KR101668084B1 - 정압 합착이 가능한 진공 합착장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 합착되는 소재에 가해지는 실제 압력이 모든 면에 대하여 동일하도록 제어하여, 합착되는 양측 소재에 동일한 압력이 가해져서 간격 균일도를 유지하면서 합착할 수 있는 정압 합착이 가능한 진공 합착장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 정압 합착이 가능한 진공 합착장치는, 내부 공간을 진공 상태로 유지하는 진공 챔버; 상기 진공 챔버 내부에 설치되며, 합착되는 양측 소재 중 하측 소재를 하측에서 지지하는 하측 지지 판넬부; 상기 진공 챔버 내부 공간 중 상기 하측 지지 판넬부의 하부에 설치되는 중간 판넬; 상기 중간 판넬과 상기 하측 지지 판넬부 사이에 설치되며, 상기 하측 지지 판넬부의 서로 다른 세 지점 이상에 설치되어 상기 하측 지지 판넬부가 하측으로 가하는 압력을 센싱하는 압력 센싱부; 상기 중간 판넬의 하면 다수 지점에 결합되어 설치되되, 상기 진공 챔버의 하벽을 관통하여 독립적으로 승강하면서 상기 중간 판넬의 수평도를 조절하는 수평도 조절부; 상기 진공 챔버 내부 중 상기 하측 지지 판넬부의 상측에 설치되며, 합착되는 양측 소재 중 상측 소재를 상측에서 지지한 상태에서 상기 하측 지지 판넬부 방향으로 가압하는 상측 지지 판넬; 상기 상측 지지 판넬의 가압에 따라 상기 하측 지지 판넬부의 각 지점에 가해지는 압력값을 상기 압력 센싱부로 부터 전달받아서 상기 하측 지지 판넬부의 모든 지점에 동일한 압력이 가해지도록 상기 수평도 조절부를 제어하는 제어부;를 포함한다.

Description

정압 합착이 가능한 진공 합착장치{THE APPARATUS FOR ATTACHING THE SUSTRATES IN VACUUM STATE}
본 발명은 진공 합착장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 합착되는 소재에 가해지는 실제 압력이 모든 면에 대하여 동일하도록 제어하여, 합착되는 양측 소재에 동일한 압력이 가해져서 간격 균일도를 유지하면서 합착할 수 있는 정압 합착이 가능한 진공 합착장치에 관한 것이다.
현재 디스플레이 분야, 터치스크린 패널 분야 등에서는 경질소재끼리 합착하거나 플렉시블 소재를 경질 소재에 합착하거나, 플렉시블 소재끼리 합착시키는 경우 등 다양한 소재를 합착하여 이루어지는 디바이스들을 광범위하게 사용하고 있다.
이렇게 소재들을 합착함에 있어서, 종래에는 도 1에 도시된 바와 같이, 합착되는 양측 소재(1, 2)를 흡착하고 있는 상하측 지그(10, 20) 사이의 간격(d)을 일정하게 제어하는 정위치 합착 방법이 사용되고 있다. 이러한 정위치 합착 방법은 하측 지(20)와 상측 지그(20)를 미리 계산된 위치로 정확하게 보내고, 하측 지그(20)와 상측 지그(10)에 각각 장착되어 있는 피합착 소재(1, 2)들이 미리 계산된 간격을 유지하면서 합착된다는 가정하에서 공정을 제어하는 것이다.
그런데 이러한 정위치 합착 방법은 상기 하측 지그(20)와 상측 지그(10)를 미리 계산된 위치에 정확하게 이동시키더라도, 실제로 합착되는 소재(1, 2)의 형상 또는 합착용 레진(R)의 분포 형태 등 많은 변수에 의하여 실제 합착되는 양측 소재의 간격을 균일하게 유지시키기 어려운 실정이다.
