JP5800383B2 - 部品実装機 - Google Patents

Description

本発明は、ウエハをダイシングして形成したウエハ部品（ダイ）を供給するウエハ部品供給装置をセットした部品実装機に関する発明である。

近年、特許文献１（特開２０１０−１２９９４９号公報）に記載されているように、ウエハ部品（ダイ）を供給するウエハ部品供給装置を部品実装機にセットして、部品実装機でウエハ部品を回路基板に実装するようにしたものがある。ウエハ部品供給装置は、ウエハ部品が貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットと、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げポットとを備え、部品実装機の吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のウエハ部品を吸着してピックアップする際に、突き上げポットをダイシングシートの下面に接触する所定のシート吸着位置まで上昇させて該ダイシングシートを該突き上げポットの上面に吸着した状態で、該突き上げポット内の突き上げピンを該突き上げポットの上面から上方に突出させることで、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするウエハ部品の貼着部分を該突き上げピンで突き上げて該ウエハ部品の貼着部分を該ダイシングシートから部分的に剥離させながら、該吸着ノズルで該ウエハ部品を吸着して該ダイシングシートからピックアップして回路基板に実装するようにしている。

特開２０１０−１２９９４９号公報

ところで、部品実装機の吸着ノズルを下降させてダイシングシート上のウエハ部品を吸着する際に、部品実装機の吸着ノズルと突き上げポット（突き上げピン）との間隔が小さくなり過ぎると、部品実装機の吸着ノズルの下端がダイシングシート上のウエハ部品に強く当たり過ぎてウエハ部品が傷付いたり、割れたり、ウエハ部品の内部回路が損傷してしまう可能性があり、反対に、部品実装機の吸着ノズルと突き上げポット（突き上げピン）との間隔が大きくなり過ぎると、部品実装機の吸着ノズルでウエハ部品を安定して吸着できない。従って、部品実装機の吸着ノズルでウエハ部品を傷付けずに安定して吸着するためには、部品実装機の吸着ノズルと突き上げポット（突き上げピン）との間隔を厳重に管理する必要がある。

しかし、部品実装機の吸着ノズルの下降位置は、部品実装機側の機械座標系で管理され、突き上げポット（突き上げピン）の突き上げ高さ位置は、ウエハ部品供給装置側の機械座標系で管理されるため、ウエハ部品供給装置の各部の機械的な寸法ばらつきや、部品実装機へのウエハ部品供給装置のセット位置のずれ等、例えば各々の部品実装機が設置される床のコンディションが異なることによって、部品実装機の吸着ノズルと突き上げポット（突き上げピン）との間隔がばらつくことは避けられない。このため、部品実装機の吸着ノズルと突き上げポット（突き上げピン）との間隔のばらつきによって、部品実装機の吸着ノズルでウエハ部品が傷付いたり、ウエハ部品を安定して吸着できない可能性がある。

そこで、本発明が解決しようとする課題は、ウエハ部品供給装置をセットした部品実装機において、部品実装機の吸着ノズルでウエハ部品を傷付けずに安定して吸着できるようにする。

上記課題を解決するために、請求項１に係る発明は、ウエハ部品が貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットと、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げポットとを備えたウエハ部品供給装置が付け替え可能にセットされた部品実装機において、突き上げポットをシート吸着位置まで上昇させた状態で該突き上げポットの上面の高さ位置を部品実装機の基準高さ位置を基準にして計測するポット高さ位置計測手段と、前記ポット高さ位置計測手段で計測した前記突き上げポットの上面の高さ位置に応じてウエハ部品吸着動作時の前記吸着ノズルの下降位置を移動させるノズルの下降位置移動手段とを備え、当該部品実装機にセットされた前記ウエハ部品供給装置に対応する前記突き上げピンの突き上げ量と前記吸着ノズルの下降位置が、複数の部品実装機間で共通の突き上げ量とノズルストロークの設定値としてプログラム管理されるようにしたものである。

この構成によれば、突き上げポットをシート吸着位置まで上昇させた状態で、該突き上げポットの上面の高さ位置を部品実装機の基準高さ位置を基準にしてポット高さ位置計測手段により計測し、計測した突き上げポットの上面の高さ位置に応じてウエハ部品吸着動作時の吸着ノズルの下降位置を移動させるようにしたので、部品実装機にセットするウエハ部品供給装置を付け替えて突き上げポットの上面の高さ位置が変動しても、ウエハ部品吸着動作時の吸着ノズルの下降位置と突き上げポットの上面の高さ位置との間隔を適正な間隔に自動的に修正することができ、部品実装機の吸着ノズルでダイシングシート上のウエハ部品を傷付けずに安定して吸着できる。最大の効果は、厳密に調整した最適設定を生産種変更時（段取り替えによる着脱時）にも再調整することなく再現できること、また、複数の装置間でも共通の設定値としてプログラム管理可能であることである。

