KR20210047519A - 디스플레이 라미네이션 장치 및 이를 이용한 지지 척 레벨링 방법 - Google Patents

디스플레이 라미네이션 장치 및 이를 이용한 지지 척 레벨링 방법 Download PDF

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Abstract

디스플레이 라미네이션 장치 및 이를 이용한 지지 척 레벨링 방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 디스플레이 라미네이션 장치는, 베이스 플레이트; 상기 베이스 플레이트의 일 측에 구비되고, 제1 패널이 안착 가능한 지지 척; 상기 제1 패널에 대향되도록 배치되는 제2 패널이 안착 가능한 지지 척을 가지는 스테이지; 상기 제2 패널이 상기 제1 패널에 가압 합착되도록 상기 스테이지를 승강 구동하는 구동부; 및 상기 베이스 플레이트와 상기 지지 척 사이에 개재되어 상기 지지 척에 가해지는 하중을 측정하는 로드셀을 포함할 수 있다.

Description

디스플레이 라미네이션 장치 및 이를 이용한 지지 척 레벨링 방법{DISPLAYE LAMINATING APPARATUS AND SUPPORT CHUCK LEVELING METHOD USING THE SAME}
본 발명은 디스플레이 라미네이션 장치 및 이를 이용한 지지 척 레벨링 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 디스플레이를 이루는 복수의 패널들간 평행한 상태에서 합착 가능한 디스플레이 라미네이션 장치 및 이를 이용한 지지 척 레벨링 방법에 관한 것이다.
디스플레이 장치는 발광 방식에 따라 액정 표시 장치(LCD, liquid crystal display)와 유기 발광 표시 장치(OLED, organic light emitting diode display), 플라즈마 표시 장치(PDP, plasma display panel) 등으로 나누어진다.
디스플레이 장치는 서로 다른 기능성 패널들로 이루어지고, 각 패널은 패널 사이에 접착층을 개재하여 합착한다.
도 1(a) 내지 도 1(d)는 종래 방식의 디스플레이 라미네이션 장치를 보여주고 있다.
종래 방식의 디스플레이 라미네이션 장치는 아래와 같은 방식으로 하중을 측정하였다. 도 1(a)에 도시된 대로 하중 측정이 필요한 지지 척 또는 스테이지에 대응되는 모양으로 프리스케일을 준비하고, 도 1(b)와 도 1(c)에 도시된 대로 하중을 측정할 부위에 프리스케일을 삽입해 압력을 가한다. 도 1(d)에 도시된 대로 압력이 제거된 상태에서 프리스케일 상의 농도차이를 하중 분포를 확인하는 방식으로 지지 척 또는 스테이지에 가해지는 하중을 측정하였다.
또한 한국등록공보(등록번호: 10-1170740, “기판 합착기”)는 스테이지 구동 수단의 구동에 의해 상부 스테이지의 하향 이동 및 하부 스테이지의 상향 이동에 의해 각 기판 사이의 합착이 수행된다. 이때 챔버부 내의 압력 측정을 위해 상부 스테이지 내 하나의 압력 측정 센서를 장착하여 기판 흡착 당시의 압력을 측정하는 기술이 개시되어 있다.
다만 이러한 종래 방식에 따르면 어느 한 영역에 가해지는 압력을 측정할 수 있을 뿐 측정된 압력을 기초로 평탄도 또는 수평균형도나 각 부속의 교체시기, 공정 상 이상 징후 등을 확인하기 어려운 문제점이 있었다.
한국등록공보 제10-1170740호(공고일자: 2012.08.03.)
