JP2003270606A - 基板貼り合わせ装置および基板貼り合わせ方法 - Google Patents

基板貼り合わせ装置および基板貼り合わせ方法

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Abstract

(57)【要約】 【目的】 貼り合わせ時に上基板と下基板に付与され
る衝撃力を軽減し、基板の損傷を防止することで歩留ま
りを向上させること。 【構成】 上吸着ヘッド１０にて保持された上ガラス
基板３と下吸着ヘッド１１にて保持された下ガラス基板
４とがシール剤５を介して少なくとも当接されるときに
は、エアシリンダ２５、２５により上吸着ヘッド１０
に、上吸着ヘッド１０の自重と釣合う大きさの引き上げ
力を作用させて上吸着ヘッド１０の自重を相殺した状態
で上ガラス基板３と下ガラス基板４とをシール剤５を介
して当接させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、対向配置された上
基板と下基板とを接着剤を介して貼り合わせる基板貼り
合わせ装置および基板貼り合わせ方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば液晶パネルの製造においては、真
空状態下にて２枚のガラス基板を接着剤なるシール剤を
介して貼り合わせることが行なわれる。
【０００３】ここで、従来知られている貼り合わせ工程
について、用いられる装置とともに説明する。
【０００４】図１１乃至図１４は、従来の貼り合わせ工
程を示す概念図で、まず図１１に示すように、上吸着ヘ
ッド１と下吸着ヘッド２にそれぞれ上ガラス基板３、下
ガラス基板４が供給され、上ガラス基板３、下ガラス基
板４はそれぞれ吸着保持される。
【０００５】上吸着ヘッド１は、Ｘ−Ｙ−θ方向並びに
上下方向に移動できるように構成されるとともに、上吸
着ヘッド１、下吸着ヘッド２は、その駆動装置も含め
て、全体が真空チャンバ内に配置され、この時は大気圧
とされる。
【０００６】そこで、上吸着ヘッド１と下吸着ヘッド２
に上ガラス基板３、下ガラス基板４がそれぞれ供給され
ると、真空チャンバ内は真空とされる。
【０００７】次に、図１２に示すように、上吸着ヘッド
１を吊り下げ支持するエアシリンダへの供給圧力を低下
させることにより、上吸着ヘッド１を自重により下降さ
せ、上ガラス基板３を下ガラス基板４にシール剤を介し
て当接させる。その後、エアシリンダに予め設定された
圧力の圧縮空気を供給し、上吸着ヘッド１に引き上げ力
を作用させ、上ガラス基板３と下ガラス基板４とを上吸
着ヘッド１の自重とエアシリンダによる引き上げ力との
差に基づく所定の押圧力で押し付ける。なお、この上吸
着ヘッド１の下動に先立ち、カメラ等を用いて両ガラス
基板の相対位置のずれ状態が検出され、このずれ状態を
修正するように上吸着ヘッド１が、必要に応じてＸ−Ｙ
方向、そしてθ方向に移動するようになっている。
【０００８】また、下ガラス基板４の上面には、図１４
に示すように、基板縁に沿って予め閉ループ状にシール
剤５が塗布されていて、しかも、このシール剤５が堰の
役割を果たすようにして下ガラス基板４上に滴下された
液晶６が流出するのを防いでいる。従って、上ガラス基
板３の押し付けにより、２枚のガラス基板３、４はシー
ル剤５にて貼り合わせられるとともに、両ガラス基板間
に液晶が封入された状態となる。
【０００９】次に、真空室内の真空を解除して大気状態
に戻すとともに、上吸着ヘッド１、下吸着ヘッド２によ
る吸着を解き、そして図１３に示すように、上吸着ヘッ
ド１を上昇させる。そして、貼り合わせの終了したガラ
ス基板は、この貼り合わせ装置より搬出される。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】ところで、近年の液晶
パネルの大型化に伴い、貼り合わせ装置が取り扱うガラ
ス基板３、４も大型化する傾向にある。このため、ガラ
ス基板３、４を保持する上下の吸着ヘッド１、２も大型
化する必要が生じるが、これにより下記の問題が生じる
おそれが出てきた。
【００１１】すなわち、大型化した吸着ヘッド１、２は
その分重量も増大する。そして、ガラス基板３、４の貼
り合わせに際し、このような大重量の上吸着ヘッド１を
エアシリンダで吊り下げた状態で下動させた場合、上ガ
ラス基板３と下ガラス基板４とが当接したときに、ガラ
ス基板３、４には上吸着ヘッド１の自重による必要以上
の押圧力が急激に印加され、このときに生じる衝撃力に
よりガラス基板３、４が損傷してしまうのである。
【００１２】そこで本発明は、貼り合わせ時に上基板と
下基板に付与される衝撃力を軽減し、基板の損傷を防止
することで歩留まりを向上させることができる基板貼り
合わせ装置および基板貼り合わせ方法を提供することを
目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明は、上基板を保持
する上吸着ヘッドと下基板を保持する下吸着ヘッドとを
互いに対向して配置し、前記上吸着ヘッドと前記下吸着
ヘッドとを相対的に近接させることにて、前記上吸着ヘ
ッドにて保持された前記上基板と前記下吸着ヘッドにて
保持された前記下基板とを接着剤を介して貼り合わせる
ものであって、前記上吸着ヘッドにて保持された前記上
基板と前記下吸着ヘッドにて保持された前記下基板とが
接着剤を介して少なくとも当接されるときに、前記上吸
着ヘッドと前記下吸着ヘッドとの少なくともいずれか一
方に引き上げ力を付与することを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面を用い
て説明する。
【００１５】図１は、本発明に係る基板貼り合わせ装置
の構成を示す一部断面正面図である。
【００１６】基板貼り合わせ装置１００は、上部構造体
２０、下部構造体４０、減圧装置６０、昇圧装置７０を
有してなる。
【００１７】上部構造体２０は、上ガラス基板３を保持
する上吸着ヘッド１０、この上吸着ヘッド１０を上側か
ら覆うように配置されたチャンバ上蓋１２、上吸着ヘッ
ド１０およびチャンバ上蓋１２を昇降自在に支持する枠
体２１、枠体２１を昇降自在に支持する架台２２を有す
る。
【００１８】上吸着ヘッド１０は、その上面に固定され
