JP2003255293A - 基板貼り合わせ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板貼り合わせ装置において、密閉容器の減
圧下で上ステージと下ステージを相対移動させる移動装
置の駆動精度を損なうことなく、上下の基板の位置合わ
せ精度を向上させること。 【解決手段】 上ガラス基板１を保持する上ステージ５
１と、下ガラス基板２を保持する下ステージ５２と、上
ステージ５１と下ステージ５２が配置される密閉空間２
５を区画形成する密閉容器２０と、圧力調整装置６０に
よる密閉容器２０内の圧力の減圧下にて上ガラス基板１
と下ガラス基板２とを接着剤を介して貼り合わせる基板
貼り合わせ装置１０であって、上ステージ５１と下ステ
ージ５２とを少なくとも基板の面方向で相対移動させる
移動装置４０を有し、移動装置４０が密閉容器２０とは
独立に架台１１に支持されてなるもの。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は液晶表示パネル装置
の製造等に用いて好適な基板貼り合わせ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示パネルの製造に用いられる基板
貼り合わせ装置は、上ガラス基板を保持する上ステージ
と、下ガラス基板を保持する下ステージと、上ステージ
と下ステージを包囲する密閉容器と、密閉容器内の圧力
を調整する圧力調整装置とを有し、圧力調整装置による
密閉容器内の圧力の減圧下にて上ガラス基板と下ガラス
基板を接着剤を介して貼り合わせ、上ガラス基板と下ガ
ラス基板の間に液晶を封止可能とする。

【０００３】上下のガラス基板は、良好な液晶表示精度
を得るため、高精度に位置合わせする必要がある。従来
技術では、上下のガラス基板の貼り合わせの前に、密閉
容器により形成される密閉空間内の圧力の減圧下で、上
ステージと下ステージを基板の面方向で相対移動させ、
それらの位置合わせを行なっている。

【０００４】上下のガラス基板の貼り合わせを密閉空間
内の減圧下（真空中等）で行なうのは、貼り合わされる
上下のガラス基板の間のシール材で囲まれる領域に封止
される液晶中に空気が入ることを防止するためである。
液晶表示パネルにおいて、空気が入った部分は表示でき
なくなる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来技術では、上下の
ガラス基板の位置合わせのために、密閉容器内の減圧下
で上ステージと下ステージを相対移動させる移動装置
（例えばＸＹテーブル）を、密閉容器の密閉空間を形成
する部分に支持している。密閉容器の密閉空間を形成す
る部分は、減圧下で、大気圧との差圧の影響により撓み
を生じることがあり、この場合、撓み部分に支持されて
いる移動装置の駆動精度（例えばＸＹテーブルのＸ方向
の角度ずれやＹ方向の角度ずれ）を損ない、ひいては上
下のガラス基板の位置合わせ精度を低下させる。

【０００６】本発明の課題は、基板貼り合わせ装置にお
いて、密閉容器の減圧下で上ステージと下ステージを相
対移動させる移動装置の駆動精度を損なうことなく、上
下の基板の位置合わせ精度を向上させることにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、上基
板を保持する上ステージと、下基板を保持する下ステー
ジと、上ステージと下ステージが配置される密閉空間を
区画形成する密閉容器と、密閉容器内の圧力を調整する
圧力調整装置とを有し、圧力調整装置による密閉容器内
の圧力の減圧下にて上基板と下基板とを接着剤を介して
貼り合わせる基板貼り合わせ装置であって、上ステージ
と下ステージとを少なくとも基板の面方向で相対移動さ
せる移動装置を有し、移動装置が、密閉容器とは独立に
架台に支持されるようにしたものである。

【０００８】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て更に、移動装置と上下のステージの少なくとも一方の
ステージとを結合部材により結合し、移動装置と密閉容
器とを結合部材の周囲で可撓隔壁部材により連結し、密
閉容器及び可撓隔壁部材が区画形成する密閉空間に上下
のステージと結合部材とを配置するようにしたものであ
る。

【０００９】請求項３の発明は、請求項１の発明におい
て更に、移動装置と上下のステージの少なくとも一方の
ステージとを結合部材により結合し、密閉容器と上記の
少なくとも一方のステージとを結合部材の周囲で可撓隔
壁部材により連結し、密閉容器及び可撓隔壁部材が区画
形成する密閉空間に上下のステージを配置するようにし
たものである。