본 발명이 해결하고자 하는 일 기술적 과제는, 복수의 패널을 가압 합착시 각 지점별 균일한 압력이 가해진 상태에서 패널 간 양질의 레벨링이 구현 가능한 디스플레이 라미네이션 장치 및 이를 이용한 지지 척 레벨링 방법에 관한 것이다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 디스플레이 라미네이션 장치를 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 라미네이션 장치는, 베이스 플레이트; 상기 베이스 플레이트의 일 측에 구비되고, 제1 패널이 안착 가능한 지지 척; 상기 제1 패널에 대향되도록 배치되는 제2 패널이 안착 가능한 지지 척을 가지는 스테이지; 상기 제2 패널이 상기 제1 패널에 가압 합착되도록 상기 스테이지를 승강 구동하는 구동부; 및 상기 베이스 플레이트와 상기 지지 척 사이에 개재되어 상기 지지 척에 가해지는 하중을 측정하는 로드셀을 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 지지 척 상의 중앙 영역을 기준으로 상기 중앙 영역을 둘러싼 가장자리 영역을 따라 서로 대향되는 위치에 각각 설치될 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 베이스 플레이트와 상기 지지 척 사이에 간극이 마련되어 상기 지지 척에 가해지는 하중이 상기 로드셀에 전달될 수 있다.
일 실시예에 따르면, 각각의 상기 로드셀이 측정한 단위 하중값들을 기초로 상기 단위 하중값들 간의 대소차를 확인하여 상기 스테이지의 레벨링(leveling)을 점검하는 레벨링 점검 모듈을 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 레벨링 점검 모듈은, 상기 단위 하중값과 상기 단위 하중값들의 합산 하중값을 선택적으로 출력하는 표시소자를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 대소차가 많이 나는 로드셀 설치 지점의 누적 단위 하중값을 추적하여 상기 스테이지 또는 상기 지지 척의 이상 여부를 점검하는 이상 상태 점검 모듈을 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 베이스 플레이트와 상기 지지 척 사이에 개재되고 상기 지지 척의 임의 지점을 상하 방향으로 승강 구동시키는 복수개의 액츄에이터; 및 상기 대소차가 많이 나는 설치 지점에 인접 마련된 상기 액츄에이터의 상하 이동에 의해 상기 지지 척의 레벨링을 조정하는 레벨링 조정 모듈을 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 레벨링 조정 모듈에 따른 상기 액츄에이터의 구동에 의한 레벨링 조정에도 불구하고 비평탄화로 판명시 상기 스테이지 또는 상기 지지 척의 교체 신호를 호출하는 교체 신호 호출 모듈을 더 포함할 수 있다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 지지 척 레벨링 방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 지지 척 레벨링 방법은, 베이스 플레이트와 지지 척 사이에 복수개의 로드셀이 개재되어 상기 지지 척에 가해지는 하중을 측정하는 하중 측정 단계; 및 각 설치 지점의 단위 하중값들을 기초로 상기 단위 하중값들 간의 대소차를 확인하여 상기 지지 척에 대향하며 승강 구동하는 스테이지 또는 지지 척의 레벨링을 점검하는 레벨링 점검 단계를 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 대소차가 많이 나는 상기 설치 지점에 인접 마련되어 상기 지지 척을 상하 방향으로 승강 구동시키는 액츄에이터를 구동하여 상기 스테이지 또는 상기 지지 척의 레벨링을 조정하는 레벨링 조정 단계를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 스테이지 또는 상지 지지 척의 비평탄화로 판명시 이물질 유무, 로드셀 이상 여부 또는 상기 지지 척의 이상 여부를 점검하는 이상 상태 점검 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 각 설치 지점이 이격 마련된 복수개의 로드셀로 각 지점의 하중을 측정하고 이를 기초로 지지 척 또는 스테이지가 평탄화된 상태에서 제1 패널과 제2 패널을 합착할 수 있음으로써 디스플레이 라미네이션 장치의 합착 성능을 증대시킬 수 있는 이점이 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 각 지점의 로드셀로 하중을 측정함으로써 지지 척 또는 스테이지의 교체 유지보수를 용이하게 하고, 합착 공정 성능 관리가 용이해진 이점이 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 복수개의 로드셀이 서로 대향되어 배치 마련됨으로써, 각 지점별 하중을 고정밀도로 측정 가능하고, 어느 하나의 불량 발생시에도 로드셀 전부가 아닌 해당 로드셀만 선택적으로 교체해 유지보수가 용이해진 이점이 있다.
도 1(a) 내지 도 1(d)는 종래 방식으로 디스플레이 라미네이션 장치의 하중을 측정하는 방법을 보여주고 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 라미네이션 장치를 보여주는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 라미네이션 장치를 보여주는 도면이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 디스플레이 라미네이션 장치를 보여주는 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 로드셀과 합산 모듈, 표시소자를 보여주는 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 레벨링을 보여주는 순서도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명할 것이다. 그러나 본 발명의 기술적 사상은 여기서 설명되는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 통상의 기술자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.
