KR20090126487A

KR20090126487A - 기판 합착장치

Info

Publication number: KR20090126487A
Application number: KR1020080052586A
Authority: KR
Inventors: 최봉환; 김동건; 박시현
Original assignee: 주식회사 에이디피엔지니어링
Priority date: 2008-06-04
Filing date: 2008-06-04
Publication date: 2009-12-09
Also published as: KR100994494B1

Abstract

본 발명은 기판 합착장치에 관한 것으로, 본 발명의 실시예에 따른 기판 합착장치는, 제1 기판을 지지하는 제1 챔버;상기 제1 기판과 대향되도록 제2 기판을 지지하여 상기 제1 챔버와 함께 상기 제1 기판과 상기 제2 기판의 합착공간을 제공하며, 덮개 및 상기 덮개로부터 상기 제1 챔버 측으로 분리되어 배치되고 상기 합착공간의 밀폐에 따라 상기 제1 챔버에 결속되는 측벽을 구비하는 제2 챔버; 및 상기 측벽을 지지하며, 상기 제1 챔버에 결속된 상기 측벽을 이동시켜 상기 제2 기판에 대한 상기 제1 기판의 위치를 정렬하는 위치 정렬유닛;를 구비함으로써, 합착공간의 진공배기시 챔버의 변형이 적은 측벽을 지지 및 이동시켜, 두 기판 간 정렬을 수행함으로써, 두 기판의 정렬상태를 견고하게 유지할 수 있는 효과가 있다.

Description

기판 합착장치{Apparatus for assembling substrates}

본 발명은 기판 합착장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 두 기판을 합착하는 기판 합착장치에 관한 것이다.

정보화 사회가 발전함에 따라 다양한 표시장치가 생산되고 있다. 그 중 다른 표시장치들에 비해, 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 장점을 가진 LCD(Liquid Crystal Display)가 각광받고 있다.

LCD는 전극이 형성되어 있는 TFT(Thin Film Transistor) 기판과 형광체가 도포된 CF(Color filter) 기판 사이에 액정(Liquid Crystal)을 주입하여 제조된다. 두 기판의 외주면에는 액정 물질의 누출을 막기 위한 봉인재(Sealer)가 도포되며, 두 기판 사이에는 소정 간격으로 양 기판 사이의 간격을 유지하기 위한 간격재(Spacer)가 배치된다.

LCD 제조 공정은 두 기판의 합착공정과 합착된 두 기판의 사이에 액정 물질을 주입하는 공정을 포함한다. 두 기판의 합착공정은 LCD의 품질을 결정하는 중요 한 공정 중 하나이다. 일반적인 기판합착공정은, 내부를 진공상태로 형성시킬 수 있는 챔버를 구비하는 기판 합착장치에 의해 수행된다.

기판 합착장치는 챔버 내부에서 두 기판을 서로 대향하도록 지지한다. 이후, 기판 합착장치는 두 기판의 평탄도, 평행도 및 위치를 정밀하게 유지시키면서, 두 기판을 근접시켜 두 기판의 합착을 진행한다.

여기서, 최초 기판이 챔버로 반입될 때, 기판 합착장치는 대기압 상태의 챔버 내부에서 두 기판을 지지한다. 이후 기판 합착장치는 챔버 내부를 진공 분위기로 조성하고, 두 기판을 근접시킨다.

이러한 기판 합착장치는 진공 분위기에서 두 기판의 합착 공정을 진행하는 경우가 대부분이며, 여러 주요 요소에 의한 영향을 받게 된다. 이들 중 하나의 주요 요소로 기판의 간격을 유지하고, 두 기판의 정렬이 유지된 상태를 유지하여 합착을 하는 것이 있다.

이러한 공정은 두 기판의 간격이 일정하게 유지되도록 여러 차례의 정렬을 실시하는 것이 선행되며, 이후 두 기판의 간격이 미세하게 정렬되도록 정반을 이동시켜 합착을 실시하게 된다.