この場合、請求項２のように、ポット高さ位置計測手段は、生産開始前にウエハパレットを突き上げポットの上方のウエハパレットセット位置にセットしない状態で、突き上げポットを前記シート吸着位置まで上昇させて該突き上げポットの上面の高さ位置を計測するようにしても良い。

また、ウエハ部品とダイシングシートの両者の厚み寸法は、ウエハ部品の製品仕様により既知のデータとなっている。この点を考慮して、請求項３のように、ポット高さ位置計測手段は、生産開始後にウエハパレットを突き上げポットの上方のウエハパレットセット位置にセットした状態で、突き上げポットを前記シート吸着位置まで上昇させて該ダイシングシートを該突き上げポットの上面に吸着した状態で前記ダイシングシート上のウエハ部品の上面の高さ位置を該部品実装機の基準高さ位置を基準にして計測することで、該突き上げポットの上面の高さ位置を間接的に計測するようにしても良い。ダイシングシート上のウエハ部品の上面の高さ位置よりもウエハ部品とダイシングシートの合計厚み寸法だけ低い位置が突き上げポットの上面の高さ位置となる。

また、請求項４のように、ポット高さ位置計測手段は、突き上げポットの上面の高さ位置を複数箇所で計測し、それらの計測値を平均して該突き上げポットの上面の高さ位置を求めるようにしても良い。このようにすれば、突き上げポットの上面が若干傾いていたとしても、突き上げポット上面の中央部付近（吸着ノズルの吸着点付近）の高さ位置を精度良く計測することができる。

また、請求項５のように、ポット高さ位置計測手段は、吸着ノズルを保持する装着ヘッドに取り付けるようにしても良い。このようにすれば、ポット高さ位置計測手段の位置が突き上げポットの真上位置からずれている場合は、装着ヘッドをＸＹ方向に移動させてポット高さ位置計測手段の位置を突き上げポットの真上位置まで移動させることが可能となり、突き上げポットの真上位置から突き上げポットの上面の高さ位置を精度良く計測することができる利点がある。

ところで、突き上げポットの上面からの突き上げピンの突出量（ダイシングシートの突き上げ量）は、ウエハ部品供給装置の製品仕様で決められた一定値であるため、突き上げポットの上面の高さ位置を計測すれば、突き上げポットの上面から突出した突き上げピンの上端の高さ位置が判明する。従って、突き上げポットの上面の高さ位置を基準にして、突き上げピンの突出量（ダイシングシートの突き上げ量）とダイシングシートとウエハ部品の合計厚み寸法を考慮して、ウエハ部品吸着動作時の吸着ノズルの下降位置を移動させることができる。また、突き上げピンの上端の高さ位置を計測すれば、その高さ位置を基準にしてダイシングシートとウエハ部品の合計厚み寸法を考慮して、ウエハ部品吸着動作時の吸着ノズルの下降位置を移動させることができる。

そこで、請求項６のように、突き上げポットを前記シート吸着位置まで上昇させた状態で該突き上げポット内の前記突き上げピンを該突き上げポットの上面から突出させたときの該突き上げピンの上端の高さ位置を該部品実装機の基準高さ位置を基準にしてピン高さ位置計測手段により計測し、計測した突き上げピンの上端の高さ位置に応じてウエハ部品吸着動作時の吸着ノズルの下降位置をノズル下降位置移動手段により移動させるようにしても良い。このようにしても、前記請求項１に係る発明と同様の効果を得ることができる。 上述した請求項１〜６に係る発明は、いずれも、突き上げポット上面又は突き上げピン上端の高さ位置を計測するポット高さ位置計測手段又はピン高さ位置計測手段を部品実装機に設けた構成としたが、部品実装機が高さ位置計測手段を持たない場合は、作業者がダイヤルゲージ等を用いて突き上げポット上面又は突き上げピン上端の高さ位置を部品実装機の基準高さ位置を基準にして計測するようにしても良い。

部品実装機が高さ位置計測手段を持たない場合は、請求項７のように、突き上げポットをシート吸着位置まで上昇させた状態で、該突き上げポットの上面の高さ位置を該部品実装機の基準高さ位置を基準にして計測した値、又は、突き上げポット内の突き上げピンを該突き上げポットの上面から突出させたときの該突き上げピンの上端の高さ位置を該部品実装機の基準高さ位置を基準にして計測した値を入力する高さ位置入力手段を設け、この高さ位置入力手段で入力した突き上げポットの上面の高さ位置又は前記突き上げピンの上端の高さ位置に応じてウエハ部品吸着動作時の吸着ノズルの下降位置をノズル下降位置移動手段により移動させるようにしても良い。このようにしても、前記請求項１に係る発明と同様の効果を得ることができる。

