JP5686469B2 - ダイ供給装置 - Google Patents

Description

本発明は、前記ダイシングシート上のダイのサイズに合った突き上げポットを選択する機能を備えたダイ供給装置に関する発明である。

従来のダイ供給装置は、特許文献１（特開２０１０−１２９９４９号公報）に記載されているように、碁盤目状にダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシート上のウエハから分割したダイを吸着ノズルで吸着してピックアップする際に、ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分をその真下から突き上げポットで突き上げて該ダイの貼着部分をダイシングシートから部分的に剥離させながら、吸着ノズルで該ダイを吸着してダイシングシートからピックアップするようにしている。

更に、特許文献１では、ダイシングシート上のダイのサイズ等に応じて突き上げポットを選択できるようにするために、複数（例えば４個）の突き上げポットを所定角度ピッチで放射状に設け、突き上げ動作させる突き上げポットが上向きとなる位置まで回転させるようにしている。

特開２０１０−１２９９４９号公報

しかし、上記特許文献１の構成では、突き上げ動作時に突き上げ装置を構成する複数の突き上げポットとこれらを回転させる回転駆動機構とを一体的に上下動させるため、突き上げ装置の可動部分の重量が増大して、その分、突き上げ動作の動作速度が遅くなってしまう。しかも、突き上げ装置の可動部分が大型化して、突き上げ動作に必要なスペースが大きくなり、その分、突き上げ装置全体が大型化するという欠点もある。

そこで、本願が解決しようとする課題は、突き上げポットを選択する機能を持たせながら、突き上げ動作速度の高速化や省スペース化に対応しやすいダイ供給装置を提供することである。

上記課題を解決するために、請求項１に係る発明は、碁盤目状にダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットと、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げポットを上下動させる突き上げ機構と、前記ダイシングシート上のウエハから分割されたダイを吸着する吸着ノズルとを備え、前記吸着ノズルで前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、前記ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分をその真下から前記突き上げポットで突き上げて該ダイの貼着部分をダイシングシートから部分的に剥離させながら、前記吸着ノズルで該ダイを吸着して前記ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置において、少なくとも１つの取替用の突き上げポットを保管する突き上げポット保管ステーションを備え、前記突き上げ機構のポット保持部は、保持する前記突き上げポットを前記突き上げポット保管ステーションに保管された前記取替用の突き上げポットと自動交換可能であり、前記突き上げポットの内部には、突き上げ動作時に前記突き上げポットの上端面に前記ダイシングシートを吸い付けるバキューム圧を供給するバキューム配管が設けられ、前記突き上げ機構には、前記ポット保持部に保持した前記突き上げポット内部のバキューム配管の接続口を該突き上げ機構側のバキューム配管の継手に接続した状態でロックするロック部材が設けられ、突き上げポット自動取替時に該ロック部材をロック解除位置へ移動させて該ポット保持部から前記突き上げポットを取り外し可能な状態にすることを特徴とするものである。

この構成では、突き上げポット自動取替時に、ポット保持部から突き上げポットを取り外して突き上げポット保管ステーションに載せ替え（或は他の部位に置き）、該突き上げポット保管ステーションに保管された取替用の突き上げポットをポット保持部に保持させれば良い。この際、突き上げポット保管ステーションに複数の取替用の突き上げポットが保管されている場合は、複数の取替用の突き上げポットの中から次に使用する突き上げポットを選択して該ポット保持部に保持させれば良い。

本発明では、取替用の突き上げポットを突き上げポット保管ステーションに保管できるため、突き上げ装置の可動部分の重量を軽量化して動作速度の高速化に対応しやすいと共に、突き上げ装置の可動部分を小型化して、省スペース化にも対応しやすい。

この場合、請求項１のように、突き上げポットの内部には、突き上げ動作時に突き上げポットの上端面にダイシングシートを吸い付けるバキューム圧を供給するバキューム配管が設けられていることを考慮して、突き上げ機構には、ポット保持部に保持した突き上げポット内部のバキューム配管の接続口を該突き上げ機構側のバキューム配管の継手に接続した状態でロックするロック部材を設け、突き上げポット自動取替時に前記ロック部材をロック解除位置へ移動させて該ポット保持部から前記突き上げポットを取り外し可能な状態にするようにすれば、突き上げ動作を高速化しても、突き上げポット内部のバキューム配管の接続口と突き上げ機構側のバキューム配管の継手との接続状態をロック部材によって確実に保持でき、バキューム配管の接続口部分からバキューム漏れが発生することを防止できる。