종래의 기판 합착장치는 두 기판의 정렬 후 합착을 위해 두 기판을 미세근접 시킬 경우, 정반에 유동이 발생함에 따라 어느 한 기판이 틀어져 정렬도가 저하되 어 불량 패널이 제작되는 문제가 있다.

또한, 종래의 기판 합착장치는 합착공간의 진공배기에 따른 챔버의 변형으로 인한 두 기판 간 정렬이 틀어지는 문제점이 있다. 이러한 문제점은 최근 기판의 대면적화가 진행됨에 따라 더욱 더 심화되고 있다.

이에 따른 본 발명의 목적은, 합착공간의 진공배기 시, 두 기판의 정렬을 유지되도록 한 기판 합착장치를 제공함에 있다.

본 발명의 실시예에 따른 기판 합착장치는, 제1 기판을 지지하는 제1 챔버;상기 제1 기판과 대향되도록 제2 기판을 지지하여 상기 제1 챔버와 함께 상기 제1 기판과 상기 제2 기판의 합착공간을 제공하며, 덮개 및 상기 덮개로부터 상기 제1 챔버 측으로 분리되어 배치되고 상기 합착공간의 밀폐에 따라 상기 제1 챔버에 결속되는 측벽을 구비하는 제2 챔버; 및 상기 측벽을 지지하며, 상기 제1 챔버에 결속된 상기 측벽을 이동시켜 상기 제2 기판에 대한 상기 제1 기판의 위치를 정렬하는 위치 정렬유닛;을 구비한다.

상기 기판 합착장치는, 상기 측벽으로부터 상기 제1 챔버 측으로 돌출되는 위치 고정핀을 더 구비하며, 상기 제1 챔버는 상기 위치 고정핀이 삽입되는 삽입홈이 형성될 수 있다.

상기 위치 고정핀은 상기 제1 챔버 측을 향한 단부의 외경이 점차 축소되는 원통 형상이며, 상기 삽입홈은 상기 제2 챔버를 향한 내경이 점차 확대될 수 있다.

상기 기판 합착장치는, 상기 위치 정렬유닛과 함께 상기 측벽을 지지하며, 상기 위치 정렬유닛에 의한 상기 측벽의 이동에 따라 상기 측벽의 이동을 구름지지하는 측벽 지지유닛을 더 구비한다.

상기 기판 합착장치는, 상기 덮개와 상기 측벽의 사이에 배치되는 기밀부재를 더 구비할 수 있다.

상기 기판 합착장치는, 상기 측벽의 내측에 배치되어 상기 제2 기판을 지지하는 정반; 및 상기 정반을 지지하며, 상기 정반을 상기 제1 챔버 측으로 승강시켜 상기 제1 기판과 상기 제2 기판의 간격을 조절하는 간격 조절유닛;을 더 구비할 수있다.

한편, 본 발명의 다른 실시에에 따른 기판 합착장치는, 제1 기판을 지지하는 제1 챔버;상기 제1 기판과 대향되도록 제2 기판을 지지하는 제2 챔버; 및 상기 제2 챔버의 테두리부를 관통하여 상기 제1 챔버를 지지하며, 상기 제1 챔버를 이동시켜 상기 제2 기판에 대한 상기 제1 기판의 위치를 정렬하는 위치 정렬유닛;을 구비한다.

상기 기판 합착장치는, 상기 위치 정렬유닛과 함께 상기 제1 챔버를 지지하며, 상기 위치 정렬유닛에 의한 상기 제1 챔버의 이동에 따라 상기 제1 챔버의 이동을 구름지지하는 측벽 지지유닛을 더 구비할 수 있다.

상기 기판 합착장치는, 상기 측벽의 내측에 배치되어 상기 제2 기판을 지지하는 정반; 및 상기 정반을 지지하며, 상기 정반을 상기 제1 챔버 측으로 승강시켜 상기 제1 기판과 상기 제2 기판의 간격을 조절하는 간격 조절유닛;을 더 구비할 수 있다.

