WO2011089963A1 - 透光性硬質基板積層体の製造方法及び透光性硬質基板貼り合わせ装置 - Google Patents

透光性硬質基板積層体の製造方法及び透光性硬質基板貼り合わせ装置 Download PDF

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啓之 栗村
隼人 宮崎
剛介 中島
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電気化学工業株式会社
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    • G02F1/133354Arrangements for aligning or assembling substrates

Definitions

  • the present invention relates to a method for manufacturing a light-transmitting hard substrate laminate and a light-transmitting hard substrate laminating apparatus, and more particularly to a method for manufacturing a plate substrate laminate for manufacturing a protective substrate for a display element and manufacturing protective glass for a display element.
  • the present invention relates to a sheet glass laminating apparatus used in the process.
  • Display devices of various electronic devices such as TVs, notebook computers, car navigation systems, calculators, mobile phones, electronic notebooks, and PDAs (Personal Digital Assistants) include liquid crystal displays (LCD), organic EL displays (OELD), electroluminescent displays ( Display elements such as ELD), field emission displays (FED), and plasma displays (PDP) are used. And in order to protect a display element, it is common to install the plate glass product for protection facing a display element.
  • LCD liquid crystal displays
  • OELD organic EL displays
  • ELD electroluminescent displays
  • FED field emission displays
  • PDP plasma displays
  • This flat glass product is obtained by processing a flat glass into a size and shape suitable for each display device. In order to meet the price level required in the market, it is possible to process a large amount of flat glass products with high production efficiency. Desired.
  • Patent Document 1 proposes a method for increasing the production efficiency of a sheet glass product. Specifically, “a large number of material glass sheets (1) are stacked, and each material glass sheet (1) is integrally fixed by a peelable fixing material (2) interposed between each material glass sheet (1). Forming the material glass block (A), dividing the material glass block (A) in the plane direction to form a small-area divided glass block (B), and processing at least the outer periphery of the divided glass block (B) A product glass block (C) having a product shape in plan view is formed, and after the end face processing of the product glass block (C), the product glass block (C) is individually separated. “Processing method” is proposed (claim 1).
  • Patent Document 1 states that “the fixing material (2) interposed between the respective material glass plates (1) is cured when irradiated with ultraviolet rays, and is cured by softening the cured state when heated. It is described that “the material is used” (claim 4). As a result, "When a photocurable liquid sticking agent is interposed between the upper and lower material plate glasses and pressed in the vertical direction, the liquid sticking agent spreads in a film with a uniform thickness over the entire surface between the upper and lower material plate glasses. In this state, when the infrared rays are irradiated, the liquid sticking agent spread in the form of a film is cured and the upper and lower plate glasses are fixed together, so that a large number of material plate glasses are stacked quickly and accurately.
  • Patent Document 1 According to the processing method of plate glass described in Patent Document 1, it is possible to manufacture a plate glass product having a predetermined shape with high production efficiency. However, depending on the electronic device, it may be required to form a desired print pattern (for example, the design of a display screen of a mobile phone) on the plate glass. In such a case, the printed pattern has high positional accuracy. (For example, an allowable error of about 10 to 30 ⁇ m) is required.
  • Patent Document 1 discloses an invention of a method of bonding glass, it does not describe an apparatus for realizing the method. For industrial mass production, it is desirable to provide an apparatus capable of laminating glass.
  • an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a light-transmitting hard substrate laminate capable of improving the positional accuracy. Moreover, this invention makes it another subject to provide the manufacturing method of the plate-shaped product using the manufacturing method of the said translucent hard board
  • the present inventor has intensively studied to solve the above-mentioned problems.
  • both light-transmitting hard substrates are used. It has been found that it is effective to cure only the outer peripheral portion of the sticking agent that is sandwiched between them for temporary fixing (temporary irradiation).
  • the time required for temporary fixing is approximately 1/5 of the irradiation energy per unit area as compared with the case where the entire fixing agent spread on the translucent hard substrate surface is cured. Therefore, if the fixing agent existing near the center of the substrate surface is cured (main irradiation) after a large number of light-transmitting hard substrates are laminated by temporary fixing, the light-transmitting hard substrate laminate can be obtained with high positional accuracy and high It is also possible to manufacture with production efficiency.
  • the present invention completed on the basis of the above knowledge, in one aspect, 1) preparing a first translucent hard substrate; 2) preparing a second translucent hard substrate; 3) A step of applying a photocurable sticking agent to the first surface of the first translucent hard substrate and / or the first surface of the second translucent hard substrate; 4) The process of making the 1st surface of a 1st translucent hard board
  • Step 5 When, 5) Applying a predetermined pressure to the first surface of the first translucent hard substrate and the first surface of the second translucent hard substrate while maintaining the positional relationship, A process of attaching a hard substrate; 6) While maintaining the pressure, irradiate light for curing only the outer peripheral portion of the sticking agent that is sandwiched between both translucent hard substrates to form a temporary translucent hard substrate laminate. And a process of 7 ′) Steps 1) to 6) are repeated at least once, assuming that the temporarily fixed light-transmitting hard substrate laminate is the first light-transmitting hard substrate, and at least three light-transmitting hard substrates are bonded together.
  • a step of forming a temporary fixing translucent hard substrate laminate, 8 ′) Light for curing the uncured fixing agent present in the temporarily fixed light-transmitting hard substrate laminate obtained in step 7 ′) is irradiated to form the main light-transmitting hard substrate laminate.
  • the main irradiation process It is a manufacturing method of the translucent hard board
  • Step 1) to 6) are repeated at least once by assuming that the main light-transmitting hard substrate laminate obtained in step 8 ′) is the first light-transmitting hard substrate, and the compound light-transmitting property is repeated.
  • Forming a hard substrate laminate; 8 "') This light-blocking transparent film is irradiated with light for curing the uncured fixing agent present in the composite light-transmitting hard substrate laminate obtained in the step 8"), and the number of laminated sheets is increased.
  • the outer peripheral portion exists in a margin region that does not form part of the plate-like product.
  • the irradiation step is performed while applying a predetermined pressure to the bonded light-transmitting hard substrate surfaces.
  • the bubbles present in the uncured fixing agent are moved to a position where they are not subjected to shape processing before the main irradiation. Perform the process.
  • a mark for alignment is attached to the surface of each light-transmitting hard substrate. And adjusting the position while imaging with the imaging device.
  • the surface of each light-transmitting hard substrate has a predetermined function for performing one of the functions of the light-transmitting hard substrate product.
  • the printing pattern and / or the plating pattern are attached.
  • the fixing agent contains a particulate material.
  • the light irradiation amount is 1 mJ / cm 2 to 500 mJ as measured by an integrating illuminometer using a 365 nm light receiver. / Cm 2 range.
  • the light-transmitting hard substrate is a plate glass.
  • 9) Divide the translucent hard substrate laminate obtained using the above-described method for producing a translucent hard substrate laminate in the thickness direction to form a desired number of divided translucent hard substrate laminates. And a process of 10) A step of performing a desired shape processing on each of the divided translucent hard substrate laminates; 11) The process of peeling the translucent hard board
  • the divided light-transmitting hard substrate laminate is sandwiched between the light-transmitting hard substrates between Step 9) and Step 10).
  • the method further includes a step of contacting the release agent at a temperature and a time condition necessary to reduce the adhesion of the exposed portion of the outer edge of the adhesive.
  • the release agent contains one or more selected from a solvent, an oxidant, and a surfactant.
  • the release agent contains one or more selected from water, alcohols, oxidizing agents, and surfactants.
  • the release agent contains water, alcohols and a surfactant in a mass ratio of 30 to 50:30 to 50: 5 to 20.
  • the release agent contains benzyl alcohol.
  • the release agent contains an anionic surfactant.
  • the release agent contains a sulfonic acid type surfactant.
  • the liquid temperature of the release agent is 20 ° C. to 40 ° C.
  • the contact time with the release agent is 1 to 20 minutes.
  • An upper stage for holding the upper translucent hard substrate having a suction hole for vacuum adsorbing the upper translucent hard substrate;
  • a press unit capable of moving the upper stage in the Z-axis direction;
  • a suction unit for applying a suction force to the suction hole;
  • a lower stage for holding the lower translucent hard substrate;
  • a light irradiation part arranged at a position where light can be irradiated toward the outer peripheral part of the bonding surface of both translucent hard substrates; and It is the translucent hard board
  • substrate bonding apparatus provided with.
  • the light irradiation unit is arranged on the lower surface of the upper stage along the outer periphery of the translucent hard substrate to be held, and emits light downward. Irradiate.
  • the light irradiation portions By arranging the light irradiation portions in this way, light can be selectively applied to the fixing agent present on the outer peripheral portion of the translucent hard substrate. Since light is irradiated to the upper translucent hard substrate, the lower translucent hard substrate (which may be a single translucent hard substrate or a laminate of two or more translucent hard substrates) This is particularly effective when the upper transparent translucent substrates are laminated one by one.
  • the light irradiation unit is arranged on the upper surface of the lower stage along the outer periphery of the translucent hard substrate to be held, and upward Irradiate light.
  • the light irradiating portions By arranging the light irradiating portions in this manner, light can be selectively irradiated to the fixing agent existing on the outer peripheral portion of the translucent hard substrate.
  • the upper translucent hard substrate (which may be a single translucent hard substrate or a laminate of two or more translucent hard substrates) This is effective when laminating the lower light-transmitting hard substrates one by one. In this case, if the translucent hard substrate laminate after being bonded is held on the upper stage without being taken out, the translucent hard substrate to be laminated next is supplied continuously from the lower stage. A hard substrate can be laminated.
  • the light irradiation unit is arranged so as to surround the outer peripheral side surfaces of both translucent hard substrates to be bonded, and toward the outer peripheral side surface. Irradiate light. In this case as well, light can be selectively irradiated to the fixing agent present on the outer peripheral portion of the translucent hard substrate. Since the energy of the light irradiated toward the outer peripheral side surface is absorbed by the adhesive, the light does not reach the vicinity of the center of the translucent hard substrate. In addition, by making the light irradiation unit movable in the Z-axis direction, the light irradiation unit can follow the height of the bonding surface.
  • the light-transmitting hard substrate laminate after being bonded is held on the upper stage without taking out, the light-transmitting hard substrate is continuously supplied by supplying the light-transmitting hard substrate to be laminated next from the lower stage. It is also possible to laminate.
  • an imaging unit that images the alignment marks provided on the surfaces of the upper and lower translucent hard substrates, and an imaging result
  • an image processing unit for detecting the degree of positional deviation of the alignment marks provided on the upper and lower surfaces, and a control unit for controlling the lower stage moving means based on the detected degree of positional deviation.
  • the outer peripheral portion where the light irradiating portion irradiates light is a margin region where a part of the plate-like product is not formed.
  • the portion of the substrate constituting the plate product does not need to be irradiated with light for temporary fixing. Therefore, there is an advantage that when the main irradiation is performed later, the light irradiation history of the portion can be made uniform, and the distortion of the substrate following the distortion of the fixing agent can be suppressed.
  • the translucent hard substrate held by the upper stage and / or the lower stage is composed of two or more translucent hard substrates. It is a laminate.
  • the translucent hard substrate is a plate glass.
  • a translucent hard substrate laminate can be manufactured with high positional accuracy.
  • a plate-shaped product can be manufactured industrially with high dimensional accuracy.
  • the present invention can be suitably used, for example, in a method for mass-producing protective glass for display elements.
  • a translucent hard substrate to be processed is prepared.
  • the light-transmitting hard substrate is not particularly limited, but plate glass (material plate glass, glass substrate with a transparent conductive film, glass substrate on which electrodes and circuits are formed, etc.), sapphire substrate, quartz substrate, plastic substrate, magnesium fluoride Examples include substrates.
  • Examples of the glass include tempered glass. Not particularly limited on the size of the light-transmitting hard substrate, but typically have a 2 degree of area 10000 ⁇ 250000mm, having a thickness of about 0.1 ⁇ 2 mm.
  • Each translucent hard substrate is generally the same size.
  • substrate can be attached
  • An example of the print pattern is a design of a display screen of a mobile phone, and an example of the plating pattern is a rotary encoder provided with a chrome plating pattern.
  • a photo-curable fixing agent is applied to the first surface of the first translucent hard substrate and / or the first surface of the second translucent hard substrate.
  • the photo-curable sticking agent is a sticking agent that is cured by irradiation with light such as ultraviolet rays and softens when heated to a high temperature, and various sticking agents are known.
  • the photocurable fixing agent used in the present invention any known one can be used and there is no particular limitation.
  • the photo-curable sticking agent may be applied to the bonding surface of either one of the light-transmitting hard substrates, but from the viewpoint of improving adhesiveness, it should be applied to the bonding surfaces of both of the light-transmitting hard substrates. Is preferred.
  • Examples of the photocurable fixing agent suitably used in the present invention include (A) polyfunctional (meth) acrylate, (B) monofunctional (meth) acrylate, and (C) as described in WO2008 / 018252, for example.
  • the adhesive composition containing a photoinitiator is mentioned.
  • (A) As a polyfunctional (meth) acrylate two or more (meth) acryloylated polyfunctional (meth) acrylate oligomer / polymer or two or more (meth) acryloyl groups at the oligomer / polymer terminal or side chain Polyfunctional (meth) acrylate monomers having can be used.
  • 1,2-polybutadiene-terminated urethane (meth) acrylate for example, “TE-2000”, “TEA-1000” manufactured by Nippon Soda Co., Ltd.
  • hydrogenated product thereof for example, “TEAI-1000” manufactured by Nippon Soda Co., Ltd.
  • 1,4-polybutadiene terminated urethane (meth) acrylate eg “BAC-45” manufactured by Osaka Organic Chemical Co., Ltd.
  • polyisoprene terminated (meth) acrylate for example, “UV-2000B”, “UV-3000B”, “UV-7000B” manufactured by Nippon Synthetic Chemical Co., Ltd.
  • bifunctional (meth) acrylate monomer examples include 1,3-butylene glycol di (meth) acrylate, 1,4-butanediol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, 1,9- Nonanediol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, dicyclopentanyl di (meth) acrylate, 2-ethyl-2-butyl-propanediol di (meth) acrylate, neopentyl glycol modified trimethylolpropane Di (meth) acrylate, stearic acid-modified pentaerythritol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, 2,2-bis (4- (meth) acryloxydiethoxyphenyl) propane, 2,2-bis (4- (meth) acryl Propoxy phenyl
  • Examples of the trifunctional (meth) acrylate monomer include trimethylolpropane tri (meth) acrylate and tris [(meth) acryloxyethyl] isocyanurate.
  • Examples of tetrafunctional or higher functional (meth) acrylate monomers include dimethylolpropane tetra (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, pentaerythritol ethoxytetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, or dipenta Examples include erythritol hexa (meth) acrylate.
  • Monofunctional (meth) acrylate monomers include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, isooctyl (meth) acrylate , Isodecyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, dicyclopentanyl (meth) acrylate, dicyclopentenyl (meth) acrylate, dicyclo Pentenyloxyethyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, methoxylated cyclodecatriene (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydr
  • the cured fixing agent is peeled off into a film by being immersed in warm water.
  • the content of (B) monofunctional (meth) acrylate is more preferably 40 to 80 parts by mass in 100 parts by mass of the total amount of (A) and (B).
  • the photopolymerization initiator is blended for sensitization with visible light or ultraviolet active light to promote photocuring of the resin composition, and various known photopolymerization initiators can be used. . Specifically, benzophenone or a derivative thereof; benzyl or a derivative thereof; anthraquinone or a derivative thereof; benzoin; a benzoin derivative such as benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin propyl ether, benzoin isobutyl ether, or benzyl dimethyl ketal; diethoxyacetophenone, 4 Acetophenone derivatives such as t-butyltrichloroacetophenone; 2-dimethylaminoethyl benzoate; p-dimethylaminoethyl benzoate; diphenyl disulfide; thioxanthone or derivatives thereof; camphorquinone; 7,7-dimethyl-2,3-dioxobicycl
  • a photoinitiator can be used 1 type or in combination of 2 or more types.
