KR20170108179A

KR20170108179A - 적층 시스템을 위한 압력-감지 스테이지

Info

Publication number: KR20170108179A
Application number: KR1020177026278A
Authority: KR
Inventors: 쿠오-후아 성; 용-수 김
Original assignee: 엘지디스플레이 주식회사
Priority date: 2013-09-20
Filing date: 2013-09-20
Publication date: 2017-09-26
Also published as: TWI660849B; US20160136937A1; KR20170003669U; US9868273B2; TW201527119A; CN105377557B; CN105377557A; WO2015041688A1; KR200487471Y1; KR20160011196A

Abstract

전자 디바이스 디스플레이용의 디스플레이 층들(45, 46)을 함께 부착시키기 위한 적층 시스템(110)이 제공될 수 있다. 시스템은 적층 작업 동안 디스플레이 층들을 일시적으로 장착하기 위한 하나 이상의 암력-감지 적층 스테이지들(124, 126)을 포함할 수 있다. 압력-감지 적층 스테이지(124)는 적층 작업 동안 디스플레이 층들에 인가되는 압력을 감지하도록 구성된 하나 이상의 압력 센서들(130)을 포함할 수 있다. 압력-감지 적층 스테이지들은 고정 장착 스테이지(126) 및 가동 장착 스테이지(124)를 포함할 수 있다. 가동 장착 스테이지는, 디스플레이 층들의 제1 세트가 디스플레이 층들의 제2 세트에 대해 가압되어 디스플레이 층들의 제1 세트 및 제2 세트를 부착시키도록 이동될 수 있다. 디스플레이 층들(45, 46)의 제1 세트가 디스플레이 층들의 제2 세트에 대해 가압되게 하는 압력은 압력 센서들(130)을 이용하여 수집된 압력 데이터에 기초하여 조정될 수 있다.

Description

적층 시스템을 위한 압력-감지 스테이지{PRESSURE-SENSING STAGES FOR LAMINATION SYSTEMS}

본 발명은 일반적으로 조립 시스템에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 디스플레이를 갖는 전자 디바이스를 위한 적층 시스템에 관한 것이다.

휴대형 컴퓨터 및 셀룰러 전화기와 같은 전자 디바이스에는 종종 디스플레이가 제공된다. 디스플레이는 디스플레이 및 내부 구성요소들을 보호하기 위한 커버 유리 층, 사용자로부터의 터치 입력을 수집하기 위한 터치 스크린 패널, 및 디스플레이 이미지들을 생성하는 액정 디스플레이(LCD) 구조물들의 스택과 같은 다수의 디스플레이 층들로부터 형성된다. 디스플레이 층들은 일반적으로 접착제를 사용하여 함께 적층된다.

주의하지 않으면, 적층 동작 동안 때때로 기포와 같은 결함들이 디스플레이에 형성될 수 있거나 또는 감응성 디스플레이 구성요소들이 손상될 수 있다. 이러한 유형의 결함들 또는 손상은 디스플레이의 시각적 성능 및 강건성에 부정적인 영향을 미칠 수 있다.

따라서, 향상된 적층 시스템을 디스플레이를 갖는 전자 디바이스에 제공할 수 있는 것이 바람직할 것이다.

적층 프로세스에 의해 생성되는 결함들을 최소화하면서 강성 구조물들과 같은 두 개 이상의 구조물들을 함께 적층하기 위한 시스템이 제공될 수 있다. 함께 적층되는 강성 구조물들은 디스플레이를 위한 디스플레이 층들을 포함할 수 있다. 강성 구조물들은 전자 디바이스 디스플레이를 위한 디스플레이 층들, 예컨대 투과성 커버 층, 터치-감응 층, 및 액정 디스플레이 셀일 수 있다. 광학적으로 투명한 접착제(optically clear adhesive)의 시트와 같은 접착제 시트들이 기판들을 함께 적층하도록 사용될 수 있다. 광학적으로 투명한 접착제는 광학적으로 투명한 자외선-광-경화성 접착제일 수 있다.

시스템은 제1 및 제2 제2 강성 구조물들을 함께 적층하기 위한 하드-하드 적층 장비(hard-to-hard lamination equipment)를 포함할 수 있다. 시스템은 연질 재료를 강성 기판에 적층하기 위한 소프트-하드(soft-to-hard) 적층 장비를 포함할 수 있다. 예를 들어, 하드-하드 적층 장비는 유리 커버 층 및 터치-감응 층을 포함하는 센서-온-커버-유리(sensor-on-cover-glass; CGS) 조립체를 액정 디스플레이 셀과 같은 디스플레이 셀에 부착하는 데 사용될 수 있다.

하드-하드 적층 장비는 두 개의 구조물들의 적층 전에 제1 및 제2 강성 구조물들이 고정될 수 있는 제1 및 제2 장착 스테이지들을 포함할 수 있다. 적층 동작 동안 기판들 사이의 기포와 같은 잠재적 결함들을 최소화하고 기판들에 대한 손상의 위험성을 최소화하기 위해서, 장착 스테이지들 중 하나 또는 둘 모두에는 적층 동작 동안 제1 및 제2 구조물들이 함께 가압되게 하는 압력 및 압력의 균일성을 모니터링하는 압력 센서들이 제공될 수 있다. 제1 및/또는 제2 스테이지들에 결합되는 작동 장비는 압력 센서들로부터의 수집된 압력 데이터에 기초하여 스테이지들을 위치설정할 수 있다.

본 발명의 추가의 특징, 그의 특성 및 다양한 이점이 첨부 도면 및 바람직한 실시예의 하기의 상세한 설명으로부터 더 명백하게 될 것이다.

향상된 적층 시스템을 디스플레이를 갖는 전자 디바이스에 제공할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른, 디스플레이를 갖는 예시적인 전자 디바이스의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 예시적인 디스플레이의 측단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른, 예시적인 디스플레이 층들 및 백라이트 구조물들의 측단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른, 적층 장비를 갖는 예시적인 조립 시스템의 다이어그램이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른, 도 4에 도시된 유형의 조립 시스템의 예시적인 하드-하드 적층 장비의 다이어그램이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른, 조립 동작 동안 제1 및 제2 강성 구조물들이 압력 감지 층들을 갖는 각각의 제1 및 제2 장착 스테이지들에 일시적으로 부착될 수 있는 방법을 도시하는 예시적인 하드-하드 적층 장비의 다이어그램이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른, 스테이지 상의 압력 센서들이 그 스테이지의 표면에 형성될 수 있는 방법을 도시하는 예시적인 압력-감지 적층 스테이지의 다이어그램이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른, 스테이지 상의 압력 센서들이 그 스테이지 내에 매립될 수 있는 방법을 도시하는 예시적인 압력-감지 적층 스테이지의 사시도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른, 압력 센서들이 스테이지 상의 별개 위치들에 형성될 수 있는 방법을 도시하는 예시적인 압력-감지 적층 스테이지의 평면도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른, 압력 센서들이 스테이지의 사실상 모두를 가로질러 연장되는 압력 감지 층으로부터 형성될 수 있는 방법을 도시하는 예시적인 압력-감지 적층 스테이지의 평면도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른, 압력-감지 적층 스테이지를 갖는 조립 시스템을 이용하여 제1 강성 구조물을 제2 강성 구조물에 적층하는 데 수반되는 예시적인 단계들의 플로우 챠트이다.

