JP2011119293A - アライメント装置 - Google Patents
アライメント装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011119293A JP2011119293A JP2009268266A JP2009268266A JP2011119293A JP 2011119293 A JP2011119293 A JP 2011119293A JP 2009268266 A JP2009268266 A JP 2009268266A JP 2009268266 A JP2009268266 A JP 2009268266A JP 2011119293 A JP2011119293 A JP 2011119293A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holding member
- pressing force
- support
- alignment apparatus
- pressing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】アライメント装置は、被接合物91を保持するステージ12と、ステージ12を摺動可能に支持する支持部材と、ステージ12の側方から押圧力を加えることによって、ステージ12を略水平平面に平行な方向に移動する位置調整機構50とを備える。位置調整機構50は、押圧点PT11においてステージ12をX方向に押圧する押圧力付与部51と、押圧点PT12においてステージ12をY方向に押圧する押圧力付与部52と、押圧点PT13においてステージ12をY方向に押圧する押圧力付与部53とを有する。
【選択図】図8
Description
<概要>
図1は、本発明の実施形態に係るアライメント装置1(1Aとも称する)を示す縦断面図であり、図2は、図1の中央部付近を示す拡大図である。当該アライメント装置1は、2つの対象物91,92の位置合わせを行う装置である。なお、図1および図2等においては、便宜上、XYZ直交座標系を用いて方向等を示している。
アライメント装置1は、ヘッド22とステージ12とを真空チャンバ2内に備えている。ヘッド22は、上側の被接合物92を保持する保持部材であり、ステージ12は、下側の被接合物91を保持する保持部材である。ヘッド22は、ベース部材22b(図2参照)と保持機構(静電チャック等)22hとを有しており、ステージ12は、テーブル部材12bと保持機構(静電チャック等)12hとを有している。保持機構22hは、ベース部材22bの下側に設けられており、両被接合物91,92のうち比較的上側の被接合物92を保持する。一方、保持機構12hは、テーブル部材12bの上側に設けられており、両被接合物91,92のうち比較的下側の被接合物92を保持する。両被接合物91,92は、ステージ12およびヘッド22によって、略水平平面に平行に保持される。また、被接合物92は、被接合物91の上部側において被接合物91に対向するように保持される。
また、アライメント装置1は、被接合物91,92の水平位置(詳細にはX,Y,θ)を認識する位置認識部28(図2)をさらに備えている。後述するアライメント動作は、位置認識部28による位置認識結果等に基づいて実行される。
また、図3にも示すように、アライメント装置1は、ヘッド22に保持された被接合物92の傾きを調整する傾き調整機構30をさらに備えている。
アライメント装置1は、ステージ12の位置を調整する位置調整機構50(図2および図8参照)をさらに備えている。ステージ12は、位置調整機構50によってX方向およびY方向(略水平平面に平行な2つの並進方向)に移動(並進移動)されるとともに、当該位置調整機構50によってθ方向(Z軸に平行な軸周りの回転方向)に回転される。詳細には、ステージ12は、位置認識部28による位置検出結果等に基づいて位置調整機構50によって駆動され、X方向、Y方向、θ方向におけるアライメント動作が実行される。このように、鉛直方向(Z方向)に略垂直な平面(略水平平面)に沿った各方向(X方向、Y方向、θ方向)(端的に言えば水平方向)において、ステージ12が移動されることによって、ステージ12とヘッド22とが相対的に移動する。この結果、ステージ12に保持された被接合物91とヘッド22に保持された被接合物92とが水平方向においてアライメントされる。
つぎに、図12〜図14を参照しながら、アライメント装置1におけるアライメント動作等について説明する。
以上、この発明の実施の形態について説明したが、この発明は上記説明した内容のものに限定されるものではない。
2 真空チャンバ
12 ステージ
12b テーブル部材
12h,22h 保持機構
22 ヘッド
26 Z軸昇降駆動機構
28 位置認識部
30 傾き調整機構
50 位置調整機構
51〜56 押圧力付与部
57 支持部材
58 支持台(バックアップ部材)
61〜63 弾性支持部
91,92 被接合物(対象物)
E1,E2 伸縮部(ピエゾアクチュエータ等)
R1,R2 回転ローラ
Claims (17)
- 第1の対象物と第2の対象物との両対象物の位置合わせを行うアライメント装置であって、
前記第1の対象物を保持する第1の保持部材と、
前記第2の対象物を保持する第2の保持部材と、