図１は本発明の一実施例における部品供給装置の外観斜視図である。 図２は突き上げユニット部分の拡大斜視図である。 図３は部品供給装置をセットした部品実装機の外観斜視図である。 図４は一部を破断して示す突き上げポットとダイシングシート上のウエハ部品と吸着ノズルとの位置関係を示す図である。 図５は部品実装機と部品供給装置の制御系の構成を概略的に説明するブロック図である。

以下、本発明を実施するための形態を具体化した一実施例を図面を用いて説明する。
図１に示すように、本実施例の部品供給装置１１（ウエハ部品供給装置）は、マガジン保持部１２（トレイタワー）、パレット引き出しテーブル１３、パレット引き出し機構１４、サブロボット１５、シャトル機構１６、反転ユニット１７、突き上げユニット１８（図２参照）、ＮＧコンベア１９、ノズルチェンジャー２０等を備えた構成となっている。この部品供給装置１１は、図３に示すように、部品実装機２５のフィーダセット用スロットにパレット引き出しテーブル１３を差し込んだ状態に付け替え可能にセットされる。

部品供給装置１１のマガジン保持部１２内に上下動可能に収納されたマガジン（図示せず）には、ウエハ部品２１（ダイ）を載せたウエハパレット２２と、トレイ部品を載せたトレイパレット（図示せず）とを多段に混載できるようになっている。図１に示すように、ウエハパレット２２は、ウエハを碁盤目状にダイシングして形成したウエハ部品２１を貼着した伸縮可能なダイシングシート３６を、円形の開口部を有するウエハ装着板２３にエキスパンドした状態で装着し、該ウエハ装着板２３をパレット本体２８にねじ止め等により取り付けた構成となっている。尚、ダイシングシート３６のエキスパンドは、どのような方法で行っても良く、例えば、ダイシングシート３６を下方から円形リングで押し上げた状態でウエハ装着板２３に装着すれば良い。

パレット引き出し機構１４は、生産プログラム（生産ジョブ）に従って、ウエハパレット２２とトレイパレットのいずれかのパレットをマガジン保持部１２内のマガジンからパレット引き出しテーブル１３上に引き出すものであり、パレット上の部品やウエハ部品２１を部品実装機２５（図３参照）の吸着ノズル３０（図４参照）でピックアップする位置（以下「部品実装機用引き出し位置」という）と、マガジンに近い引き出し位置（以下「サブロボット用引き出し位置」という）とのいずれの位置にもパレット２２を引き出し可能に構成されている。部品実装機用引き出し位置は、パレット引き出しテーブル１３の前端の位置（マガジンから最も離れた位置）であり、サブロボット用引き出し位置は、サブロボット１５の吸着ノズル（図示せず）でウエハパレット２２のダイシングシート３６上のウエハ部品２１を吸着可能な位置である。

サブロボット１５は、マガジン保持部１２の背面部（サブロボット用引き出し位置側の面）のうちのパレット引き出しテーブル１３の上方に位置して設けられ、ＸＺ方向（パレット引き出しテーブル１３の幅方向及び上下方向）に移動するように構成されている。尚、サブロボット１５の移動方向をＸ方向のみとし、ウエハパレット２２に対するサブロボット１５のＹ方向（パレット引き出し方向）の相対的位置は、パレット引き出し機構１４によってウエハパレット２２をＹ方向に徐々に引き出すことで制御するようにしている。このサブロボット１５には、１本又は複数本の吸着ノズル（図示せず）が下向きに設けられ、ピックアップするウエハ部品２１のサイズ等に応じてノズルチェンジャー２０で吸着ノズルを交換できるようになっている。サブロボット１５には、カメラ２４が設けられ、このカメラ２４の撮像画像に基づいて、ピックアップ対象となるウエハ部品２１の位置又はウエハ部品２１の吸着姿勢を確認できるようになっている。

シャトル機構１６は、サブロボット１５の吸着ノズルでピックアップされた部品をシャトルノズル２６で受け取って部品実装機２５の吸着ノズル３０でピックアップ可能な位置まで移送する。

反転ユニット１７は、サブロボット１５から受け取るウエハ部品２１を必要に応じて上下反転させるものである。ウエハ部品２１の種類によっては、ウエハパレット２２のダイシングシート３６に上下反対に貼着されたウエハ部品（例えばフリップチップ等）が存在するためである。

