JP2021141154A - ウエハ剥離装置及びウエハ剥離方法 - Google Patents

ウエハ剥離装置及びウエハ剥離方法 Download PDF

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Abstract

【課題】貼合ウエハを剥離可能なウエハ剥離装置及びウエハ剥離方法を提供する。【解決手段】２つのウエハが貼り合わされて構成される貼合ウエハを支持可能な上面を有するウエハ支持部と、ウエハ支持部の外側に配置され、ウエハ支持部に支持される貼合ウエハの貼合部に対して進退可能なアーム部と、アーム部の先端に設けられ、上面と交差する方向に膨出可能な膨出部とを備える、ウエハ剥離装置が提供される。【選択図】図１

Description

本発明の実施形態は、ウエハ剥離装置及びウエハ剥離方法に関する。
半導体メモリなどの半導体記憶装置には、メモリセルアレイが形成されるメモリセルチップと、メモリセルアレイを制御する制御回路が形成され、メモリセルチップに貼りあわされる回路チップとを有するものがある。このような構成によれば、従前はメモリチップ内において制御回路に割り当てられていたスペースにもメモリセルを形成することができるため、集積度を増大することができる。
そのような半導体記憶装置の製造には、メモリセルアレイが形成されるウエハと、制御回路が形成されるウエハとを貼り合せる工程が含まれる。２つのウエハを貼り合わせるためには、両ウエハの相対位置を精度良く合わせる必要があるが、不可避なバラつきによって、ウエハが互いにずれてしまう場合がある。また、両ウエハを貼り合わせるときに、両ウエハ間に気泡が残ってしまい、ウエハ間の電気的な接続が阻害される場合もある。
このような場合に、両ウエハを分離し、再度、位置合わせを行って両ウエハを貼り合わすことができれば、廃棄されるウエハを低減でき、歩留りの低下を回避することが可能となる。
特開２００９−２１４４８５号公報
本発明の一つの実施形態は、貼合ウエハを剥離可能なウエハ剥離装置及びウエハ剥離方法を提供する。
本発明の一つの実施形態によれば、２つのウエハが貼り合わされて構成される貼合ウエハを支持可能な上面を有するウエハ支持部と、ウエハ支持部の外側に配置され、ウエハ支持部に支持される貼合ウエハの貼合部に対して進退可能なアーム部と、 アーム部の先端に設けられ、上面と交差する方向に膨出可能な膨出部とを備えるウエハ剥離装置が提供される。
図１は、実施形態によるウエハ剥離装置の構成の一例を模式的に示す側面図である。 図２は、実施形態によるウエハ剥離装置の吸着ピンユニットを模式的に示す平面図である。 図３は、実施形態によるウエハ剥離装置の吸着ピンユニットに備わる剥離アームを模式的に示す図である。 図４は、実施形態によるウエハ剥離装置を用いたウエハ剥離方法を説明するための図である。 図５は、図４に引き続き、実施形態によるウエハ剥離装置を用いたウエハ剥離方法を説明するための図である。 図６は、図５に引き続き、実施形態によるウエハ剥離装置を用いたウエハ剥離方法を説明するための図である。 図７は、図６に引き続き、実施形態によるウエハ剥離装置を用いたウエハ剥離方法を説明するための図である。 図８は、図７に引き続き、実施形態によるウエハ剥離装置を用いたウエハ剥離方法を説明するための図である。
以下、添付の図面を参照しながら、限定的でない例示の実施形態について説明する。添付の全図面中、同一または対応する部材または部品については、同一または対応する参照符号を付し、重複する説明を省略する。また、図面は、部材もしくは部品間の寸法の相対比を示すことを目的とせず、したがって、具体的な寸法は、以下の限定的でない実施形態に照らし、当業者により決定されて良い。
図１は、実施形態によるウエハ剥離装置の構成の一例を模式的に示す側面図である。本実施形態によるウエハ剥離装置は、貼合ウエハを、これを構成する２つのウエハに分離することができる。