본 명세서에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소 상에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 구성요소가 개재될 수도 있다는 것을 의미한다. 또한, 도면들에 있어서, 형상 및 크기는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.
또한, 본 명세서의 다양한 실시예들에서 제1, 제2, 제3 등의 용어가 다양한 구성요소들을 기술하기 위해서 사용되었지만, 이들 구성요소들이 이 같은 용어들에 의해서 한정되어서는 안 된다. 이들 용어들은 단지 어느 구성요소를 다른 구성요소와 구별시키기 위해서 사용되었을 뿐이다. 따라서 어느 한 실시예에 제 1 구성요소로 언급된 것이 다른 실시예에서는 제 2 구성요소로 언급될 수도 있다. 여기에 설명되고 예시되는 각 실시예는 그것의 상보적인 실시예도 포함한다. 또한, 본 명세서에서 '및/또는'은 전후에 나열한 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용되었다.
명세서에서 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다. 또한, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 배제하는 것으로 이해되어서는 안 된다. 또한, 본 명세서에서 "연결"은 복수의 구성 요소를 간접적으로 연결하는 것, 및 직접적으로 연결하는 것을 모두 포함하는 의미로 사용된다.
또한, 하기에서 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 라미네이션 장치(10)를 보여주는 도면이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 라미네이션 장치(10)를 보여주는 도면이고, 도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 디스플레이 라미네이션 장치(10)를 보여주는 도면이며, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 로드셀(300)과 합산소자(421), 표시소자(422)를 보여주는 도면이다.
이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 라미네이션 장치(10)를 구성하는 각 구성요소에 대하여 상세히 설명하도록 한다.
도 2 내지 도 5에 도시된 대로 본 발명의 일 실시예에 따라 디스플레이 라미네이션 장치(10)는, 모든 영역에 걸쳐 제1 패널(P1)과 제2 패널(P2) 간의 평탄화된 상태로 제1 패널(P1)과 제2 패널(P2)의 가압 합착 공정이 이루어질 수 있다. 디스플레이 라미네이션 장치(10)는, 베이스 플레이트(110)와 지지 척(120), 스테이지(210), 구동부(230), 로드셀(300)을 포함하고, 액츄에이터(410)와 수평도 점검 모듈(420), 수평도 조정 모듈(430), 이상 상태 점검 모듈(440), 교체 신호 호출 모듈(450)을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 제1 패널(P1)은 윈도우 패널을 의미하고, 제2 패널(P2)은 디스플레이 패널을 의미하나, 그 역도 성립한다. 즉 본 발명의 다른 실시예에 따르면 제1 패널(P1)은 디스플레이 패널이고, 제2 패널(P2)은 윈도우 패널일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 제1 패널(P1)과 제2 패널(P2)은, LCD와 OLED, PDP 패널과 같은 디스플레이 패널, 터치 패널, 윈도우 패널 중 어느 하나이거나, 이들을 적층 결합한 복수층으로 이루어진 패널일 수 있다. 또한 제1 패널(P1)과 제2 패널(P2)은, 경성 패널뿐만 아니라, 구부리거나(bending) 접거나(folding), 마는(rolling) 것이 가능한 유연한 소재의 플렉서블 패널을 포함할 수 있다.
제1 패널(P1)과 제2 패널(P2) 사이에는, 접착성과 광투과성을 가지는 접착층(미도시)이 개재될 수 있다. 접착층(미도시)은, 광학투명접착필름(OCA, optical clear adhesive) 또는 광학투명레진(OCR, optical clear resin, 이하 OCR이라 한다) 중 어느 하나일 수 있다. OCR로 이루어진 접착층(미도시)인 경우, 접착층(미도시)은, 아크릴계, 에폭시계, 실리콘계 또는 고무계의 레진 중 어느 하나 또는 이들의 혼합물일 수 있으며, 바람직하게는 UV 광에 의해 경화 가능한UV 경화성 레진일 수 있다.
