KR102648622B1 - 기판 합착 장치 및 기판 합착 방법 - Google Patents

기판 합착 장치 및 기판 합착 방법 Download PDF

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Abstract

기판 합착 장치는, 플렉서블 기판을 지지하며, 승강 가능하게 구비되는 스테이지, 상기 스테이지의 상부에 배치되며, 그 하부에 상기 플렉서블 기판에 대하여 마주보도록 구비된 벤딩된 플렉서블 필름을 정전기력으로 고정하고 곡률 반지름으로 라운딩진 곡면을 갖는 정전척, 상기 정전척의 상부에 배치되며, 상기 정전척을 스윙 운동시키는 회전 구동부, 상기 스테이지와 연결되며, 상기 스테이지를 승강 운동시키는 승강 구동부 및 상기 회전 구동부 및 상기 승강 구동부 각각이 상기 정전척 및 상기 스테이지에 제공하는 구동력을 제어하여, 상기 곡률 반지름의 중심점을 기준으로 하는 상기 정전척의 회전각에 따라 상기 스테이지의 수직 높이를 조절할 수 있도록 하는 제어부를 포함한다. 이로써, 플렉서블 필름이 합착 공정에서 플렉서블 기판에 기포없이 합착될 수 있다.

Description

기판 합착 장치 및 기판 합착 방법{APPARATUS OF BONDING A SUBSTRATE AND METHOD OF BONDING A SUBSTRATE}
본 발명은 기판 합착 장치 및 기판 합착 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은 플렉서블 기판에 플렉서블 필름을 용이하게 합착할 수 있는 기판 합착 장치 및 기판 압착 방법에 관한 것이다.
컴퓨터, 휴대용 단말기 및 각종 정보기기의 모니터 등에는 유기 발광 표시장치(Organic Light Emitting Display Device), 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display Device) 등과 같은 다양한 종류의 표시 장치가 사용되고 있다.
이러한 표시장치들은 영상을 표시하는 표시 패널 및 영상이 출사되는 방향 상에 이를 보호하기 위한 커버 글라스가 부착된다. 상기 표시 패널에 커버 글라스를 부착하기 위하여, 표시 패널 상에 접착층을 액상으로 도포한 후, 표시 패널 및 커버 글라스를 합착시키고 접착층을 경화시킨다.
상기 표시 장치가 기존의 평판형 표시 장치를 대체하여 곡면형 표시 장치에 대한 수요가 증대되고 있다.
상기 평판형 표시 장치의 경우, 이와 같이 상압 상태에서 접착층을 이용하여 표시 패널과 커버 글라스를 합착하는 방법을 이용하더라도 접착층에 기포가 발생하지 않은 상태로 균일하게 합착 할 수 있다.
하지만, 곡면형 표시 장치의 경우, 접착 균일성, 접착층 내 기포 발생, 표시 패널과 곡면형 커버 글라스 사이의 정렬(alignment) 등에서 문제가 발생할 수 있다.
특히, 상기 표시 패널 및 곡면형 커버 글라스를 상호 합착하는 데 있어서 합착 장치가 이용되고 있다. 상기 합착 장치는 곡면형 커버 글라스를 고정하는 고정 지그, 상기 표시 패널의 양 측부들과 인접하며, 상기 표시 패널의 양 측부들을 클램핑하는 한 쌍의 클램핑 유닛 및 상기 표시 패널을 하방으로부터 상기 곡면형 커버 글라스를 향하여 가압하는 합착 패드부를 포함한다. 이에 대하여 대한민국 등록특허 제10-1861629호가 개시하고 있다.
하지만, 상기 표시 패널의 에지부가 라운드 형상을 갖도록 하는 절곡 공정이 선행하여 요구된다.
본 발명의 실시예들은 플렉서블 기판에 플렉서블 필름을 기포 없이 합착할 수 있는 기판 합착 장치를 제공한다.
