KR101424957B1 - 플렉시블 pi막과 더미글라스를 박리하는 박리장치 및 이를 이용한 박리방법 - Google Patents

플렉시블 pi막과 더미글라스를 박리하는 박리장치 및 이를 이용한 박리방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101424957B1
KR101424957B1 KR1020140057440A KR20140057440A KR101424957B1 KR 101424957 B1 KR101424957 B1 KR 101424957B1 KR 1020140057440 A KR1020140057440 A KR 1020140057440A KR 20140057440 A KR20140057440 A KR 20140057440A KR 101424957 B1 KR101424957 B1 KR 101424957B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
flexible
dummy glass
peeling
film
moving
Prior art date
Application number
KR1020140057440A
Other languages
English (en)
Inventor
신용욱
우성보
Original Assignee
주식회사 톱텍
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 톱텍 filed Critical 주식회사 톱텍
Priority to KR1020140057440A priority Critical patent/KR101424957B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101424957B1 publication Critical patent/KR101424957B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H41/00—Machines for separating superposed webs
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B38/00—Ancillary operations in connection with laminating processes
    • B32B38/10—Removing layers, or parts of layers, mechanically or chemically
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/0005—Separation of the coating from the substrate
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
    • H01L21/68742—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by a lifting arrangement, e.g. lift pins
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00—Organic light-emitting devices
    • H10K50/80—Constructional details
    • H10K50/86—Arrangements for improving contrast, e.g. preventing reflection of ambient light

Abstract

표면에 플렉시블 플렉시블 PI막이 경화된 더미글라스가 밴딩방식을 통해 안정적으로 플렉시블 PI막로부터 박리되도록 하는 플렉시블 PI막과 더미글라스를 박리하는 박리장치에 관한 것으로, 베이스(B); 플렉시블 원장기판이 안착되는 이동스테이지; 플렉시블 원장기판을 초기박리 시키는 커터; 수직겐트리와, 수직겐트리에 승강 가능하게 결합된 승강판으로 구성된 승강수단; 이동스테이지에 안착된 플렉시블 원장기판의 더미글라스 양단을 척킹한 상태로 상승하면서 더미글라스를 플렉시블 PI막로부터 박리시키는 한 쌍의 척킹유닛; 및 더미글라스 표면과 접촉된 상태로 롤링하면서 더미글라스의 밴딩이 이루어지도록 하는 적어도 하나의 롤링장치;를 포함하여 구성된다.
본 발명의 다른 목적을 달성하기 위한 플렉시블 PI막과 더미글라스를 박리하는 박리방법은, 플렉시블 원장기판이 안착된 이동스테이지를 척킹유닛 하부로 이동시키는 단계(S10); 플렉시블 원장기판을 초기박리 시키는 단계(S20); 롤링본체를 플렉시블 원장기판의 더미글라스 표면에 접촉시키는 단계(S30); 클램프를 이동시켜 플렉시블 원장기판을 척킹하는 단계(S40); 및 클램프 상승과 함께 롤링본체가 더미글라스 표면을 롤링하면서 더미글라스를 밴딩시켜 더미글라스를 플렉시블 PI막로부터 박리시키는 단계(S50);를 통해 박리된다.