따라서 실제 합착되는 소재에 가해지는 압력이, 소재의 모든 면에 대하여 동일하도록 제어하여 합착되는 소재 사이의 간격이 동일하도록 간격 균일도를 유지하고, 제어하면서 합착할 수 있는 정압 합착 기술의 개발이 요구되고 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 합착되는 소재에 가해지는 실제 압력이 모든 면에 대하여 동일하도록 제어하여 합착되는 양측 소재에 동일한 압력이 가해져서 간격 균일도를 유지하면서 합착할 수 있는 정압 합착이 가능한 진공 합착장치를 제공하는 것이다.
전술한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 정압 합착이 가능한 진공 합착장치는, 내부 공간을 진공 상태로 유지하는 진공 챔버; 상기 진공 챔버 내부에 설치되며, 합착되는 양측 소재 중 하측 소재를 하측에서 지지하는 하측 지지 판넬부; 상기 진공 챔버 내부 공간 중 상기 하측 지지 판넬부의 하부에 설치되는 중간 판넬; 상기 중간 판넬과 상기 하측 지지 판넬부 사이에 설치되며, 상기 하측 지지 판넬부의 서로 다른 세 지점 이상에 설치되어 상기 하측 지지 판넬부가 하측으로 가하는 압력을 센싱하는 압력 센싱부; 상기 중간 판넬의 하면 다수 지점에 결합되어 설치되되, 상기 진공 챔버의 하벽을 관통하여 독립적으로 승강하면서 상기 중간 판넬의 수평도를 조절하는 수평도 조절부; 상기 진공 챔버 내부 중 상기 하측 지지 판넬부의 상측에 설치되며, 합착되는 양측 소재 중 상측 소재를 상측에서 지지한 상태에서 상기 하측 지지 판넬부 방향으로 가압하는 상측 지지 판넬; 상기 상측 지지 판넬의 가압에 따라 상기 하측 지지 판넬부의 각 지점에 가해지는 압력값을 상기 압력 센싱부로 부터 전달받아서 상기 하측 지지 판넬부의 모든 지점에 동일한 압력이 가해지도록 상기 수평도 조절부를 제어하는 제어부;를 포함한다.
그리고 본 발명에서 상기 압력 센싱부는 로드셀인 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 중간 판넬에는, 상기 중간 판넬에 설치되어, 상기 하측 지지 판넬부를 하측으로 탄성적으로 가압하여 상기 하측 지지 판넬부의 전후, 좌우 및 회전 방향 이동을 방지하는 하측 판넬 파지부가 더 구비되는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 하측 판넬 파지부는, 상기 중간 판넬의 측부에 설치되며, 하단이 상기 중간 판넬 상면에 고정되어 설치되는 측면 기립 지그; 상기 측면 기립 지그의 상단에서 상기 하측 지지 판넬부 중앙 방향으로 절곡되어 설치되는 내측 절곡 지그; 상기 내측 절곡 지그의 하면에 설치되며, 상기 하측 지지 판넬부의 상면 일 지점을 하측으로 가압하는 가압 지그;를 포함하며, 상기 내측 절곡 지그 또는 가압 지그 중 어느 하나는 탄성력을 가지는 소재로 이루어지는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 제어부는, 상기 상부 지지 판넬의 가압에 의하여 가해지는 상기 하부 지지 판넬 각 지점에 대한 압력값이 동일하도록 상기 하측 지지 판넬부의 수평도를 제어하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 하측 판넬 파지부는, 상기 중간 판넬의 상면에 하단이 결합되고, 상기 하측 판넬부의 중앙에 형성되는 관통공을 관통한 상태로 기립하여 설치되는 하측 판넬 고정핀; 상기 하측 판넬 고정핀의 상단에 수평 방향으로 결합되어 설치되며, 상기 하측 판넬부의 상면을 하측으로 가압하는 하측 판넬 고정 상판; 상기 하측 판넬 고정 상판과 상기 하측 판넬부 사이에 설치되며, 신축성이 있는 소재로 이루어져 압력을 흡수하는 압력 흡수부재;을 포함하여 이루어지는 구조를 가질 수도 있다.