た連結部材としての一対の支柱１０ａを有し、この支柱
１０ａの上部は、枠体２１に設けられた貫通孔を通して
枠体２１内に突出される。枠体２１内に突出した一対の
支柱１０ａの上部には、水平の梁１０ｂが架け渡されて
固定される。そして、この水平の梁１０ｂには、カムフ
ォロア１０ｄが回転自在に設けられる。このカムフォロ
ア１０ｄは、枠体２１内の底面２１ａに荷重検出器（検
出手段）２３を介し、かつ不図示のガイド機構によりス
ライド自在に設けられたカム部材として用いられるリフ
トカム２４に当接される。このリフトカム２４は、上面
を所定角度の傾斜面２４ａに形成され、ボールねじ機構
等の不図示の駆動装置により図面左右方向に進退動する
ことにより、傾斜面２４ａに当接されたカムフォロア１
０ｄを昇降動させ、これにより上吸着ヘッド１０を昇降
動させるものであり、昇降装置として機能する。また、
リフトカム２４とカムフォロア１０ｄは係止手段として
も機能する。
【００１９】一対の支柱１０ａの上端は、枠体２１の天
井面２１ｂに固定された引上げ力付与手段として用いら
れる一対のエアシリンダ２５、２５の作動ロッド２５
ａ、２５ａに連結される。そして、エアシリンダ２５、
２５は、上吸着ヘッド１０の自重と釣合う引上げ力を生
じさせ得る圧力の圧縮空気を供給することで上吸着ヘッ
ド１０の自重を相殺することができるようになってい
る。なおここで、上吸着ヘッド１０の自重とエアシリン
ダ２５、２５による引き上げ力との差に基づく荷重は、
荷重検出器２３にて検出することができる。
【００２０】また、枠体２１の天井面２１ｂにおけるカ
ムフォロア１０ｄに対応する位置には、押付け力付与手
段として用いられるエアシリンダ２６がその作動ロッド
２６ａを下方に向けて配置されており、作動ロッド２６
ａはカムフォロア１０ｄ上に当接可能とされる。これに
より、カムフォロア１０ｄがリフトカム２４から離隔し
たときには、エアシリンダ２６によりカムフォロア１０
ｄを介して上吸着ヘッド１０に押圧力を付与することが
できる。また、カムフォロア１０ｄをリフトカム２４に
当接させた状態で、エアシリンダ２６による押圧力を荷
重検出器２３で検出することができるので、この状態下
で、荷重検出器２３の検出値に基づいてエアシリンダ２
６にて付与する押圧力の大きさを設定しておくことで、
上吸着ヘッド１０に所定の大きさの押圧力を付与するこ
とができる。
【００２１】この設定方法の一例を説明すれば下記のと
おりである。
【００２２】すなわち、まず、荷重検出器２３の検出結
果から得られる荷重が“０”となるように、エアシリン
ダ２５に供給する圧縮空気の圧力の大きさを調整し、例
えば後述する制御装置８０の記憶部に設定する。これに
より、上吸着ヘッド１０の自重が相殺される。次にこの
状態を維持したままで、エアシリンダ２６を作動させ、
荷重検出器２３の検出結果から得られる荷重が目標とす
る押圧力（上吸着ヘッド１０に付与すべき押圧力）と一
致するように、エアシリンダ２６に供給する圧縮空気の
圧力の大きさを調整し、例えば後述する制御装置８０の
記憶部に設定する。これにより、上ガラス基板３がシー
ル剤５を介して下ガラス基板４に当接してカムフォロア
１０ｄがリフトカム２４から離隔したときには、上吸着
ヘッド１０に目標押圧力が付与される。なお、図１で
は、荷重検出器２３は、常にリフトカム２４とリフトカ
ム２４のガイド機構の自重ｗに相当する荷重を受ける構
成とされているが、この自重ｗに相当する荷重が荷重検
出器２３の検出結果に対する補正値として予め設定され
ており、自重ｗのみを受けた状態での検出結果から得ら
れる荷重は“０”とみなされる。
【００２３】チャンバ上蓋１２は、枠体２１の下面２１
ｃに設けられた一対の昇降用エアシリンダ２７の作動ロ
ッド２７ａに連結されており、エアシリンダ２７の作動
により昇降動される。また、チャンバ上蓋１２には、上
吸着ヘッド１０の支柱１０ａの対応位置に支柱１０ａよ
りも大径の開孔を有し、この開孔に支柱１０ａを通すこ
とで、上吸着ヘッド１０との上下方向の相対移動を許容
する。
【００２４】枠体２１は、架台２２上端の水平部２２ａ
に固定された昇降用エアシリンダ２８の作動ロッド２８
ａに連結される。
【００２５】なお、一対の支柱１０ａにおける、チャン
バ上蓋１２と枠体２１の間には、平板２９が固定され、
この平板２９とチャンバ上蓋１２との間には、支柱１０
ａ毎に支柱１０ａを包囲する円筒状の弾性部材（気密部
材）３０が配置される。この弾性部材３０は、その上端
のフランジ部が平板２９に密着固定されるとともに下端
のフランジ部がチャンバ上蓋１２に密着固定されてお
り、チャンバ上蓋１２と後述する下部構造体４０のチャ
ンバ下蓋１３とで形成される密閉容器としての密閉チャ
ンバ内と外部との気密を保持し、かつ自身が弾性変形す
ることにより、上吸着ヘッド１０とチャンバ上蓋１２と
の上下方向の相対移動を許容する。
【００２６】また、平板２９と枠体２１との間には、弾
性部材３０と同数でかつ弾性部材３０と同じ径（断面
積）を有する円筒状の弾性部材３１が、その上端のフラ
ンジ部が枠体２１の下面２１ｃに密着固定されるととも
に下端のフランジ部が平板２９に密着固定されて配置さ
れる。この弾性部材３１は、その内部空間とチャンバ上
蓋１２の内側空間とを不図示の連通管にて連通される。
このように構成することにより、チャンバ上蓋１２と下
部構造体４０のチャンバ下蓋１３とで形成される密閉チ
ャンバ内を減圧した際、弾性部材３１内が同様の減圧状
態となり、弾性部材３１が収縮されることとなる。これ
により、弾性部材３１は、同じく密閉チャンバ内を減圧
した際に収縮する弾性部材３０によって生じる上吸着ヘ
ッド１０を押し下げようとする力を打ち消す反力付与手
段として作用するのである。
【００２７】下部構造体４０は、下ガラス基板４を保持
する下吸着ヘッド１１、この下吸着ヘッド１１を下側か
ら覆うように配置され、チャンバ上蓋１２と合わさって
密閉チャンバを形成するチャンバ下蓋１３、および下吸
着ヘッド１１の移動装置４１を有する。
【００２８】下吸着ヘッド１１は、支柱１１ａを介し
て、移動装置４１の移動ステージ４２上に支持される。
【００２９】チャンバ下蓋１３は、基台４８に固定配置
されており、支柱１１ａを通すための、支柱１１ａより
も大径の開孔を有する。この開孔は、支柱１１ａの水平