貼合ウエハは、回路素子がそれぞれ形成され、例えば１ｍｍ程度の厚さまで研磨された２つのウエハを、例えば、対応する金属パッドどうしが電気的に接続されるように貼り合せることにより得られる。貼り合せは、各ウエハの表面の酸化シリコン膜どうしの酸化膜接合や、金属パッドどうしの金属接合により実現される。
貼り合わせ後には、位置合わせ精度が基準内に収まっているかどうかの検査が行われる。この検査は、例えば、赤外線を用いて２つのウエハのアライメントマークの位置を観察したり、貼合ウエハに超音波を照射して貼合ウエハ間の気泡等の存否を調べたりすることにより行われる。不合格と判定された場合、貼合ウエハは、本実施形態によるウエハ剥離装置により分離される。分離された２つのウエハは、再度、位置合わせを経て、貼り合わされる。
図１を参照すると、本実施形態によるウエハ剥離装置１０は、ステージ１２、吸着ピンユニット１４、及び剥離アームユニット１６を有している。ステージ１２は、円盤状の形状を有し、貼合ウエハＷＪが載置可能な上面を有している。また、ステージ１２にはウエハ吸着機構（不図示）が設けられており、これにより、上面に載置されたウエハＷＪが保持され得る。また、ウエハ吸着機構によって、ステージ１２の上面に保持される貼合ウエハＷＪは平坦に維持される。ウエハ吸着機構は、ウエハＷＪを吸引することにより保持する真空チャックや、クーロン力によりウエハＷＪを保持する静電チャックなどにより実現され得る。また、ステージ１２は、ステージ駆動機構１２０により、上下方向（ステージ１２の上面の法線方向）に移動可能である。ステージ駆動機構１２０はまたウエハ吸着機構をも制御することができる。
吸着ピンユニット１４は、吸着ピンユニット駆動機構１４０により、上下方向（ステージ１２の上面の法線方向）に移動可能であり、複数の吸着ピン１４Ｐと吸着ピン保持部材１４Ｈを有している。複数の吸着ピン１４Ｐは、吸着ピン保持部材１４Ｈの下面に、例えば幾つかの仮想的な同心円に沿って配列されるように設けられて良い。
吸着ピン１４Ｐの各々は、例えば円柱形状を有し、その円柱の中心軸に沿って内管（不図示）が形成されている。内管は、吸着ピン保持部材１４Ｈの内部に形成される導管（不図示）と連通し、導管は、所定の配管１４Ｌを通して吸引機構１４１に連通されている。各吸着ピン１４Ｐの下端が貼合ウエハＷＪの上面に接触したときに、貼合ウエハＷＪは、導管と内管を通して吸引機構１４１により吸引され、吸着ピン１４Ｐに吸着される。
また、吸着ピン１４Ｐは、吸着ピンユニット駆動機構１４０により個々に上下方向に移動可能に設けられている。ただし、吸着ピン保持部材１４Ｈの下面において仮想的な同心円に沿って配列される複数の吸着ピン１４Ｐのうち、各円の円周に沿った一群の吸着ピン１４Ｐが一括して上下方向に移動するようにしても良い。この場合、例えば、吸着ピン保持部材１４Ｈが、中央円盤と、これを取り囲む内側環状盤と、更にこれを取り囲む外側環状盤（いずれも不図示）とを個々に上下動可能に含むと好ましい。中央円盤、内側環状盤、及び外側環状盤の下面のそれぞれに吸着ピン１４Ｐが配置されれば、中央円盤、内側環状盤、及び外側環状盤とともに、対応する吸着ピン１４Ｐもまた上下動することが可能となる。
剥離アームユニット１６は、剥離アーム１６Ａ、剥離アーム支持部材１６Ｓ、及び環状フレーム１６Ｆを有している。図２を参照すると、環状フレーム１６Ｆは、環状の形状を有し、ステージ１２を取り囲むことができる程度の大きさを有している。環状フレーム１６Ｆは、ステージ１２に対し、ほぼ同心円状に配置されている。環状フレーム１６Ｆは、本実施形態では、上リング１６ＦＵ、下リング１６ＦＤ（図１）、及び４つの支柱１６ＦＣを有し、支柱１６ＦＣにより下リング１６ＦＤの上に上リング１６ＦＵが固定されている。
環状フレーム１６Ｆの外周には、本実施形態では４つの剥離アーム支持部材１６Ｓが周方向に等角度に設けられている。剥離アーム支持部材１６Ｓの各々は、剥離アーム１６Ａを進退可能に支持している。すなわち、剥離アーム１６Ａの各々は、ステージ１２の半径方向に沿ってステージ１２の中心に向かう方向に移動することができ、その反対方向に移動することができる。また、剥離アーム支持部材１６Ｓは、図１に示す剥離アームユニット駆動機構１６０により、個々に上下方向に移動可能である。