突き上げユニット１８（図２参照）は、パレット引き出しテーブル１３に設けられて、ウエハパレット２２のダイシングシート３６下方の空間領域をＸＹ方向（パレット引き出しテーブル１３の幅方向及びその直角水平方向）に移動可能に構成されている。そして、部品実装機用引き出し位置とサブロボット用引き出し位置のいずれの位置にウエハパレット２２を引き出した場合でも、ダイシングシート３６のうちのピックアップしようとするウエハ部品２１の貼着部分をその下方から突き上げポット２７の突き上げピン２９（図４参照）で局所的に突き上げることで、当該ウエハ部品２１の貼着部分をダイシングシート３６から部分的に剥離させてウエハ部品２１をピックアップしやすい状態に浮き上がらせるようにしている。突き上げユニット１８は、ウエハ部品２１のサイズ等に応じて突き上げポット２７を選択できるようにするために、複数種類（例えば４種類）の突き上げポット２７が所定角度ピッチ（図２の例では９０°ピッチ）で放射状に設けられ、突き上げ動作させる突き上げポット２７が上向きとなる位置まで回転させるように構成されている。

この突き上げユニット１８は、サーボモータ３７（図５参照）を駆動源として突き上げユニット１８全体が上下動するように構成されている。ダイピックアップ動作時には、突き上げユニット１８が上昇して突き上げポット２７の上面がウエハパレット２２のダイシングシート３６に接触する所定のシート吸着位置まで上昇すると、ストッパ機構（図示せず）によって突き上げユニット１８の上昇が止まり、更に上昇動作を続けると、突き上げポット２７の上面から突き上げピン２９（図４参照）が上方に突出して、ダイシングシート３６のうちの吸着しようとするウエハ部品２１の貼着部分（吸着ノズル３０の吸着点）を突き上げるようになっている。この場合、駆動源となるサーボモータ３７の回転量を調整することで、突き上げピン２９の突き上げ高さを調整できるようになっている。
尚、ＮＧコンベア１９は、不良部品や吸着不良のウエハ部品２１を排出するコンベアである。

以上のように構成した部品供給装置１１の制御装置３２は、図３に示すように、キーボード、マウス、タッチパネル等の入力装置３３と、液晶ディスプレイ等の表示装置３４等の周辺装置を備えたコンピュータにより構成され、生産プログラムに従って部品実装機２５に供給する部品の種類に応じてパレットの引き出し位置と部品のピックアップ方法を選択すると共に、その選択結果に応じてパレット引き出し機構１４、サブロボット１５及びシャトル機構１６、反転ユニット１７、突き上げユニット１８、部品実装機２５の吸着ノズル３０等の動作を次のように制御する。

（１）小さいウエハ部品２１の場合
小さいウエハ部品２１の場合は、サブロボット１５→シャトルノズル２６→部品実装機２５の吸着ノズル３０へのウエハ部品２１のつかみ替えが困難であるので、マガジン保持部１２からウエハパレット２２を部品実装機用引き出し位置に引き出して、当該ウエハパレット２２のダイシングシート３６上のウエハ部品２１を部品実装機２５の吸着ノズル３０で直接ピックアップする。

（２）上記以外のサイズのウエハ部品２１の場合
ウエハ部品２１のつかみ替えが可能なサイズのウエハ部品２１の場合は、実装時間を短縮することを目的として、マガジン保持部１２内のマガジンからウエハパレット２２をサブロボット用引き出し位置に引き出して、サブロボット１５の吸着ノズルで当該ウエハパレット２２のダイシングシート３６上のウエハ部品２１をピックアップし、当該ウエハ部品２１をシャトル機構１６のシャトルノズル２６で受け取って所定のピックアップ位置まで移送し、このピックアップ位置で、シャトル機構１６のシャトルノズル２６からウエハ部品２１を部品実装機２５の吸着ノズル３０でピックアップする。

（３）トレイ部品の場合
トレイ部品の場合は、マガジン保持部１２内のマガジンからトレイパレットを部品実装機用引き出し位置に引き出して、当該トレイパレット上の部品を部品実装機２５の吸着ノズル３０で直接ピックアップする。

ところで、部品実装機２５の吸着ノズル３０でウエハパレット２２のダイシングシート３６上のウエハ部品２１を吸着する際に、突き上げポット２７（突き上げピン２９）と吸着ノズル３０との間隔が小さくなり過ぎると、吸着ノズル３０の下端がダイシングシート３６上のウエハ部品２１に強く当たり過ぎてウエハ部品２１が傷付いたり、割れたり、ウエハ部品２１の内部回路が損傷してしまう可能性があり、反対に、突き上げポット２７（突き上げピン２９）と吸着ノズル３０との間隔が大きくなり過ぎると、吸着ノズル３０でウエハ部品２１を安定して吸着できない。従って、部品実装機２５の吸着ノズル３０でウエハ部品２１を傷付けずに安定して吸着するためには、部品実装機２５の吸着ノズル３０と突き上げポット２７（突き上げピン２９）との間隔を厳重に管理する必要がある。