디스플레이 라미네이션 장치(10)는, 진공 챔버(미도시) 내부에 마련될 수 있다. 진공 챔버(미도시)는, 외부 대기환경과 분리하여 내부에 진공 합착 환경을 제공할 수 있다. 진공 챔버(미도시)는, 내부 공간을 진공상태로 제공할 수 있다.
다시 도 2 내지 도 4를 참조하면 베이스 플레이트(110)는, 제1 패널(P1)을 비롯한 지지 척(120)을 지지 고정할 수 있다. 베이스 플레이트(110)는, 지지 척 결합면의 배면이 고정 설치될 수 있다.
지지 척(120)은, 베이스 플레이트(120)의 일 측에 구비될 수 있다. 지지 척(120)은, 제1 패널(P1)이 안착될 수 있다. 지지 척(120)은, 제1 패널(P1)의 형상에 대응되는 표면 형상을 가질 수 있고, 일정 두께의 시트 형상일 수 있다.
일 실시예에 따르면 지지 척(120)은, 정전력에 의해 제1 패널(P1)을 지지 고정할 수 있다.
다른 실시예에 따르면 지지 척(120)은, 흡인 채널(미도시)과 흡인 채널용 펌프(미도시)를 더 포함할 수 있다. 이 경우 지지 척(120)은, 진공 흡착 방식에 의해 제1 패널(P1)을 지지 고정할 수 있다.
다시 도 2 내지 도 4를 참조하면 스테이지(210)는, 제2 패널(P2)을 지지 한 채로 승강시킬 수 있다. 제2 패널(P2)은, 제1 패널(P1)에 대향되도록 배치될 수 있다. 스테이지(210)는, 후술할 구동부(230)에 의해 지지 척(120)에 대향한 채로 승강할 수 있다.
지지 척(220)은, 스테이지(210)와 제2 패널(P2) 사이에 마련되어 구동부(230)에 의해 스테이지(210)가 승강 구동시, 형상 변경되며, 제1 패널(P1)과 제2 패널(P2) 간의 합착성능을 높일 수 있다. 지지 척(220)은, 제2 패널(P2)이 안착될 수 있다. 지지 척(220)은, 제2 패널(P2)의 일면에 대응하는 형상을 가질 수 있다.
구동부(230)는, 제2 패널(P2)이 제1 패널(P1)에 가압 합착되도록 스테이지(210)를 승강 구동할 수 있다. 구동부(230)는, 제2 패널(P2)이 제1 패널(P1) 즉, 즉 Z방향으로 승강 이동시킬 수 있다.
다시 도 2 내지 도 5를 참조하면 로드셀(300)은, 각 설치 지점별 가해지는 하중을 측정할 수 있다. 로드셀(300)은, 베이스 플레이트(110)와 지지 척(120) 사이에 개재될 수 있다. 로드셀(300)은 복수개가 배치 마련됨으로써, 지지 척의 여러 영역에서의 하중을 고정밀도로 측정할 수 있다. 또한 복수개의 로드셀(300)이 마련됨으로써, 어느 하나의 불량 발생시에도 로드셀(300) 전부가 아닌 해당 로드셀(300)만 선택적으로 교체할 수 있는 이점이 있다.
도 2 내지 도 5에서는 일례로 총 4개의 로드셀(300)이 배치 마련된 디스플레이 라미네이션 장치(10)를 보여주고 있다.
로드셀(300)은, 지지 척(120)의 각 설치 지점에 가해지는 하중을 측정할 수 있다. 로드셀(300)은, 특정 설치 지점에서의 선택적으로 가해지는 하중 또는 전 영역에 가해지는 하중을 측정할 수 있다. 로드셀(300)은, 일정 시간 주기 또는 디스플레이 라미네이션 장치의 공정상 구동동작에 따라 일정 간격으로 단위 하중값을 반복 측정할 수 있다. 로드셀(300)은, 일정한 두께를 가질 수 있다.
로드셀(300)은, 지지 척(120) 상에서 가장자리 영역을 따라 적어도 둘 이상이 서로 대향되는 위치에 각각 설치될 수 있다. 도 2 내지 도 5를 참조하면 로드셀(300)은, 지지 척(120)의 각 모서리 지점에 서로 이격되어 배치 설치될 수 있다. 가장자리 영역은, 지지 척(120) 상의 중심 영역을 둘러싼 영역을 의미한다.