【００１０】

【作用】請求項１の発明によれば下記の作用がある。 上下の基板の位置合わせのために、密閉容器内の減圧
下で上ステージと下ステージを相対移動させる移動装置
（例えばＸＹテーブル）を密閉容器には独立に架台に支
持した。従って、密閉容器の密閉空間を形成する部分
が、減圧下で、大気圧との差圧の影響により撓んでも、
この撓みが移動装置の駆動精度（例えばＸＹテーブルの
Ｘ方向の角度ずれやＹ方向の角度ずれ）に影響しない。
これにより、移動装置の駆動精度を良好に維持し、上下
の基板の位置合わせ精度を向上させることができる。

【００１１】請求項２の発明によれば下記の作用があ
る。 移動装置と密閉容器とを結合部材の周囲で可撓隔壁部
材により連結し、密閉容器及び可撓隔壁部材が区画形成
する密閉空間に上下のステージと結合部材とを配置する
ようにした。従って、密閉空間の中で動く部材は、上下
のステージと結合部材だけとなり、移動装置を含まな
い。これにより、密閉空間の中で発生する発塵を少なく
できるし、密閉空間の容積を少なくして減圧のための排
気時間を短くできる。また、移動装置等の構造物の表面
に付着していたガス等の発散もなくし、排気時間を短く
できる。

【００１２】請求項３の発明によれば下記の作用があ
る。 密閉容器と少なくとも一方のステージとを結合部材の
周囲で可撓隔壁部材により連結し、密閉容器及び可撓隔
壁部材が区画形成する密閉空間に上下のステージを配置
するようにした。従って、密閉空間の中で動く部材は、
上下のステージだけとなり、移動装置と結合部材を含ま
ない。これにより、密閉空間の中で発生する発塵をより
少なくできるし、密閉空間の容積をより少なくして減圧
のための排気時間をより短くできる。また、移動装置や
結合部材等の構造物の表面に付着していたガス等の発散
もなくし、排気時間をより短くできる。

【００１３】

【発明の実施の形態】図１は第１実施形態の基板貼り合
わせ装置を示す模式図、図２は第２実施形態の基板貼り
合わせ装置を示す模式図である。

【００１４】（第１実施形態）（図１） 基板貼り合わせ装置１０は、上ガラス基板１と下ガラス
基板２を接着剤（シール剤）を介して貼り合わせ、この
上下の基板１、２の間で接着剤に囲まれる領域に液晶を
封止したセル（液晶表示パネル）を製造するものであ
る。

【００１５】基板貼り合わせ装置１０は、架台１１に密
閉容器２０と、昇降装置３０と、移動装置４０と、上ス
テージ５１と、下ステージ５２と、圧力調整装置６０と
を有する。

【００１６】密閉容器２０は、上下のチャンバ２１、２
２を有する。架台１１の上部構造体１２には昇降シリン
ダ２３が固定され、昇降シリンダ２３に昇降フレーム２
４を吊下げ支持し、昇降フレーム２４に上チャンバ２１
をチャンバ昇降シリンダ２６を介して吊下げ支持してい
る。架台１１の下部構造体１３の天板１３Ａに下チャン
バ２２を固定している。密閉容器２０は、昇降シリンダ
２３、２６により上チャンバ２１が下降されることにて
上チャンバ２１が下チャンバ２２に対し閉じたとき、上
チャンバ２１と下チャンバ２２の内部に下部構造体１３
の天板１３Ａ及び後述する可撓隔壁部材３６、４４とと
もに密閉空間２５を区画形成し、上ステージ５１と下ス
テージ５２を包囲可能とする。密閉容器２０は、昇降シ
リンダ２３、２６により上チャンバ２１及び上ステージ
５１が上昇されることにて上チャンバ２１及び上ステー
ジ５１が下チャンバ２２及び下ステージ５２に対して開
かれたとき、前工程から移送されてくる上ガラス基板１
と下ガラス基板２を上チャンバ２１と下チャンバ２２の
間に導入可能とし、それらのガラス基板１、２は上ステ
ージ５１、下ステージ５２に保持可能とされる。