Description

플렉시블 PI막과 더미글라스를 박리하는 박리장치 및 이를 이용한 박리방법{exfoliation device for flexible polyimide film, dumy glass and exfoliation method using it}
본 발명은 플렉시블 PI막과 더미글라스를 박리하는 박리장치 및 이를 이용한 박리방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 표면에 플렉시블 PI막이 증착된 더미글라스가 밴딩방식을 통해 안정적으로 플렉시블 PI막과 박리되도록 하는 플렉시블 PI막과 더미글라스를 박리하는 박리장치 및 이를 이용한 박리방법에 관한 것이다.
최근 모니터, 텔레비전, 모바일 폰 및 캠코더 등의 디스플레이 패널(Display Panel)은 고화질, 경량화 및 박형화가 요구되고 있으며, 이러한 요구에 따라 유기 발광 표시 장치(organic light emitting diode display panel, OLED display panel)가 주목받고 있다.
유기 발광 표시 장치는 유기 박막을 통하여 자체발광을 구현함으로 별도의 광원이 필요 없어 소비전력 측면에서 유리할 뿐만 아니라, 응답 속도, 시야각 및 대비비(contrast ratio) 등에서도 우수한 품질을 갖는다.
유기 발광 표시 장치는 전기적인 신호를 영상으로 표시할 수 있는 패널을 구비한다. 이와 같은 패널의 외면에는 편광판이 부착되어 전체 방향으로 진동하는 빛을 특정 방향으로만 진동하는 빛으로 편광시켜 원하는 영상이 구현되도록 한다.
최근에는 디스플레이 업계의 흐름이 플렉시블(flexible) 패널쪽으로 집중되면서 플렉시블 유기 발광 디스플레이 패널이 편광판에 부착된 플렉시블 디스플레이 패널이 개발되고 있다.
이러한 디스플레이 패널은 통상적으로 폴리이미드(polyimide)의 용융 또는 증착과 같은 다양한 형태의 방식에 의해 제작되며, 이하에서는 플렉시블 PI막이라고 한다.
플렉시블 PI막의 제작과정을 살펴보면, 플렉시블 PI막은 합성수지계열의 박막의 플라스틱이기 때문에 자체적으로는 일률적인 두께로 성형 될 수 없다. 이는 PI용액이 고온으로 가열된 상태이기 때문이다. 따라서, PI용액을 통한 TFT(박막트랜지스터) 성형시 고온의 PI용액은 편평한 표면을 갖는 더미글라스의 표면에 도포된 후 경화를 거치고 더미글라스의 박리공정을 통해 더미글라스와 분리되어 후공정으로 이송된다.
이때, 박리 전 더미글라스와 플렉시블 PI막 사이로 커터날을 진입시키거나 또는 순간적인 에어 공급을 통해 테두리측의 일부를 초기 박리시키게 된다.
도 1 및 도 2에는 더미글라스를 플렉시블 PI막으로부터 박리시키는 상태를 나타낸 종래의 도면들이다.
도 1의 경우, 플렉시블 PI막(P)은 하측에 구비된 진공콘베이어(20)에 흡착된 상태로 안착되고, 더미글라스(G)는 상측에 구비된 스테이지(10)에 고정된 상태로 진공콘베이어(20)의 구동에 의해 이동하면서 더미글라스(G) 또는 플렉시블 PI막(P)이 박리되도록 하는 장치이다.
그러나 상기의 장치는, 진공콘베이어(20)를 사용해야 하기 때문에 설비가 커지게 되는 것은 물론이고, 이로 인한 택 타임이 길어질 수밖에 없으며, 진공콘베이어(20)의 진공에 따른 에러가 발생하는 문제가 있다.
도 2의 경우, 상.하측에 각각 스테이지(30,40)를 구비하며, 이 상태에서 상측스테이지(30)에 더미글라스(G)를 고정시키고, 하측스테이지(40)에 플렉시블 PI막(P)을 고정시켜 상.하측스테이지(30,40) 중 어느 하나의 스테이지를 틸팅시켜 더미글라스(G)를 플렉시블 PI막(P)로부터 박리시키는 장치이다.
그러나 상기의 장치는, 플렉시블 PI막이 대형화(대면적)를 이루는 경우 사용되기 때문에 상.하스테이지의 틸팅에 따른 구조의 복잡성과 대형화로 인해 많은 부하가 필요하게 되는 문제가 있다.
특허문헌 1: 국내공개특허 제10-2008-0064408호(공개일 2008.07.09) 특허문헌 2: 국내공개특허 제10-2010-0104069호(공개일 2010.09.29)
본 발명은 상기와 같은 문제점 및 기술적 편견을 해소하기 위해 안출된 것으로, 표면에 플렉시블 PI막이 경화된 더미글라스가 클램프의 승강 및 롤러에 의한 밴딩공정을 통해 안정적으로 플렉시블 PI막로부터 박리되도록 하는 플렉시블 PI막과 더미글라스를 박리하는 박리장치 및 이를 이용한 박리방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 플렉시블 PI막과 더미글라스를 박리하는 박리장치는,
베이스(B); 상기 베이스(B)의 상면에 구비된 수평겐트리에 이동 가능하게 결합되며, 더미글라스에 플렉시블 PI막이 증착된 플렉시블 원장기판이 안착되는 이동스테이지; 상기 이동스테이지에 안착된 상기 플렉시블 원장기판의 상기 더미글라스와 상기 플렉시블 PI막 사이를 둘레를 소정깊이로 커팅하여 초기박리 시키는 커터; 상기 이동스테이지의 상측으로 소정간격 이격되게 설치되며, 상기 베이스(B)에 수직하게 설치된 수직겐트리와, 상기 수직겐트리에 승강 가능하게 결합되며 판 상의 수직편과 수평편으로 이루어진 승강판으로 구성된 승강수단; 소정간격 이격되게 마주하는 상태로 상기 승강판의 상기 수직편 일면에 배치되어 상기 승강판과 연동하며, 상기 이동스테이지에 안착된 상기 플렉시블 원장기판의 상기 더미글라스 양단을 척킹한 상태로 상승하면서 상기 더미글라스를 상기 플렉시블 PI막로부터 박리시키는 한 쌍의 척킹유닛; 및 상기 승강판의 상기 수평편 저면에 구비되어 상기 승강판과 연동하며, 상기 더미글라스 박리시 상기 더미글라스 표면과 접촉된 상태로 롤링하면서 상기 더미글라스의 밴딩이 이루어지도록 하는 적어도 하나의 롤링장치;를 포함하여 구성된다.
이때, 상기 롤링장치는, 상기 승강판의 상기 수평편 저면에 고정되고, 구동에 의해 정.역회전하는 소정길이를 갖는 볼스크류를 구비한 구동모터; 상기 볼스크류에 결합되며, 상기 볼스크류를 타고 이동하는 이동브라켓; 및 상기 이동브라켓의 일단에 구비되어 상기 이동브라켓과 연동하며, 저면에는 상기 더미글라스 표면과 접촉된 상태로 회전하는 적어도 하나의 롤러가 상기 플렉시블 원장기판의 폭방향을 따라 구비된 롤링본체;로 구성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 롤링장치는 상기 롤링본체가 서로 마주하게 배치될 수 있도록 한 쌍으로 배치된 것이 바람직하다.
그리고, 상기 척킹유닛은 상기 승강판과 개별 승강 가능하게 설치되되, 일측 상면에 메인실린더가 구비되고, 타측이 상기 수직편에 고정된 고정블럭; 일측이 상기 메인실린더의 로드와 결합되고, 타측이 상기 고정블럭을 관통한 상태로 LM가이드에 의해 상기 수직편에 승강 가능하게 결합되어 상기 메인실린더의 구동에 의해 승강하는 이동블럭; 상기 이동블럭의 저면에 구비되어 상기 이동스테이지에 안착된 상기 플렉시블 원장기판의 상기 더미글라스를 척킹하는 클램프; 및 상기 이동블럭과 상기 클램프 사이에 개재되어 상기 클램프를 상기 이동스테이지 방향으로 수평이동시키는 보조실린더;로 구성된 것이 바람직하다.
더하여, 상기 클램프의 하단에는 상기 더미글라스 척킹시 상기 더미글라스의 단부가 수용되는 척킹홈이 형성되되, 상기 척킹홈은 하측으로부터 내측으로 향하도록 소정각도로 경사지게 형성된 것이 바람직하다.
한편, 상기 이동스테이지는, 상기 수평겐트리에 이동 가능하게 결합된 이동플레이트; 상기 이동플레이트의 상부로 상기 수평겐트리와 교차하는 방향으로 이동 가능하게 결합되며, 상기 플렉시블 원장기판이 안착되는 안착편; 및 상기 이동플레이트의 일측에 구비되며, 상기 안착편을 이동시키는 미세조절실린더;로 구성된 것이 바람직하다.
이때, 상기 수평겐트리 및 상기 수직겐트리는 리니어모터, 벨트방식 및 볼스크류방식 중 어느 하나에 의해 구동되는 것이 바람직하다.
한편, 본 발명의 플렉시블 PI막과 더미글라스의 박리방법은,