前記第1の保持部材を摺動可能に支持する支持手段と、
前記第1の保持部材の側方から前記第1の保持部材に対して押圧力を加えることによって、前記第1の保持部材を略水平平面に平行な方向に移動する移動手段と、
を備え、
前記移動手段は、
第1の押圧点において前記第1の保持部材を第1の方向に押圧する第1の押圧力付与手段と、
第2の押圧点において前記第1の保持部材を第2の方向に押圧する第2の押圧力付与手段と、
第3の押圧点において前記第1の保持部材を第3の方向に押圧する第3の押圧力付与手段と、
を有し、
前記第1の方向、前記第2の方向および前記第3の方向は、それぞれ、略水平平面に平行な方向であるとともに、
前記第1の方向、前記第2の方向および前記第3の方向のうちの少なくとも2つは、互いに異なる方向であることを特徴とするアライメント装置。 - 請求項1に記載のアライメント装置において、
前記第1の押圧力付与手段、前記第2の押圧力付与手段、および前記第3の押圧力付与手段は、それぞれ、ピエゾアクチュエータを有することを特徴とするアライメント装置。 - 請求項2に記載のアライメント装置において、
前記第1の押圧力付与手段、前記第2の押圧力付与手段、および前記第3の押圧力付与は、それぞれ、前記ピエゾアクチュエータにより構成される第1の伸縮部と前記第1の伸縮部の位置を変更する第2の伸縮部とを有し、
前記第2の伸縮部は、前記第1の伸縮部よりも大きな可動範囲を有することを特徴とするアライメント装置。 - 請求項2または請求項3に記載のアライメント装置において、
前記移動手段は、
前記第1の方向において、前記第1の保持部材を挟んで前記第1の押圧点とは反対側の第4の押圧点にて、前記第1の押圧力付与手段による押圧力とは逆向きの押圧力を前記第1の保持部材に付与する第4の押圧力付与手段と、
前記第2の方向において、前記第1の保持部材を挟んで前記第2の押圧点とは反対側の第5の押圧点にて、前記第2の押圧力付与手段による押圧力とは逆向きの押圧力を前記第1の保持部材に付与する第5の押圧力付与手段と、
前記第3の方向において、前記第1の保持部材を挟んで前記第3の押圧点とは反対側の第6の押圧点にて、前記第3の押圧力付与手段による押圧力とは逆向きの押圧力を前記第1の保持部材に付与する第6の押圧力付与手段と、
を有し、
前記第4の押圧力付与手段、前記第5の押圧力付与手段、および前記第6の押圧力付与手段は、それぞれ、ピエゾアクチュエータを有することを特徴とするアライメント装置。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかに記載のアライメント装置において、
前記移動手段は、
前記第1の方向において、前記第1の保持部材を挟んで前記第1の押圧点とは反対側の第1の弾性支持点にて、前記第1の押圧力付与手段による押圧力とは逆向きの弾性支持力を前記第1の保持部材に付与する第1の弾性支持手段と、
前記第2の方向において、前記第1の保持部材を挟んで前記第2の押圧点とは反対側の第2の弾性支持点にて、前記第2の押圧力付与手段による押圧力とは逆向きの弾性支持力を前記第1の保持部材に付与する第2の弾性支持手段と、
前記第3の方向において、前記第1の保持部材を挟んで前記第3の押圧点とは反対側の第3の弾性支持点にて、前記第3の押圧力付与手段による押圧力とは逆向きの弾性支持力を前記第1の保持部材に付与する第3の弾性支持手段と、
を有することを特徴とするアライメント装置。 - 請求項1ないし請求項5のいずれかに記載のアライメント装置において、
略水平平面に平行な方向における前記両対象物の相互間の位置ずれを検出する検出手段と、
前記検出手段により検出された前記位置ずれに基づいて、前記第1の保持部材を略水平平面に平行な方向に移動させ前記両対象物の位置合わせを行う制御手段と、
をさらに備えることを特徴とするアライメント装置。 - 請求項1ないし請求項6のいずれかに記載のアライメント装置において、
前記第2の保持部材に保持された前記第2の対象物の傾きを調整する傾き調整手段、
をさらに備えることを特徴とするアライメント装置。 - 請求項7に記載のアライメント装置において、
前記傾き調整手段は、略水平平面内における異なる位置にてそれぞれ独立して鉛直方向に伸縮する3つのピエゾアクチュエータを有することを特徴とするアライメント装置。 - 請求項1ないし請求項8のいずれかに記載のアライメント装置において、
前記両対象物を互いに接触させ前記両対象物を加圧する加圧手段、
をさらに備えることを特徴とするアライメント装置。 - 請求項9に記載のアライメント装置において、
前記加圧手段による加圧時において前記第1の保持部材を面支持する支持台、
をさらに備え、
前記支持手段は、
前記第1の保持部材を独立した3つの位置で支持する3つの支持部材と、
前記3つの支持部材を昇降する昇降手段と、
を有し、
前記両対象物の位置合わせ時においては、前記第1の保持部材が前記支持台に対して離間して配置された状態で、前記第1の保持部材が前記3つの支持部材によって支持されており、
前記加圧手段による加圧時においては、前記昇降手段により前記3つの支持部材が退避位置にまで駆動され前記第1の保持部材が前記支持台の支持面で面支持されることを特徴とするアライメント装置。 - 請求項9に記載のアライメント装置において、