본 발명에 따른 기판 합착장치는 합착공간의 진공배기시 챔버의 변형이 적은 측벽을 지지 및 이동시켜, 두 기판 간 정렬을 수행함으로써, 제1, 제2 기판(10, 20)의 정렬상태를 견고하게 유지할 수 있는 효과가 있다.

이하, 본 발명의 실시예에 따른 기판 합착장치에 대해, 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다. 본 발명을 설명함에 있어서, 정의되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의 내려진 것으로, 본 발명의 기술적 구성요소를 한정하는 의미로 이해되어서는 아니 될 것이다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 합착장치를 나타낸 단면도이다. 도 1 을 참조하면, 기판 합착장치(100a)는 제1 챔버(110), 제2 챔버(130), 감지부(150) 및 위치 고정핀(139)을 구비한다.

제1 챔버(110)는 내측에 제1 기판(10)을 지지한다. 제2 챔버(130)는 내측에 제1 기판(10)과 대향되도록 제2 기판(20)을 지지한다. 제1 챔버(110)와 제2 챔버(130)는 제1 기판(10)과 제2 기판(20)의 합착공간(101)을 제공한다. 제1 챔버(110)와 제2 챔버(130)는 적어도 어느 하나가 승강되어, 합착공간(101)이 개폐되도록 설치된다. 제1 챔버(110)는 상부챔버이고, 제2 챔버(130)는 하부챔버일 수 있 다.

제1 챔버(110)는 제2 챔버(130) 측이 개방된 함체형상을 갖는다. 제2 챔버(130)는 제1 챔버(110) 측이 개방된 함체형상을 가지되, 덮개(131) 및 덮개(131)로부터 제1 챔버(110) 측으로 분리되는 측벽(133)을 구비한다. 덮개(131)와 측벽(133) 사이에는 덮개와 측벽 사이로 합착공간의 기밀이 새어나가는 것을 방지하기 위한 O-링과 같은 제1 기밀부재(121)가 구비되는 것이 바람직하다.

한편, 제1 기판(10)에는 복수 개의 정렬홀(11)이 형성된다. 제2 기판(20)에는 정렬홀(11)에 대응되는 위치에 정렬마크(21)가 형성된다.

감지부(150)는 정렬홀(11)을 통해 정렬마크(21)를 촬영하여, 제1 기판(10)과 제2 기판(20)의 정렬상태를 감지한다. 감지부(150)는 정렬마크(21)를 촬영하는 카메라(151)와, 조명을 제공하는 조명장치(153)를 구비한다. 카메라(151)와 조명장치(153)는 정렬마크(21)와 정렬홀(11)에 대응되는 위치에 복수 개로 구비된다.

제1 챔버(110)의 상측에는 제1 챔버(110)에 지지되는 제1 기판(10)의 정렬홀(11)과 연통되는 촬영홀(151a)이 형성된다. 제2 챔버(130)의 하측에는 제2 기판(20)의 정렬마크(21)로 조명을 제공하는 조명홀(153a)이 형성된다. 촬영홀(151a)과 조명홀(153a)은 카메라(151)와 조명장치(153)에 대응되는 위치에 복수 개로 구비된다.

감지부(150)는 제1 기판(10)과 제2 기판(20)의 평행도 및 위치정렬 여부를 측정한다. 제1 기판(10)과 제2 기판(20)의 평행도는, 각 카메라(151)로부터 촬영되는 정렬마크(21)의 선명도, 또는 정렬마크(21)를 촬영하는 각 카메라(151)의 초점 거리를 이용하여 측정할 수 있다. 또한, 제1 기판(10)과 제2 기판(20)의 위치정렬 여부는, 정렬홀(11)의 내부에 정렬마크(21)가 위치하는지를 촬영하여 판단할 수 있다.

도시되지 않았지만 다른 실시예로, 기판 합착장치(100a)는 제1 기판(10)과 제2 기판(20)의 간격을 감지할 수 있는 간격감지센서를 별도로 구비할 수 있다. 제1 기판(10)과 제2 기판(20)의 평행도는 간격감지센서(미도시)에 의해 측정할 수 있다. 이러한 간격감지센서(미도시)로는 비접촉센서인 광센서, 초음파센서, 자기센서 중 어느 하나를 사용할 수 있다.