図３の（Ａ）を参照すると、剥離アーム１６Ａは、シャフト１６Ｔ、リングフレーム１６Ｒ、及び膨出部１６ＲＢを有している。膨出部１６ＲＢは、天然ゴムや合成ゴムなどの弾力性を有する材料で形成された２枚の円形シートにより構成される。２枚の円形シートは、周縁部の一部に未密着部を残しつつ、互いに気密に密着された袋状の形状を有している。このような形状を有する膨出部１６ＲＢが、リングフレーム１６Ｒにより保持されている。具体的には、膨出部１６ＲＢは、その周縁でリングフレーム１６Ｒに取り付けられている。例えば、リングフレーム１６Ｒを構成する同一形状の２つのリングにより膨出部１６ＲＢの周縁部を挟むことにより、膨出部１６ＲＢがリングフレーム１６Ｒに取り付けて良い。
また、剥離アーム１６Ａのシャフト１６Ｔには、長手方向に沿って通気管１６Ｐが挿入されており、通気管１６Ｐは一端部において膨出部１６ＲＢの未密着部と気密に連通する。また、通気管１６Ｐの他端部には、所定の配管１６Ｌの一端部が接続され、図１に示すように、配管１６Ｌの他端部は流体制御機構１６１に接続されている。流体制御機構１６１から配管１６Ｌ及び通気管１６Ｐを通して膨出部１６ＲＢに流体が供給されると、図３の（Ｂ）に示すように、膨出部１６ＲＢは弾性的に膨張する。すなわち、膨出部１６ＲＢは、剥離アーム１６Ａの長手方向と交差する方向に向かって、リングフレーム１６Ｒの中央開口から膨出する。
なお、流体としては、不活性ガス（希ガス、窒素ガス）や純水などを利用することができる。また、流体の供給圧力は流体制御機構１６１により適宜調整可能である。さらに、流体制御機構１６１は、膨出部１６ＲＢへ一度供給した流体を戻すこともできる。これにより、膨出部１６ＲＢは平坦に戻ることができる。
なお、剥離アーム１６Ａは、例えば、樹脂や金属で形成され得る。また、リングフレーム１６Ｒの外径は、貼合ウエハＷＪのサイズを考慮して決定されて良く、例えば数〜数十ｃｍであって良い。さらに、リングフレーム１６Ｒの厚さは、例えば１〜２ｍｍ程度であって良い。
再び図１を参照すると、ウエハ剥離装置１０には、ウエハ剥離装置１０を統括的に制御するコントローラ２０が設けられている。コントローラ２０は、例えば特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ）、プログラマブル・ゲート・アレイ（ＰＧＡ）、フィールド・プログラマブル・ゲートアレイ（ＦＰＧＡ）を始めとするハードウェアを備えるプロセッサにより実現され得る。また、コントローラ２０は、中央（演算）処理装置（ＣＰＵ）、リード・オンリー・メモリ（ＲＯＭ）、ランダム・アクセス・メモリ（ＲＡＭ）等を含むコンピュータとして構成され、ディスプレイ装置、及びキーボードまたはマウスなどの入出力装置と接続可能であって良い。プロセッサ又はＣＰＵは、プログラムや各種データに従って、ステージ駆動機構１２０、吸着ピンユニット駆動機構１４０、剥離アーム駆動機構１６０などへ指示信号を送信し、これによりこれらの機構１２０，１４０，１６０を制御することができる。プログラムや各種データは、ハード・ディスク・ドライブ（ＨＤＤ）や、サーバ、半導体メモリなどの非一時的なコンピュータ可読記憶媒体から有線又は無線でダウンロードされ得る。
次に、図４から図８までを参照しながら、上述のウエハ剥離装置１０を用いたウエハ剥離方法について説明する。以下に説明する、ウエハ剥離装置１０の各部の動作は、コントローラ２０からの指示信号に基づいて行われる。また、図４から図８までにおいて、ステージ駆動機構１２０、吸着ピンユニット駆動機構１４０、剥離アーム駆動機構１６０、コントローラ２０は、図示の便宜上、省略されている。