移動を許容する。
【００３０】また、チャンバ下蓋１３と移動テーブル４
２との間には、支柱１１ａを包囲する円筒状の弾性部材
４９が配置される。ここで、弾性部材４９は、その上端
のフランジ部がチャンバ下蓋１３に密着固定されるとと
もに下端のフランジ部が移動テーブル４２に密着固定さ
れており、チャンバ上蓋１２とチャンバ下蓋１３とで形
成される密閉チャンバ内と外部との気密を保持し、かつ
自身の弾性変形により、下吸着ヘッド１１とチャンバ下
蓋１３との水平方向の相対移動を許容する。
【００３１】移動テーブル４２は、基台４８上に固定配
置された移動ステージ４３上に搭載されており、この移
動ステージ４３の作動によりＸ方向、Ｙ方向および回転
（θ）方向に移動可能とされる。
【００３２】また、移動テーブル４２上には、上下の吸
着ヘッド１０、１１に保持された上下のガラス基板３、
４の各コーナー部に対応する位置に、ガラス基板３、４
に付された位置検出用マークを撮像するためのカメラ５
４がそれぞれ配置される。なお、図示は省略している
が、下吸着ヘッド１１およびチャンバ下蓋１３における
カメラ５４に対応する部分はそれぞれ石英ガラス等の透
明板で形成されており、この透明板を通して上吸着ヘッ
ド１０にて保持された上ガラス基板３と下吸着ヘッド１
１にて保持された下ガラス基板４の位置検出用マークが
撮像可能とされる。
【００３３】減圧装置６０は、真空源６１と、真空源６
１とチャンバ下蓋１３とを連通する連通管６２とを有す
る。
【００３４】昇圧装置７０は、窒素ガスを供給するガス
供給源７１と、ガス供給源７１とチャンバ下蓋１３とを
連通する連通管７２とを有する。
【００３５】また、図２に示すように、貼り合わせ装置
１００は制御装置８０を有する。この制御装置８０は、
シリンダ駆動部８１を介して各エアシリンダ２５、２
６、２７、２８に接続されるとともに、移動ステージ４
３および荷重検出器２３に接続される。
【００３６】次に、作動について説明する。
【００３７】まず図３に示すように、前工程よりガラス
基板３、４を搬送するための供給アーム９０により上ガ
ラス基板３が下吸着ヘッド１１上に搬入される。この
時、例えば不図示のリフトピンが下吸着ヘッド１１の上
面より突出され、搬入された上ガラス基板３は、このリ
フトピンで一時的に保持される。供給アーム９０が待避
すると、リフトピンは下降し、上ガラス基板３を下吸着
ヘッド１１上に載置する（図４）。そして次に、昇降用
エアシリンダ２８およびリフトカム２４の作動により上
吸着ヘッド１０が下吸着ヘッド１１上に保持された上ガ
ラス基板３に接する高さまで下降し、上吸着ヘッド１０
が上ガラス基板３を吸着保持する（図５）。なおここ
で、上吸着ヘッド１０による上ガラス基板３の吸着方法
としては、例えば、静電チャックによる吸着方法を用い
ることができる。その後、上吸着ヘッド１０は上ガラス
基板を保持して上昇する（図６）。この時、不図示のリ
フトピンが再度上昇する。
【００３８】次に、供給アーム９０が下ガラス基板４を
搬入する（図７）。この下ガラス基板４には、接着剤と
してのシール剤５が塗布されていること、シール剤の内
側には所定量の液晶が滴下されていることは従来と同様
である。そして下ガラス基板４をリフトピン上に残すよ
うにして供給アーム９０は待避する。
【００３９】この後、リフトピンは下降するとともに、
下ガラス基板４は、下吸着ヘッド１１により吸着保持さ
れる。なおここで、下吸着ヘッド１１による下ガラス基
板４の吸着方法としても、静電チャックによる吸着方法
を用いることができる。
【００４０】次に両ガラス基板３、４の位置合わせが行
なわれる。
【００４１】まず、エアシリンダ２８を作動させ、上ガ
ラス基板３が下ガラス基板４に接近する位置まで、上吸
着ヘッド１０を下降させる。つまり、エアシリンダ２８
の昇降ストロークは、上吸着ヘッド１０と下吸着ヘッド
１１との間に供給アーム９０による各ガラス基板３、４
の供給可能な間隔を形成するための待機位置と、上ガラ
ス基板３と下ガラス基板４との位置合せを行なうための
位置合わせ位置との間で上吸着ヘッドを移動させること
ができるストロークに調整される。
【００４２】そして、エアシリンダ２７を作動させ、チ
ャンバ上蓋１２を上吸着ヘッド１０に対してさらに下降
させ、その先端をチャンバ下蓋１３の上端に接触させ、
チャンバ上蓋１２、チャンバ下蓋１３にて、密閉チャン
バを形成する（図８）。
【００４３】次に、減圧装置６０にてチャンバ上蓋１２
とチャンバ下蓋１３とで形成された密閉チャンバ内を減
圧する。そして真空度が規定値に達したことが確認され
たとき、位置合わせが開始される。この位置合わせは、
それぞれのガラス基板３、４に設けた位置検出用マーク
をカメラ５４で撮像し、それにて得られた画像データを
画像処理することにて行なわれる。そして、検出された
上ガラス基板３と下ガラス基板４との位置ずれ状態にも
とづき、下吸着ヘッド１１を必要に応じてＸ−Ｙ−θ方
向に移動させ下ガラス基板４を移動させることで行な
う。この実施の形態では、位置ずれ状態の許容範囲が予
め定められていて、位置合わせ後にずれ状態を再度検出
し、そのずれ状態が許容範囲に入るまで下吸着ヘッド１
１の移動による位置合わせが繰り返される。
【００４４】このようにして、位置合わせが終了する
と、不図示の駆動機構にてリフトカム２４を図示右方向
に移動させることにより上吸着ヘッド１０がさらに下降
され、上ガラス基板３が下ガラス基板４にシール剤５を
介して当接する。このとき、エアシリンダ２５、２５に
は、上吸着ヘッド１０の自重を相殺するために上吸着ヘ
ッド１０の自重と釣合う大きさの引上げ力を生じさせる
圧力の圧縮空気がシリンダ駆動部８１を介して供給され
ている。また、エアシリンダ２６には、カムフォロア１
０ｄをリフトカム２４の傾斜面２４ａに沿って下降させ
るに必要な僅かな押圧力を作用させる圧力の圧縮空気が
供給される。
【００４５】その後、リフトカム２４の更なる右方向へ
の移動により、カムフォロア１０ｄがリフトカム２４の
傾斜面２４ａ上から離隔する。そして、エアシリンダ２
６には、カムフォロア１０ｄがリフトカム２４の傾斜面
２４ａ上から離隔したタイミングで設定された圧力の空
気が供給され、これにより、上ガラス基板３と下ガラス