한편, 제1 챔버(110)의 내측에는 제1 기판(10)을 지지하기 위한 제1 정반(111)이 구비된다. 제1 정반(111)은 제1 챔버(110)에 결합되어 고정된다. 제2 챔버(130)의 내측에는 제2 기판(20)을 지지하기 위한 제2 정반(135)이 구비된다.

제1 정반(111)은 제1 챔버(110)의 상부 내벽으로부터 이격되도록 고정되고, 제2 정반(135)은 덮개(131) 및 측벽(133)으로 각각 이격되도록 설치되는 것이 바람직하다. 이는 합착공간(101)의 진공형성에 따라 제1 챔버(110)의 상부 내벽과 덮개(131)가 변형되어, 제1 정반(111)과 제2 정반(135)에 간섭을 끼치는 것을 방지하기 위한 것이다.

이러한 제1, 제2 정반(111, 135)은 제1, 제2 기판(10, 20)을 각각 지지하기 위한 제1, 제2 기판 척(113, 137)을 구비한다. 제1, 제2 기판 척(113, 137)으로는 정전기력으로 기판을 부착하는 정전척, 진공력에 의해 기판을 흡착하는 진공척, 점착력에 의해 기판을 점착하는 점착척 중 어느 하나가 사용될 수 있다.

위치 고정핀(139)은 측벽(133)으로부터 제1 챔버(110)를 향하여 돌출되어 마련된다. 제1 챔버(110)의 제2 챔버(130)를 향한 면에는 위치 고정핀(139)이 삽입될 수 있는 삽입홈(115)이 형성된다. 위치 고정핀(139)은 합착공간(101)의 밀폐에 따라 삽입홈(115)에 삽입되어, 측벽(133)이 제1 챔버(110)에 결속될 수 있도록 한다.

위치 고정핀(139)은 제1 챔버(110)를 향한 단부가 경사지도록 마련된다. 예를 들어, 위치 고정핀(139)은 원통형으로 마련되고, 제1 챔버(110)를 향한 단부의 외경이 점차 감소되는 형태로 마련될 수 있다. 삽입홈(115)은 제2 챔버(130) 측을 향한 내경이 점차 확대되도록 마련된다. 합착공간(101)의 밀폐시, 위치 고정핀(139)과 삽입홈(115)은 제1 챔버(110)와 제2 챔버(130)의 위치가 약간 어긋나 있더라도, 위치 고정핀(139)이 삽입홈(115)으로 슬립(slip) 삽입되어, 제1 챔버(110)와 제2 챔버(130)가 초기 장비셋팅 위치로 위치할 수 있도록 한다.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 합착장치의 위치 정렬유닛과 측벽 지지유닛의 배치 상태를 나타낸 평면도이다. 도 1 및 도 2를 참조하면, 기판 합착장치(100a)는 제1 기판(10)과 제2 기판(20)의 정렬을 위한 평탄도 조절유닛(160), 간격 조절유닛(170), 위치 정렬유닛(180) 및 측벽 지지유닛(190)을 구비한다.

평탄도 조절유닛(160)은 제1 정반(111)과 제1 기판 척(111)의 사이, 제2 정반(135)과 제2 기판 척(137)의 사이에 각각 복수 개로 마련되어, 매트릭스(matrix) 형태로 배치된다. 복수 개의 평탄도 조절유닛(160)은 개별 구동되어, 제1, 제2 기판 척(113, 137)을 승강시킨다. 평탄도 조절유닛(160)은 제1, 제2 정반(111, 135)에 대한 제1, 제2 기판 척(113, 137)의 평탄도를 조절함으로써, 제1 기판(10)과 제 2 기판(20)의 평탄도를 조절할 수 있도록 한다.