前記支持手段は、前記両対象物の位置合わせ時において前記第1の保持部材を独立した3つの位置で摺動可能に支持する3つの支持部材を有し、
前記3つの支持部材は、前記加圧手段による加圧時において、前記第1の保持部材を面支持することを特徴とするアライメント装置。 - 請求項1ないし請求項11のいずれかに記載のアライメント装置において、
前記第1の対象物と前記第2の対象物とを真空状態で収容する真空チャンバ、
をさらに備えることを特徴とするアライメント装置。 - 第1の対象物と第2の対象物との両対象物の位置合わせを行うアライメント装置であって、
前記第1の対象物を保持する第1の保持部材と、
前記第2の対象物を保持する第2の保持部材と、
前記第1の保持部材を摺動可能に支持する支持手段と、
前記第1の保持部材と当該第1の保持部材を挟持する3組の挟持部との各接触位置をそれぞれ各挟持部に対応する挟持方向において変更することによって、前記第1の保持部材を略水平平面に平行な方向に移動する移動手段と、
を備え、
前記3組の挟持部の3つの挟持方向のうちの少なくとも2つの挟持方向は、互いに異なる方向であることを特徴とするアライメント装置。 - 第1の対象物と第2の対象物との両対象物の位置合わせを行うアライメント装置であって、
前記第1の対象物を保持する第1の保持部材と、
前記第2の対象物を保持する第2の保持部材と、
前記第1の保持部材を摺動可能に支持する支持手段と、
前記第1の保持部材の外周側に配置され、前記第1の保持部材を当該第1の保持部材の側方から挟持する3組の挟持部と、
を備え、
前記3組の挟持部は、前記第1の保持部材と前記3組の挟持部との各接触位置をそれぞれ各挟持部に対応する挟持方向において変更することによって、前記第1の保持部材を略水平平面に平行な方向にスライド移動する駆動手段をそれぞれ有し、
前記3組の挟持部の3つの挟持方向のうちの少なくとも2つの挟持方向は、互いに異なる方向であり、
前記支持手段は、前記第1の保持部材に対して前記第2の保持部材とは上下方向反対側において、前記第1の保持部材の中央部下方あるいは中央部上方の空間よりも外周側に配置されることを特徴とするアライメント装置。 - 請求項14に記載のアライメント装置において、
前記第1の保持部材の中央部下方あるいは中央部上方の空間に配置される紫外線照射手段、
をさらに備え、
前記第1の保持部材の中央部には透光部が設けられ、
前記紫外線照射手段により照射される光は、前記透光部を通過して、前記第1の対象物上の光硬化樹脂あるいは前記第2の対象物上の光硬化樹脂を硬化することを特徴とするアライメント装置。 - 請求項14に記載のアライメント装置において、
前記両対象物を互いに接触させ前記両対象物を加圧して接合する加圧手段と、
前記第1の保持部材の前記中央部下方あるいは中央部上方の空間に配置され、前記加圧手段による加圧時において前記第1の保持部材を面支持する支持台と、
をさらに備え、
前記支持手段は、前記第1の保持部材の支持部材を昇降する昇降手段を有し、
前記両対象物の位置合わせ時においては、前記第1の保持部材が前記支持台に対して離間して配置された状態で、前記第1の保持部材が前記支持部材によって支持され、
前記加圧手段による加圧時においては、前記昇降手段により前記支持部材が退避位置にまで駆動され前記第1の保持部材が前記支持台の支持面で面支持されることを特徴とするアライメント装置。 - 請求項14ないし請求項16のいずれかに記載のアライメント装置において、
前記支持手段は、前記第1の保持部材の底面を非同一線上の3つの位置で支持する3つの支持部材を有し、
前記3組の挟持部のうち前記第1の保持部材の回転駆動に寄与する2組の狭持部の各接触位置と回転中心との平均距離が、前記3つの位置のそれぞれと前記回転中心との平均距離よりも大きくなるように、前記2組の挟持部が互いに離間して配置されることを特徴とするアライメント装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009268266A JP5565792B2 (ja) | 2009-11-02 | 2009-11-26 | アライメント装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009251886 | 2009-11-02 | ||
JP2009251886 | 2009-11-02 | ||
JP2009268266A JP5565792B2 (ja) | 2009-11-02 | 2009-11-26 | アライメント装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011119293A true JP2011119293A (ja) | 2011-06-16 |
JP5565792B2 JP5565792B2 (ja) | 2014-08-06 |
Family
ID=44284326