전자 디바이스는 디스플레이를 포함할 수 있다. 디스플레이는 사용자에게 이미지를 표시하도록 사용될 수 있다. 디스플레이가 제공될 수 있는 예시적인 전자 디바이스가 도 1에 도시되어 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 전자 디바이스(10)는 셀룰러 전화기, 음악 재생기, 게임 디바이스, 내비게이션 유닛 또는 다른 콤팩트 디바이스와 같은 핸드헬드 디바이스일 수 있다. 디바이스(10)에 대한 이러한 유형의 구성에서, 하우징(12)은 대향하는 전방 및 후방 표면들을 가질 수 있다. 디스플레이(14)는 하우징(12)의 전방 표면 상에 장착될 수 있다. 원한다면, 디스플레이(14)는 버튼(16)과 같은 구성요소들을 위한 개구(opening)를 포함하는 디스플레이 커버 층 또는 다른 외부 층을 구비할 수 있다. 개구는 또한 포트(18)와 같은 스피커 포트를 수용하도록 디스플레이 커버 층 또는 다른 디스플레이 층 내에 형성될 수 있다.

도 1의 디바이스(10)에 대한 예시적인 구성은 단지 예시적인 것이다. 일반적으로, 전자 디바이스(10)는 랩탑 컴퓨터, 내장(embedded) 컴퓨터를 포함하는 컴퓨터 모니터, 태블릿 컴퓨터, 셀룰러 전화기, 미디어 재생기, 또는 다른 핸드헬드 또는 휴대용 전자 디바이스, 손목시계 디바이스, 펜던트 디바이스, 헤드폰 또는 이어피스 디바이스, 또는 다른 착용 가능한 또는 미니어처 디바이스와 같은 소형 디바이스, 텔레비전, 내장 컴퓨터를 포함하지 않은 컴퓨터 디스플레이, 게임 디바이스, 내비게이션 디바이스, 디스플레이를 갖는 전자 장비가 키오스크(kiosk) 또는 자동차 내에 장착된 시스템과 같은 내장 시스템, 이들 디바이스 중 둘 이상의 디바이스의 기능을 구현하는 장비, 또는 다른 전자 장비일 수 있다.

디스플레이(14)는 터치 센서 층을 포함하는 터치-감응 디스플레이일 수 있거나, 터치에 대해 감응하지 않을 수 있다. 디스플레이(14)를 위한 터치 센서는 용량성 터치 센서 전극들의 어레이, 저항성 터치 어레이, 음향 터치, 광학 터치 또는 힘-기반 터치 기술에 기초한 터치 센서 구조물, 또는 터치-센서 기판 상에 형성되는 다른 적합한 터치 센서 구성요소들로부터 형성될 수 있다.

디바이스(10)를 위한 디스플레이는, 일반적으로, 발광 다이오드(LED), 유기 LED(OLED), 플라즈마 셀, 전기습윤 픽셀(electrowetting pixel), 전기영동 픽셀(electrophoretic pixel), 액정 디스플레이(LCD) 구성요소, 또는 다른 적합한 이미지 픽셀 구조물로부터 형성된 이미지 픽셀들을 포함할 수 있다. 일부 상황들에서는, 디스플레이(14)를 형성하기 위해 LCD 구성요소들을 사용하는 것이 바람직할 수 있으며, 따라서 디스플레이(14)가 액정 디스플레이인 디스플레이(14)에 대한 구성이 때때로 본 명세서에서 예로서 기술된다. 백라이트 구조물을 갖는 디스플레이(14)와 같은 디스플레이를 제공하는 것 또한 바람직할 수 있으며, 따라서 백라이트 유닛을 포함하는 디스플레이(14)에 대한 구성이 때때로 본 명세서에서 예로서 기술될 수 있다. 필요하다면, 다른 유형의 디스플레이 기술이 디바이스(10)에 사용될 수 있다. 디바이스(10)에서의 액정 디스플레이 구조물들 및 백라이트 구조물들의 사용은 단지 예시적인 것이다.

디스플레이 커버 층은 디스플레이(14)의 표면을 커버할 수 있거나, 컬러 필터 층 또는 디스플레이의 다른 부분과 같은 디스플레이 층이 디스플레이(14) 내의 최외곽(또는 거의 최외곽) 층으로 사용될 수 있다. 디스플레이 커버 층 또는 다른 외부 디스플레이 층은 투과성 유리 시트, 투명한 플라스틱 층, 또는 다른 투과성 부재로부터 형성될 수 있다.

인듐 주석 산화물과 같은 투과성 재료로부터 형성된 용량성 터치 센서 전극들의 어레이와 같은 터치 센서 구성요소들이 디스플레이 커버 층의 하면 상에 형성될 수 있거나, 유리 또는 중합체 터치 센서 기판과 같은 별도의 디스플레이 층 상에 형성될 수 있거나, 또는 다른 디스플레이 층들(예를 들어, 박막 트랜지스터 층과 같은 기판 층들) 내로 일체화될 수 있다.

디바이스(10)의 디스플레이(14)를 위해 사용될 수 있는 예시적인 구성의 측단면도가 도 2에 도시되어 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 디스플레이(14)는 커버 층(49)과 같은 커버 층에 부착된 터치-감응 층들(47)과 같은 터치-감응 구성요소들의 하나 이상의 층들을 포함할 수 있다. 커버 층(49)은 유리 또는 플라스틱과 같은 강성 또는 가요성의 투과성 재료의 시트로부터 형성될 수 있다.

터치-감지 층들(47)은 광학적으로 투명한 접착제(OCA)(43)와 같은 접착제 재료를 사용하여 커버 층(49)에 부착될 수 있다. 광학적으로 투명한 접착제(43)는 자외선 광-경화성 접착제와 같은 유연한 광-경화성 접착제의 시트, 압력-감응 접착제의 시트 또는 다른 적합한 접착제 재료로부터 형성될 수 있다. 터치-감응 층들(47)은 유리 또는 중합체 기판 상에 형성되는 인듐 주석 산화물과 같은 투과성 재료로부터 형성된 용량성 터치 센서 전극들의 어레이와 같은 터치 센서 구성요소들을 포함할 수 있다.

디스플레이(14)는, 디스플레이(14) 상에 표시되는 이미지를 생성하기 위한 이미지-생성 층들(46)(예컨대, 액정 디스플레이 셀)과 같은 디스플레이 층들을 포함할 수 있다. 이미지-생성 층들(46)은 편광기 층들, 컬러 필터 층들, 트랜지스터 층들, 접착제 층들, 액정 재료의 층들, 또는 디스플레이 이미지를 생성하기 위한 다른 층들을 포함할 수 있다. 이미지-생성 층들(46)은 광학적으로 투명한 접착제(45)와 같은 접착제를 사용하여 터치-감응 층(47)에 부착될 수 있다. 광학적으로 투명한 접착제(45)는 자외선 광-경화성 접착제와 같은 유연한 광-경화성 접착제의 시트, 압력-감응 접착제의 시트 또는 다른 적합한 접착제 재료로부터 형성될 수 있다.