  • 1 benzyl dimethyl ketal, oxy-phenyl-acetic acid 2- [2-oxo-2-phenyl-acetoxy-ethoxy] -ethyl ester and oxy-phenyl-acetic acid 2 are particularly effective.
  • One or more of the group consisting of-[2-hydroxy-ethoxy] -ethyl ester is preferred.
  • the content of the photopolymerization initiator is preferably 0.1 to 20 parts by mass, and more preferably 0.5 to 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass in total of (A) and (B). If it is 0.1 mass part or more, the effect of hardening acceleration
  • the photocurable sticking agent preferably contains a particulate substance (D) that does not dissolve in the sticking agent components (A), (B), and (C).
  • the material of the particulate material (D) may be either generally used organic particles or inorganic particles.
  • the organic particles include polyethylene particles, polypropylene particles, crosslinked polymethyl methacrylate particles, and crosslinked polystyrene particles.
  • Inorganic particles include ceramic particles such as glass, silica, alumina, and titanium.
  • the granular material (D) is preferably spherical from the viewpoint of improving processing accuracy, that is, controlling the film thickness of the adhesive.
  • the average particle diameter of the particulate material (D) by laser method is preferably in the range of 20 to 200 ⁇ m. When the average particle size of the granular material is less than 20 ⁇ m, the peelability is poor, and when it is 200 ⁇ m or more, the temporarily fixed member is likely to be displaced during processing, and the dimensional accuracy is poor.
  • the average particle diameter (D50) is more preferably 35 ⁇ m to 150 ⁇ m, more preferably 50 ⁇ m to 120 ⁇ m, from the viewpoint of peelability and dimensional accuracy.
  • the particle size distribution is measured by a laser diffraction type particle size distribution measuring device.
  • the amount of the granular material (D) used is preferably 0.1 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of (A) and (B), from the viewpoint of adhesiveness, processing accuracy, and peelability. 2 to 10 parts by mass is more preferable, and 0.2 to 6 parts by mass is most preferable.
  • a polymerization inhibitor (E) can be added to the photocurable sticker to improve storage stability.
  • Polymerization inhibitors include methyl hydroquinone, hydroquinone, 2,2-methylene-bis (4-methyl-6-tertiary butylphenol), catechol, hydroquinone monomethyl ether, monotertiary butyl hydroquinone, 2,5-ditertiary butyl hydroquinone.
  • P-benzoquinone 2,5-diphenyl-p-benzoquinone, 2,5-ditertiarybutyl-p-benzoquinone, picric acid, citric acid, phenothiazine, tertiary butylcatechol, 2-butyl-4-hydroxyanisole and 2 , 6-ditertiary butyl-p-cresol and the like.
  • the amount of the polymerization inhibitor (E) used is preferably 0.001 to 3 parts by mass, more preferably 0.01 to 2 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of (A) and (B). If it is 0.001 mass part or more, storage stability will be ensured, and if it is 3 mass parts or less, favorable adhesiveness will be obtained and it will not become uncured.
  • step (4) the first surface of the first light-transmitting hard substrate and the first surface of the second light-transmitting hard substrate are parallel to each other in a predetermined positional relationship in the plane direction.
  • the light-transmitting hard substrates are opposed to each other so that they are exactly overlapped in the surface direction.
  • a bonding apparatus having a positioning mechanism.
  • a bonding device that can mark the surface of each light-transmitting hard substrate for alignment and adjust the position while imaging it with the imaging device. Is more preferable. If the misalignment is corrected after bonding both translucent hard substrates, the adhesive may leak from the bonding surface or the substrate surface may be scratched. It is desirable to carry out before combining.
  • the first surface of the first light-transmitting hard substrate and the first surface of the second light-transmitting hard substrate are predetermined.
  • a pressure is applied so that the bonding agent spreads on the bonding surface. From the viewpoint of stacking accuracy, it is preferable that the fixing agent spreads over the bonding surface with a certain thickness.
  • the sticking agent does not spread over the entire bonding surface, which may cause bubbles on the bonding surface. When bubbles are generated, the positional accuracy is lowered. If the amount of the applied sticking agent is too large, the sticking agent leaks from the gap between the bonding surfaces. Even if the sticking agent leaks to some extent, it may be wiped off, and this is not a big problem, but if the amount is large, the sticking agent is wasted.
  • the pressure at the time of bonding is also related to the spread of the fixing agent. Therefore, it is desired to appropriately adjust the bonding pressure in addition to the amount of the fixing agent.
  • a method of using a bonding apparatus having a function of controlling a pressure when the light-transmitting hard substrates are bonded to each other can be considered.
  • the pressure at the time of bonding may be appropriately set in consideration of the above, but may be, for example, 5 g / cm 2 to 50 g / cm 2 , typically 10 g / cm 2 to 30 g / cm 2 .
  • the thickness of the fixing agent itself.
  • a method for controlling the thickness there is a method of mixing a granular material into the fixing agent, as well as a function of controlling the height of the light-transmitting hard substrates when the light-transmitting hard substrates are bonded together.
  • a method using a bonding apparatus is conceivable.
  • step (6) while maintaining the pressure, light for curing only the outer peripheral portion of the fixing agent sandwiched between both translucent hard substrates and spreading is irradiated to temporarily fix the translucent hard substrate.
  • a laminate is formed.
  • the outer peripheral part of the fixing agent By irradiating the light toward the outer peripheral part of the fixing agent, only the outer peripheral part of the fixing agent is cured in a ring shape, and both the translucent hard substrates can be bonded with a relatively weak force.
  • a function of preventing misalignment during stacking can be achieved.
  • the outer periphery should be a region with a certain amount of width, but it does not shift when exposed to the inside excessively.
  • the outer peripheral portion irradiated by the LED unit 16 has a width of about 5 to 25 mm, more typically about 7 to 17 mm.
  • the outer peripheral part which irradiates light exists in the margin area
  • the internal fixing agent is not cured and retains fluidity
  • the outer peripheral fixing agent is cured and therefore does not leak from the gap between the two light-transmitting hard substrates.
  • the wavelength of light to be irradiated may be appropriately changed according to the characteristics of the fixing agent to be used. For example, microwaves, infrared rays, visible light, ultraviolet rays, X-rays, ⁇ rays, electron beams and the like can be irradiated.
  • the irradiation light is ultraviolet light because it can be used easily and has relatively high energy.
  • light refers to not only visible light but also electromagnetic waves (energy rays) including a wide wavelength region.
  • the amount of light to be irradiated may be as much as necessary to temporarily fix the translucent hard substrate, and is generally 1 to 500 mJ / cm 2 , typically measured by an integrating illuminometer using a 365 nm light receiver. Can be from 50 to 450 mJ / cm 2 , more typically from 200 to 400 mJ / cm 2 .
  • the irradiation time is generally 1 to 120 seconds, typically about 2 to 60 seconds, and preferably about 15 to 45 seconds.
  • substrate laminated body is irradiated, and this fixed translucent hard board
  • the fixing agent in the outer peripheral portion is already cured, it is not always necessary to irradiate the outer peripheral portion with light. Rather, in order to make the cured state of the fixing agent uniform, it is preferable to make the irradiation history of the entire fixing agent sandwiched between the bonding surfaces uniform. For this purpose, there is a method of selectively irradiating light to an inner region that is not irradiated with light during temporary fixing. It is also conceivable to mask the outer peripheral portion of the translucent hard substrate with a material that does not transmit ultraviolet rays during light irradiation. Moreover, in order to improve the positional accuracy of bonding, it is preferable to perform it while applying a predetermined pressure to the bonded light-transmitting hard substrate surface.
  • the applied pressure may be appropriately set in consideration of the strength of the translucent hard substrate.
  • the pressure may be 5 g / cm 2 to 50 g / cm 2 , typically 10 g / cm 2 to 30 g / cm 2. it can.
  • the irradiation time is generally 0.1 to 120 seconds, typically 1 to 30 seconds, more typically about 10 to 20 seconds.
  • the bubbles present in the uncured fixing agent Before the step (7), it is preferable to move the bubbles present in the uncured fixing agent to a position not subjected to shape processing. This is due to the following reason.
  • air bubbles may enter the adhesive layer.
  • the main irradiation is performed in a state where air bubbles are present, the air bubbles are fixed at the position by the curing of the fixing agent. Chipping occurs when the bubbles correspond to a position to be subjected to a shape process such as a cutting process, an outer shape process, or a drilling process, in other words, a place where a processing tool (blade or grindstone) directly touches.
  • the occurrence of chipping can be prevented by moving the bubbles to a position not subjected to shape processing in advance before the main irradiation.
  • a means for moving there is a method of moving bubbles by pressing the substrate with a hand or a stick.
  • step (8) steps 1) to 7) are repeated at least once, assuming that the main light-transmitting hard substrate laminate obtained in step (7) is the first light-transmitting hard substrate.
  • steps 1) to 7) are repeated at least once, assuming that the main light-transmitting hard substrate laminate obtained in step (7) is the first light-transmitting hard substrate.
  • a main light-transmitting light-transmitting hard substrate laminate in which at least three light-transmitting hard substrates are bonded together is obtained.
  • a translucent hard substrate laminate in which 10 or more translucent hard substrates, typically 10 to 30 translucent hard substrates are laminated, is manufactured. It is desirable.
  • Step 5 When, 5) Applying a predetermined pressure to the first surface of the first translucent hard substrate and the first surface of the second translucent hard substrate while maintaining the positional relationship, A process of attaching a hard substrate; 6) While maintaining the pressure, irradiate light for curing only the outer peripheral portion of the sticking agent that is sandwiched between both translucent hard substrates to form a temporary translucent hard substrate laminate. And a process of 7 ′) Steps 1) to 6) are repeated at least once, assuming that the temporarily fixed light-transmitting hard substrate laminate is the first light-transmitting hard substrate, and at least three light-transmitting hard substrates are bonded together.
  • Processes (1) to (6) are performed in the same procedure as in the first embodiment.
  • step (6) the steps (1) to (6) are repeated at least once, assuming that the temporarily fixed light-transmitting hard substrate laminate is a first light-transmitting hard substrate, A step (7 ′) of forming a temporarily fixed light-transmitting hard substrate laminate in which three light-transmitting hard substrates are bonded together is performed.
  • the temporary fastening light-transmitting hard substrate laminate in which two light-transmitting hard substrates are laminated is immediately irradiated and then the main fastening light-transmitting hard substrate laminate is obtained. That is, the main irradiation was performed every time provisional irradiation was completed.
  • the temporary fastening light-transmitting hard substrate laminate is not irradiated immediately after it is formed, but the steps (1) to (6) are repeated, whereby a temporary fastening laminate comprising a large number of light-transmitting hard substrates. Is made.
  • step (8 ′) light for curing the uncured sticking agent present inside the obtained temporary fixing light-transmitting hard substrate laminate is irradiated, and the main fixing light-transmitting hard substrate laminate is Form.
  • This book is necessary for manufacturing a permanently-clamped light-transmitting hard substrate laminate made up of a large number of light-transmitting hard substrates, because the main irradiation is performed once on a temporarily-clad laminate made up of a large number of light-transmitting hard substrates. The number of irradiations can be reduced, and production efficiency is improved.
  • the step (8 ') is also preferably performed while applying a predetermined pressure to the bonded light-transmitting hard substrate surface in the same manner as the step (7) in order to increase the bonding positional accuracy. Further, for the same reason as described in the step (7), before the step (8 ′), the bubbles present in the uncured fixing agent are moved to a position not subjected to shape processing. It is preferable.
  • steps (1) to (8 ′) are performed in the same procedure as in the second embodiment. 8 ′′) Step 1) to 6) are repeated at least once by assuming that the main light-transmitting hard substrate laminate obtained in step 8 ′) is the first light-transmitting hard substrate, and the compound light-transmitting property is repeated.
  • Forming a hard substrate laminate; 8 "') This light-blocking transparent film is irradiated with light for curing the uncured fixing agent present in the composite light-transmitting hard substrate laminate obtained in the step 8"), and the number of laminated sheets is increased.
  • a light-transmitting hard substrate laminate having an increased number of layers is manufactured by further stacking a light-transmitting hard substrate on the book-fixing light-transmitting hard substrate stack.
  • the temporary fixing laminated body that has reached a certain number of sheets is subjected to main irradiation so that the main fixing light-transmitting hard substrate lamination is performed. It is necessary to have a body.
  • the translucent hard substrate is laminated by the procedure of repeating the pasting and provisional irradiation of the translucent hard substrate to the fixed translucent hard substrate laminate, and performing the main irradiation when a certain number of sheets are reached.
  • the step (8 '' ') is also preferably performed while applying a predetermined pressure to the bonded light-transmitting hard substrate surface as in the step (7). Also, for the same reason as described in the step (7), before the step (8 ′ ′′), the bubbles present in the uncured fixing agent are moved to a position not subjected to the shape processing. It is preferable to keep it.
  • a plate-like product can be produced from the translucent hard substrate laminate obtained by the above-described method for producing a translucent hard substrate laminate.
  • the translucent hard substrate laminate is divided in the thickness direction to form a desired number of divided translucent hard substrate laminates.
  • the dividing method is not particularly limited, but a disk cutter (diamond disc, cemented carbide disc), fixed abrasive type or loose abrasive type wire saw, laser beam, etching (eg, chemical etching using hydrofluoric acid, sulfuric acid, etc.) And electrolytic etching) and red tropics (nichrome wire) may be used alone or in combination to divide into rectangular parallelepiped shapes of the same size. Etching can also be used for surface treatment of the cut surfaces after division.
  • step (10) desired shape processing is performed on each of the divided light-transmitting hard substrate laminates.
  • each divided light-transmitting hard substrate laminate can be integrally processed into the shape of the target light-transmitting hard substrate product, so that the production rate of the light-transmitting hard substrate product is markedly increased.
  • Shape processing may be performed by any known means. For example, grinding with a rotating grindstone, drilling with an ultrasonic vibration drill, end surface processing with a rotating brush, drilling with etching, end surface processing with etching, outer shape processing with etching, burner Flame processing using The processing methods can be used alone or in combination. Etching can also be used for surface treatment after shape processing.
  • step (11) the translucent hard substrates laminated together are peeled off by heating the translucent hard substrate laminate after shape processing to form a plurality of translucent hard substrate products.
  • the heating method There is no particular limitation on the heating method, but the method of immersing the light-transmitting hard substrate laminate after shape processing in warm water is possible because the fixing agent softens into a film and is well separated into each light-transmitting hard substrate product.
  • a suitable temperature of the hot water varies depending on the fixing agent employed, but is usually about 60 to 95 ° C., preferably 80 to 90 ° C.
  • a flat surface is formed by the translucent hard substrate 31 and the fixing agent 32 on the end surface of the translucent hard substrate laminate divided in the step (9). If this end face is processed with the rotating brush 33 or the like, the sticking agent becomes an obstacle, and the corner portions of each light-transmitting hard substrate are not chamfered, and conversely, the center portion is greatly shaved (FIG. 16). The impact strength of the substrate is insufficient. Therefore, it is preferable to weaken the adhesive force of the outer edge of the adhesive that is exposed on the end surface of the light-transmitting hard substrate laminate that is divided so that each light-transmitting hard substrate is chamfered during end surface processing.
  • the divided transparent translucent substrate laminate is bonded to the exposed portion of the outer edge of the adhesive sandwiched between the translucent hard substrates.
  • a method of bringing the release agent into contact eg, dipping, spraying, coating, etc.
  • FIG. 17 A method of bringing the release agent into contact (eg, dipping, spraying, coating, etc.) under the temperature and time conditions necessary to reduce the force is exemplified (FIG. 17).
  • the liquid temperature is generally 50 ° C. or lower, and typically 20 ° C. to 40 ° C.
  • the contact time is generally 30 minutes or less, typically 1 to 20 minutes. It should be noted that if the liquid temperature of the release agent is too high or the contact time is too long, the adhesive force tends to decrease to the inside of the bonded surface.
