JPWO2011089963A1 - 透光性硬質基板積層体の製造方法及び透光性硬質基板貼り合わせ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
1)第一の透光性硬質基板を準備する工程と、
2)第二の透光性硬質基板を準備する工程と、
3)第一の透光性硬質基板の第一の面及び/又は第二の透光性硬質基板の第一の面に光硬化性の固着剤を塗布する工程と、
4)第一の透光性硬質基板の第一の面と第二の透光性硬質基板の第一の面とを予め定めた面方向の位置関係で両面が平行となるように対向させる工程と、
5)前記位置関係を維持しながら、第一の透光性硬質基板の第一の面と第二の透光性硬質基板の第一の面に所定の圧力を印加して、両透光性硬質基板を貼り合わせる工程と、
6)前記圧力を維持したまま、両透光性硬質基板に挟まれて広がっている固着剤の外周部分のみを硬化するための光を照射して、仮留め透光性硬質基板積層体を形成する工程と、
7)前記仮留め透光性硬質基板積層体内部に存在する未硬化の固着剤を硬化させるための光を照射し、本留め透光性硬質基板積層体を形成する本照射工程と、
8)前記本留め透光性硬質基板積層体を第一の透光性硬質基板に見立てて、工程1)〜7)を少なくとも1回繰り返し、少なくとも3枚の透光性硬質基板が貼り合わせられた本留め透光性硬質基板積層体を形成する工程と
を含む透光性硬質基板積層体の製造方法である。
1)第一の透光性硬質基板を準備する工程と、
2)第二の透光性硬質基板を準備する工程と、
3)第一の透光性硬質基板の第一の面及び/又は第二の透光性硬質基板の第一の面に光硬化性の固着剤を塗布する工程と、
4)第一の透光性硬質基板の第一の面と第二の透光性硬質基板の第一の面とを予め定めた面方向の位置関係で両面が平行となるように対向させる工程と、
5)前記位置関係を維持しながら、第一の透光性硬質基板の第一の面と第二の透光性硬質基板の第一の面に所定の圧力を印加して、両透光性硬質基板を貼り合わせる工程と、
6)前記圧力を維持したまま、両透光性硬質基板に挟まれて広がっている固着剤の外周部分のみを硬化するための光を照射して、仮留め透光性硬質基板積層体を形成する工程と、
7’)前記仮留め透光性硬質基板積層体を第一の透光性硬質基板に見立てて、工程1)〜6)を少なくとも1回繰り返し、少なくとも3枚の透光性硬質基板が貼り合わせられた仮留め透光性硬質基板積層体を形成する工程と、
8’)工程7’)で得られた仮留め透光性硬質基板積層体内部に存在する未硬化の固着剤を硬化させるための光を照射し、本留め透光性硬質基板積層体を形成する本照射工程と、
を含む透光性硬質基板積層体の製造方法である。
8’’)工程8’)で得られた本留め透光性硬質基板積層体を第一の透光性硬質基板に見立てて、工程1)〜6)を少なくとも1回繰り返し、複合透光性硬質基板積層体を形成する工程と、
8’’’)工程8’’)で得られた複合透光性硬質基板積層体内部に存在する未硬化の固着剤を硬化させるための光を照射し、積層枚数が増加された本留め透光性硬質基板積層体を形成する本照射工程と、
を更に含む。
9)上記の透光性硬質基板積層体の製造方法を用いて得られた透光性硬質基板積層体を厚み方向に分割し、所望の数の分割された透光性硬質基板積層体を形成する工程と、
10)分割された透光性硬質基板積層体それぞれに対して所望の形状加工を行う工程と、
11)形状加工後の透光性硬質基板積層体を加熱することで貼り合わせられていた透光性硬質基板同士を剥離し、複数の板状製品を形成する工程と、
を含む板状製品の製造方法である。
上側の透光性硬質基板を真空吸着するための吸引孔を有し、上側の透光性硬質基板を保持するための上側ステージと、
上側ステージをZ軸方向に移動させることのできるプレスユニットと、
前記吸引孔に吸引力を与える吸引ユニットと、
下側の透光性硬質基板を保持するための下側ステージと、
下側ステージをX軸方向、Y軸方向及びθ軸方向に移動させる手段と、
上側の透光性硬質基板の下面及び下側の透光性硬質基板の上面のいずれか又は両方に光硬化性の固着剤を塗布するための手段と、
両透光性硬質基板の貼り合わせ面の外周部分に向かって光を照射できる位置に配列された光照射部と、