また、請求項２のように、突き上げポットは、上下方向に変位可能な係合部材と、該係合部材を上方又は下方に付勢するスプリングとを有し、突き上げ機構のポット保持部は、突き上げポットの保持位置を位置決めする位置決め部材と、該位置決め部材で前記突き上げポットの保持位置を位置決めし且つ前記スプリングを圧縮した位置で前記係合部材を係合保持する被係合部材とを有する構成としても良い。このように構成すれば、突き上げポット自動取替時に突き上げポットの係合部材をスプリングの圧縮方向に移動させることで該突き上げポットを簡単に脱着できる。

以上説明した請求項１、２に係る発明は、突き上げ機構に複数のポット保持部を設けて複数の突き上げポットを保持させるように構成しても良いが、突き上げ機構のポット保持部の数やこれらに保持する突き上げポットの数が増加するほど、突き上げ装置の可動部分の重量が重くなって、動作速度の高速化や省スペース化にとってマイナス要因となる。但し、この場合でも、本発明では、突き上げポット保管ステーションに取替用の突き上げポットを保管できるため、突き上げ機構のポット保持部の数やこれらに保持させる突き上げポットの数を選択可能な突き上げポットの総数よりも少なくすることが可能となり、前述した特許文献１の構成よりも突き上げ装置の可動部分の重量を軽量化することができて、動作速度の高速化や省スペース化に対応しやすい。

更に、請求項３のように、突き上げ機構には、ポット保持部を１個のみ設けるようにすると良い。このようにすれば、突き上げ装置の可動部分の小型・軽量化を最大限に実現でき、動作速度の高速化や省スペース化に大きく貢献できる。

また、請求項４のように、ダイ供給装置の吸着ノズルを上下反転可能に構成し、ダイを吸着した吸着ノズルを上下反転させて部品実装機の装着ノズルで該吸着ノズル上のダイをピックアップできるように構成しても良い。このようにすれば、上下方向（Ｚ方向）の省スペース化の効果を更に大きくすることができる。

図１は本発明の一実施例におけるダイ供給装置の外観斜視図である。 図２はダイ供給装置をセットした部品実装機の外観斜視図である。 図３はウエハパレットのダイシングシート上のダイをサブロボットの吸着ノズルでピックアップする状態を作業者側から確認する方法を説明する図である。 図４は突き上げ機構と突き上げポット保管ステーションを示す外観斜視図である。 図５は図４とは反対の方向から見た突き上げ機構と突き上げポット保管ステーションを示す外観斜視図である。 図６は図５の主要部分を拡大して示す外観斜視図である。 図７は突き上げポットを保持した突き上げ機構を拡大して示す外観斜視図である。 図８は突き上げポットを取り外した突き上げ機構を拡大して示す外観斜視図である。 図９は突き上げポットを拡大して示す外観斜視図である。 図１０は突き上げポットを保管した突き上げポット保管ステーションを示す外観斜視図である。 図１１は突き上げポットを全て取り外した突き上げポット保管ステーションを示す外観斜視図である。

以下、本発明を実施するための形態を具体化した一実施例を図面を用いて説明する。
図１に示すように、本実施例のダイ供給装置１１は、マガジン保持部１２（トレイタワー）、パレット引き出しテーブル１３、パレット引き出し機構１４、サブロボット１５、シャトル機構１６、反転機構１７、突き上げ機構１８（図４〜図８参照）、ＮＧコンベア１９、ノズルチェンジャー２０等を備えた構成となっている。このダイ供給装置１１は、図２に示すように、部品実装機２５のフィーダセット用スロットにパレット引き出しテーブル１３を差し込んだ状態にセットされる。