  • the release agent is not particularly limited as long as it is a liquid capable of reducing the adhesive strength of the sticking agent, and may be appropriately selected according to the characteristics of the sticking agent being used.
  • the solvent, the oxidizing agent, and the surfactant It is common to contain 1 type, or 2 or more types selected from.
  • the adhesive that contacts the release agent swells to cause distortion at the interface with the substrate, thereby reducing the adhesive force.
  • the swollen fixing agent is cut (notched) by a physical means such as a cutter and then dried. Thereby, since the swollen fixing agent contracts, the end face processing with a brush or the like is further facilitated.
  • an oxidizing agent is used as the release agent, the adhesive strength is reduced by carbonizing and embrittlement of the fixing agent. Therefore, the adhesive force can be reduced synergistically by further using an oxidizing agent in combination with the solvent and / or surfactant.
  • the solvent may be either an inorganic solvent or an organic solvent.
  • water hydrofluoric acid, hydrochloric acid, alcohols (eg, methanol, ethanol, n-propanol, isopropanol, butanol, benzyl alcohol), esters (eg, : Ethyl acetate, butyl acetate, normal propyl acetate, ethyl lactate, dimethyl phthalate, dimethyl adipate), ketones (eg: methyl ethyl ketone (MEK), methyl isobutyl ketone (MIBK), acetone), chlorinated solvents (eg: chloride) Methylene, trichloroethylene, tetrachloroethylene), fluorine-based solvents (eg, hydrochlorofluorocarbon (HCFC), hydrofluorocarbon (HFC)), glycol ethers (eg, ethylene glycol monomethyl ether (methicero), ethylene glycol Monoe
  • alcohol can typically be used, and benzyl alcohol can be preferably used.
  • oxidizing agent examples include sulfuric acid, nitric acid, hydrogen peroxide, ammonium persulfate, acyl peroxide, benzoyl peroxide, tert-butyl peroxide, hydroperoxide, ozone water, perchloric acid, and hypochlorous acid.
  • an anionic surfactant any of an anionic surfactant, a cationic surfactant, an amphoteric surfactant, and a nonionic surfactant can be used.
  • Anionic surfactants include carboxylic acid type (eg, fatty acid salt, polyoxyethylene alkyl ether carboxylate, N-arsyl sarcosine salt, N-acyl glutamate), sulfate type (eg, alkyl sulfate ester salt) , Polyoxyethylene alkyl ether sulfate, alcohol ethoxy sulfate, oil and fat sulfate ester salt), sulfonic acid type (eg, alkylbenzene sulfonate, alkane sulfonate, alpha olefin sulfonate, dialkyl sulfosuccinate, naphthalene sulfonate- Formaldehyde condensate, alkyl na
  • cationic surfactant examples include amine salt type (eg, alkylamine acetate) and quaternary ammonium salt type (eg, monoalkylammonium salt, dialkylammonium salt, ethoxylated ammonium salt).
  • amphoteric surfactants include betaine types (eg, alkyldimethylaminoacetic acid betaines, alkylamidopropylbetaines, alkylhydroxysulfobetaines, alkylhydroxysulfobetaines), alkyldimethylamine oxides, and the like.
  • Nonionic surfactants include ester types (eg, glycerin fatty acid esters, propylene glycol fatty acid esters, sorbitan fatty acid esters, sucrose fatty acid esters), ether types (eg, polyoxyethylene alkyl ether, polyoxyethylene alkyl phenyl ether, Polyoxyethylene polyoxypropylene ether), ether ester type (eg, polyoxyethylene sorbitan fatty acid ester, alkyl glyceryl ether), alkyl alkanolamide type (fatty acid alkanolamide, fatty acid amide alkylene oxide adduct), and alkyl polyglycoside. .
  • ester types eg, glycerin fatty acid esters, propylene glycol fatty acid esters, sorbitan fatty acid esters, sucrose fatty acid esters
  • ether types eg, polyoxyethylene alkyl ether, polyoxyethylene alkyl phenyl ether, Polyoxyethylene poly
  • anionic surfactants can be typically used, and sulfonic acid type anionic surfactants can be preferably used.
  • the release agent preferably contains one or more selected from water, alcohols, oxidizing agents, and surfactants from the viewpoint of safety and environment, and includes water, alcohols, and surfactants. It is more preferable to contain three types for safety reasons.
  • the release agent preferably contains water, alcohols and a surfactant in a mass ratio of 30 to 50:30 to 50: 5 to 20, for example, a mass of 30 to 40:40 to 50:10 to 20 Contained in a ratio.
  • the release agent can be composed of only these three types.
  • the plate glass laminated body which consists of 20 sheet glass using the sticking agent (I) described in the Example mentioned later as a sticking agent was manufactured using the method which concerns on this invention.
  • This plate glass laminate was immersed in the release agent at 35 ° C. for 5 minutes, and then the end face was processed with a rotating brush. When the end face after processing was observed with a microscope, the corners of each plate glass were chamfered in a circular shape.
  • substrate bonding apparatus which concerns on this invention is demonstrated.
  • substrate bonding apparatus which concerns on this invention is used in order to manufacture the temporarily fixed translucent hard board
  • the uncured adhesive that is sandwiched between the bonding surfaces of the substrates is cured in a subsequent process, and the light-transmitting hard substrate is completely bonded, and the entire bonding surface of the substrates is bonded with an adhesive.
  • the present fastening light-transmitting hard substrate laminate can be divided in the thickness direction to form a desired number of divided light-transmitting hard substrate laminates.
  • the translucent hard substrate laminate that has been subjected to a desired shape processing and heated (eg, immersed in warm water) to form the light-transmitting hard substrate laminate after the shape processing.
  • the flexible hard substrates can be peeled off to form a plurality of plate-like products.
  • Each of the light-transmitting hard substrates to be bonded may be a single light-transmitting hard substrate or a laminate composed of two or more light-transmitting hard substrates.
  • the laminate of the translucent hard substrate may be a temporary translucent hard substrate laminate manufactured by the translucent hard substrate laminating apparatus according to the present invention, and then the translucent is permanently secured. It may be a hard substrate laminate.
  • the use of the translucent hard substrate laminating apparatus according to the present invention is intended to produce a translucent hard substrate laminate in which about 10 to 30 translucent hard substrates are laminated. Is done.
  • FIG. 1 is a schematic view showing a first example of a translucent hard substrate laminating apparatus according to the present invention.
  • the translucent hard substrate laminating apparatus 10 includes a gantry 11, an upper stage 12, a press unit 13, a suction unit 14, a suction hole 15, an LED unit 16, a lower stage 17, a lower stage moving means 18, a side clamp 19, A lower substrate coating unit 20, an upper substrate coating unit 21, an imaging unit 22, and an electrical unit 23 are provided.
  • the gantry 11 is a base part on which each component of the translucent hard substrate laminating apparatus 10 is mounted, and an electrical unit 23 is disposed inside.
  • the electrical unit 23 performs sequence control of each component device by PLC (Programmable Logic Controller).
  • FIG. 2 is a schematic diagram of the lower surface of the upper stage 12 and shows an example of the arrangement of the suction holes 15.
  • a vacuum pump, a vacuum ejector, or the like can be used as the suction unit 14.
  • a press unit 13 is connected to the upper part of the upper stage 12 for bonding the upper translucent hard substrate 25 while pressing the upper translucent hard substrate 25 against the lower translucent hard substrate 24.
  • the press unit 13 has an elevating cylinder (not shown) that can move the upper stage 12 in the Z direction (vertical direction).
  • the pressurizing force, moving speed, pressurizing time, and height are controlled by a servo motor. can do.
  • a plurality of LED units 16 for irradiating the upper translucent hard substrate 25 with ultraviolet rays for curing the adhesive are embedded in the lower surface of the upper stage 12.
  • the LED units 16 are arranged along the outer periphery of the upper translucent hard substrate 25 adsorbed by the upper stage 12.
  • FIG. 2 shows an example of the arrangement state of the LED units 16.
  • the LED unit 16 can be arranged not only in one row but also in two or more rows in parallel, so that the width of the outer peripheral portion to be irradiated can be increased.
  • the irradiation light may be an irradiation amount necessary to temporarily fix the translucent hard substrate, and is measured with an integrated illuminometer using a 365 nm light receiver, and an integrated illuminometer using a 365 nm light receiver. As measured, it can generally be 1 to 500 mJ / cm 2 , typically 50 to 450 mJ / cm 2 , more typically 200 to 400 mJ / cm 2 .
  • the irradiation time is generally 1 to 120 seconds, typically about 2 to 60 seconds.
  • the lower stage 17 holds the lower translucent hard substrate 24 and receives pressure from the upper stage 12 during pressing.
  • the lower stage 17 can be moved in the X axis direction, the Y axis direction, and the ⁇ axis direction by the lower stage moving means 18.
  • the lower stage moving means 18 includes a ⁇ table that enables a horizontal turning movement, and an X table and a Y table that enable a horizontal movement. These tables are driven by a motor.
  • a motor-driven side clamp 19 that is movable in the X-axis direction and the Y-axis direction for positioning the translucent hard substrate placed thereon is provided on the upper surface of the lower stage 17.
  • a positioning stopper for placing the translucent hard substrate at a predetermined position may be provided on the upper surface of the lower stage 17.
  • the translucent hard substrate is manually placed at a position where the translucent hard substrate is fixed by the stopper.
  • the lower translucent hard substrate 24 can also be held by vacuum suction.
  • the lower substrate coating unit 20 includes a photo-curing adhesive dispenser 20a and a motor-driven robot 20b connected to the dispenser 20a and movable in the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions.
  • the fixing agent can be applied to the upper surface of the optical hard substrate 24 in an arbitrary pattern.
  • the fixing agent is packed in a syringe and is automatically discharged in a fixed amount.
  • the coating amount is controlled by a digital pressure gauge and a coating speed.
  • the upper substrate coating unit 21 automatically coats the photocurable adhesive toward the lower surface of the upper translucent hard substrate 25 in a state where the upper translucent hard substrate 25 is held by the upper stage 12. To do.
  • the application amount is controlled by a pressure gauge and application time.
  • the upper substrate coating unit 21 is provided with a motor-driven robot 21b having a rotation shaft that can rotate in the horizontal direction beside the upper and lower stages, and the tip rotary nozzle 21a is located near the center of the upper stage 12 during coating.
  • the fixing agent is applied from the tip of the nozzle 21a. When the application is completed, it is stored beside the upper and lower stages so as not to interfere with the bonding of the translucent hard substrate.
  • the imaging unit 22 has alignment marks for alignment provided on the respective surfaces of the upper light-transmitting hard substrate 25 and the lower light-transmitting hard substrate 24 attached at two positions above and below the tip of the arm. An image is taken with the digital camera 22a.
  • the electrical unit 23 detects a relative positional shift state between the upper translucent hard substrate 25 and the lower translucent hard substrate 24 based on the captured image information. Based on the detection result, the position of the lower stage 17 is finely adjusted by the lower stage moving means 18 in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the ⁇ -axis direction, and an operation for correcting the positional deviation is executed. After correcting the positional deviation, the two light-transmitting hard substrates are bonded together.
  • a camera an analog camera can be used in addition to a digital camera using a CCD or CMOS as an image sensor, but a digital camera is preferable from the viewpoint of high resolution.
  • the image pickup unit 22 is provided with moving means 22b driven by motors in the X-axis and Y-axis directions, and at the time of image pickup, the digital camera 22a moves to a predetermined position where the alignment mark enters the field of view. When the imaging is completed, the digital camera 22a moves so as not to obstruct the pasting of the translucent hard substrates.
  • the first translucent hard substrate 26 is placed on the lower stage 17 and fixed to a predetermined position by a side clamp 19 (not shown) (FIG. 3). Placement on the lower stage 17 of the light-transmitting hard substrate 26 can be performed manually, but a large number of light-transmitting hard substrates 26 are stored in a dedicated cassette and automatically placed on the lower stage 17. It may be placed.
  • substrate 26 mounted is moved just under the upper stage 12 by the lower stage moving means 18 (not shown) (FIG. 4).
  • the upper stage 12 is lowered by the press unit 13.
  • the translucent hard substrate 26 is vacuum-sucked by the suction force from the suction hole 15 (not shown) (FIG. 5).
  • the adsorbed translucent hard substrate 26 rises with the upper stage 12 while being held, and waits for the second substrate (FIG. 6).
  • the second translucent hard substrate 27 is placed on the lower stage 17 and fixed to a predetermined position by a side clamp 19 (not shown) (FIG. 7).
  • the fixing agent 28 is applied in a predetermined pattern from the lower substrate coating unit 20 (FIG. 8).
  • the alignment mark is imaged by a camera attached to the arm tip of the imaging unit 22. Then, the position of the lower stage 17 is finely adjusted in accordance with the imaging result, and the positions of both translucent hard substrates (26, 27) are adjusted (FIG. 9).
  • the nozzle 21a attached to the arm tip of the upper substrate coating unit 21 moves to the vicinity of the center of the first substrate 26 held by the upper stage 12, and the fixing agent 29 is transferred from the nozzle 21a. It is applied to the lower surface of the first translucent hard substrate 26 (FIG. 10).
  • the adhesive (28, 29) is applied to the upper and lower translucent hard substrates (26, 27)
  • the upper stage 12 is lowered by the press unit 13 and the two translucent hard substrates (26, 27) are applied.
  • the adhesive (28, 29) sandwiched between the upper and lower light-transmitting hard substrates spreads over the entire surface of the light-transmitting hard substrate.
  • FIG. 14 is a schematic view showing a second embodiment of a translucent hard substrate laminating apparatus according to the present invention.
  • the LED units 16 are arranged on the upper surface of the lower stage 17 along the outer periphery of the lower translucent hard substrate 24 and irradiate ultraviolet rays upward.
  • FIG. 15 is a schematic view showing a third embodiment of the translucent hard substrate laminating apparatus according to the present invention.
  • the LED units 16 are arranged so as to surround the outer peripheral side surfaces of both light-transmitting hard substrates to be bonded together, and irradiate ultraviolet rays toward the outer peripheral side surfaces.
  • the LED unit 16 has a moving means in the Z-axis direction, and can be moved to an optimum height according to the height of the bonding surface.
  • the steps (1) to (6) are carried out under the following conditions to obtain a temporary translucent hard substrate laminate.
  • steps (7) to (8) are further performed under the following conditions to manufacture the main translucent hard substrate laminate, and then step (9) Processes (10) to (10) were performed.
  • substrate laminated body was peeled according to process (11), the fixing agent softened in the film form and isolate
  • the following plate glass was used as a translucent hard substrate.
  • the plate glass used was a plate glass provided with a plating pattern with dimensions of 530 mm wide ⁇ 420 mm long ⁇ 0.7 mm thick.
  • the fixing agent (I) the following components (A) to (E) were mixed to prepare a photocurable fixing agent (I).
  • UV-3000B dicyclopentanyl diacrylate
  • KYARAD dicyclopentanyl diacrylate
  • R-684 dicyclopentanyl diacrylate
  • B As a monofunctional (meth) acrylate, 50 parts by mass of 2- (1,2-cyclohexacarboxyimide) ethyl acrylate (“Aronix M-140” manufactured by Toagosei Co., Ltd., hereinafter abbreviated as “M-140”); 15 parts by mass of phenol ethylene oxide 2 mol modified acrylate (“Aronix M-101A” manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.)
  • C 8 parts by mass of benzyldimethyl ketal (“IRGACURE651” manufactured by BASF, hereinafter abbreviated as “BDK”) as a photopolymerization initiator
  • D 1 part by weight of spherical cross
  • the pressure at the time of bonding was 20 g / cm 2
  • the outer peripheral portion irradiated by the LED unit 16 had a width of about 12 mm.
  • the outer peripheral portion irradiated by the LED unit 16 has a width of about 12 mm, and when the photocurable adhesive is cured, the UV irradiation amount is 300 mJ / cm 2 (according to the integrated illuminometer with a 365 nm light receiver). Measurement), and the UV irradiation time was 30 seconds, and temporarily fixed.