다시 도 3과 도 4를 참조하면 로드셀(300)은, 베이스 플레이트(110)와 지지 척(120) 사이에 간극(G)이 마련되도록 설치됨으로써, 로드셀(300)이 지지 척(120)에 가해지는 접촉 하중을 온전히 전달받아 측정할 수 있다. 로드셀(300)은, 각 설치 지점 정보와 각 설치 지점마다의 단위 하중값을 생성할 수 있다. 지지 척(120)은, 로드셀(300)에 의해 베이스 플레이트(110)와 이격되어 배치될 수 있다.
또한 다시 도 4를 참조하면 로드셀(300)의 일부가 지지 척(120)의 일부 영역에 형성된 중공부에 만입되도록 설치될 수 있다. 이에 따라 디스플레이 라미네이션 장치(10) 전체 두께를 얇게 구현할 수 있다.
다시 도 2 내지 도 5를 참조하면 액츄에이터(410)는, 지지 척(120)의 임의 지점을 상하 방향으로 승강 구동시키기 위해 상하 방향으로 이동할 수 있다. 액츄에이터(410)는, 지지 척(120)의 높이를 조절하여 레벨링을 조정할 수 있다. 액츄에이터(410)는, 자동 또는 수동으로 위치 이동하여 지지 척(120)의 높이를 조절할 수 있다.
일 실시예에 따르면 액츄에이터(410)는, 회전 운동에 의해 지지 척(120)의 높이를 조절할 수 있다. 액츄에이터(410)는, 수나사 형태일 수 있으며, 이 경우, 지지 척(120)에는 액츄에이터(410)가 맞물려 결합되는 암나사부(미도시)가 형성될 수 있다. 액츄에이터(410)는, 회전 운동에 의해 상하 방향으로 이동할 수 있다. 이에 따라 액츄에이터(410)가 회전함에 따라 지지 척(120)에 형성된 암나사부(미도시)에 인입되는 정도에 의해 지지 척(120)의 높이를 조절할 수 있다.
액츄에이터(410)는, 지지 척(120)의 일 측에 복수개가 이격되어 마련될 수 있다. 액츄에이터(410)는, 베이스 플레이트(110)와 지지 척(120) 사이에 개재될 수 있다. 액츄에이터(410)는, 로드셀(300)과 인접하여 나란하게 배치될 수 있다.
다시 도 3과 도 4를 참조하면 레벨링 점검 모듈(420)은, 스테이지(210)의 레벨링을 점검할 수 있다. 레벨링 점검 모듈(420)은, 스테이지(210)의 레벨링을 점검하기 위해 각 설치 지점의 단위 하중값들을 기초로 단위 하중값들 간의 대소차를 확인할 수 있다. 레벨링 점검 모듈(420)은, 각각의 로드셀(300)을 선택적으로 또는 동시에 동작시키도록 제어할 수 있다.
레벨링 점검 모듈(420)은, 로드셀(300)마다의 설치 지점 정보와 단위 하중값을 로드셀(300)로부터 수신할 수 있다. 레벨링 점검 모듈(420)은, 단위 하중값들의 대소차가 기준치 이내인 경우 적정 평탄도 범위 내인 것으로 보며, 대소차가 기준치를 초과할 경우 이상 상태로 취급할 수 있다.
또한 레벨링 점검 모듈(420)은, 후술할 레벨링 조정 모듈(430)에 의해 지지 척(120)의 위치 조정 후 로드셀(300)이 측정한 단위 하중값을 기측정된 다른 설치 지점의 단위 하중값과 비교하여 레벨링을 재점검할 수 있다.
레벨링 점검 모듈(420)은, 합산소자(421)와 표시소자(422)를 더 포함할 수 있다.
다시 도 5를 참조하면 합산소자(421)는, 복수의 로드셀(300)에서 측정된 단위 하중값을 기초로 합산 하중값을 산출할 수 있다. 합산 하중값은, 디스플레이 라미네이션 공정 진행과정상 공정 점검 인자로 활용될 수 있다. 합산 하중값은, 지지 척(120)에 가해지는 전체 하중을 의미한다. 이와 달리 단위 하중값은, 디스플레이 라미네이션 공정 진행 전 설치단계 또는 레벨링 점검 인자로 활용될 수 있다.
