 지그
213 : 얼라인마크 220 : 안착블럭
221 : 흡착홀 230 : 기판정렬수단
231 : X축푸쉬바 233 : X축푸쉬블럭
235 : Y축푸쉬바 237 : Y축푸쉬블럭
240 : 록킹부재 250 : 고정수단
260 : 고정실린더 261 : 로드
263 : 걸림고리 270 : 고정구
271 : 몸체 273 : 개구공
275 : 걸림단 275a : 관통공
300 : 스테이지보정부 310 : X축겐트리프레임
320 : 승강부재 321 : 구동모터
330 : 보정플레이트 331 : 전자석
333 : 탄성부재 340 : UVW구동장치
341 : 구동실린더 343 : 고정브라켓
350 : 비젼 360 : 이송판
380 : 공급척 400 : 스테이지 보정장치

Claims

제1기판(LCM)과 제2기판(TSM)이 합착된 디스플레이패널의 합착상태를 후 보정검사를 통한 데이터 값을 토대로 상기 제1기판(LCM)과 제2기판(TSM) 중 어느 하나의 기판의 합착방향이 보정되도록 하는 진공챔버 합착 스테이지 보정장치(400)에 있어서,
상기 제1기판(LCM)과 제2기판(TSM) 중 어느 하나의 기판이 흡착 지지되는 상부가 개방된 하부챔버(190)의 상부에 배치되며, 다른 하나의 기판이 안착되는 적어도 하나의 스테이지(200)가 구비된 상태로 상하 반전과 승강을 통해 상기 하부챔버(190)와 선택적으로 결합되어 상기 제1기판(LCM)과 제2기판(TSM)이 합착되는 진공챔버를 형성하는 상부챔버(100); 및
상기 상부챔버(100)의 상측에 설치되며, 다른 하나의 기판의 합착방향이 보정되도록 상기 스테이지(200)를 록킹한 상태로 X-Y-θ 방향으로 이동시켜 상기 스테이지(200)를 보정하는 스테이지보정부(300);를 포함하며,
상기 스테이지(200)는, 상기 상부챔버(100)의 개방된 내측으로 고정수단(250)에 의해 유동가능하게 안착되는 지그(210)와; 상기 지그(210)의 상부면에 고정되며, 다른 하나의 기판이 흡착된 상태로 안착되도록 복수개의 흡착홀(221)이 형성된 편평한 면으로 이루어진 안착블럭(220)과; 상기 안착블럭(220)의 일측에 이동가능하게 설치되며, 상기 안착블럭(220)에 안착된 다른 하나의 기판을 보정된 상기 스테이지(200)의 방향과 일치되도록 푸쉬하는 기판정렬수단(230); 및 상기 지그(210)의 상부로 돌출되게 구비되며, 상기 스테이지보정부(300)와 록킹될 수 있도록 상부가 편평한 접촉면을 갖는 스틸재질로 이루어진 복수개의 록킹부재(240);로 구성된 것을 특징으로 하는 진공챔버 합착 스테이지 보정장치(400).
삭제
제1항에 있어서,
상기 고정수단(250)은,
지그(210)의 상면에 구비되며, 상기 지그(210)를 관통하여 하측방향으로 출몰하는 로드(261)와, 상기 로드(261)의 선단에 로드(261)의 직경보다 큰 직경으로 돌출되게 형성된 걸림고리(263)로 이루어진 고정실린더(260); 및
상기 고정실린더(260)의 하방으로 배치되며, 상기 상부챔버(100)의 바닥에 삽입고정된 원통의 몸체(271)와, 상기 걸림고리(263)가 몸체(271) 내부로 수용되도록 몸체(271)를 관통하여 형성된 개구공(273)과, 상기 로드(261)만이 몸체(271)를 관통하여 출몰하도록 상기 로드(261)의 직경 보다 큰 직경을 갖는 관통공(275a)이 형성되고 상기 걸림고리(263)가 상기 몸체(271)에 걸리도록 상기 개구공(273)의 상측 일부를 폐쇄하여 형성한 걸림단(275)이 형성된 고정구(270);로 구성된 것을 특징으로 하는 진공챔버 합착 스테이지 보정장치(400).