  • step (7) the applied pressure is 20 g / cm 2
  • the amount of light irradiation is 2000 mJ / cm 2 measured with an integrating illuminometer using a 365 nm light receiver
  • the irradiation time is 20 seconds. I booked it.
  • step (8) a plate glass laminate comprising 12 plate glasses was produced using the method according to the present invention using the fixing agent (I).
  • step (9) a disk cutter (diamond disk) was used and divided into a rectangular parallelepiped shape (width 100 mm ⁇ length 55 mm ⁇ thickness 9.6 mm).
  • step (10) grinding with a rotating grindstone, drilling with an ultrasonic vibration drill, and end face processing with a rotating brush were sequentially performed to form a shape.
  • step (11) the plate glass laminate was immersed in 85 ° C. warm water and peeled off.

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Abstract

生産効率を高めながら位置精度の向上を図ることのできる透光性硬質基板積層体の製造方法を提供する。また、板状製品の生産効率を高めながら位置精度の向上に寄与する透光性硬質基板貼り合わせ装置を提供する。本発明に係る透光性硬質基板積層体の製造方法及び透光性硬質基板貼り合わせ装置では、光硬化性の固着剤を介在させて透光性硬質基板同士を定められた位置関係で貼り合わせるときに、両透光性硬質基板外周部分に存在する固着剤のみを仮留めのために硬化させる。

Description

透光性硬質基板積層体の製造方法及び透光性硬質基板貼り合わせ装置
 本発明は透光性硬質基板積層体の製造方法及び透光性硬質基板貼り合わせ装置に関し、とりわけ表示素子の保護基板を製造するための板基板積層体の製造方法及び表示素子の保護ガラスの製造工程に使用する板ガラス貼り合わせ装置に関する。
 テレビ、ノートパソコン、カーナビゲーション、電卓、携帯電話、電子手帳、及びPDA(Personal Digital Assistant)といった各種電子機器の表示装置には、液晶ディスプレイ(LCD)、有機ELディスプレイ(OELD)、電界発光ディスプレイ(ELD)、電界放出ディスプレイ(FED)、及びプラズマディスプレイ(PDP)等の表示素子が使用されている。そして、表示素子を保護するため、表示素子と対向させて保護用の板ガラス製品を設置するのが一般である。
 この板ガラス製品は板ガラスを各表示装置に適した大きさ及び形状に加工したものであるが、市場で要求される価格レベルに対応するために、大量の板ガラス製品を高い生産効率で加工することが求められる。
 そこで、特開2009-256125号公報(特許文献1)では、板ガラス製品の生産効率を高める方法が提案されている。具体的には「多数の素材板ガラス(1)を積み重ねるとともに、各素材板ガラス(1)を、各素材板ガラス(1)間に介在させた剥離可能な固着材(2)により一体的に固着してなる素材ガラスブロック(A)を形成し、該素材ガラスブロック(A)を面方向に分割して小面積の分割ガラスブロック(B)を形成し、該分割ガラスブロック(B)の少なくとも外周を加工して平面視製品形状となる製品ガラスブロック(C)を形成し、該製品ガラスブロック(C)を端面加工した後、該製品ガラスブロック(C)を個別に分離したことを特徴とする板ガラスの加工方法」を提案している(請求項1)。これにより、「多数の素材板ガラスを積み重ねた状態で、分割、外形加工、及び端面加工を行なうようにしたので、少ない工程で多数の板ガラス製品を得ることができ、生産性に富む」(段落0007)ことが記載されている。
 また、特許文献1には、「各素材板ガラス(1)間に介在させる固着材(2)は、紫外線を照射させると硬化し、かつ昇温させると硬化状態が軟化する光硬化性の液状固着材とする」ことが記載されている(請求項4)。これにより、「上下の素材板ガラス間に光硬化性の液状固着剤を介在させて上下方向に加圧すると、該液状固着剤が上下の素材板ガラス間で全面に亘たって均等厚で膜状に広がり、この状態で赤外線を照射すると、前記膜状に広がった液状固着剤が硬化して上下の各板ガラスを一体的に固着することになる。このため、多数の素材板ガラスを迅速かつ高精度に積み重ねで一体的に固着することができる。また、最終加工(端面加工)した後に、製品ガラスブロックを湯等に収容して昇温すると、各板ガラス間で硬化した固着剤が軟化し、フィルム状となって分離することになる。このため、環境汚染を発生させることなく固着剤の回収及び処理が容易となる。」(段落0007)ことが記載されている。
 特許文献1の「発明を実施するための最良の実施形態」の欄には、各素材板ガラス間に光硬化性の液状固着剤を介在させながら素材板ガラスを20枚積み重ね、次いで、積み重ねた素材板ガラスの上面から紫外線(UV光)を照射して固着剤を硬化させ、上下の各素材板ガラスが一体的に固着された素材ガラスブロックを形成したことが記載されている(段落0010~0011)。
特開2009-256125号公報
 特許文献1に記載された板ガラスの加工方法によれば、所定の形状の板ガラス製品を高い生産効率で製造することが可能となる。しかしながら、電子機器によっては、板ガラスに所望の印刷パターン(例えば、携帯電話の表示画面のデザイン)を形成することが要求される場合もあり、このような場合には印刷されるパターンについて高い位置精度(例えば許容誤差が10~30μm程度)が要求される。
 特許文献1に記載の方法では、各素材板ガラス間に光硬化性の液状固着剤を介在させながら素材板ガラスを20枚積み重ね、次いで、積み重ねた素材板ガラスの上面から紫外線(UV光)を照射して固着剤を硬化させ、上下の各素材板ガラスが一体的に固着された素材ガラスブロックを形成している。しかしながら、このような手順では素材板ガラスを積み重ねている間は固着剤が硬化しておらず、ガラス面同士が微妙な位置ずれを起こしやすいため、高精度の位置合わせには向いていない。すなわち、特許文献1に記載の方法では高い位置精度を得るのは困難である。
 また、特許文献1にはガラスを貼り合わせる方法の発明は開示されているものの、それを実現する装置については記載されていない。工業的な量産のためにはガラスを貼り合わせることのできる装置が提供されることが望ましい。
 そこで、本発明は位置精度の向上を図ることのできる透光性硬質基板積層体の製造方法を提供することを課題とする。また、本発明は当該透光性硬質基板積層体の製造方法を利用した板状製品の製造方法を提供することを別の課題とする。また、本発明は板状製品の生産効率を高めながら位置精度の向上に寄与する透光性硬質基板貼り合わせ装置を提供することを更に別の課題とする。
 本発明者は上記課題を解決するために鋭意研究したところ、光硬化性の固着剤を介在させて透光性硬質基板同士を定められた位置関係で貼り合わせるときに、両透光性硬質基板間に挟まれて広がっている固着剤の外周部分のみを仮留めのために硬化させること(仮照射)が有効であることを見出した。
 仮留めされた透光性硬質基板の積層体は積み重ねていっても容易には位置ずれが生じない。一方で、透光性硬質基板同士は外周部分が接着されているに過ぎないので、仮留め後に貼り合わせの位置精度を検査し、不合格品についてはいったん剥がした後に再度仮留めを行うという手順が行いやすい。
 また、仮留めに要する時間は透光性硬質基板面に広がっている固着剤全部を硬化する場合に比べて単位面積当たりの照射エネルギーが概ね5分の1程度で済む。そのため、多数の透光性硬質基板を仮留めで積層した後に基板表面の中央付近に存在する固着剤の硬化(本照射)を実施すれば、透光性硬質基板積層体を高い位置精度及び高い生産効率で製造することも可能となる。
 以上の知見を基礎として完成した本発明は一側面において、
1)第一の透光性硬質基板を準備する工程と、
2)第二の透光性硬質基板を準備する工程と、
3)第一の透光性硬質基板の第一の面及び/又は第二の透光性硬質基板の第一の面に光硬化性の固着剤を塗布する工程と、
4)第一の透光性硬質基板の第一の面と第二の透光性硬質基板の第一の面とを予め定めた面方向の位置関係で両面が平行となるように対向させる工程と、
5)前記位置関係を維持しながら、第一の透光性硬質基板の第一の面と第二の透光性硬質基板の第一の面に所定の圧力を印加して、両透光性硬質基板を貼り合わせる工程と、
6)前記圧力を維持したまま、両透光性硬質基板に挟まれて広がっている固着剤の外周部分のみを硬化するための光を照射して、仮留め透光性硬質基板積層体を形成する工程と、
7)前記仮留め透光性硬質基板積層体内部に存在する未硬化の固着剤を硬化させるための光を照射し、本留め透光性硬質基板積層体を形成する本照射工程と、
8)前記本留め透光性硬質基板積層体を第一の透光性硬質基板に見立てて、工程1)~7)を少なくとも1回繰り返し、少なくとも3枚の透光性硬質基板が貼り合わせられた本留め透光性硬質基板積層体を形成する工程と
を含む透光性硬質基板積層体の製造方法である。
 本発明は別の一側面において、
1)第一の透光性硬質基板を準備する工程と、
2)第二の透光性硬質基板を準備する工程と、
3)第一の透光性硬質基板の第一の面及び/又は第二の透光性硬質基板の第一の面に光硬化性の固着剤を塗布する工程と、
4)第一の透光性硬質基板の第一の面と第二の透光性硬質基板の第一の面とを予め定めた面方向の位置関係で両面が平行となるように対向させる工程と、
5)前記位置関係を維持しながら、第一の透光性硬質基板の第一の面と第二の透光性硬質基板の第一の面に所定の圧力を印加して、両透光性硬質基板を貼り合わせる工程と、
6)前記圧力を維持したまま、両透光性硬質基板に挟まれて広がっている固着剤の外周部分のみを硬化するための光を照射して、仮留め透光性硬質基板積層体を形成する工程と、
7’)前記仮留め透光性硬質基板積層体を第一の透光性硬質基板に見立てて、工程1)~6)を少なくとも1回繰り返し、少なくとも3枚の透光性硬質基板が貼り合わせられた仮留め透光性硬質基板積層体を形成する工程と、
8’)工程7’)で得られた仮留め透光性硬質基板積層体内部に存在する未硬化の固着剤を硬化させるための光を照射し、本留め透光性硬質基板積層体を形成する本照射工程と、
を含む透光性硬質基板積層体の製造方法である。
 本発明に係る透光性硬質基板積層体の製造方法の一実施形態においては、
8’’)工程8’)で得られた本留め透光性硬質基板積層体を第一の透光性硬質基板に見立てて、工程1)~6)を少なくとも1回繰り返し、複合透光性硬質基板積層体を形成する工程と、
8’’’)工程8’’)で得られた複合透光性硬質基板積層体内部に存在する未硬化の固着剤を硬化させるための光を照射し、積層枚数が増加された本留め透光性硬質基板積層体を形成する本照射工程と、
を更に含む。
 本発明に係る透光性硬質基板積層体の製造方法の別の一実施形態においては、前記外周部分は板状製品の一部を形成しないマージン領域に存在する。
 本発明に係る透光性硬質基板積層体の製造方法の更に別の一実施形態においては、本照射工程が、貼り合わせられた透光性硬質基板面に所定の圧力を印加しながら行われる。
 本発明に係る透光性硬質基板積層体の製造方法の更に別の一実施形態においては、未硬化の固着剤に紛れて存在する気泡を、形状加工を受けない位置に移動させてから本照射工程を実施する。
 本発明に係る透光性硬質基板積層体の製造方法の更に別の一実施形態においては、各透光性硬質基板の表面に位置合わせのための目印が付されており、工程4)はこれを撮像装置で撮像しながら位置調整を行うことを含む。
 本発明に係る透光性硬質基板積層体の製造方法の更に別の一実施形態においては、各透光性硬質基板の表面には透光性硬質基板製品の機能の一つを奏するための所定の印刷パターン及び/又はめっきパターンが付されている。
 本発明に係る透光性硬質基板積層体の製造方法の更に別の一実施形態においては、前記固着剤は粒状物質を含有する。
 本発明に係る透光性硬質基板積層体の製造方法の更に別の一実施形態においては、365nmの受光器を使用した積算照度計で測定して、光の照射量が1mJ/cm2~500mJ/cm2の範囲である。
 本発明に係る透光性硬質基板積層体の製造方法の更に別の一実施形態においては、透光性硬質基板が板ガラスである。
 本発明は別の一側面において、
9)上記の透光性硬質基板積層体の製造方法を用いて得られた透光性硬質基板積層体を厚み方向に分割し、所望の数の分割された透光性硬質基板積層体を形成する工程と、
10)分割された透光性硬質基板積層体それぞれに対して所望の形状加工を行う工程と、
11)形状加工後の透光性硬質基板積層体を加熱することで貼り合わせられていた透光性硬質基板同士を剥離し、複数の板状製品を形成する工程と、
を含む板状製品の製造方法である。
 本発明に係る板状製品の製造方法の一実施形態においては、工程9)と工程10)の間に、分割された透光性硬質基板積層体を、各透光性硬質基板に挟まれた固着剤外縁の露出部分の接着力を低下させるのに必要な温度及び時間条件で、剥離剤に接触させる工程を更に含む。
 本発明に係る板状製品の製造方法の別の一実施形態においては、剥離剤が溶剤、酸化剤、及び界面活性剤から選択される一種又は二種以上を含有する。
 本発明に係る板状製品の製造方法の更に別の一実施形態においては、剥離剤が水、アルコール類、酸化剤、及び界面活性剤から選択される一種又は二種以上を含有する。
 本発明に係る板状製品の製造方法の更に別の一実施形態においては、剥離剤が水とアルコール類と界面活性剤を30~50:30~50:5~20の質量比で含有する。
 本発明に係る板状製品の製造方法の更に別の一実施形態においては、剥離剤がベンジルアルコールを含有する。
 本発明に係る板状製品の製造方法の更に別の一実施形態においては、剥離剤がアニオン系界面活性剤を含有する。
 本発明に係る板状製品の製造方法の更に別の一実施形態においては、剥離剤がスルホン酸型界面活性剤を含有する。
 本発明に係る板状製品の製造方法の更に別の一実施形態においては、剥離剤の液温が20℃~40℃であり、剥離剤に接触させる時間が1~20分である。
 本発明は更に別の一側面において、
 上側の透光性硬質基板を真空吸着するための吸引孔を有し、上側の透光性硬質基板を保持するための上側ステージと、
 上側ステージをZ軸方向に移動させることのできるプレスユニットと、
 前記吸引孔に吸引力を与える吸引ユニットと、
 下側の透光性硬質基板を保持するための下側ステージと、
 下側ステージをX軸方向、Y軸方向及びθ軸方向に移動させる手段と、
 上側の透光性硬質基板の下面及び下側の透光性硬質基板の上面のいずれか又は両方に光硬化性の固着剤を塗布するための手段と、
 両透光性硬質基板の貼り合わせ面の外周部分に向かって光を照射できる位置に配列された光照射部と、
を備えた透光性硬質基板貼り合わせ装置である。
 本発明に係る透光性硬質基板貼り合わせ装置の一実施形態においては、光照射部は上側ステージの下面に、保持される透光性硬質基板の外周に沿って配列され、下方向に光を照射する。
 光照射部をこのように配列することで、透光性硬質基板の外周部分に存在する固着剤に選択的に光を照射することができる。光は上側の透光性硬質基板に照射されるので、下側の透光性硬質基板(一枚の透光性硬質基板でも二枚以上の透光性硬質基板積層体でもよい)に対して上側の透光性硬質基板一枚ずつ積層する場合に特に有効である。
 本発明に係る透光性硬質基板貼り合わせ装置の別の一実施形態においては、光照射部は下側ステージの上面に、保持される透光性硬質基板の外周に沿って配列され、上方向に光を照射する。