이미지-생성 층들(46)은 백라이트 구조물들(42)과 같은 광-생성 구조물들에 의해 생성된 광을 사용하여, 디바이스(10)의 사용자에 의해 관찰되는 이미지를 형성할 수 있다. 백라이트 구조물들(42)은 발광 다이오드들, 도광(light guiding) 구조물들, 반사 구조물들, 광학 필름들 등과 같은 광-생성 구성요소들을 포함할 수 있다. 백라이트 구조물들(42)은 광학적으로 투명한 접착제(41)와 같은 광학적으로 투명한 접착제를 사용하여 이미지-생성 층들(46)에 적층될 수 있거나, 기계적 부착 부재들을 사용하여 이미지-생성 층들(46)에 부착될 수 있거나, 또는 백라이트 구조물들(42)을 디바이스(10) 내의 하나 이상의 구조적 부재들에 부착시킴으로써 층들(46)에 인접하게 장착될 수 있다.

디스플레이(14)에 대한 조립 동작 동안, 조립 시스템은 센서-온-커버-유리(sensor-on-cover-glass; CGS) 부재(30)와 같은 센서-온-커버-층 디스플레이 조립체(때때로, 센서-온-유리 조립체, 조립체, 또는 기판으로 지칭됨)를 형성하기 위해 접착제 층(43)을 사용하여 터치-감응 층(47)을 커버 층(49)에 적층하는데 사용될 수 있다. 이어서, 조립 시스템은 접착제(45)를 사용하여 이미지-생성 층들(46)을 CGS 부재(30)에 적층하기 전에 접착제(45)를 터치-감응 층(47)에 적층하는 데 사용될 수 있다.

디스플레이(14)의 이미지-생성 층들(46) 및 백라이트 구조물들(42)에(예를 들어, 도 2의 디스플레이, 또는 다른 적합한 디스플레이의 디스플레이 층들(46) 및 백라이트 구조물들(42)에) 사용될 수 있는 예시적인 구성의 측단면도가 도 3에 도시되어 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 디스플레이(14)는 백라이트(44)를 생성하기 위한 백라이트 유닛(42)과 같은 백라이트 구조물을 포함할 수 있다. 동작 동안에, 백라이트(44)는 외향으로 (도 3의 배향에서 차원 Z의 수직 상향으로) 이동하고, 층들(46) 내의 디스플레이 픽셀 구조물을 통과한다. 이는 사용자가 보기 위해 디스플레이 픽셀들에 의해서 생성되고 있는 임의의 이미지들을 조명한다. 예를 들어, 백라이트(44)는 방향(50)으로 뷰어(viewer)(48)가 보고 있는 이미지-생성 층들(46) 상에 이미지들을 조명할 수 있다.

이미지-생성 층들(46)은 터치-감응 층(47)에 부착하기 위한 액정 디스플레이 셀과 같은 디스플레이 모듈을 형성하기 위해 플라스틱 섀시 구조물 및/또는 금속 섀시 구조물과 같은 섀시 구조물들에 장착될 수 있다. 층들(46)은 액정 디스플레이를 형성할 수 있거나 또는 다른 유형들의 디스플레이들을 형성하는 데 사용될 수 있다.

층들(46)이 액정 디스플레이를 형성하는 데 사용되는 구성에서, 층들(46)은 액정 층(52)과 같은 액정 층을 포함할 수 있다. 액정 층(52)은 층들(58, 56)과 같은 디스플레이 층들 사이에 샌드위치될 수 있다. 층들(56, 58)은 하부 편광기 층(60)과 상부 편광기 층(54) 사이에 개재될 수 있다. 원한다면, 상부 편광기 층(54)은 커버 층(49)과 같은 외부 커버 층에, 또는 터치-센서(47)와 같은 터치-센서 층에 부착될 수 있다(도 2).

층들(58, 56)은 유리 또는 플라스틱의 투명 층들과 같은 투과성 기판 층들로부터 형성될 수 있다. 층들(56, 58)은 박막 트랜지스터 층 및/또는 컬러 필터 층과 같은 층들일 수 있다. 도전성 트레이스, 컬러 필터 요소, 트랜지스터, 및 다른 회로들과 구조물들이 (예를 들어, 박막 트랜지스터 층 및/또는 컬러 필터 층을 형성하도록) 층들(58, 56)의 기판 상에 형성될 수 있다. 터치 센서 전극들이 또한 층들(58, 56)과 같은 층들 내에 포함될 수 있고/있거나 터치 센서 전극들이 다른 기판들 상에 형성될 수 있다.

예시적인 일 구성으로, 층(58)은 액정 층(52)에 전기장을 인가함으로써 디스플레이(14) 상에 이미지를 표시하기 위한, 박막 트랜지스터들의 어레이 및 연관된 전극들(디스플레이 픽셀 전극들)을 포함하는 박막 트랜지스터 층일 수 있다. 층(56)은 디스플레이(14)에 컬러 이미지들을 표시하는 능력을 제공하기 위한 컬러 필터 요소들의 어레이를 포함하는 컬러 필터 층일 수 있다. 원한다면, 층(58)은 컬러 필터 층일 수 있고, 층(56)은 박막 트랜지스터 층일 수 있다.

백라이트 구조물들(42)은 도광판(78)과 같은 백라이트 도광판을 포함할 수 있다. 도광판(78)은 투명 유리 또는 플라스틱과 같은 투과성 재료로부터 형성될 수 있다. 백라이트 구조물(42)의 동작 동안에, 광원(72)과 같은 광원이 도광판(78)의 에지 내로 도입되는 광(74)을 생성할 수 있다. 광원(72)은, 예를 들어 발광 다이오드들의 어레이일 수 있다.

도광판(78)으로부터 방향 Z로 상향으로 산란하는 광(74)은 디스플레이(14)를 위한 백라이트(44)로서의 역할을 할 수 있다. 하향으로 산란하는 광(74)은 반사기(80)에 의해 상향 방향으로 다시 반사될 수 있다. 반사기(80)는 백색 플라스틱 또는 다른 빛나는 재료들의 층과 같은 반사성 재료로부터 형성될 수 있다.

백라이트 구조물들(42)은, 백라이트(44)를 균질화(homogenize)하는 것을 돕기 위한 확산기 층들과 같은 광학 필름들(70), 축외 관찰(off-axis viewing)을 개선하기 위한 보상 필름들, 및 백라이트(44)를 시준(collimating)하기 위한 휘도 개선 필름들(때때로, 터닝 필름(turning film)으로도 지칭됨)을 포함할 수 있다.

도 4는 디스플레이(14)를 위한 디스플레이 층들과 같은 강성 구조물들 또는 다른 기판들을 함께 적층하기 위해 사용될 수 있는 예시적인 조립 시스템의 다이어그램이다. 디바이스(10)의 디스플레이(14)에 대한 조립 동작 동안, 조립 시스템(100)과 같은 제조 시스템이 이미지-생성 층들(46), 커버 층(49), 터치 센서(47), 및, 원한다면, 백라이트 유닛(42)을 조립하여 디스플레이(14)를 형성하는 데 사용될 수 있다.

도 4에 도시된 바와 같이, 조립 시스템(100)은 전처리 장비(102)를 포함할 수 있다. 전처리 장비(102)는 적층 전에 기판을 세척하거나, 적층 전에 기판으로부터 보호 필름을 제거하거나, 또는 달리 적층 동작 전에 하나 이상의 강성 또는 가요성 기판들을 전처리하는 데 사용될 수 있다.