基板４とには必要な押圧力が付与され、両ガラス基板
３、４は、間にシール剤５を介して、しかも液晶６を封
入した状態で貼り合わされることになる（図９）。なお
ここで、カムフォロア１０ｄがリフトカム２４から離隔
した時点で、荷重検出器２３にて検出される荷重がエア
シリンダ２６による押圧力に相当する荷重から“０”に
切り換るので、カムフォロア１０ｄがリフトカム２４か
ら離隔したタイミングは、荷重検出器２３の検出値を監
視することでを得ることができる。
【００４６】なお、この貼り合わせの終了後に再度カメ
ラ５４で両ガラス基板の位置ずれ状態を検出し、ずれが
許容値を超えていた場合、下吸着ヘッド１１を移動させ
ることで、位置ずれを解消するようにしている。こうす
ることで、貼り合わせたときに発生した位置ずれを解消
することができる。
【００４７】さて、このようにして貼り合わせが終了す
ると、図９に示した状態で、昇圧装置７０にて密封チャ
ンバ内に窒素ガスを注入し大気圧に戻す。窒素ガスの注
入で大気圧に戻すことで、窒素に代わり大気を注入した
ときに発生する結露を防止できる。
【００４８】密封チャンバ内が大気圧に戻されると、上
吸着ヘッド１０、下吸着ヘッド１１によるガラス基板
３、４の吸着を解除する。
【００４９】次に、エアシリンダ２７を作動させてチャ
ンバ上蓋１２を上昇させるとともに、不図示の駆動機構
にてリフトカム２４を図示左方向に移動させるとともに
エアシリンダ２８を作動させて上吸着ヘッド１０を上昇
させる。これにより、チャンバ上蓋１２とチャンバ下蓋
１３との接触面も離れ、密封チャンバは解放される（図
１０）。
【００５０】そして、リフトピン（不図示）が上昇し、
貼り合わせの終了したガラス基板３、４は下吸着ヘッド
１１の上面より持ち上げられ、そして不図示だが、供給
アーム９０と同様な搬出アームにて次工程に搬出され
る。
【００５１】上記した実施の形態によれば、上吸着ヘッ
ド１０に保持された上ガラス基板３を下吸着ヘッド１１
に保持された下ガラス基板４にシール剤５を介して当接
させるときに、エアシリンダ２５にて上吸着ヘッド１０
に引上げ力を付与して上吸着ヘッド１０の自重を相殺す
るようにしているので、上吸着ヘッド１０が重量物であ
る場合でも、上吸着ヘッド１０の自重が作用した状態で
上ガラス基板３を下ガラス基板４に当接させる場合に比
べて、当接時にガラス基板３、４に付与される衝撃力を
軽減させることができる。このため、ガラス基板３、４
を貼り合わせる際にガラス基板３、４に大きな衝撃が加
わりガラス基板３、４が破損することが防止でき、歩留
まりを向上させることが可能となる。
【００５２】また、エアシリンダ２５にて上吸着ヘッド
１０に引上げ力を付与して上吸着ヘッド１０の自重を相
殺した状態で、エアシリンダ２６にて上吸着ヘッド１０
に所定の押圧力を作用させるようにしたので、エアシリ
ンダ２６による押圧力のみでガラス基板３、４を貼り付
ける際の押圧力を管理することができ、ガラス基板３、
４の貼り付け押圧力を容易かつ正確に調整することがで
きる。
【００５３】また、エアシリンダ２６による押圧力を荷
重検出器２３を用いて検出し、この検出結果に基づいて
制御装置８０にて所定の押圧力が得られるようにエアシ
リンダ２６に供給する圧縮空気圧を調整するので、更に
正確にガラス基板３、４の押圧力を調整することができ
る。
【００５４】また、平板２９と枠体２１との間に弾性部
材３１を設け、密閉チャンバ内が真空状態にされたとき
に、弾性部材３０内が同じ真空状態となって収縮するこ
とにより上吸着ヘッド１０に作用される押し下げ力を、
弾性部材３１内を密閉チャンバ内の真空状態と同等の真
空状態として弾性部材３１を収縮させることで打ち消す
ようにしたので、密閉チャンバの外に上吸着ヘッド１０
に対して押し付け力を付与する押付け力付与手段（エア
シリンダ２６）を配置した場合でも、密閉チャンバ内と
外部との差圧に起因する上吸着ヘッド１０の押圧力の変
動を防止できるので、上吸着ヘッド１０に予定された押
圧力を正確に作用させることができる。またこの場合、
弾性部材３１内は密閉チャンバ内と連通されており、弾
性部材３１内は密閉チャンバ内の圧力変化に追従して密
閉チャンバ内と同じ圧力となることから、弾性部材３１
に弾性部材３０に対する反力を作用させるための特別の
駆動源を設ける必要が無く、装置構成を簡略化できると
いう利点を有する。
【００５５】また、上記実施の形態によれば、リフトカ
ム２４とカムフォロア１０ｄを有してなる昇降装置と上
吸着ヘッド１０とを支柱１０ａを介して連結するととも
にこの支柱１０ａとチャンバ上蓋１２とを弾性部材３０
にて相対移動自在に連結し、また移動装置４１の移動ス
テージ４２と下吸着ヘッド１１とを支柱１１ａを介して
連結するとともにこの支柱１１ａとチャンバ下蓋１３と
を弾性部材４９にて連結したので、密閉チャンバの気密
を保ちつつ発塵源となりやすい昇降装置および移動ステ
ージ４３を密閉チャンバの外側に配置することができ
る。これにより、密閉チャンバ内を減圧する際に昇降装
置や移動ステージ４３等の駆動機構から塵等で汚染され
たガスが噴き出すことにより密閉チャンバ内の真空雰囲
気が汚染されることが防止でき、貼り合わされたガラス
基板３、４の品質を高水準に保持することが可能とな
る。
【００５６】また、上記により比較的大きな配置スペー
スを必要とする昇降装置および移動ステージ４３を密閉
チャンバの外側に配置することができることから、密閉
チャンバ（チャンバ上蓋１２、チャンバ下蓋１３）の容
積を極力小さくすることができるので、減圧装置６０に
より密閉チャンバ内を減圧するに要する時間を短縮する
ことができ、これにより、貼り合わせ装置１００の生産
性を向上させることが可能となる。
【００５７】また、カムフォロア１０ｄがリフトカム２
４の傾斜面２４ａ上から離隔するまでの間、エアシリン
ダ２６に適当な大きさの圧縮空気圧を供給しカムフォロ
ア１０ｄに僅かな押圧力を付与しておくことで、上ガラ
ス基板３が下ガラス基板４にシール剤５を介して当接し
たタイミングを荷重検出器２３を用いて検出することを
可能とした。すなわち、上ガラス基板３が下ガラス基板
４にシール剤５を介して当接するまでの間は、荷重検出
器２３からはエアシリンダ２６による押圧力に応じた荷
重が検出されるが、上ガラス基板３が下ガラス基板４に