ダイ供給装置１１のマガジン保持部１２内に上下動可能に収納されたマガジンには、ダイ２１を載せたウエハパレット２２と、トレイ部品を載せたトレイパレット（図示せず）とを多段に混載できるようになっている。ウエハパレット２２は、碁盤目状にダイシングされたウエハ（多数のダイ２１）を貼着した伸縮可能なダイシングシート（図示せず）を、円形の開口部を有するウエハ装着板２３にエキスパンドした状態で装着し、該ウエハ装着板２３をパレット本体２８にねじ止め等により取り付けた構成となっている。尚、ダイシングシートのエキスパンドは、どのような方法で行っても良く、例えば、ダイシングシートを下方から円形リングで押し上げた状態でウエハ装着板２３に装着すれば良い。

パレット引き出し機構１４は、ウエハパレット２２、トレイパレットのいずれかのパレットをマガジン保持部１２内のマガジンからパレット引き出しテーブル１３上に引き出すものであり、パレット上の部品やダイを部品実装機２５（図２参照）の装着ノズル（図示せず）でピックアップする位置（以下「部品実装機用引き出し位置」という）と、マガジンに近い引き出し位置（以下「サブロボット用引き出し位置」という）とのいずれの位置にもパレットを引き出し可能に構成されている。部品実装機用引き出し位置は、パレット引き出しテーブル１３の前端の位置（マガジンから最も離れた位置）であり、サブロボット用引き出し位置は、サブロボット１５の吸着ノズル１５ａ（図３参照）でウエハパレット２２のダイシングシート上のダイ２１を吸着可能な位置である。

サブロボット１５は、マガジン保持部１２の背面部（サブロボット用引き出し位置側の面）のうちのパレット引き出しテーブル１３の上方に位置して設けられ、ＸＺ方向（パレット引き出しテーブル１３の幅方向及び垂直方向）に移動するように構成されている。尚、サブロボット１５の移動方向をＸ方向のみとし、ウエハパレット２２に対するサブロボット１５のＹ方向（パレット引き出し方向）の相対的位置は、パレット引き出し機構１４によってウエハパレット２２をＹ方向に徐々に引き出すことで制御するようにしている。このサブロボット１５には、１本又は複数本の吸着ノズル１５ａ（図３参照）が下向きに設けられ、ピックアップするダイ２１のサイズ等に応じてノズルチェンジャー２０で吸着ノズル１５ａを交換できるようになっている。

更に、本実施例では、吸着ノズル１５ａは上下反転可能に構成され、ダイ２１を吸着した吸着ノズル１５ａを上下反転させて部品実装機２５の装着ノズルで該吸着ノズル１５ａ上のダイ２１をピックアップできるように構成されている。

また、サブロボット１５には、カメラ２４が設けられ、このカメラ２４の撮像画像に基づいて、ピックアップ対象となるダイ２１の位置又はダイ２１の吸着姿勢を確認できるようになっている。

シャトル機構１６は、サブロボット１５の吸着ノズル１５ａでピックアップされた部品をシャトルノズル２６で受け取って部品実装機２５の吸着ノズルでピックアップ可能な位置まで移送する。

反転機構１７は、サブロボット１５から受け取るダイ２１を必要に応じて上下反転させるものである。ダイ２１の種類によっては、ウエハパレット２２のダイシングシートに上下反対に貼着されたダイ（例えばフリップチップ等）が存在するためである。前述したように、本実施例では、吸着ノズル１５ａを上下反転可能に構成しているため、吸着ノズル１５ａで吸着したダイ２１を上下反転させる場合は、反転機構１７を使用しても良いし、ダイ２１を吸着した吸着ノズル１５ａを上下反転させて部品実装機２５の装着ノズルで該吸着ノズル１５ａ上のダイ２１をピックアップするようにしても良い。

尚、ＮＧコンベア１９は、不良部品や吸着不良のダイ２１を排出するコンベアである。 図２及び図３に示すように、マガジン保持部１２には、ウエハパレット２２のダイシングシート上のダイ２１をサブロボット１５の吸着ノズル１５ａでピックアップする状態を作業者側から確認するための窓部３１が設けられ、ウエハパレット２２上のダイ２１をサブロボット１５の吸着ノズル１５ａでピックアップする状態を作業者が確認する際に、マガジン保持部１２内のパレットを窓部３１よりも下方へ退避させる確認モードの運転を選択できるように構成されている。更に、確認モードでは、サブロボット１５の吸着ノズル１５ａがウエハパレット２２上のダイ２１をピックアップした状態で、サブロボット１５を停止できるようになっている。