【００１７】昇降装置３０は、上ステージ５１を昇降可
能とする。昇降フレーム２４には昇降モータ３１が固定
され、昇降モータ３１に結合されるボールねじ３２には
ボールナット３３を介して昇降台３４が吊下げられ、昇
降台３４には結合部材３５を介して上ステージ５１が支
持される。昇降装置３０は、昇降モータ３１の正逆転に
より上ステージ５１を昇降させる。昇降台３４と上チャ
ンバ２１は結合部材３５の周囲で可撓隔壁部材３６によ
り連結され、密閉容器２０が昇降台３４の下面及び可撓
隔壁部材３６とともに区画形成する密閉空間２５に上ス
テージ５１と結合部材３５を配置する。

【００１８】移動装置４０は、下ステージ５２を上ステ
ージ５１に対し、それらが保持する上ガラス基板１、下
ガラス基板２の面方向で相対移動させる。架台１１の下
部構造体１３において、天板１３Ａから下方に離隔する
底板１３ＢにはＸＹテーブル４１が設置され、ＸＹテー
ブル４１の上にはθテーブル４２が設置され、θテーブ
ル４２には結合部材４３を介して下ステージ５２が支持
される。ＸＹテーブル４１はＸ方向駆動モータとＹ方向
駆動モータによりＸ方向とＹ方向に移動し、θテーブル
４２はθ駆動モータ４２Ａにより旋回移動する。移動装
置４０は、ＸＹテーブル４１とθテーブル４２の作動に
より、下ステージ５２をＸ方向、Ｙ方向に移動するとと
もに、旋回移動する。θテーブル４２と下部構造体１３
の天板１３Ａは結合部材４３の周囲で可撓隔壁部材４４
により連結され、密閉容器２０が下部構造体１３の天板
１３Ａ、θテーブル４２の上面及び可撓隔壁部材４４と
ともに区画形成する密閉空間２５に下ステージ５２と結
合部材４３を配置する。尚、図１（Ｂ）に示すように下
部構造体１３の天板１３Ａと結合部材４３との間に密閉
容器２０内と外部とを区画するように可撓隔壁部材４４
Ａを設けても良い。

【００１９】上ステージ５１は上ガラス基板１を静電力
にて保持する静電吸着板５１Ａを有する。また上ステー
ジ５１には、真空源５３に接続された真空供給管５３Ａ
を上チャンバ２１に貫通配管し、この真空供給管５３Ａ
を上ステージ５１の静電吸着板５１Ａに設けた多数の吸
着孔（不図示）に連通し、上ガラス基板１を真空吸着力
で保持可能とする真空吸着装置が形成される。

【００２０】下ステージ５２は下ガラス基板２を静電力
にて保持する静電吸着板５２Ａを有する。また、下ステ
ージ５２には、真空源５４に接続された真空供給管５４
Ａを下チャンバ２２に貫通配管し、この真空供給管５４
Ａを下ステージ５２の静電吸着板５２Ａに設けた多数の
吸着孔（不図示）に連通し、下ガラス基板２を真空吸着
力で保持可能とする真空吸着装置が形成される。

【００２１】圧力調整装置６０は密閉容器２０が形成し
た密閉空間２５の圧力を調整する。真空源６１に接続さ
れた真空供給管６１Ａが架台１１の下部構造体１３の天
板１３Ａ（又は下チャンバ２２）から密閉空間２５に連
通され、密閉空間２５を減圧可能とする。空気源（又は
Ｎ_２源）６２に接続された空気供給管６２Ａが架台１１
の下部構造体１３の天板１３Ａ（又は下チャンバ２２）
から密閉空間２５に連通され、密閉空間２５を大気圧に
昇圧可能とする。上チャンバ２１の密閉空間２５に臨む
位置には圧力センサ６３が配置され、密閉空間２５の圧
力を検出する。

【００２２】基板貼り合わせ装置１０は検出装置を構成
するカメラ７０を有する。カメラ７０は、天板１３Ａに
設けたのぞき窓１３Ｃから下ステージ５２の貫通孔５２
Ｃを通して上ステージ５１、下ステージ５２に保持され
ている上ガラス基板１、下ガラス基板２の各コーナー部
に設けられている位置合わせマークを撮像し、同じく検
出装置を構成する画像処理装置（不図示）により上ガラ
ス基板１と下ガラス基板２の相対位置ずれ状態を検出す
る。尚、図示は省略したが、カメラ７０は基板１、２の
各コーナー部に対応して１つずつ配置される。