상기 더미글라스에 상기 플렉시블 PI막이 증착된 상기 플렉시블 원장기판을 상기 이동스테이지에 안착시켜 상기 한 쌍의 척킹유닛 하부로 이동시키는 단계(S10); 안착된 상기 플렉시블 원장기판의 상기 더미글라스와 상기 플렉시블 PI막 사이를 초기 박리시키는 단계(S20); 상기 승강판의 하강을 통해 상기 척킹유닛의 상기 클램프를 상기 플렉시블 원장기판의 양측에 각각 위치시키고, 상기 롤링장치의 상기 롤링본체에 구비된 상기 롤러를 상기 플렉시블 원장기판의 상기 더미글라스 표면에 접촉시키는 단계(S30); 상기 클램프를 이동시켜 상기 플렉시블 원장기판의 상기 더미글라스를 척킹하는 단계(S40); 및 상기 한 쌍의 클램프 상승과 함께 상기 롤링본체가 상기 더미글라스 표면과 접촉된 상태로 롤링되도록 하면서 롤링되는 상기 롤링본체와 상승하는 상기 클램프 사이의 더미글라스 영역이 밴딩되도록 하여 상기 더미글라스를 상기 플렉시블 PI막로부터 박리시키는 단계(S50);를 통해 박리된다.
이때, 상기 단계 S10에는, 상기 이동스테이지에 안착된 상기 플렉시블 원장기판이 상기 한 쌍의 척킹유닛 하부에 정확하게 위치할 수 있도록 하는 미세조절단계를 더 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 단계 S30에는, 상기 롤링본체가 상기 클램프방향으로 상기 더미글라스 테두리와 근접하게 위치된 것이 바람직하다.
상기와 같은 구성을 가진 본 발명의 플렉시블 PI막과 더미글라스를 박리하는 박리장치 및 이를 이용한 박리방법에 의하면,
표면에 플렉시블 PI막이 경화된 더미글라스의 박리시, 롤러를 통한 더미글라스의 밴딩을 유도하면서 롤러의 롤링과 더미글라스를 박리시키는 클램프의 상승이 동시에 이루어지도록 하여 더미글라스의 박리가 완료될 때까지 더미글라스의 밴딩 곡률이 일정하게 형성될 수 있도록 하여, 더미글라스 박리에 따른 플렉시블 PI막이 더미글라스와 함께 들뜨는 것을 방지하여 플렉시블 PI막에 무리가 가지 않도록 하는 장점이 있다.
도 1 및 도 2에는 더미글라스를 플렉시블 PI막로부터 박리시키는 상태를 나타낸 종래의 참고 도면이고,
도 3은 본 발명에 따른 박리장치를 나타낸 측면도이며,
도 4는 도 3의 베이스가 제외된 상태의 사시도이고,
도 5는 본 발명에 따른 박리장치의 구성 중 롤링장치를 나타낸 요부평면도이며,
도 6은 본 발명에 따른 박리장치의 구성 중 롤링장치가 단일로 구성된 것을 나타낸 요부평면도이고,
도 7은 본 발명의 박리장치를 이용하여 더미글라스가 박리되는 과정을 나타낸 플로우챠트이며,
도 8a 내지 도 8e는 도 7의 더미글라스 박리과정을 나타낸 요부 참고도이고,
도 9a 및 9b는 단일의 롤링장치를 적용한 더미글라스 박리과정을 나타낸 요부 참고도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예들을 첨부된 도면을 참고하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시 예들은 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 설명하는 실시 예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예들은 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 상세하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에 나타난 각 요소의 형상은 보다 분명한 설명을 강조하기 위하여 과장될 수 있다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
도 3은 본 발명에 따른 박리장치를 나타낸 측면도이며, 도 4는 도 3의 베이스가 제외된 상태의 사시도이고, 도 5는 본 발명에 따른 박리장치의 구성 중 롤링장치를 나타낸 요부평면도이며, 도 6은 본 발명에 따른 박리장치의 구성 중 롤링장치가 단일로 구성된 것을 나타낸 요부평면도이고, 도 7은 본 발명의 박리장치를 이용하여 더미글라스가 박리되는 과정을 나타낸 플로우챠트이며, 도 8a 내지 도 8e는 도 7의 더미글라스 박리과정을 나타낸 요부 참고도이고, 도 9a 및 도 9b는 단일의 롤링장치를 적용한 더미글라스 박리과정을 나타낸 요부 참고도이다.
도 3 내지 도 5에 나타낸 바와 같이 본 발명의 박리장치(700)는, 베이스(B); 상기 베이스(B)의 상면에 구비된 수평겐트리(210)에 이동 가능하게 결합되며, 더미글라스(G)에 플렉시블 PI막(P)이 증착된 플렉시블 원장기판(M)이 안착되는 이동스테이지(200); 상기 이동스테이지(200)에 안착된 상기 플렉시블 원장기판(M)의 상기 더미글라스(G)와 상기 플렉시블 PI막(P) 사이를 둘레를 소정깊이로 커팅하여 초기박리 시키는 커터(300); 상기 이동스테이지(200)의 상측으로 소정간격 이격되게 설치되며, 상기 베이스(B)에 수직하게 설치된 수직겐트리(410)와, 상기 수직겐트리(410)에 승강 가능하게 결합되며 판 상의 수직편(421)과 수평편(423)으로 이루어진 승강판(420)으로 구성된 승강수단(400); 소정간격 이격되게 마주하는 상태로 상기 승강판(420)의 상기 수직편(421) 일면에 배치되어 상기 승강판(420)과 연동하며, 상기 이동스테이지(200)에 안착된 상기 플렉시블 원장기판(M)의 상기 더미글라스(G) 양단을 척킹한 상태로 상승하면서 상기 더미글라스(G)를 상기 플렉시블 PI막(P)로부터 박리시키는 한 쌍의 척킹유닛(500); 및 상기 승강판(420)의 상기 수평편(423) 저면에 구비되어 상기 승강판(420)과 연동하며, 상기 더미글라스(G) 박리시 상기 더미글라스(G) 표면과 접촉된 상태로 롤링하면서 상기 더미글라스(G)의 밴딩이 이루어지도록 하는 적어도 하나의 롤링장치(600);를 포함하여 구성된다.
설명에 앞서 본 발명의 박리장치(700)는 대면적기판(예를 들어 650 x 750, 1500 x 950 등)으로 형성된 플렉시블 원장기판(M)으로부터 더미글라스(G)를 용이하게 박리하는 것에 장점이 있다.
도 3을 참고하면, 베이스(B)는 편평한 상면을 가지며 후방으로 별도의 프레임(미부호)가 구비되어 본 발명의 박리장치(700)를 이루는 각 구성이 정확한 위치에 셋팅될 수 있도록 각 구성을 지지하는 역할을 한다.
상기 베이스(B)의 상면에는 이동스테이지(200)가 고정되어 있으며, 이동스테이지(200)의 일측에는 커터(300)가 구비되어 있으며, 베이스(B)의 후방 상측에는 척킹유닛(500)과 롤링장치(600)를 승강시키는 승강수단(400)이 구비되어 있다.
도 4를 참조하면, 이동스테이지(200)는 더미글라스(G) 하측으로 플렉시블 PI막(P)이 증착된 플렉시블 원장기판(M)이 안착된 상태로 상기 플렉시블 원장기판(M)을 이동시키는 것으로, 도면상 표시된 Y축방향으로 베이스(B)의 상면에 구비된 수평겐트리(210)에 이동 가능하게 결합되어 있다.
이동스테이지(200)는, 수평겐트리(210)에 이동 가능하게 결합된 이동플레이트(221)와, 이동플레이트(221)의 상부로 수평겐트리(210)와 교차하는 X축방향으로 이동 가능하게 결합되며 상면으로 플렉시블 원장기판(M)이 안착되는 안착편(223)과, 이동플레이트(221)의 일측에 구비되며 안착편(223)을 이동시키는 미세조절실린더(225)로 구성된다.
이때, 안착편(223)의 상면은 플렉시블 원장기판(M)의 더미글라스(G) 하측에 증착된 플렉시블 PI막(P)이 안정적으로 안착된 상태를 유지하도록 편평한 상태를 유지하는 것이 바람직하다. 더하여, 상기 안착편(223)의 상면에는 플렉시블 PI막(P)의 안착상태를 고정시키는 복수개의 진공흡착공(미 도시)이 형성될 수도 있다.
미세실린더는 안착편(223)에 플렉시블 원장기판(M)이 안착된 상태에서 후술하게 되는 한 쌍의 척킹유닛(500) 사이로 이동스테이지(200)가 이동된 후 안착편(223)을 X축방향으로 미세조절하여 플렉시블 원장기판(M)이 한 쌍의 척킹유닛(500) 하부에 정확하게 위치되도록 한다.