以上のように構成したダイ供給装置１１の制御装置３２は、キーボード、マウス等の入力装置３３と、液晶ディスプレイ等の表示装置３４等の周辺装置を備えたコンピュータにより構成され、部品実装機２５に供給する部品の種類に応じてパレットの引き出し位置と部品のピックアップ方法を選択すると共に、その選択結果に応じてパレット引き出し機構１４、サブロボット１５及びシャトル機構１６、反転機構１７、突き上げ機構１８等の動作を次のように制御する。

（１）小さいダイ２１の場合
小さいダイ２１の場合は、サブロボット１５→シャトルノズル２６→部品実装機２５の装着ノズルへのダイ２１のつかみ替えが困難であるので、マガジン保持部１２からウエハパレット２２を部品実装機用引き出し位置に引き出して、当該ウエハパレット２２のダイシングシート上のダイ２１を部品実装機２５の装着ノズルで直接ピックアップする。

（２）上記以外のサイズのダイ２１の場合
ダイ２１のつかみ替えが可能なサイズのダイ２１の場合は、実装時間を短縮することを目的として、マガジン保持部１２内のマガジンからウエハパレット２２をサブロボット用引き出し位置に引き出して、サブロボット１５の吸着ノズル１５ａで当該ウエハパレット２２のダイシングシート上の複数のダイ２１をピックアップし、当該複数のダイ２１をシャトル機構１６のシャトルノズル２６で受け取って所定のピックアップ位置まで移送し、このピックアップ位置で、シャトル機構１６のシャトルノズル２６からダイ２１を部品実装機２５の装着ノズルでピックアップする。

（３）サブロボット１５の吸着ノズル１５ａに吸着したダイ２１を部品実装機２５の装着ノズルに直接受け取らせる場合は、ダイ２１を吸着した吸着ノズル１５ａを上下反転させて該吸着ノズル１５ａ上のダイ２１を部品実装機２５の装着ノズルでピックアップする。

（４）トレイ部品の場合
トレイ部品の場合は、マガジン保持部１２内のマガジンからトレイパレットを部品実装機用引き出し位置に引き出して、当該トレイパレット上のトレイ部品を部品実装機２５の吸着ノズルで直接ピックアップする。

次に、図４〜図１１を用いて、突き上げポット２７を保持する突き上げ機構１８と、取替用の突き上げポット２７を保管する突き上げポット保管ステーション４１の構成を説明する。

突き上げ機構１８は、パレット引き出しテーブル１３の下面側に設けられて、ウエハパレット２２のダイシングシート下方の空間領域をＸＹ方向（パレット引き出しテーブル１３の幅方向及びその直角方向）に移動可能に構成されている。そして、部品実装機用引き出し位置とサブロボット用引き出し位置のいずれの位置にウエハパレット２２を引き出した場合でも、ダイシングシートのうちのピックアップしようとするダイ２１の貼着部分をその下方から突き上げポット２７で局所的に突き上げることで、当該ダイ２１の貼着部分をダイシングシートから部分的に剥離させてダイ２１をピックアップしやすい状態に浮き上がらせるようにしている。

突き上げ機構１８は、ダイシングシート上のダイ２１のサイズ等に応じて突き上げポット２７を選択できるようにするために、突き上げポット２７を保持するポット保持部４２は、該突き上げポット２７を自動取替可能に保持するように構成され、該ポット保持部４２に保持した突き上げポット２７を、突き上げポット保管ステーション４１に保管されている取替用の突き上げポット２７と自動取替可能となっている。突き上げポット保管ステーション４１は、パレット引き出しテーブル１３の下面側に設けられている。

本実施例では、突き上げ機構１８には、ポット保持部４２が１個のみ設けられ、突き上げポット２７が１個のみ保持されるようになっている。一方、突き上げポット保管ステーション４１には、複数の突き上げポット２７を保管できるように複数のポット保管場所が設けられている。複数のポット保管場所のうちの１つは、突き上げポット自動取替時にポット保持部４２から取り外した突き上げポット２７を保管できるように空けられている。本実施例では、図４〜図６、図１０、図１１に示すように、ポット保管場所を４つ設け、そのうちの３つのポット保管場所に３種類の突き上げポット２７を保管するようにしている。