 光照射部をこのように配列することで、同様に透光性硬質基板の外周部分に存在する固着剤に選択的に光を照射することができる。光は下側の透光性硬質基板に照射されるので、上側の透光性硬質基板(一枚の透光性硬質基板でも二枚以上の透光性硬質基板積層体でもよい)に対して下側の透光性硬質基板一枚ずつ積層する場合に有効である。この場合、貼り合わせた後の透光性硬質基板積層体を取り出さずに上側ステージに保持すれば、次に積層する透光性硬質基板を下側ステージから供給することで連続的に透光性硬質基板を積層することが可能となる。
 本発明に係る透光性硬質基板貼り合わせ装置の更に別の一実施形態においては、光照射部は貼り合わせられる両透光性硬質基板の外周側面を取り囲むように配列され、外周側面に向かって光を照射する。
 この場合も、同様に透光性硬質基板の外周部分に存在する固着剤に選択的に光を照射することができる。外周側面に向かって照射された光のエネルギーは接着剤によって吸収されるため、透光性硬質基板の中央付近にまで光が到達することはない。また、光照射部をZ軸方向に移動可能にすることで、光照射部を貼り合わせ面の高さに追随させることができる。そのため、上側の透光性硬質基板に対して下側の透光性硬質基板一枚ずつ積層する場合、及び、下側の透光性硬質基板に対して上側の透光性硬質基板一枚ずつ積層する場合の何れにも適用できる。貼り合わせた後の透光性硬質基板積層体を取り出さずに上側ステージに保持すれば、次に積層する透光性硬質基板を下側ステージから供給することで連続的に透光性硬質基板を積層することも可能である。
 本発明に係る透光性硬質基板貼り合わせ装置の更に別の一実施形態においては、上側及び下側の透光性硬質基板の表面に設けられたアライメントマークを撮像する撮像ユニットと、撮像結果に基づいて上側及び下側の表面に設けられたアライメントマークの位置ずれ度合いを検出する画像処理ユニットと、検出された位置ずれ度合いに基づいて前記下側ステージ移動手段を制御する制御ユニットとを更に備える。
 撮像ユニットを用いて透光性硬質基板同士の位置関係を微調整することで、より高い位置精度で基板を積層することができる。そのため、透光性硬質基板表面に印刷パターンやめっきパターンが付されている場合など高い位置精度が要求される場合においても対応が可能である。
 本発明に係る透光性硬質基板貼り合わせ装置の更に別の一実施形態においては、光照射部が光を照射する前記外周部分は、板状製品の一部を形成しないマージン領域である。
 マージン領域に選択的に光照射する場合、板状製品を構成する部分の基板は仮留めのための光照射を受けずに済む。そのため、後に本照射するとき当該部分の光照射履歴を均一にすることができ、固着剤の歪みに追随した基板の歪みが抑制できるという利点がある。
 本発明に係る透光性硬質基板貼り合わせ装置の更に別の一実施形態においては、上側ステージ及び/又は下側ステージに保持される透光性硬質基板は2枚以上の透光性硬質基板の積層体である。
 本発明で貼り合わせる上側及び/又は下側の透光性硬質基板を2枚以上の透光性硬質基板からなる積層体とすることで、3枚以上の基板積層体を製造することができる。
 本発明に係る透光性硬質基板貼り合わせ装置の更に別の一実施形態においては、固着剤を塗布するための手段は、粒状物質を含有する固着剤を塗布する。
 固着剤が粒状物質を含有することで、固着剤の厚みを一定にすることができるため、加工精度が向上する。また、固着剤成分と粒状物質の線膨張係数の違いにより、後に剥離するときの剥離性も向上する。
 本発明に係る透光性硬質基板貼り合わせ装置の更に別の一実施形態においては、透光性硬質基板が板ガラスである。
 本発明によれば、高い位置精度で透光性硬質基板積層体を製造することができる。これにより、高い寸法精度で板状製品を工業的に製造することができるようになる。本発明は例えば表示素子の保護ガラスを量産する方法に好適に使用することができる。
本発明の実施に使用可能な透光性硬質基板貼り合わせ装置の第一の例を示す模式図である。 上側ステージの下面の例を示す模式図である。 一枚目の基板を下側ステージに載置した状態を示す図である。 下側ステージに載置した一枚目の基板を上側ステージの真下に搬送した状態を示す図である。 上側ステージを降下させて一枚目の基板を真空吸着している状態を示す図である。 吸着した一枚目の基板を保持しながら上側ステージを上昇させた状態を示す図である。 二枚目の基板を下側ステージに載置した状態を示す図である。 二枚目の基板の上面に固着剤を塗布している状態を示す図である。 下側ステージに載置した二枚目の基板を上側ステージの真下に搬送し、両基板の表面に付されたアライメントマークをカメラで撮像している状態を示す図である。 上側ステージに保持されている一枚目の基板の下面に固着剤を塗布している状態を示す図である。 上側ステージを降下させて二枚の基板を貼り合わせ、基板の外周部にUV照射している状態を示す図である。 UV照射後に上側ステージを上昇させた状態を示す図である。 貼り合わせられた基板が下側ステージによって搬送され、元の位置に戻った状態を示す図である。 本発明の実施に使用可能な基板貼り合わせ装置の第二の例を示す模式図である。 本発明の実施に使用可能な基板貼り合わせ装置の第三の例を示す模式図である。 基板積層体を端面加工の際に、固着剤が障害となって、基板が面取りを受けなかった状態を示す模式図である。 基板積層体を端面加工の際に、固着剤外縁の露出部分の接着力を低下させておいたことで、各基板が面取りを受けた状態を示す模式図である。
<第一の実施形態>
 本発明に係る透光性硬質基板積層体の製造方法の第一実施形態においては、
1)第一の透光性硬質基板を準備する工程と、
2)第二の透光性硬質基板を準備する工程と、
3)第一の透光性硬質基板の第一の面及び/又は第二の透光性硬質基板の第一の面に光硬化性の固着剤を塗布する工程と、
4)第一の透光性硬質基板の第一の面と第二の透光性硬質基板の第一の面とを予め定めた面方向の位置関係で両面が平行となるように対向させる工程と、
5)前記位置関係を維持しながら、第一の透光性硬質基板の第一の面と第二の透光性硬質基板の第一の面に所定の圧力を印加して、両透光性硬質基板を貼り合わせる工程と、
6)前記圧力を維持したまま、両透光性硬質基板に挟まれて広がっている固着剤の外周部分のみを硬化するための光を照射して、仮留め透光性硬質基板積層体を形成する工程と、
7)前記仮留め透光性硬質基板積層体内部に存在する未硬化の固着剤を硬化させるための光を照射し、本留め透光性硬質基板積層体を形成する本照射工程と、
8)前記本留め透光性硬質基板積層体を第一の透光性硬質基板に見立てて、工程1)~7)を少なくとも1回繰り返し、少なくとも3枚の透光性硬質基板が貼り合わせられた本留め透光性硬質基板積層体を形成する工程と、
が実行される。
 工程(1)及び工程(2)では、加工対象となる透光性硬質基板を準備する。透光性硬質基板としては、特に制限はないが、板ガラス(素材板ガラス、透明導電膜付きガラス基板、電極や回路が形成されたガラス基板等)、サファイア基板、石英基板、プラスチック基板、フッ化マグネシウム基板などが挙げられる。ガラスとして、強化ガラスも挙げられる。透光性硬質基板の大きさに特に制限はないが、典型的には10000~250000mm2程度の面積を有し、0.1~2mm程度の厚みを有する。各透光性硬質基板は同じサイズであるのが一般的である。限定的ではないが、各透光性硬質基板の表面には板状製品の機能の一つを奏するための所定の印刷パターンやめっきパターンを付すことができる。印刷パターンの例としては携帯電話の表示画面のデザイン、めっきパターンの例としてはクロムめっきパターンが施されているロータリーエンコーダーが挙げられる。
 工程(3)では、第一の透光性硬質基板の第一の面及び/又は第二の透光性硬質基板の第一の面に光硬化性の固着剤を塗布する。光硬化性の固着剤は紫外線等の光を照射することで硬化し、高温に加熱すると軟化する固着剤であり、各種の固着剤が知られている。本発明に使用する光硬化性の固着剤としては、公知の任意のものが使用でき特に制限はない。光硬化性の固着剤はいずれか一方の透光性硬質基板の貼り合わせ面に塗布すればよいが、接着性を向上する観点からは両方の透光性硬質基板の貼り合わせ面に塗布することが好ましい。
 本発明に好適に使用される光硬化性の固着剤としては、例えばWO2008/018252に記載のような(A)多官能(メタ)アクリレート、(B)単官能(メタ)アクリレート、及び(C)光重合開始剤を含有する接着性組成物が挙げられる。
 (A)多官能(メタ)アクリレートとしては、オリゴマー/ポリマー末端又は側鎖に2個以上(メタ)アクロイル化された多官能(メタ)アクリレートオリゴマー/ポリマーや、2個以上の(メタ)アクロイル基を有する多官能(メタ)アクリレートモノマーを使用することができる。例えば、多官能(メタ)アクリレートオリゴマー/ポリマーとしては、1,2-ポリブタジエン末端ウレタン(メタ)アクリレート(例えば、日本曹達社製「TE-2000」、「TEA-1000」)、その水素添加物(例えば、日本曹達社製「TEAI-1000」)、1,4-ポリブタジエン末端ウレタン(メタ)アクリレート(例えば、大阪有機化学社製「BAC-45」)、ポリイソプレン末端(メタ)アクリレート、ポリエステル系ウレタン(メタ)アクリレート(例えば、日本合成化学社製「UV-2000B」、「UV-3000B」、「UV-7000B」、根上工業社製「KHP-11」、「KHP-17」)、ポリエーテル系ウレタン(メタ)アクリレート(例えば、日本合成化学社製「UV-3700B」、「UV-6100B」)、又はビスフェノールA型エポキシ(メタ)アクリレート、などが挙げられる。
 2官能(メタ)アクリレートモノマーとしては、1,3-ブチレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,4-ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6-ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,9-ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニルジ(メタ)アクリレート、2-エチル-2-ブチル-プロパンジオールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコール変性トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、ステアリン酸変性ペンタエリストールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、2,2-ビス(4-(メタ)アクリロキシジエトキシフェニル)プロパン、2,2-ビス(4-(メタ)アクリロキシプロポキシフェニル)プロパン、又は2,2-ビス(4-(メタ)アクリロキシテトラエトキシフェニル)プロパン等が挙げられる。3官能(メタ)アクリレートモノマーとしては、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリス[(メタ)アクリロイキシエチル]イソシアヌレート等が挙げられる。4官能以上の(メタ)アクリレートモノマーとしては、ジメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールエトキシテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、又はジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等が挙げられる。
 (B)単官能(メタ)アクリレートモノマーとしては、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、2-エチルヘキシル(メタ)アクリレート、イソオクチル(メタ)アクリレート、イソデシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニロキシエチル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、メトキシ化シクロデカトリエン(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、3-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、4-ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシ-3-フェノキシプロピル(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、3-クロロ-2-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、N,N-ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、N,N-ジエチルアミノエチル(メタ)アクリレート、t-ブチルアミノエチル(メタ)アクリレート、エトキシカルボニルメチル(メタ)アクリレート、フェノールエチレンオキサイド変性(メタ)アクリレート、フェノール(エチレンオキサイド2モル変性)(メタ)アクリレート、フェノール(エチレンオキサイド4モル変性)(メタ)アクリレート、パラクミルフェノールエチレンオキサイド変性(メタ)アクリレート、ノニルフェノールエチレンオキサイド変性(メタ)アクリレート、ノニルフェノール(エチレンオキサイド4モル変性)(メタ)アクリレート、ノニルフェノール(エチレンオキサイド8モル変性)(メタ)アクリレート、ノニルフェノール(プロピレンオキサイド2.5モル変性)(メタ)アクリレート、2-エチルヘキシルカルビトール(メタ)アクリレート、エチレンオキシド変性フタル酸(メタ)アクリレ-ト、エチレンオキシド変性コハク酸(メタ)アクリレート、トリフロロエチル(メタ)アクリレート、アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、フマル酸、ω-カルボキシ-ポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート、フタル酸モノヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸ダイマー、β-(メタ)アクロイルオキシエチルハイドロジェンサクシネート、n-(メタ)アクリロイルオキシアルキルヘキサヒドロフタルイミド、2-(1,2-シクロヘキサカルボキシイミド)エチル(メタ)アクリレート、エトキシジエチレングリコール(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート等が挙げられる。
 (A)多官能(メタ)アクリレートと(B)単官能(メタ)アクリレートの配合比としては、(A):(B)=5:95~95:5(質量部)であることが好ましい。5質量部以上であれば初期の接着性が低下する恐れもなく、95質量部以下であれば、剥離性が確保できる。硬化した固着剤は温水に浸漬することでフィルム状に剥離する。(B)単官能(メタ)アクリレートの含有量は、(A)及び(B)の合計量100質量部中、40~80質量部がさらに好ましい。
 (C)光重合開始剤は、可視光線や紫外線の活性光線により増感させて樹脂組成物の光硬化を促進するために配合するものであり、公知の各種光重合開始剤が使用可能である。具体的にはベンゾフェノン又はその誘導体;ベンジル又はその誘導体;アントラキノン又はその誘導体;ベンゾイン;ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンジルジメチルケタール等のベンゾイン誘導体;ジエトキシアセトフェノン、4-t-ブチルトリクロロアセトフェノン等のアセトフェノン誘導体;2-ジメチルアミノエチルベンゾエート;p-ジメチルアミノエチルベンゾエート;ジフェニルジスルフィド;チオキサントン又はその誘導体;カンファーキノン;7,7-ジメチル-2,3-ジオキソビシクロ[2.2.1]ヘプタン-1-カルボン酸、7,7-ジメチル-2,3-ジオキソビシクロ[2.2.1]ヘプタン-1-カルボキシ-2-ブロモエチルエステル、7,7-ジメチル-2,3-ジオキソビシクロ[2.2.1]ヘプタン-1-カルボキシ-2-メチルエステル、7,7-ジメチル-2,3-ジオキソビシクロ[2.2.1]ヘプタン-1-カルボン酸クロライド等のカンファーキノン誘導体;2-メチル-1-[4-(メチルチオ)フェニル]-2-モルフォリノプロパン-1-オン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルフォリノフェニル)-ブタノン-1等のα-アミノアルキルフェノン誘導体;ベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、ベンゾイルジエトキシポスフィンオキサイド、2,4,6-トリメチルベンゾイルジメトキシフェニルホスフィンオキサイド、2,4,6-トリメチルベンゾイルジエトキシフェニルホスフィンオキサイド等のアシルホスフィンオキサイド誘導体、オキシ-フェニル-アセチックアシッド2-[2-オキソ-2-フェニル-アセトキシ-エトキシ]-エチルエステル及び/又はオキシ-フェニル-アセチックアシッド2-[2-ヒドロキシ-エトキシ]-エチルエステル等が挙げられる。光重合開始剤は1種又は2種以上を組み合わせて用いることができる。これらの中では、効果が大きい点で、1ベンジルジメチルケタール、オキシ-フェニル-アセチックアシッド2-[2-オキソ-2-フェニル-アセトキシ-エトキシ]-エチルエステル及びオキシ-フェニル-アセチックアシッド2-[2-ヒドロキシ-エトキシ]-エチルエステルからなる群のうちの1種又は2種以上が好ましい。