시스템(100)은 하드-하드 적층 장비(hard-to-hard lamination equipment)(110) 및 소프트-하드(soft-to-hard) 적층 장비(112)와 같은 적층 장비(108)를 포함할 수 있다. 하드-하드 적층 장비(110)는 이미지-생성 층들(46) 및 센서-온-유리 조립체(30)와 같은 두 개의 강성 구조물들을 함께 적층하는 데 사용될 수 있다. 소프트-하드 적층 장비(112)는 광학적으로 투명한 광-경화 접착제의 시트와 같은 연질 기판을 센서-온-유리 조립체(30)와 같은 강성 기판 상에 부착하는 데 사용될 수 있다. 시스템(100)은 진공 챔버(116)와 같은 배기부를 포함할 수 있다. 적층 장비(108)의 일부 또는 전부가 진공 챔버(116) 내에 형성될 수 있어서, 적층 동작 동안 기포와 같은 결함의 위험성이 추가로 감소될 수 있다.

시스템(100)은 로딩 장비(104) 및 적층 장비(108) 내의 기판들을 위치설정하기 위한 정렬 장비(106)와 같은 다른 장비를 포함할 수 있다. 시스템(100)은 또한, 적층 동작 동안 적층 장비(108), 로딩 장비(104), 정렬 장비(106), 및 전처리 장비(102)를 제어하기 위한 컴퓨팅 장비(114)를 포함할 수 있다.

도 5는 도 4의 시스템(100)과 같은 시스템에서 사용될 수 있는 유형의 하드-하드 적층 장비(110)의 다이어그램이다. 도 5에 도시된 바와 같이, 하드-하드(HTH) 적층 장비(110)는 하나 이상의 장착 스테이지들(122)을 포함할 수 있다. 경질 기판들 또는 경질 기판들의 조립체들과 같은 구조물들(예컨대, 전자 디바이스 디스플레이를 위한 액정 디스플레이 셀과 같은 디스플레이 셀 및 센서-온-유리 조립체)은 구조물들을 함께 부착하기 위한 조립 동작 동안 장착 스테이지들(122) 상에 장착될 수 있다.

장착 스테이지들(122)은 가동 장착 스테이지들(124) 및 고정 장착 스테이지들(126)을 포함할 수 있다. 컴퓨터-제어식 위치설정 장비(120)는 조립 동작 동안 가동 장착 스테이지들(124)을 이동 및 위치설정하는 데 사용될 수 있다. 컴퓨터-제어식 위치설정 장비(120)는 조립 동작 동안 컴퓨팅 장비(114)에 의해 제어될 수 있다.

하드-하드 적층 장비(110)의 고정 장착 스테이지들(126) 및 가동 장착 스테이지들(124) 각각은 하나 이상의 부착 구조물들(128)을 포함할 수 있다. 하드-하드 적층 장비(110)의 고정 장착 스테이지들(126) 및 가동 장착 스테이지들(124)은, 각각, 하나 이상의 압력 센서들(130)을 포함하는, 고정 압력-감지 적층 스테이지들 및 가동 압력-감지 적층 스테이지들일 수 있다.

부착 구조물들(128)은, 클립들, 클램프들, 또는 다른 기계적 부착 부재들과 같은 기계적 부착 구조물들, 진공 압력 부착 부재들, 정전 척 부착 부재들, 또는 적층 동작 동안 강성 구조물을 장착 스테이지에 일시적으로 고정하기 위한 다른 부착 부재들을 포함할 수 있다.

압력 센서들(130)은 용량성 압력 센서들, 압전형 압력 센서들, 마이크로전자기계 시스템(microelectromechanical system; MEMS) 기반 압력 센서들, 압력 변환기들, 규소-기반 압력 센서들, 스트레인 게이지들, 용량성 압력 센서들, 광학 압력 센서들, 유도성 압력 센서들, 또는 다른 적합한 압력 감지 기술을 이용하여 구현된 압력 센서들을 포함할 수 있다.

장착 스테이지들(124 및/또는 126)은 적층될 구조물과 직접적으로 접촉하도록 장착 스테이지의 표면 상에 장착되는 압력 센서들(130) 및/또는 장착 스테이지의 부분들 내에 매립되거나 부분적으로 매립되는 압력 센서들(130)을 포함할 수 있다. 압력 센서들(130)은 장착 스테이지 상의 별개 위치들에 형성될 수 있거나, 또는 장착 스테이지의 모두 또는 사실상 모두를 가로질러 연장하는 장착 스테이지의 압력 감지 층을 형성할 수 있다.

도 6은 하드-하드 적층 동작 동안의 진공 챔버(116) 내부에서의 하드-하드 적층 장비(110)의 다이어그램이다. 진공 챔버(116)는 공기 및 기타 가스들 모두 또는 거의 모두가 배기된 인클로저(enclosure)로부터 형성될 수 있다. 도 6에 도시된 바와 같이, 센서-온-유리 조립체(30)와 같은 강성 구조물이 고정 장착 스테이지(126)에 일시적으로 부착될 수 있다.

스테이지(126)는 조립체(30)를 스테이지(126) 상에 클램핑하는 정전 척과 같은 부착 부재(128)를 포함할 수 있다. 부착 부재(128)가 정전 척(때때로, e-척으로 지칭됨)으로서 구현되는 구성에서, 부재(128)는 척에서 생성되는 전자기장을 이용하여 적층 동작 동안 기판(30)을 고정된 위치에 정전기적으로 보유할 수 있다. 그러나, 이는 단지 예시적인 것이다. 원한다면, 부재(128)는 부재(30)와 같은 구조물을 스테이지(126)에 부착하기 위한 임의의 적합한 부착 부재일 수 있다.

CGS 부재(30)에는 디스플레이 셀(46)과 같은 추가 강성 구조물을 부재(30)에 부착하는 데 사용되도록 광학적으로 투명한 접착제(45)와 같은 접착제의 층이 제공될 수 있다. 접착제(45)는 (일례로서) 소프트-하드 적층 장비(112)를 사용하여 부재(30)에 부착된 광학적으로 투명한 접착제 재료의 시트일 수 있다.

디스플레이 셀(46)과 같은 추가 강성 구조물이 가동 스테이지(124)와 같은 가동 스테이지에 일시적으로 부착될 수 있다. 가동 스테이지(124)는 적층 동작 동안 컴퓨터-제어식 위치설정 장비(120)를 이용하여 회전되거나, 선회되거나, 횡방향으로 이동되거나, 또는 달리 이동될 수 있다.

가동 장착 스테이지(124)는 하나 이상의 압력 센서들(130)을 포함할 수 있다. 센서들(130)은 (예컨대, 압력 센서가 디스플레이 셀(46)과 직접적으로 접촉하도록) 스테이지(124)의 표면 상에 장착될 수 있고/있거나 장착 스테이지(124)의 부분들 내에 매립되거나 또는 부분적으로 매립될 수 있다. 압력 센서들(130)은 (도 6의 예에서와 같이) 장착 스테이지(124) 상의 별개 위치들에 형성될 수 있거나, 또는 센서(130)는 장착 스테이지(124)의 모두 또는 사실상 모두를 가로질러 연장하는 장착 스테이지(124)의 압력 감지 층을 형성할 수 있다.

