KR101444710B1 - Oled용 윈도우와 기판을 합착하는 합착장치 및 이를 이용한 합착방법 - Google Patents

Oled용 윈도우와 기판을 합착하는 합착장치 및 이를 이용한 합착방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판을 합착하기 위한 공정이 대기(大氣)상태에서 이루어지도록 하면서 합착되는 어느 기판의 밴딩을 유도하여 기판 사이에 기포가 발생되지 않도록 하는 OLED용 윈도우와 기판을 합착하는 합착장치에 관한 것으로, 베이스; 제1기판이 안착되는 이동스테이지; 수직겐트리와, 수직겐트리에 승강 가능하게 결합되는 승강판으로 구성된 승강수단; 제2기판을 척킹하여 제1기판에 합착시키는 한 쌍의 척킹유닛; 및 제2기판을 밴딩시고 밴딩된 영역을 롤링하는 롤링장치;를 포함하여 구성된다.
본 발명의 다른 목적을 달성하기 위한 합착방법은, 제1기판을 한 쌍의 척킹유닛 하부로 이동시키는 단계(S10); 점착액를 도포하는 단계(S20); 제2기판을 공급받아 클램프에 척킹시키는 단계(S30); 제2기판을 밴딩하면서 클램프를 하강시키는 단계(S40); 및 제2기판의 밴딩부위를 롤링하면서 제2기판을 제1기판에 합착하는 단계(S50);를 통해 합착된다.

Description

OLED용 윈도우와 기판을 합착하는 합착장치 및 이를 이용한 합착방법{bonding device for bonding OLED window and board, bonding method using it}
본 발명은 OLED용 윈도우와 기판을 합착하는 합착장치 및 이를 이용한 합착방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판을 합착하기 위한 공정이 대기(大氣)상태에서 이루어지도록 하면서 합착되는 어느 기판의 밴딩을 유도하여 기판 사이에 기포가 발생되지 않도록 하는 OLED용 윈도우와 기판을 합착하는 합착장치 및 이를 이용한 합착방법에 관한 것이다.
정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 스마트폰, LCD(Lipuid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display)등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고 일부는 이미 여러 장비에서 영상표시장치로 활용되고 있다.
그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 특징에 따른 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)을 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비전 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.
이러한 영상표시장치의 디스플레이는 2개의 기판 또는 필름이 상호 합착되는 방식으로 제조되며, 여기서 디스플레이의 제조는 크게 TFT기판과 글라스기판의 합착으로 이루어진다.
또한, 디스플레이의 제조는 디스플레이의 다른 기능을 수행하는 기판들을 함께 합착하여 제조될 수 있다. 이러한 디스플레이의 다른 기능을 수행하는 기판들은 터치패드, 3차원 디스플레이를 위한 렌티큘러 필름 및 편광 필름 등과 같은 다양한 기판 중 적어도 어느 하나 일 수 있다.
상기와 같은 디스플레이는 합착장치에 의해 합착된다.
대한민국 공개특허공보 제10-2013-0057364호에는, 제1기판과 제2기판이 반입되며, 상기 제1기판과 상기 제2기판이 합착되는 공간을 형성하는 챔버와; 상기 챔버 내부의 상하부에 상호 대향되도록 각각 배치되어 상기 제1기판과 상기 제2기판을 지지하며, 적어도 어느 하나가 상기 제1기판과 상기 제2기판이 합착되는 합착위치로 이동되는 상부 정반 및 하부정반과; 상기 상부 정반과 상기 하부 정반 중 어느 하나에 배치되고 상기 합착위치에서 상기 제1기판과 상기 제2기판이 상호 일영역부터 합착되도록, 상기 제1기판과 상기 제2기판 중 인접한 어느 하나의 접촉에 따라 탄성바이어스 되는 탄성유닛과; 상기 상부 정반과 상기 하부 정반 중 다른 하나에 연결되어, 상기 탄성유닛에 접촉된 상기 제1기판과 상기 제2기판 중 어느 하나의 곡률에 대응하여 다른 하나를 정렬시키는 정렬유닛을 포함하는 합착장치 기술이 개시되어 있다.
또, 대한민국 공개특허공보 제10-2013-0057363호에는, 제1기판과 제2기판이 반입되며, 상기 제1기판과 상기 제2기판이 합착되는 공간을 형성하는 챔버와; 상기 챔버 내부의 상하부에 상호 대향되도록 각각 배치되어 상기 제1기판과 상기 제2기판을 지지하며, 적어도 어느 하나가 상기 제1기판과 상기 제2기판이 합착되는 합착위치로 이동되는 상부 정반 및 하부 정반과; 상기 상부 정반과 상기 하부 정반 중 어느 하나에 배치되고 유체압의 공급에 따라 팽창 및 수축되어, 상기 합착 위치에서 상기 제1기판과 상기 제2기판이 상호 일영역부터 합착되도록 상기 제1기판과 상기 제2기판 중 인접한 어느 하나에 가압력을 제공하는 가압유닛을 포함하고, 상기 가압유닛은 유체압 공급부와, 상기 유체압 공급부로부터의 유체압 공급 여부에 따라 상기 제1기판과 상기 제2기판 중 인접한 어느 하나의 중앙 영역에 대해 접촉되는 접촉위치와 접촉 해제되는 해제위치 사이에서 팽창 및 수축되는 다이아프램부를 포함하며, 상기 다이아프램부는 상기 유체압 공급부로부터의 유체압 공급 여부에 따라 팽창 및 수축되는 제1다이아프램과, 상기 제1다이아프램의 중앙 영역에 배치되어 상기 제1다이아프램의 팽창 및 수축에 따라 상기 제1기판과 상기 제2기판 중 인접한 어느 하나의 중앙 영역에 접촉 및 접촉 해제되는 제2다이아프램을 포함하는 합착장치 기술이 개시되어 있다.
그러나 상기의 합착장치들은, 기판들을 합착하기 위해서 반드시 진공챔버가 구비되어야 하는 문제가 있다. 즉, 합착시 기판과 기판 사이에 기포의 발생을 최소화하기 위해 반드시 작업공간이 진공상태를 유지해야 하기 때문이다.
또한, 상기의 합착장치들은 프레스방식을 통한 수직 합착방법으로 이루어지기 때문에 구조적으로 매우 복잡한 문제가 있다.
따라서, 상기의 합착장치들은 진공챔버와 진공챔버 내부의 진공 유.무를 위한 부대장비 또는 설비가 갖추어져야 하기 때문에 설비의 어려움과 제작비용이 상승하는 문제가 있다.