を備えた透光性硬質基板貼り合わせ装置である。
光照射部をこのように配列することで、透光性硬質基板の外周部分に存在する固着剤に選択的に光を照射することができる。光は上側の透光性硬質基板に照射されるので、下側の透光性硬質基板(一枚の透光性硬質基板でも二枚以上の透光性硬質基板積層体でもよい)に対して上側の透光性硬質基板一枚ずつ積層する場合に特に有効である。
光照射部をこのように配列することで、同様に透光性硬質基板の外周部分に存在する固着剤に選択的に光を照射することができる。光は下側の透光性硬質基板に照射されるので、上側の透光性硬質基板(一枚の透光性硬質基板でも二枚以上の透光性硬質基板積層体でもよい)に対して下側の透光性硬質基板一枚ずつ積層する場合に有効である。この場合、貼り合わせた後の透光性硬質基板積層体を取り出さずに上側ステージに保持すれば、次に積層する透光性硬質基板を下側ステージから供給することで連続的に透光性硬質基板を積層することが可能となる。
この場合も、同様に透光性硬質基板の外周部分に存在する固着剤に選択的に光を照射することができる。外周側面に向かって照射された光のエネルギーは接着剤によって吸収されるため、透光性硬質基板の中央付近にまで光が到達することはない。また、光照射部をZ軸方向に移動可能にすることで、光照射部を貼り合わせ面の高さに追随させることができる。そのため、上側の透光性硬質基板に対して下側の透光性硬質基板一枚ずつ積層する場合、及び、下側の透光性硬質基板に対して上側の透光性硬質基板一枚ずつ積層する場合の何れにも適用できる。貼り合わせた後の透光性硬質基板積層体を取り出さずに上側ステージに保持すれば、次に積層する透光性硬質基板を下側ステージから供給することで連続的に透光性硬質基板を積層することも可能である。
撮像ユニットを用いて透光性硬質基板同士の位置関係を微調整することで、より高い位置精度で基板を積層することができる。そのため、透光性硬質基板表面に印刷パターンやめっきパターンが付されている場合など高い位置精度が要求される場合においても対応が可能である。
マージン領域に選択的に光照射する場合、板状製品を構成する部分の基板は仮留めのための光照射を受けずに済む。そのため、後に本照射するとき当該部分の光照射履歴を均一にすることができ、固着剤の歪みに追随した基板の歪みが抑制できるという利点がある。
本発明で貼り合わせる上側及び/又は下側の透光性硬質基板を2枚以上の透光性硬質基板からなる積層体とすることで、3枚以上の基板積層体を製造することができる。
固着剤が粒状物質を含有することで、固着剤の厚みを一定にすることができるため、加工精度が向上する。また、固着剤成分と粒状物質の線膨張係数の違いにより、後に剥離するときの剥離性も向上する。
本発明に係る透光性硬質基板積層体の製造方法の第一実施形態においては、
1)第一の透光性硬質基板を準備する工程と、
2)第二の透光性硬質基板を準備する工程と、
3)第一の透光性硬質基板の第一の面及び/又は第二の透光性硬質基板の第一の面に光硬化性の固着剤を塗布する工程と、
4)第一の透光性硬質基板の第一の面と第二の透光性硬質基板の第一の面とを予め定めた面方向の位置関係で両面が平行となるように対向させる工程と、
5)前記位置関係を維持しながら、第一の透光性硬質基板の第一の面と第二の透光性硬質基板の第一の面に所定の圧力を印加して、両透光性硬質基板を貼り合わせる工程と、
6)前記圧力を維持したまま、両透光性硬質基板に挟まれて広がっている固着剤の外周部分のみを硬化するための光を照射して、仮留め透光性硬質基板積層体を形成する工程と、
7)前記仮留め透光性硬質基板積層体内部に存在する未硬化の固着剤を硬化させるための光を照射し、本留め透光性硬質基板積層体を形成する本照射工程と、
8)前記本留め透光性硬質基板積層体を第一の透光性硬質基板に見立てて、工程1)〜7)を少なくとも1回繰り返し、少なくとも3枚の透光性硬質基板が貼り合わせられた本留め透光性硬質基板積層体を形成する工程と、
が実行される。
