JP4987400B2 - 半導体チップの突き上げ装置 - Google Patents
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Description
先端に上記突き上げピンが設けられた可動軸と、
この可動軸を移動可能に挿通支持する通孔を有する基部及びこの基部の上端部に取り付けられるとともに先端に上記突き上げピンが突出する突出孔が形成されたキャップを有する装置本体を具備し、
上記キャップの下端部には周方向に所定間隔で複数のねじ孔が形成され、これらのねじ孔には先端が円錐状に形成された止めねじが螺合されるとともに、上記基部の上端部の外周面には上記止めねじの先端部が係合する断面形状がくさび状の係合凹部が形成され、
上記基部の上端部には上面が平坦面に形成されたフランジが設けられ、上記キャップの下端面は平坦であって、この下端面は上記フランジの平坦面に摺動可能に接触し、
上記止めねじをねじ込んで上記係合凹部に係合させることで、上記止めねじのテーパ面と上記係合凹部のテーパ面とが圧接して上記キャップの下端面が上記フランジの平坦面に押し付けられることを特徴とする半導体チップの突き上げ装置にある。
上記保持部材には上記吸引手段の吸引力を上記吸引孔に作用させる吸引路が形成されていることが好ましい。
図1はピックアップ装置1を示し、このピックアップ装置1は突き上げ装置2を備えている。この突き上げ装置2は図示しないウエハリングに張設された粘着シート3の下面側に対向して設けられている。
なお、フランジ38の上面とキャップ33の下端面は上記シール材43を圧縮して摺動可能に接触している。
Claims (4)
- 粘着シートに貼着された半導体チップを突き上げピンによって突き上げて剥離する半導体チップの突き上げ装置であって、
先端に上記突き上げピンが設けられた可動軸と、
この可動軸を移動可能に挿通支持する通孔を有する基部及びこの基部の上端部に取り付けられるとともに先端に上記突き上げピンが突出する突出孔が形成されたキャップを有する装置本体を具備し、
上記キャップの下端部には周方向に所定間隔で複数のねじ孔が形成され、これらのねじ孔には先端が円錐状に形成された止めねじが螺合されるとともに、上記基部の上端部の外周面には上記止めねじの先端部が係合する断面形状がくさび状の係合凹部が形成され、
上記基部の上端部には上面が平坦面に形成されたフランジが設けられ、上記キャップの下端面は平坦であって、この下端面は上記フランジの平坦面に摺動可能に接触し、
上記止めねじをねじ込んで上記係合凹部に係合させることで、上記止めねじのテーパ面と上記係合凹部のテーパ面とが圧接して上記キャップの下端面が上記フランジの平坦面に押し付けられることを特徴とする半導体チップの突き上げ装置。 - 上記基部には、上記可動軸の軸芯を上記基部の軸芯に一致させてこの可動軸を移動可能に保持する支持孔を備えた保持部材が設けられていることを特徴とする請求項1記載の半導体チップの突き上げ装置。
- 上記キャップの上端面には上記粘着シートを吸着する吸引孔が形成され、上記基部には吸引手段が接続されていて、
上記保持部材には上記吸引手段の吸引力を上記吸引孔に作用させる吸引路が形成されていることを特徴とする請求項2記載の半導体チップの突き上げ装置。 - 上記キャップの下端面と上記フランジの上面との間にはシール材が設けられることを特徴とする請求項1記載の半導体チップの突き上げ装置。
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