간격 조절유닛(170)은 제2 챔버(130)의 하측에 배치되며, 제2 챔버(130)를 관통하여 제2 정반(135)을 지지한다. 간격 조절유닛(170)은 복수 개로 마련된다. 복수 개의 간격 조절유닛(170)은 개별 구동되어, 제2 정반(135)을 제1 챔버(110) 측으로 승강시킨다. 간격 조절유닛(170)은 제2 정반(135)을 제1 챔버(110) 측으로 상승시켜 제2 기판(20)을 제1 기판(10)으로 근접시킨다.

위치 정렬유닛(180)은 덮개(131)를 관통하는 지지축(181)을 구비하며, 지지축(181)에 의해 측벽(133)을 지지한다. 위치 정렬유닛(180)은 복수 개로 마련된다. 복수 개의 위치 정렬유닛(180)은 지지축(181)을 개별 구동시켜, 측벽(133)을 제1 챔버(110) 측으로 승강시킨다. 또한, 복수 개의 위치 정렬유닛(180)은 지지축(181)을 제1, 제2 기판(10, 20)의 반입방향 및 제1, 제2 기판(10, 20)의 반입방향과 교차되는 방향 즉, 도 2에 표기된 x축 방향 및 y축 방향으로 이동시킨다. 이에 따라 덮개(131)는 지지축(181)이 승강 및 왕복될 수 있는 공간이 확보되는 관통공(131a)이 형성된다.

측벽 지지유닛(190)은 지지축(181)과 함께 측벽(133)을 지지하도록 배치된다. 측벽 지지유닛(190)은 위치 정렬유닛(180)으로 전해지는 제1 챔버(110) 및 측벽(133)의 하중을 분산시킨다. 이러한 측벽 지지유닛(190)은 위치 정렬유닛(180)에 의한 측벽(133)의 왕복에 따라 측벽(133)이 이동될 수 있도록 측벽(133)을 구름지지하도록 마련되는 것이 바람직하다.

따라서, 측벽 지지유닛(190)은 x축 방향 또는, y축 방향으로 회전되는 롤 러(roller) 형태로 마련될 수 있으며, 다른 실시예로 덮개(131)의 이동방향으로부터 자유로운 볼(ball) 형태로 마련될 수 있다.

측벽 지지유닛(190)이 롤러 형태로 마련될 경우, 측벽 지지유닛(190)은 각각 개별 승강되도록 구비될 수 있다. 즉, 위치 정렬유닛(180)에 의해 덮개(131)가 x축 방향 또는, y축 방향 중 어느 한 방향으로 될 때, 덮개(131)의 이동방향과 동일한 방향으로 회전되도록 설치되는 롤러는 덮개에 접촉되어 회전되고, 덮개(131)의 이동방향과 다른 방향으로 회전되도록 설치되는 롤러는 덮개(110a)에 접촉되지 않도록 하강되는 것이 바람직하다.

한편, 제1 챔버(110)와 측벽(133)의 사이에는 밀폐된 합착공간(101)의 기밀을 유지시키는 O-링과 같은 제2 기밀부재(122)가 구비된다. 또한, 제2 챔버(130)의 하측에는 간격 조절유닛(170)과 위치 정렬유닛(180)을 고정하기 위한 고정판(140)이 구비된다. 고정판(140)과 제2 챔버(130)의 사이에는 밀폐된 합착공간(101)의 기밀을 유지시키는 벨로우즈(bellows)와 같은 제3 기밀부재(123)와 제4 기밀부재(124)를 구비한다.

제3 기밀부재(123)는 각 간격 조절유닛(170)의 둘레에 배치되도록 복수 개로 마련된다. 제4 기밀부재(124)는 각 위치 정렬유닛(180)의 둘레에 배치되도록 복수 개로 마련된다. 도시되지 않았지만 다른 실시예로, 제3, 제4 기밀부재(123, 124)은 제2 챔버(130)와 고정판(140)의 사이의 둘레를 감싸도록 일체형으로 마련되어, 내부에 간격 조절유닛(170)과 위치 정렬유닛(180)이 함께 위치하도록 설치될 수 있다.