제1항에 있어서,
상기 기판정렬수단(230)은,
상기 안착블럭(220)의 양측에 X축 방향으로 L/M가이드를 타고 각각 이동가능하게 설치되어 상기 안착블럭(220)에 안착되는 다른 하나의 기판 양측을 푸쉬하는 적어도 하나의 X축푸쉬블럭(233)이 구비된 X축푸쉬바(231);
상기 안착블럭(220)의 Y축 방향으로 L/M가이드를 타고 이동가능하게 설치되어 상기 안착블럭(220)에 안착되는 다른 하나의 기판 일측을 푸쉬하는 적어도 하나의 Y축푸쉬블럭(237)이 구비된 Y축푸쉬바(235);로 구성된 것을 특징으로 하는 진공챔버 합착 스테이지 보정장치(400).
제1항에 있어서,
상기 상부챔버(100)가 상하 반전 및 승강이 이루어지도록,
상기 상부챔버(100)의 양측으로 각각 축(110) 결합되어 상기 상부챔버(100)가 상하 반전 되도록 하는 한 쌍의 지지블럭(120);
어느 하나의 상기 지지블럭(120) 일측으로 구비되어 상기 상부챔버(100)를 상하 반전시키는 반전모터(130);
상기 한 쌍의 지지블럭(120)을 각각 수용한 상태로 상기 상부챔버(100)의 양측에 배치되어 상기 지지블럭(120)을 승강 가능하게 지지하는 한 쌍의 지지프레임(140); 및
상기 한 쌍의 지지프레임(140) 하부에 설치되며, 상기 지지블럭(120)의 저면과 결합된 승강로드(151)의 승강에 의해 상부챔버(100)를 승강시키는 승강실린더(150);로 구성된 것을 특징으로 하는 진공챔버 합착 스테이지 보정장치(400).
제1항에 있어서,
상기 스테이지(200)는 상기 상부챔버(100)의 상면과 하면에 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 진공챔버 합착 스테이지 보정장치(400).
제1항에 있어서,
상기 스테이지보정부(300)는,
상기 상부챔버(100)의 상측에 X축 방향으로 소정의 길이로 배치된 X축겐트리프레임(310);
상기 X축겐트리프레임(310)에 이동가능하게 설치되며, 하강을 통해 상기 스테이지(200)와 록킹된 상태로 X-Y-θ 방향으로 이동하면서 상기 스테이지(200)의 보정위치를 제어하는 마운트헤드(370);로 구성된 것을 특징으로 하는 진공챔버 합착 스테이지 보정장치(400).
제7항에 있어서,
상기 마운트헤드(370)는,
X축겐트리프레임(310)에 이동가능하게 설치된 이송판(360)의 단부에 L/M가이드로 결합되어 구동모터(321)에 의해 승강하는 승강부재(320);
판상으로 상기 승강부재(320)의 하부로 이격되게 배치되며, 내측에 상기 스테이지(200)의 상기 복수개의 록킹부재(240)와 전원인가에 의한 자력으로 록킹되는 전자석(331)이 구비된 보정플레이트(330);
상기 승강부재(320)에 고정된 상태로 상기 보정플레이트(330)의 상측에 배치되며, 상기 보정플레이트(330)가 X-Y-θ 방향으로 이동할 수 있도록 구동력을 부여하는 UVW구동장치(340); 및
상기 승강부재(320)에 구비되어 하강시 상기 지그(210)에 형성된 얼라인마크(213)를 인식하는 비젼(350);으로 구성된 것을 특징으로 하는 진공챔버 합착 스테이지 보정장치(400).
제8항에 있어서,
상기 전자석(331)은 상기 보정플레이트(330)를 관통한 상태로 설치되며, 상기 록킹부재(240)와 록킹을 위해 접촉될 때 충격이 흡수될 수 있도록 탄성부재(333)에 의해 지지되는 것을 특징으로 하는 진공챔버 합착 스테이지 보정장치(400).
제7항에 있어서,
상기 X축겐트리프레임(310)에는 상기 X축겐트리프레임(310)에 이동가능하게 설치되어 상기 상부챔버(100)의 상기 스테이지(200)로 기판을 공급하는 공급척(380)이 더 구비된 것을 특징으로 하는 진공챔버 합착 스테이지 보정장치(400).