図４の（Ａ）は、初期状態のウエハ剥離装置１０を模式的に示す側面図である。図示のとおり、吸着ピンユニット１４は、吸着ピンユニット駆動機構１４０によって剥離アームユニット１６の上方に配置されている。そのような配置のもとで、図４の（Ｂ）に示すように、搬送アーム３０によって、吸着ピンユニット１４と剥離アームユニット１６の間の空間に貼合ウエハＷＪが搬送される。搬送アーム３０は、図示しない搬送ロボットの先端に設けられ、搬送ロボットにより駆動される。なお、剥離対象となる貼合ウエハＷＪは、例えば、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）と呼ばれる密閉可能なウエハ格納ポッドに予め収容されており、そこから搬送ロボットにより取り出されて、上記の空間へと搬送される。このような搬送ロボット及び搬送アーム３０の動作もまた上述のコントローラ２０により制御され得る。
次いで、図５の（Ａ）に示すように、ステージ１２が、その上面に貼合ウエハＷＪが接するまで持ち上げられる。ステージ１２の上面に貼合ウエハＷＪが接すると、ウエハ吸着機構により貼合ウエハＷＪがステージ１２の上面に保持される。この後、搬送アーム３０が退去し、貼合ウエハＷＪの搬送アーム３０からステージ１２への受け渡しが終了する。
続けて、図５の（Ｂ）に示すように、ステージ１２が元の位置まで下降すると、図６の（Ａ）に示すように、吸着ピンユニット１４が、吸着ピン１４Ｐの下端が貼合ウエハＷＪの上面に接するまで下降する。吸着ピン１４Ｐの下端が貼合ウエハＷＪの上面に接すると、貼合ウエハＷＪは、吸引機構１４１により吸着ピン１４Ｐに吸着される。
この後、図６の（Ｂ）に矢印Ｆで示すように、吸着ピンユニット駆動機構１４０により、吸着ピンユニット１４に上向きの力が加わる。すなわち、吸着ピン１４Ｐにより、上側のウエハＷＪＵには上向きに引き上げられるような力が働くこととなる。
次いで、剥離アーム１６Ａの上下方向の位置合わせが行われる。この位置合わせは、例えば剥離アームユニット１６に設けられる撮像センサ（不図示）による画像観察に基づいて行われ得る。すなわち、撮像センサにより撮像された画像に基づき、貼合ウエハＷＪの上側のウエハＷＪＵと下側のウエハＷＪＬとが貼り合わされた貼合位置が検出され、その位置と剥離アーム１６Ａの先端部との高低差がゼロとなるように、剥離アーム１６Ａの上下位置が剥離アームユニット駆動機構１６０により調整される。このような調整がすべての剥離アーム１６Ａについて行われ、すべての剥離アーム１６Ａの先端が貼合ウエハＷＪの貼合位置に一致する。
位置合わせが終了した後、各剥離アーム１６Ａは、剥離アームユニット駆動機構１６０に駆動され、貼合ウエハＷＪに向かって移動していく。そして、剥離アーム１６Ａの先端が貼合ウエハＷＪの貼合部に押し当てられると、貼合部に隙間が生じる。剥離アーム１６Ａが、この隙間に差し込まれるように、貼合ウエハＷＪの中心に向かって更に移動していくと、貼合ウエハＷＪの２枚のウエハが周縁部にて分離されていく。剥離アーム１６Ａが更に移動し、剥離アーム１６Ａの膨出部１６ＲＢもまた２枚のウエハの間に到達すると、流体制御機構１６１から、膨出部１６ＲＢに流体が供給され、膨出部１６ＲＢが膨らむ。これにより、上側のウエハＷＪＵと下側のウエハＷＪＬには引き離される力が働く。ここで、下側のウエハＷＪＬはステージ１２により保持されている一方で、上側のウエハＷＪＵには吸着ピン１４Ｐにより上向きの力が働いていることもあって、上側のウエハＷＪＵが押し上げられることとなり、上側のウエハＷＪＵの周縁部が上方へ反ることとなる。なお、膨出部１６ＲＢへ供給される流体の圧力は、ウエハＷＪＵ，ＷＪＬが破損しないように、かつ、両者が引き離されるように、流体制御機構１６１により調整される。
この後、貼合ウエハＷＪの中心に向かって剥離アーム１６Ａが更に移動すると、貼合ウエハＷＪの中心に近い部分においても、貼合ウエハＷＪの２枚のウエハが分離していく。そして、剥離アーム１６Ａを更に移動していくと、貼合ウエハＷＪは中央部においても分離し、上側のウエハＷＪＵは、図７の（Ｂ）に示すように、吸着ピンユニット１４により上方へと持ち上げられる。このようにして貼合ウエハＷＪがウエハＷＪＵ及びウエハＷＦＬへと剥離される。