다시 도 5를 참조하면 표시소자(422)는, 각각의 단위 하중값과 합산 하중값을 출력할 수 있다. 표시소자(422)는, 레벨링 점검 모듈(420)의 제어에 의해 각각의 단위 하중값 및/또는 합산 하중값을 선택적으로 출력할 수 있다. 표시소자(422)는, 단위 하중값과 합산 하중값을 수치 값 또는 일정 주기에 따른 변화값을 파형으로 출력할 수 있다. 표시소자(422)가, 파형을 보여줄 경우, 각 설치 지점별 단위 하중값의 변화정도를 용이하게 확인할 수 있다.
다시 도 3과 도 4를 참조하면 레벨링 조정 모듈(430)은, 지지 척(120)의 평행 상태를 유지시킬 수 있다. 이를 위해 레벨링 조정 모듈(430)은, 액츄에이터(410)를 선택적으로 구동시킬 수 있다. 레벨링 조정 모듈(430)은, 단위 하중값의 대소차가 많이 나는 로드셀(300)의 설치 위치에 인접 마련된 액츄에이터(410)를 구동하도록 하여, 지지 척(120)의 레벨링을 조정할 수 있다. 또한 레벨링 조정 모듈(430)은, 단위 하중값 측정신호를 호출하여 로드셀(300)을 구동시킬 수 있다. 로드셀(300)은, 단위 하중값 측정신호에 수신할 경우, 단위 하중값을 측정할 수 있다.
다시 도 3과 도 4를 참조하면 이상 상태 점검 모듈(440)은, 스테이지(210) 또는 지지 척(120, 220)의 이상 여부를 점검할 수 있다. 이상 상태 점검 모듈(440)은, 로드셀(300)마다의 단위 하중값들 간의 대소차를 확인하여 대소차가 많이 나는 설치 지점의 단위 하중값을 측정하도록 하여 누적 단위 하중값들을 저장할 수 있다. 이상 상태 점검 모듈(440)은, 누적 단위 하중값을 추적하여 스테이지(210) 또는 지지 척(120, 220)의 이상 여부를 점검할 수 있다.
다시 도 3과 도 4를 참조하면 교체 신호 호출 모듈(450)은, 기설정된 교체 주기를 기준으로 교체 주기를 앞당기도록 교체 신호를 작업자에게 호출할 수 있다. 교체 신호 호출 모듈(450)은, 스테이지(210) 또는 지지 척(120, 220)의 비평탄화로 판명시 스테이지(210) 또는 지지 척(120, 220)의 교체 신호를 작업자에게 호출할 수 있다.
비평탄화란, 레벨링 조정 모듈(430)에 따른 액츄에이터(410)의 구동에 의한 레벨링 조정에도 불구하고 지지 척(120 또는 220) 또는 스테이지(210)가 평탄하지 않은 것을 의미한다. 비평탄화는, 큰 대수차를 가지는 설치 지점에서의 단위 하중값에 가중치를 두어 전체 단위 하중값들을 토대로 산출될 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 지지 척 레벨링 방법을 보여주는 순서도이다.
위와 같은 구성요소를 갖는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 라미네이션 장치(10)를 이용한 지지 척 레벨링 방법에 대해 설명하기로 한다.
지지 척 레벨링 방법은, 하중 측정 단계(S10)와 레벨링 점검 단계(S20)를 포함하고, 레벨링 조정 단계(S30)와 이상 상태 점검 단계(S40)를 더 포함할 수 있다.
지지 척 레벨링 방법의 각 단계를 시계열에 따라 설명하기로 한다.
하중 측정 단계(S10)에서는, 베이스 플레이트와 지지 척 사이에 복수개의 로드셀이 개재되어 지지 척의 각 설치 지점에 가해지는 단위 하중값을 측정할 수 있다. 또한 하중 측정 단계에서는, 각 설치 지점에 가해지는 단위 하중값을 합산하여 지지 척에 가해지는 전체 하중값을 측정할 수 있다.