커터(300)는 이동스테이지(200)에 안착된 플렉시블 원장기판(M)의 더미글라스(G)와 플렉시블 PI막(P) 사이의 둘레를 소정깊이로 커팅하여 더미글라스(G)와 플렉시블 PI막(P) 사이가 벌어지도록 하는 초기박리 상태가 되게 하는 것이다.
이때 커터(300)는, 이동스테이지(200)의 상부로부터 진입하면서 이동스테이지(200)에 안착된 플렉시블 원장기판(M)의 둘레를 따라 이동하는 로봇아암(310)에 장착되어 더미글라스(G)와 플렉시블 PI막(P) 사이로 소정깊이 진입한 상태에서 커팅하게 된다.
도 4를 참조하면, 승강수단(400)은 베이스(B)의 후방 상측을 통해 이동스테이지(200)의 상측으로 소정간격 이격되게 설치되어 후술하는 한 쌍의 척킹유닛(500)과 롤링장치(600)를 승강시키는 역할을 하는 것으로, 베이스(B)의 후방을 통해 수직하게 설치된 수직겐트리(410)와, 수직겐트리(410)에 승강 가능하게 결합되며 판 상의 수직편(421)과 수평편(423)으로 이루어진 승강판(420)으로 구성되어 있다.
이때, 승강판(420)의 수직편(421)과 수평편(423)은 후술하는 한 쌍의 척킹유닛(500) 및 롤링장치(600)가 안정적으로 장착될 수 있도록 편평한 면을 유지하고 있으며, 수평편(423)은 상기 수직편(421)의 하측 단부로부터 수직겐트리(410) 방향으로 연장되어 있다.
따라서, 승강판(420)은 대략적인 "L"자 형상을 유지하고 있다.
한편, 앞서 서술된 이동스테이지(200)를 이동시키는 수평겐트리(210) 및 승강판(420)을 승강시키는 수직겐트리(410)는 리니어모터, 벨트방식 및 볼스크류방식 중 어느 하나가 선택되어 사용되는 것이 바람직하며, 그 선택을 반드시 한정하지는 않는다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 척킹유닛(500)은 소정간격 이격되게 마주하는 상태로 승강판(420)의 수직편(421)의 일면에 배치되어 승강판(420)과 연동하며, 이동스테이지(200)에 안착된 플렉시블 원장기판(M)의 더미글라스(G) 양단을 척킹한 상태로 상승하면서 더미글라스(G)를 플렉시블 PI막(P)로부터 박리시키는 것으로, 더미글라스(G)를 척킹하기 위해 한 조를 이루도록 한 쌍으로 구성된다.
이때, 척킹유닛(500)은 승강판(420)과 개별 승강 가능하게 설치되며, 고정블럭(510)과, 이동블럭(530)과, 클램프(540) 및 보조실린더(550)로 구성된다.
고정블럭(510)은 일측과 타측이 수평편과 수직면을 갖는 형상을 이루고 있으며, 일측 수평편의 상면에는 메인실린더(520)가 수직하게 구비되어 있고, 타측 수직면은 수직편(421)에 고정되어 있다.
이동블럭(530)은 고정블럭(510)과 같은 일측과 타측이 수평편과 수직면을 갖는 형상을 이루고 있으나, 일측의 수평편은 메인실린더(520)의 로드(521)와 결합되어 있으며, 타측의 수직면은 고정블럭(510)의 수평편을 관통한 상태로 LM가이드(L)에 의해 수직편(421)에 승강 가능하게 결합되어 메인실린더(520)의 구동에 의해 승강판(420)을 승강하게 된다.
클램프(540)는 수직으로 소정의 길이를 갖는 형상으로 이동블럭(530)의 저면에 구비되어 이동스테이지(200)에 안착된 플렉시블 원장기판(M)의 더미글라스(G) 테두리 단부를 척킹하게 된다.
이때, 클램프(540)의 하단에는 더미글라스(G) 척킹시 더미글라스(G)의 테두리 단부가 수용되는 척킹홈(541)이 형성되어 있으며, 상기의 척킹홈(541)은 하측으로부터 내측으로 향하도록 소정각도로 경사지게 형성되어 있다.
이는 후술하게 되는 더미글라스(G)의 박리과정에서 더미글라스(G)의 밴딩이 이루어질 때 밴딩부위가 소정의 곡률을 이뤄 곡률에 따른 더미글라스(G) 테두리 단부 또한 기울어진 상태이기 때문에 안정적인 척킹을 이루기 위함이다.
본 실시예에서는 클램프(540)에 형성된 척킹홈(541)이 경사지게 형성된 것으로 도시하고 있으나, 더미글라스(G) 테두리 단부가 안정적인 척킹을 이룰 수 있는 형상이라면 반드시 한정하지는 않는다.
보조실린더(550)는 이동블럭(530)과 클램프(540) 사이에 개재되어 클램프(540)를 이동스테이지(200) 방향으로 수평이동시킨다. 즉, 클램프(540)에 플렉시블 원장기판(M)의 더미글라스(G) 테두리 단부가 척킹되도록 이동시키는 것이다.
한편, 상기의 척킹유닛(500)은 서술한 바와 같이 더미글라스(G)의 양단을 척킹하기 위해 한 쌍으로 구성되기 때문에 동일한 구조를 갖는 다른 하나의 척킹유닛(500)이 설정된 간격으로 배치되는 것은 물론일 것이며, 이 간격은 최소한 대상물인 플렉시블 원장기판(M)의 폭보다는 크게 유지되는 것이 바람직하다.
더하여, 다른 하나의 척킹유닛(500)에 대해서는 앞서 서술된 척킹유닛(500)과 동일한 구조를 이루고 있음에 따라 자세한 설명은 생략하기로 한다.
따라서 상기의 한 쌍의 척킹유닛(500)은, 승강판(420)과 함께 연동하면서 이동스테이지(200)에 안착된 플렉시블 원장기판(M)으로부터 상기 더미글라스(G)를 박리하고자 할 때 설정된 높이까지 승강판(420)에 의해 하강하게 되고, 각 메인실린더(520)의 구동을 통해 클램프(540)를 하강하면서 클램프(540)의 척킹홈(541)을 더미글라스(G)의 테두리 단부와 대응하는 수평선상에 위치시키며, 보조실린더(550)의 구동을 통해 클램프(540)를 수평이동시키면서 척킹홈(541)에 더미글라스(G) 테두리 단부가 수용되도록 하여 더미글라스(G)의 테두리 양단을 척킹하게 된다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 롤링장치(600)는 적어도 하나로 승강판(420)의 수평편 저면에 구비되어 승강판(420)과 상.하로 연동하며, 더미글라스(G) 박리시 더미글라스(G) 표면과 접촉된 상태로 롤링하면서 더미글라스(G)의 밴딩이 이루어지도록 하는 것으로, 구동모터(610)와, 이동브라켓(620) 및 롤링본체(630)로 구성되어 있다.
구동모터(610)는 승강판(420)의 수평편 저면에 고정되어 있으며, 중심에는 구동에 의해 정.역회전하는 소정길이를 갖는 볼스크류(611)가 구비되어 있다. 이때, 구동모터(610)는 제어에 따른 정밀속도 제어가 가능한 서보모터 인 것이 바람직하다.
이동브라켓(620)은 타측이 볼스크류(611)에 결합된 상태로 구동모터(610)의 구동에 의한 볼스크류(611)의 회전에 의해 볼스크류(611)를 타고 이동한다(도 5 참조).
롤링본체(630)는 이동브라켓(620)의 일단에 구비되어 볼스크류(611)를 타고 이동하는 이동브라켓(620)과 수평방향(X축방향)으로 연동하며, 저면에는 더미글라스(G) 표면과 접촉된 상태로 회전하는 적어도 하나의 롤러(631)가 플렉시블 원장기판(M)의 폭방향 즉 Y축방향을 따라 구비되어 있다.
이때, 롤링본체(630)의 롤러(631)는 길게 하나의 롤러(631)로 구성될 수 있고, 단일로 이루어진 복수개의 롤러(631)로 구성될 수도 있으며, 더미글라스(G) 표면과 접촉하는 롤러(631)의 재질은 탄성을 갖는 합성수질인 것이 바람직하다. 따라서, 롤러(631)의 개수 및 그 재질은 반드시 한정되지 않는다.
그리고, 롤링본체(630)는 이동브라켓(620)과 함께 연동하는 구조를 갖지만, 수평편(423)의 저면에 LM가이드(L)를 마련하여 상기 LM가이드(L)와 결합함으로써 더욱 안정적인 이동이 이루어질 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
한편, 도 5와 같이 롤링장치(600)의 롤링본체(630)가 서로 마주하게 배치될 수 있도록 한 쌍으로 배치되는 것이 바람직한데, 이는 한 쌍의 척킹유닛(500)의 클램프(540)에 의해 더미글라스(G) 테두리 양단부가 동시에 상승할 때 양쪽에서 더미글라스(G)의 밴딩이 이루어지도록 하여 안정적인 상태에서 더미글라스(G)의 박리가 신속하게 이루어지도록 위함이다(도 8c 참조).