본 발명의 실시예들은 플렉서블 기판에 플렉서블 필름을 기포 없이 합착할 수 있는 기판 합착 방법을 제공한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예들에 따른 기판 합착 장치는, 플렉서블 기판을 지지하며, 승강 가능하게 구비되는 스테이지, 상기 스테이지의 상부에 배치되며, 그 하부에 상기 플렉서블 기판에 대하여 마주보도록 구비된 벤딩된 플렉서블 필름을 정전기력으로 고정하고 곡률 반지름으로 라운딩진 곡면을 갖는 정전척, 상기 정전척의 상부에 배치되며, 상기 정전척을 스윙 운동시키는 회전 구동부, 상기 스테이지와 연결되며, 상기 스테이지를 승강 운동시키는 승강 구동부 및 상기 회전 구동부 및 상기 승강 구동부 각각이 상기 정전척 및 상기 스테이지에 제공하는 구동력을 제어하여, 상기 곡률 반지름의 중심점을 기준으로 하는 상기 정전척의 회전각에 따라 상기 스테이지의 수직 높이를 조절할 수 있도록 하는 제어부를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제어부는 상기 회전 구동부 및 상기 승강 구동부의 구동력을 제어하여, 상기 정전척의 회전 및 상기 스테이지의 승강을 동시에 구현할 수 있다.
여기서, 상기 제어부는 상기 스테이지의 상면의 수직 높이 및 상기 정전척의 최하점 사이의 간격을 일정하게 유지하도록 상기 회전 구동부 및 상기 승강 구동부의 구동력을 제어할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 정전척은, 상부에 상기 곡면을 갖는 베이스 패드부, 상기 베이스 패드부 상에 배치되며, 서로 마주보도록 이격된 제1 및 제2 폴리이미드층들, 상기 제1 및 제2 폴리이미드층들 사이에 개재되며, 상기 곡면을 따라 상호 이격되도록 배열된 금속 패턴들 및 상기 폴리이미드층들 사이에 개재되며, 상호 인접하는 상기 금속 패턴들 사이를 매립하여 상기 제2 폴리이미드를 상기 곡면을 방향을 따라 균일한 표면을 갖도록 하는 고유전체 폴리머 패턴을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 고유전체 폴리머 패턴은 에폭시 및 폴리우레탄 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 스테이지 및 상기 정전척 중 어느 하나에 구비되어, 상기 플렉서블 기판 및 상기 플렉서블 필름 사이에 발생하는 압력을 측정하여 상기 측정된 압력에 관한 데이터를 상기 제어부에 전송하는 센싱부가 더 포함될 수 있다.
여기서, 상기 제어부는 상기 센싱부로부터 전송받은 압력 데이터를 이용하여, 상기 구동력을 조절할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따른 기판 합착 방법에 있어서, 플렉서블 기판을 스테이지 상에 위치시키는 한편, 상기 플레서블 기판과 마주보도록 플렉서블 필름을 하부 곡면으로 이루어진 정전척에 정전기력으로 부착시킨다. 이어서, 상기 정전척 및 상기 스테이지에 구동력을 제공하여, 상기 곡률 반지름의 중심점을 기준으로 하는 상기 정전척의 회전각에 따라 상기 스테이지의 수직 높이를 조절하면서, 상기 플렉서블 기판에 상기 플렉서블 필름을 합착시킨다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 정전척 및 스테이지 각각에 구동력을 제공하는 단계는, 상기 플렉서블 기판 또는 플렉서블 필름의 일측으로부터 반대되는 타측으로 순차적으로 합착할 수 있다.
여기서, 상기 정전척 및 스테이지 각각에 구동력을 제공할 때, 상기 스테이지의 상면의 수직 높이 및 상기 정전척의 최하점 사이의 간격을 일정하게 유지할 수 있다.
한편, 상기 플렉서블 기판 및 상기 플렉서블 필름 사이에 발생하는 압력을 측정하고, 상기 측정된 압력에 관한 데이터를 이용하여, 상기 구동력을 조절할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 장치는, 정전척 및 스테이지 각각에 구동력을 제공하는 경우, 스테이지의 상면의 수직 높이 및 정전척의 최하점 사이의 간격을 일정하게 유지할 수 있다. 즉, 상기 정전척의 회전각에 따라 상기 스테이지가 수직 방향을 따라 승강함으로써, 상기 플렉서블 기판 및 상기 플렉서블 필름 사이에 발생하는 압력이 균일하게 유지될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 장치를 설명하기 위한 블록도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 장치를 설명하기 위한 단면도이다.
도 3은 도 2의 정전척을 설명하기 위한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 장치를 설명하기 위한 블록도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 장치를 설명하기 위한 단면도이다. 도 3은 도 2의 정전척을 설명하기 위한 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 장치(100)는 스테이지(110), 정전척(120), 회전 구동부(130), 승강 구동부(140) 및 제어부(150)를 포함한다.
