JP5061515B2 - ウェハ接合装置及びウェハ接合方法 - Google Patents
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Description
本発明の第2の態様によるウェハ接合法は、本発明のいずれかの実施形態によるウェハ接合装置を使用してウェハを接合する方法であって、ウェハを吸着したまま吸着面のプロファイルを変形することができるように構成されたユニットのプロファイルをウェハの中心部が凸になるように変形して、ウェハ同士の中心部を接触させて上部ユニットと下部ユニットとの間で加圧し、加圧しながら、ウェハの中心部から周縁部に接触面積を拡大し、ウェハ全体が接触した後にさらに所定時間加圧する、ウェハを接合する方法である。
本発明の第3の態様によるウェハ接合法は、本発明のいずれかの実施形態によるウェハ接合装置を使用してウェハを接合する方法であって、前記加圧ユニットによる加圧時に、吸着面のプロファイルを変形することができるように構成された前記ユニットに保持されたウェハの中心部が他のウェハに接触するように、前記中空部の内部圧力を第1の値まで上昇させることによって前記ユニットの吸着面のプロファイルを変形させ、その後、前記ユニットに保持されたウェハの全体が前記他のウェハに接触するように前記中空部の内部圧力を変化させるウェハ接合方法である。
両方の吸着板を変位させて、上記の実施形態と同様にウェハの中心部から接合を開始し、徐々に周縁部まで接合領域を拡げて行く。
Claims (9)
- 上部ユニットと下部ユニットの間に、接合される複数のウェハを配置し、上部ユニットと下部ユニットの間で加圧ユニットによって加圧を行いながらウェハの接合を行うウェハ接合装置であって、上部ユニットと下部ユニットのそれぞれは、ウェハを吸着する吸着面を有する吸着板を備え、上部ユニットと下部ユニットの少なくとも一方は、ウェハを吸着したまま前記吸着面のプロファイルを変形することができるように構成され、
ウェハを吸着したまま吸着面のプロファイルを変形することができるように構成されたユニットは、内部圧力を調整できる中空部を含み、当該中空部の内部圧力を調整することにより前記吸着板が変形することを特徴とするウェハ接合装置。 - ウェハ吸着板に複数のウェハ吸着孔を設け、前記中空部内において吸着板の吸着孔に対応する位置にダクトを設け、ダクト内の圧力を低下させることにより、ウェハを吸着するように構成したことを特徴とする請求項1に記載のウェハ接合装置。
- 複数の吸着孔およびダクトを、吸着板の周縁部に沿って設けたことを特徴とする請求項2に記載のウェハ接合装置。
- 前記ダクトの複数箇所に複数の配管を接続し、当該複数の配管を、マニホールドを介して真空ポンプに接続し、当該真空ポンプによって前記ダクト内の圧力を低下させることを特徴とする請求項2または3に記載のウェハ接合装置。
- ウェハの位置測定用の顕微鏡を備えた請求項1から4のいずれかに記載のウェハ接合装置。
- ユニットを設置する位置調整用のステージを備え、前記顕微鏡によるウェハの位置の測定結果に基づいて、前記ステージの位置を調整するように構成された請求項5に記載のウェハ接合装置。
- 請求項1から6のいずれかに記載されたウェハ接合装置を使用してウェハを接合する方法であって、ウェハを吸着したまま吸着面のプロファイルを変形することができるように構成されたユニットのプロファイルをウェハの中心部が凸になるように変形して、ウェハ同士の中心部を接触させて上部ユニットと下部ユニットとの間で加圧し、加圧しながら、ウェハの中心部から周縁部に接触面積を拡大し、ウェハ全体が接触した後にさらに所定時間加圧する、ウェハを接合する方法。
- 請求項1から6のいずれかに記載されたウェハ接合装置を使用してウェハを接合する方法であって、
前記加圧ユニットによる加圧時に、吸着面のプロファイルを変形することができるように構成された前記ユニットに保持されたウェハの中心部が他のウェハに接触するように、前記中空部の内部圧力を第1の値まで上昇させることによって前記ユニットの吸着面のプロファイルを変形させ、
その後、前記ユニットに保持されたウェハの全体が前記他のウェハに接触するように前記中空部の内部圧力を変化させるウェハ接合方法。 - 前記中空部の内部圧力を前記第1の値とした状態で、前記加圧ユニットの圧力を第1の加圧値として前記上部ユニットに吸着したウェハと前記下部ユニットに吸着したウェハを接触させ、
前記第1の加圧値で加圧を行いながら、前記中空部の内部圧力を前記第1の値よりも高い第2の値で所定時間保持し、
前記中空部の圧力をゼロとするとともに、前記加圧ユニットの圧力を前記第1の加圧値よりも低い第2の加圧値とする、請求項8に記載のウェハ接合方法。
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