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009268266A Active JP5565792B2 (ja) | 2009-11-02 | 2009-11-26 | アライメント装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5565792B2 (ja) |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013115124A (ja) * | 2011-11-25 | 2013-06-10 | Tokyo Electron Ltd | 接合装置、接合システム、接合方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
CN104034662A (zh) * | 2014-06-13 | 2014-09-10 | 北京工业大学 | 一种用于拉曼光谱法测量晶圆残余应力的精确定位工具-定位仪 |
KR20140127750A (ko) * | 2013-04-25 | 2014-11-04 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 접합 장치, 접합 시스템 및 접합 방법 |
JP2014216496A (ja) * | 2013-04-25 | 2014-11-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 接合装置、接合システムおよび接合方法 |
JP2014220389A (ja) * | 2013-05-08 | 2014-11-20 | 東京応化工業株式会社 | 貼付装置及び貼付方法 |
WO2015107855A1 (ja) * | 2014-01-17 | 2015-07-23 | 三菱重工業株式会社 | 常温接合装置 |
JP2016503589A (ja) * | 2013-12-06 | 2016-02-04 | エーファウ・グループ・エー・タルナー・ゲーエムベーハー | 基板をアライメントする装置及び方法 |
JP2016096353A (ja) * | 2015-12-18 | 2016-05-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 接合装置、接合システムおよび接合方法 |
WO2016114328A1 (en) * | 2015-01-16 | 2016-07-21 | Tokyo Electron Limited | Joint apparatus, joint system, and joint method |
WO2016114329A1 (en) * | 2015-01-16 | 2016-07-21 | Tokyo Electron Limited | Joint apparatus, joint system, and joint method |
JP2017126601A (ja) * | 2016-01-12 | 2017-07-20 | 日本精工株式会社 | テーブル装置、位置決め装置、フラットパネルディスプレイ製造装置、及び精密機械 |
KR20180130966A (ko) * | 2017-05-31 | 2018-12-10 | 주식회사 케이씨텍 | 기판 거치대 및 이를 구비한 기판 처리 장치 |
CN110021546A (zh) * | 2018-01-05 | 2019-07-16 | 东京毅力科创株式会社 | 基片处理装置、基片处理方法和计算机存储介质 |
US10777404B2 (en) | 2016-02-19 | 2020-09-15 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Substrate processing apparatus |
CN113172348A (zh) * | 2021-04-08 | 2021-07-27 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 夹持对位装置及激光加工设备 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05143164A (ja) * | 1991-11-18 | 1993-06-11 | Hitachi Ltd | 位置決め装置 |
JPH0786377A (ja) * | 1993-09-10 | 1995-03-31 | Canon Inc | 位置決め装置 |
JPH08220548A (ja) * | 1995-02-14 | 1996-08-30 | Ushio Inc | 液晶パネルの貼り合わせ方法および装置 |
JP2004207436A (ja) * | 2002-12-25 | 2004-07-22 | Ayumi Kogyo Kk | ウエハのプリアライメント方法とその装置ならびにウエハの貼り合わせ方法とその装置 |
-
2009
- 2009-11-26 JP JP2009268266A patent/JP5565792B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05143164A (ja) * | 1991-11-18 | 1993-06-11 | Hitachi Ltd | 位置決め装置 |
JPH0786377A (ja) * | 1993-09-10 | 1995-03-31 | Canon Inc | 位置決め装置 |