しかし、部品実装機２５の吸着ノズル３０の下降位置は、部品実装機２５側の機械座標系で管理され、突き上げポット２７の上昇高さ位置や突き上げピン２９の突き上げ高さ位置は、部品供給装置１１側の機械座標系で管理されるため、部品供給装置１１の各部の機械的な寸法ばらつきや、部品実装機２５への部品供給装置１１のセット位置のずれ等、例えば各々の部品実装機が設置される床のコンディションが異なることによって、部品実装機２５の吸着ノズル３０と突き上げポット２７（突き上げピン２９）との間隔がばらつくことは避けられない。このため、部品実装機２５の吸着ノズル３０と突き上げポット２７（突き上げピン２９）との間隔のばらつきによって、部品実装機２５の吸着ノズル３０でウエハ部品２１が傷付いたり、ウエハ部品２１を安定して吸着できない可能性がある。

この対策として、本実施例では、突き上げポット２７をシート吸着位置まで上昇させた状態で該突き上げポット２７の上面の高さ位置を部品実装機２５の基準高さ位置を基準にして計測するポット高さ位置計測手段として、高さセンサ３８（図５参照）が部品実装機２５の吸着ノズル３０を保持する装着ヘッド（図示せず）に下向きに取り付けられている。この高さセンサ３８としては、例えば、レーザ式、超音波式、ＬＥＤ式等の非接触式の高さセンサを用いれば良い。或は、タッチセンサ等の接触式のセンサを装着ヘッドに取り付けて、計測対象物（突き上げポット２７の上面）に接触式のセンサが接触するまで装着ヘッドを下降させて、その下降量を装着ヘッド移動装置のＺ軸方向（上下方向）の駆動モータであるＺ軸モータ３９のエンコーダのカウント値によって計測するようにしても良い。或は、計測対象物に吸着ノズル３０の下端が接触するまで装着ヘッドを下降させて、装着ヘッド移動装置のＺ軸モータ３９のトルク変化を検出することで、計測対象物に吸着ノズル３０の下端が接触する高さ位置を検出し、その高さ位置を装着ヘッド移動装置のＺ軸モータ３９のエンコーダのカウント値によって計測するようにしても良い。

部品実装機２５の制御装置４０は、生産開始前にウエハパレット２２を突き上げポット２７の上方のウエハパレットセット位置である部品実装機用引き出し位置にセットしない状態で、突き上げポット２７をダイシングシート３６の下面に接触するシート吸着位置まで上昇させて該突き上げポット２７の上面の高さ位置を部品実装機２５の基準高さ位置を基準にして高さセンサ３８により計測し、計測した突き上げポット２７の上面の高さ位置に応じてウエハ部品吸着動作時の吸着ノズル３０の下降位置を移動させるノズル下降位置移動手段として機能する。

ウエハ部品吸着動作時の吸着ノズル３０の下降位置は、突き上げポット２７の上面の高さ位置Ａを用いて次式により求められる。

吸着ノズル３０の下降位置＝Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ＋Ｅ ……（１）
突き上げピン２９の突き上げ高さ位置（上端の高さ位置）＝Ａ＋Ｂ ……（２） Ａ：突き上げポット２７の上面の高さ位置
Ｂ：突き上げピン２９の突き上げ量
Ｃ：ダイシングシート３６の厚み寸法
Ｄ：ウエハ部品２１の厚み寸法（高さ寸法）
Ｅ：吸着ノズル３０の適正な押し込み量

ここで、突き上げピン２９の突き上げ量Ｂは部品供給装置１１の製品仕様により既知のデータであり、ダイシングシート３６の厚み寸法Ｃとウエハ部品２１の厚み寸法Ｄは、ウエハ部品２１の製品仕様により既知のデータであり、吸着ノズル３０の適正な押し込み量Ｅは、吸着ノズル３０を下方に付勢するばねの適正な圧縮量であり、部品実装機２５の製品仕様により既知のデータである。従って、突き上げポット２７の上面の高さ位置Ａを計測すれば、上記（１）式により吸着ノズル３０の下降位置を算出できる。

更に、本実施例では、突き上げポット２７の上面の高さ位置を高さセンサ３８により複数箇所で計測し、それらの計測値を平均して該突き上げポット２７の上面の高さ位置を求めるようにしている。このようにすれば、突き上げポット２７の上面が若干傾いていたとしても、突き上げポット２６上面の中央部付近（吸着ノズル３０の吸着点付近）の高さ位置を精度良く計測することができる。但し、本発明は、突き上げポット２７の上面の高さ位置を１箇所のみで計測するようにしても良いことは言うまでもない。