상기와 같은 롤링본체(630)는 승강판(420)과 함께 연동하면서 이동스테이지(200)에 안착된 플렉시블 원장기판(M)까지 하강하여 롤러(631)를 더미글라스(G) 표면과 접촉시키고, 한 쌍의 척킹유닛(500)이 더미글라스(G) 테두리 단부를 척킹한 상태로 상승할 때 더미글라스(G)의 상승과 동시에 수평방향(X축방향)으로 롤링하면서 롤러(631)부터 척킹된 더미글라스(G) 단부까지의 영역이 밴딩되도록 한다.
이때, 롤링본체(630)가 더미글라스(G)의 상승과 동시에 이동하는 이유는, 플렉시블 원장기판(M)이 대면적기판인 경우 상대적으로 더미글라스(G)와 플렉시블 PI막(P)의 접착력이 강해 더미글라스(G)가 일측부터 서서히 박리되는 것이 가장 이상적이기 때문이고, 롤링본체(630)를 더미글라스(G)의 상승과 함께 롤링되도록 함으로써 롤러(631)로부터 시작되는 더미글라스(G)의 밴딩에 따른 곡률이 일정하게 형성되도록 하기 위함인 것이다.
이를 위해 롤링본체(630)는 더미글라스(G)의 상승에 따른 밴딩 곡률이 일정하게 이루질 수 있는 속도로 롤링되는 것은 물론일 것이다.
이렇게 되면, 더미글라스(G)를 박리하기 위한 많은 부하가 필요치 않고, 더미글라스(G)의 박리가 서서히 진행되기 때문에 더미글라스(G)와 함께 하측의 플렉시블 PI막(P)이 이동스테이지(200)로부터 들뜨는 것이 방지된다.
한편, 롤링장치(600)는 도 6에 도시된 바와 같이 단일로 설치될 수도 있는데, 이는 한 쌍의 척킹유닛(500)에 의해 더미글라스(G) 테두리의 어느 단부 만이 상승할 때 상승하는 더미글라스(G) 측의 밴딩이 이루어지도록 하기 위함이다(도 9a 참조).
이 경우, 롤링장치(600)의 설치 방향은 대상물에 따라 달라질 수도 있기 때문에 반드시 한정하지는 않는다.
본 실시예에서 롤링장치(600)의 개수는 플렉시블 원장기판(M)의 크기에 따라 달라질 수 있으므로 그 개수를 반드시 한정하지는 않는다.
한편, 서술된 이동스테이지(200), 커터(300), 승강수단(400), 한 쌍의 척킹유닛(500) 및 롤링장치(600)는 설정된 제어값이 저장된 콘트롤러(미도시)에 의해 각각 제어됨은 물론이며, 이러한 제어는 통상적인 사항임에 따라 설명은 생략하기로 한다.
이하, 본 발명에 따른 박리장치(700)를 통해 플렉시블 원장기판(M)으로부터 더미글라스(G)를 박리시키는 박리방법을 설명하면 다음과 같다.
도 7은 본 발명의 박리장치(700)를 이용하여 더미글라스(G)가 박리되는 과정을 나타낸 플로우챠트이며, 도 8a 내지 도 8e는 도 7의 더미글라스(G) 박리과정을 개략적으로 나타낸 요부 참고도이다.
도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이 플렉시블 원장기판(M)의 더미글라스(G)는, 상기 더미글라스(G)에 상기 플렉시블 PI막(P)이 증착된 상기 플렉시블 원장기판(M)을 상기 이동스테이지(200)에 안착시켜 상기 한 쌍의 척킹유닛(500) 하부로 이동시키는 단계(S10); 안착된 상기 플렉시블 원장기판(M)의 상기 더미글라스(G)와 상기 플렉시블 PI막(P) 사이를 초기 박리시키는 단계(S20); 상기 승강판(420)의 하강을 통해 상기 척킹유닛(500)의 상기 클램프(540)를 상기 플렉시블 원장기판(M)의 양측에 각각 위치시키고, 상기 롤링장치(600)의 상기 롤링본체(630)에 구비된 상기 롤러(631)를 상기 플렉시블 원장기판(M)의 상기 더미글라스(G) 표면에 접촉시키는 단계(S30); 상기 클램프(540)를 이동시켜 상기 플렉시블 원장기판(M)의 상기 더미글라스(G)를 척킹하는 단계(S40); 및 상기 한 쌍의 클램프(540) 상승과 함께 상기 롤링본체(630)가 상기 더미글라스(G) 표면과 접촉된 상태로 롤링되도록 하면서 롤링되는 상기 롤링본체(630)와 상승하는 상기 클램프(540) 사이의 더미글라스(G) 영역이 밴딩되도록 하여 상기 더미글라스(G)를 상기 플렉시블 PI막(P)로부터 박리시키는 단계(S50);를 통해 박리된다.
상기의 박리방법은 박리장치(700)에 롤링장치(600)가 한 쌍으로 배치된 것을 예로 설명하기로 하며, 도 4, 도 7 및 도 8을 참조하기로 한다.
더미글라스(G)에 플렉시블 PI막(P)이 증착된 플렉시블 원장기판(M)을 이동스테이지(200)에 안착시켜 한 쌍의 척킹유닛(500) 하부로 이동시키는 단계(S10)를 보면,
먼저, 외부로부터 공급되는 대면적기판인 플렉시블 원장기판(M)을 플렉시블 PI막(P)이 하측으로 향하도록 픽킹하여 이동스테이지(200)의 안착편(223)에 안착시킨다. 이때, 플렉시블 원장기판(M)은 이동스테이지(200)가 수평겐트리(210)에 의해 이동함에 따라 다양한 위치에서 공급될 수 있음은 물론이다.
플렉시블 원장기판(M)이 안착된 이동스테이지(200)는 수평겐트리(210)의 구동에 의해 한 쌍의 척킹유닛(500)의 하부로 이동된다.
이때, 이동스테이지(200)에 안착된 플렉시블 원장기판(M)은 한 쌍의 척킹유닛(500) 하부에 정확하게 위치할 수 있도록 미세조절단계를 더 거치게 된다.
이를 위해, 미세조절실린더(225)가 구동하면서 안착편(223)을 X축인 수평방향으로 이동시켜 플렉시블 원장기판(M)을 한 쌍의 척킹유닛(500) 하부에 정확하게 위치시킨다.
안착된 플렉시블 원장기판(M)의 더미글라스(G)와 플렉시블 PI막(P) 사이를 초기 박리시키는 단계(S20)를 보면,
먼저, 로봇아암(310)에 장착된 커터(300)를 플렉시블 원장기판(M)의 더미글라스(G)와 플렉시블 PI막(P) 사이로 설정된 소정깊이 만큼 진입시킨다.
커터(300)가 진입된 상태에서 로봇아암(310)은 플렉시블 원장기판(M)의 둘레면을 따라 이동하게 되고, 이 과정에서 커터(300)는 더미글라스(G)와 플렉시블 PI막(P) 사이의 둘레를 소정깊이로 커팅하면서 더미글라스(G)와 플렉시블 PI막(P) 사이를 초기박리 시킨다.
플렉시블 원장기판(M)의 초기박리 공정이 완료되면 로봇아암(310)은 원위치로 복귀하게 된다.
승강판(420)의 하강을 통해 척킹유닛(500)의 클램프(540)를 플렉시블 원장기판(M)의 양측에 각각 위치시키고, 롤링장치(600)의 롤링본체(630)에 구비된 롤러(631)를 플렉시블 원장기판(M)의 상기 더미글라스(G) 표면에 접촉시키는 단계(S30)를 보면,
먼저, 플렉시블 원장기판(M)의 초기박리가 완료되면, 도 8a에 도시된 바와 같이 승강판(420)의 구동에 의해 한 쌍의 척킹유닛(500)과 롤링장치(600)가 화살표방향으로 함께 하강하게 된다.
하강하기 전, 한 쌍의 척킹유닛(500)은 플렉시블 원장기판(M) 즉 더미글라스(G)의 폭 보다 더 벌어진 상태이다.
이때, 한 쌍의 롤링장치(600)는 각각 더미글라스(G)와 마주하는 클램프(540)방향으로 더미글라스(G) 테두리 양단부에 근접하는 위치에서 상측으로 배치된 상태이다.
상기의 상태에서 하강하는 한 쌍의 척킹유닛(500)과 롤링장치(600)는, 하강 중 한 쌍의 롤링장치(600)의 롤러(631)가 더미글라스(G) 테두리 양단부에 각각 접촉되면 승강판(420)이 정지하면서 도 8b와 같이 하강을 멈춘다.
클램프(540)를 이동시켜 플렉시블 원장기판(M)의 더미글라스(G)를 척킹하는 단계(S40)를 보면,
이후, 한 쌍의 척킹장치는 각 메인실린더(520)의 구동을 통해 각 클램프(540)를 더미글라스(G)방향으로 더 하강시키면서 클램프(540)의 척킹홈(541)을 더미글라스(G)의 수평선상과 일치시킨다.
척킹홈(541)이 더미글라스(G)의 수평선상과 일치되면, 도 4에 도시된 보조실린더(550)가 구동하면서 각 클램프(540)를 도 8b의 화살표방향인 더미글라스(G) 측으로 이동시켜 척킹홈(541)으로 더미글라스(G)의 양단부가 수용되도록 하여 클램프(540)에 더미글라스(G)가 척킹되도록 한다.
한 쌍의 클램프(540) 상승과 함께 롤링본체(630)가 더미글라스(G) 표면과 접촉된 상태로 롤링되도록 하면서 롤링되는 롤링본체(630)와 상승하는 클램프(540) 사이의 더미글라스(G) 영역이 밴딩되도록 하여 더미글라스(G)를 플렉시블 PI막(P)로부터 박리시키는 단계(S50)를 보면,