이때 상기 하측 판넬 파지부에는, 하단이 상기 중간 판넬에 고정되어 설치되며, 상기 하측 판넬 고정 상판을 외측에서 보강하는 외측 보강 수단이 더 구비되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면 진공 합착장치의 하측 지그의 각 모서리 등 다양한 지점에 실제 가해지는 압력을 실시간으로 측정하고, 이 압력값을 근거로 하여 합착되는 양 측 소재에 가해지는 실제 압력값을 센싱하면서 양측소재를 합착한다. 따라서 합착되는 양 측 소재의 모든 면에 실제로 가해지는 압력이 일정해지도록 진공 합착장치의 상하 양측 지그를 제어하여 정압 합착이 가능한 특유의 효과를 달성할 수 있다.
도 1은 종래의 정위치 합착 방법을 도시하는 도면이다 .
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 정압 합착이 가능한 진공 합착장치의 구조를 도시하는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 하측 지지 판넬부과 압력 센싱부의 위치 관계를 도시하는 도면이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 정압 합착이 가능한 진공 합착장치의 구조를 도시하는 도면이다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예들을 상세하게 설명한다.
< 실시예 1 >
본 실시예에 따른 정압 합착이 가능한 진공 합착 장치(100)는 도 2에 도시된 바와 같이, 진공 챔버(180), 하측 지지 판넬부(110), 중간 판넬(120), 압력 센싱부(130), 수평도 조절부(140), 상측 지지 판넬(150) 및 제어부(도면에 미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.
먼저 상기 진공 챔버(180)는 내부 공간을 진공 상태로 유지할 수 있는 구성요소이며, 내부 공간의 기체를 흡입하여 배출하는 배기 펌프(도면에 미도시) 등이 설치된다. 또한 상기 진공 챔버(180)에는 도 2에 도시된 바와 같이, 일측벽에 합착을 위한 파넬의 반입 및 반출을 위한 게이트(182)가 형성된다. 그리고 상기 게이트(182)는 게이트 밸브(184)에 의하여 단속된다.
다음으로 상기 하측 지지 판넬부(110)는 도 2에 도시된 바와 같이, 합착되는 양측 소재 중 하측 소재(2)를 하측에서 지지하는 구성요소이다. 즉, 상기 하측 지지 판넬부(110)는 합착 과정 진행 중에 상기 합착되는 양측 소재 중 하측 소재(2)를 움직이지 않도록 밀착 지지하는 것이다. 본 실시예에서 상기 하측 지지 판넬부(110)는 설치 구조상 도 2에 도시된 바와 같이, 지지 판넬(112), 상기 지지 판넬(112) 하측에 중간 연결부(114)와 접촉 판넬(116)을 더 구비하는 구조를 가진다. 여기에서 상기 지지 판넬(112)은 실제 하측 소재(2)와 접촉하는 구성요소이고, 상기 접촉 판넬(116)은 후술하는 중간 판넬(120) 및 압력 센싱부(130)와의 접촉 및 결합을 위하여 구비되는 것이며, 상기 중간 연결부(114)는 상기 접촉 판넬(116)과 지지 판넬(112)의 연결을 위한 구성요소이다.
그리고 상기 하측 지지 판넬부(110) 중 상기 지지 판넬(112)에는 합착되는 소재(2)의 움직임을 방지하기 위하여 흡착 수단(도면에 미도시) 등이 더 구비될 수 있다.
다음으로 상기 중간 판넬(120)은 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 하측 지지 판넬부(110)의 하부에 설치되며, 상기 다수개의 압력 센싱부(130)를 안정적으로 지지하며, 상기 수평도 조절부(140)와 압력 센싱부(130)를 연결하는 구성요소이다. 따라서 상기 중간 판넬(120) 상에는 후술하는 압력 센싱부(130)와 하측 판넬 파지부(160)가 더 구비된다.