이하, 본 발명의 실시예에 따른 기판 합착장치의 정렬 동작에 대해, 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다. 이하에서 언급되는 각각의 요소들은 상술한 설명과 도면을 참조하여 이해하여야 한다.

도 3, 4, 5는 본 발명의 실시예에 따른 기판 합착장치의 작동상태를 나타낸 작동도이다.

도 3을 참조하면, 평탄도 조절유닛(160)에 의해, 제1, 제2 정반(111, 135)에 대한 제1, 제2 기판 척(113, 137)의 평탄도가 조절된 상태에서 제1, 제2 기판(10, 20)이 반입된다. 합착공간(101)으로 반입된 제1, 제2 기판(10, 20)은 제1, 제2 기판 척(113, 137)에 부착되어, 제1, 제2 정반(111, 135)에 각각 지지된다. 즉, 제1, 제2 기판(10, 20)은 합착공간(101)에서 서로 대향되도록 지지된다.

제1, 제2 기판(10, 20)이 합착공간(101)에 위치하면, 제1 챔버(110)와 제2 챔버(130) 중 어느 하나가 승강되어, 합착공간(101)은 밀폐된다. 합착공간(101)의 밀폐시, 삽입홈(115)에 삽입되는 위치 고정핀(139)의 안내에 따라 제1 챔버(110)와 제2 챔버(130)는 초기 장비셋팅 위치인 정위치에 위치한다. 계속해서, 간격 조절유닛(170)은 제2 정반(135)을 상승시켜, 제2 기판(20)을 제1 기판(10)에 근접시킨다.

이와 같이 제1, 제2 기판(10, 20)은 평탄도 조절유닛(160), 위치 고정핀(139) 및 간격 조절유닛(170)에 의해 개략적으로 정렬된다.

도 4을 참조하면, 제1, 제2 기판(10, 20)의 미세정렬을 위해, 감지부(150)는 제1, 제2 기판(10, 20)의 정렬상태 즉, 제1, 제2 기판(10, 20)의 평행도 및 위치정렬 여부를 측정한다. 다시 말해, 조명장치(153)는 조명홀(153a)을 통해 정렬마 크(21)로 조명을 제공하며, 카메라(151)는 촬영홀(151a)을 통해 정렬마크(21)를 촬영한다.

감지부(150)는 제1, 제2 기판(10, 20)의 평행도를 측정한다. 제1, 제2 기판(10, 20)의 간격이 평행한 경우, 각 정렬마크(21)는 각 카메라(151)에 의해 선명하게 촬영된다. 반면, 제1, 제2 기판(10, 20)의 간격이 평행하지 않을 경우, 복수 개의 카메라(151) 중, 어느 카메라(151)는 초점이 정확하게 맺히지 않아 해당 정렬마크(21)가 흐리게 촬영된다.

정렬마크(21)가 흐리게 촬영되는 경우, 제어부(미도시)는 해당 정렬마크(21)가 위치하는 측에 구비되는 위치 정렬유닛(180)을 제어한다. 해당 위치 정렬유닛(180)은 측벽(133)을 정렬마크(21)가 선명하게 촬영되는 위치로 승강시킨다.

다른 실시예로, 제어부(미도시)는 해당 정렬마크(21)가 위치하는 카메라(151)의 초점거리를 조절하여, 해당 정렬마크(21)가 선명하게 촬영되는 초점거리를 얻을 수 있다. 즉, 해당 정렬마크(21)가 흐리게 촬영된 초점거리와, 해당 정렬마크(21)가 선명하게 촬영된 초점거리를 비교하여, 제1, 제2 기판(10, 20)의 간격 조절거리를 산출할 수 있다. 제어부(미도시)는 해당 위치 정렬유닛(180)을 제어한다. 해당 위치 정렬유닛(180)은 측벽(133)을 간격 조절거리만큼 승강시킨다.