상기 기판 합착 장치(100)는 플렉서블 기판 상에 플레서블 필름을 합착하는 라미네이팅 공정에 사용될 수 있다. 특히, 상기 기판 합착 장치(100)는 곡면 형상을 갖는 플렉서블 필름, 예를 들면, OCA 필름, 커버 윈도우, Ultra-Thin Glass(UTG) 필름을 기판, 표시 패널, 유기 기판 등에 라미네이팅 할 수 있다.
스테이지(110)는 플렉서블 기판(10)을 지지하며, 승강 가능하게 구비된다. 특히, 상기 스테이지는(110), 라미네이팅 공정 중 수직 방향으로 따라 승강 가능하게 구비된다. 이로써, 상기 스테이지(110)는 상기 정전척(120)의 하면을 향하여 접근하거나 멀어질 수 있다. 이로써, 상기 스테이지(110)에 지지되는 플렉서블 기판(10)이 상기 정전척에 부착된 플렉서블 필름에 합착될 수 있다.
상기 스테이지(110)는, 예를 들면, 진공력, 정전기력, 또는 전자기력 또는 별도의 클램퍼와 같은 고정 기구를 이용하여 상기 플렉서블 기판(10)을 상기 스테이지(110)의 상면 상에 고정할 수 있다.
한편, 상기 스테이지(110)는 수직 방향으로 승강 가능할 뿐만 아니라, 수평 방향으로 이동할 수 있다. 이로써 상기 스테이지(110) 상에 지지된 플렉서블 기판(10)이 상기 플렉서블 필름(20)에 대하여 정렬될 수 있다.
정전척(120)은 상기 스테이지(110)의 상부에 배치된다. 상기 정전척(120)은 예를 들면 상기 스테이지(110)와 수직 방향으로 이격되도록 소정의 이격 거리를 갖도록 배치된다. 상기 이격 거리는 스테이지(110)의 승강 운동에 따라 변경될 수 있다.
상기 정전척(120)은 벤딩된 플렉서블 필름(20)을 정전기력으로 고정한다. 즉, 상기 정전척(120)은 정전기력을 이용하여 플렉서블 필름(10)을 벤딩된 상태로 고정할 수 있다. 이때, 상기 정전척(120)은 상기 스테이지(110)와 마주보는 하면에서 곡률 반지름으로 라운딩진 곡면을 포함한다. 이로써, 상기 정전척(120)은 벤딩된 상태의 플렉서블 필름(20)을 정전기력으로 고정할 수 있다. 상기 플렉서블 필름은 OCA 필름을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 정전척(120)은, 베이스 패드부(121), 제1 및 제2 폴리이미드층(123a, 123b), 금속 패턴들(124) 및 고유전체 폴리머 패턴(125)을 포함할 수 있다.
상기 베이스 패드부(121)는 라운드진 상부면을 가진다. 상기 베이스 패드부(121)는 상기 제1 폴리이미드층(123a)을 지지한다. 상기 베이스 패드부(121)는 탄성 재질, 예를 들면 실리콘 재질 또는 러버 재질을 포함할 수 있다.
한편, 상기 베이스 패드부(121)에 포함된 라운드진 상부면은 다양한 형상을 가질 수 있다. 이로써, 상기 베이스 패드부(121)는 상기 플렉서블 필름(20)의 형상 및 재질에 따라 변형 가능한 상부면을 가질 수 있다. 나아가, 상기 베이스 패드부(121)는 교체 가능할 수 있다.
상기 제1 및 제2 폴리이미드층(123a, 123b)은 상기 베이스 패드부(121) 상에 배치된다. 상기 제1 및 제2 폴리이미드층(123a, 123b)은 서로 마주보도록 이격될 수 있다. 상기 제1 및 제2 폴리이미드층(123a, 123b)은 유연 재질로 이루어짐에 따라 상기 플렉서블 필름(20)이 다양한 형상 및 곡률 반지름으로 변형될 수 있다.
금속 패턴들(124)은 상기 제1 및 제2 폴리이미드층들(123a, 123b) 사이에 개재된다. 상기 금속 패턴들(124)은 서로 반대되는 전기 극성을 가짐에 따라 이들 사이에 발생된 전위차에 의하여 정전기력이 발생시킬 수 있다. 즉, 인접하는 금속 패턴들(124)은 서로 다른 극성을 갖는 전극으로 기능하여, 상기 정전기력을 이용하여 플렉서블 필름(10)을 고정할 수 있다.
