JP4563862B2 - 半導体チップのピックアップ装置及びピックアップ方法 - Google Patents
半導体チップのピックアップ装置及びピックアップ方法 Download PDFInfo
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上面に開口する収容部が形成されているとともに、上記上面の上記収容部を除く部分に吸着部が形成され、この吸着部によって上記粘着シートの上記吸着ノズルによってピックアップされる半導体チップが貼着された部分の周辺部下面を吸着保持するバックアップ体と、
上記収容部に気密な状態で同心的に収容された複数の可動部材と、
これら可動部材が上端面を上記バックアップ体の上面と面一にしてこの上面に上記吸着部によって上記粘着シートを吸着保持した状態で、上記複数の可動部材の上記収容部の径方向外方に位置する可動部材から順次下降方向に駆動してその可動部材の上端面と上記粘着シートの下面との間に気密な状態の負圧の空間部を形成させる駆動手段と
を具備したことを特徴とする半導体チップのピックアップ装置にある。
収容部が開口形成されたバックアップ体の上面に、上記粘着シートの上記吸着ノズルによってピックアップされる上記半導体チップの周辺部下面を、上記粘着シートの下面と上記収容部との間に空間部がない気密な状態で吸着保持する工程と、
上記粘着シートの下面の上記収容部と対応する部分に、径方向外方から中心部に向かって気密な状態の負圧の空間部を順次形成する工程と、
気密な状態の上記負圧の空間部によって上記粘着シートが吸引されて剥離された半導体チップを上記吸着ノズルによってピックアップする工程と
を具備したことを特徴とする半導体チップのピックアップ方法にある。
図1乃至図4はこの発明の一実施の形態を示す。図1に示すピックアップ装置はバックアップユニット1を備えている。このバックアップユニット1は図示しないウエハリングに張設された粘着シート2の下面側に対向して設けられ、図示しないZ駆動源によって後述するごとくバックアップ体11の上面が粘着シート2の下面に接触する位置と、粘着シート2から所定の間隔で離れた位置との間をZ方向に駆動されるようになっている。
なお、半導体チップ3から粘着シート2を剥離するための負圧力は、粘着シート2と各可動体17〜19の上端面との間に予め空気層が存在するとすれば、各可動体17〜19のストロークを変えることで、設定可能である。すなわち、半導体チップ3から粘着シート2を剥離する場合、最初の部分(上記実施の形態では4つの角部3a)を剥離するときに最も大きな力が必要となり、剥離された部分を起点として順次剥離してゆくにつれて小さな力で剥離することができる。
Claims (6)
- 粘着シートに貼られた半導体チップを吸着ノズルによってピックアップする半導体チップのピックアップ装置であって、
上面に開口する収容部が形成されているとともに、上記上面の上記収容部を除く部分に吸着部が形成され、この吸着部によって上記粘着シートの上記吸着ノズルによってピックアップされる半導体チップが貼着された部分の周辺部下面を吸着保持するバックアップ体と、
上記収容部に気密な状態で同心的に収容された複数の可動部材と、
これら可動部材が上端面を上記バックアップ体の上面と面一にしてこの上面に上記吸着部によって上記粘着シートを吸着保持した状態で、上記複数の可動部材の上記収容部の径方向外方に位置する可動部材から順次下降方向に駆動してその可動部材の上端面と上記粘着シートの下面との間に気密な状態の負圧の空間部を形成させる駆動手段と
を具備したことを特徴とする半導体チップのピックアップ装置。 - 上記吸着部は、上記バックアップ体の上面に同心的に形成された複数の環状溝及びこれら環状溝を互いに連通させる連通部とからなり、この連通部には吸引ポンプが接続される吸引路が連通していることを特徴とする請求項1記載の半導体チップのピックアップ装置。
- 複数の可動体は、上記収容部に摺動可能な状態で設けられた少なくとも1つの筒状可動体と、この筒状可動体に摺動可能に収容された軸状可動体とからなることを特徴とする請求項1記載の半導体チップのピックアップ装置。
- 粘着シートに貼られた半導体チップを吸着ノズルによってピックアップする半導体チップのピックアップ方法であって、
収容部が開口形成されたバックアップ体の上面に、上記粘着シートの上記吸着ノズルによってピックアップされる上記半導体チップの周辺部下面を、上記粘着シートの下面と上記収容部との間に空間部がない気密な状態で吸着保持する工程と、
上記粘着シートの下面の上記収容部と対応する部分に、径方向外方から中心部に向かって気密な状態の負圧の空間部を順次形成する工程と、
気密な状態の上記負圧の空間部によって上記粘着シートが吸引されて剥離された半導体チップを上記吸着ノズルによってピックアップする工程と
を具備したことを特徴とする半導体チップのピックアップ方法。 - 上記半導体チップを上記吸着ノズルで吸着保持した状態で、この半導体チップから上記粘着シートを剥離することを特徴とする請求項4記載の半導体チップのピックアップ方法。
- 上記粘着シートの下面の上記収容部と対応する部分に、径方向外方から中心部に向かって負圧の空間部を順次段階的に形成することを特徴とする請求項4記載の半導体チップのピックアップ方法。
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