고정 장착 스테이지(126)도 또한, 원한다면, 하나 이상의 압력 센서들(130)을 포함할 수 있다. 센서들(130)은 (예컨대, 압력 센서가 부재(30)와 직접적으로 접촉하도록) 스테이지(126)의 표면 상에 장착될 수 있고/있거나 장착 스테이지(126)의 부분들 내에 매립되거나 또는 부분적으로 매립될 수 있다. 압력 센서들(130)은 (도 6의 예에서와 같이) 장착 스테이지(126) 상의 별개 위치들에 형성될 수 있거나, 또는 센서(130)는 장착 스테이지(126)의 모두 또는 사실상 모두를 가로질러 연장하는 장착 스테이지(126)의 압력 감지 층을 형성할 수 있다.

적층 동작 동안, 컴퓨팅 장비(114)는 경로(117)(예컨대, 유선 또는 무선 접속)를 거쳐 컴퓨터-제어식 위치설정 장비(120)에 신호들을 송신할 수 있다. 컴퓨터-제어식 위치설정 장비(120)는 스테이지(124)를 이동시키고, 회전시키고, 선회시키고, 활주시키고, 또는 달리 위치설정하기 위해 하나 이상의 모터들, 레버들, 유압 피스톤과 같은 피스톤들, 포스트들, 플랫폼들, 또는 기타 장비를 포함할 수 있다.

컴퓨터-제어식 위치설정 장비(120)는 위치설정기(121), 및 스테이지(124)와 위치설정기(121) 사이에 부착되는 구조물들(136)과 같은 지지 구조물들을 포함할 수 있다. 고정 장착 스테이지(126)는 구조적 부재(132)를 사용하여 진공 챔버(116)의 일부분에 부착될 수 있거나, 또는 달리 챔버(116) 내의 고정된 위치에 고정될 수 있다. 컴퓨팅 장비(114)로부터의 신호들은, 장비(120)에게, 가동 스테이지(124)를 횡방향으로(즉, 도 6의 x-y 평면으로) 이동시키라고, 수직으로(즉, 도 6의 양 또는 음의 z-방향으로) 이동시키라고, 또는 스테이지(124)를 회전(예컨대, 도 6의 x-y 평면 내에서 또는 x-y 평면에서 벗어나 스테이지(124)를 회전)시키라고 명령할 수 있다.

예를 들어, 컴퓨팅 장비(114)는 장비(121)에게 스테이지(124)를 횡방향으로 이동시켜 디스플레이 셀(46)과 부재(30)를 정렬시키고, 이어서 디스플레이 셀(46)이 부재(30) 상의 접착제 층(45)과 접촉할 때까지 스테이지(124)를 수직으로 이동시키라고 명령할 수 있다.

적층 동작 동안, 컴퓨팅 장비(114)는 경로들(119)(예컨대, 센서들(130)과 컴퓨팅 장비(114) 사이의 유선 또는 무선 접속들)을 거쳐 스테이지(124) 및/또는 스테이지(126)의 압력 센서들(130)로부터 압력 신호들을 수신할 수 있다. 센서들(130)로부터의 압력 신호들은 디스플레이 셀이 가동 스테이지(124)를 이용하여 부재(30)에 대해 가압되는 동안 압력 센서의 위치에서 디스플레이 셀(46) 및 부재(30) 중 하나 또는 둘 모두에 인가되는 압력의 양에 비례할 수 있다. 컴퓨팅 장비(114)는 압력 신호들을 압력 데이터로 전환하고 이 압력 데이터를 구조물들(46, 30)의 안전한 적층을 위한 공지된 목표 압력들과 비교할 수 있다. 공지된 목표 압력들은 구조물들(30 또는 46)의 손상 없이 구조물들(30, 46)을 안전하게 적층할 수 있게 하는 절대 압력 범위들 및/또는 적층 동작 동안 구조물들(30, 46)을 가로질러 압력이 고르게(균일하게) 인가되고 있음을 나타내는 상대 압력들을 포함할 수 있다.

컴퓨팅 장비(114)는, 위치설정 장비(120)에게, 압력 센서들(130)로부터의 압력 데이터와 공지된 목표 압력들의 비교에 기초하여 가동 스테이지(124)의 위치 및 배향을 조정하는 동안 부재(30)에 대해 디스플레이 셀(46)을 가압하라고 명령할 수 있다.

도 7 및 도 8은 압력 센서들(130)이 장착 스테이지들(124 및/또는 126) 상에 또는 그 내부에 위치될 수 있게 하는 위치들의 예들을 도시한다.

도 7에 도시된 바와 같이, 가동 장착 스테이지(124)의 압력 센서들(130)은 스테이지(124)의 표면(142)과 공통 평면 내에 형성되는 외부 표면을 가질 수 있다. 이런 방식으로, 압력 센서들(130)은 디스플레이 셀(46)과 같은 적층될 구조물과 접촉하게 될 수 있다. 스테이지(124)의 표면(142)은 부착 부재(128)의 표면일 수 있거나 또는 적층 동작 동안 디스플레이 셀(46)과 접촉하는 스테이지(124)의 임의의 다른 표면일 수 있다.

고정 장착 스테이지(126)의 압력 센서들(130)은 스테이지(126)의 표면(140)과 공통 평면 내에 형성되는 외부 표면을 가질 수 있다. 이런 방식으로, 압력 센서들(130)은 CGS 부재(30)와 같은 적층될 추가 구조물과 접촉하게 될 수 있다. 스테이지(126)의 표면(140)은 부착 부재(128)의 표면일 수 있거나 또는 적층 동작 동안 부재(30)와 접촉하는 스테이지(126)의 임의의 다른 표면일 수 있다.

도 8에 도시된 바와 같이, 가동 장착 스테이지(124)의 압력 센서들(130)은 스테이지(124) 내에 매립될 수 있다. 도 8의 예에서, 센서들(130)은 스테이지(124)의 부착 부재(128) 뒤에 장착된다. 그러나, 이는 단지 예시적인 것이다. 원한다면, 센서들(130)은 부착 부재(128) 내에 전체적으로 또는 부분적으로 매립될 수 있고/있거나 스테이지(124)의 다른 부분들 내에 전체적으로 또는 부분적으로 매립될 수 있다.

고정 장착 스테이지(126)의 압력 센서들(130)은 스테이지(126)의 부착 부재(128) 뒤에 장착될 수 있다. 그러나, 이는 단지 예시적인 것이다. 원한다면, 센서들(130)은 부착 부재(128) 내에 전체적으로 또는 부분적으로 매립될 수 있고/있거나 스테이지(126)의 다른 부분들 내에 전체적으로 또는 부분적으로 매립될 수 있다.

도 7 및 도 8의 예들에서, 컴퓨터-제어식 위치설정 장비(120)는 제1 지지 구조물(136')(예컨대, 위치설정기(121)에 결합된 지지 구조물) 및 유압 작동기(136'')와 같은 작동 지지 구조물들을 포함한다. 작동기(136'')는 컴퓨팅 장비(114)에 의해 제어되어 스테이지(124)를 (예로서) 화살표(144)로 나타낸 바와 같이 회전시킬 수 있다. 그러나, 도 7 및 도 8의 위치설정 장비(120)는 단지 예시적인 것이다. 원한다면, 위치설정 장비(120)는 적층 동작 동안 스테이지(124)를 횡방향으로, 수직으로, 또는 회전식으로 이동시키기 위한 임의의 적합한 배열의 작동 부재들 및 지지 부재들을 포함할 수 있다.