상기의 단계는 플렉시블 PI막(P)로부터 더미글라스(G)를 완전하게 박리시키는 단계이다.
먼저, 더미글라스(G)를 척킹한 한 쌍의 클램프(540)는 각 메인실린더(520)의 구동을 통해 클램프(540)를 도 8c에 도시된 화살표방향으로 상승하게 된다.
클램프(540)의 최초 상승시 한 쌍의 롤링본체(630)의 롤러(631)는 더미글라스(G) 테두리 양단부에 각각 접촉된 상태로 정지되어 있다.
클램프(540)의 상승이 도 8c의 상태까지 이루어지게 되면서 더미글라스(G)의 테두리 단부측이 상승하게 되고, 이로 인해 더미글라스(G)의 밴딩이 시작된다.
클램프(540)의 상승에 의해 롤링본체(630)의 인접한 위치까지 더미글라스(G)가 밴딩되면, 콘트롤러(미도시)의 제어에 의한 롤링장치(600)의 각 구동모터(610)(도 5 참조)가 구동하게 되고, 이 구동에 의해 더미글라스(G) 테두리 양단부 표면에 각각 접촉된 롤러(631)는 도면상 화살표방향으로 롤링하면서 롤링본체(630)와 클램프(540) 사이의 계속적인 밴딩이 이루어지도록 한다.
이때, 롤링본체(630)의 롤링속도와 클램프(540)의 상승속도는 롤링본체(630)와 클램프(540) 사이에 형성되는 더미글라스(G)의 밴딩 곡률이 일정하게 형성될 수 있는 속도인 것은 물론이다.
이는, 더미글라스(G)와 플렉시블 PI막(P) 간에 접착력이 유지된 상태이기 더미글라스(G)의 박리에 따른 밴딩시 플렉시블 PI막(P)에 무리가 가지 않는 상태에서 서서히 진행되도록 하여 더미글라스(G)의 파손 또는 밴딩시 플렉시블 PI막(P)이 더미글라스(G)와 함께 들리는 것을 방지하기 위함이다.
상기의 밴딩곡률 및 밴딩속도는 박리대상물의 크기에 따라 달라질 수 있음은 물론이다.
이후, 계속적인 클램프(540)의 상승과 함께 롤링본체(630)의 롤링 또한 계속적으로 이루어지고, 도 8d와 같이 한 쌍의 롤링본체(630)가 더미글라스(G)의 중심에 다다르면서 롤링이 완료되면 롤링장치(600)의 구동모터(610)의 구동은 정지하게 된다.
상기의 상태에서 도 4에 도시된 승강판(420)이 상측방향으로 승강하면서 척킹유닛(500)과 롤링장치(600)를 함께 승강시켜 도 8e에 도시된 바와 같이 플렉시블 PI막(P)로부터 더미글라스(G)를 완전하게 박리시킨다.
이후, 박리된 더미글라스(G)는 폐기라인으로 투입되고, 플렉시블 PI막(P)은 후공정을 위한 라인으로 공급된다.
다음에는, 박리장치(700)에 롤링장치(600)가 단일로 배치된 것을 예로 들어 박리되는 것을 도 9a 및 도 9b를 참조하여 설명하기로 한다.
설명에 앞서, 상기의 실시예는 박리장치(700)에 구성된 롤링장치(600)가 단일로 형성된 것이기 때문에 동일한 동작의 설명은 생략하고 다른 부분에 대해서만 간략히 설명하기로 한다.
먼저, 도 4에 도시된 승강판(420)의 구동에 의해 한 쌍의 척킹유닛(500)과 단일의 롤링장치(600)를 이동스테이로 하강시킨다.
이때, 단일의 롤링장치(600)의 롤링본체(630)는 클램프(540)방향으로 도면상 우측 더미글라스(G) 테두리 단부에 근접하는 위치에서 상측으로 배치된 상태이며, 하강 중 단일의 롤링본체(630)의 롤러(631)가 더미글라스(G) 테두리 양단부에 각각 접촉되면 승강판(420)은 정지하면서 하강을 멈춘다.
이후, 한 쌍의 척킹장치는 각 메인실린더(520)의 구동을 통해 각 클램프(540)를 더미글라스(G)방향으로 더 하강시키면서 클램프(540)의 척킹홈(541)을 더미글라스(G)의 수평선상과 일치시키고, 보조실린더(550)를 구동시켜 클램프(540)의 척킹홈(541)으로 더미글라스(G)의 양단부를 수용시켜 더미글라스(G)를 척킹한다.
상기의 상태는 더미글라스(G)만 척킹한 채로 한 쌍의 클램프(540)가 상승하지 않는 상태이고, 롤링장치(600)의 롤링본체(630) 또한 이동하지 않는 상태이다.
상기 상태에서 도 9a에 나타낸 바와 같이, 더미글라스(G)를 척킹한 한 쌍의 클램프(540) 중 도면상 우측 클램프(540)만 메인실린더(520)의 구동을 통해 도시된 화살표방향으로 상승하게 된다.
우측 클램프(540)의 최초 상승시 롤링본체(630)의 롤러(631)는 더미글라스(G) 우측 테두리 단부에 접촉된 상태로 정지되어 있다.
우측 클램프(540)의 상승이 도 9a의 상태까지 이루어지게 되면서 더미글라스(G)의 우측 테두리 단부측이 상승하게 되면서 밴딩이 시작된다.
우측 클램프(540)의 상승에 의해 우측 롤링본체(630)와 인접한 위치까지 더미글라스(G)가 밴딩되면, 콘트롤러(631)(미도시)의 제어에 의한 단일의 롤링장치(600)의 구동모터(610)(도 6 참조)가 구동하게 되고, 이 구동에 의해 더미글라스(G) 우측 테두리 단부 표면과 접촉된 롤러(631)는 도면상 화살표방향으로 롤링하면서 롤링본체(630)와 클램프(540) 사이의 계속적인 밴딩이 이루어지도록 한다.
이때, 롤링본체(630)의 롤링속도와 우측 클램프(540)의 상승속도에 대해서는 앞서 서술된 내용과 동일함에 따라 생략하기로 한다.
이후, 계속적인 클램프(540)의 상승과 함께 롤링본체(630)의 롤링 또한 계속적으로 이루어지고, 도 9b와 같이 우측의 롤링본체(630)가 더미글라스(G)의 좌측 테두리 단부에 다다르면서 롤링이 완료되면 롤링장치(600)의 구동모터(610)의 구동은 정지하게 된다.
상기의 상태에서 도 4에 도시된 승강판(420)이 상측방향으로 승강하면서 척킹유닛(500)과 롤링장치(600)를 함께 승강시키면서 플렉시블 PI막(P)로부터 더미글라스(G)를 완전하게 박리시킨다.
본 실시예의 설명에서 도 9a 및 도 9b에 도시되어 있듯이 우측의 클램프(540)가 상승하면 롤링본체(630)가 도면상 우측에서 좌측방향으로 향하면서 더미글라스(G)가 박리되는 것으로 도시되어 있으나, 만일 좌측의 클램프(540)가 상승하는 경우 롤링본체(630)는 도면상 좌측에서 우측방향으로 향하면서 더미글라스(G)를 박리시킬 것은 자명하기 때문에 그 위치를 한정하지는 않는다.
지금까지 서술된 바와 같이 본 발명의 플렉시블 PI막과 더미글라스를 박리하는 박리장치 및 이를 이용한 박리방법은,
표면에 플렉시블 플렉시블 PI막이 경화된 더미글라스의 박리시, 롤러를 통한 더미글라스의 밴딩을 유도하면서 롤러의 롤링과 더미글라스를 박리시키는 클램프의 상승이 동시에 이루어지도록 하여 더미글라스의 박리가 완료될 때까지 더미글라스의 밴딩 곡률이 일정하게 형성될 수 있도록 하여, 더미글라스 박리에 따른 플렉시블 PI막이 더미글라스와 함께 들뜨는 것을 방지하여 플렉시블 PI막에 무리가 가지 않도록 하는 장점이 있다.
이상, 본 발명의 플렉시블 PI막과 더미글라스를 박리하는 박리장치 및 이를 이용한 박리방법을 바람직한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 설명하였으나, 이는 발명의 이해를 돕고자 하는 것일 뿐 발명의 기술적 범위를 이에 한정하고자 함이 아님은 물론이다.
즉, 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 않고도 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 다양한 변형이나 개조가 가능함은 물론이고, 그와 같은 변경이나 개조는 청구범위의 해석상 본 발명의 기술적 범위 내에 있음은 말할 나위가 없다.
100 : 베이스 200 : 이동스테이지
210 : 수평겐트리 221 : 이동플레이트
223 : 안착편 225 : 미세조절로봇
300 : 커터 310 : 로봇아암
400 : 승강수단 410 : 수직겐트리
420 : 승강판 421 : 수직편
423 : 수평편 500 : 척킹유닛
510 : 고정블럭 520 : 메인실린더
521 : 로드 530 : 이동블럭
540 : 클램프 541 : 척킹홈
550 : 보조실린더 600 : 롤링장치
610 : 구동모터 611 : 볼스크류
620 : 이동브라켓 630 : 롤링본체
631 : 롤러 700 : 박리장치
G : 더미글라스 L : LM가이드
M : 플렉시블 원장기판 P : 플렉시블 PI막