더하여, 기판 합착시 진공챔버를 비롯한 부대장비들이 동시 다발적으로 구동하기 때문에 기판 합착에 따른 공정시간이 길어지는 문제가 있다.
특허문헌 1: 대한민국 공개특허공보 제10-2013-0057364호 특허문헌 2: 대한민국 공개특허공보 제10-2013-0057363호
본 발명은 상기와 같은 문제점 및 기술적 편견을 해소하기 위해 안출된 것으로, 기판을 합착하기 위한 공정이 대기(大氣)상태에서 이루어지도록 하면서 합착되는 어느 기판의 밴딩을 유도하여 기판 사이에 기포가 발생되지 않도록 하는 OLED용 윈도우와 기판을 합착하는 합착장치 및 이를 이용한 합착방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 합착장치는, 베이스; 상기 베이스의 상면에 구비된 수평겐트리에 이동가능하게 결합되며, 제1기판이 안착되는 이동스테이지; 상기 이동스테이지의 상측으로 상기 베이스에 수직하게 설치된 수직겐트리와, 상기 수직겐트리에 승강 가능하게 결합되며 판 상의 수직편과 수평편으로 이루어진 승강판으로 구성된 승강수단; 이격되게 마주하는 상태로 상기 승강판의 상기 수직편 일면에 구비되어 상기 승강판과 연동하며, 제2기판을 척킹한 상태로 하강하면서 상기 제1기판에 합착시키는 한 쌍의 척킹유닛; 및 상기 승강판의 상기 수평편 저면에 구비되어 상기 승강판과 연동하며, 합착 시 상기 제2기판의 어느 표면을 밴딩시켜 상기 제1기판에 접촉시키고, 접촉된 상태에서 상기 척킹유닛의 하강과 함께 어느 일방향으로 롤링하는 적어도 하나의 롤링장치;를 포함하여 구성된다.
이때, 상기 롤링장치는, 상기 승강판의 상기 수평편 저면에 고정되고, 구동에 의해 정.역회전하는 소정길이를 갖는 볼스크류를 구비한 구동모터; 상기 볼스크류에 결합되며, 상기 볼스크류를 타고 이동하는 이동브라켓; 및 상기 이동브라켓의 일단에 구비되어 상기 이동브라켓과 연동하며, 저면에는 상기 제2기판 표면과 접촉된 상태로 회전하는 적어도 하나의 롤러가 구비된 롤링본체;로 구성된 것이 바람직하다.
또한, 상기 롤링장치는 상기 롤링본체가 서로 마주하게 배치될 수 있도록 한 쌍으로 배치된 것이 바람직하다.
한편, 상기 척킹유닛은 상기 승강판과 개별 승강 가능하게 설치되되, 일측 상면에 메인실린더가 구비되고, 타측이 상기 수직편에 고정된 고정블럭; 일측이 상기 메인실린더의 로드와 결합되고, 타측이 상기 고정블럭을 관통한 상태로 LM가이드에 의해 상기 수직편에 승강 가능하게 결합되어 상기 메인실린더의 구동에 의해 승강하는 이동블럭; 상기 이동블럭의 저면에 구비되어 상기 이동스테이지에 안착된 상기 제1기판과 합착되는 상기 제2기판을 척킹하는 클램프; 및 상기 이동블럭과 상기 클램프 사이에 개재되어 상기 클램프를 상기 이동스테이지 방향으로 수평이동시키는 보조실린더;로 구성된 것이 바람직하다.
이때, 상기 클램프의 하단에는 상기 제2기판 척킹시 상기 제2기판의 단부가 수용되는 척킹홈이 형성되되, 상기 척킹홈은 하측으로부터 내측으로 향하도록 소정각도로 경사지게 형성된 것이 바람직하다.
또한, 상기 이동스테이지는, 상기 수평겐트리에 이동 가능하게 결합된 이동플레이트; 상기 이동플레이트의 상부로 상기 수평겐트리와 교차하는 방향으로 이동 가능하게 결합되며, 상기 제1기판이 안착되는 안착편; 및 상기 이동플레이트의 일측에 구비되며, 상기 안착편을 이동시키는 미세조절실린더;로 구성된 것이 바람직하다.
더하여, 상기 수평겐트리 및 상기 수직겐트리는 리니어모터, 벨트방식 및 볼스크류방식 중 어느 하나에 의해 구동되는 것이 바람직하다.
한편, 본 발명의 합착방법은, 상기 제1기판을 공급받아 상기 이동스테이지에 안착시켜 상기 한 쌍의 척킹유닛 하부로 이동시키는 단계(S10); 상기 제1기판의 상부표면으로 점착액를 도포하는 단계(S20); 상기 제2기판을 공급받아 상기 클램프에 척킹시키는 단계(S30); 척킹된 상기 제2기판의 어느 표면을 롤링본체를 통해 가압하여 밴딩시키면서 밴딩부위가 상기 제1기판(M1)과 접촉될 때까지 상기 클램프를 하강시키는 단계(S40); 및 상기 제1기판에 접촉된 상기 제2기판의 밴딩부위로부터 상기 롤링본체를 어느 일 방향으로 롤링시키면서 상기 제2기판이 상기 제1기판에 합착될 수 있도록 상기 클램프를 하강시켜 합착을 완료하는 단계(S50);를 통해 합착된다.
이때, 상기 단계 S50에는, 상기 클램프의 하강속도와 상기 롤링본체의 롤링속도는 상기 롤링본체와 상기 클램프 사이에 형성되는 상기 제2기판 밴딩영역의 일정한 밴딩곡률이 유지될 수 있는 속도인 것이 바람직하다.
한편, 상기 단계 S10에는, 상기 이동스테이지에 안착된 상기 제1기판이 상기 한 쌍의 척킹유닛 하부에 정확하게 위치할 수 있도록 하는 미세조절단계를 더 포함하는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 단계 S40에는, 한 쌍의 상기 롤링본체가 상기 제2기판의 중심부에 위치하는 것이 바람직하다.
마지막으로, 상기 단계 S40에는, 단일의 상기 롤링본체가 상기 제2기판 일측 테두리에 근접하게 위치하는 것이 바람직하다.
상기와 같은 구성을 가진 본 발명의 OLED용 윈도우와 기판을 합착하는 합착장치 및 이를 이용한 합착방법에 의하면, 기판의 합착시 어느 하나의 기판을 밴딩시키고, 밴딩된 기판을 롤링장치를 이용하여 편평하게 펴지면서 합착되도록 함으로써, 밴딩된 기판이 롤링되는 과정에서 기판 사이의 점착액과 기포가 밀리도록 하여 기포가 제거됨과 동시에 기판 사이의 점착액이 균일한 층을 이루도록 하는 장점이 있다.