以上説明した本実施例では、高さセンサ３８により計測した突き上げポット２７の上面の高さ位置に応じてウエハ部品吸着動作時の吸着ノズル３０の下降位置を移動させるようにしたので、部品実装機２５にセットする部品供給装置１１を付け替えて突き上げポット２７の上面の高さ位置が変動しても、ウエハ部品吸着動作時の吸着ノズル３０の下降位置と突き上げポット２７の上面の高さ位置との間隔を適正な間隔に自動的に修正することができ、部品実装機２５の吸着ノズル３０でダイシングシート３６上のウエハ部品２１を傷付けずに安定して吸着できる。最大の効果は、厳密に調整した最適設定を生産種変更時（段取り替えによる着脱時）にも再調整することなく再現できること、また、当該部品実装機２５にセットされた部品供給装置１１に対応する突き上げピン２９の突き上げ量と吸着ノズル３０の下降位置を、複数の部品実装機間で共通の突き上げ量とノズルストロークの設定値としてプログラム管理可能であることである。

しかも、本実施例では、高さセンサ３８を部品実装機２５の装着ヘッドに取り付けるようにしたので、高さセンサ３８の位置が突き上げポット２７の真上位置からずれている場合は、装着ヘッドをＸＹ方向に移動させて高さセンサ３８の位置を突き上げポット２７の真上位置まで移動させることができ、突き上げポット２７の真上位置から突き上げポット２７の上面の高さ位置を精度良く計測することができる利点がある。

但し、高さセンサ３８（ポット高さ位置計測手段）を取り付ける位置は、部品実装機２５の装着ヘッドに限定されず、例えば、部品実装機２５のうちのウエハパレットセット位置（部品実装機用引き出し位置）の上方に位置する部位に取り付けるようにしても良い。部品実装機２５に取り付けた高さセンサ３８の位置が突き上げポット２７の真上位置からずれている場合には、突き上げポット２７をＸＹ方向に移動させて突き上げポット２７の位置を高さセンサ３８の真下位置まで移動させるようにすれば良い。このようにしても、突き上げポット２７の真上位置から突き上げポット２７の上面の高さ位置を精度良く計測することができる。

本実施例では、生産開始前にウエハパレット２２を突き上げポット２２の上方のウエハパレットセット位置（部品実装機用引き出し位置）にセットしない状態で、突き上げポット２７をシート吸着位置まで上昇させて該突き上げポット２７の上面の高さ位置を高さセンサ３８により計測するようにしたが、ウエハ部品２１とダイシングシート３６の両者の厚み寸法は、ウエハ部品２１の製品仕様により既知のデータであることを考慮して、生産開始後にウエハパレット２２を突き上げポット２７の上方のウエハパレットセット位置（部品実装機用引き出し位置）にセットした状態で、突き上げポット２７をシート吸着位置まで上昇させて該ダイシングシート３６を該突き上げポット２７の上面に吸着した状態で、ダイシングシート３６上のウエハ部品２１の上面の高さ位置を該部品実装機２５の基準高さ位置を基準にして高さセンサ３８により計測することで、該突き上げポット２７の上面の高さ位置を間接的に計測するようにしても良い。ダイシングシート３６上のウエハ部品２１の上面の高さ位置よりもウエハ部品２１とダイシングシート３６の合計厚み寸法だけ低い位置が突き上げポット２７の上面の高さ位置となる。

また、突き上げポット２７の上面の高さ位置に代えて、突き上げポット２７の上面から突出させたときの突き上げピン２９の上端の高さ位置を計測するようにしても良い。例えば、生産開始前にウエハパレット２２を突き上げポット２２の上方のウエハパレットセット位置（部品実装機用引き出し位置）にセットしない状態で、突き上げポット２７をシート吸着位置まで上昇させた状態で該突き上げポット２７内の突き上げピン２９を該突き上げポット２７の上面から突出させたときの該突き上げピン２９の上端の高さ位置を該部品実装機２５の基準高さ位置を基準にして高さセンサ（ピン高さ位置計測手段）により計測し、計測した突き上げピン２９の上端の高さ位置に応じてウエハ部品吸着動作時の吸着ノズル３０の下降位置を移動させるようにしても良い。この場合も、高さセンサ（ピン高さ位置計測手段）は、部品実装機２５の装着ヘッドに取り付けても良いし、部品実装機２５のうちのウエハパレットセット位置（部品実装機用引き出し位置）の上方に位置する部位に取り付けるようにしても良く、いずれの構成でも、高さセンサ（ピン高さ位置計測手段）の位置が突き上げピン２９の真上位置からずれている場合は、装着ヘッド又は突き上げポット２７をＸＹ方向に移動させて、高さセンサ（ピン高さ位置計測手段）の位置と突き上げピン２９の真上位置とを位置合わせするようにすれば良い。