하드-하드 적층 장비(110)가 전자 디바이스 디스플레이를 위한 센서-온-유리 조립체를 디바이스를 위한 액정 디스플레이 셀과 같은 디스플레이 셀에 적층하기 위해 사용되는 도 6, 도 7, 및 도 8의 예들은 단지 예시적인 것이다. 원한다면, 하나 이상의 압력-감지 적층 스테이지들을 갖는 하드-하드 적층 장비(110)가 임의의 강성 구조물 또는 기판을 임의의 다른 적합한 강성 기판 또는 기판에 적층하는 데 사용될 수 있다.

도 9는, 하나의 적합한 구성에서, 하나 이상의 압력 센서들(130)이 장착 스테이지(124)를 가로질러 횡방향으로 분배될 수 있는 방법을 도시하는 가동 장착 스테이지(124)의 평면도이다. 스테이지(124)는, 스테이지(124)를 사용하여 적층될 구조물들에 인가되는 절대 압력 및 상대 압력을 판정하기 위한, 1개의 압력 센서, 2개의 압력 센서들, 3개의 압력 센서들, 4개의 압력 센서들, 4개 초과의 압력 센서들, 10개의 압력 센서들 또는 임의의 적합한 수의 압력 센서들을 포함할 수 있다.

도 7 및 도 8의 고정 장착 스테이지(126)와 같은 고정 장착 스테이지 내의 압력 센서들(130)이, 유사하게, 장착 스테이지(126)를 가로질러 횡방향으로 분배되는 하나 이상의 압력 센서들을 포함할 수 있다.

도 10은, 다른 적합한 구성에서, 단일의 압력 센서(130)가 장착 스테이지(124)의 사실상 모두를 가로질러 연장될 수 있는 방법을 도시하는 가동 장착 스테이지(124)의 평면도이다. 도 9에 도시된 유형의 연장된 압력 센서는 상대 압력 차이를 감지하기 위한 다수의 압력 감지 영역들을 갖는 분할형 압력 센서(segmented pressure sensor)일 수 있거나, 단일 압력을 감지하는 모놀리식 압력 센서(monolithic pressure sensor)일 수 있거나, 또는 스테이지(124)의 표면 상에 있는 또는 스테이지(124) 내에 매립되는 압력 센서 요소들의 층(예컨대, 압력 감지 요소들의 어레이)일 수 있다.

원한다면, 도 7 및 도 8의 고정 장착 스테이지(126)와 같은 고정 장착 스테이지 내의 압력 센서들(130)이, 유사하게, 장착 스테이지(126)의 사실상 모두를 가로질러 연장되는 단일의 압력 센서(130)를 포함할 수 있다.

도 5, 도 6, 도 7, 도 8, 도 9, 및 도 10에 도시된 유형의 압력-감지 적층 스테이지를 이용하여 제1 및 제2 강성 구조물들을 함께 적층하기 위해 사용될 수 있는 예시적인 단계들이 도 11에 도시되어 있다.

단계 150에서, 기판들 또는 다른 강성 구조물들의 조립체와 같은 제1 강성 구조물(예컨대, 센서-온-커버-유리 조립체(30) 또는 다른 디스플레이 조립체 또는 강성 기판)이 고정 장착 스테이지(126)와 같은 대응하는 제1 장착 스테이지에 (일시적으로) 부착될 수 있다. 기판들 또는 다른 강성 구조물들의 조립체와 같은 제2 강성 구조물(예컨대, 전자 디바이스 디스플레이 셀(46))이 가동 장착 스테이지(124)와 같은 대응하는 제2 장착 스테이지에 (일시적으로) 부착될 수 있다. 제1 및 제2 장착 스테이지들은 강성 구조물들을 대응하는 스테이지에 부착하기 위한 정전 척과 같은 부착 부재들을 각각 포함할 수 있다. 제1 및 제2 장착 스테이지들 중 하나 이상이 센서들(130)과 같은 하나 이상의 압력 센서들을 갖는 압력-감지 장착 스테이지일 수 있다.

단계 152에서, 제1 및/또는 제2 장착 스테이지(예컨대, 가동 장착 스테이지)는 제1 강성 구조물이 제2 강성 구조물과 접촉하도록 이동될 수 있다. 장비(12)와 같은 컴퓨터-제어식 위치설정 장비가 가동 장착 스테이지를 이동시키는 데 사용될 수 있다.

단계 154에서, 컴퓨팅 장비(114)와 같은 컴퓨팅 장비가 제1 및 제2 장착 스테이지들 중 하나 또는 둘 모두 상의 또는 그 내부의 하나 이상의 압력 센서들을 이용하여 압력 데이터를 수집할 수 있다. 압력 데이터를 수집하는 것은, 압력 센서들로부터 압력 신호들을 수신하는 것과, 이 압력 신호들을 각 센서로부터의 절대 압력 데이터 및/또는 다수의 센서들 사이의 상대 압력 데이터로 전환하는 것을 포함할 수 있다.

단계 156에서, 제1 및 제2 장착 스테이지들 중 하나 또는 둘 모두(예컨대, 가동 스테이지(124))의 위치가 수집된 압력 데이터에 기초하여 조정될 수 있다. 수집된 압력 데이터에 기초하여 가동 장착 스테이지의 위치를 조정하는 것은, 수집된 압력 데이터를 제1 및 제2 강성 구조물들의 안전한 적층을 위한 공지된 목표 압력들과 비교하는 것 및/또는 다수의 압력 센서들로부터의 수집된 압력 데이터를 비교하는 것을 포함할 수 있다. 공지된 목표 압력들은 구조물들의 손상 없이 구조물들이 안전하게 적층될 수 있는 절대 압력 범위들을 포함할 수 있다.

다수의 센서들 사이의 수집된 압력 데이터를 비교하는 것은, 적층 동작 동안 구조물들을 가로질러 압력이 고르게(균일하게) 인가되는지 여부를 나타내는 상대 압력들을 비교하는 것을 포함할 수 있다. 수집된 압력 데이터에 기초하여 가동 장착 스테이지의 위치를 조정하는 것은, 압력 센서들로부터의 압력 데이터와 공지된 목표 압력들의 비교 및/또는 다수의 센서들로부터의 수집된 압력 데이터의 비교에 기초하여 가동 스테이지의 위치 및/또는 배향을 조정하는 것을 포함할 수 있다.

일 실시예에 따르면, 제1 구조물을 제2 구조물에 적층하기 위한 적층 시스템이 제공되는데, 이 시스템은 제1 구조물을 장착하기 위한 장착 스테이지, 적어도 하나의 압력 센서를 포함하는, 제2 구조물을 장착하기 위한 가동 장착 스테이지, 및 가동 장착 스테이지 및 적어도 하나의 압력 센서에 결합되는 컴퓨팅 장비를 포함하고, 여기서 컴퓨팅 장비는 적어도 하나의 압력 센서를 이용하여 제2 구조물 상의 압력과 연관된 압력 데이터를 수집한다.

다른 실시예에 따르면, 적어도 하나의 압력 센서는 가동 장착 스테이지의 표면과 공통 평면 내에 형성되는 외부 표면을 갖는다.

다른 실시예에 따르면, 적어도 하나의 압력 센서는 가동 장착 스테이지 내에 매립된다.

다른 실시예에 따르면, 적층 시스템은 또한 컴퓨터-제어식 위치설정 장비를 포함하고, 여기서 컴퓨팅 장비는 수집된 압력 데이터에 기초하여 컴퓨터-제어식 위치설정 장비를 이용하여 가동 장착 스테이지의 위치를 조정하도록 구성된다.