특히, 상기 플렉서블 필름(20)이 유리 재질과 같은 비금속성 재질로 이루어지더라도, 상기 정전척(120)은 플렉서블 필름(20)을 그 하면에 부착시킬 수 있다. 이때, 상기 플렉서블 필름(20)은 전체적으로 라인드진 상태를 가질 수 있다.
상기 고유전체 폴리머 패턴(125)은 상기 제1 및 제2 폴리이미드층들(123a, 123b) 사이에 개재된다. 나아가, 상기 고유전체 폴리머 패턴(125)은 상호 인접하는 상기 금속 패턴들(124) 사이에 형성된 공간을 매립하도록 구비된다. 이로써, 상기 금속 패턴들(124) 상에 위치하는 상기 제2 폴리이미드 층(123b)이 상기 곡면을 따라 균일하게 표면을 가질 될 수 있다. 결과적으로 상기 제2 폴리이미드층(123b) 상에 부착되는 플렉서블 필름(20)이 개선된 정전기력으로 인하여 견고하게 고정될 수 있다.
상기 고유전체 폴리머 패턴(125)은 에폭시 및 폴리우레탄 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 이로써, 상기 금속 패턴들(124) 및 상기 고유전체 폴리머 패턴(125)은 상대적으로 높은 정전기력을 발생할 수 있다.
상기 회전 구동부(130)는 상기 정전척(120)의 상부에 배치된다. 상기 회전 구동부(130)는 상기 정전척(120)을 스윙 운동시킬 수 있다. 즉, 상기 회전 구동부(130)는 상기 곡률 반지름의 중심점을 기준으로 상기 정전척(120)을 특정 회전각, 예를 들면, ± 5˚범위로 스윙시킬 수 있다.
예를 들면, 상기 회전 구동부(130)는 정밀 저속 회전 감속기와 같은 모터를 포함할 수 있다. 이로써, 상기 회전 구동부(130)는 상기 정전척(120)에 제1 구동력을 제공하여 상기 정전척의 회전 운동을 정밀하게 제어할 수 있다.
상기 승강 구동부(140)는 상기 스테이지(110)와 연결된다. 상기 승강 구동부(140)는 상기 스테이지(110)의 하부에 배치될 수 있다. 상기 승강 구동부(140)는 상기 스테이지(110)를 승강 운동시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 승강 구동부는, 상기 스테이지(110)와 기계적으로 연결된 모터, 실린더, 볼스크류 등을 포함할 수 있다.
상기 승강 구동부(140)는 상기 정전척(120)의 스윙 운동에 대응하여 상기 스테이지(110)를 승강시킬 수 있다.
상기 제어부(150)는 상기 회전 구동부(130) 및 상기 승강 구동부(140) 각각이 상기 정전척(120) 및 상기 스테이지(110)에 제공하는 구동력을 제어한다.
상기 제어부(150)는 상기 곡률 반지름의 중심점을 기준으로 하는 상기 정전척(120)의 회전각에 따라 상기 스테이지(110)의 수직 높이를 조절할 수 있다. 또한, 상기 제어부(150)는 상기 정전척(120)의 회전 및 상기 스테이지(110)의 승강을 동시에 구현하도록 할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제어부(140)는 상기 스테이지(110)의 상면의 수직 높이 및 상기 정전척(120)의 스윙 운동시 최하점 사이의 간격을 일정하게 유지하도록 상기 회전 구동부(130) 및 상기 승강 구동부(140)의 구동력을 제어할 수 있다. 즉, 상기 스테이지(110)의 상면의 수직 높이 및 상기 정전척(120)의 최하점 사이의 간격이 일정하게 유지됨으로써, 상기 스테이지(110) 상의 플렉서블 기판(10) 및 상기 정전척(120)에 부착된 플렉서블 필름(20) 사이에 발생하는 압력이 전 면적에 걸쳐 일정하게 유지될 수 있다.
예를 들면, 12인치 크기의 디스플레이 패널 및 1,500mm 이하의 곡률 반지름을 갖는 플렉서블 필름(20)을 상호 합착할 경우, 상기 정전척(120)의 회전각 및 상기 스테이지(110)의 승강 높이가 아래의 표1에 일 예로서 기술되어 있다.