突き上げ機構１８のポット保持部４２は、駆動装置４４（図５参照）によって上下方向（Ｚ方向）に移動するように構成されている。ダイピックアップ動作時には、突き上げ機構１８のポット保持部４２が上昇して突き上げポット２７の上端がウエハパレット２２のダイシングシートに接触すると、ストッパ機構（図示せず）が作動して突き上げ機構１８の上昇が止まり、更に上昇動作を続けると、突き上げポット２７から突き上げピン（図示せず）が上方に突出して、ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイ２１の貼着部分（吸着ノズル１５ａの吸着点）を突き上げるようになっている。この場合、駆動装置４４の駆動量を調整することで、突き上げピンの突き上げ高さを調整できるようになっている。

突き上げポット保管ステーション４１に保管した複数の突き上げポット２７と、突き上げ機構１８のポット保持部４２に保持した突き上げポット２７は、それぞれ突き上げピンの径が異なっており、突き上げ機構１８のポット保持部４２に保持した突き上げポット２７を自動取り替えする際に、突き上げポット保管ステーション４１に保管されている複数種類の突き上げポット２７の中から、ダイ２１のサイズ等に応じた径の突き上げピンを持つ突き上げポット２７を選択して自動取り替えする。

突き上げポット２７の内部には、突き上げ動作時に突き上げポット２７の上端面にダイシングシートを吸い付けるバキューム圧を供給するバキューム配管（図示せず）が設けられ、該バキューム配管の接続口４５（図９参照）が下向きに設けられている。図９に示すように、突き上げポット２７の下部両側には、一対のＬ字型の引掛片４６，４７が外向きに設けられ、該突き上げポット２７の下部中央には、係合部材４８が上下方向（Ｚ方向）に所定量だけ移動可能に設けられ、該係合部材４８の両側には、２本のロックピン４９が外向きに設けられている。係合部材４８の上側には、該係合部材４８を下方に付勢するスプリング５５が装着され、該スプリング５５によって係合部材４８がロックピン４９と一体的に下方に付勢されている。

一方、図７及び図８に示すように、突き上げ機構１８のポット保持部４２には、突き上げポット２７の引掛片４６，４７と係合する位置決め部材５１，５２を有する位置決めブロック５０が設けられ、該突き上げポット２７の引掛片４６，４７を位置決め部材５１，５２の下側に係合させることで、該突き上げポット２７の保持位置を位置決めするようになっている。図８に示すように、位置決め部材５１，５２の根元部下側に段差部５１ａ，５２ｂが形成され、突き上げポット２７の引掛片４６，４７を段差部５１ａ，５２ｂに当接させて位置決め部材５１，５２に係合させることで、該突き上げポット２７の保持位置をＸＹＺ方向に位置決めするようになっている。

ポット保持部４２には、突き上げポット２７の係合部材４８を下側から嵌合する嵌合凹部５３が形成された被係合ブロック５４（被係合部材）が設けられ、位置決め部材５１，５２で突き上げポット２７の保持位置を位置決めし且つスプリング５５のばね力に抗して係合部材４８を押し上げてスプリング５５を圧縮した位置で、突き上げポット２７の係合部材４８が被係合ブロック５４の嵌合凹部５３に嵌合保持されると共に、該係合部材４８の２本のロックピン４９が被係合ブロック５４の嵌合凹部５３の側壁部上端に当接又は近接して外側方に突出するようになっている。

被係合ブロック５４の嵌合凹部５３の底面中央部には、突き上げポット２７のバキューム配管の接続口４５（図９参照）を突き上げ機構１８側のバキューム配管の継手５６が設けられ、突き上げポット２７の係合部材４８を被係合ブロック５４の嵌合凹部５３に嵌合することで、突き上げポット２７のバキューム配管の接続口４５が被係合ブロック５４の嵌合凹部５３底面の継手５６に接続されるようになっている。

被係合ブロック５４には、該被係合ブロック５４の嵌合凹部５３に嵌合した係合部材４８のロックピン４９と係合するロック部材５７が設けられ、このロック部材５７でロックピン４９を上側から押えることで、突き上げポット２７のバキューム配管の接続口４５が被係合ブロック５４側の継手５６に接続した状態でロックされるようになっている。