또한, 기판이 합착되는 과정에서 기포가 제거되기 때문에 종래와 같이 진공챔버가 필요 없고, 대기(大氣)상태에서 합착공정이 가능한 장점이 있다.
또한, 기판의 합착이 단순공정으로 이루어짐에 따라 종래와 같이 관련된 부대장비 또는 설비가 많이 줄게 되고, 합착 공정시간이 줄어드는 장점이 있다.
도 1은 본 발명에 따른 합착장치를 나타낸 측면도이며,
도 2는 도 1의 베이스가 제외된 상태의 사시도이고,
도 3은 본 발명에 따른 합착장치의 구성 중 롤링장치를 나타낸 요부평면도이며,
도 4는 본 발명에 따른 합착장치의 구성 중 롤링장치가 단일로 구성된 것을 나타낸 요부평면도이고,
도 5는 본 발명의 합착장치를 이용하여 기판이 합착되는 과정을 나타낸 플로우챠트이며,
도 6a 내지 도 6e는 도 5의 기판 합착과정을 나타낸 요부 참고도이고,
도 7a 내지 7c는 단일의 롤링장치를 적용한 기판 합착과정을 나타낸 요부 참고도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예들을 첨부된 도면을 참고하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시 예들은 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 설명하는 실시 예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예들은 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 상세하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에 나타난 각 요소의 형상은 보다 분명한 설명을 강조하기 위하여 과장될 수 있다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 본 발명에 따른 합착장치를 나타낸 측면도이며, 도 2는 도 1의 베이스가 제외된 상태의 사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 합착장치의 구성 중 롤링장치를 나타낸 요부평면도이며, 도 4는 본 발명에 따른 합착장치의 구성 중 롤링장치가 단일로 구성된 것을 나타낸 요부평면도이고, 도 5는 본 발명의 합착장치를 이용하여 기판이 합착되는 과정을 나타낸 플로우챠트이며, 도 6a 내지 도 6e는 도 5의 기판 합착과정을 나타낸 요부 참고도이고, 도 7a 내지 7c는 단일의 롤링장치를 적용한 기판 합착과정을 나타낸 요부 참고도이다.
도 1 내지 도 3에 나타낸 바와 같이 본 발명의 합착장치(700)는, 베이스(B); 상기 베이스(B)의 상면에 구비된 수평겐트리(210)에 이동가능하게 결합되며, 제1기판(M1)이 안착되는 이동스테이지(200); 상기 이동스테이지(200)의 상측으로 상기 베이스(B)에 수직하게 설치된 수직겐트리(410)와, 상기 수직겐트리(410)에 승강 가능하게 결합되며 판 상의 수직편(421)과 수평편(423)으로 이루어진 승강판(420)으로 구성된 승강수단(400); 이격되게 마주하는 상태로 상기 승강판(420)의 상기 수직편(421) 일면에 구비되어 상기 승강판(420)과 연동하며, 제2기판(M2)을 척킹한 상태로 하강하면서 상기 제1기판(M1)에 합착시키는 한 쌍의 척킹유닛(500); 및 상기 승강판(420)의 상기 수평편(423) 저면에 구비되어 상기 승강판(420)과 연동하며, 합착 시 상기 제2기판(M2)의 어느 표면을 밴딩시켜 상기 제1기판(M1)에 접촉시키고, 접촉된 상태에서 상기 척킹유닛의 하강과 함께 어느 일방향으로 롤링하는 적어도 하나의 롤링장치(600);를 포함하여 구성된다.
설명에 앞서 본 발명의 제1기판(M1)과 제2기판(M2)은 합착을 통해 OLED용 디스플레이(M)로 형성되고, 이때 제1기판(M1)과 제2기판(M2)은 적층되는 순서에 따라 윈도우(글라스)와 기판(판넬) 또는 기판과 윈도우 일수도 있기 때문에 밴딩되면서 합착되는 어느 하나의 기판을 한정하지 않는다.
도 1을 참고하면, 베이스(B)는 편평한 상면을 가지며 후방으로 별도의 프레임(미부호)가 구비되어 본 발명의 합착장치(700)를 이루는 각 구성이 정확한 위치에 셋팅될 수 있도록 각 구성을 지지하는 역할을 한다.
상기 베이스(B)의 상면에는 이동스테이지(200)가 구비되어 있으며, 베이스(B)의 후방 상측에는 척킹유닛(500)과 롤링장치(600)를 승강시키는 승강수단(400)이 이동스테이지(200)와 이격되게 구비되어 있다.
도 2를 참조하면, 이동스테이지(200)는 OLED용 디스플레이(M)를 이루는 제1기판(M1)이 안착된 상태로 제1기판(M1)을 이동시키는 것으로, 도면상 표시된 Y축방향으로 베이스(B)의 상면에 구비된 수평겐트리(210)에 이동 가능하게 결합되어 있다.
이동스테이지(200)는, 수평겐트리(210)에 이동 가능하게 결합된 이동플레이트(221)와, 이동플레이트(221)의 상부로 수평겐트리(210)와 교차하는 X축방향으로 이동 가능하게 결합되며 상면으로 제1기판(M1)이 안착되는 안착편(223)과, 이동플레이트(221)의 일측에 구비되며 안착편(223)을 이동시키는 미세조절실린더(225)로 구성된다.
이때, 안착편(223)의 상면은 OLED용 디스플레이(M)를 형성하는 제1기판(M1)이 안정적으로 안착된 상태를 유지하도록 편평한 상태를 유지하는 것이 바람직하다. 더하여, 상기 안착편(223)의 상면에는 제1기판(M1)의 안착상태를 고정시키는 복수개의 진공흡착공(미 도시)이 형성될 수도 있다.
미세조절실린더는(225) 안착편(223)에 제1기판(M1)이 안착된 상태에서 후술하게 되는 한 쌍의 척킹유닛(500) 사이로 이동스테이지(200)가 이동된 후 안착편(223)을 X축방향으로 미세조절하여 제1기판(M1)이 한 쌍의 척킹유닛(500) 하부에 정확하게 위치되도록 한다.
도 2를 참조하면, 승강수단(400)은 베이스(B)의 후방 상측을 통해 이동스테이지(200)의 상측으로 소정간격 이격되게 설치되어 후술하는 한 쌍의 척킹유닛(500)과 롤링장치(600)를 승강시키는 역할을 하는 것으로, 베이스(B)의 후방을 통해 수직하게 설치된 수직겐트리(410)와, 수직겐트리(410)에 승강 가능하게 결합되며 판 상의 수직편(421)과 수평편(423)으로 이루어진 승강판(420)으로 구성되어 있다.