Claims (10)

  1. 베이스(B);
    상기 베이스(B)의 상면에 구비된 수평겐트리(210)에 이동 가능하게 결합되며, 더미글라스(G)에 플렉시블 PI막(P)이 증착된 플렉시블 원장기판(M)이 안착되는 이동스테이지(200);
    상기 이동스테이지(200)에 안착된 상기 플렉시블 원장기판(M)의 상기 더미글라스(G)와 상기 플렉시블 PI막(P) 사이를 둘레를 소정깊이로 커팅하여 초기박리 시키는 커터(300);
    상기 이동스테이지(200)의 상측으로 소정간격 이격되게 설치되며, 상기 베이스(B)에 수직하게 설치된 수직겐트리(410)와, 상기 수직겐트리(410)에 승강 가능하게 결합되며 판 상의 수직편(421)과 수평편(423)으로 이루어진 승강판(420)으로 구성된 승강수단(400);
    소정간격 이격되게 마주하는 상태로 상기 승강판(420)의 상기 수직편(421) 일면에 배치되어 상기 승강판(420)과 연동하며, 상기 이동스테이지(200)에 안착된 상기 플렉시블 원장기판(M)의 상기 더미글라스(G) 양단을 척킹한 상태로 상승하면서 상기 더미글라스(G)를 상기 플렉시블 PI막(P)로부터 박리시키는 한 쌍의 척킹유닛(500); 및
    상기 승강판(420)의 상기 수평편(423) 저면에 구비되어 상기 승강판(420)과 연동하며, 상기 더미글라스(G) 박리시 상기 더미글라스(G) 표면과 접촉된 상태로 롤링하면서 상기 더미글라스(G)의 밴딩이 이루어지도록 하는 적어도 하나의 롤링장치(600);를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 플렉시블 PI막과 더미글라스를 박리하는 박리장치(700).
  2. 제1항에 있어서,
    상기 롤링장치(600)는,
    상기 승강판(420)의 상기 수평편 저면에 고정되고, 구동에 의해 정.역회전하는 소정길이를 갖는 볼스크류(611)를 구비한 구동모터(610);
    상기 볼스크류(611)에 결합되며, 상기 볼스크류(611)를 타고 이동하는 이동브라켓(620); 및
    상기 이동브라켓(620)의 일단에 구비되어 상기 이동브라켓(620)과 연동하며, 저면에는 상기 더미글라스(G) 표면과 접촉된 상태로 회전하는 적어도 하나의 롤러(631)가 상기 플렉시블 원장기판(M)의 폭방향을 따라 구비된 롤링본체(630);로 구성된 것을 특징으로 하는 플렉시블 PI막과 더미글라스를 박리하는 박리장치(700).
  3. 제2항에 있어서,
    상기 롤링장치(600)는 상기 롤링본체(630)가 서로 마주하게 배치될 수 있도록 한 쌍으로 배치된 것을 특징으로 하는 플렉시블 PI막과 더미글라스를 박리하는 박리장치(700).
  4. 제3항에 있어서,
    상기 척킹유닛(500)은 상기 승강판(420)과 개별 승강 가능하게 설치되되,
    일측 상면에 메인실린더(520)가 구비되고, 타측이 상기 수직편(421)에 고정된 고정블럭(510);
    일측이 상기 메인실린더(520)의 로드(521)와 결합되고, 타측이 상기 고정블럭(510)을 관통한 상태로 LM가이드(L)에 의해 상기 수직편(421)에 승강 가능하게 결합되어 상기 메인실린더(520)의 구동에 의해 승강하는 이동블럭(530);
    상기 이동블럭(530)의 저면에 구비되어 상기 이동스테이지(200)에 안착된 상기 플렉시블 원장기판(M)의 상기 더미글라스(G)를 척킹하는 클램프(540); 및
    상기 이동블럭(530)과 상기 클램프(540) 사이에 개재되어 상기 클램프(540)를 상기 이동스테이지(200) 방향으로 수평이동시키는 보조실린더(550);로 구성된 것을 특징으로 하는 플렉시블 PI막과 더미글라스를 박리하는 박리장치(700).
  5. 제4항에 있어서,
    상기 클램프(540)의 하단에는 상기 더미글라스(G) 척킹시 상기 더미글라스(G)의 단부가 수용되는 척킹홈(541)이 형성되되, 상기 척킹홈(541)은 하측으로부터 내측으로 향하도록 소정각도로 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 플렉시블 PI막과 더미글라스를 박리하는 박리장치(700).
  6. 제3항에 있어서,
    상기 이동스테이지(200)는,
    상기 수평겐트리(210)에 이동 가능하게 결합된 이동플레이트(221);
    상기 이동플레이트(221)의 상부로 상기 수평겐트리(210)와 교차하는 방향으로 이동 가능하게 결합되며, 상기 플렉시블 원장기판(M)이 안착되는 안착편(223); 및
    상기 이동플레이트(221)의 일측에 구비되며, 상기 안착편(223)을 이동시키는 미세조절실린더(225);로 구성된 것을 특징으로 하는 플렉시블 PI막과 더미글라스를 박리하는 박리장치(700).
  7. 제1항에 있어서,
    상기 수평겐트리(210) 및 상기 수직겐트리(410)는 리니어모터, 벨트방식 및 볼스크류(611)방식 중 어느 하나에 의해 구동되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 PI막과 더미글라스를 박리하는 박리장치(700).
  8. 제1항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 따른 박리장치(700)를 이용한 박리방법은,
    상기 더미글라스(G)에 상기 플렉시블 PI막(P)이 증착된 상기 플렉시블 원장기판(M)을 상기 이동스테이지(200)에 안착시켜 상기 한 쌍의 척킹유닛(500) 하부로 이동시키는 단계(S10);
    안착된 상기 플렉시블 원장기판(M)의 상기 더미글라스(G)와 상기 플렉시블 PI막(P) 사이를 초기 박리시키는 단계(S20);
    상기 승강판(420)의 하강을 통해 상기 척킹유닛(500)의 상기 클램프(540)를 상기 플렉시블 원장기판(M)의 양측에 각각 위치시키고, 상기 롤링장치(600)의 상기 롤링본체(630)에 구비된 상기 롤러(631)를 상기 플렉시블 원장기판(M)의 상기 더미글라스(G) 표면에 접촉시키는 단계(S30);
    상기 클램프(540)를 이동시켜 상기 플렉시블 원장기판(M)의 상기 더미글라스(G)를 척킹하는 단계(S40); 및
    상기 한 쌍의 클램프(540) 상승과 함께 상기 롤링본체(630)가 상기 더미글라스(G) 표면과 접촉된 상태로 롤링되도록 하면서 롤링되는 상기 롤링본체(630)와 상승하는 상기 클램프(540) 사이의 더미글라스(G) 영역이 밴딩되도록 하여 상기 더미글라스(G)를 상기 플렉시블 PI막(P)로부터 박리시키는 단계(S50);를 포함하는 플렉시블 PI막과 더미글라스의 박리방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 단계 S10에는, 상기 이동스테이지(200)에 안착된 상기 플렉시블 원장기판(M)이 상기 한 쌍의 척킹유닛(500) 하부에 정확하게 위치할 수 있도록 하는 미세조절단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 PI막과 더미글라스의 박리방법.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 단계 S30에는, 상기 롤링본체(630)가 상기 클램프(540)방향으로 상기 더미글라스(G) 테두리와 근접하게 위치된 것을 특징으로 하는 플렉시블 PI막과 더미글라스의 박리방법.
KR1020140057440A 2014-05-13 2014-05-13 플렉시블 pi막과 더미글라스를 박리하는 박리장치 및 이를 이용한 박리방법 KR101424957B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140057440A KR101424957B1 (ko) 2014-05-13 2014-05-13 플렉시블 pi막과 더미글라스를 박리하는 박리장치 및 이를 이용한 박리방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140057440A KR101424957B1 (ko) 2014-05-13 2014-05-13 플렉시블 pi막과 더미글라스를 박리하는 박리장치 및 이를 이용한 박리방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101424957B1 true KR101424957B1 (ko) 2014-08-14

