JP2005293570A - 圧電素子を用いた駆動機構におけるクリープ補正方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
従来、圧電素子を位置決め機構として使用する場合には、クリープやヒステリシスの問題から伸縮量を読み取るセンサーとフィードバック制御系が必要となっていたが、構造的にも複雑で大きなものとなってしまい、コスト高となってしまう。
【解決手段】
そこで本発明は、圧電駆動素子を用いた位置決め機構において、伸縮量を計測するセンサーやフィードバック系を用いずにクリープやヒステリシスを補正して停止させる方法及び装置を提供することを目的とするものであり、目標とする圧電伸縮量に対する目標電圧に対し、一旦オーバーシュートさせて目標電圧に戻す制御方法からなる。
【選択図】 図1
Description
また、前記位置決め機構が、ステージの平行調整機構である方法からなる。(請求項6)また、前記位置決め機構が、ステージの平行調整機構である位置決め装置からなる。(請求項16)平行調整機構などの位置決め機構においては、微小なサブミクロン台まで修正できるピエゾ素子は有効であるが、一度調整した平行度は狂わしたくないので、少なくともクリープは抑える必要がある。そのため、本方式は有効である。また、ヒステリシスも補正すれば絶対位置精度が上がるため調整回数も減少してより有効である。ステージとは、接合や成型などのために材料を保持するものであり、実施例では保持ツールと呼んでいる。
また、前記位置決め機構が真空中に配置されている方法からなる。(請求項7)また、前記位置決め機構が真空中に配置されている位置決め装置からなる。(請求項17)真空中においては、複雑な構造物や配線が多いものはチャンバー中に配置することと、真空度を上げるためにはできるだけ減らしてシンプルとしたいところである。そのため、センサーやフィードバック系をなくして省配線できる本方式は特に有効である。また、シュウドウ面をないピエゾ素子を用いた位置決め機構は、ボールガイドが着いたモータ駆動のものと比べて真空中に配置しても真空度の妨げにならず有効である。
また、前記位置決め機構が接合装置における水平方向及び/または回転方向の位置決めテーブルまたはステージの平行調整機構である方法からなる。(請求項8)また、前記位置決め機構が水平方向及び/または回転方向の位置決めテーブルまたはステージの平行調整機構である位置決め装置からなる接合装置からなる。(請求項18)対向保持された被接合物(材料)同士を位置をアライメントして加圧接合する接合装置においては、位置あわせのためのアライメントテーブルと両被接合物を加圧するための平行調整が重要なポイントとなる。そのため、本方式が有効な装置である。また、いくら高精度にアライメントしておいても平行度がでていないと接触時にずれが発生するため、平行調整は有効な手段である。
まず、図6に示す位置決め機構なるピエゾ素子をアクチュエータとして使用する拡大機構のついたピエゾテーブルを解説する。ピエゾテーブルは中央に可動ステージ60がバネ支持59に四方から支持された状態で保持されている。矢印方向に可動ステージ60を移動させるための駆動系として、ピエゾ素子58が駆動バー53に連結点52に連結され、支点51を支点として作用点55は拡大移動され可動ステージを移動させる構造となっている。
図1に本発明の一実施形態に係る第2の実施の形態について、ナノインプリント装置からなる成型装置を示す。この実施形態では基材となる樹脂をコーティングしたウエハーと転写型となるシリコンウエハーをエッチング加工したものを用い、同寸法からなるウエハーに対して一括して成型する成型装置として例に上げる。
以下に本発明の望ましい第2の実施の形態について、図面を参照して説明する。図4に本発明の一実施形態に係る表面活性化後に減圧中で振動印加して接合する接合装置を示す。この実施形態では第1の被接合物である上ウエハーと第2の被接合物である下ウエハーを接合するための装置として例に上げる。
2 Z軸昇降機構
3 θ軸回転機構
4 圧力検出手段
5 ベローズ
6 XYアライメントテーブル
7 ヘッド
8 ステージ(プラズマ電極、ヒータ、保持手段)