尚、ポット高さ位置計測手段（高さセンサ３８）やピン高さ位置計測手段は、突き上げポット２７や突き上げピン２９の上方から高さ位置を計測するものに限定されず、突き上げポット２７や突き上げピン２９の側方から高さ位置を計測するようにしても良い。例えば、部品実装機２５に固定したカメラを用いて、突き上げポット２７や突き上げピン２９をその側方から撮像して、その撮像画像を画像処理して突き上げポット２７の上面の高さ位置や突き上げピン２９の上端の高さ位置を計測するようにしても良い。

また、前記実施例では、突き上げポット２７上面又は突き上げピン２９上端の高さ位置を計測するポット高さ位置計測手段又はピン高さ位置計測手段を部品実装機２５に設けるようにしたが、高さ位置計測手段を持たない部品実装機では、作業者がダイヤルゲージ等を用いて突き上げポット２７上面又は突き上げピン２９上端の高さ位置を部品実装機２５の基準高さ位置を基準にして計測するようにしても良い。

部品実装機２５が高さ位置計測手段を持たない場合は、突き上げポット２７をシート吸着位置まで上昇させた状態で、作業者がダイヤルゲージ等を用いて、突き上げポット２７の上面の高さ位置を部品実装機２５の基準高さ位置を基準にして計測した値、又は、突き上げポット２７内の突き上げピン２９を該突き上げポット２７の上面から突出させたときの該突き上げピン２９の上端の高さ位置を該部品実装機２５の基準高さ位置を基準にして計測した値を入力する高さ位置入力手段（キーボード、マウス、タッチパネル等）を設け、この高さ位置入力手段で入力した突き上げポット２７の上面の高さ位置又は突き上げピン２９の上端の高さ位置に応じてウエハ部品吸着動作時の吸着ノズル３０の下降位置をノズル下降位置移動手段により移動させるようにしても良い。このようにしても、前記実施例と同様の効果を得ることができる。

尚、前記実施例では、ウエハパレット２２とトレイパレットとを混載した部品供給装置１１を部品実装機２５にセットするようにしたが、ウエハパレット２２のみを積載したウエハ部品供給装置を部品実装機２５にセットした構成に本発明を適用して実施ても良い等、本発明は種々変更して実施できる。

１１…部品供給装置（ウエハ部品供給装置）、１２…マガジン保持部、１３…パレット引き出しテーブル、１４…パレット引き出し機構、１５…サブロボット、１６…シャトル機構、１７…反転ユニット、１８…突き上げユニット、１９…ＮＧコンベア、２０…ノズルチェンジャー、２１…ウエハ部品、２２…ウエハパレット、２３…ウエハ装着板、２５…部品実装機、２６…シャトルノズル、２７…突き上げポット、２８…パレット本体、２９…突き上げピン、３０…部品実装機の吸着ノズル、３２…部品供給装置の制御装置、３３…入力装置、３４…表示装置、３６…ダイシングシート、３７…サーボモータ、３８…高さセンサ（ポット高さ位置計測手段）、４０…部品実装機の制御装置（ノズル下降位置移動手段）

Claims (7)