Family

ID=51749077

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140057440A KR101424957B1 (ko) 2014-05-13 2014-05-13 플렉시블 pi막과 더미글라스를 박리하는 박리장치 및 이를 이용한 박리방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101424957B1 (ko)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107644950A (zh) * 2017-09-22 2018-01-30 武汉华星光电技术有限公司 一种对柔性面板和玻璃基板进行分离的装置及方法
CN109494316A (zh) * 2019-01-15 2019-03-19 深圳市易天自动化设备股份有限公司 一种film膜片自动撕膜装置及其撕膜工艺
CN111994396A (zh) * 2020-08-28 2020-11-27 王晓丹 一种用于电子产品加工的撕膜装置
WO2022114658A1 (ko) * 2020-11-30 2022-06-02 한화솔루션 주식회사 커넥터 리본 밴딩 및 박리 장치
CN115353025A (zh) * 2022-08-22 2022-11-18 中科盛博建设集团有限公司 一种建筑施工用提升机
KR102494922B1 (ko) * 2022-07-04 2023-02-06 주식회사 그린테크놀로지 회로기판의 형태와 대응되는 쉴드테이프 부착 장치

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101178803B1 (ko) 2012-01-11 2012-08-31 주식회사 톱텍 스틱 더미 자동 제거장치의 기판 이송기

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101178803B1 (ko) 2012-01-11 2012-08-31 주식회사 톱텍 스틱 더미 자동 제거장치의 기판 이송기

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107644950A (zh) * 2017-09-22 2018-01-30 武汉华星光电技术有限公司 一种对柔性面板和玻璃基板进行分离的装置及方法
CN107644950B (zh) * 2017-09-22 2019-06-25 武汉华星光电技术有限公司 一种对柔性面板和玻璃基板进行分离的装置及方法
CN109494316A (zh) * 2019-01-15 2019-03-19 深圳市易天自动化设备股份有限公司 一种film膜片自动撕膜装置及其撕膜工艺
CN109494316B (zh) * 2019-01-15 2024-03-26 中山市易天自动化设备有限公司 一种film膜片自动撕膜装置及其撕膜工艺
CN111994396A (zh) * 2020-08-28 2020-11-27 王晓丹 一种用于电子产品加工的撕膜装置
WO2022114658A1 (ko) * 2020-11-30 2022-06-02 한화솔루션 주식회사 커넥터 리본 밴딩 및 박리 장치
KR20220077169A (ko) * 2020-11-30 2022-06-09 한화솔루션 주식회사 커넥터 리본 밴딩 및 박리 장치
KR102557977B1 (ko) * 2020-11-30 2023-07-21 한화솔루션 주식회사 커넥터 리본 밴딩 및 박리 장치
KR102494922B1 (ko) * 2022-07-04 2023-02-06 주식회사 그린테크놀로지 회로기판의 형태와 대응되는 쉴드테이프 부착 장치
CN115353025A (zh) * 2022-08-22 2022-11-18 中科盛博建设集团有限公司 一种建筑施工用提升机
CN115353025B (zh) * 2022-08-22 2023-06-13 中科盛博建设集团有限公司 一种建筑施工用提升机

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101424957B1 (ko) 플렉시블 pi막과 더미글라스를 박리하는 박리장치 및 이를 이용한 박리방법
US20170255033A1 (en) Curved display manufacturing device and curved display manufacturing method
JP6022425B2 (ja) ワークを湾曲状に貼合する貼合装置、および貼合方法
US20150041065A1 (en) Film-applying machine
JP2021503385A (ja) 電子タグ切断装置
JP4677275B2 (ja) 電子部品用のエキスパンド装置
JP2016167546A (ja) 保護部材の形成方法
JP2008306119A (ja) 分離装置及び分離方法
US7931766B2 (en) Film adhesion device and film adhesion method
US20170304864A1 (en) Coating apparatus for color filter substrate and coating method thereof
JP2013168417A (ja) 基板搬送方法および基板搬送装置
KR20160056274A (ko) 제조 장치 및 제조 방법
KR101397094B1 (ko) 라미네이팅 장치 및 라미네이팅 방법
KR101947805B1 (ko) 라미네이팅 장치
JP2016159412A (ja) パッケージ基板の研削方法
US9162258B1 (en) Wasted material separating device
US10720347B2 (en) Sheet expanding apparatus
JP6336369B2 (ja) カバーガラスの貼合装置
JP5433542B2 (ja) 両面粘着テープ剥離方法および両面粘着テープ剥離装置
KR102184474B1 (ko) 보호 부재 형성 장치
CN103579066A (zh) 半导体晶圆的固定方法及半导体晶圆的固定装置
KR102067981B1 (ko) 기판 절단 장치
KR101444710B1 (ko) Oled용 윈도우와 기판을 합착하는 합착장치 및 이를 이용한 합착방법
JP2013048133A (ja) 分割装置及び分割方法
KR20110000308A (ko) 박판유리 측면홈 가공장치

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170703

Year of fee payment: 4