ロック部材５７は、回動軸５８を支点にしてロック位置とロック解除位置との間を回動可能に支持され、且つ、ばね（図示せず）によってロック位置の方向に付勢されている。ロック部材５７がロック解除位置に回動されると、該ロック部材５７のフック部５７ａがロックピン４９から外れて該ロックピン４９のロックが解除される。ロックピン４９は、係合部材４８に対して１〜数ｍｍだけ上下動可能に設けられると共に、ばね（図示せず）によって上方に付勢され、ロック部材５７がロック解除位置に回動されると、ロックピン４９がばね力によって押し上げられてロック部材５７のフック部５７ａの先端がロックピン４９の側面に当接してロック解除状態に保持されるようになっている。

ロック部材５７の下端部には、ロック解除操作用の突片部５９が下方に突出するように形成されている。ロック部材５７をロック解除位置に回動させる場合は、突き上げ機構１８をロック解除操作用の位置まで移動させてロック解除操作用の突片部５９を引掛具６１（図４及び図５参照）に引っ掛けて該突き上げ機構１８をロック解除方向（Ｙ方向）に移動させることで、ロック部材５７をロック解除位置に回動させる。

突き上げ機構１８を駆動する駆動装置４４は、突き上げ動作時に突き上げポット２７を保持したポット保持部４２全体をＺ方向（上下方向）に移動させる第１のＺ軸モータと、突き上げポット２７の自動取替時に被係合ブロック５４のみをＺ方向に移動させることで被係合ブロック５４と位置決めブロック５０との間隔を変化させる第２のＺ軸モータと、ポット保持部４２をＸ方向に移動させるＸ軸モータと、ポット保持部４２をＹ方向に移動させるＹ軸モータとを備えている。

一方、図６、図１０、図１１に示すように、突き上げポット保管ステーション４１の複数のポット保管場所には、それぞれ突き上げポット２７の胴部を嵌合する凹状部６５が形成され、その下側には、係合部材４８のロックピン４９を嵌合するピン嵌合部６６が形成されている。突き上げポット保管ステーション４１に突き上げポット２７を保管する場合は、突き上げポット２７の胴部を凹状部６５に嵌合して該突き上げポット２７のフランジ６７の上面を凹状部６５の下面に係合させると共に、係合部材４８のロックピン４９をピン嵌合部６６に嵌合させることで、該突き上げポット２７が凹状部６５にスプリング５５のばね力によって保持されるようになっている。

次に、突き上げ機構１８のポット保持部４２に保持した突き上げポット２７を、突き上げポット保管ステーション４１に保管された突き上げポット２７と取り替える手順を説明する。

突き上げポット２７の取替動作は、ダイ供給装置１１の制御装置３２（制御手段）によって突き上げ機構１８の駆動装置４４を制御して次のようにして実行する。まず、突き上げ機構１８をロック解除操作用の位置まで移動させてロック解除操作用の突片部５９を引掛具６１（図４及び図５参照）に引っ掛けて該突き上げ機構１８をロック解除方向（Ｙ方向）に移動させることで、ロック部材５７をロック解除位置に回動させる。これにより、ロック部材５７のフック部５７ａがロックピン４９から外れて該ロックピン４９のロックが解除され、それによってロックピン４９がばね力によって１〜数ｍｍだけ押し上げられてロック部材５７のフック部５７ａの先端がロックピン４９の側面に当接してロック解除状態に保持される。

この後、ポット保持部４２の被係合ブロック５４を上昇させて該被係合ブロック５４と位置決めブロック５０との間隔を狭めてスプリング５５を圧縮する。この状態で、ポット保持部４２に保持した突き上げポット２７を、突き上げポット保管ステーション４１の空いている凹状部６５（空のポット保管場所）へ移動させて、該突き上げポット２７の胴部を凹状部６５に嵌合して該突き上げポット２７のフランジ６７の上面を凹状部６５の下面に係合させる。この状態で、ポット保持部４２の被係合ブロック５４を下降させて係合部材４８のロックピン４９を下降させてピン嵌合部６６に嵌合させる。これにより、突き上げポット２７が突き上げポット保管ステーション４１に保管された状態となり、この状態が突き上げポット２７のスプリング５５のばね力によって保持される。