1. ウエハ部品が貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットと、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げポットとを備えたウエハ部品供給装置が付け替え可能にセットされ、
   吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のウエハ部品を吸着する際に、前記ウエハ部品供給装置の前記突き上げポットを前記ダイシングシートの下面に当接する所定のシート吸着位置まで上昇させて該ダイシングシートを該突き上げポットの上面に吸着した状態で、該突き上げポット内の突き上げピンを該突き上げポットの上面から上方に突出させることで、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするウエハ部品の貼着部分を該突き上げピンで突き上げて該ウエハ部品の貼着部分を該ダイシングシートから部分的に剥離させながら、該吸着ノズルで該ウエハ部品を吸着して該ダイシングシートからピックアップして回路基板に実装する部品実装機において、
   前記突き上げポットを前記シート吸着位置まで上昇させた状態で該突き上げポットの上面の高さ位置を該部品実装機の基準高さ位置を基準にして計測するポット高さ位置計測手段と、
   前記ポット高さ位置計測手段で計測した前記突き上げポットの上面の高さ位置に応じてウエハ部品吸着動作時の前記吸着ノズルの下降位置を移動させるノズル下降位置移動手段と
   を備え、
   当該部品実装機にセットされた前記ウエハ部品供給装置に対応する前記突き上げピンの突き上げ量と前記吸着ノズルの下降位置が、複数の部品実装機間で共通の突き上げ量とノズルストロークの設定値としてプログラム管理されることを特徴とする部品実装機。
2. 前記ポット高さ位置計測手段は、生産開始前に前記ウエハパレットを前記突き上げポットの上方のウエハパレットセット位置にセットしない状態で、前記突き上げポットを前記シート吸着位置まで上昇させて該突き上げポットの上面の高さ位置を計測することを特徴とする請求項１に記載の部品実装機。
3. 前記ポット高さ位置計測手段は、生産開始後に前記ウエハパレットを前記突き上げポットの上方のウエハパレットセット位置にセットした状態で、前記突き上げポットを前記シート吸着位置まで上昇させて該ダイシングシートを該突き上げポットの上面に吸着した状態で前記ダイシングシート上のウエハ部品の上面の高さ位置を該部品実装機の基準高さ位置を基準にして計測することで、該突き上げポットの上面の高さ位置を間接的に計測することを特徴とする請求項１に記載の部品実装機。
4. 前記ポット高さ位置計測手段は、前記突き上げポットの上面の高さ位置を複数箇所で計測し、それらの計測値を平均して該突き上げポットの上面の高さ位置を求めることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の部品実装機。
5. 前記ポット高さ位置計測手段は、前記吸着ノズルを保持する装着ヘッドに取り付けられていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の部品実装機。
6. ウエハ部品が貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットと、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げポットとを備えたウエハ部品供給装置が付け替え可能にセットされ、
   吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のウエハ部品を吸着する際に、前記ウエハ部品供給装置の前記突き上げポットを前記ダイシングシートの下面に当接する所定のシート吸着位置まで上昇させて該ダイシングシートを該突き上げポットの上面に吸着した状態で、該突き上げポット内の突き上げピンを該突き上げポットの上面から上方に突出させることで、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするウエハ部品の貼着部分を該突き上げピンで突き上げて該ウエハ部品の貼着部分を該ダイシングシートから部分的に剥離させながら、該吸着ノズルで該ウエハ部品を吸着して該ダイシングシートからピックアップして回路基板に実装する部品実装機において、
   前記突き上げポットを前記シート吸着位置まで上昇させた状態で該突き上げポット内の前記突き上げピンを該突き上げポットの上面から突出させたときの該突き上げピンの上端の高さ位置を該部品実装機の基準高さ位置を基準にして計測するピン高さ位置計測手段と、
   前記ピン高さ位置計測手段で計測した前記突き上げピンの上端の高さ位置に応じてウエハ部品吸着動作時の前記吸着ノズルの下降位置を移動させるノズル下降位置移動手段と
   を備え、
   当該部品実装機にセットされた前記ウエハ部品供給装置に対応する前記突き上げピンの突き上げ量と前記吸着ノズルの下降位置が、複数の部品実装機間で共通の突き上げ量とノズルストロークの設定値としてプログラム管理されることを特徴とする部品実装機。
7. ウエハ部品が貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットと、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げポットとを備えたウエハ部品供給装置が付け替え可能にセットされ、
   吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のウエハ部品を吸着する際に、前記ウエハ部品供給装置の前記突き上げポットを前記ダイシングシートの下面に当接する所定のシート吸着位置まで上昇させて該ダイシングシートを該突き上げポットの上面に吸着した状態で、該突き上げポット内の突き上げピンを該突き上げポットの上面から上方に突出させることで、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするウエハ部品の貼着部分を該突き上げピンで突き上げて該ウエハ部品の貼着部分を該ダイシングシートから部分的に剥離させながら、該吸着ノズルで該ウエハ部品を吸着して該ダイシングシートからピックアップして回路基板に実装する部品実装機において、
   前記突き上げポットを前記シート吸着位置まで上昇させた状態で、該突き上げポットの上面の高さ位置を該部品実装機の基準高さ位置を基準にして計測した値、又は前記突き上げポット内の前記突き上げピンを該突き上げポットの上面から突出させたときの該突き上げピンの上端の高さ位置を該部品実装機の基準高さ位置を基準にして計測した値を入力する高さ位置入力手段と、
   前記高さ位置入力手段で入力した前記突き上げポットの上面の高さ位置又は前記突き上げピンの上端の高さ位置に応じてウエハ部品吸着動作時の前記吸着ノズルの下降位置を移動させるノズル下降位置移動手段と
   を備え、
   当該部品実装機にセットされた前記ウエハ部品供給装置に対応する前記突き上げピンの突き上げ量と前記吸着ノズルの下降位置が、複数の部品実装機間で共通の突き上げ量とノズルストロークの設定値としてプログラム管理されることを特徴とする部品実装機。

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