다른 실시예에 따르면, 적어도 하나의 압력 센서는 가동 장착 스테이지 상의 별개 위치들에 장착되는 적어도 제1 및 제2 압력 센서들을 포함한다.

다른 실시예에 따르면, 적어도 하나의 압력 센서는 가동 장착 스테이지의 압력 감지 층을 포함한다.

다른 실시예에 따르면, 제1 구조물을 장착하기 위한 장착 스테이지는 전자 디바이스 디스플레이용의 디스플레이 조립체를 장착하기 위한 고정 장착 스테이지를 포함한다.

다른 실시예에 따르면, 제2 구조물을 장착하기 위한 가동 장착 스테이지는 디스플레이 조립체에 적층되는 액정 디스플레이 셀을 장착하기 위한 가동 장착 스테이지를 포함한다.

다른 실시예에 따르면, 고정 장착 스테이지는 디스플레이 조립체를 고정된 위치에 고정하는 정전 척을 포함한다.

다른 실시예에 따르면, 적층 시스템은 또한 진공 챔버를 포함하고, 여기서 고정 장착 스테이지 및 가동 장착 스테이지는 진공 챔버 내에 장착된다.

일 실시예에 따르면, 제1 스테이지 및 복수의 압력 센서들을 갖는 압력-감지 스테이지인 제2 스테이지를 갖는 하드-하드 적층 장비를 이용하여 제1 강성 구조물을 제2 강성 구조물에 적층하는 방법이 제공되는데, 이 방법은 제1 강성 구조물을 제1 스테이지에 일시적으로 부착하는 단계, 제2 강성 구조물을 압력-감지 스테이지에 일시적으로 부착하는 단계, 복수의 압력 센서들을 이용하여 압력 데이터를 수집하는 단계, 및 수집된 압력 데이터에 기초하여 압력-감지 스테이지를 위치설정함으로써 제1 강성 구조물을 제2 강성 구조물에 적층하는 단계를 포함한다.

다른 실시예에 따르면, 방법은 또한, 복수의 압력 센서들을 이용하여 압력 데이터를 수집하는 단계 전에, 압력-감지 스테이지를 이동시켜 제1 강성 구조물이 제2 강성 구조물과 접촉하게 하는 단계를 포함한다.

다른 실시예에 따르면, 복수의 압력 센서들을 이용하여 압력 데이터를 수집하는 단계는, 제1 강성 구조물이 제2 강성 구조물에 대해 가압되게 하는 압력에 대응하는 절대 압력 데이터를 수집하는 단계를 포함한다.

다른 실시예에 따르면, 복수의 압력 센서들을 이용하여 압력 데이터를 수집하는 단계는, 제1 강성 구조물이 제2 강성 구조물에 대해 가압되게 하는 압력의 균일성에 대응하는 비교 압력 데이터를 수집하는 단계를 포함한다.

다른 실시예에 따르면, 수집된 압력 데이터에 기초하여 압력-감지 스테이지를 위치설정함으로써 제1 강성 구조물을 제2 강성 구조물에 적층하는 단계는, 수집된 압력 데이터를 목표 압력 데이터와 비교하는 단계를 포함한다.

다른 실시예에 따르면, 수집된 압력 데이터에 기초하여 압력-감지 스테이지를 위치설정함으로써 제1 강성 구조물을 제2 강성 구조물에 적층하는 단계는, 수집된 압력 데이터와 목표 압력 데이터의 비교에 기초하여 압력-감지 스테이지의 위치를 수정하는 단계를 추가로 포함한다.

일 실시예에 따르면, 유리 층, 유리 층에 부착되는 터치-센서 기판, 및 터치-센서 기판 상의 광학적으로 투명한 접착제의 시트를 포함하는 조립체에 액정 디스플레이 셀을 부착하기 위해 적층 시스템을 사용하는 방법이 제공되는데, 이 방법은 조립체를 고정된 위치에 고정하는 단계, 액정 디스플레이 셀을 가동 압력-감지 장착 스테이지에 고정하는 단계, 가동 압력-감지 장착 스테이지를 이용하여 압력 데이터를 수집하는 단계, 및 가동 압력-감지 장착 스테이지를 이용하여 압력 데이터를 수집하는 단계 동안 광학적으로 투명한 접착제 재료의 시트에 대해 액정 디스플레이 셀을 가압하는 단계를 포함한다.

다른 실시예에 따르면, 가동 압력-감지 장착 스테이지를 이용하여 압력 데이터를 수집하는 단계는, 가동 압력-감지 장착 스테이지 상의 압력 센서들을 이용하여 압력 신호들을 생성하는 단계, 및 압력 신호들로부터 압력 데이터를 생성하는 단계를 포함한다.

다른 실시예에 따르면, 방법은 또한, 수집된 압력 데이터에 기초하여 가동 압력-감지 장착 스테이지의 배향을 조정하는 단계를 포함한다.

다른 실시예에 따르면, 조립체를 고정된 위치에 고정하는 단계는, 조립체를 고정 압력-감지 장착 스테이지에 일시적으로 부착하는 단계를 포함한다.

전술된 내용은 단지 본 발명의 원리들의 실례를 나타낸 것이며 다양한 수정이 본 발명의 범주 및 사상으로부터 벗어나지 않고 당업자에 의해 이루어질 수 있다.