この後、突き上げポット保管ステーション４１に保管されている複数種類の突き上げポット２７の中から、次に使用する突き上げポット２７を選択し、当該突き上げポット２７の保管位置までポット保持部４２を移動させて、位置決めブロック５０の位置決め部材５１，５２を突き上げポット２７の引掛片４６，４７の上側に係合させると共に、被係合ブロック５４の嵌合凹部５３を該突き上げポット２７の係合部材４８に嵌合して、該被係合ブロック５４の嵌合凹部５３底面の継手５６を該突き上げポット２７のバキューム配管の接続口４５に接続する。

この状態で、ポット保持部４２の被係合ブロック５４をスプリング５５のばね力に抗して上昇させて該被係合ブロック５４の嵌合凹部５３の側壁部上端で突き上げポット２７のロックピン４９を押し上げて、該ロックピン４９をピン嵌合部６６から抜き出す。この際、ポット保持部４２の被係合ブロック５４を上昇させる過程で、ロック部材５７がロック位置にあるため、ロック部材５７のフック部５７ａの上縁部がロックピン４９に突き当たるが、ロック部材５７のフック部５７ａの上縁部が傾斜面に形成されているため、ロック部材５７のフック部５７ａの上昇に応じて該ロック部材５７がロック解除方向に逃げるように回動することで、ロックピン４９が被係合ブロック５４の嵌合凹部５３の側壁部上端に滑り落ちてロック部材５７がばね力によりロック位置に戻って該ロック部材５７のフック部５７ａでロックピン４９がロックされた状態になり、以後、係合ブロック５４の嵌合凹部５３の側壁部上端でロックピン４９が押し上げられる。

これにより、ロックピン４９をピン嵌合部６６から抜き出した状態にした後、ポット保持部４２を図４、図５のＹ方向に移動させることで、該ポット保持部４２に保持した突き上げポット２７を突き上げポット保管ステーション４１から取り外すと共に、ポット保持部４２の被係合ブロック５４を元の位置まで下降させる。これにより、突き上げポット２７の自動取替が完了する。

以上説明した本実施例では、取替用の突き上げポット２７を突き上げポット保管ステーション４１に保管できるため、突き上げ機構１８の可動部分の重量を軽量化して動作速度の高速化に対応しやすいと共に、突き上げ機構１８の可動部分を小型化して、省スペース化にも対応しやすい。

しかも、本実施例では、突き上げ機構１８には、ポット保持部４２に保持した突き上げポット２７内部のバキューム配管の接続口４５を該突き上げ機構１８側のバキューム配管の継手５６に接続した状態でロックするロック部材５７を設け、突き上げポット２７の自動取替時にロック部材５７をロック解除位置へ回動させて該ポット保持部４２から突き上げポット２７を取り外し可能な状態にするようにしたので、突き上げ動作を高速化しても、突き上げポット２７内部のバキューム配管の接続口と突き上げ機構１８側のバキューム配管の継手５６との接続状態をロック部材５７によって確実に保持でき、バキューム配管の接続口４５部分からバキューム漏れが発生することを防止できる。

ところで、本発明は、突き上げ機構に複数のポット保持部を設けて複数の突き上げポットを保持させるように構成しても良いが、突き上げ機構のポット保持部の数やこれらに保持する突き上げポットの数が増加するほど、突き上げ機構の可動部分の重量が重くなって、動作速度の高速化や省スペース化にとってマイナス要因となる。但し、この場合でも、本発明では、突き上げポット保管ステーションに取替用の突き上げポットを保管できるため、突き上げ機構のポット保持部の数やこれらに保持させる突き上げポットの数をダイ供給装置内で選択可能な突き上げポットの総数よりも少なくすることが可能となり、前述した特許文献１の構成よりも突き上げ装置の可動部分の重量を軽量化することができて、動作速度の高速化や省スペース化に対応しやすい。

特に、本実施例のように、突き上げ機構１８にポット保持部４２を１個のみ設けるようにすれば、突き上げ機構１８の可動部分の小型・軽量化を最大限に実現でき、動作速度の高速化や省スペース化に大きく貢献できる。

また、本実施例では、ダイ供給装置１１の吸着ノズル１５ａを上下反転可能に構成し、ダイを吸着した吸着ノズル１５ａを上下反転させて部品実装機の装着ノズルで該吸着ノズル１５ａ上のダイをピックアップできるように構成したので、上下方向（Ｚ方向）の省スペース化の効果を更に大きくできる利点がある。