JPH08220548A (ja) * | 1995-02-14 | 1996-08-30 | Ushio Inc | 液晶パネルの貼り合わせ方法および装置 |
JP2004207436A (ja) * | 2002-12-25 | 2004-07-22 | Ayumi Kogyo Kk | ウエハのプリアライメント方法とその装置ならびにウエハの貼り合わせ方法とその装置 |
Cited By (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013115124A (ja) * | 2011-11-25 | 2013-06-10 | Tokyo Electron Ltd | 接合装置、接合システム、接合方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
KR20140127750A (ko) * | 2013-04-25 | 2014-11-04 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 접합 장치, 접합 시스템 및 접합 방법 |
JP2014216500A (ja) * | 2013-04-25 | 2014-11-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 接合装置、接合システムおよび接合方法 |
JP2014216496A (ja) * | 2013-04-25 | 2014-11-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 接合装置、接合システムおよび接合方法 |
KR102045091B1 (ko) * | 2013-04-25 | 2019-11-14 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 접합 장치, 접합 시스템 및 접합 방법 |
US9469093B2 (en) | 2013-04-25 | 2016-10-18 | Tokyo Electron Limited | Bonding apparatus, bonding system and bonding method |
TWI552260B (zh) * | 2013-04-25 | 2016-10-01 | Tokyo Electron Ltd | A bonding device, a bonding system and a joining method |
JP2014220389A (ja) * | 2013-05-08 | 2014-11-20 | 東京応化工業株式会社 | 貼付装置及び貼付方法 |
JP2016503589A (ja) * | 2013-12-06 | 2016-02-04 | エーファウ・グループ・エー・タルナー・ゲーエムベーハー | 基板をアライメントする装置及び方法 |
WO2015107855A1 (ja) * | 2014-01-17 | 2015-07-23 | 三菱重工業株式会社 | 常温接合装置 |
JP2015135903A (ja) * | 2014-01-17 | 2015-07-27 | 三菱重工業株式会社 | 常温接合装置 |
CN104034662A (zh) * | 2014-06-13 | 2014-09-10 | 北京工业大学 | 一种用于拉曼光谱法测量晶圆残余应力的精确定位工具-定位仪 |
JP2016134457A (ja) * | 2015-01-16 | 2016-07-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 接合装置、接合システムおよび接合方法 |
WO2016114329A1 (en) * | 2015-01-16 | 2016-07-21 | Tokyo Electron Limited | Joint apparatus, joint system, and joint method |
WO2016114328A1 (en) * | 2015-01-16 | 2016-07-21 | Tokyo Electron Limited | Joint apparatus, joint system, and joint method |
JP2016134459A (ja) * | 2015-01-16 | 2016-07-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 接合装置、接合システムおよび接合方法 |
JP2016096353A (ja) * | 2015-12-18 | 2016-05-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 接合装置、接合システムおよび接合方法 |
JP2017126601A (ja) * | 2016-01-12 | 2017-07-20 | 日本精工株式会社 | テーブル装置、位置決め装置、フラットパネルディスプレイ製造装置、及び精密機械 |
US10777404B2 (en) | 2016-02-19 | 2020-09-15 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Substrate processing apparatus |