상기 하측 판넬 파지부(160)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 중간 판넬(120)에 설치되어, 상기 하측 지지 판넬부(110) 중 상기 접촉 판넬(116)을 하측으로 탄성적으로 가압하여 상기 하측 지지 판넬부(110)가 좌우 방향 이동하는 것을 방지하는 구성요소이다. 즉, 상기 접촉 판넬(116)이 상기 다수개의 압력 센싱부(130) 상측에 올려 놓여진 상태에서 상기 접촉 판넬(116)이 좌우측 방향으로 움직이지 않도록 상기 하측 판넬 파지부(160)가 상기 접촉 판넬(116)을 파지하면서도 상기 접촉 판넬(116)이 상기 압력 센싱부(130)에 가하는 압력에는 영향을 미치지 않도록 하는 것이다.
이를 위하여 본 실시예에서 상기 하측 판넬 파지부(160)는 구체적으로 도 2에 도시된 바와 같이, 측면 기립 지그(162), 내측 절곡 지그(164), 가압 지그(166)를 포함하여 구성될 수 있다. 여기에서 상기 측면 기립 지그(162)는 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 중간 판넬(120)의 측부에 설치되며, 하단이 상기 중간 판넬(120) 상면에 고정되어 설치되는 구성요소이며, 상기 내측 절곡 지그(164)는 상기 측면 기립 지그(162)의 상단에서 상기 하측 지지 판넬부(110) 중앙 방향으로 절곡되어 설치되는 구성요소이다. 그리고 상기 가압 지그(166)는 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 내측 절곡 지그(164)의 하면에 설치되며, 상기 하측 지지 판넬부(110)의 상면 일 지점을 하측으로 가압하는 구성요소이다. 이때 상기 가압 지그(166)의 하단은 상기 접촉 판넬(116) 상면에 형성되는 접촉홈(117a, 117b)에 삽입되어 상기 접촉 판넬(116)이 전후, 좌우 및 화전 방향으로 움직이는 것을 방지한다.
그리고 본 실시예에서 상기 내측 절곡 지그(164) 또는 가압 지그(166) 중 어느 하나는 탄성력을 가지는 소재로 이루어지는 것이 바람직하다. 따라서 상기 하측 판넬 파지부(160)가 상기 하측 파넬 중 접촉 판넬(116)을 수평 방향으로 움직이지 않도록 파지하면서도 상기 하측 지지 판넬부(110)에서 상기 압력 센싱부(130)에 가해지는 압력에 전혀 영향을 미치지 않는 구조를 가지는 것이다.
다음으로 상기 압력 센싱부(130)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 중간 판넬(120)과 상기 하측 지지 판넬부(110) 중 접촉 판넬(116) 사이에 설치되되, 상기 접촉 판넬(116)의 서로 다른 세 지점 이상에 설치되어 상기 하측 지지 판넬부(110)가 하측으로 가하는 압력을 센싱(sensing)하는 구성요소이다.
즉, 상기 압력 센싱부(130)는 상기 접촉 판넬(116)의 하측에 최소 한 지점 또는 그 이상 여러 지점에 설치할 수 있으며, 바람직하게는 도 3a에 도시된 바와 같이, 네 모서리 하면에 각각 접촉하도록 설치되어, 각 모서리에 의하여 가해지는 압력을 매우 정밀하게 센싱하고 그 결과를 실시간으로 상기 제어부에 전달하게 된다. 상기 압력 센싱부(130)는 도 3b 내지 3d에 도시된 바와 같이, 합착부의 양측 소재(1, 2)의 크기에 따라 여러 지점에 배열시켜 압력 분포의 오차를 줄여 피드백시 균일성에 대한 정밀도를 더 높일 수 있다.