 (C)光重合開始剤の含有量は、(A)及び(B)の合計100質量部に対して、0.1~20質量部が好ましく、0.5~10質量部がより好ましい。0.1質量部以上であれば、硬化促進の効果が確実に得られるし、20質量部以下で充分な硬化速度を得ることができる。(C)成分を1質量部以上添加することは、光照射量に依存なく硬化可能となり、さらに組成物の硬化体の架橋度が高くなり、切削加工時に位置ずれ等を起こさなくなる点や剥離性が向上する点で、さらに好ましい。
 光硬化性固着剤は、固着剤の成分(A)、(B)及び(C)に溶解しない粒状物質(D)を含有するのが好ましい。これにより、硬化後の組成物が一定の厚みを保持できるため、加工精度が向上する。さらに、接着性組成物の硬化体と粒状物質(D)の線膨張係数が異なることから、前記接着剤組成物を用いて透光性硬質基板を貼り合わせた後に剥離する際の剥離性が向上する。
 粒状物質(D)の材質としては、一般的に使用される有機粒子、又は無機粒子いずれでもかまわない。具体的には、有機粒子としては、ポリエチレン粒子、ポリプロピレン粒子、架橋ポリメタクリル酸メチル粒子、架橋ポリスチレン粒子などが挙げられる。無機粒子としてはガラス、シリカ、アルミナ、チタンなどセラミック粒子が挙げられる。
 粒状物質(D)は、加工精度の向上、つまり接着剤の膜厚の制御の観点から球状であることが好ましい。粒状物質(D)のレーザー法による平均粒径は20~200μmの範囲にあることが好ましい。前記粒状物質の平均粒径が20μm未満であると剥離性に劣り、200μm以上であると仮固定した部材の加工時にずれを生じ易く、寸法精度面で劣る。剥離性と寸法精度の観点からより好ましい平均粒径(D50)は35μm~150μmであり、更に好ましくは50μm~120μmである。粒径分布は、レーザー回折式粒度分布測定装置により測定される。
 粒状物質(D)の使用量は、接着性、加工精度、剥離性の観点から、(A)及び(B)の合計量100質量部に対して、0.1~20質量部が好ましく、0.2~10質量部がより好ましく、0.2~6質量部が最も好ましい。
 光硬化性固着剤には、貯蔵安定性向上のため重合禁止剤(E)を添加することができる。重合禁止剤としては、メチルハイドロキノン、ハイドロキノン、2,2-メチレン-ビス(4-メチル-6-ターシャリーブチルフェノール)、カテコール、ハイドロキノンモノメチルエーテル、モノターシャリーブチルハイドロキノン、2,5-ジターシャリーブチルハイドロキノン、p-ベンゾキノン、2,5-ジフェニル-p-ベンゾキノン、2,5-ジターシャリーブチル-p-ベンゾキノン、ピクリン酸、クエン酸、フェノチアジン、ターシャリーブチルカテコール、2-ブチル-4-ヒドロキシアニソール及び2,6-ジターシャリーブチル-p-クレゾール等が挙げられる。
 重合禁止剤(E)の使用量は、(A)及び(B)の合計量100質量部に対して、0.001~3質量部が好ましく、0.01~2質量部がより好ましい。0.001質量部以上であれば、貯蔵安定性が確保されるし、3質量部以下であれば、良好な接着性が得られ、未硬化になることもない。
 工程(4)では、第一の透光性硬質基板の第一の面と第二の透光性硬質基板の第一の面とを予め定めた面方向の位置関係で両面が平行となるように対向させる。一般には、面方向に両透光性硬質基板がぴったりと重なるように対向させる。これを実施する手段としては、透光性硬質基板の移動方向を拘束して一定の位置に移動させるためのガイドレールや枠を利用することが考えられる。より精度の高い位置決めが要求される場合には、位置決め機構を有する貼り合わせ装置により行うことが好ましい。高精度の位置決めのためには、各透光性硬質基板の表面に位置合わせのための目印を付し、これを撮像装置で撮像しながら位置調整を行うことのできる貼り合わせ装置を使用することがより好ましい。両透光性硬質基板を貼り合わせた後に位置ずれの修正を行うと、固着剤が貼り合わせ面から漏れ出したり、基板表面にキズがついたりするおそれがあることから、位置ずれの修正は貼り合わせの前に実行することが望ましい。
 工程(5)では、工程(4)で定めた位置関係を維持しながら、第一の透光性硬質基板の第一の面と第二の透光性硬質基板の第一の面に所定の圧力を印加して、貼り合わせ面に固着剤が広がるように貼り合わせる。積層精度の観点から、固着剤は貼り合わせ面に一定の厚みで全体に広がっていることが好ましい。
 塗布された固着剤の量が少なすぎると貼り合わせ面の全体に固着剤が広がらず、貼り合わせ面に気泡が発生する原因となる。気泡が発生すると位置精度が低下してしまう。塗布された固着剤の量が多すぎると固着剤が貼り合わせ面の隙間から漏出する。固着剤が多少漏出しても拭き取ればよく、大きな問題ではないが、その量が多いと固着剤が無駄になる。
 貼り合わせる際の圧力も固着剤の広がりに関係する。そのため、固着剤の量に加えて貼り合わせ圧力を適切に調整することが望まれる。これを実現する手段として、透光性硬質基板同士を貼り合わせるときの圧力を制御する機能が付いた貼り合わせ装置を使用する方法が考えられる。貼り合わせるときの圧力は、上記を考慮しながら適宜設定すればよいが、例えば5g/cm2~50g/cm2、典型的には10g/cm2~30g/cm2とすることができる。
 更に、固着剤の厚み自体を制御することも考えられる。厚みの制御方法としては、先述したように固着剤に粒状物質を混ぜる方法が挙げられるほか、透光性硬質基板同士を貼り合わせるときの透光性硬質基板の高さを制御する機能が付いた貼り合わせ装置を使用する方法が考えられる。
 工程(6)では、前記圧力を維持したまま、両透光性硬質基板に挟まれて広がっている固着剤の外周部分のみを硬化するための光を照射して、仮留め透光性硬質基板積層体を形成する。光を固着剤の外周部分に向けて照射することで固着剤は外周部分のみが環状に硬化し、両透光性硬質基板を比較的弱い力で貼り合わせることができ、透光性硬質基板を積層していく際の位置ずれの防止機能を果たすことができる。貼り合わせた透光性硬質基板が容易に位置ずれを起こさないという目的に照らせば、外周部分はある程度幅をもった領域とすべきであるが、過度に内部にまで照射すると位置ずれを起こさない程度の仮留めという目的が減殺されるとともに、照射時間も長くなるので生産効率が低下する。典型的には、LEDユニット16によって照射する外周部分は5~25mm、より典型的には7~17mm程度の幅である。また、光を照射する外周部分は、板状製品の一部を形成しないマージン領域に存在することが好ましい。後に本照射するときに板状製品を形成する部分の光照射履歴を均一にすることができ、固着剤の歪みが抑制される。この結果、当該部分の基板が歪むのも抑制できる。
 内部の固着剤は硬化されずに流動性を保持しているが、外周部の固着剤が硬化しているので両透光性硬質基板の隙間から漏れ出すことはない。照射する光の波長は使用する固着剤の特性に応じて適宜変更すればよいが、例えばマイクロ波、赤外線、可視光、紫外線、X線、γ線、電子線等を照射することができる。簡便に使用でき、比較的高エネルギーをもつことから一般的には照射光は紫外線である。このように、本発明において、光とは可視光のみならず、幅広い波長領域を包含する電磁波(エネルギー線)を指す。
 照射する光は透光性硬質基板を仮留めするのに必要な程度の照射量でよく、365nmの受光器を使用した積算照度計で測定して、一般に1~500mJ/cm2、典型的には50~450mJ/cm2、より典型的には200~400mJ/cm2とすることができる。照射時間としては一般に1~120秒、典型的には2~60秒程度であり、好ましくは15秒~45秒程度である。光の照射を貼り合わせの圧力を維持したまま実行することで、硬化歪みを抑えて固着剤の厚みを制御し、透光性硬質基板の積層精度を高めることができる。
 工程(7)では、仮留め透光性硬質基板積層体内部に存在する未硬化の固着剤を硬化させるための光を照射し、本留め透光性硬質基板積層体を形成する。本留め透光性硬質基板積層体を形成する前の仮留め透光性硬質基板積層体を製造した時点で積層精度を検査できるので、不具合発生時の補修が容易になるという利点がある。仮留め透光性硬質基板積層体内部に存在する未硬化の固着剤を硬化させるために、仮留め透光性硬質基板の貼り合わせ面全体に光を照射すればよい。外周部分の固着剤は既に硬化しているため、必ずしも外周部分に光を照射する必要はない。むしろ、固着剤の硬化状態を均一化するためには、貼り合わせ面の間に挟まれて存在する固着剤全体の照射履歴を均一化することが好ましい。このためには、仮留め時に光を照射されていない内部領域に選択的に光を照射する方法がある。光の照射時に透光性硬質基板の外周部分を紫外線を透過しない材料でマスキングすることも考えられる。また、貼り合わせの位置精度を高めるために、貼り合わせられた透光性硬質基板面に所定の圧力を印加しながら行うのが好ましい。圧力を印可することで、固着剤の硬化収縮により基板のZ軸方向に反りが発生し、パターンがずれたり、真空吸着できないといった問題を防ぐことが可能となる。印加する圧力は透光性硬質基板の強度を考慮しながら適宜設定すればよいが、例えば5g/cm2~50g/cm2、典型的には10g/cm2~30g/cm2とすることができる。
 工程(7)で照射する光の照射量は、365nmの受光器を使用した積算照度計で測定して、一般に30~4000mJ/cm2、典型的には100~3000mJ/cm2であり、より典型的には300~2500mJ/cm2、好ましくは1000~2000mJ/cm2である。照射時間としては一般に0.1~120秒、典型的には1~30秒、より典型的には10~20秒程度である。
 工程(7)の前に、未硬化の固着剤に紛れて存在する気泡を、形状加工を受けない位置に移動させておくことが好ましい。これは以下の理由による。仮留め時には固着剤層に気泡が入り込むことがある。気泡が存在する状態で本照射を行った場合、固着剤の硬化により、気泡はその位置に固定化される。この気泡が、切断加工や外形加工や孔開け加工といった形状加工を受ける位置、換言すれば直接加工ツール(ブレードや砥石)が触れる場所に該当すると、チッピングが発生してしまう。そこで、本照射前に予め気泡を形状加工を受けない位置に移動させておくことで、チッピングの発生を予防できる。移動させる手段としては、手や棒で基板を押圧して気泡を移動させる方法がある。
 工程(8)では、工程(7)で得られた本留め透光性硬質基板積層体を第一の透光性硬質基板に見立てて、工程1)~7)を少なくとも1回繰り返す。これにより、少なくとも3枚の透光性硬質基板が貼り合わせられた本留め透光性硬質基板積層体が得られる。板状製品の生産効率向上の観点からは、10枚以上の透光性硬質基板、典型的には10~30枚の透光性硬質基板が積層された透光性硬質基板積層体を製造することが望ましい。
<第二の実施形態>
 本発明に係る透光性硬質基板積層体の製造方法の第二実施形態においては、
1)第一の透光性硬質基板を準備する工程と、
2)第二の透光性硬質基板を準備する工程と、
3)第一の透光性硬質基板の第一の面及び/又は第二の透光性硬質基板の第一の面に光硬化性の固着剤を塗布する工程と、
4)第一の透光性硬質基板の第一の面と第二の透光性硬質基板の第一の面とを予め定めた面方向の位置関係で両面が平行となるように対向させる工程と、
5)前記位置関係を維持しながら、第一の透光性硬質基板の第一の面と第二の透光性硬質基板の第一の面に所定の圧力を印加して、両透光性硬質基板を貼り合わせる工程と、
6)前記圧力を維持したまま、両透光性硬質基板に挟まれて広がっている固着剤の外周部分のみを硬化するための光を照射して、仮留め透光性硬質基板積層体を形成する工程と、
7’)前記仮留め透光性硬質基板積層体を第一の透光性硬質基板に見立てて、工程1)~6)を少なくとも1回繰り返し、少なくとも3枚の透光性硬質基板が貼り合わせられた仮留め透光性硬質基板積層体を形成する工程と、
8’)工程7’)で得られた仮留め透光性硬質基板積層体内部に存在する未硬化の固着剤を硬化させるための光を照射し、本留め透光性硬質基板積層体を形成する本照射工程と、
が実行される。
 工程(1)~(6)までは第一実施形態と同様の手順で行われる。
 工程(6)の後、本実施形態では、前記仮留め透光性硬質基板積層体を第一の透光性硬質基板に見立てて、工程(1)~(6)を少なくとも1回繰り返し、少なくとも3枚の透光性硬質基板が貼り合わせられた仮留め透光性硬質基板積層体を形成する工程(7’)を実施する。第一実施形態では、2枚の透光性硬質基板が積層された仮留め透光性硬質基板積層体とした後にすぐ本照射して本留め透光性硬質基板積層体としていた。すなわち仮照射が終わるたびに本照射を行っていた。第二実施形態では仮留め透光性硬質基板積層体とした後にすぐに本照射せず、工程(1)~(6)を繰り返すことで、多数の透光性硬質基板からなる仮留め積層体を作製する。
 その後、工程(8’)では、得られた仮留め透光性硬質基板積層体内部に存在する未硬化の固着剤を硬化させるための光を照射し、本留め透光性硬質基板積層体を形成する。多数の透光性硬質基板からなる仮留め積層体に対して本照射を一回行うため、多数の透光性硬質基板からなる本留め透光性硬質基板積層体を製造するのに必要な本照射の回数を減らすことができ、生産効率が向上する。ただし、あまり多くの透光性硬質基板から構成される仮留め積層体とすると、本照射時に内部の固着剤にまで紫外線が届かず、固着剤の硬化が不十分となりやすいので、仮留め積層体は多くても5枚の透光性硬質基板で構成することが好ましい。工程(8’)も、貼り合わせの位置精度を高めるために、工程(7)と同様に、貼り合わせられた透光性硬質基板面に所定の圧力を印加しながら行うのが好ましい。また、工程(7)のところで述べたのと同様の理由から、工程(8’)の前に、未硬化の固着剤に紛れて存在する気泡を、形状加工を受けない位置に移動させておくことが好ましい。
<第三の実施形態>
 本発明に係る透光性硬質基板積層体の製造方法の第三の実施形態においては、工程(1)~(8’)までは第二実施形態と同様の手順で行われ、その後に、
8’’)工程8’)で得られた本留め透光性硬質基板積層体を第一の透光性硬質基板に見立てて、工程1)~6)を少なくとも1回繰り返し、複合透光性硬質基板積層体を形成する工程と、
8’’’)工程8’’)で得られた複合透光性硬質基板積層体内部に存在する未硬化の固着剤を硬化させるための光を照射し、積層枚数が増加された本留め透光性硬質基板積層体を形成する本照射工程と、
を更に含む。
 本実施形態では、本留め透光性硬質基板積層体に対して更に透光性硬質基板を積層していくことで、積層枚数が増加した本留め透光性硬質基板積層体を製造する。前述したように、仮留め積層体を構成する透光性硬質基板の枚数には限界があるので、ある程度の枚数に達した仮留め積層体は本照射を行って本留め透光性硬質基板積層体とする必要がある。しかしながら、本留め透光性硬質基板積層体に対して透光性硬質基板の貼り合わせ及び仮照射を繰り返し、ある程度の枚数に達した時点で本照射するという手順で透光性硬質基板を積層していくことで、本照射の回数は減らしながら多数の透光性硬質基板で構成される本留め透光性硬質基板積層体を製造することができる。工程(8’’’)も、貼り合わせの位置精度を高めるために、工程(7)と同様に、貼り合わせられた透光性硬質基板面に所定の圧力を印加しながら行うのが好ましい。また、工程(7)のところで述べたのと同様の理由から、工程(8’’’)の前に、未硬化の固着剤に紛れて存在する気泡を、形状加工を受けない位置に移動させておくことが好ましい。