이때, 승강판(420)의 수직편(421)과 수평편(423)은 후술하는 한 쌍의 척킹유닛(500) 및 롤링장치(600)가 안정적으로 장착될 수 있도록 편평한 면을 유지하고 있으며, 수평편(423)은 상기 수직편(421)의 하측 단부로부터 수직겐트리(410) 방향으로 연장되어 있다.
따라서, 승강판(420)은 대략적인 "L"자 형상을 유지하고 있다.
한편, 앞서 서술된 이동스테이지(200)를 이동시키는 수평겐트리(210) 및 승강판(420)을 승강시키는 수직겐트리(410)는 리니어모터, 벨트방식 및 볼스크류방식 중 어느 하나가 선택되어 사용되는 것이 바람직하며, 그 선택을 반드시 한정하지는 않는다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 척킹유닛(500)은 소정간격 이격되게 마주하는 상태로 승강판(420)의 수직편(421)의 일면에 구비되어 승강판(420)과 연동하며, 제2기판(M2)의 양단을 척킹한 상태로 하강하면서 이동스테이지(200)의 안착편(223)에 안착된 제1기판(M1)에 합착시키는 것으로, 제2기판(M2)의 양단을 척킹하기 위해 한 조를 이루도록 한 쌍으로 구성되어 있다.
이때, 척킹유닛(500)은 승강판(420)과 개별 승강 가능하게 설치되며, 고정블럭(510)과, 이동블럭(530)과, 클램프(540) 및 보조실린더(550)로 구성된다.
고정블럭(510)은 일측과 타측이 수평면과 수직면을 갖는 형상을 이루고 있으며, 일측 수평면의 상면에는 메인실린더(520)가 수직하게 구비되어 있고, 타측 수직면은 수직편(421)에 고정되어 있다.
이동블럭(530)은 고정블럭(510)과 같은 일측과 타측이 수평면과 수직면을 갖는 형상을 이루고 있으나, 일측의 수평면은 메인실린더(520)의 로드(521)와 결합되어 있으며, 타측의 수직면은 고정블럭(510)의 수평면을 관통한 상태로 LM가이드(L)에 의해 수직편(421)에 승강 가능하게 결합되어 메인실린더(520)의 구동에 의해 승강판(420)을 승강하게 된다.
클램프(540)는 수직으로 소정의 길이를 갖는 형상으로 이동블럭(530)의 저면에 구비되어 이동스테이지(200)에 안착된 제1기판(M1)과 합착되는 제2기판(M2)의 테두리 단부를 척킹하게 된다.
이때, 클램프(540)의 하단에는 제2기판(M2) 척킹시 제2기판(M2)의 테두리 단부가 수용되는 척킹홈(541)이 형성되어 있으며, 상기의 척킹홈(541)은 하측으로부터 내측으로 향하도록 소정각도로 경사지게 형성되어 있다.
이는, 후술하게 되는 제2기판(M2)을 제1기판(M1)에 합착시키는 과정에서 제2기판(M2)의 밴딩이 이루어질 때 발생하는 밴딩곡률에 의해 제2기판(M2)의 테두리 단부 또한 기울어지기 때문에 이 기울기에 대응되도록 하여 제2기판(M2)의 안정적인 척킹을 이루기 위함이다.
본 실시예에서는 클램프(540)에 형성된 척킹홈(541)이 경사지게 형성된 것으로 도시하고 있으나, 제2기판(M2)의 테두리 단부가 안정적인 척킹을 이룰 수 있는 형상이라면 반드시 한정하지는 않는다.
보조실린더(550)는 이동블럭(530)과 클램프(540) 사이에 개재되어 클램프(540)를 이동스테이지(200) 방향으로 수평이동시킨다. 즉, 클램프(540)의 척킹홈(541)으로 제2기판(M2)의 테두리 단부가 척킹되도록 이동시키는 것이다.
한편 상기의 척킹유닛(500)은 서술한 바와 같이, 제2기판(M2)의 양단을 척킹하기 위해 한 쌍으로 구성되기 때문에 동일한 구조를 갖는 다른 하나의 척킹유닛(500)이 설정된 간격으로 배치되는 것은 물론일 것이며, 이 간격은 최소한 대상물인 OLED용 디스플레이(M)의 길이(X축방향)보다는 크게 유지되는 것이 바람직하다.
더하여, 다른 하나의 척킹유닛(500)에 대해서는 앞서 서술된 척킹유닛(500)과 동일한 구조를 이루고 있음에 따라 자세한 설명은 생략하기로 한다.
따라서 상기의 한 쌍의 척킹유닛(500)은, 클램프(540)의 척킹홈(541)을 통해 제2기판(M2)의 테두리 양단부를 척킹한 상태로 승강판(420)에 의해 설정된 높이까지 이동한 제2기판(M2)을 메인실린더(520)의 구동을 통해 클램프(540)를 하강시키면서 이동스테이지(200)에 안착된 제1기판(M1)에 합착시킨다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 롤링장치(600)는 적어도 하나로 승강판(420)의 수평편(423) 저면에 구비되어 승강판(420)과 상.하로 연동하며, 합착 시 제2기판(M2)의 어느 표면을 밴딩시켜 제1기판(M1)에 접촉시키고, 접촉된 상태에서 척킹유닛(500)의 하강과 함께 어느 일방향으로 롤링하는 것으로, 구동모터(610)와, 이동브라켓(620) 및 롤링본체(630)로 구성되어 있다.
여기서, 상기의 제2기판(M2)을 밴딩시키고 그 표면을 롤링하는 목적은, 제1,2기판(M1,M2)의 합착 전 어느 하나의 기판에 점착액(OCR:Optically Clear Resin)이 도포된 상태에서, 제2기판(M2)을 밴딩함으로써 기판 합착 시 점착액에 포함되거나 또는 합착 과정에서 형성되는 기포가 빠져나갈 수 있는 조건을 형성하여 기포가 제거되도록 하기 위해서이다.
즉, 밴딩된 기판이 롤링에 의해 편평하게 펴지는 합착되는 과정에서 기판 사이의 점착액과 기포가 외측방향으로 밀리도록 하여 기포가 제거됨과 동시에 1,2기판(M1,M2) 사이에 기포가 없는 균일한 점착액 층이 형성되도록 하기 위함이다.
상기의 점착액은 기판들 간의 합착시 통상적으로 이용되는 것임에 따라 자세한 설명은 생략하기로 한다.