레벨링 점검 단계(S20)에서는, 각 설치 지점의 단위 하중값들을 기초로 단위 하중값들 간의 대소차를 확인할 수 있다. 레벨링 점검 단계(S20)에서는, 단위 하중값들 간의 대소차를 확인함으로써 지지 척에 대항하며 승강 구동하는 스테이지 또는 지지 척의 레벨링을 점검할 수 있다.
레벨링 조정 단계(S30)에서는, 지지 척의 레벨링을 조정할 수 있다. 이를 위해 레벨링 조정 단계(S30)에서는, 대소차가 많이 나는 설치 지점에 위치한 액츄에이터를 구동시켜 지지 척을 상하 방향으로 승강 구동시킬 수 있다.
이상 상태 점검 단계(S40)에서는, 공정 불량을 초래하는 이물질 유무, 로드셀 이상여부에 따른 로드셀 오작동, 스테이지 또는 지지 척의 이상 여부를 점검할 수 있다.
교체 유지 보수를 위한 지지 척 레벨링 방법을 설명하면 아래와 같다.
각 설치 지점의 로드셀로 지지 척의 각 임의 영역에 가해지는 단위 하중값을 측정할 수 있다. 단위 하중값들로부터 지지 척에 가해지는 합산 하중값을 산출할 수 있다. 특정 설치 위치 및/또는 합산 하중값이 적정 기준치를 벗어나는 경우, 이를 이상 상태로 산정할 수 있다. 이 경우, 일정 시간 주기 또는 공정 주기에 따라 반복적으로 단위 하중값과 합산 하중값을 추적할 수 있다. 이상 상태로 확인시 알람 메시지를 표시소자에 출력할 수 있다. 이에 작업자는 로드셀의 불량 여부, 이물 유무, 스테이지 또는 지지 척의 이상 여부를 점검할 수 있다. 작업자의 조치 후 로드셀이 단위 하중값을 재측정하여 유지보수에 따른 정상 작동 여부를 확인할 수 있다.
지지 척 레벨링 조정을 위한 지지 척 레벨링 방법을 설명하면 아래와 같다.
각 설치 지점의 로드셀로 지지 척의 각 임의 영역에 가해지는 단위 하중값을 측정할 수 있다. 단위 하중값들로부터 지지 척에 가해지는 합산 하중값을 산출할 수 있다. 기준 하중값을 기준으로 특정 설치 위치의 단위 하중값이 정상범위 여부를 확인할 수 있다. 기준 하중값의 적정 오차범위를 초과하는 경우 해당 단위 하중값과 설치 지점을 표시소자에 출력할 수 있다. 액츄에이터를 작동시켜 지지 척의 레벨링을 조정할 수 있다. 해당 설치 지점의 로드셀을 포함한 전체 로드셀의 단위 하중값을 적어도 2회 이상 반복적으로 측정할 수 있다. 각 설치 지점에서의 단위 하중값이 기준 하중값 범위에 해당시 측정 중단 후 공정을 개시할 수 있다.
공정 관리를 위한 지지 척 레벨링 방법을 설명하면 아래와 같다.
각 설치 지점의 로드셀로 지지 척의 각 임의 영역에 가해지는 단위 하중값을 측정할 수 있다. 단위 하중값들로부터 지지 척에 가해지는 합산 하중값을 산출할 수 있다. 해당 설치 위치를 비롯한 로드셀을 동작시켜 적어도 2회 이상 반복적으로 각각의 단위 하중값을 측정할 수 있다. 반복적으로 기준 하중값을 초과하는 값이 측정될 경우, 표시소자에 이상 징후 신호를 호출할 수 있다. 작업자는 로드셀 불량 여부, 이물 유무, 스테이지 또는 지지 척의 불량 유무를 점검 및 조치를 취할 수 있다. 다시 로드셀이 단위 하중값을 일정 주기를 기준으로 반복 측정하고, 단위 하중값들이 기준 하중값 범위에 들어올 경우, 디스플레이 라미네이팅 공정을 실시할 수 있다.
이상, 본 발명을 바람직한 실시예를 사용하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 범위는 특정 실시예에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 또한, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 이해하여야 할 것이다.