シール剤５を介して当接しカムフォロア１０ｄがリフト
カム２４から離隔すると、荷重検出器２３の検出結果か
ら得られる荷重は、“０”に切り換る。この検出値に変
化が生じたタイミングをガラス基板３、４が当接したタ
イミングとして得ることができるのである。これによ
り、ガラス基板３、４の厚みのばらつき等の要因によ
り、上ガラス基板３が下ガラス基板４に当接するタイミ
ングにばらつきが生じる場合であっても、上ガラス基板
３と下ガラス基板４とがシール剤５を介して当接したタ
イミングを正確に把握することができる。この結果、例
えば、ガラス基板３、４が当接した時点から所定の押圧
力を付与する場合には、その押圧力の付与タイミングを
正確に制御することができ、また、シール剤５の押し潰
し量を所定の押圧力を付与する時間で管理する場合に
は、その印加時間を正確に管理することが可能となる。
特に、後者の場合、シール剤５の塗布状態が常に一定で
あれば、シール剤５を常に予定された押し潰し量で押し
潰すことが可能となり、この結果、ガラス基板３、４を
予定されたギャップで貼り合わせることができ、最終製
品としての液晶パネルの品質を向上させることができる
という効果が得られる。
【００５８】なお上記実施の形態において、エアシリン
ダ２５、２５にて上吸着ヘッド１０の自重に釣合う引上
げ力を付与して上吸着ヘッド１０の自重を相殺した状態
で、エアシリンダ２６にて上吸着ヘッド１０に所定の押
圧力を作用させるようにした例で説明したが、これに限
られるものではなく、例えば、図１に示した貼り合わせ
装置１００において、エアシリンダ２６を設けることな
く、エアシリンダ２５、２５による引上げ力を上吸着ヘ
ッド１０の自重に相当する引上げ力よりも小さい値に調
整することで、エアシリンダ２５、２５による引上げ力
と上吸着ヘッド１０の自重との差に基づく押圧力を上吸
着ヘッド１０に作用させるようにしてもよい。この場
合、前もって、荷重検出器２３にて検出された荷重が所
定の荷重（貼り合わせに必要な大きさの押圧力）となる
ようにエアシリンダ２５、２５に付与する圧縮空気の圧
力の大きさを調整し設定しておくことで、上吸着ヘッド
１０に予定された押圧力を正確に作用させることが可能
である。またここで、エアシリンダ２５、２５に付与す
る圧縮空気の圧力を、上ガラス基板３が下ガラス基板４
にシール剤５を介して当接するまでは上吸着ヘッド１０
の自重と釣合う引き上げ力を生じさせる大きさに制御
し、当接後に予め荷重検出器２３を用いて設定しておい
た大きさに制御するように切替えることで、当接時にガ
ラス基板３、４に加わる衝撃を軽減させることができ
る。この場合にも、カムフォロア１０ｄがリフトカム２
４の傾斜面２４ａから離隔するまでの間、エアシリンダ
２５、２５による引上げ力を上吸着ヘッド１０の自重に
相当する引上げ力よりも若干小さい値に設定しておけ
ば、リフトカム２４の移動時にカムフォロア１０ｄをリ
フトカム２４の傾斜面２４ａに沿って円滑に下降させる
ことができ、また、荷重検出器２３の検出値の切り換り
により上ガラス基板３が下ガラス基板４にシール剤５を
介して当接したタイミングを知ることができる。
【００５９】なお例えば、上吸着ヘッド１０が重量物で
構成されている場合、高い出力が得られるエアシリンダ
２５、２５を用いる必要があるが、一般にエアシリンダ
は出力が大きくなるほど細かい出力（引上げ力）の制御
が困難になる傾向がある。そこで、このような場合に
は、エアシリンダ２５、２５では上吸着ヘッド１０の自
重に近い大きさの引上げ力Ａを付与し、エアシリンダ２
６では、上吸着ヘッド１０の自重Ｂとエアシリンダ２
５、２５の引き上げ力Ａとの差分の押圧力を貼り合わせ
に必要な押圧力Ｃから引いた大きさの押圧力（Ｃ−（Ｂ
−Ａ））を付与する。このとき、エアシリンダ２６は、
上記差分の押圧力を付与できる出力が得られれば足りる
ので、エアシリンダ２５に比べて小さな出力のエアシリ
ンダを用いることが可能となり、出力を比較的細かく制
御することができる。このようにすることで、上記差分
の押圧力をエアシリンダ２６を用いて精度良く付与する
ことができ、上吸着ヘッド１０に作用させる押圧力を精
度良く制御することが可能となり、重力物の上吸着ヘッ
ド１０を用いた場合でも、貼り合わせの際の押圧力を正
確に付与することが可能となる。またこの場合にも、エ
アシリンダ２５、２５の引き上げ力Ａを上吸着ヘッド１
０の自重Ｂよりも大きな値に設定し、エアシリンダ２６
に供給する圧縮空気の圧力の大きさを制御することによ
り、上ガラス基板３が下ガラス基板４にシール剤５を介
して当接するまでは上吸着ヘッド１０の自重を相殺して
おき、当接後に上吸着ヘッド１０に予定された押圧力Ｃ
が作用するように制御すれば、当接時にガラス基板３、
４に加わる衝撃を軽減することができる。さらにまた、
カムフォロア１０ｄがリフトカム２４の傾斜面２４ａか
ら離隔するまでの間、エアシリンダ２６によりカムフォ
ロア１０ｄに僅かな押圧力を付与しておくことで、リフ
トカム２４の移動時におけるカムフォロア１０ｄのリフ
トカム２４の傾斜面２４ａに沿った円滑の下降、およ
び、荷重検出器２３の検出値の切り換りによる上ガラス
基板３の下ガラス基板４へのシール剤５を介した当接タ
イミングの検知が可能である。
【００６０】また、貼り合わせ時にガラス基板３、４に
付与する押圧力が比較的小さく、上ガラス基板３が下ガ
ラス基板４にシール剤５を介して当接する際に、貼り合
わせに必要な押圧力が付与されていてもガラス基板３、
４を損傷するおそれがない場合には、エアシリンダ２６
による押圧力をカムフォロア１０ｄがリフトカム２４か
ら離隔するより以前から作用させておくことも可能であ
る。この場合には、カムフォロア１０ｄがリフトカム２
４から離隔した時点で両ガラス基板３、４に直ちに所定
の押圧力を付与することができると言う効果がある。
【００６１】また、密閉チャンバ内が減圧されたときに
弾性部材３０によって作用される上吸着ヘッド１０を引
き下げようとする力を打ち消すための力を、弾性部材３
１の代わりにエアシリンダ等の他の駆動源を用いて付与
するようにしてもよい。
【００６２】また、ガラス基板３、４の貼り合わせ動作
中、エアシリンダ２６の制御は、上吸着ヘッド１０に一
定の押圧力を作用させる制御だけではなく、多段階、或