구동모터(610)는 승강판(420)의 수평편(423) 저면에 고정되어 있으며, 중심에는 구동에 의해 정.역회전하는 소정길이를 갖는 볼스크류(611)가 구비되어 있다. 이때, 구동모터(610)는 제어에 따른 정밀속도 제어가 가능한 서보모터 인 것이 바람직하다.
이동브라켓(620)은 타측이 볼스크류(611)에 결합된 상태로 구동모터(610)의 구동에 의한 볼스크류(611)의 회전에 의해 볼스크류(611)를 타고 이동한다(도 3 참조).
롤링본체(630)는 이동브라켓(620)의 일단에 구비되어 볼스크류(611)를 타고 이동하는 이동브라켓(620)과 수평방향(X축방향)으로 연동하며, 저면에는 제2기판(M2) 표면과 접촉된 상태로 회전하는 적어도 하나의 롤러(631)가 수평겐트리(210) 방향으로 구비되어 있다.
이때, 롤링본체(630)의 롤러(631)는 길게 하나의 롤러(631)로 구성될 수 있고, 단일로 이루어진 복수개의 롤러(631)로 구성될 수도 있으며, 더미글라스(G) 표면과 접촉하는 롤러(631)의 재질은 탄성을 갖는 합성수질인 것이 바람직하다. 따라서, 롤러(631)의 개수 및 그 재질은 반드시 한정되지 않는다.
그리고, 롤링본체(630)는 이동브라켓(620)과 함께 연동하는 구조를 갖지만, 수평편(423)의 저면에 LM가이드(L)를 마련하여 상기 LM가이드(L)와 결합함으로써 더욱 안정적인 이동이 이루어질 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
한편, 본 발명에서는 롤링장치(600)의 롤링본체(630)가 도 2 및 3과 같이 서로 마주하게 배치될 수 있도록 한 쌍으로 배치되는 것이 바람직한데, 이는 척킹유닛(500)의 하강과 함께 한 쌍의 롤링본체(630)가 상기 제2기판(M2)의 중심으로부터 각각 양테두리방향으로 동시에 롤링되도록 함으로써, 점착액에 기포가 포함되지 않은 상태로 합착이 신속하게 이루어지도록 하기 위함이다(도 6a 내지 도 6e 참조).
상기와 같은 롤링본체(630)는, 승강판(420)과 함께 연동하면서 제1기판(M1)에 제2기판(M2)를 합착할 때 제2기판(M2)의 어느 표면 즉 제2기판(M2)의 중심부를 가압하여 밴딩시키고, 밴딩된 부위가 제1기판(M1)의 표면에 접촉하면 하강하는 한 쌍의 클램프(540) 속도와 맞춰 도면상 중심에서 각각 양테두리방향으로 롤링하면서 1,2기판(M1,M2)의 합착을 완료한다.
이 과정에서, 점착액은 롤링본체(630)의 롤링에 의해 외측방향으로 밀리면서 기포가 제거된 상태로 제1,2기판(M1,M2) 사이에 동일한 층으로 형성된다.
이때, 클램프(540)의 하강속도와 롤링본체(630)의 롤링속도는 롤링본체(630)와 클램프(540) 사이에 형성되는 제2기판(M2) 밴딩영역의 일정한 밴딩곡률이 유지될 수 있는 속도인 것이 바람직 한데, 이는 클램프(540)와 롤링본체(630)의 제어를 통해 롤링본체(630)에서 제2기판(M2)으로 가해지는 가압력이 항상 일정한 압력을 유지하도록 하기 위함이다.
이렇게 되면, 합착된 기판의 사이의 점착액은 균일한 층으로 형성되며, 화질의 선명도를 향상시키게 된다.
만일, 클램프(540)의 하강이 롤링본체(630)의 롤링속도와 맞지 않으면, 즉 밴딩에 의한 밴딩곡률이 크거나 또는 작을 경우 제2기판(M2)에 가해지는 롤링본체(630)의 불규칙한 가압력에 의해 점착액 층이 원만하게 형성되지 못하게 되는 문제를 갖게 된다.
한편, 롤링장치(600)는 도 4에 도시된 바와 같이 단일로 설치될 수도 있는데, 이는 단일의 롤링본체(630)가 제2기판(M2)의 일측 테두리 단부로부터 타측방향으로 롤링되도록 하여 제1,2기판(M1,M2)의 합착이 이루어지도록 하는 것이다(도 7a 내지 도 7c 참조).
상기의 경우, 롤링본체(630)가 일 방향으로만 롤링되기 때문에, 롤링본체(630)와 도면상 우측의 클램프(540)(도 7a,b,c)만이 앞서 서술된 바와 같이 롤링본체(630)와 클램프(540) 사이에 형성되는 제2기판(M2) 밴딩영역의 일정한 밴딩곡률이 유지될 수 있도록 구동되는 것이 바람직하다.
본 실시예에서 롤링장치(600)의 개수는 OLED용 디스플레이(M)의 크기 또는 종류에 따라 달라질 수 있으므로 그 개수를 반드시 한정하지는 않는다.
한편, 서술된 이동스테이지(200), 승강수단(400), 한 쌍의 척킹유닛(500) 및 롤링장치(600)는 설정된 제어값이 저장된 콘트롤러(미도시)에 의해 각각 제어됨은 물론이며, 이러한 제어는 통상적인 사항임에 따라 설명은 생략하기로 한다.
이하, 본 발명에 따른 합착장치(700)를 통해 제1기판(M1)과 제2기판(M2)을 합착하는 합착방법에 대해 설명하면 다음과 같다.
도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 제1기판(M1)과 제2기판(M2)의 합착방법은, 상기 제1기판(M1)을 공급받아 상기 이동스테이지(200)에 안착시켜 상기 한 쌍의 척킹유닛(500) 하부로 이동시키는 단계(S10); 상기 제1기판의 상부표면으로 점착액를 도포하는 단계(S20); 상기 제2기판(M2)를 공급받아 상기 클램프(540)에 척킹시키는 단계(S30); 척킹된 상기 제2기판(M2)의 어느 표면을 롤링본체(630)를 통해 가압하여 밴딩시키면서 밴딩부위가 상기 제1기판(M1)과 접촉될 때까지 상기 클램프(540)를 하강시키는 단계(S40); 및 상기 제1기판(M1)에 접촉된 상기 제2기판(M2)의 밴딩부위로부터 상기 롤링본체(630)를 어느 일 방향으로 롤링시키면서 상기 제2기판(M2)이 상기 제1기판(M1)에 합착될 수 있도록 상기 클램프(540)를 하강시켜 합착을 완료하는 단계(S50);를 통해 합착된다.