본 실시예에서 상기 압력 센싱부(130)는 다양한 구성을 가질 수 있지만, 로드 셀(load cell)로 구성되는 것이 간단한 구조를 가지면서도 정밀한 압력 측정이 가능하여 바람직하다.
다음으로 상기 수평도 조절부(140)는 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 중간 판넬(120)의 하측에 설치되며, 상기 중간 판넬(120)의 수평도를 조절하는 구성요소이다. 본 실시예에서 상기 수평도 조절부(140)는 상기 진공 챔버(180)의 하측벽을 관통하여 설치되며, 상하 방향으로 구동하면서 상기 중간 판넬(120)의 수평도를 조절함으로써, 결과적으로 상기 하측 지지 판넬부(110)의 수평도를 조절하게 되고, 이는 합착되는 소재 중에서 하측 소재(2)의 수평도를 조절하게 된다.
이때 진공 챔버(180)의 진공도를 유지하면서 상하 구동되도록 벨로우즈(142)가 구비되는 구조를 가진다. 물론 본 실시예에서 상기 수평도 조절부(140)는 단순하게 상기 중간 판넬(120)의 모서리들을 승강시키는 모터 등으로 구성될 수고 있고, 모터의 수평 구동을 수직 구동으로 변경하여 승강시키는 경사 구동 구조 등 다양한 구조를 가질 수도 있다.
다음으로 상기 상측 지지 판넬(150)은 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 하측 지지 판넬부(110)의 상측에 설치되며, 합착되는 양측 소재 중 상측 소재(1)를 상측에서 지지한 상태에서 상기 하측 지지 판넬부(110) 방향으로 가압하는 구성요소이다. 즉, 본 실시예에서 상기 상측 지지 판넬(150)의 가압 작용에 의하여 합착되는 소재들이 합착용 레진(R)을 균일하게 확산시키면서 합착되는 것이다. 이를 위해 상기 상측 지지 판넬(150)에도 합착되는 소재(1)의 안정적인 지지를 위하여 흡착수단(도면에 미도시)이 구비될 수 있으며, 상기 상측 지지 판넬(150)을 상하 방향으로 승강시키는 승강수단(170)이 더 구비된다. 상기 승강수단(170)은 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 진공 챔버(180)의 상측벽을 관통하여 승강하도록 설치되며, 상기 진공 챔버 내부의 진공 상태 유지를 위하여 벨로우즈(172)를 구비한다.
다음로 상기 제어부는 상기 상측 지지 판넬(150)의 가압에 따라 상기 하측 지지 판넬부(110)의 각 지점에 가해지는 압력값을 상기 압력 센싱부(130)로부터 전달받아서 상기 하측 지지 판넬부(110)의 모든 지점에 동일한 압력이 가해지도록 상기 수평도 조절부(140)를 제어하는 구성요소이다.
즉 상기 제어부는 최초 상기 하측 지지 판넬부(110)의 수평도를 조정하는 기능을 수행한다. 이 경우 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 상측 지지 판넬(150)을 상기 지지 판넬(112)과 직접 접촉하도록 하강시키고 일정한 압력으로 지지 판넬(112)을 가압하도록 한 상태에서 상기 압력 센싱부(130)에 의하여 상기 접촉 판넬(112)의 네모서리에서 센싱되는 압력값들이 모두 동일해지도록 상기 수평도 조절부(140)를 제어하는 방식으로 상기 지지 판넬(112)의 수평도를 조정한다.
그리고 실제 소재를 합착하는 과정에서는 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 지지 판넬(112)과 상측 지지 판넬(150) 사이에 합착되는 소재(1, 2)들을 장착한 상태에서 상기 상측 지지 판넬(150)이 합착 소재들을 가압하여 상기 접촉 판넬(116)의 각 지점에서 센싱되는 압력값이 미리 설정된 압력값과 동일하게 센싱되도록 상기 수평도 조절부(140)를 조정한다. 따라서 본 실시예에 따른 합착 장치(100)에서는 실제 합착되는 양측 소재(1, 2)의 각 지점에 가해지는 압력값을 그대로 합착 과정에 반영하여 합착되는 소재의 모든 지점에 동일한 압력을 가해지도록 제어하는 정압 합착이 가능해지는 것이다.