9 下ウエハー
10 上ウエハー
11 減圧チャンバー
12 ヘッド側ウエハー認識カメラ
13 ステージ側ウエハー認識カメラ
14 ガラス窓
15 排気管
16 排気弁
17 真空ポンプ
18 吸気管
19 吸気弁
20 吸入ガス切り替え弁
21 Ar
22 O2
23 大気
24 保持ツール保持部
25 保持ツール(プラズマ電極、ヒータ、保持手段)
26 振動子
27 上アライメントマーク
28 下アライメントマーク
29 スライド移動手段
30 ピエゾアクチュエータ
31 圧力検出素子
32 転写型保持ツール
33 基材保持ツール
34 転写型
35 基材
36 Oリング
37 支柱
38 平行粗銅調整部
39 アライメントマーク認識カメラ
40 フレーム
51 支点
52 連結点
53 駆動バー
54 フリー端
55 作用点
56 フリー端
57 支点保持ベース
58 ピエゾ素子
59 バネ支持
60 可動ステージ
61 固定ベース
62 上部部材
63 下部部材
70 可動ステージ
Claims (21)
- 圧電素子を用いた位置決め機構において、目標とする圧電素子の伸縮量に対する目標電圧に対し、一旦オーバーシュートさせて目標電圧に戻す制御方法。
- 最適なオーバーシュート量を開始点と移動距離のパラメータからグラフ化し、多項式近似して求める請求項1に記載の方法。
- 圧電素子が持つヒステリシスを開始点と移動距離のパラメータからグラフ化し、多項式近似を行った結果を目標電圧とする請求項1または2に記載の方法。
- 前記位置決め機構が、水平方向及び/または回転方向の位置決めテーブルである請求項1〜3のいずれかに記載の方法。
- 前記位置決めテーブルが、画像認識手段を用いてステージ上の材料上のマークを位置認識してアライメントする請求項4に記載の方法。
- 前記位置決め機構が、ステージの平行調整機構である請求項1〜3のいずれかに記載の方法。
- 前記位置決め機構が真空中に配置されている請求項1〜6のいずれかに記載の方法。
- 前記位置決め機構が接合装置における水平方向及び/または回転方向の位置決めテーブルまたはステージの平行調整機構である請求項4〜7のいずれかに記載の方法。
- 前記位置決め機構が成型装置における水平方向及び/または回転方向の位置決めテーブルまたはステージの平行調整機構である請求項4〜7のいずれかに記載の方法。
- 前記接合装置または成型装置の材料がウエハーである請求項8または9に記載の方法。
- 圧電素子と電圧印加手段を有し、圧電素子を用いた位置決め機構において、目標とする圧電素子の伸縮量に対する目標電圧に対し、一旦オーバーシュートさせて目標電圧に戻す位置決め装置。
- 最適なオーバーシュート量を開始点と移動距離のパラメータからグラフ化し、多項式近似して求める請求項11に記載の位置決め装置。
- 圧電素子が持つヒステリシスを開始点と移動距離のパラメータからグラフ化し、多項式近似を行った結果を目標電圧とする請求項11または12に記載の位置決め装置。
- 前記位置決め機構が、水平方向及び/または回転方向の位置決めテーブルである請求項11〜13のいずれかに記載の位置決め装置。
- 前記位置決めテーブルが、画像認識手段を用いてステージ上の材料上のマークを位置認識してアライメントする請求項14に記載の位置決め装置。
- 前記位置決め機構が、ステージの平行調整機構である請求項11〜13のいずれかに記載の位置決め装置。
- 前記位置決め機構が真空中に配置されている請求項11〜16のいずれかに記載の位置決め装置。
- 前記位置決め機構が水平方向及び/または回転方向の位置決めテーブルまたはステージの平行調整機構である請求項14〜17のいずれかに記載の位置決め装置からなる接合装置。
- 前記位置決め機構が水平方向及び/または回転方向の位置決めテーブルまたはステージの平行調整機構である請求項14〜17のいずれかに記載の位置決め装置からなる成型装置。
- 前記接合装置の材料がウエハーである請求項18に記載の接合装置。
- 前記成型装置の材料がウエハーである請求項19に記載の成型装置。
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