회전 단계 회전각(˚) 승강 높이(mm)
시작 +5 0
1 +4 +2.08
2 +3 +3.46
3 +2 +4.55
4 +1 +5.18
5(최초 회전 중심) 0 +5.41
6 -1 -5.18
7 -2 -4.55
8 -3 -3.46
9 -4 -2.08
10 -5 0
표1에서 회전각은 상기 정정척(120)의 곡면 반지름의 중심점에서 상기 곡면의 중심점 사이를 연결한 가상의 선으로부터 기울어진 각도를 의미하며,
상기 승강 높이는 최초 합착 공정 시점의 높이를 기준 높이로 하여 스테이지(110)의 상대적인 수직 높이로 정의된다.
이로써, 상기 스테이지(110)의 상면의 수직 높이 및 상기 정전척(120)의 최하점 사이의 간격이 일정하게 유지됨으로써, 상기 스테이지(110) 상의 플렉서블 기판(10) 및 상기 정전척(120)에 부착된 플렉서블 필름(20) 사이에 발생하는 압력이 전 면적에 걸쳐 일정하게 유지될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 스테이지(110) 및 상기 정전척(120) 중 어느 하나에 센싱부(160)가 추가적으로 제공될 수 있다. 상기 센싱부(160)는, 상기 플렉서블 기판(10) 및 상기 플렉서블 필름(20) 사이에서 합착 공정중 발생하는 압력을 측정하여 상기 측정된 압력에 관한 데이터를 상기 제어부(150)에 전송할 수 있다.
상기 센싱부(160)는 상기 곡면을 따라 라운드 형상으로 배열될 수 있다. 상기 센싱부(160)는 예를 들면, 로드셀을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 제어부(150)는 상기 센싱부(160)로부터 전송받은 압력 데이터를 이용하여, 상기 구동력을 조절할 수 있다. 이로써, 상기 플렉서블 기판(10) 및 상기 플렉서블 필름(20) 사이에 발생하는 압력이 균일하게 유지됨에 따라, 상기 플렉서블 기판(10) 및 상기 플렉서블 필름(20) 사이에 기포 없이 균일하게 합착될 수 다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 방법에 있어서, 먼저, 플렉서블 기판(10)을 스테이지(110) 상에 위치시킨다(S110). 이때, 상기 플렉서블 기판(10)은 진공력, 정전기력, 또는 별도의 클램핑 유닛을 이용하여 고정될 수 있다.
한편, 상기 플레서블 기판(10)과 마주보도록 플렉서블 필름(20)을 하부 곡면으로 이루어진 정전척(120)에 정전기력으로 부착시킨다. 상기 정전기력을 발생하는 정전척(120)은 상기 곡면에 대응되는 상부면을 가질 수 있다. 이로써, 상기 정전척(120)이 상기 플렉서블 필름(20)을 견고하게 고정할 수 있다.
이어서, 상기 정전척(120) 및 상기 스테이지(110)에 구동력을 제공하여, 상기 곡률 반지름의 중심점을 기준으로 하는 상기 정전척(120)의 회전각에 따라 상기 스테이지(110)의 수직 높이를 조절하면서, 상기 플레서블 기판(10)에 상기 플렉서블 필름(20)을 합착한다.
이로써, 상기 플렉서블 기판(10) 및 상기 플렉서블 필름(20) 사이에 발생하는 압력이 균일하게 유지됨에 따라, 상기 플렉서블 기판(10) 및 상기 플렉서블 필름(20) 사이에 기포 없이 균일하게 합착될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 정전척(120) 및 스테이지(110) 각각에 구동력을 제공하는 단계는, 상기 플렉서블 기판(10) 또는 플렉서블 필름(20)의 일측으로부터 반대되는 타측으로 순차적으로 합착할 수 있다.
한편, 상기 정전척(120) 및 스테이지(110) 각각에 구동력을 제공하는 경우, 상기 스테이지(110)의 상면의 수직 높이 및 상기 정전척(120)의 최하점 사이의 간격을 일정하게 유지할 수 있다. 즉, 상기 정전척(120)의 회전각에 따라 상기 스테이지(110)가 수직 방향을 따라 승강함으로써, 상기 플렉서블 기판(10) 및 상기 플렉서블 필름(20) 사이에 발생하는 압력이 균일하게 유지될 수 있다.
