KR20040043205A - 액정표시소자용 기판 합착 장치 및 이를 이용한 평탄도보정 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (16)
- 외관을 이루는 베이스 프레임;상기 베이스 프레임에 장착되어 상호 결합되는 상부 챔버 유닛 및 하부 챔버 유닛;상기 상부 챔버 유닛을 상하 이동시키는 챔버 이동 수단;상기 각 챔버 유닛의 내측 공간에 각각 구비되어 한 쌍의 기판을 고정하는 상부 스테이지 및 하부 스테이지;적어도 어느 한 챔버 유닛의 면상에 구비된 밀봉수단;상기 상부 챔버 유닛에 구비되어 각 스테이지간의 평탄도를 정렬하기 위한 제1얼라인 수단; 그리고,상기 하부 챔버 유닛에 구비되어 각 스테이지에 고정되는 각 기판간의 위치 정렬을 수행하는 제2얼라인 수단:을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 제1얼라인 수단은일단이 상기 상부 챔버 유닛에 고정되어 이동축을 하향 이동시키는 다수의 리니어 액츄에이터와,상기 각 리니어 액츄에이터와 하부 챔버 유닛간의 접촉 여부를 센싱하는 센싱 수단을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치.
- 제 2 항에 있어서,센싱 수단은로드셀로 구성되고, 상기 로드셀은 상기 각 리니어 액츄에이터에 각각 구비됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치.
- 제 2 항에 있어서,센싱 수단은로드셀로 구성되고, 상기 로드셀은 상기 각 리니어 액츄에이터의 이동축이 접촉하는 하부 챔버 유닛의 상면에 각각 구비됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치.
- 제 2 항에 있어서,센싱 수단은각 리니어 액츄에이터의 이동축과 하부 챔버 유닛의 상면간 접촉 여부를 센싱하는 간격 확인용 센서로 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치.
- 제 2 항에 있어서,각 리니어 액츄에이터는상부 챔버 유닛의 네 모서리에 각각 하나씩 구비함을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치.
- 제 2 항에 있어서,각 리니어 액츄에이터의 이동축의 끝단이 접촉되는 상부 챔버 유닛의 상면에는 상기 이동축을 수용하는 수용홈을 각각 형성함을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치.
- 제 7 항에 있어서,상기 수용홈의 내면은각 리니어 액츄에이터의 이동축의 끝단 형상과 서로 대응된 형상을 가지면서 그 중앙측으로 갈수록 점차 하향 경사지게 형성됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 제2얼라인 수단은각 기판에 형성된 각 얼라인 마크를 관측하는 다수의 얼라인 카메라와,하부 챔버 유닛의 각 측면에 밀착된 상태로 회전 가능하게 구비된 다수의 캠그리고,상기 각 캠의 인접 부위에 구비되어 상기 캠에 의한 하부 챔버 유닛의 밀림 방향과는 반대 방향으로 복원력을 제공하는 다수의 복원 수단을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 상부 챔버 유닛은 외부 환경에 노출되는 상부 베이스 및 상기 상부 베이스의 저면에 고정됨과 더불어 그 내부는 임의의 공간을 가지는 사각테의 형상으로 이루어진 상부 챔버 플레이트를 포함하여 구성되고,상기 하부 챔버 유닛은 베이스 프레임에 고정된 하부 베이스 및 상기 하부 베이스의 상면에 전후 및 좌우 방향으로의 이동이 가능하게 장착되어 그 내부는 임의의 공간을 가지는 사각테의 형상으로 이루어진 하부 챔버 플레이트를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치.
- 제 1 항 또는, 제 10 항에 있어서,상기 상부 스테이지는 상기 상부 챔버 유닛의 상부 베이스에 고정되고,상기 하부 스테이지는 상기 하부 챔버 유닛의 하부 베이스에 고정됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 챔버 이동 수단은베이스 프레임에 고정된 구동 모터와,상기 구동 모터에 축결합된 구동축과,일단은 상부 챔버 유닛에 연결되고, 타단은 상기 구동축으로부터 구동력을 전달받도록 연결된 연결축과,상기 구동축과 상기 연결축을 연결하는 연결부 그리고,상기 연결축에 결합되는 쟈키를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치.
- 각 리니어 액츄에이터의 이동축을 하향 이동시키는 제1단계;상기 각 이동축을 하부 챔버 유닛의 상면에 접촉시키는 제2단계;상기 각 이동축의 접촉 순서를 확인하는 제3단계; 그리고,상기 접촉된 순서에 따른 각 이동축의 하향 이동 거리를 보정하는 제4단계:를 포함하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치의 평탄도 보정 방법.
- 제 13 항에 있어서,상기 제2단계는각 리니어 액츄에이터를 그 이동축이 하부 챔버 유닛의 상면에 접촉될 때 까지 계속 구동함으로써 수행됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치의 평탄도 보정 방법.
- 제 13 항에 있어서,상기 제2단계는상부 챔버 유닛을 상기 이동축이 하부 챔버 유닛의 상면에 접촉될 때 까지 계속 하향 이동시킴으로써 수행됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치의 평탄도 보정 방법.
- 제 13 항에 있어서,상기 제3단계는각 이동축의 접촉이 모두 동일하게 이루어지도록 그 하향 이동 거리를 보정하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치의 평탄도 보정 방법.
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