<板状製品の製造>
 上記の透光性硬質基板積層体の製造方法によって得られた透光性硬質基板積層体から板状製品を製造することができる。
 まず、工程(9)において、透光性硬質基板積層体を厚み方向に分割し、所望の数の分割された透光性硬質基板積層体を形成する。分割方法は特に制限はないが、円板カッター(ダイヤモンドディスク、超硬合金ディスク)、固定砥粒式又は遊離砥粒式ワイヤソー、レーザービーム、エッチング(例:フッ酸や硫酸等を用いた化学エッチングや電解エッチング)、及び赤熱帯(ニクロム線)をそれぞれ単独で又は組み合わせて使用して、同サイズの直方体形状に分割する方法が挙げられる。エッチングは分割後の切断面の表面処理に用いることもできる。
 次に、工程(10)において、分割された透光性硬質基板積層体それぞれに対して所望の形状加工を行う。この工程では、分割された透光性硬質基板積層体毎に目的とする透光性硬質基板製品の形状に一体的に加工を行うことができるため、透光性硬質基板製品の生産速度を格段に高められるという利点がある。形状加工は公知の任意の手段によって行えばよいが、例えば回転砥石による研削、超音波振動ドリルによる孔開け、回転ブラシによる端面加工、エッチングによる孔開け、エッチングによる端面加工、エッチングによる外形加工、バーナーを用いた火炎加工等が挙げられる。加工方法はそれぞれ単独で又は組み合わせて使用することができる。エッチングは形状加工後の表面処理に用いることもできる。
 工程(11)では、形状加工後の透光性硬質基板積層体を加熱することで貼り合わせられていた透光性硬質基板同士を剥離し、複数の透光性硬質基板製品を形成する。加熱方法としては特に制限はないが、固着剤がフィルム状に軟化して各透光性硬質基板製品に上手く分離するため、温水に形状加工後の透光性硬質基板積層体を浸漬する方法が好ましい。好適な温水の温度は採用する固着剤によって異なるが、通常は60~95℃程度、好ましくは80~90℃である。
 ここで、工程(9)によって分割された透光性硬質基板積層体の端面は、透光性硬質基板31と固着剤32によって平坦な面が形成されている。この端面を回転ブラシ33等で加工すると、固着剤が障害となって各透光性硬質基板の角部が面取りされず、逆に中心部が多く削られるため(図16)、透光性硬質基板の耐衝撃強さが不十分となる。そこで、端面加工時に各透光性硬質基板が面取りされるように分割された透光性硬質基板積層体の端面に露出している固着剤外縁の接着力を弱めておくことが好ましい。
 具体的な方法としては、工程(9)と工程(10)の間に、分割された透光性硬質基板積層体を、各透光性硬質基板に挟まれた固着剤外縁の露出部分の接着力を低下させるのに必要な温度及び時間条件で、剥離剤に接触(例:浸漬、噴霧、塗布等)させる方法が挙げられる(図17)。
 接着力を低下させる必要があるのは外縁から内側に向かって1mm以下程度のごく僅かな領域であり、貼り合わせ面全体の接着力が低下しない程度に温度及び時間を調節することが求められる。使用する剥離剤にもよるが、液温は一般的には50℃以下であり、典型的には20℃~40℃である。接触させる時間は一般的には30分以下とするのが通常であり、典型的には1~20分である。剥離剤の液温を高くしすぎたり接触時間を長くしすぎると貼り合わせ面内部まで接着力の低下が進行しやすくなるため注意すべきである。
 剥離剤は固着剤の接着力を低下させることのできる液体であれば特に制限はなく、使用されている固着剤の特性に応じて適宜選択すればよいが、溶剤、酸化剤、及び界面活性剤から選択される一種又は二種以上を含有するのが一般的である。
 剥離剤として溶剤及び/又は界面活性剤を使用した場合は、剥離剤に接触した固着剤は膨潤することで基板との界面に歪みが生じるので、これにより接着力が低下する。好ましくは、膨潤した固着剤をカッターなどの物理的手段で切断(切り込みを入れる)し、その後乾燥する。これにより、膨潤した固着剤が収縮するので、ブラシ等による端面加工が更に容易になる。剥離剤として酸化剤を使用した場合は、固着剤を炭化して脆化させることにより接着力が低下する。従って、溶剤及び/又は界面活性剤に更に酸化剤を併用することで、接着力を相乗的に低下させることができる。
 溶剤としては無機溶剤、有機溶剤の何れでも良いが、例えば、水、フッ化水素酸、塩酸、アルコール類(例:メタノール、エタノール、n-プロパノール、イソプロパノール、ブタノール、ベンジルアルコール)、エステル類(例:酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸ノルマルプロピル、乳酸エチル、フタル酸ジメチル、アジピン酸ジメチル)、ケトン類(例:メチルエチルケトン(MEK)、メチルイソブチルケトン(MIBK)、アセトン)、塩素系溶剤(例:塩化メチレン、トリクロロエチレン、テトラクロロエチレン)、フッ素系溶剤(例:ハイドロクロロフルオロカーボン(HCFC)、ハイドロフルオロカーボン(HFC))、グリコールエーテル類(例:エチレングリコールモノメチルエーテル(メチセロ)、エチレングリコールモノエチルエーテル(エチセロ)、エチレングリコールモノブチルエーテル(ブチセロ)、ブチルカルビトール(ブチカビ)、エチレングリコールモノ-t-ブチルエーテル(ETB)、プロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)、3-メトキシ-3-メチル-1-ブタノール(MMB))、アミン系溶剤(例:N-メチル-2-ピロリドン(NMP)、ジメチルホルムアミド(DMF)、N,N-ジメチルアセトアミド(DMAC))、エーテル類(例:エチルエトキシプロピオネート(EEP)、テトラヒドロフラン(THF))、ジメチルスルホキシド(DMSO)が挙げられる。
 溶剤の中では典型的にアルコールを使用でき、ベンジルアルコールを好ましく使用できる。
 酸化剤としては、硫酸、硝酸、過酸化水素、過硫酸アンモニウム、アシルパーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイド、tert-ブチルパーオキサイド、ヒドロパーオキサイド、オゾン水、過塩素酸、次亜塩素酸などが挙げられる。
 界面活性剤はアニオン性界面活性剤、カチオン性界面活性剤、両性界面活性剤、及び非イオン性界面活性剤のいずれを使用することもできる。
 アニオン性界面活性剤としては、カルボン酸型(例:脂肪酸塩、ポリオキシエチレンアルキルエーテルカルボン酸塩、N-アルシルサルコシン塩、N-アシルグルタミン酸塩)、硫酸エステル型(例:アルキル硫酸エステル塩、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸塩、アルコールエトキシサルフェート、油脂硫酸エステル塩)、スルホン酸型(例:アルキルベンゼンスルホン酸塩、アルカンスルホン酸塩、アルファオレフィンスルホン酸塩、ジアルキルスルホコハク酸、ナフタレンスルホン酸塩-ホルムアルデヒド縮合物、アルキルナフタレンスルホン酸塩、N-メチル-N-アシルタウリン塩)、リン酸エステル型(例:アルキルリン酸塩、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸塩、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテルリン酸塩)等が挙げられる。
 カチオン性界面活性剤としては、アミン塩型(例:アルキルアミンアセテート)、第4級アンモニウム塩型(例:モノアルキルアンモニウム塩、ジアルキルアンモニウム塩、エトキシ化アンモニウム塩)が挙げられる。
 両性界面活性剤としては、ベタイン型(例:アルキルジメチルアミノ酢酸ベタイン、アルキルアミドプロピルベタイン、アルキルヒドロキシスルホベタイン、アルキルヒドロキシスルホベタイン)、アルキルジメチルアミンオキサイド等が挙げられる。
 非イオン性界面活性剤としては、エステル型(例:グリセリン脂肪酸エステル、プロピレングリコール脂肪酸エステル、ソルビタン脂肪酸エステル、しょ糖脂肪酸エステル)、エーテル型(例:ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレンエーテル)、エーテルエステル型(例:ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、アルキルグリセリルエーテル)、アルキルアルカノールアミド型(脂肪酸アルカノールアミド、脂肪酸アミドアルキレンオキサイド付加物)、アルキルポリグリコシドが挙げられる。
 界面活性剤の中ではアニオン性界面活性剤を典型的に使用でき、スルホン酸型のアニオン性界面活性剤を好ましく使用できる。
 剥離剤は、水、アルコール類、酸化剤、及び界面活性剤から選択される一種又は二種以上を含有するのが安全面や環境面の点で好ましく、水、アルコール類、及び界面活性剤の三種類を含有するのが安全面の理由によりより好ましい。この場合、剥離剤は水とアルコール類と界面活性剤を30~50:30~50:5~20の質量比で含有するのが好ましく、例えば30~40:40~50:10~20の質量比で含有する。剥離剤はこれらの三種類のみで構成することもできる。
 一例として、水:ベンジルアルコール:スルホン酸型のアニオン性界面活性剤=35:50:15の質量比で混合して剥離剤を調製した。また、固着剤として後述する実施例で述べる固着剤(I)を使用して板ガラス20枚からなる板ガラス積層体を本発明に係る方法を使用して製造した。この板ガラス積層体を35℃の該剥離剤に5分浸漬し、その後、端面を回転ブラシで加工した。加工後の端面を顕微鏡で観察したところ、各板ガラスの角部が円形状に面取りされていた。一方、剥離剤に浸漬せずに端面加工した場合は、各板ガラスの角部が面取りされなかった。
 同様に、板ガラス12枚からなる板ガラス積層体を本発明に係る方法を使用して製造した。この板ガラス積層体を35℃の該剥離剤に5分浸漬し、その後、端面を回転ブラシで加工した。加工後の端面を顕微鏡で観察したところ、各板ガラスの角部が円形状に面取りされていた。一方、剥離剤に浸漬せずに端面加工した場合は、各板ガラスの角部が面取りされなかった。
<装置構成例>
 本発明に係る透光性硬質基板貼り合わせ装置の例について説明する。本発明に係る透光性硬質基板貼り合わせ装置は、基板の貼り合わせ面の外周部分のみが接着剤によって接着された仮留め透光性硬質基板積層体を製造するために使用される。基板の貼り合わせ面の間に挟まれて存在する未硬化の固着剤は、その後の工程で硬化されて透光性硬質基板は完全に貼り合わせられ、基板の貼り合わせ面全体が接着剤によって接着された本留め透光性硬質基板積層体を製造することができる。
 本留め透光性硬質基板積層体は厚み方向に分割し、所望の数の分割された透光性硬質基板積層体を形成することができる。分割された透光性硬質基板積層体それぞれに対して所望の形状加工を行い、形状加工後の透光性硬質基板積層体を加熱(例:温水浸漬)することで貼り合わせられていた透光性硬質基板同士を剥離し、複数の板状製品を形成することができる。
 貼り合わせられる透光性硬質基板同士はそれぞれ1枚の透光性硬質基板であってもよく、2枚以上の透光性硬質基板からなる積層体であってもよい。透光性硬質基板の積層体は本発明に係る透光性硬質基板貼り合わせ装置によって製造された仮留めの透光性硬質基板積層体であってもよく、その後に本留めされた透光性硬質基板積層体であってもよい。典型的には、本発明係る透光性硬質基板貼り合わせ装置を使用することで、10~30枚程度の透光性硬質基板が積層された透光性硬質基板積層体を製造することが意図される。
 図1は本発明に係る透光性硬質基板貼り合わせ装置の第一例を示す模式図である。透光性硬質基板貼り合わせ装置10は、架台11、上側ステージ12、プレスユニット13、吸引ユニット14、吸引孔15、LEDユニット16、下側ステージ17、下側ステージ移動手段18、サイドクランプ19、下側基板用塗布ユニット20、上側基板用塗布ユニット21、撮像ユニット22、及び電装ユニット23を備える。
 架台11は透光性硬質基板貼り合わせ装置10の各構成機器を搭載する土台部分であり、内部に電装ユニット23が配置されている。電装ユニット23はPLC(Programmable Logic Controller)により各構成機器のシーケンス制御を行う。
 上側ステージ12は、上側の透光性硬質基板25を真空吸着により保持する。そのため、上側ステージ12の下面には吸引孔15が複数開いており、吸引孔15は吸引ユニット14に配管で連結されている。図2は、上側ステージ12の下面の模式図であり、吸引孔15の配列例が示されている。吸引ユニット14としては真空ポンプ、真空エジェクターなどが使用できる。
 上側ステージ12の上部には、上側の透光性硬質基板25を下側の透光性硬質基板24に対して押圧しながら貼り合わせるためのプレスユニット13が連結されている。プレスユニット13は上側ステージ12をZ方向(垂直方向)に移動させることのできる昇降シリンダー(図示せず)を有しており、サーボモータによって加圧力、移動速度、加圧時間、高さを制御することができる。
 上側ステージ12の下面には固着剤硬化のための紫外線を上側透光性硬質基板25に向けて照射するためのLEDユニット16が複数埋め込まれている。LEDユニット16は上側ステージ12に吸着された上側透光性硬質基板25の外周に沿うように配列される。図2にLEDユニット16の配列状態の例を示す。LEDユニット16は一列のみならず二列以上に並列に配置することで、照射する外周部分の幅を大きくすることもできる。
 透光性硬質基板へのLED照射時間の制御は電源のON/OFFで行われる。照射する光は透光性硬質基板を仮留めするのに必要な程度の照射量でよく、365nmの受光器を使用した積算照度計で測定して、365nmの受光器を使用した積算照度計で測定して、一般に1~500mJ/cm2、典型的には50~450mJ/cm2、より典型的には200~400mJ/cm2とすることができる。照射時間としては一般に1~120秒、典型的には2~60秒程度である。
 下側ステージ17は、下側の透光性硬質基板24を保持するとともに、プレス時に上側ステージ12からの圧力を受け止める。下側ステージ17は下側ステージ移動手段18によってX軸方向、Y軸方向及びθ軸方向に移動可能である。下側ステージ移動手段18は水平方向の旋回動を可能とするθテーブル、水平動を可能とするXテーブル及びYテーブルから構成される。これらのテーブルはモータで駆動する。下側ステージ17の上面には載置した透光性硬質基板を位置決めするためのX軸方向及びY軸方向に移動可能なモータ駆動のサイドクランプ19が設けられている。サイドクランプ19の代わりに、透光性硬質基板を所定位置に載置するための位置決めストッパーを下側ステージ17の上面に設けてもよい。この場合は、ストッパーによって透光性硬質基板が固定される位置に手作業で透光性硬質基板を載置することになる。また、透光性硬質基板の位置ずれを防止するため、上側ステージ12と同様に、下側の透光性硬質基板24も真空吸着により保持することができる。
 下側基板用塗布ユニット20は光硬化性固着剤のディスペンサー20aと、これに連結されたX軸、Y軸及びZ軸方向に移動可能なモータ駆動のロボット20bを備えており、下側の透光性硬質基板24の上面に任意のパターンで固着剤を塗布することができる。固着剤はシリンジ詰めされており、自動で定量排出される。塗布量はデジタル圧力計及び塗布速度で制御される。
 上側基板用塗布ユニット21は、上側の透光性硬質基板25が上側のステージ12に保持された状態で、上側の透光性硬質基板25の下面に向かって光硬化性固着剤を自動で塗布する。塗布量は圧力ゲージ及び塗布時間により制御される。上側基板用塗布ユニット21は上側及び下側ステージの脇に水平方向に回転可能な回転軸をもつモータ駆動のロボット21bが備えられており、塗布時には先端のロータリーノズル21aが上側ステージ12の中央付近の下方に配置され、ノズル21a先端から固着剤が塗布される。塗布が終了すると、透光性硬質基板の貼り合わせの邪魔にならないように上側及び下側ステージの脇に格納される。
 撮像ユニット22は、上側の透光性硬質基板25と下側の透光性硬質基板24の各表面に設けられている位置合わせ用のアライメントマークを、アームの先端部分の上下2箇所に取り付けられたデジタルカメラ22aで撮像する。電装ユニット23は、撮像された画像情報に基づいて、上側の透光性硬質基板25と下側の透光性硬質基板24の相対的な位置ずれ状態を検出する。検出結果に基づき、下側ステージ17の位置を下側ステージ移動手段18によってX軸方向、Y軸方向及びθ軸方向に微調整し、位置ずれを修正する動作を実行する。位置ずれの修正後、両透光性硬質基板の貼り合わせが行われる。カメラとしては、CCDやCMOSを撮像素子に使用したデジタルカメラの他、アナログカメラも使用できるが、高解像度の観点からデジタルカメラが好ましい。