상기의 합착방법은 롤링장치(600)가 한 쌍으로 배치된 합착장치(700)를 실시예로 설명하기로 한다.
제1기판(M1)을 공급받아 이동스테이지(200)에 안착시켜 한 쌍의 척킹유닛(500) 하부로 이동시키는 단계(S10)를 보면,
먼저, 외부로부터 공급되는 제1기판(M1)을 이송수단(미 도시)을 이용하여 이동스테이지(200)의 안착편(223)에 안착시킨다. 이때, 제1기판(M1)은 이동스테이지(200)가 수평겐트리(210)에 의해 이동함에 따라 다양한 위치에서 공급될 수 있음은 물론이다.
제1기판(M1)이 안착된 이동스테이지(200)는 수평겐트리(210)의 구동에 의해 한 쌍의 척킹유닛(500)의 하부로 이동된다.
이때, 이동스테이지(200)에 안착된 제1기판(M1)은 한 쌍의 척킹유닛(500) 하부에 정확하게 위치할 수 있도록 미세조절단계를 더 거치게 된다.
이를 위해, 미세조절실린더(225)가 구동하면서 안착편(223)을 이동시켜 제1기판(M1)을 한 쌍의 척킹유닛(500) 하부에 정확하게 위치시킨다.
제1기판의 상부표면으로 점착액를 도포하는 단계(S20)를 보면,
안착편(223)에 안착된 제1기판(M1)의 상부표면으로 도포장치(미 도시)를 이용하여 점성을 갖는 점착액을 도포한다.
이때, 제1기판(M1)에 도포되는 점착액은 어느 곳이 다소 솟아오르게 도포되는 것이 바람직한데, 어느 곳이라 함은 롤링본체(630)의 롤링이 시작되는 위치를 말한다. 즉, 롤링본체(630)가 한 쌍일 경우 제1기판(M1)의 중심부(도 6b 참조)가 될 것이고, 단일일 경우 제1기판(M1)의 어느 일측(도 7a 참조)이 될 것이다.
상기와 같이 점착액이 도포되면, 제2기판(M2)이 제1기판(M1)과 접촉될 때 밴딩부위가 먼저 점착액에 접촉되고, 이 상태에서 후술하는 롤링본체(630)의 롤링이 이루어지면 솟아 있는 점착액이 점진적으로 눌려지면서 균일한 층을 이룰 수 있기 때문이다.
또한, 점착액의 도포시 도포두께가 일부 충족되지 못하더라도 롤링시 눌려지는 점착액에 의해 충진이 이루어지는 장점이 있다.
제2기판(M2)를 공급받아 클램프(540)에 척킹시키는 단계(S30)를 보면,
먼저, 도시되지 않은 별도의 기판공급장치를 통해 제2기판(M2)을 한 쌍의 클램프(540) 의 척킹홈(541) 사이로 배치시키고, 도 4에 도시된 보조실린더(550)를 구동시켜 각 클램프(540)를 제2기판(M2) 방향으로 이동시켜 척킹홈(541)으로 제2기판(M2)의 양단부가 각각 수용되도록 하여 클램프(540)로 제2기판(M2)을 척킹한다.
이때, 후술하는 한 쌍의 롤링본체(630)는 제2기판(M2)의 상부면과 이격된 상태이다.
척킹된 제2기판(M2)의 어느 표면을 롤링본체(630)를 통해 가압하여 밴딩시키면서 밴딩부위가 제1기판(M1)과 접촉될 때까지 클램프(540)를 하강시키는 단계(S40)를 보면,
먼저 도 6a에 도시한 바와 같이, 클램프(540)에 척킹된 제2기판(M2)의 중심 상부에 한 쌍의 롤링본체(630)가 위치하고, 상기의 롤링본체(630)가 하강하면서 제2기판(M2)의 상부면 중심부를 가압하게 된다.
이때, 롤링본체(630)는 콘트롤러(미도시)에 제어된 만큼만 하강하게 되고, 제2기판(M2)은 중심부가 밴딩된 상태가 된다.
상기의 상태에서 메인실린더(520)가 구동하면서 도 6b에 도시한 바와 같이 한 쌍의 클램프(540)를 하강시키고, 클램프(540)의 하강은 롤링본체(630)에 의해 밴딩된 제2기판(M2)의 중심부가 제1기판(M1)의 상부 표면과 접촉을 이룰 때까지 진행된다.
제1기판(M1)에 접촉된 제2기판(M2)의 밴딩부위로부터 롤링본체(630)를 어느 일 방향으로 롤링시키면서 제2기판(M2)이 제1기판(M1)에 합착될 수 있도록 클램프(540)를 하강시켜 합착을 완료하는 단계(S50)를 보면,
상기의 단계는 제1기판(M1)과 제2기판(M2)의 합착이 완료되는 단계이다.
먼저, 도 6c에 도시된 바와 같이 롤링장치(600)의 각 구동모터(610)를 구동시켜 한 쌍의 롤링본체(630)를 화살표방향으로 롤링시킨다.
롤링본체가 롤링함과 동시에 제2기판을 척킹한 한 쌍의 클램프는 표시된 화살표방향을 따라 하강하게 된다.
이때, 클램프(540)의 하강속도와 롤링본체(630)의 롤링속도는 롤링본체(630)와 클램프(540) 사이에 형성되는 제2기판(M2) 밴딩영역의 일정한 밴딩곡률이 유지될 수 있는 속도인 것이 바람직하다.
즉, 클램프(540)의 하강속도와 롤링본체(630)의 롤링속도를 콘트롤러를 통해 제어함으로써, 밴딩된 제2기판의 밴딩영역을 롤링하는 롤링본체(630)의 가압력이 제2기판(M2)에 일정한 압력으로 전달되도록 하여 합착이 완료될 때까지 롤링하는 롤링본체(630)와 클램프(540) 사이의 제2기판(M2)의 밴딩곡률이 일정한 상태를 유지토록 하기 위함이다.
상기의 조건으로 롤링본체(630)가 도 6c와 같이 제2기판(M2)의 밴딩영역을 롤링하면, 제2기판(M2)의 밴딩영역은 도 6d와 같이 편평하게 펴지게 된다.
밴딩영역이 펴지는 과정에서 점착액은 외측방향으로 밀리게 되고, 이때 점착액에 포함된 기포도 함께 밀리게 된다.
따라서, 롤링본체(630)의 롤링이 도 6d와 같이 완료되면, 제1,2기판(M1,M2)의 합착이 완료되고, 제1,2기판(M1,M2) 사이의 점착액은 기포가 제거된 상태로 균일한 층으로 형성된 상태이며, 한 쌍의 클램프(540)는 보조실린더(550)의 구동에 의해 화살표방향으로 이동되어 제2기판(M2)과 척킹이 해제된 상태이다.