나아가, 상기 플렉서블 기판(10) 및 상기 플렉서블 필름(20) 사이에 발생하는 압력을 측정하고, 상기 측정된 압력에 관한 데이터를 이용하여, 상기 구동력을 조절할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 기판 합착 장치 110 : 스테이지
120 : 정전척 130 : 회전 구동부
140 : 승강 구동부 150 : 제어부
160 : 센싱부

Claims (11)

  1. 플렉서블 기판을 지지하며, 승강 가능하게 구비되는 스테이지;
    상기 스테이지의 상부에 배치되며, 그 하부에 상기 플렉서블 기판에 대하여 마주보도록 구비된 벤딩된 플렉서블 필름을 정전기력으로 고정하고 곡률 반지름으로 라운딩진 곡면을 갖는 정전척;
    상기 정전척의 상부에 배치되며, 상기 정전척을 스윙 운동시키는 회전 구동부;
    상기 스테이지와 연결되며, 상기 스테이지를 승강 운동시키는 승강 구동부;
    상기 회전 구동부 및 상기 승강 구동부 각각이 상기 정전척 및 상기 스테이지에 제공하는 구동력을 제어하여, 상기 곡률 반지름의 중심점을 기준으로 하는 상기 정전척의 회전각에 따라 상기 스테이지의 수직 높이를 조절할 수 있도록 하는 제어부; 및
    상기 스테이지 및 상기 정전척 중 어느 하나에 구비되어, 상기 플렉서블 기판 및 상기 플렉서블 필름 사이에 발생하는 압력을 측정하여 상기 측정된 압력에 관한 데이터를 상기 제어부에 전송하는 센싱부를 포함하고,
    상기 제어부는 상기 회전 구동부 및 상기 승강 구동부의 구동력을 제어하여, 상기 정전척의 회전 및 상기 스테이지의 승강을 동시에 구현하고,
    상기 제어부는 상기 스테이지의 상면의 수직 높이 및 상기 정전척의 최하점 사이의 간격을 일정하게 유지하도록 상기 회전 구동부 및 상기 승강 구동부의 구동력을 제어하고,
    상기 제어부는 상기 센싱부로부터 전송받은 압력 데이터를 이용하여, 상기 구동력을 조절하는 것을 특징으로 하는 기판 합착 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서, 상기 정전척은,
    상부에 상기 곡면을 갖는 베이스 패드부;
    상기 베이스 패드부 상에 배치되며, 서로 마주보도록 이격된 제1 및 제2 폴리이미드층들;
    상기 제1 및 제2 폴리이미드층들 사이에 개재되며, 상기 곡면을 따라 상호 이격되도록 배열된 금속 패턴들; 및
    상기 폴리이미드층들 사이에 개재되며, 상호 인접하는 상기 금속 패턴들 사이를 매립하여 상기 제2 폴리이미드를 상기 곡면을 방향을 따라 균일한 표면을 갖도록 하는 고유전체 폴리머 패턴을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 합착 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 고유전체 폴리머 패턴은 에폭시 및 폴리우레탄 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 합착 장치.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 플렉서블 기판을 스테이지 상에 위치시키는 단계;
    상기 플렉서블 기판과 마주보도록 플렉서블 필름을, 곡률 반지름을 갖는 하부 곡면으로 이루어진 정전척에 정전기력으로 부착시키는 단계;
    상기 정전척 및 상기 스테이지에 구동력을 제공하여, 상기 곡률 반지름의 중심점을 기준으로 하는 상기 정전척의 회전각에 따라 상기 스테이지의 수직 높이를 조절하면서, 상기 플렉서블 기판에 상기 플렉서블 필름을 합착하는 단계;
    상기 플렉서블 기판 및 상기 플렉서블 필름 사이에 발생하는 압력을 측정하는 단계; 및
    상기 측정된 압력에 관한 데이터를 이용하여, 상기 구동력을 조절하는 단계를 포함하고,
    상기 정전척 및 스테이지 각각에 구동력을 제공하는 단계는, 상기 플렉서블 기판 또는 플렉서블 필름의 일측으로부터 반대되는 타측으로 순차적으로 합착하고,
    상기 정전척 및 스테이지 각각에 구동력을 제공하는 단계는, 상기 스테이지의 상면의 수직 높이 및 상기 정전척의 최하점 사이의 간격을 일정하게 유지하는 것을 특징으로 하는 기판 합착 방법.



  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 삭제
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