< 실시예 2 >
본 실시예에 따른 정압 합착이 가능한 진공 합착장치(200)는 도 4에 도시된 바와 같이, 진공 챔버(280), 하측 지지 판넬부(210), 중간 판넬(220), 압력 센싱부(230), 수평도 조절부(240), 상측 지지 판넬(250) 및 제어부(도면에 미도시)를 포함하여 구성될 수 있다. 이때 상기 진공 챔버(280), 하측 지지 판넬부(210), 중간 판넬(220), 압력 센싱부(230), 수평도 조절부(240), 상측 지지 판넬(250) 및 제어부는 실시예 1의 그것들과 실질적으로 동일한 구성을 가지므로 이에 대한 반복 설명은 생략한다. 그리고 본 실시예에서 상기 하측 판넬 파지부(260)는 실시예 1의 그것과 상이한 구조를 가지므로 이에 대하여 설명한다.
본 실시예에서 상기 하측 판넬 파지부(260)는 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 중간 판넬(220)의 중앙 부분에 설치된다. 이 경우 상기 하측 판넬 파지부(260)는 구체적으로 하측 판넬 고정로드(263), 하측 판넬 고정 상판(261), 압력 흡수 부재(262)를 포함하여 구성될 수 있다.
먼저 상기 하측 판넬 고정로드(263)는 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 중간 판넬(220)의 상면에 하단이 결합되고, 상기 접촉 판넬(216)의 중앙에 형성되는 관통공을 관통한 상태로 기립하여 설치되는 구성요소이다. 본 실시예에서 상기 하측 판넬 고정로드(263)는 상기 하측 판넬 고정 상판(261)과 압력 흡수부재(262)를 상기 중간 판넬(220)에 설치하기 위한 구성요소이다.
다음으로 상기 하측 판넬 고정 상판(261)은 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 하측 판넬 고정로드(263)의 상단에 수평 방향으로 결합되어 설치되며, 상기 접촉 판넬(216)의 상면을 하측으로 가압하는 구성요소이다. 이를 위해 상기 하측 판넬 고정 상판(261)은 관통공(217)보다 큰 면적을 가지도록 형성되며, 상기 하측 판넬 고정로드(263)에 고정된 상태에서 하측으로 상기 접촉 판넬(216)를 가압하도록 설치된다.
다음으로 상기 압력 흡수부재(262)는 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 하측 판넬 고정 상판(261)과 상기 접촉 판넬(216) 사이에 설치되며, 신축성이 있는 소재로 이루어져 압력을 흡수하는 구성요소이다. 즉, 상기 압력 흡수부재(262)는 자체적으로 보유한 신축성과 탄성을 이용하여 상기 하측 판넬 고정 상판(261)에 의하여 상기 접촉 판넬(216)에 가해지는 압력을 흡수하는 것이다. 따라서 상기 하측 판넬 파지부(260)는 최초에 설치시에, 상기 압력 흡수부재(262)에 일정 정도 수축된 상태를 가지도록 하여 상기 접촉 판넬(216)가 일정한 압력으로 가압된 상태로 세팅된다.
물론 이때 상기 압력 흡수부재(262)가 접촉하는 상기 접촉 판넬(216)의 상면에는 상기 압력 흡수부재(262)의 일부가 삽입될 수 있도록 삽입홈(도면에 미도시)이 형성될 수도 있다.
