JP6049221B2 - ダイ供給装置 - Google Patents
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Description
まず、部品供給装置11(ダイ供給装置)の構成を概略的に説明する。
Claims (3)
- 複数のダイに分割するようにダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハ張設体と、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げポットとを備え、吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、前記突き上げポット内の突き上げピンを該突き上げポットの上面から上方に突出させることで、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を該突き上げピンで突き上げて、該吸着ノズルに該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置において、
前記突き上げポットは、複数本の突き上げピンを所定の配置パターンで保持可能で、突き上げるダイに応じて前記突き上げピンの本数と位置を変更できるように構成され、
前記突き上げポットの上面のうちの少なくとも前記複数本の突き上げピンを配置可能なエリアを撮像対象エリアとして当該エリアを撮像するカメラと、
前記カメラで撮像した前記突き上げポットの上面の撮像対象エリアの画像を処理して該突き上げポット内に存在する前記突き上げピンの配置を認識する画像処理手段と、
前記突き上げピンの配置を指定する情報を記憶する記憶手段と、
前記画像処理手段で認識した前記突き上げピンの配置を前記記憶手段に記憶された前記情報と比較して前記突き上げピンの配置が指定通りであるか否かを判定するピン配置確認手段と
を備えていることを特徴とするダイ供給装置。 - 前記ピン配置確認手段が、前記突き上げピンの配置が間違っていると判定したときにそれを表示及び/又は音声で警告する処理を行う警告手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載のダイ供給装置。
- 前記カメラは、前記ダイシングシート上のダイを撮像して該ダイの位置を認識するカメラであり、
前記突き上げポットの上方に前記ウエハ張設体をセットしない状態で前記突き上げポットの上面の撮像対象エリアを前記カメラで撮像して前記画像処理手段により前記突き上げピンの配置を認識することを特徴とする請求項1又は2に記載のダイ供給装置。
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