尚、本発明は、本実施例に限定されず、突き上げポット２７をポット保持部４２や突き上げポット保管ステーション４１に保持させる構成を適宜変更しても良い等、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できる。

１１…ダイ供給装置、１２…マガジン保持部、１３…パレット引き出しテーブル、１４…パレット引き出し機構、１５…サブロボット、１５ａ…吸着ノズル、１６…シャトル機構、１７…反転機構、１８…突き上げ機構、１９…ＮＧコンベア、２０…ノズルチェンジャー、２１…ダイ、２２…ウエハパレット、２３…ウエハ装着板、２４…カメラ、２５…部品実装機、２６…シャトルノズル、２７…突き上げポット、２８…パレット本体、２９…グリップリング、３２…制御装置（制御手段）、３３…入力装置、３４…表示装置、４１…突き上げポット保管ステーション、４２…ポット保持部、４４…駆動装置、４５…接続口、４６，４７…Ｌ字型の引掛片、４８…係合部材、４９…ロックピン、５０…位置決めブロック、５１，５２…位置決め部材、５３…嵌合凹部、５４…被係合ブロック（被係合部材）、５５…スプリング、５６…継手、５７…ロック部材、５８…回動軸、５９…ロック解除操作用の突片部、６１…引掛具、６５…凹状部、６６…ピン嵌合部、６７…フランジ

Claims (4)

1. 碁盤目状にダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットと、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げポットを上下動させる突き上げ機構と、前記ダイシングシート上のウエハから分割されたダイを吸着する吸着ノズルとを備え、前記吸着ノズルで前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、前記ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分をその真下から前記突き上げポットで突き上げて該ダイの貼着部分をダイシングシートから部分的に剥離させながら、前記吸着ノズルで該ダイを吸着して前記ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置において、
   少なくとも１つの取替用の突き上げポットを保管する突き上げポット保管ステーションを備え、
   前記突き上げ機構のポット保持部は、保持する前記突き上げポットを前記突き上げポット保管ステーションに保管された前記取替用の突き上げポットと自動交換可能であり、
   前記突き上げポットの内部には、突き上げ動作時に前記突き上げポットの上端面に前記ダイシングシートを吸い付けるバキューム圧を供給するバキューム配管が設けられ、
   前記突き上げ機構には、前記ポット保持部に保持した前記突き上げポット内部のバキューム配管の接続口を該突き上げ機構側のバキューム配管の継手に接続した状態でロックするロック部材が設けられ、突き上げポット自動取替時に該ロック部材をロック解除位置へ移動させて該ポット保持部から前記突き上げポットを取り外し可能な状態にすることを特徴とするダイ供給装置。
2. 碁盤目状にダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットと、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げポットを上下動させる突き上げ機構と、前記ダイシングシート上のウエハから分割されたダイを吸着する吸着ノズルとを備え、前記吸着ノズルで前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、前記ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分をその真下から前記突き上げポットで突き上げて該ダイの貼着部分をダイシングシートから部分的に剥離させながら、前記吸着ノズルで該ダイを吸着して前記ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置において、
   少なくとも１つの取替用の突き上げポットを保管する突き上げポット保管ステーションを備え、
   前記突き上げ機構のポット保持部は、保持する前記突き上げポットを前記突き上げポット保管ステーションに保管された前記取替用の突き上げポットと自動交換可能であり、
   前記突き上げポットは、上下方向に変位可能な係合部材と、該係合部材を上方又は下方に付勢するスプリングとを有し、
   前記突き上げ機構のポット保持部は、前記突き上げポットの保持位置を位置決めする位置決め部材と、該位置決め部材で前記突き上げポットの保持位置を位置決めし且つ前記スプリングを圧縮した位置で前記係合部材を係合保持する被係合部材とを有することを特徴とするダイ供給装置。
3. 前記突き上げ機構には、前記ポット保持部が１個のみ設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載のダイ供給装置。
4. 前記吸着ノズルは、ダイを吸着した状態で上下反転可能に構成され、
   ダイを吸着した前記吸着ノズルを上下反転させて部品実装機のノズルで該吸着ノズル上のダイをピックアップできるように構成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のダイ供給装置。

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