이후 도 6e에 도시된 바와 같이, 승강판(420)의 상승에 의해 척킹유닛(500)과 롤링장치(600)도 함께 상승하게 되고, 이 과정에서 척킹유닛(500)의 한 쌍의 클램프(540)와 롤링장치(600)의 롤링본체(630)는 최초의 위치로 각각 복귀하면서 다음 합착을 위한 제2기판(M2)을 공급받게 된다.
그리고, 제1기판(M1)과 제2기판(M2)이 합착 된 OLED용 디스플레이(M)는 후공정을 위한 라인으로 공급된다.
다음은, 롤링장치(600)가 단일로 배치된 것을 예로 들어 제1기판(M1)과 제2기판(M2)이 합착되는 것을 도 7a 및 도 7b를 참조하여 설명하기로 한다.
설명에 앞서, 상기의 실시예는 합착장치(700)에 구성된 롤링장치(600)가 단일로 형성된 것이기 때문에 동일한 동작의 설명은 생략하고 다른 부분에 대해서만 간략히 설명하기로 한다.
먼저, 승강판(420)의 구동에 의해 한 쌍의 척킹유닛(500)과 단일의 롤링장치(600)를 이동스테이(200)로 하강시킨다.
이때, 한 쌍의 척킹유닛(500)의 클램프(540)에 제2기판(M2)이 척킹되는 것은 물론이며, 제2기판(M2)은 클램프(540)의 서로 다른 구동에 의해 도 7a와 같이 도면상 좌측이 더 기울어진 상태이고, 단일의 롤링본체(630)가 제2기판(M2) 일측 테두리 근접하게 위치하는 것이다.
즉, 롤링본체(630)는 제2기판(M2)의 도면상 좌측 상부면과 접촉을 이룬 상태이다.
승강판(420)은 도 7b와 같이 제2기판(M2)이 제1기판(M1)과 접촉될 때까지 하강하게 되고, 제2기판(M2)이 제1기판(M1)에 접촉됨과 동시에 구동을 멈춘다. 정확하게는 제2기판(M2)의 좌측 상부면과 접촉상태인 롤링본체(630)가 제2기판(M2)에 가압력을 부여하는 시점이다.
이렇게 되면, 제2기판(M2)은 도 7b와 같이 도면상 좌측이 롤링본체(630)에 의해 압력을 받는 상태이고, 우측의 클램프(540)에 걸쳐진 상태임에 따라 자연스럽게 밴딩된 상태를 유지하게 된다.
상기의 상태에서, 구동모터(610)를 구동시키면서 롤링본체(630)를 도 7b에 도시된 화살표방향으로 이동시킨다.
이때, 우측의 클램프(540)는 롤링하는 롤링본체(630)와 클램프(540) 사이의 제2기판(M2)의 밴딩영역이 계속적으로 일정한 밴딩곡률을 유지할 수 있는 속도로 하강하게 되며, 하강속도에 대해서는 앞서 서술된 내용과 동일함에 따라 생략하기로 한다.
이 경우, 좌측의 클램프(540)는 제2기판(M2)의 합착이 완료될 때까지 구동이 멈춰진 상태임은 물론이다.
이후 도 7c에 도시된 바와 같이, 롤링본체(630)가 도면상 우측으로 완전히 롤링되고 우측의 클램프(540)가 하강하면서 제2기판(M2)이 제1기판(M1)에 합착되면, 한 쌍의 클램프(540)와 롤링된 롤링본체(630)는 승강판(420)의 구동에 의해 상측 방향으로 상승하게 된다.
상기의 상승과정에서 한 쌍의 클램프(540)와 단일의 롤링본체(630)는 최초의 위치로 각각 복귀하면서 다음 합착을 위한 제2기판(M2)을 공급받게 된다.
본 실시예서는 단일의 롤링본체(630)가 좌측에서 우측으로 롤링되는 것으로 설명하였으나, 그 위치를 반드시 한정하지는 않는다.
지금까지 서술된 바와 같이 본 발명의 OLED용 윈도우와 기판을 합착하는 합착장치 및 이를 이용한 합착방법에 의하면, 기판의 합착시 어느 하나의 기판을 밴딩시키고, 밴딩된 기판을 롤링장치를 이용하여 편평하게 펴지면서 합착되도록 함으로써, 밴딩된 기판이 롤링되는 과정에서 기판 사이의 점착액과 기포가 밀리도록 하여 기포가 제거됨과 동시에 기판 사이의 점착액이 균일한 층을 이루도록 하는 장점이 있다.
또한, 기판이 합착되는 과정에서 기포가 제거되기 때문에 종래와 같이 진공챔버가 필요 없고, 대기(大氣)상태에서 합착공정이 가능한 장점이 있다.
또한, 기판의 합착이 단순공정으로 이루어짐에 따라 종래와 같이 관련된 부대장비 또는 설비가 많이 줄게 되고, 합착 공정시간이 줄어드는 장점이 있다.
이상, 본 발명의 OLED용 윈도우와 기판을 합착하는 합착장치 및 이를 이용한 합착방법을 바람직한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 설명하였으나, 이는 발명의 이해를 돕고자 하는 것일 뿐 발명의 기술적 범위를 이에 한정하고자 함이 아님은 물론이다.
즉, 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 않고도 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 다양한 변형이나 개조가 가능함은 물론이고, 그와 같은 변경이나 개조는 청구범위의 해석상 본 발명의 기술적 범위 내에 있음은 말할 나위가 없다.