【００２３】基板貼り合わせ装置１０は制御装置（不図
示）を有する。制御装置は、検出装置７０の検出結果に
基づき、昇降装置３０、移動装置４０、上ステージ５１
と下ステージ５２の静電吸着板５１Ａ、５２Ａ及び真空
吸着装置、圧力調整装置６０を以下の基板貼り合わせ手
順で制御し、上ガラス基板１と下ガラス基板２を貼り合
わせる。

【００２４】(1)密閉容器２０の昇降シリンダ２３によ
り上チャンバ２１及び上ステージ５１を上昇させ、上チ
ャンバ２１及び上ステージ５１を下チャンバ２２及び下
ステージ５２から離隔させて、上ガラス基板１及びと下
ガラス基板２をそれらのチャンバ２１、２２の間に順次
導入する。下ガラス基板２は接着剤に囲まれる領域に予
め液晶が供給されている。上ステージ５１の静電吸着板
５１Ａにより上ガラス基板１を静電力で保持し、下ステ
ージ５２の静電吸着板５２Ａにより下ガラス基板２を静
電力で保持する。

【００２５】このとき、上ステージ５１と下ステージ５
２の真空吸着装置を作動させることにより上ガラス基板
１と下ガラス基板２に対し真空吸着力を及ぼしても良
い。但し、この真空吸着力は、下記(2)の密閉空間２５
の減圧下では無効になる。

【００２６】(2)密閉容器２０の昇降シリンダ２３、２
６により上チャンバ２１を下チャンバ２２に対して閉
じ、上ステージ５１と下ステージ５２を包囲する密閉空
間２５を形成する。続いて、圧力調整装置６０の真空供
給管６１Ａを開放し密閉空間２５内の雰囲気を真空状態
に減圧する。このとき、上ステージ５１と下ステージ５
２との間には、ＸＹ方向で相対移動が可能となるように
所定の間隙が形成されている。

【００２７】(3)検出装置により、上ステージ５１に保
持されている上ガラス基板１と、下ステージ５２に保持
されている下ガラス基板２の相対位置ずれ状態を検出
し、これに基づいて、上ガラス基板１と下ガラス基板２
を位置合わせする。この位置合わせは、移動装置４０の
ＸＹテーブル４１、θテーブル４２により行なう。

【００２８】(4)昇降装置３０の昇降モータ３１により
上ステージ５１を下降し、上述(2)の圧力調整装置６０
による減圧下で上ガラス基板１と下ガラス基板２を接着
剤を介して仮貼り合わせする。

【００２９】(5)上ガラス基板１と下ガラス基板２の仮
貼り合わせ後、圧力調整装置６０の真空供給管６１Ａを
閉じ、空気供給管６２Ａを開放し密閉空間２５内の雰囲
気を昇圧させる。圧力センサ６３の検出圧力が所定圧力
に到達したら、上ステージ５１と下ステージ５２の静電
吸着板５１Ａ、５２Ａによる静電力をオフし、真空吸着
装置５１Ｂ、５２Ｂによる真空吸着力をオンし、上ガラ
ス基板１と下ガラス基板２を真空吸着力で保持する。

【００３０】このとき、上ステージ５１と下ステージ５
２は、静電吸着板５１Ａ、５２Ａによる静電力をオンし
続け、真空吸着装置５１Ｂ、５２Ｂによる真空吸着力を
合わせオンし、上ガラス基板１と下ガラス基板２を静電
吸着力と真空吸着力で保持しても良い。

【００３１】(6)検出装置により、上ステージ５１、下
ステージ５２に保持されて仮貼り合わせ状態にある上ガ
ラス基板１と下ガラス基板２の相対位置ずれ状態を検出
し、この検出結果に基づいて両ガラス基板１、２の相対
位置ずれを修正する動作を実行する。この位置ずれ修正
動作は、移動装置４０のＸＹテーブル４１、θテーブル
４２により行なう。

【００３２】このとき、上ガラス基板１と下ガラス基板
２の仮貼り合わせの度に、相対位置ずれ状態があれば修
正動作し、なければ修正動作しない。

【００３３】但し、上ガラス基板１と下ガラス基板２の
仮貼り合わせ後に検出された相対位置ずれ状態が許容値
を超えたことを条件に修正動作を選択実行するものでも
良い。