 撮像ユニット22はX軸、Y軸方向のモータ駆動による移動手段22bを備えており、撮像時にはデジタルカメラ22aは、アライメントマークが視野に入る所定の位置に移動する。撮像が終了すると、デジタルカメラ22aは透光性硬質基板の貼り合わせの邪魔にならないように移動する。
 第一の例に係る透光性硬質基板貼り合わせ装置10を用いた透光性硬質基板の貼り合わせ手順について図3~13を参照しながら説明する。
 まず、一枚目の透光性硬質基板26を下側ステージ17に載置し、サイドクランプ19(図示せず)で所定位置に固定する(図3)。透光性硬質基板26の下側ステージ17への載置は、手作業により行うことができるが、多数の透光性硬質基板26を専用のカセットに収納し、自動的に下側ステージ17に載置されるようにしても良い。載置された透光性硬質基板26は下側ステージ移動手段18(図示せず)によって上側ステージ12の真下に移動する(図4)。次いで、上側ステージ12をプレスユニット13により降下させる。透光性硬質基板26を吸引孔15(図示せず)からの吸引力で真空吸着する(図5)。吸着した透光性硬質基板26は保持されながら上側ステージ12と共に上昇し、二枚目の基板を待つ(図6)。
 次に、二枚目の透光性硬質基板27を下側ステージ17に載置し、サイドクランプ19(図示せず)で所定位置に固定する(図7)。二枚目の透光性硬質基板27の上面には下側基板用塗布ユニット20から所定のパターンで固着剤28が塗布される(図8)。塗布完了後、下側ステージ17に載置した二枚目の透光性硬質基板27が上側ステージ12の真下に移動すると、撮像ユニット22のアーム先端に取り付けられているカメラでアライメントマークを撮像し、撮像結果に応じて下側ステージ17の位置を微調整し、両透光性硬質基板(26、27)の位置調整を行う(図9)。
 位置調整後、上側基板用塗布ユニット21のアーム先端に取り付けられているノズル21aが、上側ステージ12に保持されている一枚目の基板26の中央付近に移動し、ノズル21aから固着剤29が一枚目の透光性硬質基板26の下面に塗布される(図10)。上側及び下側の透光性硬質基板(26、27)に固着剤(28、29)を塗布後、上側ステージ12をプレスユニット13により降下させて二枚の透光性硬質基板(26、27)を加圧して貼り合わせると、上側及び下側の透光性硬質基板に挟まれた固着剤(28、29)は加圧により透光性硬質基板全面に広がる。加圧状態を維持しながら、LEDユニット16から紫外線が透光性硬質基板の外周部に照射される(図11)。これにより外周部にある固着剤31のみが硬化する。内部の固着剤30は硬化されずに流動性を保持しているが、外周部の固着剤31が硬化しているので両透光性硬質基板の隙間から漏れ出すことはない。
 紫外線の照射後は、上側の基板26に対する吸着を解除し、上側ステージ12のみが上昇する(図12)。貼り合わせられた透光性硬質基板は下側ステージ17によって搬送され、元の位置に戻る(図13)。以上の工程によって透光性硬質基板の貼り合わせが完了する。
 図14は、本発明に係る透光性硬質基板貼り合わせ装置の第二の実施形態を示す模式図である。本実施形態においては、LEDユニット16は下側ステージ17の上面に、下側の透光性硬質基板24の外周に沿って配列され、上方向に紫外線を照射する。
 図15は、本発明に係る透光性硬質基板貼り合わせ装置の第三の実施形態を示す模式図である。LEDユニット16は貼り合わせられる両透光性硬質基板の外周側面を取り囲むように配列され、外周側面に向かって紫外線を照射する。LEDユニット16はZ軸方向の移動手段を有しており、貼り合わせ面の高さに応じて最適な高さに移動可能である。
 一例として、本発明に従い、図1に記載の透光性硬質基板貼り合わせ装置を用いて、下記条件にて工程(1)~(6)を実施し、仮留め透光性硬質基板積層体を製造したところ、積層精度を検査でき、不具合発生時の補修が容易になった。仮留め透光性硬質基板積層体を製造した後に、下記条件にて更に工程(7)~(8)を実施し、本留め透光性硬質基板積層体を製造し、次いで、工程(9)~(10)の加工を実施した。得られた透光性硬質基板積層体を工程(11)に従い剥離したところ、固着剤がフィルム状に軟化して各板状製品に上手く分離した。
 透光性硬質基板として下記板ガラスを使用した。板ガラスは、1枚の寸法が、横530mm×縦420mm×厚み0.7mmの、めっきパターンを付した板ガラスを使用した。
固着剤(I)は、下記の(A)~(E)の成分を混合して光硬化性の固着剤(I)を作製した。
(A)多官能(メタ)アクリレートとして、日本合成社製「UV-3000B」(ウレタンアクリレート以下「UV-3000B」と略す)20質量部、ジシクロペンタニルジアクリレート(日本化薬社製「KAYARAD R-684」、以下「R-684」と略す)15質量部、
(B)単官能(メタ)アクリレートとして、2-(1,2-シクロヘキサカルボキシイミド)エチルアクリレート(東亜合成社製「アロニックスM-140」、以下「M-140」と略す)50質量部、フェノールエチレンオキサイド2モル変成アクリレート(東亜合成社製「アロニックスM-101A」)15質量部、
(C)光重合開始剤としてベンジルジメチルケタール(BASF社製「IRGACURE651」、以下「BDK」と略す)8質量部、
(D)粒状物質として平均粒径100μmの球状架橋ポリスチレン粒子(ガンツ化成社製「GS-100S」)1質量部、
(E)重合禁止剤として2,2-メチレン-ビス(4-メチル-6-ターシャリーブチルフェノール)(住友化学社製「スミライザーMDP-S」、以下「MDP」と略す)0.1質量部
工程(3)では、板ガラスの両貼り合わせ面に固着剤(I)を40gずつ塗布した。
工程(5)では、貼り合わせるときの圧力は、20g/cm2とし、LEDユニット16によって照射する外周部分は12mm程度の幅とした。工程(6)では、LEDユニット16によって照射する外周部分は12mm程度の幅とし、上記光硬化性接着剤を硬化させるとき、UV照射量は300mJ/cm2(365nmの受光器による積算照度計による測定)とし、UV照射時間は30秒とし、仮留めした。工程(7)では、印加する圧力は20g/cm2とし、光の照射量は、365nmの受光器を使用した積算照度計で測定して、2000mJ/cm2とし、照射時間は20秒とし、本留めした。工程(8)では、固着剤(I)を使用して板ガラス12枚からなる板ガラス積層体を本発明に係る方法を使用して製造した。工程(9)では、円板カッター(ダイヤモンドディスク)を使用し、直方体形状(横100mm×縦55mm×厚み9.6mm)に分割した。工程(10)では、回転砥石による研削、超音波振動ドリルによる孔開け、回転ブラシによる端面加工を順次行い、形状加工した。工程(11)では、この板ガラス積層体を85℃の温水に浸漬して剥離した。
 以上、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明してきたが、本発明はこれらの実施形態に限られるものではなく、種々のバリエーションが可能である。
10 透光性硬質基板貼り合わせ装置
11 架台
12 上側ステージ
13 プレスユニット
14 吸引ユニット
15 吸引孔
16 LEDユニット
17 下側ステージ
18 下側ステージ移動手段
19 サイドクランプ
20 下側基板用塗布ユニット
21 上側基板用塗布ユニット
22 撮像ユニット
23 電装ユニット
24 下側基板
25 上側基板
31 透光性硬質基板
32 固着剤
33 回転ブラシ

Claims (29)

  1. 1)第一の透光性硬質基板を準備する工程と、
    2)第二の透光性硬質基板を準備する工程と、
    3)第一の透光性硬質基板の第一の面及び/又は第二の透光性硬質基板の第一の面に光硬化性の固着剤を塗布する工程と、
    4)第一の透光性硬質基板の第一の面と第二の透光性硬質基板の第一の面とを予め定めた面方向の位置関係で両面が平行となるように対向させる工程と、
    5)前記位置関係を維持しながら、第一の透光性硬質基板の第一の面と第二の透光性硬質基板の第一の面に所定の圧力を印加して、両透光性硬質基板を貼り合わせる工程と、
    6)前記圧力を維持したまま、両透光性硬質基板に挟まれて広がっている固着剤の外周部分のみを硬化するための光を照射して、仮留め透光性硬質基板積層体を形成する工程と、
    7)前記仮留め透光性硬質基板積層体内部に存在する未硬化の固着剤を硬化させるための光を照射し、本留め透光性硬質基板積層体を形成する本照射工程と、
    8)前記本留め透光性硬質基板積層体を第一の透光性硬質基板に見立てて、工程1)~7)を少なくとも1回繰り返し、少なくとも3枚の透光性硬質基板が貼り合わせられた本留め透光性硬質基板積層体を形成する工程と
    を含む透光性硬質基板積層体の製造方法。
  2. 1)第一の透光性硬質基板を準備する工程と、
    2)第二の透光性硬質基板を準備する工程と、
    3)第一の透光性硬質基板の第一の面及び/又は第二の透光性硬質基板の第一の面に光硬化性の固着剤を塗布する工程と、
    4)第一の透光性硬質基板の第一の面と第二の透光性硬質基板の第一の面とを予め定めた面方向の位置関係で両面が平行となるように対向させる工程と、
    5)前記位置関係を維持しながら、第一の透光性硬質基板の第一の面と第二の透光性硬質基板の第一の面に所定の圧力を印加して、両透光性硬質基板を貼り合わせる工程と、
    6)前記圧力を維持したまま、両透光性硬質基板に挟まれて広がっている固着剤の外周部分のみを硬化するための光を照射して、仮留め透光性硬質基板積層体を形成する工程と、
    7’)前記仮留め透光性硬質基板積層体を第一の透光性硬質基板に見立てて、工程1)~6)を少なくとも1回繰り返し、少なくとも3枚の透光性硬質基板が貼り合わせられた仮留め透光性硬質基板積層体を形成する工程と、
    8’)工程7’)で得られた仮留め透光性硬質基板積層体内部に存在する未硬化の固着剤を硬化させるための光を照射し、本留め透光性硬質基板積層体を形成する本照射工程と、
    を含む透光性硬質基板積層体の製造方法。
  3. 8’’)工程8’)で得られた本留め透光性硬質基板積層体を第一の透光性硬質基板に見立てて、工程1)~6)を少なくとも1回繰り返し、複合透光性硬質基板積層体を形成する工程と、
    8’’’)工程8’’)で得られた複合透光性硬質基板積層体内部に存在する未硬化の固着剤を硬化させるための光を照射し、積層枚数が増加された本留め透光性硬質基板積層体を形成する本照射工程と、
    を更に含む請求項2記載の透光性硬質基板積層体の製造方法。
  4.  前記外周部分は板状製品の一部を形成しないマージン領域に存在する請求項1~3何れか一項記載の透光性硬質基板積層体の製造方法。
  5.  本照射工程が、貼り合わせられた透光性硬質基板面に所定の圧力を印加しながら行われる請求項1~4何れか一項記載の透光性硬質基板積層体の製造方法。
  6.  未硬化の固着剤に紛れて存在する気泡を、形状加工を受けない位置に移動させてから本照射工程を実施する請求項1~5何れか一項記載の透光性硬質基板積層体の製造方法。
  7.  各透光性硬質基板の表面に位置合わせのための目印が付されており、工程4)はこれを撮像装置で撮像しながら位置調整を行うことを含む請求項1~6何れか一項記載の透光性硬質基板積層体の製造方法。
  8.  各透光性硬質基板の表面には板状製品の機能の一つを奏するための所定の印刷パターン及び/又はめっきパターンが付されている請求項1~7何れか一項記載の透光性硬質基板積層体の製造方法。
  9.  前記固着剤は粒状物質を含有する請求項1~8何れか一項記載の透光性硬質基板積層体の製造方法。
  10.  工程6)における光の照射量は、365nmの受光器を使用した積算照度計で測定して、1mJ/cm2~500mJ/cm2の範囲である請求項1~9何れか一項記載の透光性硬質基板積層体の製造方法。
  11.  透光性硬質基板が板ガラスである請求項1~10何れか一項記載の透光性硬質基板積層体の製造方法。
  12. 9)請求項1~11何れか一項記載の方法を用いて得られた透光性硬質基板積層体を厚み方向に分割し、所望の数の分割された透光性硬質基板積層体を形成する工程と、
    10)分割された透光性硬質基板積層体それぞれに対して所望の形状加工を行う工程と、
    11)形状加工後の透光性硬質基板積層体を加熱することで貼り合わせられていた透光性硬質基板同士を剥離し、複数の板状製品を形成する工程と、
    を含む板状製品の製造方法。
  13.  工程9)と工程10)の間に、分割された透光性硬質基板積層体を、各透光性硬質基板に挟まれた固着剤外縁の露出部分の接着力を低下させるのに必要な温度及び時間条件で、剥離剤に接触させる工程を更に含む請求項12記載の板状製品の製造方法。
  14.  剥離剤が溶剤、酸化剤、及び界面活性剤から選択される一種又は二種以上を含有する請求項13記載の板状製品の製造方法。
  15.  剥離剤が水、アルコール類、酸化剤、及び界面活性剤から選択される一種又は二種以上を含有する請求項13記載の板状製品の製造方法。
  16.  剥離剤が水とアルコール類と界面活性剤を30~50:30~50:5~20の質量比で含有する請求項15記載の板状製品の製造方法。
  17.  剥離剤がベンジルアルコールを含有する請求項13~16何れか一項記載の板状製品の製造方法。
  18.  剥離剤がアニオン系界面活性剤を含有する請求項13~17何れか一項記載の板状製品の製造方法。
  19.  剥離剤がスルホン酸型界面活性剤を含有する請求項18記載の板状製品の製造方法。
  20.  剥離剤の液温が20℃~40℃であり、剥離剤に接触させる時間が1~20分である請求項13~19何れか一項記載の板状製品の製造方法。
  21.  上側の透光性硬質基板を真空吸着するための吸引孔を有し、上側の透光性硬質基板を保持するための上側ステージと、
     上側ステージをZ軸方向に移動させることのできるプレスユニットと、
     前記吸引孔に吸引力を与える吸引ユニットと、
     下側の透光性硬質基板を保持するための下側ステージと、
     下側ステージをX軸方向、Y軸方向及びθ軸方向に移動させる手段と、
     上側の透光性硬質基板の下面及び下側の透光性硬質基板の上面のいずれか又は両方に光硬化性の固着剤を塗布するための手段と、
     両透光性硬質基板の貼り合わせ面の外周部分に向かって光を照射できる位置に配列された光照射部と、
    を備えた透光性硬質基板貼り合わせ装置。
  22.  光照射部は上側ステージの下面に、保持される透光性硬質基板の外周に沿って配列され、下方向に光を照射する請求項21記載の透光性硬質基板貼り合わせ装置。
  23.  光照射部は下側ステージの上面に、保持される透光性硬質基板の外周に沿って配列され、上方向に光を照射する請求項21記載の透光性硬質基板貼り合わせ装置。
  24.  光照射部は貼り合わせられる両透光性硬質基板の外周側面を取り囲むように配列され、外周側面に向かって光を照射する請求項21記載の透光性硬質基板貼り合わせ装置。
  25.  上側及び下側の透光性硬質基板の表面に設けられたアライメントマークを撮像する撮像ユニットと、撮像結果に基づいて上側及び下側の表面に設けられたアライメントマークの位置ずれ度合いを検出する画像処理ユニットと、検出された位置ずれ度合いに基づいて前記下側ステージ移動手段を制御する制御ユニットとを更に備えた請求項21~24何れか一項記載の透光性硬質基板貼り合わせ装置。
  26.  光照射部が光を照射する前記外周部分は、板状製品の一部を形成しないマージン領域である請求項21~25何れか一項記載の透光性硬質基板貼り合わせ装置。
  27.  上側ステージ及び/又は下側ステージに保持される透光性硬質基板は2枚以上の透光性硬質基板の積層体である請求項21~26何れか一項記載の透光性硬質基板貼り合わせ装置。
  28.  固着剤を塗布するための手段は、粒状物質を含有する固着剤を塗布する請求項21~27何れか一項記載の透光性硬質基板貼り合わせ装置。
  29.  透光性硬質基板が板ガラスである請求項21~28何れか一項記載の透光性硬質基板貼り合わせ装置。
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