100 : 베이스 200 : 이동스테이지
210 : 수평겐트리 221 : 이동플레이트
223 : 안착편 225 : 미세조절실린더
400 : 승강수단 410 : 수직겐트리
420 : 승강판 421 : 수직편
423 : 수평편 500 : 척킹유닛
510 : 고정블럭 520 : 메인실린더
521 : 로드 530 : 이동블럭
540 : 클램프 541 : 척킹홈
550 : 보조실린더 600 : 롤링장치
610 : 구동모터 611 : 볼스크류
620 : 이동브라켓 630 : 롤링본체
631 : 롤러 700 : 합착장치
L : LM가이드 M : OLED용 디스플레이
M1 : 제1기판 M2 : 제2기판

Claims (12)

  1. 베이스(B);
    상기 베이스(B)의 상면에 구비된 수평겐트리(210)에 이동가능하게 결합되며, 제1기판(M1)이 안착되는 이동스테이지(200);
    상기 이동스테이지(200)의 상측으로 상기 베이스(B)에 수직하게 설치된 수직겐트리(410)와, 상기 수직겐트리(410)에 승강 가능하게 결합되며 판 상의 수직편(421)과 수평편(423)으로 이루어진 승강판(420)으로 구성된 승강수단(400);
    이격되게 마주하는 상태로 상기 승강판(420)의 상기 수직편(421) 일면에 구비되어 상기 승강판(420)과 연동하며, 제2기판(M2)을 척킹한 상태로 하강하면서 상기 제1기판(M1)에 합착시키는 한 쌍의 척킹유닛(500); 및
    상기 승강판(420)의 상기 수평편(423) 저면에 구비되어 상기 승강판(420)과 연동하며, 합착 시 상기 제2기판(M2)의 어느 표면을 밴딩시켜 상기 제1기판(M1)에 접촉시키고, 접촉된 상태에서 상기 척킹유닛의 하강과 함께 어느 일방향으로 롤링하는 적어도 하나의 롤링장치(600);를 포함하며,
    상기 롤링장치(600)는, 상기 승강판(420)의 상기 수평편(423) 저면에 고정되고, 구동에 의해 정.역회전하는 소정길이를 갖는 볼스크류(611)를 구비한 구동모터(610); 상기 볼스크류(611)에 결합되며, 상기 볼스크류(611)를 타고 이동하는 이동브라켓(620); 및 상기 이동브라켓(620)의 일단에 구비되어 상기 이동브라켓(620)과 연동하며, 저면에는 상기 제2기판(M2) 표면과 접촉된 상태로 회전하는 적어도 하나의 롤러(631)가 구비된 롤링본체(630);로 구성된 것을 특징으로 하는 OLED용 윈도우와 기판을 합착하는 합착장치(700).
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 롤링장치(600)는 상기 롤링본체(630)가 서로 마주하게 배치될 수 있도록 한 쌍으로 배치된 것을 특징으로 하는 OLED용 윈도우와 기판을 합착하는 합착장치(700).
  4. 제3항에 있어서,
    상기 척킹유닛(500)은 상기 승강판(420)과 개별 승강 가능하게 설치되되,
    일측 상면에 메인실린더(520)가 구비되고, 타측이 상기 수직편(421)에 고정된 고정블럭(510);
    일측이 상기 메인실린더(520)의 로드(521)와 결합되고, 타측이 상기 고정블럭(510)을 관통한 상태로 LM가이드(L)에 의해 상기 수직편(421)에 승강 가능하게 결합되어 상기 메인실린더(520)의 구동에 의해 승강하는 이동블럭(530);
    상기 이동블럭(530)의 저면에 구비되어 상기 이동스테이지(200)에 안착된 상기 제1기판(M1)과 합착되는 상기 제2기판(M2)을 척킹하는 클램프(540); 및
    상기 이동블럭(530)과 상기 클램프(540) 사이에 개재되어 상기 클램프(540)를 상기 이동스테이지(200) 방향으로 수평이동시키는 보조실린더(550);로 구성된 것을 특징으로 하는 OLED용 윈도우와 기판을 합착하는 합착장치(700).
  5. 제4항에 있어서,
    상기 클램프(540)의 하단에는 상기 제2기판(M2) 척킹시 상기 제2기판(M2)의 단부가 수용되는 척킹홈(541)이 형성되되, 상기 척킹홈(541)은 하측으로부터 내측으로 향하도록 소정각도로 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 OLED용 윈도우와 기판을 합착하는 합착장치(700).
  6. 제3항에 있어서,
    상기 이동스테이지(200)는,
    상기 수평겐트리(210)에 이동 가능하게 결합된 이동플레이트(221);
    상기 이동플레이트(221)의 상부로 상기 수평겐트리(210)와 교차하는 방향으로 이동 가능하게 결합되며, 상기 제1기판(M1)이 안착되는 안착편(223); 및
    상기 이동플레이트(221)의 일측에 구비되며, 상기 안착편(223)을 이동시키는 미세조절실린더(225);로 구성된 것을 특징으로 하는 OLED용 윈도우와 기판을 합착하는 합착장치(700).
  7. 제1항에 있어서,
    상기 수평겐트리(210) 및 상기 수직겐트리(410)는 리니어모터, 벨트방식 및 볼스크류(611)방식 중 어느 하나에 의해 구동되는 것을 특징으로 하는 OLED용 윈도우와 기판을 합착하는 합착장치(700).
  8. 제1항, 제3항 내지 제7항 중 어느 한 항에 따른 합착장치를 이용한 박리방법은,
    상기 제1기판(M1)을 공급받아 상기 이동스테이지(200)에 안착시켜 상기 한 쌍의 척킹유닛(500) 하부로 이동시키는 단계(S10);
    상기 제1기판의 상부표면으로 점착액를 도포하는 단계(S20);
    상기 제2기판(M2)를 공급받아 상기 클램프(540)에 척킹시키는 단계(S30);
    척킹된 상기 제2기판(M2)의 어느 표면을 롤링본체(630)를 통해 가압하여 밴딩시키면서 밴딩부위가 상기 제1기판(M1)과 접촉될 때까지 상기 클램프(540)를 하강시키는 단계(S40); 및
    상기 제1기판(M1)에 접촉된 상기 제2기판(M2)의 밴딩부위로부터 상기 롤링본체(630)를 어느 일 방향으로 롤링시키면서 상기 제2기판(M2)이 상기 제1기판(M1)에 합착될 수 있도록 상기 클램프(540)를 하강시켜 합착을 완료하는 단계(S50);를 포함하는 합착방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 단계 S50에는, 상기 클램프(540)의 하강속도와 상기 롤링본체(630)의 롤링속도는 상기 롤링본체(630)와 상기 클램프(540) 사이에 형성되는 상기 제2기판(M2) 밴딩영역의 일정한 밴딩곡률이 유지될 수 있는 속도인 것을 특징으로 하는 합착방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 단계 S10에는, 상기 이동스테이지(200)에 안착된 상기 제1기판(M1)이 상기 한 쌍의 척킹유닛(500) 하부에 정확하게 위치할 수 있도록 하는 미세조절단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 합착방법.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 단계 S40에는, 한 쌍의 상기 롤링본체(630)가 상기 제2기판(M2)의 중심부에 위치하는 것을 특징으로 하는 합착방법.
  12. 제9항에 있어서,
    상기 단계 S40에는, 단일의 상기 롤링본체(630)가 상기 제2기판(M2) 일측 테두리에 근접하게 위치하는 것을 특징으로 하는 합착방법.
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