10 : 전자 디바이스
12: 하우징
14: 디스플레이

Claims

제1 구조물을 제2 구조물에 적층하기 위한 적층 시스템으로서,
상기 제1 구조물을 장착하기 위한 장착 스테이지;
적층 동작 동안 상기 제1 구조물과 상기 제2 구조물이 함께 가압되게 하는 압력의 균일성을 모니터링하는 적어도 하나의 압력 센서를 포함하는, 상기 제2 구조물을 장착하기 위한 가동 장착 스테이지; 및
상기 가동 장착 스테이지 및 상기 적어도 하나의 압력 센서에 결합되는 컴퓨팅 장비를 포함하고,
상기 컴퓨팅 장비는 상기 적어도 하나의 압력 센서를 이용하여 상기 제2 구조물 상의 압력과 연관된 압력 데이터를 수집하도록 구성되고,
상기 컴퓨팅 장비는 상기 제1 구조물과 상기 제2 구조물에 균일한 압력이 가해질 수 있도록 상기 적층 동작 동안 상기 적어도 하나의 압력 센서로부터 압력 신호를 수신하고, 상기 수신한 압력 신호를 목표 압력과 비교하고, 상기 비교에 기초하여 상기 가동 스테이지의 위치 및 배향을 조정하도록 구비되고,
상기 가동 장착 스테이지는 상기 위치 및 배향을 조정하기 위해서 횡방향(x-y평면) 또는 수직방향(z방향)으로 이동하고, x-y평면 내에서 회전하거나 또는 x-y평면에서 벗어나 회전하도록 구비되어 있는, 적층 시스템.
제1항에 있어서, 상기 적어도 하나의 압력 센서는 상기 가동 장착 스테이지의 표면과 공통 평면 내에 형성되는 외부 표면을 갖는, 적층 시스템.
제1항에 있어서, 상기 적어도 하나의 압력 센서는 상기 가동 장착 스테이지 내에 매립되는, 적층 시스템.
제1항에 있어서,
컴퓨터-제어식 위치설정 장비를 추가로 포함하고,
상기 컴퓨팅 장비는 상기 수집된 압력 데이터에 기초하여 상기 컴퓨터-제어식 위치설정 장비를 이용하여 상기 가동 장착 스테이지의 위치를 조정하도록 구성되는, 적층 시스템.
제1항에 있어서, 상기 적어도 하나의 압력 센서는 상기 가동 장착 스테이지 상의 별개 위치들에 장착되는 적어도 제1 및 제2 압력 센서들을 포함하는, 적층 시스템.
제1항에 있어서, 상기 적어도 하나의 압력 센서는 상기 가동 장착 스테이지의 압력 감지 층을 포함하는, 적층 시스템.
제1항에 있어서, 상기 제1 구조물을 장착하기 위한 상기 장착 스테이지는 전자 디바이스 디스플레이용의 디스플레이 조립체를 장착하기 위한 고정 장착 스테이지를 포함하는, 적층 시스템.
제7항에 있어서, 상기 제2 구조물을 장착하기 위한 상기 가동 장착 스테이지는 상기 디스플레이 조립체에 적층되는 액정 디스플레이 셀을 장착하기 위한 가동 장착 스테이지를 포함하는, 적층 시스템.
제8항에 있어서, 상기 고정 장착 스테이지는 상기 디스플레이 조립체를 고정된 위치에 고정하는 정전 척을 포함하는, 적층 시스템.
제9항에 있어서, 진공 챔버를 추가로 포함하고, 상기 고정 장착 스테이지 및 상기 가동 장착 스테이지는 상기 진공 챔버 내에 장착되는, 적층 시스템.
제1 스테이지 및 복수의 압력 센서들을 갖는 압력-감지 스테이지인 제2 스테이지를 갖는 하드-하드 적층 장비(hard-to-hard lamination equipment)를 이용하여 제1 강성 구조물을 제2 강성 구조물에 적층하는 방법으로서,
상기 제1 강성 구조물을 상기 제1 스테이지에 일시적으로 부착하는 단계;
상기 제2 강성 구조물을 상기 압력-감지 스테이지에 일시적으로 부착하는 단계;
상기 복수의 압력 센서들을 이용하여 압력 데이터를 수집하는 단계; 및
상기 수집된 압력 데이터를 목표 압력과 비교하고, 상기 비교에 기초하여 상기 압력-감지 스테이지를 위치설정함으로써 상기 제1 강성 구조물을 상기 제2 강성 구조물에 적층하는 단계를 포함하고,
상기 압력 데이터를 수집하는 단계는 상기 제1 강성 구조물과 상기 제2 강성 구조물이 함께 가압되게 하는 압력의 균일성을 모니터링하는 단계를 포함하고,
상기 압력-감지 스테이지를 위치설정하는 공정은 상기 제1 강성 구조물과 상기 제2 강성 구조물에 균일한 압력을 가하기 위해 상기 압력-감지 스테이지를 횡방향(x-y평면) 또는 수직방향(z방향)으로 이동하고, x-y평면 내에서 회전하거나 또는 x-y평면에서 벗어나 회전하여 상기 압력-감지 스테이지의 위치 및 배향을 조정하는 공정을 포함하는, 방법.
제11항에 있어서,
상기 복수의 압력 센서들을 이용하여 상기 압력 데이터를 수집하는 단계 전에, 상기 압력-감지 스테이지를 이동시켜 상기 제1 강성 구조물이 상기 제2 강성 구조물과 접촉하게 하는 단계를 추가로 포함하는, 방법.
제12항에 있어서, 상기 복수의 압력 센서들을 이용하여 상기 압력 데이터를 수집하는 단계는, 상기 제1 강성 구조물이 상기 제2 강성 구조물에 대해 가압되게 하는 압력에 대응하는 절대 압력 데이터를 수집하는 단계를 포함하는, 방법.
제12항에 있어서, 상기 복수의 압력 센서들을 이용하여 상기 압력 데이터를 수집하는 단계는, 상기 제1 강성 구조물이 상기 제2 강성 구조물에 대해 가압되게 하는 압력의 균일성에 대응하는 상대 압력 데이터를 수집하는 단계를 포함하는, 방법.
제11항에 있어서, 상기 수집된 압력 데이터에 기초하여 상기 압력-감지 스테이지를 위치설정함으로써 상기 제1 강성 구조물을 상기 제2 강성 구조물에 적층하는 단계는, 상기 수집된 압력 데이터를 목표 압력 데이터와 비교하는 단계를 포함하는, 방법.
제15항에 있어서, 상기 수집된 압력 데이터에 기초하여 상기 압력-감지 스테이지를 위치설정함으로써 상기 제1 강성 구조물을 상기 제2 강성 구조물에 적층하는 단계는, 상기 수집된 압력 데이터와 상기 목표 압력 데이터의 비교에 기초하여 상기 압력-감지 스테이지의 위치를 수정하는 단계를 추가로 포함하는, 방법.
유리 층, 상기 유리 층에 부착되는 터치-센서 기판, 및 상기 터치-센서 기판 상의 광학적으로 투명한 접착제의 시트를 포함하는 조립체에 액정 디스플레이 셀을 부착하기 위해 적층 시스템을 사용하는 방법으로서,
상기 조립체를 고정된 위치에 고정하는 단계;
상기 액정 디스플레이 셀을 가동 압력-감지 장착 스테이지에 고정하는 단계;
상기 가동 압력-감지 장착 스테이지를 이용하여 압력 데이터를 수집하는 단계; 및
상기 수집된 압력 데이터를 목표 압력과 비교하고, 상기 비교에 기초하여 상기 가동 압력-감지 장착 스테이지를 이용하여 상기 광학적으로 투명한 접착제 재료의 시트에 대해 상기 액정 디스플레이 셀을 가압하는 단계를 포함하고,
상기 압력 데이터를 수집하는 단계는 상기 액정 디스플레이 셀을 가압하는 동안 상기 조립체와 상기 액정 디스플레이 셀이 함께 가압되게 하는 압력의 균일성을 모니터링하는 단계를 포함하고,
상기 액정 디스플레이 셀을 가압하는 단계는 상기 조립체와 상기 액정 디스플레이 셀에 균일한 압력을 가하기 위해 상기 가동 압력-감지 장착 스테이지를 횡방향(x-y평면) 또는 수직방향(z방향)으로 이동하고, x-y평면 내에서 회전하거나 또는 x-y평면에서 벗어나 회전하여 상기 가동 압력-감지 장착 스테이지의 위치 및 배향을 조정하는 단계를 포함하는, 방법.
제17항에 있어서, 상기 가동 압력-감지 장착 스테이지를 이용하여 상기 압력 데이터를 수집하는 단계는,
상기 가동 압력-감지 장착 스테이지 상의 압력 센서들을 이용하여 압력 신호들을 생성하는 단계; 및
상기 압력 신호들로부터 상기 압력 데이터를 생성하는 단계를 포함하는, 방법.
제17항에 있어서, 상기 수집된 압력 데이터에 기초하여 상기 가동 압력-감지 장착 스테이지의 배향을 조정하는 단계를 추가로 포함하는, 방법.
제17항에 있어서, 상기 조립체를 상기 고정된 위치에 고정하는 단계는, 상기 조립체를 고정 압력-감지 장착 스테이지에 일시적으로 부착하는 단계를 포함하는, 방법.