또한 본 실시예에서 상기 하측 판넬 파지부(260)에는, 도 4에 도시된 바와 같이, 외측 보강 수단(264)이 더 구비될 수도 있다. 상기 외측 보강 수단(264)은, 필요에 따라 구비되는 구성요소로서, 하단이 상기 중간 판넬(120)에 고정되어 설치되며, 상기 하측 판넬 고정 상판(261)이 좌우, 회전 방향으로 움직이지 않도록 상기 하측 판넬 고정 상판(261)을 외측에서 보강하는 구성요소이다.
100 : 본 발명의 일 실시예에 따른 정압 합착이 가능한 진공 합착 장치
110 : 하측 지지 판넬부 120 : 중간 판넬
130 : 압력 센싱부 140 : 수평도 조절부
150 : 상측 지지 판넬 160 : 하측 판넬 파지부
170 : 승강수단 180 : 진공 챔버
1 : 상측 소재
2 : 하측 소재 R : 합착용 레진
200 : 본 발명의 다른 실시예에 따른 정압 합착이 가능한 진공 합착 장치

Claims (7)

  1. 내부 공간을 진공 상태로 유지하는 진공 챔버;
    상기 진공 챔버 내부에 설치되며, 합착되는 양측 소재 중 하측 소재를 하측에서 지지하는 하측 지지 판넬부;
    상기 진공 챔버 내부 공간 중 상기 하측 지지 판넬부의 하부에 설치되는 중간 판넬;
    상기 중간 판넬과 상기 하측 지지 판넬부 사이에 설치되며, 상기 하측 지지 판넬부의 서로 다른 세 지점 이상에 설치되어 상기 하측 지지 판넬부가 하측으로 가하는 압력을 센싱하는 압력 센싱부;
    상기 중간 판넬의 하면 다수 지점에 결합되어 설치되되, 상기 진공 챔버의 하벽을 관통하여 독립적으로 승강하면서 상기 중간 판넬의 수평도를 조절하는 수평도 조절부;
    상기 진공 챔버 내부 중 상기 하측 지지 판넬부의 상측에 설치되며, 합착되는 양측 소재 중 상측 소재를 상측에서 지지한 상태에서 상기 하측 지지 판넬부 방향으로 가압하는 상측 지지 판넬;
    상기 상측 지지 판넬의 가압에 따라 상기 하측 지지 판넬부의 각 지점에 가해지는 압력값을 상기 압력 센싱부로 부터 전달받아서 상기 하측 지지 판넬부의 모든 지점에 동일한 압력이 가해지도록 상기 수평도 조절부를 제어하는 제어부;를 포함하며,
    상기 중간 판넬에는,
    상기 중간 판넬에 설치되어, 상기 하측 지지 판넬부를 하측으로 탄성적으로 가압하여 상기 하측 지지 판넬부의 전후, 좌우 및 회전 방향 이동을 방지하는 하측 판넬 파지부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 정압 합착이 가능한 진공 합착장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 압력 센싱부는 로드셀인 것을 특징으로 하는 정압 합착이 가능한 진공 합착장치.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서, 상기 하측 판넬 파지부는,
    상기 중간 판넬의 측부에 설치되며, 하단이 상기 중간 판넬 상면에 고정되어 설치되는 측면 기립 지그;
    상기 측면 기립 지그의 상단에서 상기 하측 지지 판넬부 중앙 방향으로 절곡되어 설치되는 내측 절곡 지그;
    상기 내측 절곡 지그의 하면에 설치되며, 상기 하측 지지 판넬부의 상면 일 지점을 하측으로 가압하는 가압 지그;를 포함하며,
    상기 내측 절곡 지그 또는 가압 지그 중 어느 하나는 탄성력을 가지는 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 정압 합착이 가능한 진공 합착장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제어부는,
    상기 상측 지지 판넬의 가압에 의하여 가해지는 상기 하측 지지 판넬부 각 지점에 대한 압력값이 동일하도록 상기 하측 지지 판넬부의 수평도를 제어하는 것을 특징으로 하는 정압 합착이 가능한 진공 합착장치.
  6. 삭제
  7. 삭제
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