照射する光は透光性硬質基板を仮留めするのに必要な程度の照射量でよく、365nmの受光器を使用した積算照度計で測定して、一般に1〜500mJ/cm2、典型的には50〜450mJ/cm2、より典型的には200〜400mJ/cm2とすることができる。照射時間としては一般に1〜120秒、典型的には2〜60秒程度であり、好ましくは15秒〜45秒程度である。光の照射を貼り合わせの圧力を維持したまま実行することで、硬化歪みを抑えて固着剤の厚みを制御し、透光性硬質基板の積層精度を高めることができる。
本発明に係る透光性硬質基板積層体の製造方法の第二実施形態においては、
1)第一の透光性硬質基板を準備する工程と、
2)第二の透光性硬質基板を準備する工程と、
3)第一の透光性硬質基板の第一の面及び/又は第二の透光性硬質基板の第一の面に光硬化性の固着剤を塗布する工程と、
4)第一の透光性硬質基板の第一の面と第二の透光性硬質基板の第一の面とを予め定めた面方向の位置関係で両面が平行となるように対向させる工程と、
5)前記位置関係を維持しながら、第一の透光性硬質基板の第一の面と第二の透光性硬質基板の第一の面に所定の圧力を印加して、両透光性硬質基板を貼り合わせる工程と、
6)前記圧力を維持したまま、両透光性硬質基板に挟まれて広がっている固着剤の外周部分のみを硬化するための光を照射して、仮留め透光性硬質基板積層体を形成する工程と、
7’)前記仮留め透光性硬質基板積層体を第一の透光性硬質基板に見立てて、工程1)〜6)を少なくとも1回繰り返し、少なくとも3枚の透光性硬質基板が貼り合わせられた仮留め透光性硬質基板積層体を形成する工程と、
8’)工程7’)で得られた仮留め透光性硬質基板積層体内部に存在する未硬化の固着剤を硬化させるための光を照射し、本留め透光性硬質基板積層体を形成する本照射工程と、
が実行される。
本発明に係る透光性硬質基板積層体の製造方法の第三の実施形態においては、工程(1)〜(8’)までは第二実施形態と同様の手順で行われ、その後に、
8’’)工程8’)で得られた本留め透光性硬質基板積層体を第一の透光性硬質基板に見立てて、工程1)〜6)を少なくとも1回繰り返し、複合透光性硬質基板積層体を形成する工程と、
8’’’)工程8’’)で得られた複合透光性硬質基板積層体内部に存在する未硬化の固着剤を硬化させるための光を照射し、積層枚数が増加された本留め透光性硬質基板積層体を形成する本照射工程と、
を更に含む。
上記の透光性硬質基板積層体の製造方法によって得られた透光性硬質基板積層体から板状製品を製造することができる。
アニオン性界面活性剤としては、カルボン酸型(例:脂肪酸塩、ポリオキシエチレンアルキルエーテルカルボン酸塩、N−アルシルサルコシン塩、N−アシルグルタミン酸塩)、硫酸エステル型(例:アルキル硫酸エステル塩、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸塩、アルコールエトキシサルフェート、油脂硫酸エステル塩)、スルホン酸型(例:アルキルベンゼンスルホン酸塩、アルカンスルホン酸塩、アルファオレフィンスルホン酸塩、ジアルキルスルホコハク酸、ナフタレンスルホン酸塩−ホルムアルデヒド縮合物、アルキルナフタレンスルホン酸塩、N−メチル−N−アシルタウリン塩)、リン酸エステル型(例:アルキルリン酸塩、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸塩、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテルリン酸塩)等が挙げられる。
カチオン性界面活性剤としては、アミン塩型(例:アルキルアミンアセテート)、第4級アンモニウム塩型(例:モノアルキルアンモニウム塩、ジアルキルアンモニウム塩、エトキシ化アンモニウム塩)が挙げられる。
両性界面活性剤としては、ベタイン型(例:アルキルジメチルアミノ酢酸ベタイン、アルキルアミドプロピルベタイン、アルキルヒドロキシスルホベタイン、アルキルヒドロキシスルホベタイン)、アルキルジメチルアミンオキサイド等が挙げられる。