이와 같이, 감지부(150)는 제1, 제2 기판(10, 20)의 평행도를 측정하며, 각 위치 정렬유닛(180)은 측벽(133)을 승강시킴으로써, 제1, 제2 기판(10, 20)의 평행도를 미세조절할 수 있다.

도 5를 참조하면, 감지부(150)는 제1, 제2 기판(10, 20)의 위치정렬 여부를 측정한다. 제1, 제2 기판(10, 20)이 정렬위치에 정렬되어 있을 경우, 각 정렬마크(21)는 각 정렬홀(11)의 내부에 위치하여, 각 카메라(151)는 정렬마크(21)를 촬영할 수 있다. 반면, 제1, 제2 기판(10, 20)이 정렬위치에 벗어나 있을 경우, 각 정렬마크(21)는 각 정렬홀(11)의 내부에서 벗어나, 각 카메라(151)는 정렬마크(21)의 일부만을 촬영하거나, 정렬마크(21)를 촬영하지 못할 수 있다.

정렬마크(21)가 정렬홀(11)의 내부에서 벗어난 경우, 제어부(미도시)는 위치 정렬유닛(180)을 제어한다. 위치 정렬유닛(180)은 정렬홀(11)의 내부에 정렬마크(21)가 위치하도록 지지축(181)을 이동시킨다. 지지축(181)의 이동에 따라, 측벽(133)은 x축방향 또는, y축방향으로 이동된다. 측벽(133)에 결속되는 제1 챔버(110)는 측벽(133)와 함께 이동된다. 제1 챔버(110)에 의해 지지되는 제1 기판(10)의 위치도 함께 이동된다. 이때, 측벽 지지유닛(190)은 측벽(133)을 구름지지함으로써, 제1 챔버(110) 및 측벽(133)의 하중을 분산시키고, 측벽(133)이 원활하게 이동되도록 한다.

상술된 설명에서는, 제1, 제2 기판(10, 20) 간 평행도를 조절한 후, 제1, 제2 기판(10, 20) 간 위치를 정렬하는 것으로 설명하고 있으나, 그 순서가 서로 바뀐다 하더라도 그 작용 및 효과는 유사하다고 볼 수 있다.

이와 같이, 감지부(150)는 제1, 제2 기판(10, 20)의 위치정렬 여부를 측정하고, 위치 정렬유닛(180)은 측벽(133)의 위치를 이동시킴으로써, 제1, 제2 기판(10, 20)의 미세정렬이 수행된다.

이하, 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 합착장치에 대해, 첨부된 도면을 참조하여 개략적으로 설명하도록 한다. 이하에서는 상술된 구성요소와 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하고, 상세한 설명을 생략하도록 한다. 따라서 이하의 설명에서 상세한 설명이 생략된 구성요소에 대해서는 상술된 설명을 참조하여 이해해야 할 것이다.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 합착장치를 나타낸 단면도이다. 도 6을 참조하면, 위치 정렬유닛(180a)의 지지축(181a)은 덮개(131) 및 측벽(133)을 관통하여, 제1 챔버(110)를 지지하도록 연장된다. 위치 정렬유닛(180a)은 지지축(181a)을 x축 방향, y축 방향 및 z축 방향으로 이동시킴으로써, 제1 챔버(110)를 x축 방향, y축 방향 및 z축 방향으로 이동시킬 수 있다.

제2 챔버(130)는 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 덮개(131)와 측벽(133)이 분리되도록 마련될 수 있으며, 다른 실시예로 덮개(131)와 측벽(133)이 결합되어 있는 일체형으로 마련될 수 있다.

이와 같은 기판 합착장치(100b)는 지지축(181a)이 제1 챔버(110)를 지지하고, 제1 챔버(110)를 이동시켜 제1, 제2 기판(10, 20) 간 미세정렬을 수행하는 것에서, 상술된 기판 합착장치(100a)와 동작의 차이를 가지며, 그 외 동작들은 상술된 기판 합착장치(100a)와 대동소이하다고 볼 수 있다. 따라서 다른 동작들에 대한 설명은 상술된 설명을 참조하여 이해해야 할 것이다.