10 : 디스플레이 라미네이션 장치
110 : 베이스 플레이트
120 : 지지 척
210 : 스테이지
220 : 지지 척
230 : 구동부
300 : 로드셀
410 : 액츄에이터
420 : 레벨링 점검 모듈 421 : 합산소자
422 : 표시소자
430 : 레벨링 조정 모듈
440 : 이상 상태 점검 모듈
450 : 교체 신호 호출 모듈
G : 간극
P1 : 제1 패널 P2 : 제2 패널

Claims (11)

  1. 베이스 플레이트;
    상기 베이스 플레이트의 일 측에 구비되고, 제1 패널이 안착 가능한 지지 척;
    상기 제1 패널에 대향되도록 배치되는 제2 패널이 안착 가능한 지지 척을 가지는 스테이지;
    상기 제2 패널이 상기 제1 패널에 가압 합착되도록 상기 스테이지를 승강 구동하는 구동부; 및
    상기 베이스 플레이트와 상기 지지 척 사이에 개재되어 상기 지지 척에 가해지는 하중을 측정하는 로드셀을 포함하는, 디스플레이 라미네이션 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 로드셀은,
    상기 지지 척 상의 중앙 영역을 기준으로 상기 중앙 영역을 둘러싼 가장자리 영역을 따라 서로 대향되는 위치에 각각 설치된, 디스플레이 라미네이션 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 베이스 플레이트와 상기 지지 척 사이에 간극이 마련되어 상기 지지 척에 가해지는 하중이 상기 로드셀에 전달되는, 디스플레이 라미네이션 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    각각의 상기 로드셀이 측정한 단위 하중값들을 기초로 상기 단위 하중값들 간의 대소차를 확인하여 상기 스테이지의 레벨링(leveling)을 점검하는 레벨링 점검 모듈을 포함하는, 디스플레이 라미네이션 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 레벨링 점검 모듈은,
    상기 단위 하중값과 상기 단위 하중값들의 합산 하중값을 선택적으로 출력하는 표시소자를 더 포함하는, 디스플레이 라미네이션 장치.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 대소차가 많이 나는 로드셀 설치 지점의 누적 단위 하중값을 추적하여 상기 스테이지 또는 상기 지지 척의 이상 여부를 점검하는 이상 상태 점검 모듈을 더 포함하는, 디스플레이 라미네이션 장치.
  7. 제 4 항에 있어서,
    상기 베이스 플레이트와 상기 지지 척 사이에 개재되고 상기 지지 척의 임의 지점을 상하 방향으로 승강 구동시키는 복수개의 액츄에이터; 및
    상기 대소차가 많이 나는 설치 지점에 인접 마련된 상기 액츄에이터의 상하 이동에 의해 상기 지지 척의 레벨링을 조정하는 레벨링 조정 모듈을 더 포함하는, 디스플레이 라미네이션 장치.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 레벨링 조정 모듈에 따른 상기 액츄에이터의 구동에 의한 레벨링 조정에도 불구하고 비평탄화로 판명시 상기 스테이지 또는 상기 지지 척의 교체 신호를 호출하는 교체 신호 호출 모듈을 더 포함하는, 디스플레이 라미네이션 장치.
  9. 베이스 플레이트와 지지 척 사이에 복수개의 로드셀이 개재되어 상기 지지 척에 가해지는 하중을 측정하는 하중 측정 단계; 및
    각 설치 지점의 단위 하중값들을 기초로 상기 단위 하중값들 간의 대소차를 확인하여 상기 지지 척에 대향하며 승강 구동하는 스테이지 또는 지지 척의 레벨링을 점검하는 레벨링 점검 단계를 포함하는, 지지 척 레벨링 방법.
  10. 제 9 항에 있어서.
    상기 대소차가 많이 나는 상기 설치 지점에 인접 마련되어 상기 지지 척을 상하 방향으로 승강 구동시키는 액츄에이터를 구동하여 상기 스테이지 또는 상기 지지 척의 레벨링을 조정하는 레벨링 조정 단계를 더 포함하는, 지지 척 레벨링 방법.
  11. 제 10 항에 있어서.
    상기 스테이지 또는 상지 지지 척의 비평탄화로 판명시 이물질 유무, 로드셀 이상 여부 또는 상기 지지 척의 이상 여부를 점검하는 이상 상태 점검 단계를 더 포함하는, 지지 척 레벨링 방법.
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