非イオン性界面活性剤としては、エステル型(例:グリセリン脂肪酸エステル、プロピレングリコール脂肪酸エステル、ソルビタン脂肪酸エステル、しょ糖脂肪酸エステル)、エーテル型(例:ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレンエーテル)、エーテルエステル型(例:ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、アルキルグリセリルエーテル)、アルキルアルカノールアミド型(脂肪酸アルカノールアミド、脂肪酸アミドアルキレンオキサイド付加物)、アルキルポリグリコシドが挙げられる。
同様に、板ガラス12枚からなる板ガラス積層体を本発明に係る方法を使用して製造した。この板ガラス積層体を35℃の該剥離剤に5分浸漬し、その後、端面を回転ブラシで加工した。加工後の端面を顕微鏡で観察したところ、各板ガラスの角部が円形状に面取りされていた。一方、剥離剤に浸漬せずに端面加工した場合は、各板ガラスの角部が面取りされなかった。
本発明に係る透光性硬質基板貼り合わせ装置の例について説明する。本発明に係る透光性硬質基板貼り合わせ装置は、基板の貼り合わせ面の外周部分のみが接着剤によって接着された仮留め透光性硬質基板積層体を製造するために使用される。基板の貼り合わせ面の間に挟まれて存在する未硬化の固着剤は、その後の工程で硬化されて透光性硬質基板は完全に貼り合わせられ、基板の貼り合わせ面全体が接着剤によって接着された本留め透光性硬質基板積層体を製造することができる。
透光性硬質基板として下記板ガラスを使用した。板ガラスは、1枚の寸法が、横530mm×縦420mm×厚み0.7mmの、めっきパターンを付した板ガラスを使用した。
固着剤(I)は、下記の(A)〜(E)の成分を混合して光硬化性の固着剤(I)を作製した。
(A)多官能(メタ)アクリレートとして、日本合成社製「UV-3000B」(ウレタンアクリレート以下「UV−3000B」と略す)20質量部、ジシクロペンタニルジアクリレート(日本化薬社製「KAYARAD R−684」、以下「R−684」と略す)15質量部、
(B)単官能(メタ)アクリレートとして、2−(1,2−シクロヘキサカルボキシイミド)エチルアクリレート(東亜合成社製「アロニックスM−140」、以下「M−140」と略す)50質量部、フェノールエチレンオキサイド2モル変成アクリレート(東亜合成社製「アロニックスM−101A」)15質量部、
(C)光重合開始剤としてベンジルジメチルケタール(BASF社製「IRGACURE651」、以下「BDK」と略す)8質量部、
(D)粒状物質として平均粒径100μmの球状架橋ポリスチレン粒子(ガンツ化成社製「GS−100S」)1質量部、
(E)重合禁止剤として2,2−メチレン−ビス(4−メチル−6−ターシャリーブチルフェノール)(住友化学社製「スミライザーMDP−S」、以下「MDP」と略す)0.1質量部
工程(3)では、板ガラスの両貼り合わせ面に固着剤(I)を40gずつ塗布した。
工程(5)では、貼り合わせるときの圧力は、20g/cm2とし、LEDユニット16によって照射する外周部分は12mm程度の幅とした。工程(6)では、LEDユニット16によって照射する外周部分は12mm程度の幅とし、上記光硬化性接着剤を硬化させるとき、UV照射量は300mJ/cm2(365nmの受光器による積算照度計による測定)とし、UV照射時間は30秒とし、仮留めした。工程(7)では、印加する圧力は20g/cm2とし、光の照射量は、365nmの受光器を使用した積算照度計で測定して、2000mJ/cm2とし、照射時間は20秒とし、本留めした。工程(8)では、固着剤(I)を使用して板ガラス12枚からなる板ガラス積層体を本発明に係る方法を使用して製造した。工程(9)では、円板カッター(ダイヤモンドディスク)を使用し、直方体形状(横100mm×縦55mm×厚み9.6mm)に分割した。工程(10)では、回転砥石による研削、超音波振動ドリルによる孔開け、回転ブラシによる端面加工を順次行い、形状加工した。工程(11)では、この板ガラス積層体を85℃の温水に浸漬して剥離した。
11 架台
12 上側ステージ
13 プレスユニット
14 吸引ユニット
15 吸引孔
16 LEDユニット
17 下側ステージ
18 下側ステージ移動手段
19 サイドクランプ
20 下側基板用塗布ユニット
21 上側基板用塗布ユニット
22 撮像ユニット
23 電装ユニット
24 下側基板
25 上側基板