いは時々刻々と押圧力を変化させるような制御を行なう
ことも可能である。
【００６３】また、荷重検出器２３をリフトカム２４と
枠体２１との間に設けた例で説明したが、上吸着ヘッド
１０に作用される押圧力を検出可能な位置であればよ
い。
【００６４】また、基板としてガラス基板３、４を用い
た例で説明したが、他の材料、例えば、樹脂基板を用い
ることも可能である。
【００６５】さらに、上吸着ヘッド１０の自重をエアシ
リンダ２５、２５を用いて相殺する例で説明したが、上
吸着ヘッド１０の代わりに下吸着ヘッド１１に自重を相
殺するための機構を設けてもよく、また上吸着ヘッド１
０、下吸着ヘッド１１の両方に自重を相殺する機構を設
けても構わない。
【００６６】また、上吸着ヘッド１０を上下動させるこ
とにより上ガラス基板３と下ガラス基板４とをシール剤
５を介して当接および押圧するものに限らず、下吸着ヘ
ッド１１を上下動させることによって上述の動作を行な
っても良く、また、上吸着ヘッド１０と下吸着ヘッド１
１とをともに上下動させても良い。
【００６７】また、エアシリンダ（引上げ力付与手段）
２５、２５による上吸着ヘッド１０の引き上げ力は、貼
り合わせに係る動作中常に作用させておいても、ガラス
基板３、４の位置合わせが完了した時点で作用させるよ
うにしても構わない。また、上ガラス基板３を上吸着ヘ
ッド１０に保持させるための上吸着ヘッド１０の下降時
にも、エアシリンダ（引上げ力付与手段）２５、２５に
より上吸着ヘッド１０に引き上げ力を付与し、上吸着ヘ
ッド１０の自重を相殺するようすれば、上吸着ヘッド１
０に上ガラス基板３を保持させる際、上ガラス基板３に
損傷を与えることを防止することが可能である。
【００６８】また、エアシリンダ２５、２５にて相殺す
る自重を便宜上、上吸着ヘッド１０の自重として説明し
たが、実際には、エアシリンダ２５、２５の作動ロッド
２５ａ、２５ａは、上吸着ヘッド１０以外の部材（支柱
１０ａ、梁１０ｂ、カムフォロア１０ｄ、平板２９等）
の自重をも支えていることから、これらの部材の自重を
も相殺するようにエアシリンダ２５、２５による引き上
げ力を調整すれば、上ガラス基板３が下ガラス基板４に
シール剤５を介して当接するときの衝撃をより緩和させ
ることが可能である。
【００６９】また、接着剤は、シール性を有する接着剤
に限らず、シール性を有さない接着剤を用いることも可
能である。
【００７０】
【発明の効果】本発明によれば、貼り合わせ時に上基板
と下基板に付与される衝撃力を軽減させることができる
ことから、基板の損傷を防止することができ、これによ
り歩留まりを向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る貼り合わせ装置の構成を示す一部
断面正面図。
【図２】図１に示す貼り合わせ装置の制御系の構成を示
すブロック図。
【図３】図１の貼り合わせ装置による貼り合わせ手順を
示す模式図。
【図４】図１の貼り合わせ装置による貼り合わせ手順を
示す模式図。
【図５】図１の貼り合わせ装置による貼り合わせ手順を
示す模式図。
【図６】図１の貼り合わせ装置による貼り合わせ手順を
示す模式図。
【図７】図１の貼り合わせ装置による貼り合わせ手順を
示す模式図。
【図８】図１の貼り合わせ装置による貼り合わせ手順を
示す模式図。
【図９】図１の貼り合わせ装置による貼り合わせ手順を
示す模式図。
【図１０】図１の貼り合わせ装置による貼り合わせ手順
を示す模式図。
【図１１】従来の貼り合わせ工程を示す概念図。
【図１２】従来の貼り合わせ工程を示す概念図。
【図１３】従来の貼り合わせ工程を示す概念図。
【図１４】シール剤の塗布状態を示す平面図。
【符号の説明】
３ 上ガラス基板 ４ 下ガラス基板 ５ シール剤（接着剤） ６ 液晶 １０ 上吸着ヘッド １０ｃ カムフォロア １１ 下吸着ヘッド １２ チャンバ上蓋 １３ チャンバ下蓋 １５ リフトピン ２０ 上部構造体 ２１ 枠体 ２２ 架台 ２３ 荷重検出器（検出手段） ２４ リフトカム（カム部材） ２５ エアシリンダ（引上げ力付与手段） ２６ エアシリンダ（押付け力付与手段） ２７ 昇降用エアシリンダ ２８ 昇降用エアシリンダ ２９ 平板 ３０ 弾性部材（気密部材） ３１ 弾性部材（反力付与手段） ４０ 下部構造体 ４１ 移動装置 ４３ 移動ステージ ４９ 弾性部材 ５４ カメラ ６０ 減圧装置 ７０ 昇圧装置 ８０ 制御装置 １００ 基板貼り合わせ装置
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１５年３月１４日（２００３．３．１
４）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００７】次に、図１２に示すように、上吸着ヘッド
１を吊り下げ支持するエアシリンダへの供給圧力を停止
させることにより、上吸着ヘッド１を自重により下降さ
せ、上ガラス基板３を下ガラス基板４にシール剤５を介
して当接させる。その後、エアシリンダに予め設定され
た圧力の圧縮空気を供給し、上吸着ヘッド１に引き上げ
力を作用させ、上ガラス基板３と下ガラス基板４とを上
吸着ヘッド１の自重とエアシリンダによる引き上げ力と
の差に基づく所定の押圧力で押し付ける。なお、この上
吸着ヘッド１の下動に先立ち、カメラ等を用いて両ガラ
ス基板の相対位置のずれ状態が検出され、このずれ状態
を修正するように上吸着ヘッド１が、必要に応じてＸ−
Ｙ方向、そしてθ方向に移動するようになっている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００９】次に、真空チャンバ内の真空を解除して大
気状態に戻すとともに、上吸着ヘッド１、下吸着ヘッド
２による吸着を解き、そして図１３に示すように、上吸
着ヘッド１を上昇させる。そして、貼り合わせの終了し
たガラス基板は、この貼り合わせ装置より搬出される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】ところで、近年の液晶
パネルの大型化に伴い、貼り合わせ装置が取り扱うガラ
ス基板３、４も大型化する傾向にある。このため、ガラ
ス基板３、４を保持する上下の吸着ヘッド１、２も大型
化させる必要が生じるが、これにより下記の問題が生じ