続けて、剥離アーム１６Ａが後退して元の位置へ戻る。また、膨出部１６ＲＢへの流体の供給が停止され、膨出部１６ＲＢの内部から流体が排出されると、膨出部１６ＲＢが元のように平坦になる。
この後、さらに、ウエハ搬出アーム３０Ｒが、吸着ピンユニット１４と剥離アームユニット１６の間の空間に進入する。ウエハ搬出アーム３０Ｒは、上下２本のアーム３０ＲＵ，３０ＲＬを有し、上のアーム３０ＲＵは上側に、下のアーム３０ＲＬは下側にウエハ吸着機構を備えている。吸着ピンユニット１４が下降して、吸着ピンユニット１４により吸着されている上側のウエハＷＪＵがアーム３０ＲＵに接すると、アーム３０ＲＵがウエハＷＪＵを吸着する。次いで、吸着ピンユニット１４による吸着が停止され、ウエハＷＪＵが、吸着ピンユニット１４からウエハ搬出アーム３０Ｒへ受け渡される。また、ステージ１２が上昇して、ステージ１２上に残る下側のウエハＷＪＬがアーム３０ＲＬに接すると、アーム３０ＲＬがそのウエハ３０ＷＪＬを吸着する。次いで、ステージ１２のウエハ吸着機構が停止すると、下側のウエハＷＪＬが、ステージ１２からウエハ搬出アーム３０Ｒへ受け渡される（図８の（Ａ））。この後、図８の（Ｂ）に示すように、ウエハ搬出アーム３０Ｒがウエハを搬出することにより、一連の貼合ウエハの剥離工程が終了する。
以上説明したように、本実施形態によるウエハ剥離装置１０、及びこれを用いたウエハ剥離方法によれば、流体の供給により膨出可能な膨出部１６ＲＢを備える剥離アーム１６Ａが、貼合ウエハＷＪを構成する２つのウエハＷＪＵ，ＷＪＬとの貼合部に挿入されていく。膨出部１６ＲＢが２つのウエハＷＪＵ，ＷＪＬの間の隙間に至ると、膨出部１６ＲＢに対して流体が供給される。これにより、膨出部１６ＲＢは、ステージ１２の上面と交差する方向に膨出する。これによって、２つのウエハＷＪＵ，ＷＪＬに対して互いに引き離す方向に力が加わる。この力によって、貼合ウエハＷＪの上側のウエハＷＪＵが下側のウエハＷＪＬから剥離される。
しかも、弾力性を有する膨出部１６ＲＢが流体により膨出することによって、２つのウエハＷＪＵ，ＷＪＬに対して引き離す力が加わるため、２つのウエハＷＪＵ，ＷＪＬに急激に強い力が働くのを回避でき、剥離時の破損を低減することができる。
また、本実施形態においては、貼合ウエハＷＪがステージ１２に載置されるときに上側になるウエハＷＪＵに対し、吸着ピン１４Ｐによって上向きの力が加えられる。これにより、剥離アーム１６Ａによる貼合ウエハＷＪの剥離を補助することができる。
さらに、剥離アーム１６Ａにおいて膨出部１６ＲＢが取り付けられるリングフレーム１６Ｒの寸法（例えば、厚さや、内径と外径の差など）を適宜調整すれば、リングフレーム１６Ｒの貼合ウエハＷＪの貼合部へ接触を低減することが可能となる。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
例えば、上記の実施形態によるウエハ剥離装置１０は、４つの剥離アーム１６Ａを有していたが、剥離アーム１６Ａの本数は、例えばウエハの直径や厚さなどを考慮し、適宜設定されて良い。
また、剥離アーム１６Ａのリングフレーム１６Ｒは、リング形状に限らず、例えばＵ字形状を有していても良い。この場合、膨出部１６ＲＢは、Ｕ字形状の内側を占有するような形状（例えば、舌状の形状）を有することが好ましい。また、貼合ウエハＷＪへの挿入端は、Ｕ字形状の上部及び底部のいずれであっても良い。Ｕ字形状の上部が挿入端となる場合、例えば舌状の形状を有する膨出部１６ＲＢの直線状に密着した部分が貼合ウエハＷＪへ挿入されることとなる。また、Ｕ字形状の底部が挿入端となる場合、シャフト１６Ｔの幅は、Ｕ字形状の上端の幅に合わせると好ましい。