31 透光性硬質基板
32 固着剤
33 回転ブラシ
Claims (29)
- 1)第一の透光性硬質基板を準備する工程と、
2)第二の透光性硬質基板を準備する工程と、
3)第一の透光性硬質基板の第一の面及び/又は第二の透光性硬質基板の第一の面に光硬化性の固着剤を塗布する工程と、
4)第一の透光性硬質基板の第一の面と第二の透光性硬質基板の第一の面とを予め定めた面方向の位置関係で両面が平行となるように対向させる工程と、
5)前記位置関係を維持しながら、第一の透光性硬質基板の第一の面と第二の透光性硬質基板の第一の面に所定の圧力を印加して、両透光性硬質基板を貼り合わせる工程と、
6)前記圧力を維持したまま、両透光性硬質基板に挟まれて広がっている固着剤の外周部分のみを硬化するための光を照射して、仮留め透光性硬質基板積層体を形成する工程と、
7)前記仮留め透光性硬質基板積層体内部に存在する未硬化の固着剤を硬化させるための光を照射し、本留め透光性硬質基板積層体を形成する本照射工程と、
8)前記本留め透光性硬質基板積層体を第一の透光性硬質基板に見立てて、工程1)〜7)を少なくとも1回繰り返し、少なくとも3枚の透光性硬質基板が貼り合わせられた本留め透光性硬質基板積層体を形成する工程と
を含む透光性硬質基板積層体の製造方法。 - 1)第一の透光性硬質基板を準備する工程と、
2)第二の透光性硬質基板を準備する工程と、
3)第一の透光性硬質基板の第一の面及び/又は第二の透光性硬質基板の第一の面に光硬化性の固着剤を塗布する工程と、
4)第一の透光性硬質基板の第一の面と第二の透光性硬質基板の第一の面とを予め定めた面方向の位置関係で両面が平行となるように対向させる工程と、
5)前記位置関係を維持しながら、第一の透光性硬質基板の第一の面と第二の透光性硬質基板の第一の面に所定の圧力を印加して、両透光性硬質基板を貼り合わせる工程と、
6)前記圧力を維持したまま、両透光性硬質基板に挟まれて広がっている固着剤の外周部分のみを硬化するための光を照射して、仮留め透光性硬質基板積層体を形成する工程と、
7’)前記仮留め透光性硬質基板積層体を第一の透光性硬質基板に見立てて、工程1)〜6)を少なくとも1回繰り返し、少なくとも3枚の透光性硬質基板が貼り合わせられた仮留め透光性硬質基板積層体を形成する工程と、
8’)工程7’)で得られた仮留め透光性硬質基板積層体内部に存在する未硬化の固着剤を硬化させるための光を照射し、本留め透光性硬質基板積層体を形成する本照射工程と、
を含む透光性硬質基板積層体の製造方法。 - 8’’)工程8’)で得られた本留め透光性硬質基板積層体を第一の透光性硬質基板に見立てて、工程1)〜6)を少なくとも1回繰り返し、複合透光性硬質基板積層体を形成する工程と、
8’’’)工程8’’)で得られた複合透光性硬質基板積層体内部に存在する未硬化の固着剤を硬化させるための光を照射し、積層枚数が増加された本留め透光性硬質基板積層体を形成する本照射工程と、
を更に含む請求項2記載の透光性硬質基板積層体の製造方法。 - 前記外周部分は板状製品の一部を形成しないマージン領域に存在する請求項1〜3何れか一項記載の透光性硬質基板積層体の製造方法。
- 本照射工程が、貼り合わせられた透光性硬質基板面に所定の圧力を印加しながら行われる請求項1〜4何れか一項記載の透光性硬質基板積層体の製造方法。
- 未硬化の固着剤に紛れて存在する気泡を、形状加工を受けない位置に移動させてから本照射工程を実施する請求項1〜5何れか一項記載の透光性硬質基板積層体の製造方法。
- 各透光性硬質基板の表面に位置合わせのための目印が付されており、工程4)はこれを撮像装置で撮像しながら位置調整を行うことを含む請求項1〜6何れか一項記載の透光性硬質基板積層体の製造方法。
- 各透光性硬質基板の表面には板状製品の機能の一つを奏するための所定の印刷パターン及び/又はめっきパターンが付されている請求項1〜7何れか一項記載の透光性硬質基板積層体の製造方法。
- 前記固着剤は粒状物質を含有する請求項1〜8何れか一項記載の透光性硬質基板積層体の製造方法。
- 工程6)における光の照射量は、365nmの受光器を使用した積算照度計で測定して、1mJ/cm2〜500mJ/cm2の範囲である請求項1〜9何れか一項記載の透光性硬質基板積層体の製造方法。