US11031235B2 (en) | 2016-02-19 | 2021-06-08 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Substrate processing apparatus |
KR20180130966A (ko) * | 2017-05-31 | 2018-12-10 | 주식회사 케이씨텍 | 기판 거치대 및 이를 구비한 기판 처리 장치 |
KR102330274B1 (ko) | 2017-05-31 | 2021-11-24 | 주식회사 케이씨텍 | 기판 거치대 및 이를 구비한 기판 처리 장치 |
CN110021546A (zh) * | 2018-01-05 | 2019-07-16 | 东京毅力科创株式会社 | 基片处理装置、基片处理方法和计算机存储介质 |
CN110021546B (zh) * | 2018-01-05 | 2024-04-12 | 东京毅力科创株式会社 | 基片处理装置、基片处理方法和计算机存储介质 |
CN113172348A (zh) * | 2021-04-08 | 2021-07-27 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 夹持对位装置及激光加工设备 |
CN113172348B (zh) * | 2021-04-08 | 2023-11-24 | 深圳市大族半导体装备科技有限公司 | 夹持对位装置及激光加工设备 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5565792B2 (ja) | 2014-08-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5565792B2 (ja) | アライメント装置 | |
JP5004891B2 (ja) | 傾斜調整機構およびこの傾斜調整機構の制御方法 | |
WO2011033797A1 (ja) | 加圧装置および加圧方法 | |
KR100621957B1 (ko) | 미세 구조물용 제조 시스템 | |
JP4669766B2 (ja) | 位置決め方法、この方法を用いた加圧方法および位置決め装置、この装置を備える加圧装置 | |
JP2006116602A (ja) | 加圧装置の平行調整方法及び装置 | |
TWI286533B (en) | Method of manufacturing microstructure and manufacturing system for the same | |
TW202019249A (zh) | 接合裝置及接合方法 | |
WO2002017382A1 (fr) | Dispositif d'alignement | |
JP2021145145A (ja) | 基板接合装置 | |
JP4247296B1 (ja) | 積層接合装置および積層接合方法 | |
TWI386276B (zh) | 層積接合裝置用治具 | |
JP6487355B2 (ja) | アライメント装置 | |
JP6275632B2 (ja) | 常温接合装置及び常温接合方法 | |
JP5326148B2 (ja) | 転写方法および転写装置 | |
JP4048896B2 (ja) | ボンディング装置 | |
JP5296395B2 (ja) | 接合装置 | |
WO2024075671A1 (ja) | アライメント装置およびアライメント方法 | |
JP5256410B2 (ja) | 転写方法および転写装置 | |
JP2005236165A (ja) | ピエゾボンディングテーブル | |
JP2023060534A (ja) | 電子部品接合装置 | |
JP2005293570A (ja) | 圧電素子を用いた駆動機構におけるクリープ補正方法及び装置 | |
JP2011033929A (ja) | 基板貼り合わせ装置 | |
JP2019109445A (ja) | 近接露光装置及び近接露光方法 | |
JP2004219934A (ja) | 基板貼り合わせ装置及び基板貼り合わせ方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121101 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140131 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140218 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140416 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140513 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140610 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5565792 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |