JPH09162205A - ピックアップ装置 - Google Patents
ピックアップ装置Info
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- JPH09162205A JPH09162205A JP33797295A JP33797295A JPH09162205A JP H09162205 A JPH09162205 A JP H09162205A JP 33797295 A JP33797295 A JP 33797295A JP 33797295 A JP33797295 A JP 33797295A JP H09162205 A JPH09162205 A JP H09162205A
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- push
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- H01L2221/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
- H01L2221/67—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L2221/683—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L2221/68304—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H01L2221/68318—Auxiliary support including means facilitating the separation of a device or wafer from the auxiliary support
- H01L2221/68322—Auxiliary support including means facilitating the selective separation of some of a plurality of devices from the auxiliary support
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
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- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
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- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ニードルの磨滅や破損等の異常を精度よく自
動的に検出する。 【解決手段】 ペレットを突き上げて粘着シートから剥
離させるニードル１３を突き上げ台１８にフローティン
グ支持させるとともに、ニードル１３と突き上げ台１８
との間にニードル１３と突き上げ台１８との接触・非接
触を電気的に検出する検出装置２１を介設する。検出装
置２１は電源２７、接続ピン２６、スプリング２０、ニ
ードル１３、可動接点２５、固定接点２４、ランプ２８
の電気回路２２で構成する。 【効果】 電気回路のオン・オフによる単純な作動で異
常を検出できるため、ニードルの磨滅や破損等の異常を
精度よく自動的に検出できる。ニードルを逸早く交換で
きるため、ペレットのピックアップ作業時にニードルに
よってペレットの裏面を傷付けたり、コレットのペレッ
ト吸着ミスの発生を防止できる。省力化を促進でき人為
的ミスを防止できる。
動的に検出する。 【解決手段】 ペレットを突き上げて粘着シートから剥
離させるニードル１３を突き上げ台１８にフローティン
グ支持させるとともに、ニードル１３と突き上げ台１８
との間にニードル１３と突き上げ台１８との接触・非接
触を電気的に検出する検出装置２１を介設する。検出装
置２１は電源２７、接続ピン２６、スプリング２０、ニ
ードル１３、可動接点２５、固定接点２４、ランプ２８
の電気回路２２で構成する。 【効果】 電気回路のオン・オフによる単純な作動で異
常を検出できるため、ニードルの磨滅や破損等の異常を
精度よく自動的に検出できる。ニードルを逸早く交換で
きるため、ペレットのピックアップ作業時にニードルに
よってペレットの裏面を傷付けたり、コレットのペレッ
ト吸着ミスの発生を防止できる。省力化を促進でき人為
的ミスを防止できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ピックアップ装
置、特に、粘着シートに多数個粘着されている小物品を
その粘着シートからピックアップする技術に関し、例え
ば、半導体装置の製造工程において、ダイシングされた
半導体ペレット（以下、単にペレットという。）を粘着
シートからピックアップするのに利用して有効な技術に
関する。
置、特に、粘着シートに多数個粘着されている小物品を
その粘着シートからピックアップする技術に関し、例え
ば、半導体装置の製造工程において、ダイシングされた
半導体ペレット（以下、単にペレットという。）を粘着
シートからピックアップするのに利用して有効な技術に
関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造工程において、ダイシ
ングされたペレットを粘着シートからピックアップする
ピックアップ装置として、粘着シートを保持するテーブ
ルと、このテーブルに対して進退する突き上げ台と、こ
の突き上げ台によって突き上げられるニードルとを備え
ており、突き上げ台によって突き上げられたニードルに
よりテーブルの粘着シートを裏面側から突いて、ペレッ
トを粘着シートから離脱させるように構成されているも
のがある。
ングされたペレットを粘着シートからピックアップする
ピックアップ装置として、粘着シートを保持するテーブ
ルと、このテーブルに対して進退する突き上げ台と、こ
の突き上げ台によって突き上げられるニードルとを備え
ており、突き上げ台によって突き上げられたニードルに
よりテーブルの粘着シートを裏面側から突いて、ペレッ
トを粘着シートから離脱させるように構成されているも
のがある。
【０００３】このようなピックアップ装置において、ニ
ードルが粘着シートを突き破ってペレットを突き上げて
粘着シートから剥離する際に、ニードルの先端部が磨滅
したり破損していたり曲がっていたりすると、次のよう
な弊害が発生する。すなわち、破損したニードルがペレ
ット突き上げ時にペレット裏面を傷付ける。磨滅や破損
によって各ニードルの長さが相違することにより、ペレ
ットが傾いて突き上げられる状態になるため、粘着シー
トで隣合うペレット同士が衝突して傷付け合ってしま
う。また、ペレットが傾いて突き上げられることによ
り、コレットによるペレットの吸着ミスが発生する。コ
レットのペレット吸着ミスが発生すると、ペレットボン
ディング装置が停止したり、治具詰め装置の場合にはペ
レットの収納ミスやずれ等が発生するおそれがある。
ードルが粘着シートを突き破ってペレットを突き上げて
粘着シートから剥離する際に、ニードルの先端部が磨滅
したり破損していたり曲がっていたりすると、次のよう
な弊害が発生する。すなわち、破損したニードルがペレ
ット突き上げ時にペレット裏面を傷付ける。磨滅や破損
によって各ニードルの長さが相違することにより、ペレ
ットが傾いて突き上げられる状態になるため、粘着シー
トで隣合うペレット同士が衝突して傷付け合ってしま
う。また、ペレットが傾いて突き上げられることによ
り、コレットによるペレットの吸着ミスが発生する。コ
レットのペレット吸着ミスが発生すると、ペレットボン
ディング装置が停止したり、治具詰め装置の場合にはペ
レットの収納ミスやずれ等が発生するおそれがある。
【０００４】したがって、従来のこの種のピックアップ
装置においては、作業者が目視によってニードルの磨滅
や破損、曲がり等の異常の有無を常時監視し、ニードル
の磨滅や破損や曲がりが発見された際にニードルを交換
する作業が実施されている。
装置においては、作業者が目視によってニードルの磨滅
や破損、曲がり等の異常の有無を常時監視し、ニードル
の磨滅や破損や曲がりが発見された際にニードルを交換
する作業が実施されている。
【０００５】また、特開平６−１４０４９７号公報に
は、ニードルの形状を検査するニードル形状検査装置、
ニードルによって突かれた粘着シート面の状態を検査す
る粘着シート面検査装置、粘着シートから離脱されたペ
レットの裏面の状態を検査するペレット裏面検査装置を
設備することにより、ニードルの磨滅や破損等の異常を
自動的に検出することができるピックアップ装置が提案
されている。
は、ニードルの形状を検査するニードル形状検査装置、
ニードルによって突かれた粘着シート面の状態を検査す
る粘着シート面検査装置、粘着シートから離脱されたペ
レットの裏面の状態を検査するペレット裏面検査装置を
設備することにより、ニードルの磨滅や破損等の異常を
自動的に検出することができるピックアップ装置が提案
されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記したピッ
クアップ装置において作業者が目視によってニードルの
磨滅や破損や曲がり等の異常を常時監視する場合におい
ては、見逃しミス等の人為的なミスが発生するという問
題点がある。
クアップ装置において作業者が目視によってニードルの
磨滅や破損や曲がり等の異常を常時監視する場合におい
ては、見逃しミス等の人為的なミスが発生するという問
題点がある。
【０００７】また、ニードル形状検査装置や粘着シート
面検査装置、ペレット裏面検査装置が設備されたピック
アップ装置においては、ニードルの破損や曲がり等の異
常が形状の測定によって検査されるため、形状の測定精
度に検査精度が影響されるという問題点があることが、
本発明者によって明らかにされた。
面検査装置、ペレット裏面検査装置が設備されたピック
アップ装置においては、ニードルの破損や曲がり等の異
常が形状の測定によって検査されるため、形状の測定精
度に検査精度が影響されるという問題点があることが、
本発明者によって明らかにされた。
【０００８】本発明の目的は、ニードルの磨滅や破損や
曲がり等の異常を精度よく自動的に検出することができ
るピックアップ装置を提供することにある。
曲がり等の異常を精度よく自動的に検出することができ
るピックアップ装置を提供することにある。
【０００９】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。
【００１１】すなわち、ニードルによって突き上げるこ
とにより小物品を粘着シートから離脱させるピックアッ
プ装置において、ニードルがこれを突き上げるための突
き上げ台にフローティング支持されており、ニードルと
突き上げ台との間にはニードルと突き上げ台との対向面
の位置関係を検出する検出装置が介設されていることを
特徴とする。
とにより小物品を粘着シートから離脱させるピックアッ
プ装置において、ニードルがこれを突き上げるための突
き上げ台にフローティング支持されており、ニードルと
突き上げ台との間にはニードルと突き上げ台との対向面
の位置関係を検出する検出装置が介設されていることを
特徴とする。
【００１２】前記したピックアップ装置において、小物
品を突き上げるまでの間はニードルは突き上げ台から浮
いた状態になっている。突き上げ台の突き上げ作動によ
って先端が小物品の裏面を突き上げると、ニードルはフ
ローティング支持に抗して相対的に突き下げられるた
め、ニードルと突き上げ台との対向面の位置関係は変動
する。この変動は検出装置によって検出される。そし
て、ニードルに破損や曲がり等の異常があると、ニード
ルの長さが短くなるため、ニードルと突き上げ台との対
向面の位置関係の変動量は正常時の場合よりも小さくな
る。したがって、検出装置による検出結果を監視するこ
とにより、ニードルの磨滅や破損や曲がり等の異常は検
出することができる。
品を突き上げるまでの間はニードルは突き上げ台から浮
いた状態になっている。突き上げ台の突き上げ作動によ
って先端が小物品の裏面を突き上げると、ニードルはフ
ローティング支持に抗して相対的に突き下げられるた
め、ニードルと突き上げ台との対向面の位置関係は変動
する。この変動は検出装置によって検出される。そし
て、ニードルに破損や曲がり等の異常があると、ニード
ルの長さが短くなるため、ニードルと突き上げ台との対
向面の位置関係の変動量は正常時の場合よりも小さくな
る。したがって、検出装置による検出結果を監視するこ
とにより、ニードルの磨滅や破損や曲がり等の異常は検
出することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施形態である
ピックアップ装置の主要部の拡大図を示しており、
（ａ）は正常時を示す正面断面図、（ｂ）は異常時を示
す正面断面図である。図２はそのピックアップ装置を示
す正面断面図、図３はそのピックアップ作動を示してお
り（ａ）は正面断面図、（ｂ）は（ａ）のｂ−ｂ線に沿
う底面断面図である。
ピックアップ装置の主要部の拡大図を示しており、
（ａ）は正常時を示す正面断面図、（ｂ）は異常時を示
す正面断面図である。図２はそのピックアップ装置を示
す正面断面図、図３はそのピックアップ作動を示してお
り（ａ）は正面断面図、（ｂ）は（ａ）のｂ−ｂ線に沿
う底面断面図である。
【００１４】本実施形態において、本発明に係るピック
アップ装置１０は、半導体装置の製造工程において、ダ
イシングされたペレットを粘着シートから１個宛、ピッ
クアップするように構成されている。このピックアップ
装置１０におけるワークとしてのペレット付粘着シート
（以下、ワークということがある。）１は、次のように
して構成されている。
アップ装置１０は、半導体装置の製造工程において、ダ
イシングされたペレットを粘着シートから１個宛、ピッ
クアップするように構成されている。このピックアップ
装置１０におけるワークとしてのペレット付粘着シート
（以下、ワークということがある。）１は、次のように
して構成されている。
【００１５】半導体装置の製造工程における所謂前工程
において、各ペレット２毎にトランジスタやダイオー
ド、半導体集積回路装置、光半導体装置等が作り込まれ
たウエハ（図示せず）は、ウエハ検査工程において電気
的特性試験や外観検査等により、良品のペレット、不良
品のペレットに選別される。このとき、不良品のペレッ
トにはマークが付される。
において、各ペレット２毎にトランジスタやダイオー
ド、半導体集積回路装置、光半導体装置等が作り込まれ
たウエハ（図示せず）は、ウエハ検査工程において電気
的特性試験や外観検査等により、良品のペレット、不良
品のペレットに選別される。このとき、不良品のペレッ
トにはマークが付される。
【００１６】このようにして検査されたウエハには、シ
ート粘着工程において、粘着シート３がその裏面に粘着
される。粘着シート３は、樹脂等のような伸縮性を有す
る材料を用いられてウエハよりも大径の薄膜形状に形成
されているシート基材４を備えており、このシート基材
４の片側主面に適当な粘着材が塗布されて粘着材層５が
形成されている。
ート粘着工程において、粘着シート３がその裏面に粘着
される。粘着シート３は、樹脂等のような伸縮性を有す
る材料を用いられてウエハよりも大径の薄膜形状に形成
されているシート基材４を備えており、このシート基材
４の片側主面に適当な粘着材が塗布されて粘着材層５が
形成されている。
【００１７】続いて、ダイシング工程において、ウエハ
は小物品としての各ペレット２に分断される。このと
き、ウエハの裏面に粘着されている粘着シート３はダイ
シングによって切断されないため、ペレット２群はばら
ばらにならずに一群にまとまった状態になっている。
は小物品としての各ペレット２に分断される。このと
き、ウエハの裏面に粘着されている粘着シート３はダイ
シングによって切断されないため、ペレット２群はばら
ばらにならずに一群にまとまった状態になっている。
【００１８】次いで、治具装着工程において、粘着シー
ト３の外周部にリング６が装着される。リング６はステ
ンレス鋼等のような剛性材料を用いられて、ウエハより
も大径の円形リング形状に形成されている。粘着シート
３はリング６の枠内に対向するように配された後に、径
方向外向きに引き伸ばされ、その外周辺部がリング６に
固定される。このとき、粘着シート３の伸びに伴って隣
合うペレット２、２間が離れることになる。
ト３の外周部にリング６が装着される。リング６はステ
ンレス鋼等のような剛性材料を用いられて、ウエハより
も大径の円形リング形状に形成されている。粘着シート
３はリング６の枠内に対向するように配された後に、径
方向外向きに引き伸ばされ、その外周辺部がリング６に
固定される。このとき、粘着シート３の伸びに伴って隣
合うペレット２、２間が離れることになる。
【００１９】本実施形態に係るピックアップ装置１０は
リング６が装着されているワーク１を保持するテーブル
１１を備えており、テーブル１１は保持したワーク１を
駆動装置（図示せず）によってＸＹＺθ方向に移動し得
るように構成されている。
リング６が装着されているワーク１を保持するテーブル
１１を備えており、テーブル１１は保持したワーク１を
駆動装置（図示せず）によってＸＹＺθ方向に移動し得
るように構成されている。
【００２０】テーブル１１の下方にはペレット２を突き
上げるためのニードル１３が組み込まれたニードルユニ
ット１２が配置されている。ニードルユニット１２は円
筒形状に形成された支持筒１４を備えており、支持筒１
４は図示しない駆動装置によって垂直方向に上下動され
るように構成されている。支持筒１４の上端部にはヘッ
ド１５が一体移動するように突設されており、ヘッド１
５は上端部が略半球形状に形成されて全体的には円柱形
状に形成されている。ヘッド１５の上端の半球形状面に
よって粘着シート３を下から持ち上げるように押す粘着
シート押さえ面１６が形成されている。ヘッド１５には
ガイド孔１７が４本、ペレット２の外径よりも小さい正
方形の四つ角にそれぞれ配されて垂直方向に延在するよ
うに開設されており、各ガイド孔１７には各ニードル１
３が垂直方向に摺動自在に挿通されている。各ガイド孔
１７に摺動自在に挿通された４本のニードル１３は垂直
方向下側からペレット２を均等に突き上げて水平に持ち
上げることができるように支承された状態になってい
る。
上げるためのニードル１３が組み込まれたニードルユニ
ット１２が配置されている。ニードルユニット１２は円
筒形状に形成された支持筒１４を備えており、支持筒１
４は図示しない駆動装置によって垂直方向に上下動され
るように構成されている。支持筒１４の上端部にはヘッ
ド１５が一体移動するように突設されており、ヘッド１
５は上端部が略半球形状に形成されて全体的には円柱形
状に形成されている。ヘッド１５の上端の半球形状面に
よって粘着シート３を下から持ち上げるように押す粘着
シート押さえ面１６が形成されている。ヘッド１５には
ガイド孔１７が４本、ペレット２の外径よりも小さい正
方形の四つ角にそれぞれ配されて垂直方向に延在するよ
うに開設されており、各ガイド孔１７には各ニードル１
３が垂直方向に摺動自在に挿通されている。各ガイド孔
１７に摺動自在に挿通された４本のニードル１３は垂直
方向下側からペレット２を均等に突き上げて水平に持ち
上げることができるように支承された状態になってい
る。
【００２１】ニードルユニット１２の支持筒１４内には
突き上げ台１８が垂直方向に摺動自在に嵌入されてお
り、突き上げ台１８は操作ロッド１９を介して駆動装置
（図示せず）によって支持筒１４に独立して上下動され
るように構成されている。突き上げ台１８の上端面には
フローティング支持手段としての圧縮コイルスプリング
（以下、スプリングという。）２０が４本、各ニードル
１３に対向する位置にそれぞれ配されて垂直方向上向き
に据え付けられており、各スプリング２０の巻き中空部
内上端部には各ニードル１３の下端部がそれぞれ挿入さ
れている。ニードル１３の下端部外周には鍔部１３ａが
円形リング形状に突設されており、鍔部１３ａの下端面
はスプリング２０の上端面に係合されている。そして、
スプリング２０は突き上げ台１８と鍔部１３ａとの間に
蓄力状態で介装されており、ニードル１３の鍔部１３ａ
をガイド孔１７の下端開口縁辺部に押接させる方向に常
時付勢することによって、ニードル１３を突き上げ台１
８の上面から持ち上げた状態にフローティング支持する
ようになっている。また、スプリング２０はニードル１
３がペレット２に突き当たって押し下げ力を受けた際に
は短縮してニードル１３の下端面を突き上げ台１８の上
面に当接させるようになっている。
突き上げ台１８が垂直方向に摺動自在に嵌入されてお
り、突き上げ台１８は操作ロッド１９を介して駆動装置
（図示せず）によって支持筒１４に独立して上下動され
るように構成されている。突き上げ台１８の上端面には
フローティング支持手段としての圧縮コイルスプリング
（以下、スプリングという。）２０が４本、各ニードル
１３に対向する位置にそれぞれ配されて垂直方向上向き
に据え付けられており、各スプリング２０の巻き中空部
内上端部には各ニードル１３の下端部がそれぞれ挿入さ
れている。ニードル１３の下端部外周には鍔部１３ａが
円形リング形状に突設されており、鍔部１３ａの下端面
はスプリング２０の上端面に係合されている。そして、
スプリング２０は突き上げ台１８と鍔部１３ａとの間に
蓄力状態で介装されており、ニードル１３の鍔部１３ａ
をガイド孔１７の下端開口縁辺部に押接させる方向に常
時付勢することによって、ニードル１３を突き上げ台１
８の上面から持ち上げた状態にフローティング支持する
ようになっている。また、スプリング２０はニードル１
３がペレット２に突き当たって押し下げ力を受けた際に
は短縮してニードル１３の下端面を突き上げ台１８の上
面に当接させるようになっている。
【００２２】各ニードル１３と各突き上げ台１８との間
にはニードルと突き上げ台との対向面の位置関係を検出
する検出装置２１がそれぞれ介設されており、この検出
装置２１は突き上げ台１８、スプリング２０、ニードル
１３および突き上げ台１８によって形成される電気回路
２２におけるニードル１３と突き上げ台１８との開閉を
電気的に検出するように構成されている。すなわち、突
き上げ台１８、スプリング２０およびニードル１３は導
電性を有する材料が使用されて構成されており、突き上
げ台１８の上面におけるニードル１３との対向面には固
定接点２４が絶縁部２３によって突き上げ台１８に対し
て電気的に絶縁された状態に形成されているとともに、
ニードル１３の下端面には固定接点２４に対して開閉す
る可動接点２５が形成されている。また、突き上げ台１
８の上面におけるスプリング２０との接触位置には接続
ピン２６が絶縁部２３によって固定されており、この接
続ピン２６はスプリング２０に電気的に接続されてい
る。電気回路２２は固定接点２４と接続ピン２６とを電
気的に接続するように形成されており、電気回路２２に
は電源２７と警報装置としてのランプ２８とが介設され
ている。
にはニードルと突き上げ台との対向面の位置関係を検出
する検出装置２１がそれぞれ介設されており、この検出
装置２１は突き上げ台１８、スプリング２０、ニードル
１３および突き上げ台１８によって形成される電気回路
２２におけるニードル１３と突き上げ台１８との開閉を
電気的に検出するように構成されている。すなわち、突
き上げ台１８、スプリング２０およびニードル１３は導
電性を有する材料が使用されて構成されており、突き上
げ台１８の上面におけるニードル１３との対向面には固
定接点２４が絶縁部２３によって突き上げ台１８に対し
て電気的に絶縁された状態に形成されているとともに、
ニードル１３の下端面には固定接点２４に対して開閉す
る可動接点２５が形成されている。また、突き上げ台１
８の上面におけるスプリング２０との接触位置には接続
ピン２６が絶縁部２３によって固定されており、この接
続ピン２６はスプリング２０に電気的に接続されてい
る。電気回路２２は固定接点２４と接続ピン２６とを電
気的に接続するように形成されており、電気回路２２に
は電源２７と警報装置としてのランプ２８とが介設され
ている。
【００２３】次に作用を説明する。まず、ピックアップ
作業が実施される前に、ピックアップ装置１０に組み込
まれた検出装置２１によって各ニードル１３に破損や磨
滅および曲がり等の異常があるか否かの検査が予備的に
実行される。以下、その予備検査作業を図１について説
明する。
作業が実施される前に、ピックアップ装置１０に組み込
まれた検出装置２１によって各ニードル１３に破損や磨
滅および曲がり等の異常があるか否かの検査が予備的に
実行される。以下、その予備検査作業を図１について説
明する。
【００２４】下限の退避位置にあるニードルユニット１
２において、突き上げ台１８が支持筒１４に対して所定
のストロークだけ上昇され、所定の位置に水平に仮設さ
れた検査治具２９の下面に４本のニードル１３の上端が
均等に突き当てられる。各ニードル１３の上端が検査治
具２９に突き当たると、各スプリング２０は突き上げ台
１８の上昇に伴って短縮するため、各ニードル１３の下
端面の可動接点２５は相対的に突き上げ台１８に接近し
て固定接点２４に突き当たる。
２において、突き上げ台１８が支持筒１４に対して所定
のストロークだけ上昇され、所定の位置に水平に仮設さ
れた検査治具２９の下面に４本のニードル１３の上端が
均等に突き当てられる。各ニードル１３の上端が検査治
具２９に突き当たると、各スプリング２０は突き上げ台
１８の上昇に伴って短縮するため、各ニードル１３の下
端面の可動接点２５は相対的に突き上げ台１８に接近し
て固定接点２４に突き当たる。
【００２５】このようにして可動接点２５が固定接点２
４に接触すると、検出装置２１の電気回路２２が閉じら
れた状態になるため、電源２７、接続ピン２６、スプリ
ング２０、ニードル１３、可動接点２５、固定接点２
４、ランプ２８と通電することによって電気回路２２に
介設されたランプ２８が点灯する。そして、点灯したラ
ンプ２８に対応するニードル１３については、作業者に
よって先端部に磨滅や破損および曲がり等の異常が無い
と判定される。
４に接触すると、検出装置２１の電気回路２２が閉じら
れた状態になるため、電源２７、接続ピン２６、スプリ
ング２０、ニードル１３、可動接点２５、固定接点２
４、ランプ２８と通電することによって電気回路２２に
介設されたランプ２８が点灯する。そして、点灯したラ
ンプ２８に対応するニードル１３については、作業者に
よって先端部に磨滅や破損および曲がり等の異常が無い
と判定される。
【００２６】例えば、図１（ｂ）に示されているよう
に、ニードル１３の先端部が破損していると、先端が検
査治具２９に突き当たらないため、そのニードル１３は
スプリング２０によって鍔部１３ａをガイド孔１７の開
口縁辺に押接された押し上げ状態を維持することにな
る。この押し上げ状態においてはニードル１３の下端面
の可動接点２５が固定接点２４から離れた状態になって
いるため、検出装置２１の電気回路２２は開かれた状態
のままになり、そのニードル１３に対応するランプ２８
は点灯しないことになる。したがって、作業者は、点灯
しないランプ２８に対応するニードル１３について先端
部に磨滅や破損および曲がり等の異常が発生している
と、判定することになる。そして、異常が発生している
と判定されたニードル１３は作業者によって異常の有無
を確認された後に、適宜に新しいニードル１３に交換さ
れることになる。
に、ニードル１３の先端部が破損していると、先端が検
査治具２９に突き当たらないため、そのニードル１３は
スプリング２０によって鍔部１３ａをガイド孔１７の開
口縁辺に押接された押し上げ状態を維持することにな
る。この押し上げ状態においてはニードル１３の下端面
の可動接点２５が固定接点２４から離れた状態になって
いるため、検出装置２１の電気回路２２は開かれた状態
のままになり、そのニードル１３に対応するランプ２８
は点灯しないことになる。したがって、作業者は、点灯
しないランプ２８に対応するニードル１３について先端
部に磨滅や破損および曲がり等の異常が発生している
と、判定することになる。そして、異常が発生している
と判定されたニードル１３は作業者によって異常の有無
を確認された後に、適宜に新しいニードル１３に交換さ
れることになる。
【００２７】以上の予備検査作業並びにニードルの交換
作業が完了すると、突き上げ台１８およびニードルユニ
ット１２はピックアップ装置１０の所定の待機位置に戻
される。次に、ピックアップ作業について説明する。
作業が完了すると、突き上げ台１８およびニードルユニ
ット１２はピックアップ装置１０の所定の待機位置に戻
される。次に、ピックアップ作業について説明する。
【００２８】まず、図２に示されているように、前述し
た通りリング６を装着されたワーク１がペレット２を上
側にした状態でテーブル１１に保持されるとともにアラ
イメントされる。
た通りリング６を装着されたワーク１がペレット２を上
側にした状態でテーブル１１に保持されるとともにアラ
イメントされる。
【００２９】次いで、ニードル１３についての磨滅や破
損や曲がり等の予備検査作業を完了したニードルユニッ
ト１２が、図３に示されているように全体的に上昇され
る。この上昇により、ヘッド１５の上面の粘着シート押
さえ面１６がワーク１の粘着シート３を押し上げる。粘
着シート押さえ面１６は凸状球面に形成されているた
め、粘着シート３は凸状球面に沿って上方に弯曲した状
態になる。
損や曲がり等の予備検査作業を完了したニードルユニッ
ト１２が、図３に示されているように全体的に上昇され
る。この上昇により、ヘッド１５の上面の粘着シート押
さえ面１６がワーク１の粘着シート３を押し上げる。粘
着シート押さえ面１６は凸状球面に形成されているた
め、粘着シート３は凸状球面に沿って上方に弯曲した状
態になる。
【００３０】続いて、支持筒１４内で突き上げ台１８が
上昇されてヘッド１５に対して４本のニードル１３が均
等に上昇され、各ニードル１３の上端部が粘着シート押
さえ面１６から上方に均等に突出される。このニードル
１３の先端部の突出により、粘着シート３のニードル１
３により突かれた部分はニードル１３により突き破ら
れ、この突き破られた粘着シート３の上面に粘着されて
いるペレット２は４本のニードル１３によって水平に持
ち上げられて粘着シート３から剥離される。
上昇されてヘッド１５に対して４本のニードル１３が均
等に上昇され、各ニードル１３の上端部が粘着シート押
さえ面１６から上方に均等に突出される。このニードル
１３の先端部の突出により、粘着シート３のニードル１
３により突かれた部分はニードル１３により突き破ら
れ、この突き破られた粘着シート３の上面に粘着されて
いるペレット２は４本のニードル１３によって水平に持
ち上げられて粘着シート３から剥離される。
【００３１】このとき、４本のニードル１３は磨滅や破
損および曲がり等の異常を予め検査されているため、ペ
レット２を傾けることなく水平に持ち上げて剥離するこ
とができるとともに、ペレット２の裏面を傷付けること
もない。また、粘着シート押さえ面１６が凸状球面に形
成されていることにより、ニードル１３に突き上げられ
るペレット２は最も上に位置するため、周りのペレット
２群が連れ上がりすることがない。
損および曲がり等の異常を予め検査されているため、ペ
レット２を傾けることなく水平に持ち上げて剥離するこ
とができるとともに、ペレット２の裏面を傷付けること
もない。また、粘着シート押さえ面１６が凸状球面に形
成されていることにより、ニードル１３に突き上げられ
るペレット２は最も上に位置するため、周りのペレット
２群が連れ上がりすることがない。
【００３２】ここで、ニードル１３がペレット２を突き
上げる際にニードル１３には粘着シート３の突き破りに
抗する抵抗力やリング６間での張力による反力が作用す
るため、ニードル１３は突き上げ台１８の上昇に伴って
ヘッド１５のガイド孔１７をスプリング２０の弾発力に
抗して相対的に下降されることになる。スプリング２０
を短縮させながら下降したニードル１３の下端面は突き
上げ台１８の上端面に突き当たり、突き当たった以降の
ニードル１３は突き上げ台１８と一体的に上昇するた
め、ニードル１３はスプリング２０によってフローティ
ング支持されているにかかわらず粘着シート３を確実か
つ適正に突き破ることができる。
上げる際にニードル１３には粘着シート３の突き破りに
抗する抵抗力やリング６間での張力による反力が作用す
るため、ニードル１３は突き上げ台１８の上昇に伴って
ヘッド１５のガイド孔１７をスプリング２０の弾発力に
抗して相対的に下降されることになる。スプリング２０
を短縮させながら下降したニードル１３の下端面は突き
上げ台１８の上端面に突き当たり、突き当たった以降の
ニードル１３は突き上げ台１８と一体的に上昇するた
め、ニードル１３はスプリング２０によってフローティ
ング支持されているにかかわらず粘着シート３を確実か
つ適正に突き破ることができる。
【００３３】そして、ニードル１３の下端面が突き上げ
台１８の上面に突き当たると、検出装置２１の可動接点
２５と固定接点２４とが閉じるため、前述と同様に検出
装置２１のランプ２８が点灯する。この際、万一、上端
部が破損したニードル１３があると、先端が粘着シート
３に突き当たらないため、そのニードル１３はスプリン
グ２０によって鍔部１３ａをガイド孔１７の開口縁辺に
押接された押し上げ状態を維持することになる。この押
し上げ状態においてはニードル１３の下端面の可動接点
２５が固定接点２４から離れた状態になっているため、
検出装置２１の電気回路２２は開かれた状態のままにな
り、そのニードル１３に対応するランプ２８は点灯しな
いことになる（図１（ｂ）参照。）。したがって、作業
者は点灯しないランプ２８に対応するニードル１３につ
いて、先端部に磨滅や破損および曲がり等の異常が発生
していると判定することになる。そして、異常が発生し
ていると判定されると、ピックアップ装置１０は停止さ
れ、異常が検出されたニードル１３は作業者によって異
常の有無を確認された後に、適宜に新しいニードル１３
に交換されることになる。
台１８の上面に突き当たると、検出装置２１の可動接点
２５と固定接点２４とが閉じるため、前述と同様に検出
装置２１のランプ２８が点灯する。この際、万一、上端
部が破損したニードル１３があると、先端が粘着シート
３に突き当たらないため、そのニードル１３はスプリン
グ２０によって鍔部１３ａをガイド孔１７の開口縁辺に
押接された押し上げ状態を維持することになる。この押
し上げ状態においてはニードル１３の下端面の可動接点
２５が固定接点２４から離れた状態になっているため、
検出装置２１の電気回路２２は開かれた状態のままにな
り、そのニードル１３に対応するランプ２８は点灯しな
いことになる（図１（ｂ）参照。）。したがって、作業
者は点灯しないランプ２８に対応するニードル１３につ
いて、先端部に磨滅や破損および曲がり等の異常が発生
していると判定することになる。そして、異常が発生し
ていると判定されると、ピックアップ装置１０は停止さ
れ、異常が検出されたニードル１３は作業者によって異
常の有無を確認された後に、適宜に新しいニードル１３
に交換されることになる。
【００３４】なお、検出装置２１はランプ２８の点灯消
灯による警報によって各ニードルの異常を警報するよう
に構成するに限らず、ブザーによって異常を警報するよ
うに構成してもよいし、さらに、異常警報と同時にピッ
クアップ装置１０を自動的に停止するように構成しても
よい。また、各ニードル１３の検出装置２１同士の検査
結果の論理を取ることにより、検出精度を高めることも
できる。
灯による警報によって各ニードルの異常を警報するよう
に構成するに限らず、ブザーによって異常を警報するよ
うに構成してもよいし、さらに、異常警報と同時にピッ
クアップ装置１０を自動的に停止するように構成しても
よい。また、各ニードル１３の検出装置２１同士の検査
結果の論理を取ることにより、検出精度を高めることも
できる。
【００３５】以上のようにして４本のニードル１３によ
り水平に突き上げられて粘着シート３から剥離されたペ
レット２は、その真上に待機されているコレット７に真
空吸着保持されるとともに、ニードル１３の下降作動に
伴って、コレット７に受け渡されることになる。
り水平に突き上げられて粘着シート３から剥離されたペ
レット２は、その真上に待機されているコレット７に真
空吸着保持されるとともに、ニードル１３の下降作動に
伴って、コレット７に受け渡されることになる。
【００３６】ペレット２を受け渡されたコレット７は適
当な移動装置によりニードル１３の真上位置からトレー
やリードフレームのタブ等の所定位置に移動され、そこ
で、ペレットをトレーやタブに受け渡す。ペレットを受
け渡したコレット７はニードル１３の真上位置に戻さ
れ、次回のピックアップ作動に待機する。
当な移動装置によりニードル１３の真上位置からトレー
やリードフレームのタブ等の所定位置に移動され、そこ
で、ペレットをトレーやタブに受け渡す。ペレットを受
け渡したコレット７はニードル１３の真上位置に戻さ
れ、次回のピックアップ作動に待機する。
【００３７】他方、突き上げ台１８の下降によってニー
ドル１３が下降されてニードルユニット１２内に引き込
められ、かつ、ニードルユニット１２が全体的に下降さ
れると、テーブル１１がＸＹＺ方向に適宜移動され、次
回にピックアップすべきペレット２がニードル１３の真
上に対向配置される。
ドル１３が下降されてニードルユニット１２内に引き込
められ、かつ、ニードルユニット１２が全体的に下降さ
れると、テーブル１１がＸＹＺ方向に適宜移動され、次
回にピックアップすべきペレット２がニードル１３の真
上に対向配置される。
【００３８】以降、前記作動が繰り返されることによっ
て、粘着シート３からペレット２が１個宛、ピックアッ
プされて行く。
て、粘着シート３からペレット２が１個宛、ピックアッ
プされて行く。
【００３９】以上説明した前記実施形態によれば次の効
果が得られる。 ペレットを突き上げて粘着シートから剥離させるニ
ードルを突き上げ台にフローティング支持させるととも
に、ニードルと突き上げ台との間にニードルと突き上げ
台との接触および非接触を電気的に検出する検出装置を
介設することにより、電気回路のオン・オフによる単純
な作動によって異常を検出することができるため、ニー
ドルの磨滅や破損および曲がり等の異常を精度よく自動
的に検出することができる。
果が得られる。 ペレットを突き上げて粘着シートから剥離させるニ
ードルを突き上げ台にフローティング支持させるととも
に、ニードルと突き上げ台との間にニードルと突き上げ
台との接触および非接触を電気的に検出する検出装置を
介設することにより、電気回路のオン・オフによる単純
な作動によって異常を検出することができるため、ニー
ドルの磨滅や破損および曲がり等の異常を精度よく自動
的に検出することができる。
【００４０】 前記により、ニードルの先端部に磨
滅や破損および曲がり等の異常が検出された場合にはニ
ードルを新しいニードルに逸早く交換することができる
ため、ペレットのピックアップ作業時にニードルによっ
てペレットの裏面を傷付けたり、ペレットを傾けて突き
上げることによりコレットのペレット吸着ミスが発生し
たりするのを未然に防止することができる。
滅や破損および曲がり等の異常が検出された場合にはニ
ードルを新しいニードルに逸早く交換することができる
ため、ペレットのピックアップ作業時にニードルによっ
てペレットの裏面を傷付けたり、ペレットを傾けて突き
上げることによりコレットのペレット吸着ミスが発生し
たりするのを未然に防止することができる。
【００４１】 前記により、ニードルの磨滅や破損
および曲がり等の異常を検査するための作業を自動的に
実施することができるため、作業者の目視によるニード
ルの磨滅や破損および曲がり等の異常を検査する作業を
省略ないしは確認作業に置き換えることができ、省力化
を促進することができるとともに、人為的ミスや作業の
し忘れ等の発生を防止することができる。
および曲がり等の異常を検査するための作業を自動的に
実施することができるため、作業者の目視によるニード
ルの磨滅や破損および曲がり等の異常を検査する作業を
省略ないしは確認作業に置き換えることができ、省力化
を促進することができるとともに、人為的ミスや作業の
し忘れ等の発生を防止することができる。
【００４２】図４は本発明の実施形態２であるピックア
ップ装置の主要部の拡大図を示しており、（ａ）は正常
時を示す正面断面図、（ｂ）は異常時を示す正面断面図
である。
ップ装置の主要部の拡大図を示しており、（ａ）は正常
時を示す正面断面図、（ｂ）は異常時を示す正面断面図
である。
【００４３】本実施形態２が前記実施形態１と異なる点
は、ニードル１３が突き上げ台１８との間に介装された
磁気浮上装置３１によってフローティング支持されてい
るとともに、光学的検出装置３４がニードル１３と突き
上げ台１８との隙間の有無を光学的に検出するように構
成されている点である。
は、ニードル１３が突き上げ台１８との間に介装された
磁気浮上装置３１によってフローティング支持されてい
るとともに、光学的検出装置３４がニードル１３と突き
上げ台１８との隙間の有無を光学的に検出するように構
成されている点である。
【００４４】すなわち、磁気浮上装置３１は突き上げ台
１８の上面に固定された固定マグネット３２と、ニード
ル１３に配設された可動マグネット３３とを備えてお
り、固定マグネット３２と可動マグネット３３とは互い
に反発するように構成されている。光学的検出装置３４
は発光器３５と受光器３６とを備えており、発光器３５
と受光器３６とは固定マグネット３２と可動マグネット
３３との間の外側にニードル１３の中心延長線を挟んで
互いに対向するように突き上げ台１８に据え付けられて
いる。
１８の上面に固定された固定マグネット３２と、ニード
ル１３に配設された可動マグネット３３とを備えてお
り、固定マグネット３２と可動マグネット３３とは互い
に反発するように構成されている。光学的検出装置３４
は発光器３５と受光器３６とを備えており、発光器３５
と受光器３６とは固定マグネット３２と可動マグネット
３３との間の外側にニードル１３の中心延長線を挟んで
互いに対向するように突き上げ台１８に据え付けられて
いる。
【００４５】本実施形態２において、ニードル１３に磨
滅や破損および曲がり等の異常が無い場合には、ニード
ル１３は検査治具２９または粘着シート３により固定マ
グネット３２と可動マグネット３３との間の磁気反発力
に抗して略突き合わされるため、発光器３５の光はニー
ドル１３によって遮光される。万一、ニードル１３に磨
滅や破損および曲がり等の異常が有る場合には、ニード
ル１３は検査治具２９または粘着シート３に突き当たら
ないことにより、固定マグネット３２と可動マグネット
３３との間の磁気反発力によって浮き上げられた状態を
維持するため、発光器３５の光はニードル１３によって
遮光されずに受光器３６によって受光される。したがっ
て、光学的検出装置３４は受光器３６の受光の有無によ
ってニードル１３に磨滅や破損および曲がり等の異常の
有無を検出することができる。
滅や破損および曲がり等の異常が無い場合には、ニード
ル１３は検査治具２９または粘着シート３により固定マ
グネット３２と可動マグネット３３との間の磁気反発力
に抗して略突き合わされるため、発光器３５の光はニー
ドル１３によって遮光される。万一、ニードル１３に磨
滅や破損および曲がり等の異常が有る場合には、ニード
ル１３は検査治具２９または粘着シート３に突き当たら
ないことにより、固定マグネット３２と可動マグネット
３３との間の磁気反発力によって浮き上げられた状態を
維持するため、発光器３５の光はニードル１３によって
遮光されずに受光器３６によって受光される。したがっ
て、光学的検出装置３４は受光器３６の受光の有無によ
ってニードル１３に磨滅や破損および曲がり等の異常の
有無を検出することができる。
【００４６】以上本発明者によってなされた発明を実施
形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施形
態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範
囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施形
態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範
囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００４７】例えば、ニードルと突き上げ台との対向面
の位置関係を検出する検出装置は、電気的に検出するよ
うに構成したり、光学的に検出するように構成するに限
らず、磁気センサによって磁気的に検出するように構成
したり、タッチセンサによって静電気的に検出するよう
に構成してもよい。
の位置関係を検出する検出装置は、電気的に検出するよ
うに構成したり、光学的に検出するように構成するに限
らず、磁気センサによって磁気的に検出するように構成
したり、タッチセンサによって静電気的に検出するよう
に構成してもよい。
【００４８】また、前記実施形態２においては、光学的
検出装置を発光器と受光器との組み合わせによってニー
ドルと突き上げ台との隙間の有無を検出するように構成
したが、反射形ホトセンサによって隙間の間隔の大小を
検出するように構成してもよい。
検出装置を発光器と受光器との組み合わせによってニー
ドルと突き上げ台との隙間の有無を検出するように構成
したが、反射形ホトセンサによって隙間の間隔の大小を
検出するように構成してもよい。
【００４９】磁気浮上装置は永久磁石を使用して構成す
るに限らず、電磁石を使用して構成してもよい。
るに限らず、電磁石を使用して構成してもよい。
【００５０】補助のニードルユニットを装備しておき、
検査装置によってニードルが不良であることが検出され
た場合には、補助のニードルユニットに自動的に交換さ
れるように構成することもできる。
検査装置によってニードルが不良であることが検出され
た場合には、補助のニードルユニットに自動的に交換さ
れるように構成することもできる。
【００５１】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野である半導体
ペレットのピックアップ技術に適用した場合について説
明したが、それに限定されるものではなく、微少な電子
部品や電子機器等のような小物品の粘着シートからのピ
ックアップ技術全般に適用することができる。
なされた発明をその背景となった利用分野である半導体
ペレットのピックアップ技術に適用した場合について説
明したが、それに限定されるものではなく、微少な電子
部品や電子機器等のような小物品の粘着シートからのピ
ックアップ技術全般に適用することができる。
【００５２】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。
【００５３】ペレットを突き上げて粘着シートから剥離
させるニードルを突き上げ台にフローティング支持させ
るとともに、ニードルと突き上げ台との間にニードルと
突き上げ台との対向面の位置関係を検出する検出装置を
介設することにより、ニードルや粘着シートおよび小物
品裏面の形状を測定する検出装置に比べて単純な構造お
よび測定原理によって異常を検出することができるた
め、ニードルの磨滅や破損および曲がり等の異常を精度
よく自動的に検出することができる。
させるニードルを突き上げ台にフローティング支持させ
るとともに、ニードルと突き上げ台との間にニードルと
突き上げ台との対向面の位置関係を検出する検出装置を
介設することにより、ニードルや粘着シートおよび小物
品裏面の形状を測定する検出装置に比べて単純な構造お
よび測定原理によって異常を検出することができるた
め、ニードルの磨滅や破損および曲がり等の異常を精度
よく自動的に検出することができる。
【００５４】ニードルの先端部に磨滅や破損および曲が
り等の異常が検出された場合にはニードルを新しいニー
ドルに逸早く交換することができるため、小物品のピッ
クアップ作業時にニードルによって小物品の裏面を傷付
けたり、小物品を傾けて突き上げることによりコレット
のペレット吸着ミスが発生したりするのを未然に防止す
ることができる。
り等の異常が検出された場合にはニードルを新しいニー
ドルに逸早く交換することができるため、小物品のピッ
クアップ作業時にニードルによって小物品の裏面を傷付
けたり、小物品を傾けて突き上げることによりコレット
のペレット吸着ミスが発生したりするのを未然に防止す
ることができる。
【００５５】ニードルの磨滅や破損および曲がり等の異
常を検査するための作業を自動的に実施することができ
るため、作業者の目視によるニードルの磨滅や破損およ
び曲がり等の異常を検査する作業を省略ないしは確認作
業に置き換えることができ、省力化を促進することがで
きるとともに、人為的ミスや作業のし忘れ等の発生を防
止することができる。
常を検査するための作業を自動的に実施することができ
るため、作業者の目視によるニードルの磨滅や破損およ
び曲がり等の異常を検査する作業を省略ないしは確認作
業に置き換えることができ、省力化を促進することがで
きるとともに、人為的ミスや作業のし忘れ等の発生を防
止することができる。
【図１】本発明の一実施形態であるピックアップ装置の
主要部の拡大図を示しており、（ａ）は正常時を示す正
面断面図、（ｂ）は異常時を示す正面断面図である。
主要部の拡大図を示しており、（ａ）は正常時を示す正
面断面図、（ｂ）は異常時を示す正面断面図である。
【図２】そのピックアップ装置を示す正面断面図であ
る。
る。
【図３】そのピックアップ作動を示しており（ａ）は正
面断面図、（ｂ）は（ａ）のｂ−ｂ線に沿う底面断面図
である。
面断面図、（ｂ）は（ａ）のｂ−ｂ線に沿う底面断面図
である。
【図４】本発明の実施形態２であるピックアップ装置の
主要部の拡大図を示しており、（ａ）は正常時を示す正
面断面図、（ｂ）は異常時を示す正面断面図である。
主要部の拡大図を示しており、（ａ）は正常時を示す正
面断面図、（ｂ）は異常時を示す正面断面図である。
１…ワーク（ペレット付粘着シート）、２…ペレット、
３…粘着シート、４…シート基材、５…粘着材層、６…
リング、７…コレット、１０…ピックアップ装置、１１
…テーブル、１２…ニードルユニット、１３…ニード
ル、１３ａ…鍔部、１４…支持筒、１５…ヘッド、１６
…粘着シート押さえ面、１７…ガイド孔、１８…突き上
げ台、１９…操作ロッド、２０…スプリング、２１…検
出装置、２２…電気回路、２３…絶縁部、２４…固定接
点、２５…可動接点、２６…接続ピン、２７…電源、２
８…ランプ（警報装置）、２９…検査治具、３１…磁気
浮上装置、３２…固定マグネット、３３…可動マグネッ
ト、３４…光学的検出装置、３５…発光器、３６…受光
器。
３…粘着シート、４…シート基材、５…粘着材層、６…
リング、７…コレット、１０…ピックアップ装置、１１
…テーブル、１２…ニードルユニット、１３…ニード
ル、１３ａ…鍔部、１４…支持筒、１５…ヘッド、１６
…粘着シート押さえ面、１７…ガイド孔、１８…突き上
げ台、１９…操作ロッド、２０…スプリング、２１…検
出装置、２２…電気回路、２３…絶縁部、２４…固定接
点、２５…可動接点、２６…接続ピン、２７…電源、２
８…ランプ（警報装置）、２９…検査治具、３１…磁気
浮上装置、３２…固定マグネット、３３…可動マグネッ
ト、３４…光学的検出装置、３５…発光器、３６…受光
器。
Claims (4)
- 【請求項１】 多数個の小物品が粘着された粘着シート
を保持するテーブルと、このテーブルに対して進退する
突き上げ台と、この突き上げ台によって突き上げられて
テーブルに保持された粘着シートを裏面側から突いて前
記小物品を粘着シートから離脱させるニードルとを備え
ているピックアップ装置において、 前記ニードルが前記突き上げ台にフローティング支持さ
れており、ニードルと突き上げ台との間にはニードルと
突き上げ台との対向面の位置関係を検出する検出装置が
介設されていることを特徴とするピックアップ装置。 - 【請求項２】 前記ニードルが前記突き上げ台との間に
介装されたスプリングによってフローティング支持され
ているとともに、前記検出装置は突き上げ台、スプリン
グ、ニードルおよび突き上げ台によって形成される電気
回路におけるニードルと突き上げ台との間の開閉を電気
的に検出するように構成されていることを特徴とする請
求項１に記載のピックアップ装置。 - 【請求項３】 前記ニードルが前記突き上げ台との間に
介装された磁気浮上装置によってフローティング支持さ
れているとともに、前記検出装置はニードルと突き上げ
台との隙間の変化を光学的に検出するように構成されて
いることを特徴とする請求項１に記載のピックアップ装
置。 - 【請求項４】 前記検出装置は磁気センサまたはタッチ
センサによって構成されていることを特徴とする請求項
１に記載のピックアップ装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33797295A JPH09162205A (ja) | 1995-12-01 | 1995-12-01 | ピックアップ装置 |
| KR1019960060275A KR970053725A (ko) | 1995-12-01 | 1996-11-30 | 반도체 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33797295A JPH09162205A (ja) | 1995-12-01 | 1995-12-01 | ピックアップ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09162205A true JPH09162205A (ja) | 1997-06-20 |
Family
ID=18313735
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33797295A Pending JPH09162205A (ja) | 1995-12-01 | 1995-12-01 | ピックアップ装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09162205A (ja) |
| KR (1) | KR970053725A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10258800A1 (de) * | 2002-12-16 | 2004-07-08 | Siemens Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Aufbringen einer Klebstoffschicht auf flächige Bauelemente, Bestückvorrichtung zum Bestücken von flächigen Bauelementen |
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| JP2010232678A (ja) * | 2010-06-21 | 2010-10-14 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置の製造方法および半導体製造装置 |
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| JP2021057533A (ja) * | 2019-10-01 | 2021-04-08 | 三菱電機株式会社 | 半導体チップのピックアップ治具、半導体チップのピックアップ装置およびピックアップ治具の調節方法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0652732B2 (ja) * | 1985-08-14 | 1994-07-06 | 三菱電機株式会社 | パツシベ−シヨン膜の形成方法 |
| JPH02198163A (ja) * | 1989-01-27 | 1990-08-06 | Hitachi Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
| JP2844586B2 (ja) * | 1992-02-04 | 1999-01-06 | 日立電線株式会社 | 半導体集積回路 |
| JPH0621111A (ja) * | 1992-07-03 | 1994-01-28 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
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-
1995
- 1995-12-01 JP JP33797295A patent/JPH09162205A/ja active Pending
-
1996
- 1996-11-30 KR KR1019960060275A patent/KR970053725A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10258800A1 (de) * | 2002-12-16 | 2004-07-08 | Siemens Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Aufbringen einer Klebstoffschicht auf flächige Bauelemente, Bestückvorrichtung zum Bestücken von flächigen Bauelementen |
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| CN100417316C (zh) * | 2002-12-16 | 2008-09-03 | 西门子公司 | 在平面构件上涂覆粘合剂层的方法和装置以及组装设备 |
| JP2006203023A (ja) * | 2005-01-21 | 2006-08-03 | Renesas Technology Corp | 半導体装置の製造方法および半導体製造装置 |
| US7498241B2 (en) | 2005-01-21 | 2009-03-03 | Renesas Technology Corp. | Semiconductor manufacturing method of die pick-up from wafer |
| US7759164B2 (en) | 2005-01-21 | 2010-07-20 | Renesas Technology Corp. | Semiconductor manufacturing method of die pick-up from wafer |
| JP4624813B2 (ja) * | 2005-01-21 | 2011-02-02 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法および半導体製造装置 |
| US8211261B2 (en) | 2005-01-21 | 2012-07-03 | Renesas Electronics Corporation | Semiconductor manufacturing method of die pick-up from wafer |
| JP2010232678A (ja) * | 2010-06-21 | 2010-10-14 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置の製造方法および半導体製造装置 |
| JP2012156413A (ja) * | 2011-01-28 | 2012-08-16 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | ダイ供給装置 |
| JP2021057533A (ja) * | 2019-10-01 | 2021-04-08 | 三菱電機株式会社 | 半導体チップのピックアップ治具、半導体チップのピックアップ装置およびピックアップ治具の調節方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR970053725A (ko) | 1997-07-31 |
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