【００３４】また、移動装置４０のＸＹテーブル４１、
θテーブル４２による位置ずれ修正動作の実行は、密閉
空間２５内にある両ガラス基板１、２の周囲雰囲気を前
述(5)の如く所定の圧力まで昇圧させた状態で、両ガラ
ス基板１、２のそれぞれを上ステージ５１と下ステージ
５２のそれぞれに前述の如くの真空吸着力で保持して行
なう。

【００３５】このとき、上ガラス基板１と下ガラス基板
２の位置合わせ動作は、両ガラス基板１、２の周囲雰囲
気が大気圧に昇圧される過程で行なうことが好ましい。

【００３６】(7)上ガラス基板１と下ガラス基板２の再
位置合わせ後、圧力調整装置６０の空気供給管６２Ａに
より密閉空間２５内の圧力が大気圧に昇圧されたことを
圧力センサ６３により確認した後、上ステージ５１と下
ステージ５２の吸着力をオフするとともに密閉容器２０
の昇降シリンダ２３、２６及び昇圧モータ３１により上
チャンバ２１及び上ステージ５１を上昇させ、上ガラス
基板１と下ガラス基板２の貼り合わせによって製作され
たセルを密閉容器２０の外に取出す。上ステージ５１と
下ステージ５２の吸着力をオフする前に、ＵＶ光照射装
置や加熱装置で上ガラス基板１と下ガラス基板２の接着
剤を硬化させても良い。

【００３７】しかるに、基板貼り合わせ装置１０にあっ
ては、前述した如く、移動装置４０を架台１１の下部構
造体１３において、天板１３Ａから下方に離隔する底板
１３Ｂに設置し、天板１３Ａに下チャンバ２２を固定
（本実施形態においては天板１３Ａの一部が下チャンバ
２２の一部を構成）して構成される密閉容器２０とは独
立になる状態で、移動装置４０を架台１１に支持した。

【００３８】従って、本実施形態によれば以下の作用が
ある。 上下のガラス基板１、２の位置合わせのために、密閉
容器２０内の減圧下で上ステージ５１と下ステージ５２
を相対移動させる移動装置４０（例えばＸＹテーブル４
１）を密閉容器２０には独立に架台１１に支持した。従
って、密閉容器２０の密閉空間２５を形成する部分が、
減圧下で、大気圧との差圧の影響により撓んでも、この
撓みが移動装置４０の駆動精度（例えばＸＹテーブル４
１のＸ方向の角度ずれやＹ方向の角度ずれ）に影響しな
い。これにより、移動装置４０の駆動精度を良好に維持
し、上下のガラス基板１、２の位置合わせ精度を向上さ
せることができる。

【００３９】移動装置４０と密閉容器２０とを結合部
材４３の周囲で可撓隔壁部材４４により連結し、密閉容
器２０及び可撓隔壁部材４４が区画形成する密閉空間２
５に上下のステージ５１、５２と結合部材４３とを配置
するようにした。従って、密閉空間２５の中で動く部材
は、上下のステージ５１、５２と結合部材４３だけとな
り、移動装置４０を含まない。これにより、密閉空間２
５の中で発生する発塵を少なくできるし、密閉空間２５
の容積を少なくして減圧のための排気時間を短くでき
る。また、移動装置４０等の構造物を密閉容器２０内に
配置した場合に比べ、密閉容器２０内に配置される構造
物を少なくでき、構造物の表面に付着した油等の汚れか
ら発散するガス等を低減させることができ、これによっ
ても排気時間の短縮が可能である。

【００４０】尚、上述の基板貼り合せ装置１０にあって
は、密閉容器２０を上下に分割したチャンバ２１、２２
にて構成し、上チャンバ２１を上ステージ５１とともに
上下動させることで上下のチャンバ２１、２２間及び上
下ステージ５１、５２間に上ガラス基板１及び下ガラス
基板２を導入するためのスペースを形成するようにし
た。これにより、単一のチャンバからなる密閉容器内で
上ステージを昇降動させる構成とし、上ガラス基板１及
び下ガラス基板２を導入するときには、上ステージを上
昇させかつ密閉容器に設けたガラス基板１、２導入用の
開閉扉を開くようにしたものに比べて、密閉容器にて形
成される密閉空間２５を小さくできる。