るおそれが出てきた。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１１】すなわち、大型化した吸着ヘッド１、２は
その分重量も増大する。そして、ガラス基板３、４の貼
り合わせに際し、このような大重量の上吸着ヘッド１を
下動させた場合、上ガラス基板３と下ガラス基板４とが
当接したときに、ガラス基板３、４には上吸着ヘッド１
の自重による必要以上の押圧力が急激に印加され、この
ときに生じる衝撃力によりガラス基板３、４が損傷して
しまうのである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１８】上吸着ヘッド１０は、その上面に固定され
た連結部材としての一対の支柱１０ａを有し、この支柱
１０ａの上部は、枠体２１に設けられた貫通孔を通して
枠体２１内に突出される。枠体２１内に突出した一対の
支柱１０ａの上部には、水平の梁１０ｂが架け渡されて
固定される。そして、この水平の梁１０ｂには、カムフ
ォロア１０ｄが回転自在に設けられる。このカムフォロ
ア１０ｄは、枠体２１内の底面２１ａに荷重検出器（検
出手段）２３を介し、かつ不図示のガイド機構によりス
ライド自在に設けられたカム部材として用いられるリフ
トカム２４に当接される。このリフトカム２４は、上面
を所定角度の傾斜面２４ａに形成され、ボールねじ機構
等の不図示の駆動装置により図中左右方向に進退動する
ことにより、傾斜面２４ａに当接されたカムフォロア１
０ｄを昇降動させ、これにより上吸着ヘッド１０を昇降
動させるものであり、昇降装置として機能する。また、
リフトカム２４とカムフォロア１０ｄは係止手段として
も機能する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２５】なお、一対の支柱１０ａにおける、チャン
バ上蓋１２と枠体２１との間には、平板２９が固定さ
れ、この平板２９とチャンバ上蓋１２との間には、支柱
１０ａ毎に支柱１０ａを包囲する円筒状の弾性部材（気
密部材）３０が配置される。この弾性部材３０は、その
上端のフランジ部が平板２９に密着固定されるとともに
下端のフランジ部がチャンバ上蓋１２に密着固定されて
おり、チャンバ上蓋１２と後述する下部構造体４０のチ
ャンバ下蓋１３とで形成される密閉容器としての密閉チ
ャンバ内と外部との気密を保持し、かつ自身が弾性変形
することにより、上吸着ヘッド１０とチャンバ上蓋１２
との上下方向の相対移動を許容する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２８】下吸着ヘッド１１は、支柱１１ａを介し
て、移動装置４１の移動テーブル４２上に支持される。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３７】まず図３に示すように、前工程よりガラス
基板３、４を搬送するための供給アーム９０により上ガ
ラス基板３が下吸着ヘッド１１上に搬入される。この
時、例えば不図示のリフトピンが下吸着ヘッド１１の上
面より突出され、搬入された上ガラス基板３は、このリ
フトピンで一時的に保持される。供給アーム９０が退避
すると、リフトピンは下降し、上ガラス基板３を下吸着
ヘッド１１上に載置する（図４）。そして次に、昇降用
エアシリンダ２８およびリフトカム２４の作動により上
吸着ヘッド１０が下吸着ヘッド１１上に保持された上ガ
ラス基板３に接する高さまで下降し、上吸着ヘッド１０
が上ガラス基板３を吸着保持する（図５）。なおここ
で、上吸着ヘッド１０による上ガラス基板３の吸着方法
としては、例えば、静電チャックによる吸着方法を用い
ることができる。その後、上吸着ヘッド１０は上ガラス
基板を保持して上昇する（図６）。この時、不図示のリ
フトピンが再度上昇する。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３８】次に、供給アーム９０が下ガラス基板４を
搬入する（図７）。この下ガラス基板４には、接着剤と
してのシール剤５が塗布されていること、シール剤の内
側には所定量の液晶が滴下されていることは従来と同様
である。そして下ガラス基板４をリフトピン上に残すよ
うにして供給アーム９０は退避する。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正内容】
【００４４】このようにして、位置合わせが終了する
と、不図示の駆動機構にてリフトカム２４を図中右方向
に移動させることにより上吸着ヘッド１０がさらに下降
され、上ガラス基板３が下ガラス基板４にシール剤５を
介して当接する。このとき、エアシリンダ２５、２５に
は、上吸着ヘッド１０の自重を相殺するために上吸着ヘ
ッド１０の自重と釣合う大きさの引上げ力を生じさせる
圧力の圧縮空気がシリンダ駆動部８１を介して供給され
ている。また、エアシリンダ２６には、カムフォロア１
０ｄをリフトカム２４の傾斜面２４ａに沿って下降させ
るに必要な僅かな押圧力を作用させる圧力の圧縮空気が
供給される。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００４５】その後、リフトカム２４の更なる右方向へ
の移動により、カムフォロア１０ｄがリフトカム２４の
傾斜面２４ａ上から離隔する。そして、エアシリンダ２
６には、カムフォロア１０ｄがリフトカム２４の傾斜面
２４ａ上から離隔したタイミングで設定された圧力の空
気が供給され、これにより、上ガラス基板３と下ガラス
基板４とには必要な押圧力が付与され、両ガラス基板
３、４は、間にシール剤５を介して、しかも液晶６を封
入した状態で貼り合わされることになる（図９）。なお
ここで、カムフォロア１０ｄがリフトカム２４から離隔
した時点で、荷重検出器２３にて検出される荷重がエア
シリンダ２６による押圧力に相当する荷重から“０”に
切り換るので、カムフォロア１０ｄがリフトカム２４か
ら離隔したタイミングは、荷重検出器２３の検出値を監
視することで得ることができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正内容】
【００４９】次に、エアシリンダ２７を作動させてチャ
ンバ上蓋１２を上昇させるとともに、不図示の駆動機構