また、剥離アーム１６Ａのリングフレーム１６Ｒの厚さが、先端部（貼合ウエハＷＪの貼合部に接する部分）に向かって薄くなっても良い。これにより、剥離アーム１６Ａを貼合部に挿入し易くすることができる。また、この場合、薄くなった先端部を貼合ウエハＷＪのエッジに接触させることにより、剥離アーム１６Ａの先端部と貼合部との位置合わせを行っても良い。
（付記）
（付記１）
２つのウエハが貼り合わされて構成される貼合ウエハを支持可能な上面を有するウエハ支持部と、
前記ウエハ支持部の外側に配置され、前記ウエハ支持部に支持される前記貼合ウエハの貼合部に対して進退可能なアーム部と、
前記アーム部の先端に設けられ、前記上面と交差する方向に膨出可能な膨出部と
を備える、ウエハ剥離装置。
（付記２）
前記膨出部の内部に流体を供給し、当該流体により前記膨出部を膨出させる流体制御機構を更に備える、付記１に記載のウエハ剥離装置。
（付記３）
前記アーム部が前記膨出部を膨出可能に保持する保持部を更に備える、付記１又は２に記載のウエハ剥離装置。
（付記４）
前記ウエハ支持部に支持される前記貼合ウエハの上面に吸着可能な吸着ピンを更に備える、付記１から３のいずれか一項に記載のウエハ剥離装置。
（付記５）
前記吸着ピンを上方に移動可能な吸着ピン駆動部を更に備える、付記４に記載のウエハ剥離装置。
（付記６）
前記アーム部の上下位置を調整可能なアーム部駆動部を更に備える、付記１から５のいずれか一項に記載のウエハ剥離装置。
（付記７）
２つのウエハが貼り合わされて構成される貼合ウエハを支持可能な上面を有するウエハ支持部で当該貼合ウエハを支持し、
前記ウエハ支持部に支持される前記貼合ウエハの貼合部に、所定のアーム部の先端部を挿入し、
前記先端部に設けられる膨出部を、前記上面と交差する方向に膨出させることを含む、ウエハ剥離方法。
（付記８）
前記膨出部が、流体の供給により膨出する、付記７に記載のウエハ剥離方法。
（付記９）
前記膨出部の膨出によって分離する、前記貼合ウエハを構成する２つのウエハのうちの一方を吸着することを更に含む、付記７又は８に記載のウエハ剥離方法。
（付記１０）
前記先端部の前記貼合部への挿入に先立って、前記先端部と前記貼合部との位置合わせが行われる、付記７から９のいずれか一項に記載のウエハ剥離方法。
１０ ウエハ剥離装置、１２ ステージ、１４ 吸着ピンユニット、１４Ｐ 吸着ピン、１４Ｈ 吸着ピン保持部材、１６ 剥離アームユニット、１６Ａ 剥離アーム、１６Ｓ 剥離アーム支持部材、１６Ｆ 環状フレーム、１６Ｔ シャフト、１６Ｒ リングフレーム、１６ＲＢ 膨出部、１６Ｐ 通気管、２０ コントローラ、３０ 搬送アーム、３０Ｒ ウエハ搬出アーム、１２０ ステージ駆動機構、１４０ 吸着ピンユニット駆動機構、１４１ 吸引機構、１６０ 剥離アームユニット駆動機構、ＷＪ 貼合ウエハ、ＷＪＵ 上側のウエハ、ＷＪＬ 下側のウエハ。

Claims (5)

  1. ２つのウエハが貼り合わされて構成される貼合ウエハを支持可能な上面を有するウエハ支持部と、
    前記ウエハ支持部の外側に配置され、前記ウエハ支持部に支持される前記貼合ウエハの貼合部に対して進退可能なアーム部と、
    前記アーム部の先端に設けられ、前記上面と交差する方向に膨出可能な膨出部と
    を備える、ウエハ剥離装置。
  2. 前記膨出部の内部に流体を供給し、当該流体により前記膨出部を膨出させる流体制御機構を更に備える、請求項１に記載のウエハ剥離装置。
  3. 前記アーム部が前記膨出部を膨出可能に保持する保持部を更に備える、請求項１又は２に記載のウエハ剥離装置。
  4. ２つのウエハが貼り合わされて構成される貼合ウエハを支持可能な上面を有するウエハ支持部で当該貼合ウエハを支持し、
    前記ウエハ支持部に支持される前記貼合ウエハの貼合部に、所定のアーム部の先端部を挿入し、
    前記先端部に設けられる膨出部を、前記上面と交差する方向に膨出させることを含む、ウエハ剥離方法。
  5. 前記膨出部が、流体の供給により膨出する、請求項４に記載のウエハ剥離方法。
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