【００４１】（第２実施形態）（図２） 第２実施形態が第１実施形態と異なる点は、密閉容器２
０の下チャンパ２２が固定される下部構造体１３の天板
１３Ａと下ステージ５２の裏面とを、移動装置４０と下
ステージ５２を結合する結合部材４３の周囲で可撓隔壁
部材９０により連結したことにある。密閉容器２０が下
部構造体１３の天板１３Ａ及び可撓隔壁部材９０ととも
に区画形成する密閉空間２５に下ステージ５２を配置し
たものである。

【００４２】本実施形態によれば、上記の作用に加え
下記を有する。すなわち密閉容器２０と一体の下部構造
体１３の天板１３Ａと下ステージ５２とを結合部材４３
の周囲で可撓隔壁部材９０により連結し、密閉容器２０
が下部構造体１３の天板１３Ａ及び可撓隔壁部材９０と
ともに区画形成する密閉空間２５に下ステージ５２を配
置するようにした。従って、密閉空間２５の中で動く部
材は、下ステージ５２だけとなり、移動装置４０と結合
部材４３を含まない。これにより、密閉空間２５の中で
発生する発塵をより少なくできるし、密閉空間２０の容
積をより少なくして減圧のための排気時間をより短くで
きる。また、移動装置４０等の構造物を密閉容器２０内
に配置した場合に比べ、密閉容器２０内に配置される構
造物を極力少なくでき、構造物の表面に付着した油等の
汚れから発散するガス等を低減させることができ、これ
によっても排気時間の短縮が可能である。

【００４３】以上、本発明の実施の形態を図面により詳
述したが、本発明の具体的な構成はこの実施の形態に限
られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の
設計の変更等があっても本発明に含まれる。例えば、本
発明が適用される基板は、ガラス基板に限らず、樹脂基
板でも良い。

【００４４】また、接着剤は、シール剤に限らず、シー
ル性を有していない接着剤を用いることも可能である。

【００４５】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、基板貼り
合わせ装置において、密閉容器の減圧下で上ステージと
下ステージを相対移動させる移動装置の駆動精度を損な
うことなく、上下の基板の位置合わせ精度を向上させる
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は第１実施形態の基板貼り合わせ装置を示
す模式図である。

【図２】図２は第２実施形態の基板貼り合わせ装置を示
す模式図である。

【符号の説明】

１ 上ガラス基板（上基板） ２ 下ガラス基板（下基板） １０ 基板貼り合わせ装置 １１ 架台 ２０ 密閉容器 ２５ 密閉空間 ４０ 移動装置 ４３ 結合部材 ４４、９０ 可撓隔壁部材 ５１ 上ステージ ５２ 下ステージ ６０ 圧力調整装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H088 FA01 FA03 FA04 FA16 FA17 FA30 HA01 MA20 2H089 LA41 NA39 NA44 NA45 NA60 QA12 TA01 5G435 AA17 BB12 CC09 KK05 LL06 LL07 LL08

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 上基板を保持する上ステージと、下基板
   を保持する下ステージと、上ステージと下ステージが配
   置される密閉空間を区画形成する密閉容器と、密閉容器
   内の圧力を調整する圧力調整装置とを有し、圧力調整装
   置による密閉容器内の圧力の減圧下にて上基板と下基板
   とを接着剤を介して貼り合わせる基板貼り合わせ装置で
   あって、 上ステージと下ステージとを少なくとも基板の面方向で
   相対移動させる移動装置を有し、 移動装置が、密閉容器とは独立に架台に支持される基板
   貼り合わせ装置。
2. 【請求項２】 移動装置と上下のステージの少なくとも
   一方のステージとを結合部材により結合し、移動装置と
   密閉容器とを結合部材の周囲で可撓隔壁部材により連結
   し、密閉容器及び可撓隔壁部材が区画形成する密閉空間
   に上下のステージと結合部材とを配置する請求項１に記
   載の基板貼り合わせ装置。
3. 【請求項３】 移動装置と上下のステージの少なくとも
   一方のステージとを結合部材により結合し、密閉容器と
   上記の少なくとも一方のステージとを結合部材の周囲で
   可撓隔壁部材により連結し、密閉容器及び可撓隔壁部材
   が区画形成する密閉空間に上下のステージを配置する請
   求項１に記載の基板貼り合わせ装置。