이상에서 살펴본 바와 같이, 기판 합착장치(100a, 100b)는 합착공간(101)의 진공에 따른 챔버의 변형이 적은 측벽(133)을 지지하고, 측벽(133)을 이동시킴으로 써, 제1, 제2 기판(10, 20) 간 정렬을 수행할 수 있다. 따라서 기판 합착장치(100a, 100b)는 합착공간(101)의 진공을 형성하더라도, 제1, 제2 기판(10, 20)의 정렬상태를 견고하게 유지할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 합착장치를 나타낸 단면도이다.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 합착장치의 위치 정렬유닛과 측벽 지지유닛의 배치 상태를 나타낸 평면도이다.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 합착장치를 나타낸 단면도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호 설명>

100a, 100b : 기판 합착장치 110 : 제1 챔버

130 : 제2 챔버 131: 덮개

133 : 측벽 135 : 위치 고정핀

160 : 평탄도 조절유닛 170 : 간견 조절유닛

180 : 위치 정렬유닛 190 : 측벽 지지유닛

Claims

제1 기판을 지지하는 제1 챔버;

상기 제1 기판과 대향되도록 제2 기판을 지지하여 상기 제1 챔버와 함께 상기 제1 기판과 상기 제2 기판의 합착공간을 제공하며, 덮개 및 상기 덮개로부터 상기 제1 챔버 측으로 분리되어 배치되고 상기 합착공간의 밀폐에 따라 상기 제1 챔버에 결속되는 측벽을 구비하는 제2 챔버; 및

상기 측벽을 지지하며, 상기 제1 챔버에 결속된 상기 측벽을 이동시켜 상기 제2 기판에 대한 상기 제1 기판의 위치를 정렬하는 위치 정렬유닛;을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.
제1 항에 있어서,

상기 측벽으로부터 상기 제1 챔버 측으로 돌출되는 위치 고정핀을 더 구비하며, 상기 제1 챔버는 상기 위치 고정핀이 삽입되는 삽입홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.
제2 항에 있어서, 상기 위치 고정핀은 상기 제1 챔버 측을 향한 단부의 외경이 점차 축소되는 원통형상이며,

상기 삽입홈은 상기 제2 챔버를 향한 내경이 점차 확대되는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.
제1 항에 있어서,

상기 위치 정렬유닛과 함께 상기 측벽을 지지하며, 상기 위치 정렬유닛에 의한 상기 측벽의 이동에 따라 상기 측벽의 이동을 구름지지하는 측벽 지지유닛을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.
제1 항에 있어서,

상기 덮개와 상기 측벽의 사이에 배치되는 기밀부재를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.
제1 항에 있어서,

상기 측벽의 내측에 배치되어 상기 제2 기판을 지지하는 정반; 및

상기 정반을 지지하며, 상기 정반을 상기 제1 챔버 측으로 승강시켜 상기 제1 기판과 상기 제2 기판의 간격을 조절하는 간격 조절유닛;을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.
제1 기판을 지지하는 제1 챔버;

상기 제1 기판과 대향되도록 제2 기판을 지지하는 제2 챔버; 및

상기 제2 챔버의 테두리부를 관통하여 상기 제1 챔버를 지지하며, 상기 제1 챔버를 이동시켜 상기 제2 기판에 대한 상기 제1 기판의 위치를 정렬하는 위치 정렬유닛;을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.
제7 항에 있어서,

상기 위치 정렬유닛과 함께 상기 제1 챔버를 지지하며, 상기 위치 정렬유닛에 의한 상기 제1 챔버의 이동에 따라 상기 제1 챔버의 이동을 구름지지하는 측벽 지지유닛을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.
제7 항에 있어서,

상기 측벽의 내측에 배치되어 상기 제2 기판을 지지하는 정반;및

상기 정반을 지지하며, 상기 정반을 상기 제1 챔버 측으로 승강시켜 상기 제1 기판과 상기 제2 기판의 간격을 조절하는 간격 조절유닛;을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.