- 透光性硬質基板が板ガラスである請求項1〜10何れか一項記載の透光性硬質基板積層体の製造方法。
- 9)請求項1〜11何れか一項記載の方法を用いて得られた透光性硬質基板積層体を厚み方向に分割し、所望の数の分割された透光性硬質基板積層体を形成する工程と、
10)分割された透光性硬質基板積層体それぞれに対して所望の形状加工を行う工程と、
11)形状加工後の透光性硬質基板積層体を加熱することで貼り合わせられていた透光性硬質基板同士を剥離し、複数の板状製品を形成する工程と、
を含む板状製品の製造方法。 - 工程9)と工程10)の間に、分割された透光性硬質基板積層体を、各透光性硬質基板に挟まれた固着剤外縁の露出部分の接着力を低下させるのに必要な温度及び時間条件で、剥離剤に接触させる工程を更に含む請求項12記載の板状製品の製造方法。
- 剥離剤が溶剤、酸化剤、及び界面活性剤から選択される一種又は二種以上を含有する請求項13記載の板状製品の製造方法。
- 剥離剤が水、アルコール類、酸化剤、及び界面活性剤から選択される一種又は二種以上を含有する請求項13記載の板状製品の製造方法。
- 剥離剤が水とアルコール類と界面活性剤を30〜50:30〜50:5〜20の質量比で含有する請求項15記載の板状製品の製造方法。
- 剥離剤がベンジルアルコールを含有する請求項13〜16何れか一項記載の板状製品の製造方法。
- 剥離剤がアニオン系界面活性剤を含有する請求項13〜17何れか一項記載の板状製品の製造方法。
- 剥離剤がスルホン酸型界面活性剤を含有する請求項18記載の板状製品の製造方法。
- 剥離剤の液温が20℃〜40℃であり、剥離剤に接触させる時間が1〜20分である請求項13〜19何れか一項記載の板状製品の製造方法。
- 上側の透光性硬質基板を真空吸着するための吸引孔を有し、上側の透光性硬質基板を保持するための上側ステージと、
上側ステージをZ軸方向に移動させることのできるプレスユニットと、
前記吸引孔に吸引力を与える吸引ユニットと、
下側の透光性硬質基板を保持するための下側ステージと、
下側ステージをX軸方向、Y軸方向及びθ軸方向に移動させる手段と、
上側の透光性硬質基板の下面及び下側の透光性硬質基板の上面のいずれか又は両方に光硬化性の固着剤を塗布するための手段と、
両透光性硬質基板の貼り合わせ面の外周部分に向かって光を照射できる位置に配列された光照射部と、
を備えた透光性硬質基板貼り合わせ装置。 - 光照射部は上側ステージの下面に、保持される透光性硬質基板の外周に沿って配列され、下方向に光を照射する請求項21記載の透光性硬質基板貼り合わせ装置。
- 光照射部は下側ステージの上面に、保持される透光性硬質基板の外周に沿って配列され、上方向に光を照射する請求項21記載の透光性硬質基板貼り合わせ装置。
- 光照射部は貼り合わせられる両透光性硬質基板の外周側面を取り囲むように配列され、外周側面に向かって光を照射する請求項21記載の透光性硬質基板貼り合わせ装置。
- 上側及び下側の透光性硬質基板の表面に設けられたアライメントマークを撮像する撮像ユニットと、撮像結果に基づいて上側及び下側の表面に設けられたアライメントマークの位置ずれ度合いを検出する画像処理ユニットと、検出された位置ずれ度合いに基づいて前記下側ステージ移動手段を制御する制御ユニットとを更に備えた請求項21〜24何れか一項記載の透光性硬質基板貼り合わせ装置。
- 光照射部が光を照射する前記外周部分は、板状製品の一部を形成しないマージン領域である請求項21〜25何れか一項記載の透光性硬質基板貼り合わせ装置。
- 上側ステージ及び/又は下側ステージに保持される透光性硬質基板は2枚以上の透光性硬質基板の積層体である請求項21〜26何れか一項記載の透光性硬質基板貼り合わせ装置。
- 固着剤を塗布するための手段は、粒状物質を含有する固着剤を塗布する請求項21〜27何れか一項記載の透光性硬質基板貼り合わせ装置。
- 透光性硬質基板が板ガラスである請求項21〜28何れか一項記載の透光性硬質基板貼り合わせ装置。
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