にてリフトカム２４を図中左方向に移動させるとともに
エアシリンダ２８を作動させて上吸着ヘッド１０を上昇
させる。これにより、チャンバ上蓋１２とチャンバ下蓋
１３との接触面も離れ、密封チャンバは解放される（図
１０）。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００５５】また、上記実施の形態によれば、リフトカ
ム２４とカムフォロア１０ｄを有してなる昇降装置と上
吸着ヘッド１０とを支柱１０ａを介して連結するととも
にこの支柱１０ａとチャンバ上蓋１２とを弾性部材３０
にて相対移動自在に連結し、また移動装置４１の移動テ
ーブル４２と下吸着ヘッド１１とを支柱１１ａを介して
連結するとともにこの支柱１１ａとチャンバ下蓋１３と
を弾性部材４９にて連結したので、密閉チャンバの気密
を保ちつつ発塵源となりやすい昇降装置および移動ステ
ージ４３を密閉チャンバの外側に配置することができ
る。これにより、密閉チャンバ内を減圧する際に昇降装
置や移動ステージ４３等の駆動機構から塵等で汚染され
たガスが噴き出すことにより密閉チャンバ内の真空雰囲
気が汚染されることが防止でき、貼り合わされたガラス
基板３、４の品質を高水準に保持することが可能とな
る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H088 FA01 FA03 FA17 FA30 HA01 MA20 2H089 NA37 NA39 NA60 PA15 TA01 4G061 AA01 AA09 AA18 AA33 CA02 CB02 CD02 DA67

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 上基板を保持する上吸着ヘッドと下基板
    を保持する下吸着ヘッドとを互いに対向して配置し、前
    記上吸着ヘッドと前記下吸着ヘッドとを相対的に近接さ
    せることにて、前記上吸着ヘッドにて保持された前記上
    基板と前記下吸着ヘッドにて保持された前記下基板とを
    接着剤を介して貼り合わせる基板貼り合わせ装置におい
    て、 前記上吸着ヘッドと前記下吸着ヘッドとを上下方向で相
    対的に移動させる昇降装置と、 前記昇降装置により前記上吸着ヘッドにて保持された前
    記上基板と前記下吸着ヘッドにて保持された前記下基板
    とが接着剤を介して少なくとも当接されるときに、前記
    上吸着ヘッドと前記下吸着ヘッドとの少なくともいずれ
    か一方に引き上げ力を付与する引上げ力付与手段と、を
    備えたことを特徴とする基板貼り合わせ装置。
  2. 【請求項２】 上基板を保持する上吸着ヘッドと下基板
    を保持する下吸着ヘッドとを互いに対向して配置し、前
    記上吸着ヘッドと前記下吸着ヘッドとを相対的に近接さ
    せることにて、前記上吸着ヘッドにて保持された前記上
    基板と前記下吸着ヘッドにて保持された前記下基板とを
    接着剤を介して貼り合わせる基板貼り合わせ装置におい
    て、 前記上吸着ヘッドを昇降動させる昇降装置と、 前記昇降装置により前記上吸着ヘッドにて保持された前
    記上基板が前記下吸着ヘッドにて保持された前記下基板
    に接着剤を介して少なくとも当接されるときに、前記上
    吸着ヘッドに引き上げ力を付与する引上げ力付与手段を
    備えたことを特徴とする基板貼り合わせ装置。
  3. 【請求項３】 前記引上げ力付与手段による引上げ力が
    前記上吸着ヘッドの自重よりも小さいときに前記上吸着
    ヘッドに生じる下方向への移動を阻止する係止手段を更
    に備え、 前記係止手段は、前記上吸着ヘッドに保持された前記上
    基板が前記下吸着ヘッドに保持された前記下基板に前記
    接着剤を介して当接したときに係止状態が解除されるこ
    とを特徴とする請求項２記載の基板貼り合わせ装置。
  4. 【請求項４】 前記上吸着ヘッドに下方向への押付け力
    を付与する押付け力付与手段を更に備えることを特徴と
    する請求項３記載の基板貼り合わせ装置。
  5. 【請求項５】 前記係止手段は、カム部材と、前記上吸
    着ヘッドに結合され前記カム部材に上方から当接するカ
    ムフォロアと、を備えてなることを特徴とする請求項３
    または４記載の基板貼り合わせ装置。
  6. 【請求項６】 前記押付け力付与手段にて前記上吸着ヘ
    ッドに付与された押付け力を検出する検出手段と、 前記検出手段による検出結果に基づいて前記押付け力付
    与手段にて前記上吸着ヘッドに付与する押付け力を制御
    する制御装置と、を備えることを特徴とする請求項４ま
    たは５記載の基板貼り合わせ装置。
  7. 【請求項７】 前記上吸着ヘッドと前記下吸着ヘッドと
    を前記昇降装置と離隔させるごとくに前記上吸着ヘッド
    と前記下吸着ヘッドとを包囲する密閉容器と、 前記昇降装置と前記上吸着ヘッドとを連結する連結部材
    と、 前記密閉容器と前記連結部材との相対移動を許容しつつ
    前記密閉容器と前記連結部材との間を気密に保持する弾
    性変形可能な気密部材と、 前記密閉容器内に圧力変化が生じたときに、前記密閉容
    器内と前記密閉容器外との差圧による前記気密部材の弾
    性変形に起因して前記上吸着ヘッドに作用する引上げ力
    を打ち消す力を前記上吸着ヘッドに作用させる反力付与
    手段と、を有することを特徴とする請求項２乃至６いず
    れかに記載の基板貼り合わせ装置。
  8. 【請求項８】 上吸着ヘッドにて保持された上基板と下
    吸着ヘッドにて保持された下基板とを相対的に近接さ
    せ、前記上基板と前記下基板とが接着剤を介して当接さ
    れるときには、前記上吸着ヘッドと前記下吸着ヘッドと
    の少なくともいずれか一方に上方への引き上げ力と下方
    向への押付け力を付与することにて所定の押し付け力を
    付与し、この状態下にて前記上基板と前記下基板とを前
    記接着剤を介して貼り合わせることを特徴とする基板貼
    り合わせ方法。
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